JPH1128405A - ディスペンサ装置の脱泡方法およびディスペンサ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 この発明はノズル体の先端と液晶用基板の板
面との間隔が変動しても、シ−ル剤を均一に塗布するこ
とができるディスペンサ装置を提供することを目的とす
る。 【解決手段】 シ−ル剤Ｓを液所用基板５に塗布するた
めのディスペンサ装置において、上記 シ−ル剤が収容
されるバレル１と、このバレルの先端部に設けられバレ
ル内のシ−ル剤が先端開口から吐出されるとともにその
先端面における内径寸法ｄと外形寸法Ｄとの関係が｛Ｄ
＝ｎｄ（1.0 ≦ｎ≦1.2 ）｝で限定されたノズル体２と
を具備したことを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は液晶表示パネルの
製造工程においてシ−ル剤を塗布するためにディスペン
サ装置およびこのディスペンサ装置に充填された上記シ
−ル剤から気泡を取り除く脱泡方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】液晶表示パネルは板状体である一対の液
晶用基板をシ−ル剤を介して所定の間隔で貼り合わせ、
これら液晶用基板の間の空間部に液状体としての液晶を
充填することで構成されている。

【０００３】上記液晶用基板にシ−ル剤を塗布する方法
としては、パタ−ンが形成されたマスクを用い、このマ
スク上に供給されたシ−ル剤をスキ−ジで上記マスクの
パタ−ンを介して上記液晶用基板に塗布するスクリ−ン
法と、ディスペンサ装置を用い、そのノズル体から吐出
されるシ−ル剤を上記液晶用基板に所定のパタ−ンで塗
布するディスペンサ法とが知られている。

【０００４】スクリ−ン法は、マスクを液晶用基板に接
触させてシ−ル剤を塗布するため、上記液晶用基板の汚
れを招いたり、マスクをスキ−ジで擦ることで静電気の
発生を招くということがある。

【０００５】それに対してディスペンサ法は、上記シ−
ル剤を液晶用基板に非接触で塗布することができるた
め、液晶用基板の汚れや静電気の発生を招くことがない
という利点に着目され、多用される傾向にある。上記デ
ィスペンサ法によってシ−ル剤を線引き塗布する場合、
上記液晶用基板に対して均一に塗布することが要求され
る。

【０００６】図８（ａ）に示すように、ディスペンサ法
を実施するに際して用いられるディスペンサ装置Ａは、
液状体としてのシ−ル剤Ｓが充填されたバレル１と、こ
のバレル１の先端部に着脱自在に取付けられたノズル体
２とからなる。バレル１の上端開口は着脱自在な蓋体３
によって閉塞され、この蓋体３には内部のシ−ル剤Ｓを
加圧して上記ノズル体２の先端開口から吐出させる圧縮
空気の供給口４が形成されている。

【０００７】そして、上記ノズル体２の先端面を図示し
ないテ−ブル上に載置された液晶用基板５の板面に所定
の間隔で位置決めし、上記液状体Ｓを加圧してノズル体
２の先端開口から吐出させながら、上記ノズル体２ある
いは上記テ−ブルによって上記液晶用基板５のどちらか
を走行させることで、上記液晶用基板５に上記シ−ル剤
Ｓを所定のパタ−ンで線引き塗布するようになってい
る。

【０００８】図８（ｂ）に示すように、液晶用基板５に
シ−ル剤Ｓを塗布するに際し、ノズル体２から吐出され
る上記シ−ル剤Ｓの流体抵抗Ｒは、ノズル体２の内部２
ａで発生する流体抵抗Ｒ1 と、ノズル体２の下端面２ｂ
と液晶用基板５の板面との対向面間のギャップｇの領域
で発生する流体抵抗Ｒ2 との和になる。

【０００９】シ−ル剤Ｓを加圧する圧縮空気の圧力が一
定の場合、流体抵抗Ｒが大きくなるとシ−ル剤Ｓが流れ
にくくなるため、ノズル体２の先端開口から吐出される
シ−ル剤Ｓの量が減少することになる。

【００１０】ノズル体２と液晶用基板５のギャップｇで
発生する流体抵抗Ｒ2 はこのギャップｇの変動によって
大きく左右されることになる。そのため、ギャップｇの
変動をなくすことが要求されるが、液晶用基板５のうね
りや搬送精度などの要因によって上記ギャップｇの変動
をなくすことは容易でない。

【００１１】そのため、上記ギャップｇの変動により流
体抵抗Ｒも変動し、液晶用基板５に塗布されるシ−ル剤
Ｓの塗布断面積が一定とならず、不良品の発生を招くと
いうことがあった。

【００１２】一方、図９（ａ）に示すように、デイスペ
ンサ装置Ａのバレル１に充填されたシ−ル剤Ｓには気泡
Ｂが含まれていることがある。その場合、上記バレル１
に接続されたノズル体２からシ−ル剤Ｓを吐出させて液
晶用基板５に塗布すると、図１０に示すように気泡Ｂが
吐出されたときにシ−ル剤Ｓが途切れ、不塗布部６が生
じて不良品の発生を招くということある。

【００１３】そこで、液晶用基板５にシ−ル剤Ｓを塗布
する前に、図９（ａ）の状態から図９（ｂ）に示すよう
に所定量のシ−ル剤Ｓを捨て吐出させることで、気泡Ｂ
をなくすことが行われている。

【００１４】しかしながら、シ−ル剤Ｓの捨て吐出を行
うだけでは、図９（ｃ）に示すようにシ−ル剤Ｓに含ま
れる気泡Ｂを確実に除去できるものでなく、しかもシ−
ル剤Ｓの捨て吐出を行っても、バレル１の先端面とノズ
ル体２の内面との段差部によって形成された空隙部７に
シ−ル剤Ｓを充填させることが難しいので、その空隙部
７の気体が気泡Ｂとなって出てくるということがある。

【００１５】

【発明が解決しようとする課題】このように、従来はノ
ズル体の先端面と板状体との間のギャップが変動するこ
とで、液状体の流出抵抗が変化するため、液状体を均一
に塗布することができないということがあった。

【００１６】また、液状体に含まれる気泡を確実に除去
することができないため、塗布時に気泡が出てきて液状
体が塗布されない部分が生じるということがあった。こ
の発明の目的は、液状体に含まれる気泡を確実に除去
し、液状体を途切れることのないように塗布できるよう
にするためのディスペンサ装置の脱泡方法を提供するこ
とにある。

【００１７】この発明の目的は、ノズル体の先端と板状
体との間のギャップが変動しても、液状体をほぼ一定の
圧力で均一に塗布できるようにしたディスペンサ装置を
提供することにある。

【００１８】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、液状
体が充填されたバレルおよびこのバレルの先端に設けら
れたノズル体とからなり、上記液状体に含まれる気体を
除去するディスペンサ装置の脱泡方法において、上記デ
ィスペンサ装置を脱泡容器内にバレル側とノズル体側と
を気密に隔別して保持する第１の工程と、上記脱泡容器
のバレル側の空間部とノズル側の空間部とを減圧し上記
液状体に含まれた気泡を膨張させて上記液状体内を浮上
させる第２の工程と、この脱泡容器のバレル側の空間部
の圧力を上昇させて上記バレル内の液状体を上記ノズル
体へ流す第３の工程と、上記バレル側の空間部とノズル
側の空間部とを大気圧にして上記ノズル体内の空間部に
液状体を充満させる第４の工程とを具備したことを特徴
とする請求項２の発明は、液状体を板状体に塗布するた
めのディスペンサ装置において、上記液状体が収容され
るバレルと、このバレルの先端部に設けられバレル内の
液状体が先端開口から吐出されるとともにその先端にお
ける内径寸法ｄと外形寸法Ｄとの関係が｛Ｄ＝ｎｄ（1.
0 ＜ｎ＜1.2 ）｝で限定されたノズル体とを具備したこ
とを特徴とする。

【００１９】請求項３の発明は、請求項１の発明におい
て、上記ノズル体の先端部外周面は、径方向内方に向か
って傾斜したテ−パ面あるいは曲面であることを特徴と
する。

【００２０】請求項４の発明は、請求項１の発明におい
て、上記ノズル体の先端部内周面は、径方向外方に向か
って傾斜したテ−パ面あるいは曲面であることを特徴と
する。

【００２１】請求項１の発明によれば、ディスペンサ装
置が保持された脱泡容器内を減圧すると、バレルに充填
された液状体内の気泡が膨張して浮上するため、上記液
状体から除去することができ、ついでバレル内の液状体
をノズル体へ流してからバレル側とノズル体側を大気圧
にすることで、ノズル体内部に空隙部が生じることなく
液状体を充満させることができる。

【００２２】請求項２の発明によれば、ノズル体の先端
における内径寸法と外形寸法との差を他の部分に比べて
小さくしたことで、ノズル体先端と板状体との間のギャ
ップの変動による液状体の吐出抵抗の変動を小さくでき
るから、液状体を均一に塗布することが可能となる。

【００２３】請求項３と請求項４の発明によれば、ノズ
ル体の先端部の外周面あるいは内周面をテ−パ面あるい
は曲面としてことで、その先端における内径寸法と外形
寸法との差を小さくすることができる。

【００２４】

【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を図
面を参照して説明する。なお、図８（ａ）、（ｂ）、図
９および図１０に示す従来構造と同一部分には同一記号
を付して説明を省略する。この発明のディスペンサ装置
Ａは従来のものに比べてノズル体２の先端部の構造が異
なっている。つまり、図１と図２（ａ）に示すようにノ
ズル体２の先端部の外周面は、先端にゆくにつれて径方
向内方へ向かって傾斜したテ−パ面１１に形成されてい
る。

【００２５】それによって、ノズル体２の先端における
内径寸法ｄと外形寸法Ｄとの差は十分に小さく設定され
ている。この実施の形態では、内径寸法ｄと外形寸法Ｄ
との比は、 Ｄ＝ｎ（1.0 ≦ｎ≦1.5 ） …（１）式 の範囲に設定されている。

【００２６】このように、ノズル体２の先端面の内径寸
法ｄと外形寸法Ｄとの差を十分に小さくすることで、シ
−ル剤Ｓの塗布時に、ノズル体２の先端面と液晶用基板
５の板面とのギャップｇが変動しても、以下の理由によ
ってノズル体２からのシ−ル剤Ｓの吐出量を一定にする
ことができる。

【００２７】まず、ノズル体２の内部２ａで発生する流
体抵抗Ｒ₁ は、Haggen-Poiseuilleの式から求めること
ができる。つまり、流量Ｑは、 Ｑ＝（π・ｄ⁴ ・Ｐ₁ ）／128 μ・Ｌ …（２）式 であるから、 Ｒ₁ ＝Ｐ₁ ／Ｑ …（３）式 ただし、Ｑ：流量（ｍ³ ／ｓ）、ｄ：ノズル内径
（ｍ）、Ｐ₁ ：ノズル内部で発生する圧力損失（Ｐ
ａ）、μ：シ−ル剤粘度（Ｐａ・ｓ）、Ｌ：ノズル長さ
（ｍ）である。

【００２８】ノズル体２の下端面と液晶用基板５の板面
とのギャップ（ｇ＋Δｇ）で発生する流体抵抗Ｒ₂ は、
「平行二円盤間の細げきを放射状に流れる流量」と考え
て、機械工学便覧Ａ５流体工学（１１３）式を用いて次
式で表すことができる。

【００２９】 Ｑ＝｛π・(g+ g)³ ・Ｐ₂ ｝／｛６μ・ｌｏｇ(D/d) ｝ …（４）式 であるから、 Ｒ₂ ＝Ｐ₂ ／Ｑ …（５）式 ただし、（ｇ＋Δｇ）：ギャップ（ｍ）で、これはギャ
ップ量ｇとギャップ変動量Δｇの和で、全体のｇギャッ
プ量を表し、Ｄ：ノズル外径（ｍ）、Ｐ₂ ：上記ギャッ
プＧで発生する圧力損失（Ｐａ）である。よって、線引
き塗布されるシ−ル剤Ｓの塗布断面積Ａ（ｍ² ）は次式
で表すことができる。

【００３０】

【数１】

【００３１】ただし、Ｖt ：ディスペンサ装置と液晶用
基板との相対的移動速度（ｍ／ｓ）、Ｐ：バレル容器内
の圧力である。上記（１）式のごとくＤ＝１〜１．５ｄ
に設定することで、ギャップ（ｇ＋Δｇ）における流体
抵抗Ｒ₂ をノズル体２の内部２ａにおける流体抵抗Ｒ₁
と比較して無視できる程、小さくできることになり、そ
のことは上記（６）式の分母の第１項を第２項に比べて
無視できる程、小さくすることを意味する。とくに、Ｄ
＝ｄとすれば、上記（６）式の分母の第１項のｌｏｇ(D
/d) ＝０となり、この第１項を０にできる。

【００３２】したがって、この発明のノズル体２を用い
てシ−ル剤Ｓを塗布すれば、ノズル体２の先端と液晶用
基板５の板面とのギャップｇが変動しても、シ−ル剤Ｓ
の吐出量を一定にすることができるから、このシ−ル剤
Ｓの塗布断面積Ａ、つまりシ−ル剤Ｓの塗布幅を一定に
して線引き塗布することができる。

【００３３】ノズル体２の先端の外径寸法Ｄと内径寸法
ｄとを、Ｄ＝ｎ（1.0 ≦ｎ≦1.5 ）の範囲に設定するた
めに、上記一実施の形態ではノズル体２の先端部の外周
面をテ−パ面１１にしたが、テ−パ面に代わり、曲面に
よって実現するようにしてもよい。

【００３４】また、図２（ｂ）に示すようにノズル体２
の先端部外周面にはテ−パ面１１を形成し、内周面には
曲面１２を形成することで、ノズル体２の先端面におけ
る外径寸法Ｄと内径寸法ｄとの差を小さくするようにし
てもよい。この場合、ノズル体２の内面には曲面１２に
代わりテ−パ面を形成してもよい。

【００３５】図３はノズル体２の内径ｄと外径Ｄとの比
を変え、それぞれのノズル体ごとにギャップｇの変化と
シ−ル剤Ｓの塗布断面積の変化との関係を測定したグラ
フである。つまり、従来構造のノズル体とこの発明のノ
ズル体とを用いてそれぞれギャップｇを変化させたとき
のシ−ル剤Ｓの塗布断面積の変化を測定した。

【００３６】同図中曲線ＡはＤ／ｄ＝２．０で、曲線Ｂ
はＤ／ｄ＝１．５であり、これらは従来の範囲である。
曲線ＣはＤ／ｄ＝１．２、曲線ＤはＤ／ｄ＝１．１、曲
線ＥはＤ／ｄ＝１．０３３ｄで、これらはこの発明の範
囲である。なお、各曲線Ａ〜Ｅにおける各種の条件は下
記表１に示す通りである。

【００３７】

【表１】

【００３８】このような条件でシ−ル剤を塗布したとこ
ろ、この発明の範囲である曲線Ｃ〜Ｅによれば、図３か
ら明らかなようにギャップｇが100 μｍ以上になった場
合でも、シ−ル剤Ｓの塗布断面積はほぼ一定であった
が、曲線Ａ、Ｂで示す従来の構造の場合（ｎ≧1.5 ）、
図３に示すようにギャップｇの変動に応じてシ−ル剤Ｓ
の塗布断面積も少しずつ変動してしまうことが確認され
た。

【００３９】なお、上記（６）式において求めた理論値
と実験値との比較を図４に示す（Ｄ＝1.2 ｄ）。上記構
成のディスペンサ装置Ｄを用いてシ−ル剤Ｓを液晶用基
板５に洗浄塗布するに先立ち、バレル１にノズル体２を
接続したならば、上記バレル１に充填されたシ−ル剤Ｓ
に含まれる気泡Ｂを取り除く、脱泡処理が行われる。こ
の脱泡処理には図５に示す脱泡装置２０が用いられる。

【００４０】上記脱泡装置２０は、内部にディスペンサ
装置Ｄを保持する脱泡容器２１を有する。この脱泡容器
２１は本体部２１ａと蓋体部２１ｂとに分割されてい
て、本体部２１ａと蓋体部２１ｂとが気密な状態で分解
自在に接合固定できるようになっている。

【００４１】上記本体部２１ａには上面に開放した円柱
状の収納部２２が形成され、この収納部２２の内周面上
部にはＯリング２３が設けられている。ディスペンサ装
置Ａは上記収容部２２に挿通され、そのバレル１の外周
面の中途部が上記Ｏリング２３によって気密に保持され
ている。

【００４２】その状態で、上記脱泡容器２１は、上記Ｏ
リング２３を境にしてバレル１の上端開口側の上部空間
部２４（蓋体部２１ｂの内部空間）と、ノズル体２側の
下部空間部２５（収納部２２の空間）とが気密に隔別さ
れている。

【００４３】上記上部空間部２４を形成する蓋体部２１
ｂには内部に連通した第１の口体２６が設けられてい
る。この第１の口体２６には継手２７を介して第１の主
配管２８の一端が接続されている。

【００４４】上記第１の主配管２８の他端は第１の開閉
弁２９を介して第１の吸引ポンプ３１に接続されてい
る。上記継手２７と第１の開閉弁２９との間には、中途
部に第２の開閉弁３２が設けられた第１の開放管３３が
接続されている。

【００４５】したがって、第１の開閉弁２９を開放し、
第２の開閉弁３２を閉じて第１の吸引ポンプ３１を作動
させれば、上部空間部２４を減圧することができ、また
第１の開閉弁２９を閉じて第２の開閉弁３２を開放すれ
ば、上部空間部２４を大気圧にできるようになってい
る。

【００４６】上記本体部２１ａには収納部２２に連通す
る第２の口体３５が設けられている。この第２の口体３
５には第２の主配管３６の一端が継手３７を介して接続
されている。この第２の主配管３６の他端は第３の開閉
弁３８を介して第２の吸引ポンプ３９に接続されてい
る。上記継手３７と第３の開閉弁３８との間には中途部
に第４の開閉弁４１が設けられた第２の開放管４２が接
続されている。

【００４７】したがって、第３の開閉弁３８を開き、第
４の開閉弁４１を閉じて第２の吸引ポンプ３９を作動さ
せれば、下部空間部２５を減圧することができ、第３の
開閉弁３８を閉じ、第４の開閉弁４１を開放すること
で、上記下部空間部２５を大気圧に上昇させることがで
きる。

【００４８】上記構成の脱泡装置２０によってバレル１
に充填されたシ−ル剤Ｓに含まれた気泡Ｂを取り除く工
程を図６（ａ）〜（ｅ）を参照して説明する。通常、デ
ィスペンサ装置Ａのバレル１は使い捨てであって、シ−
ル剤Ｓが充填された新たなバレル１を使用する場合に
は、そのバレル１にノズル体２を接続する。

【００４９】ついで、本体部２１ａから蓋体部２１ｂを
外し、図６（ａ）に示すように、ディスペンサ装置Ａを
本体部２１ａの収納部２２に挿入し、そのバレル１の外
周面中途部をＯリング２３によって気密に保持したなら
ば、上記蓋体部２１ｂを本体部２１ａに気密に接合固定
する。

【００５０】つぎに、第２の開閉弁３２と第４の開閉弁
４１とを閉じ、第１の開閉弁２９と第３の開閉弁３８と
を開き、第１の吸引ポンプ３１と第２の吸引ポンプ３９
とを作動させることで、上部空間部２４と下部空間部２
５とを減圧する。

【００５１】各空間部２４、２５を減圧することで、そ
の圧力がバレル１の上端開口とノズル体２の先端開口か
らバレル１内のシ−ル剤Ｓに作用する。そのため、シ−
ル剤Ｓに含まれた気泡Ｂは図６（ａ）に示す状態から図
６（ｂ）に示すように膨張するから、その気泡Ｂの浮力
が増大してシ−ル剤Ｓ内を上昇し、上部空間部２４に噴
出する。

【００５２】それによって、シ−ル剤Ｓに含まれる気泡
Ｂのほとんどは取り除かれることになるものの、たとえ
ばバレル１の細径な先端部内に含まれる気泡Ｂは膨張し
にくいために、取り除かれないことがある。

【００５３】そこで、上部空間部２４と下部空間部２５
とを減圧したのち、第１の開閉弁２９を閉じ、第２の開
閉弁３２を徐々に開くことで、上部空間部２４の圧力を
徐々に上昇させる。それによって、バレル１内のシ−ル
剤Ｓは加圧され、バレル１からノズル体２へ流れるか
ら、図６（ｃ）に示すようにバレル１の先端部内に残留
する気泡Ｂがノズル体２から押出され、下部空間部２５
へ噴出する。

【００５４】シ−ル剤Ｓをノズル体２へ流しても、図５
（ｄ）に示すようにバレル１の先端面とノズル体２の内
周面との間の段差部にはシ−ル剤Ｓが流れ込みにくいた
め、その部分に空隙部Ｃが生じる。しかしながら、この
空隙部Ｃは減圧されている。そのため、ノズル体２の先
端からシ−ル剤Ｓを所定量捨て吐出させたのちに、第３
の開閉弁３８を閉じ、第４の開閉弁４１を開くことで下
部空間部２５も大気圧にすれば、図６（ｅ）に示すよう
に減圧された上記空隙部Ｃにシ−ル剤Ｓが回り込むか
ら、空隙部Ｃを消滅させることができる。

【００５５】以上のことにより、シ−ル剤Ｓに含まれる
気泡Ｂを確実に取り除くことができるばかりか、バレル
１の先端面とノズル体２の内周面との段差部の空隙部Ｃ
に気体が残留するということもない。

【００５６】そのため、上記脱泡装置２０によって気泡
が除かれたディスペンサ装置Ｄを用いてシ−ル剤Ｓを塗
布すれば、液晶用基板５にシ−ル剤Ｓを途切れることな
く、線引き塗布することができる。

【００５７】なお、上記第１乃至第４の開閉弁２９、３
２、３８、４１の開閉を予め設定されたプログラムに基
づいて図示しない制御装置で自動制御すれば、シ−ル剤
Ｓの脱泡作業を自動化することができる。

【００５８】図７はこの発明の変形例を示す。通常、ノ
ズル体２から吐出されるシ−ル剤Ｓの供給と遮断はバレ
ル１を加圧する圧縮空気を供給したり、その供給を停止
して行われるが、この変形例ではバレル１の上端に冠着
された蓋体３の供給口４にニ−ドル軸５１を挿通する。
このニ−ドル軸５１は上下駆動装置５３によって上下駆
動されるとともに、その先端部はニ−ドル弁５１ａに形
成されていてる。したがって、ニ−ドル軸５１が上下駆
動されることで、ノズル体２の上端開口を開閉できるよ
うになっている。

【００５９】ニ−ドル軸５１のニ−ドル弁５１ａでノズ
ル体２を開閉してシ−ル剤Ｓの供給を制御すれば、圧縮
空気を供給を制御してシ−ル剤Ｓの供給を制御する場合
に比べて制御速度を高速化することが可能となる。

【００６０】

【発明の効果】請求項１の発明によれば、ディスペンサ
装置が保持された脱泡容器内を減圧することで、バレル
に充填された液状体内の気泡が膨張して浮上するから、
その気泡を液状体から除くことができ、さらにバレル内
の液状体をノズル体へ流してからバレル側とノズル体側
を大気圧にすることで、ノズル体内部に空隙部が生じる
のを防止できる。

【００６１】したがって、液状体を塗布する際に、気泡
が吐出されて液状体が途切れるのを防止できるから、液
状体の線引き塗布を均一かつ確実に行うことのできるデ
ィスペンサ装置を提供できる。請求項２の発明によれ
ば、ノズル体の先端における内径寸法ｄと外形寸法Ｄと
の関係が｛Ｄ＝ｎｄ（1.0 ≦ｎ≦1.2 ）｝で限定される
形状にした。

【００６２】そのため、ノズル体先端と板状体との間の
ギャップが変動しても、その変動による液状体の吐出抵
抗の変動を小さくできるから、液状体を上記板状体に均
一に塗布することが可能となる。

【００６３】請求項３と請求項４の発明によれば、ノズ
ル体の先端部の外周面あるいは内周面をテ−パ面あるい
は曲面とすることで、その先端面における内径寸法と外
形寸法との差を小さくした。そのため、簡単な構成で確
実にノズル体からの液状体の吐出抵抗の変動をなくすこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施の形態のディスペンサ装置を
示す構成図。

【図２】（ａ）、（ｂ）はそれぞれ形状の異なるノズル
体の先端部の拡大断面図。

【図３】ノズル体の内径ｄと外径Ｄとの比を変化させた
場合のギャップ変動と塗布断面積との関係を測定したグ
ラフ。

【図４】ギャップ変動と塗布断面積との関係を理論値と
実験値によってそれぞれ求めたグラフ。

【図５】同じく脱泡装置の概略的構成図。

【図６】（ａ）〜（ｅ）は上記脱泡装置によってシ−ル
剤から気泡を取り除く工程を順次示した説明図。

【図７】この発明の他の実施の形態のディスペンサ装置
を示す構成図。

【図８】（ａ）は従来のディスペンサ装置の構成図、
（ｂ）は同じくノズル体先端部の拡大断面図。

【図９】（ａ）〜（ｃ）はシ−ル剤に含まれる気泡が吐
出する状態の説明図。

【図１０】気泡が吐出することで液晶用基板に線引き塗
布されたシ−ル剤に不塗布部が形成された状態を示す説
明図。

【符号の説明】

１…バレル ２…ノズル体 ５…液晶用基板（板状体） ２１…脱泡容器 ３１…第１の吸引ポンプ ３９…第２の吸引ポンプ Ｓ…シ−ル剤（液状体）

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 液状体が充填されたバレルおよびこのバ
   レルの先端に設けられたノズル体とからなり、上記液状
   体に含まれる気体を除去するディスペンサ装置の脱泡方
   法において、 上記ディスペンサ装置を脱泡容器内にバレル側とノズル
   体側とを気密に隔別して保持する第１の工程と、 上記脱泡容器のバレル側の空間部とノズル側の空間部と
   を減圧し上記液状体に含まれた気泡を膨張させて上記液
   状体内を浮上させる第２の工程と、 この脱泡容器のバレル側の空間部の圧力を上昇させて上
   記バレル内の液状体を上記ノズル体へ流す第３の工程
   と、 上記バレル側の空間部とノズル側の空間部とを大気圧に
   して上記ノズル体内の空間部に液状体を充満させる第４
   の工程とを具備したことを特徴とするディスペンサ装置
   の脱気方法。
2. 【請求項２】 液状体を板状体に塗布するためのディス
   ペンサ装置において、 上記液状体が収容されるバレルと、 このバレルの先端部に設けられバレル内の液状体が先端
   開口から吐出されるとともにその先端における内径寸法
   ｄと外形寸法Ｄとの関係が｛Ｄ＝ｎｄ（1.0 ≦ｎ≦1.2
   ）｝で限定されたノズル体とを具備したことを特徴と
   するディスペンサ装置。
3. 【請求項３】 上記ノズル体の先端部外周面は、径方向
   内方に向かって傾斜したテ−パ面あるいは曲面であるこ
   とを特徴とする請求項１記載のディスペンサ装置。
4. 【請求項４】 上記ノズル体の先端部内周面は、径方向
   外方に向かって傾斜したテ−パ面あるいは曲面であるこ
   とを特徴とする請求項１記載のディスペンサ装置。