CN1500558A - 涂敷液供给装置及其狭缝涂敷式涂敷装置 - Google Patents

Abstract

一种涂敷液供给装置，其组合与基板对向配置的具有狭缝状开口的涂敷头，利用涂敷头和基板的任意一方相对于另一方的移动，对基板以预定厚度涂敷预定量的涂敷液的狭缝涂敷式涂敷装置来使用，其向涂敷头提供预定量的涂敷液，其特征在于包括：涂敷液供给机构；将涂敷液加压的泵；位于上述泵和上述涂敷头之间的开关阀；检测出利用泵加压后的涂敷液压力并输出涂敷液压力信号的涂敷液压力检测机构；以及利用涂敷头对基板涂敷预定量的涂敷液、在上述开关阀处于开启之前、使通过泵加压后涂敷液压力成为所期望值地控制上述泵动作的涂敷液压力控制机构；或者输入涂敷液压力信号，由上述泵加压后压力超出希望值幅度而发出警报的涂敷液压力不良警报机构。

Description

涂敷液供给装置及其狭缝涂敷式涂敷装置

技术领域

本发明涉及一种给狭缝涂敷式(slit coat)涂敷装置提供涂敷液的涂敷液供给装置及伴随着该涂敷液供给装置的狭缝涂敷式涂敷装置。

背景技术

众所周知，狭缝涂敷式涂敷装置能够在基板上以预定厚度涂敷预定量液体的例如抗蚀剂溶液等。传统的狭缝涂敷式涂敷装置具备与基板对向配置的具有狭缝状开口的涂敷头。从涂敷液供给装置提供预定量的涂敷液给涂敷头，在基板和涂敷头之中的任意一个相对于另一方按预定速度移动期间，从涂敷头的狭缝状开口处、在基板上以预定厚度涂敷预定量的涂敷液。

相对于基板由涂敷头从开始涂敷涂敷液到基板上涂敷的涂敷液厚度稳定到所希望的一定厚度为止(即，从涂敷头流出的涂敷液的量是所希望的一定的量)，上述涂敷液需要比较长的时间。图1示出了这种状态。

因此，象这样在基板上的所希望的区域内，涂敷所希望的一定厚度的涂敷液时，在上述所希望的区域中，必须从开始涂敷涂敷液的位置的前方作为起点，开始涂敷液的涂敷。

在此情况下，就产生了基板材料和涂敷液使用量的浪费。在涂敷装置的涂敷作业速度越大时这种浪费就会越多。

利用上述涂敷装置在基板上涂敷所希望的一定厚度的涂敷液后，测量基板上涂敷液的厚度。

发现基板上的涂敷液的厚度产生不均匀时，为了查明产生的原因，停止上述涂敷装置的动作。此时，涂敷液厚度不均匀就从发现的基板直到正在利用上述涂敷装置进行涂敷作业的基板或上述涂敷作业停止时紧接着的基板止，此间全部位置的基板以及目前正在利用上述涂敷装置进行涂敷作业的基板或上述涂敷作业停止时紧接着的基板发生涂敷液厚度不均匀的可能性就非常大。因此，发生涂敷液厚度不均匀可能性非常大的这些基板将全部废弃。

这种情况下就意味着如果涂敷装置的涂敷作业速度越快，当涂敷液厚度不均匀发生时，必须废弃的基板数量就越多。

发明内容

本发明的目的是提供一种涂敷液供给装置和伴随此涂敷液供给装置的狭缝涂敷式涂敷装置，在狭缝涂敷式涂敷装置开始涂敷作业，紧接着，通常在基板上预定的区域上涂敷出所希望的一定厚度的涂敷液，与上述传统的装置相比，就能够获得基板材料和涂敷液使用量的浪费显著减少的这个结果。

本发明的另一个目的是提供一种涂敷液供给装置和具有此涂敷液供给装置的狭缝涂敷式涂敷装置，利用狭缝涂敷式涂敷装置，在向基板上涂敷涂敷液的涂敷作业中，可以检测出基板上涂敷的涂敷液厚度，与上述传统的装置相比，大量减少了因产生涂敷液厚度不均匀而不得不废弃的基板数量。

为了实现最初的上述目的，

根据本发明一种涂敷液供给装置，其与具有与基板对向配置的具有狭缝状开口的涂敷头，并利用上述涂敷头和上述基板的任意一个相对于另一个的移动，对上述基板以预定厚度涂敷预定量的涂敷液的狭缝涂敷式涂敷装置相组合来使用，并向上述涂敷头提供预定量的涂敷液，其特征在于，包括：

在涂敷液源和上述狭缝涂敷式涂敷装置中的上述涂敷头之间延伸出的涂敷液供给机构；

在上述涂敷液供给机构中，给上述涂敷液供给机构中的涂敷液加压的泵；

在上述涂敷液供给机构中介于上述泵和上述涂敷头之间的开关阀；

检测出被上述泵加压后的涂敷液压力，输出涂敷液压力信号的涂敷液压力检测机构，以及

输入上述涂敷液压力检测机构检测出的涂敷液压力信号，为了通过上述涂敷头对上述基板以预定厚度涂敷预定量的涂敷液，将上述开关阀即将开启前的通过上述泵加压的涂敷液的压力变成为所期望的值地控制上述泵动作的涂敷液压力控制机构。

首先，为了实现上述目的，根据本发明的狭缝涂敷式涂敷装置，具有与基板对向配置的具有狭缝状开口的涂敷头和向上述涂敷头提供预定量的涂敷液的涂敷液供给装置，利用上述涂敷头和上述基板的任意一个相对于另一个的移动，对上述基板以预定厚度涂敷预定量的涂敷液，其特征在于：

上述涂敷液供给装置包括：

在涂敷液源和上述狭缝涂敷式涂敷装置中的上述涂敷头之间延伸出的涂敷液供给机构；

在上述涂敷液供给机构中，给上述涂敷液供给机构中的涂敷液加压的泵；

在上述涂敷液供给机构中介于上述泵和上述涂敷头之间的开关阀；

检测出利用上述泵加压后的涂敷液压力，输出涂敷液压力信号的涂敷液压力检测机构；以及

输入上述涂敷液压力检测机构检测出的涂敷液压力信号，为了对上述基板通过上述涂敷头以预定厚度涂敷预定量的涂敷液，将上述开关阀即将开启前的通过上述泵加压的涂敷液的压力变成为所期望的值地控制上述泵动作的涂敷液压力控制机构。

其次，为了实现上述目的，组合具有与基板对向配置的具有狭缝状开口的涂敷头、利用上述涂敷头和上述基板的任意一方相对于另一方的相对移动，对上述基板以预定厚度涂敷预定量的涂敷液的狭缝涂敷式涂敷装置来使用，由此对上述涂敷头提供预定量的涂敷液，其特征在于包括：

在涂敷液源和上述狭缝涂敷式涂敷装置中的上述涂敷头之间延伸出的涂敷液供给机构；

在上述涂敷液供给机构中，将位于上述涂敷液供给机构中的涂敷液加压的泵；

在上述涂敷液供给机构中，位于上述泵和上述涂敷头之间的开关阀；

检测出由上述泵加压后的涂敷液压力，输出涂敷液压力信号的涂敷液压力检测机构；以及

输入上述涂敷液压力检测机构检测出的涂敷液压力信号，当由上述泵加压后涂敷液的压力在所期望值的幅度之外，发出警报的涂敷液压力不良警报机构。

而且，本发明提供的这个涂敷液供给装置，为了实现最初的上述目的，涂敷液供给装置还具备根据本发明的涂敷液供给装置的上述涂敷液压力控制机构。

其次，为了实现上述目的，所以本发明提供一种狭缝涂敷式涂敷装置

具有与基板对向配置具有狭缝状开口的涂敷头，和对上述涂敷头提供预定量的涂敷液的涂敷液供给装置，利用上述涂敷头和上述基板的任意一个相对于另一方的移动，对上述基板以预定厚度涂敷预定量的涂敷液；

上述涂敷液供给装置具备：

在涂敷液源和上述狭缝涂敷式涂敷装置中的上述涂敷头之间延伸出的涂敷液供给机构；

在上述涂敷液供给机构中，将上述涂敷液供给机构中的涂敷液加压的泵；

在上述涂敷液供给机构中，位于上述泵和上述涂敷头之间的开关阀；

检测出利用上述泵加压后的涂敷液压力并输出涂敷液压力信号的涂敷液压力检测机构；以及

输入上述涂敷液压力检测机构检测出的涂敷液压力信号，通过上述泵加压后的涂敷液压力在期望值幅度之外时，发出警报的涂敷液压力不良警报机构。

此外，本发明提供的这个狭缝涂敷式涂敷装置，为达成最初的上述目的，狭缝涂敷式涂敷装置的涂敷液供给装置还具备上述涂敷液压力控制机构。

附图的简单说明

图1是在具有现有技术的涂敷液供给装置的现有技术的狭缝涂敷式涂敷装置中从涂敷开始起，来自涂敷头的涂敷液的流出量随着所经历的时间而改变的简要示图；

图2是具有根据本发明的第1实施例的涂敷液供给装置的狭缝涂敷式涂敷装置结构的构成彩色滤光片制造工序的简要示图；

图3是图2中的彩色滤光片制造工序的第1位置结构的简要示图；

图4是在图2的具有涂敷液供给装置的狭缝涂敷式涂敷装置中从涂敷开始起、来自涂敷头涂敷液的流出量随经过时间而改变的简要示图；

图5是在具有现有技术的涂敷液供给装置的现有技术的狭缝涂敷式涂敷装置中涂敷液压力在涂敷开始前后的变化状态的简要示图；

图6是在图2的具有涂敷液供给装置的狭缝涂敷式涂敷装置中涂敷液压力在涂敷开始前后的变化状态的简要示图；

图7是利用具有现有的涂敷液供给装置的现有狭缝涂敷式涂敷装置在基板上形成的涂敷液膜厚随涂敷开始时间而发生改变的简要示图，通过图2的具有涂敷液供给装置的狭缝涂敷式涂敷装置在基板上形成的涂敷液膜厚随涂敷开始时间而发生变化改变的简要示图；

图8是利用实线表示根据本发明的第2实施例构成的具有涂敷液供给装置的狭缝涂敷式涂敷装置的彩色滤光片制造工序状态的简要示图，同时，是利用点划线表示在图2中示出的根据第1实施例的配置涂敷液压力控制机构的涂敷液供给装置，根据上述第2实施例组成的涂敷液供给装置状态的简要示图；

图9是根据第2实施例的涂敷液供给装置中的特有的压力不良警报控制部的动作的简要示意流程图；

图10是在涂敷作业开始后，从涂敷液压力不良警报机构的控制部开始动作起到上述动作结束之间，控制部没有检测涂敷液压力不良，在没有发出涂敷液压力不良警报的场合下，通过涂敷液压力检测机构，涂敷液压力随涂敷液压力检测经历时间而改变的示图。

图11是在图10场合中相对于基板的预定区域的涂敷液膜厚相对于涂敷长度而改变的示图。

图12是在涂敷作业开始后，从涂敷液压力不良警报机构的控制部开始动作起，紧接着控制部就检测出涂敷液压力不良，在发出涂敷液压力不良警报的场合下，通过涂敷液压力检测机构，涂敷液压力相对于检测经历时间而改变的示图。

图13是在图12场合中相对于基板预定区域涂敷液膜厚相对于涂敷长度而改变的示图。

图14是在涂敷作业开始后，从涂敷液压力不良警报机构的控制部开始动作起到上述动作结束这之间，控制部检测出涂敷液压力不良发出涂敷液压力不良警报的场合下，通过涂敷液压力检测机构，涂敷液压力相对于涂敷液压力检测经历时间而改变的示图。以及，

图15是在图14场合中相对于基板预定区域涂敷液膜厚相对于涂敷长度而改变的示图。

发明的具体实施方式

第1实施例

首先，参照图2至图7，详细说明根据本发明第1实施例的伴随有涂敷液供给装置的狭缝涂敷式涂敷装置。

图2是根据本发明第1实施例的伴随有涂敷液供给装置10的狭缝涂敷式涂敷装置12的整个结构的简要示图。

狭缝涂敷式(slit coat)涂敷装置12具备具有狭缝状开口14a的涂敷头(head)14。涂敷液供给装置10向涂敷头14提供预定量的涂敷液。

涂敷头14至少可以在第1位置(向后述空(dummy)涂敷辊筒(roller)涂敷涂敷液的位置)16和第2位置(向后述基板的涂敷液涂敷位置)18之间自由移动。在第2位置18处，涂敷头14将狭缝状开口14a面向相对于基板20的预定区域，涂敷头14和基板20中任意一方相对于另一方移动，由此涂敷头14的狭缝状开口14a从基板20的预定区域的一端向另一端扫描。而且，从这个扫描开始时间点到结束时间点，在预定压力下从涂敷头14的狭缝状开口14a流出预定量的涂敷液，由此就能够在相对于基板20预定区域的预定区域一端到另一端将涂敷液以预定厚度涂敷。

在本实施例中，狭缝涂敷式涂敷装置12被加入到液晶显示器用的彩色滤光片制造工序中，并且涂敷液是在基板20上形成至少1层彩色滤光片(color filter)而使用的例如抗蚀剂(resist)。

涂敷液供给装置10具备在涂敷液源10a和狭缝涂敷式涂敷装置12的涂敷头14之间延伸出的例如导管(pipe)这样的涂敷液供给机构10b。在涂敷液供给机构10b中，对涂敷液加压的泵10c处于涂敷液供给机构10b中。在涂敷液供给机构10b中还具有位于涂敷液供给机构10b中的泵10c与涂敷头14之间的开关阀10d。在此实施例中，开关阀10d是由空气驱动式开关阀构成。此外，在涂敷液供给装置10中，过滤器10e位于涂敷头14与开关阀10d之间。

涂敷液供给装置10还具有检测利用泵10c加压之后的涂敷液压力、输出涂敷液压力信号的涂敷液压力检测机构10f。

除此以外，涂敷液供给装置10还具有输入涂敷液压力检测机构10f检测出的涂敷液压力信号的涂敷液压力控制机构10g。涂敷液压力控制机构10g为了利用涂敷头14在基板20上以预定厚度涂敷预定量的涂敷液、在即将开启开关阀10d之前控制泵的动作、使通过泵10c加压后的涂敷液的压力成为所希望值。

在此实施例中，涂敷液供给装置10的泵10c为隔膜泵(diaphragmpump)，在涂敷液供给装置10的涂敷液供给机构10b中，逆止阀10h位于隔膜泵的上游侧。

隔膜泵10c的隔膜(diaphragm)D，利用作动油来传送隔膜驱动机构DD未示出的活塞的往复动作进行往复动作。隔膜驱动机构DD的动作是利用涂敷液压力控制机构10g来控制的。

在此实施例中，涂敷液压力检测机构10f通过检测隔膜驱动机构DD的上述作动油的压力来间接地检测出通过隔膜泵10c加压的涂敷液的压力。

从隔膜泵10c的涂敷液流入、流出室C分支充满涂敷液的涂敷液分流机构10i。此实施例中涂敷液分流机构10i由弯(bent)导管构成，弯曲阀BV位于弯导管之间。弯曲(bent)阀BV通常处于关闭状态。

如图3所示，在第1位置16处，狭缝涂敷式涂敷装置12的涂敷头14的狭缝状开口14a面向空涂敷辊筒16a的外周表面。空涂敷辊筒16a的外周表面的大致下半部分浸入清洁液槽16b的清洁液WL中。在清洁液槽16b中配置有排水导管(drain pipe)16c和溢流导管(overflow pipe)16d。

空涂敷辊筒16a能够沿预定的方向(图13中箭头所示的方向)以预定速度旋转。在空涂敷辊筒16a的外周表面的大致上半部处，干燥用气体喷嘴(gas nozzle)16e面对比空涂敷辊筒16a的外周表面的上端还在上述预定旋转方向的上游侧的预定位置。在空涂敷辊筒16a的外周表面的大致上半部处，医用刀片(doctor blade)16f相对于与干燥用气体喷嘴16e的对置位置处而接触到上述预定旋转方向的上游侧的临界位置。

然后，如上所述，参照图2及图3说明在加入到彩色滤光片制造工序中的具有涂敷液供给装置10的狭缝涂敷式涂敷装置12的动作。

如图2中实线所示，当在第1位置16处配置狭缝涂敷式涂敷装置12的涂敷头14时，在涂敷液供给机构10b中就已充满了涂敷液。

如图2中用2点虚线所示，涂敷头14移动到第2位置18在基板20上涂敷涂敷液之前，如果涂敷液供给机构10b的开关阀10d在预定时间暂且开启，那么在第1位置16处配置的涂敷头14就从空涂敷辊筒16a的外周表面的上端流出利用泵10加压的涂敷液。

其间空涂敷辊筒16a按上述预定的旋转方向以预定的旋转速度进行旋转。旋转的空涂敷辊筒16a的外周表面上部流出的涂敷液大部分是通过清洁液槽16b中的清洁液WL从上述外周表面分离出来。利用医用刀片16f划落远离清洁液WL的上述外周表面的上部残留的涂敷液。而且，最后通过从干燥气体喷嘴16e中喷出的气体例如氮气干燥上述外周表面。

在第1位置16处，通过泵10c加压的涂敷液就从涂敷头14的狭缝状开口14a流出到空涂敷辊筒16a的外周表面的上端，其间暴露在狭缝状开口14a中、可能混入有外界杂质的这部分涂敷液被废弃。并且同时，狭缝状开口14a内被充满新鲜的涂敷液。

此后立刻关闭涂敷液供给机构10b的开关阀10d，经泵10c加压的涂敷液采用涂敷液压力控制机构10g、通过控制泵10c的动作、使得泵10c和开关阀10d之间的压力到达所期望的值。在此实施例中，涂敷液检测机构10f通过检测隔膜驱动机构DD的作动油的压力来间接地检测出其间上述加压涂敷液的压力。而且，涂敷液压力检测机构10f向涂敷液压力控制机构10g输出检测出对应于作动油压力(即，上述加压涂敷液的压力)的涂敷液压力信号。

如上所述，开关阀10d关闭的同时，涂敷头14移动到第2位置18，第2位置基板20上预定区域的一端(即，涂敷开始的位置)与狭缝状开口14a相对。

如果涂敷液压力控制机构10g检测出作动油压力(即上述给涂敷液加压的压力)为上述所希望的涂敷液压力控制机构10g的值，敷液压力控制机构10g就开启开关阀10d。结果，压力保持上述所希望的数值，从泵10c到涂敷头14的狭缝状开口14a处之间的涂敷液供给机构10b中充满的预定量的涂敷液就保持预定的压力、在狭缝状开口14a处向基板20的预定区域上挤压出来。

开启开关阀10d的同时，涂敷头14和基板20之一的任意一方以相对预定的速度向另一方移动。因此，在保持预定压力(即保持预定的流出量)的预定量的涂敷液就从狭缝状开口14a、从第2位置的基板20上预定区域的一端(即涂敷开始位置)起向另一端(即涂敷结束位置)进行预定厚度的涂敷。

此后，涂敷头14返回到第1位置16处，为了对接下来的基板20进行涂敷液的涂敷，反复操作上述程序。

如上所述，正如构成具有如上所述动作的涂敷液供给装置10的狭缝涂敷式涂敷装置那样，如图1和图4所示，与图1示出的传统技术场合相比、相对基板20，涂敷头14开始涂敷涂敷液能起以更短时间在基板20上涂敷的涂敷液厚度达到所希望的一定的厚度(即从涂敷头14流出的涂敷液的量是所希望的一定量)。

通过图5和图6分别对比地加以说明这种效果。

图5示出了在传统狭缝涂敷式涂敷装置的涂敷液供给装置的涂敷液供给机构(导管：pipe)中、从开始涂敷涂敷液之前(即涂敷液流出前)到开始涂敷涂敷液之后(即涂敷液流出后)、涂敷液加压泵和涂敷头之间测量出的涂敷液压力值的变化。

这里，为了涂敷均匀，从涂敷液涂敷开始到结束时没有利用涂敷液加压泵达到必要的所希望压力值而对涂敷液进行加压。因此，涂敷液从涂敷液涂敷一开始就从涂敷头的狭缝状开口开始流出，由此涂敷液的压力就立即下降。随后经过较短的时间，受涂敷液加压泵加压影响，为了均匀涂敷，涂敷液的压力慢慢地达到必要的所期望的值。即，从涂敷液开始涂敷、从涂敷头的狭缝状开口处涂敷液的流出量要到达所期望的值，就需要一定的时间。

图6示出了在上述第1实施例中狭缝涂敷式涂敷装置12的涂敷液供给装置10的涂敷液供给机构中、涂敷液涂敷开始之前(即涂敷液流出前)到涂敷液涂敷开始后(即涂敷液流出后)、泵10c和开关阀10d之间(即，涂敷液压力检测机构10f)测量出的涂敷液压力值的变化。

这里，为了均匀涂敷，在涂敷液涂敷开始之前(即开关阀10d开启之前)，涂敷液的上述压力将保持比必要的所期望的值更大的所期望的预定压力值。而且，在涂敷液涂敷开始之后(即，开关阀开启之后)、涂敷液从涂敷头14的狭缝状开口14一旦开始流出，涂敷液的压力就立即下降。但是，因为立即受到泵10c的预定压力的影响，涂敷液的压力就会稳定在所期望的值上。即，从涂敷液涂敷开始、从涂敷头的狭缝状开口流出的涂敷液的流出量就立即稳定在所期望的值上。

利用图7加以说明上述效果。

图7示出了通过利用上述第1实施例中的狭缝涂敷式涂敷装置12在基板20的预定区域上涂敷涂敷液、在上述预定区域内形成的涂敷液的膜厚随涂敷液的涂敷开始位置的距离变化的状态，以及通过利用传统的狭缝涂敷式涂敷装置在基板预定区域内涂敷涂敷液、在上述预定区域内形成的涂敷液膜厚随涂敷液的开始涂敷位置的距离而变化的状态。

这里，使用传统的狭缝涂敷式涂敷装置的场合下，在基板的预定区域内涂敷液开始涂敷起、必须在较长时间内(即，从涂敷开始位置的较长距离)将预定区域内涂敷的涂敷液膜厚稳定为所期望的一定厚度。

与此相反，在使用上述第1实施例中的狭缝涂敷式涂敷装置12的场合下，在基板20的预定区域内从涂敷液涂敷开始，就立即将上述预定区域内涂敷的涂敷液膜厚稳定为所期望的一定厚度。

第1实施例的变形例

此外，参照图2至图7，根据上述本发明第1实施例的涂敷液供给装置10，涂敷液压力检测机构10f通过检测隔膜驱动机构DD的作动油压力来检测出利用隔膜泵10c对涂敷液施加的压力，如图2中的两点虚线所示，从隔膜泵10c的涂敷液流入、流出室C分流的涂敷液分流机构10i中设置了涂敷液压力检测机构10f。

在此场合下，可获得与根据上述本发明第1实施例的涂敷液供给装置10同样的效果。

第2实施例

其次，参照图8到图15，详细说明根据本发明第2实施例的具有涂敷液供给装置的狭缝涂敷式涂敷装置。

图8用实线简要示出了根据本发明第2实施例的伴随有涂敷液供给装置10的狭缝涂敷式涂敷装置12的整体构造。

根据第2实施例的具有涂敷液供给装置10的狭缝涂敷式涂敷装置12的多数组成部分中的一部分、与参照图1至图7已经说明的根据本发明第1实施例的伴随有涂敷液供给装置10的狭缝涂敷式涂敷装置12的多数组成部分中的一部分是相同的。因此，对于第2实施例的伴随有涂敷液供给装置10的狭缝涂敷式涂敷装置12的多数组成部分的这样的一部分，给出了与本发明第1实施例的伴随有涂敷液供给装置10的狭缝涂敷式涂敷装置12的多数组成部分中相对应的组成部分的标号相同的标号，并省略了对这一部分的组成部件的详细说明。

此外，在本实施例中，为了在液晶显示器的彩色滤光片制造工序中制造狭缝涂敷式涂敷装置12，而且，为了在基板20上形成至少1层彩色滤光片，使用涂敷液例如抗蚀剂。

与根据第1实施例的涂敷液供给装置10不同，根据第2实施例的涂敷液供给装置10配置了利用涂敷液压力检测机构10f检测出的通过泵加压的涂敷液的压力超出所期望值的幅度而发出警报的涂敷液压力不良警报机构22。

涂敷液压力不良警报机构22包含：将来自涂敷液压力检测机构10f的涂敷液压力信号和在涂敷液压力不良警报机构22中预先设定的所期望的涂敷液压力的上限值和下限值通过比较器22a输入的压力不良警报控制部22b。

压力不良警报控制部22b连接有作为警报发生机构的一种的警报器22c。此外，压力不良警报控制部22b还使用控制狭缝涂敷式涂敷装置12的整体动作用的CPU的显示装置DSP来作为警报发生机构的一种。

其次，参照图9示出的流程图说明根据第2实施例的涂敷液供给装置10中特有的压力不良警报控制部22b的动作。

利用涂敷头14一旦开始涂敷液的涂敷作业，就通过比较器22a比较来自涂敷液压力检测机构10f的涂敷液压力信号和由涂敷液压力不良警报机构预先设定的所期望的涂敷液压力的上限值和下限值，狭缝涂敷式涂敷装置12的涂敷头14就相对于基板20的预定区域向第2位置18移动。

还有，在上述比较的基础上，压力不良警报控制部22b实际上就从涂敷涂敷液作业开始直到经过预先设定的预定时间执行压力不良警报作业。上述预定的时间是从涂敷液的涂敷作业开始将从涂敷头14流出的涂敷液的压力稳定在预定的一定值上所需的时间。

如果涂敷液压力信号在上述上限和上述下限值的范围内，上述涂敷液的涂敷作业就在到达基板20的预定区域的终端为止(即，到涂敷涂敷液作业结束)持续进行。此时，涂敷液的涂敷作业持续进行的表示由CPU的显示装置DSP显示出来。

上述比较持续到涂敷液的涂敷作业结束为止。

如果在涂敷液的涂敷作业中涂敷液压力信号超过上限值或者比上述下限值还低时，涂敷液压力不良警报机构22的警报器22c就发出警报。在此情况下，本实施例的涂敷液压力不良警报机构22的CPU的显示装置DSP就显示出涂敷液压力异常并通过CPU停止涂敷液的涂敷作业。

如图8中点划线所示，根据第2实施例的涂敷液供给装置10也可以集成如图2中所示的根据第1实施例的配置了涂敷液压力控制机构10g结构的涂敷液供给装置10。

此外，涂敷液压力检测机构10f可以替换为在涂敷液分流机构10i中设置的涂敷液压力检测机构10f。

图10示出了在上述涂敷涂敷液作业开始后、涂敷液压力不良警报机构22的控制部22b从开始动作到上述动作结束之间控制部22b检测出涂敷液压力不良而发出涂敷液压力不良警报时、利用涂敷液压力检测机构10f检测的涂敷液压力随涂敷液压力检测所经过时间的变化状态。

而且，图11示出了在图10的场合下、涂敷液膜厚随相对于在基板20的预定区域内涂敷长度的变化状态。图11中表明，在图10的场合下、对基板20的预定区域内的涂敷作业期间、在上述预定区域内形成的所期望厚度的涂敷液膜。

图12示出了在上述涂敷液的涂敷作业开始后、一旦涂敷液压力不良警报机构22的控制部22b开始动作、控制部22b就检测出涂敷液压力不良并发出涂敷液压力不良警报的场合下，涂敷液压力随使用涂敷液压力检测机构10f的涂敷液压力检测经历时间的变化的状态。

在此情况下，其原因是在上述涂敷涂敷液作业开始后泵对涂敷液加压不充分。

而且，图13示出了在图12场合下、对基板20预定区域的涂敷液膜厚随涂敷长度变化的状态。图13中表明，在图12的场合下、相对于基板20的预定区域的涂敷作业开始之后并没有形成所期望厚度的涂敷液膜。

图14示出了在上述涂敷作业开始后、从涂敷液压力不良警报机构22的控制部22b开始动作起到上述动作结束期间、控制部22b检测出涂敷液压力不良并发出涂敷液压力不良警报的场合下，涂敷液压力随根据涂敷液压力检测机构10f的涂敷液压力检测经历时间变化的状态。

在此情况下，原因是涂敷液供给机构10b的各个部件(例如，逆止阀10h、泵、开关阀10d和过滤器)、涂敷液供给机构10b本身和涂敷头14在上述过程期间至少任一个出现了动作不良。

而且，图15示出了在图14的场合下、对基板20的预定区域的涂敷液膜厚随涂敷长度变化的状态。从图15可知，在图14的场合下、在对基板20的预定区域的涂敷作业期间，不能形成所期望厚度的涂敷液膜。

Claims (25)

1.一种涂敷液供给装置，其与具有与基板对向配置的具有狭缝状开口的涂敷头，并利用上述涂敷头和上述基板的任意一个相对于另一个的移动，对上述基板以预定厚度涂敷预定量的涂敷液的狭缝涂敷式涂敷装置相组合来使用，并向上述涂敷头提供预定量的涂敷液，其特征在于，包括：

在涂敷液源和上述狭缝涂敷式涂敷装置中的上述涂敷头之间延伸出的涂敷液供给机构；

在上述涂敷液供给机构中，给上述涂敷液供给机构中的涂敷液加压的泵；

在上述涂敷液供给机构中介于上述泵和上述涂敷头之间的开关阀；

检测出被上述泵加压后的涂敷液压力，输出涂敷液压力信号的涂敷液压力检测机构，以及

输入上述涂敷液压力检测机构检测出的涂敷液压力信号，为了通过上述涂敷头对上述基板以预定厚度涂敷预定量的涂敷液，将上述开关阀即将开启前的通过上述泵加压的涂敷液的压力变成为所期望的值地控制上述泵动作的涂敷液压力控制机构。

2.根据权利要求1的涂敷液供给装置，其特征在于，

上述泵是隔膜泵，

在上述涂敷液供给机构中，逆止阀位于上述隔膜泵的上游侧，

从上述隔膜泵的涂敷液流入、流出室分支充满涂敷液的涂敷液分流机构，并且，

上述涂敷液压力检测机构设置在涂敷液分流机构中。

3.根据权利要求1的涂敷液供给装置，其特征在于，

上述泵是隔膜泵，

在上述涂敷液供给机构中，逆止阀位于所述隔膜泵的上游侧。

上述隔膜泵的隔膜介由作动油传送活塞的往复动作来进行往复动作，而且，

上述涂敷液压力检测机构通过检测上述作动油的压力来检测出通过上述隔膜泵加压的涂敷液的压力。

4.一种狭缝涂敷式涂敷装置，具有与基板对向配置的具有狭缝状开口的涂敷头和向上述涂敷头提供预定量的涂敷液的涂敷液供给装置，利用上述涂敷头和上述基板的任意一个相对于另一个的移动，对上述基板以预定厚度涂敷预定量的涂敷液，其特征在于：

上述涂敷液供给装置包括：

在涂敷液源和上述狭缝涂敷式涂敷装置中的上述涂敷头之间延伸出的涂敷液供给机构；

在上述涂敷液供给机构中，给上述涂敷液供给机构中的涂敷液加压的泵；

在上述涂敷液供给机构中介于上述泵和上述涂敷头之间的开关阀；

检测出利用上述泵加压后的涂敷液压力，输出涂敷液压力信号的涂敷液压力检测机构；以及

输入上述涂敷液压力检测机构检测出的涂敷液压力信号，为了对上述基板通过上述涂敷头以预定厚度涂敷预定量的涂敷液，将上述开关阀即将开启前的通过上述泵加压的涂敷液的压力变成为所期望的值地控制上述泵动作的涂敷液压力控制机构。

5.根据权利要求4的狭缝涂敷式涂敷装置，其特征在于：

上述涂敷液供给装置的上述泵是隔膜泵，在上述涂敷液供给装置的涂敷液供给机构，逆止阀位于上述隔膜泵的上游侧，

从上述隔膜泵的涂敷液流入、流出室分支充满涂敷液的涂敷液分流机构，而且，上述涂敷液压力检测机构设置在上述涂敷液分流机构中。

6.根据权利要求4的狭缝涂敷式涂敷装置，其特征在于：

上述涂敷液供给装置的上述泵是隔膜泵，在上述涂敷液供给装置的涂敷液供给机构，逆止阀位于上述隔膜泵的上游侧，

上述隔膜泵的隔膜介由作动油传送活塞的往复动作来进行往复动作，而且，

上述涂敷液压力检测机构通过检测上述作动油的压力来检测出被上述隔膜泵加压的涂敷液的压力。

7.根据权利要求4到6中的任意一项的狭缝涂敷式涂敷装置，其特征在于：

在通过上述涂敷头、对上述基板以预定厚度涂敷预定量涂敷液之前，上述涂敷液供给装置的上述开关阀暂且开启，经上述泵加压的涂敷液就从上述涂敷头的上述狭缝状开口流出，由此上述狭缝状开口内充满涂敷液，

然后，上述开关阀关闭，为了对上述基板通过上述涂敷头以预定厚度涂敷预定量的涂敷液，上述涂敷液压力控制机构控制泵的动作，以使得在上述开关阀开启前使通过上述泵加压的涂敷液的压力变成为所期望的值。

8.根据权利要求4到6中的任意一项的狭缝涂敷式涂敷装置，其特征在于：

在液晶显示器用的彩色滤光片制造工序中加入上述狭缝涂敷式涂敷装置，而且，为了在上述基板上形成彩色滤光片的至少1层，使用上述涂敷液。

9.根据权利要求8中的狭缝涂敷式涂敷装置，其特征在于：

在对上述基板利用上述涂敷头以预定厚度涂敷预定量的涂敷液之前，上述涂敷液供给装置的上述开关阀暂且开启，通过上述泵加压的涂敷液就从上述涂敷头的上述狭缝状开口流出，由此上述狭缝状开口内就充满涂敷液，

然后，上述开关阀关闭，为了通过上述涂敷头对上述基板以预定厚度涂敷预定量的涂敷液，上述涂敷液压力控制机构控制上述泵的动作，以使得在上述开关阀开启之前使通过上述泵加压的涂敷液的压力变成为所期望的值。

10.一种涂敷液供给装置，组合具有与基板对向配置的具有狭缝状开口的涂敷头、利用上述涂敷头和上述基板的任意一方相对于另一方的相对移动，对上述基板以预定厚度涂敷预定量的涂敷液的狭缝涂敷式涂敷装置来使用，由此对上述涂敷头提供预定量的涂敷液，其特征在于包括：

在涂敷液源和上述狭缝涂敷式涂敷装置中的上述涂敷头之间延伸出的涂敷液供给机构；

在上述涂敷液供给机构中，将位于上述涂敷液供给机构中的涂敷液加压的泵；

在上述涂敷液供给机构中，位于上述泵和上述涂敷头之间的开关阀；

检测出由上述泵加压后的涂敷液压力，输出涂敷液压力信号的涂敷液压力检测机构；以及

输入上述涂敷液压力检测机构检测出的涂敷液压力信号，当由上述泵加压后涂敷液的压力在所期望值的幅度之外，发出警报的涂敷液压力不良警报机构。

11.根据权利要求10的涂敷液供给装置，其特征在于：

上述泵是隔膜泵，

在上述涂敷液供给机构中逆止阀位于上述隔膜泵的上游侧，

从上述隔膜泵的涂敷液流入、流出室分支充满涂敷液的涂敷液分流机构，并且，

上述涂敷液压力检测机构设置在上述涂敷液分流机构中。

12.根据权利要求11的涂敷液供给装置，其特征在于：

上述涂敷液压力不良警报机构在发出上述警报的同时利用上述涂敷头停止对于上述基板的涂敷液的涂敷作业。

13.根据权利要求10的涂敷液供给装置，其特征在于：

上述泵是隔膜泵，

在上述涂敷液供给机构中，逆止阀位于上述隔膜泵的上游侧，

上述隔膜泵的隔膜介由作动油被传送活塞的往复动作来进行往复动作，而且，上述涂敷液压力检测机构通过检测上述作动油的压力来检测出通过上述隔膜泵加压的涂敷液的压力。

14.根据权利要求13的涂敷液供给装置，其特征在于：

上述涂敷液压力不良警报机构在发出上述警报的同时利用上述涂敷头停止对于上述基板的涂敷液的涂敷作业。

15.根据权利要求10到14中的任意1项的涂敷液供给装置，其特征在于：

上述涂敷液供给装置还具备：输入上述涂敷液压力检测机构检测出的涂敷液压力信号，为了利用上述涂敷头对上述基板以预定厚度涂敷预定量的涂敷液，在上述开关阀开启之前使通过上述泵加压的涂敷液的压力变为所期望的值地控制上述泵的动作的涂敷液压力控制机构。

16.一种狭缝涂敷式涂敷装置，其特征在于，具有与基板对向配置具有狭缝状开口的涂敷头，和对上述涂敷头提供预定量的涂敷液的涂敷液供给装置，利用上述涂敷头和上述基板的任意一个相对于另一方的移动，对上述基板以预定厚度涂敷预定量的涂敷液；

上述涂敷液供给装置具备：

在涂敷液源和上述狭缝涂敷式涂敷装置中的上述涂敷头之间延伸出的涂敷液供给机构；

在上述涂敷液供给机构中，将上述涂敷液供给机构中的涂敷液加压的泵；

在上述涂敷液供给机构中，位于上述泵和上述涂敷头之间的开关阀；

检测出利用上述泵加压后的涂敷液压力并输出涂敷液压力信号的涂敷液压力检测机构；以及

输入上述涂敷液压力检测机构检测出的涂敷液压力信号，通过上述泵加压后的涂敷液压力在期望值幅度之外时，发出警报的涂敷液压力不良警报机构。

17.根据权利要求16的狭缝涂敷式涂敷装置，其特征在于：

上述涂敷液供给装置的上述泵是隔膜泵，

在上述涂敷液供给装置的上述涂敷液供给机构中，逆止阀位于上述隔膜泵的上游侧，

从上述隔膜泵的涂敷液流入、流出室分支充满涂敷液的涂敷液分流机构，并且，上述涂敷液压力检测机构设置在上述涂敷液分流机构中。

18.根据权利要求17的狭缝涂敷式涂敷装置，其特征在于：

上述涂敷液压力不良警报机构在发出上述警报的同时停止利用上述涂敷头对上述基板的涂敷液的涂敷作业。

19.根据权利要求16的狭缝涂敷式涂敷装置，其特征在于：

上述涂敷液供给装置的上述泵是隔膜泵，

在上述涂敷液供给装置的上述涂敷液供给机构中，逆止阀位于上述隔膜泵的上游侧，

上述隔膜泵的隔膜介由作动油被传送活塞的往复动作来进行往复动作，而且，

上述涂敷液压力检测机构通过检测上述作动油的压力来检测出通过上述隔膜泵加压的涂敷液的压力。

20.根据权利要求19的狭缝涂敷式涂敷装置，其特征在于：

上述涂敷液压力不良警报机构在发出上述警报的同时停止利用涂敷头对上述基板的涂敷液的涂敷作业。

21.根据权利要求16到20中的任意1项的狭缝涂敷式涂敷装置，其特征在于：

上述涂敷液供给装置还具备：输入上述涂敷液压力检测机构检测出的涂敷液压力信号，为了利用上述涂敷头对上述基板以预定厚度涂敷预定量的涂敷液，在上述开关阀开启之前使通过上述泵加压的涂敷液的压力变为所期望的值地控制上述泵的动作的涂敷液压力控制机构。

22.根据权利要求21中的狭缝涂敷式涂敷装置，其特征在于：

在利用上述涂敷头对上述基板以预定厚度涂敷预定量的涂敷液之前，上述涂敷液供给装置的上述开关阀暂且开启，通过上述泵加压的涂敷液从上述涂敷头的上述狭缝状开口流出，由此上述狭缝状开口内就充满涂敷液，

然后，上述开关阀关闭，为了利用上述涂敷头对上述基板以预定厚度涂敷预定量的涂敷液，上述涂敷液压力控制机构控制泵的动作，以使得在上述开关阀开启前通过上述泵加压的涂敷液的压力变成所期望的值。

23.根据权利要求16到20中的任意1项的狭缝涂敷式涂敷装置，其特征在于：

在液晶显示器用的彩色滤光片制造工序中加入上述狭缝涂敷式涂敷装置，而且，上述涂敷液被用于在上述基板上形成彩色滤光片的至少1层。

24.根据权利要求23中的狭缝涂敷式涂敷装置，其特征在于：

上述涂敷液供给装置具备：输入将上述涂敷液压力检测机构检测出的涂敷液压力信号，由述涂敷头对上述基板以预定厚度涂敷预定量的涂敷液，在上述开关阀开启之前使通过上述泵加压的涂敷液的压力达到所期望的值地控制上述泵的动作的涂敷液压力控制机构。

25.根据权利要求24中的狭缝涂敷式涂敷装置，其特征在于：

在利用上述涂敷头对上述基板以预定厚度涂敷预定量的涂敷液之前，上述涂敷液供给装置的上述开关阀暂且开启，使通过上述泵加压的涂敷液从上述涂敷头的上述狭缝状开口流出，由此上述狭缝状开口内充满涂敷液，

然后，上述开关阀关闭，为了利用上述涂敷头对上述基板以预定厚度涂敷预定量的涂敷液，上述涂敷液压力控制机构控制泵的动作，以使得在上述开关阀开启前通过上述泵加压的涂敷液的压力变成所期望的值。

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