CN1819895A - 板状工件研磨装置以及板状工件的研磨方法 - Google Patents

Abstract

在抛光辊研磨印刷基板板材等薄的板状工件过程中，设置着将通过抛光辊和支承辊之间的板状工件向输送辊导向的导向部件，同时在输送过程中，使抛光辊停止旋转或使抛光辊反转，由此在依靠抛光辊研磨表面时，来防止因薄板状工件产生弯曲而使板状工件弯折。此外，因包括：至少能够防止含有研磨辊组发生的研磨渣的水花向工件输送方向飞溅的遮蔽部件，以及将被遮蔽部件遮挡的水输送到设备以外的输送通路，由此能够防止产生凹痕或划伤，同时又可以消除以下不良原因，即：通过印刷基板板材层间的孔而进行导电连接的不良。

Description

板状工件研磨装置以及板状工件的研磨方法

技术领域

本发明涉及一种对印刷基板板材等板状工件表面进行研磨的板状工件研磨装置和板状工件的研磨方法，尤其是涉及一种能够对应0.1mm以下的极薄板状工件的板状工件研磨装置和板状工件的研磨方法。

背景技术

印刷基板板材以平滑度加工等为目的，需要对它的正反面进行研磨，在这种研磨中大多采用板状工件研磨装置。

抛光辊式研磨装置交替设置下面研磨辊组和上面研磨辊组，其中下面研磨辊组将抛光辊配置在下侧而支承辊配置在上侧；上面研磨辊组将抛光辊配置在上侧而将支承辊配置在下侧，在这些抛光辊和支承辊之间通过印刷基板板材，对这些板材的正反面进行研磨。

在进行研磨时，为了洗去研磨渣并减小摩擦阻力，在板状工件上浇大量的水。此外，印刷基板板材的输送由上下相对配置的输送辊进行。

上述下面研磨辊组用于对板状工件的下面进行研磨，而上面研磨辊组对它的上面进行研磨。这些研磨辊组的抛光辊、支承辊共同向输送印刷基板板材的方向转动，为了进行研磨，抛光辊旋转的圆周速度比支承辊和输送辊快很多。

在以下的说明中，将加在抛光辊式研磨装置中的印刷基板板材的输送方向称为下游侧，而和该下游侧相反的方向称为上游侧。此外，把印刷基板板材下游侧的端部称为前端部，把上游侧的端部称为后端部。

近年来，随着电子设备的小型化需求，承载在它们之上的印刷基板也需要薄型化。为了使印刷基板做成薄型，也就需要使由铜板构成的印刷基板板材很薄。

发明内容

但是，利用现有的板状工件研磨装置对厚度尺寸在0.1mm以下的印刷基板板材进行研磨时，就会产生下面的问题。

(1)印刷基板板材中被研磨的一面以突出的形式弯曲，而厚度尺寸小时弯曲的程度更大。因此，在从研磨辊组出来，被移动到上下方向配置的由输送辊形成的输送辊组时，印刷基板板材的前端部就有折断的危险。也就是印刷基板板材在弯曲状态进入到构成输送辊组的输送辊之间时，印刷基板板材的前端部就会被输送辊翻折，因而产生次品的概率就可能很高。

(2)由于如前所述的抛光辊旋转的圆周速度要比输送辊等快，所以承受着该抛光辊旋转力的印刷基板板材就有在研磨辊组和在该研磨辊组更下游侧的输送辊组之间产生弯曲。

(3)印刷基板板材通过研磨辊组之后，印刷基板板材的后端部就会紧接着接触到该研磨辊组正在旋转的抛光辊，从而产生弯折，有造成次品的危险。

(4)在上面研磨辊组中，抛光辊设置在上侧，在被研磨的印刷基板板材上浇水，因此含有研磨渣的水会向下游方向和上游方向飞溅，这些研磨渣就会搭载在由输送辊组输送的印刷基板板材的上面上。因此，如此通过输送辊组和研磨辊组之间时，承载研磨渣的部分就会因辊压力而塌下，产生凹状伤痕或划痕，这也会造成次品。

进而，如果研磨渣进入到印刷基板板材上形成的孔内，则通过该孔在印刷基板板材的层间就会产生导电接触不良的问题。

鉴于上述问题，本发明的目的在于提供一种板状工件研磨装置，能够既使在极薄的印刷基板板材等板状工件中也能够防止(1)上述前端部弯折、(2)因中间部弯曲而折断、(3)后端部弯折、(4)凹状伤痕或划痕，且能消除以下不良原因，即：通过印刷基板层间的孔而进行导电连接的不良。

为了完成这种目的，本申请第1项发明为一种板状工件研磨装置，包括：由抛光辊和相对该抛光辊设置的支承辊构成的多个设置的研磨辊组；使上述抛光辊旋转的抛光辊驱动机构；使上述支承辊旋转的支承辊驱动机构；对上述抛光辊驱动机构和支承辊驱动机构进行控制的控制机构；输送板状工件的输送辊，该板状工件研磨装置将印刷基板板材等板状工件供给于上述抛光辊和上述支承辊之间，对板状工件的表面进行研磨，其特征在于，还包括将在上述研磨辊组的抛光辊和支承辊之间通过的板状工件向输送辊导向的导向部件。

本申请第2项发明为一种板状工件研磨装置，包括：由抛光辊和相对该抛光辊设置的支承辊构成的多个设置的研磨辊组；使上述抛光辊旋转的抛光辊驱动机构；使上述支承辊旋转的支承辊驱动机构；对上述抛光辊驱动机构和支承辊驱动机构进行控制的控制机构；输送板状工件的输送辊，该板状工件研磨装置将印刷基板板材等板状工件供给于上述抛光辊和上述支承辊之间，对板状工件的表面进行研磨，其特征在于，在上述研磨辊组中，交替设置着下面研磨辊组和上面研磨辊组，其中，下面研磨辊组将抛光辊配置在下侧而将支承辊配置在上侧；上面研磨辊组将抛光辊配置在上侧而将支承辊配置在下侧，且包括向被研磨的板状工件浇水的水供给机构，还包括遮蔽部件，该遮蔽部件至少防止下述水花向工件输送方向飞溅，该水花为含有上述上面研磨辊组中产生的研磨渣的水花。

本申请第3项发明为一种如第2项发明记载的板状工件研磨装置，其特征在于包括用于将被遮蔽部件遮挡的水输送到设备以外的输送通路。

本申请第4项发明为一种如第3项发明记载的板状工件研磨装置，其特征在于遮蔽部件和输送通路整体成形。

本申请第5项发明为一种如第2-4项中任一项记载的板状工件研磨装置，其特征在于遮蔽部件形成沿上面研磨辊组的抛光辊周面弯曲的形状，上述遮蔽部件设置成能够覆盖抛光辊周面的至少一部分。

本申请第6项发明为一种板状工件研磨装置，包括：由抛光辊和相对该抛光辊设置的支承辊构成的多个设置的研磨辊组；使上述抛光辊旋转的抛光辊驱动机构；使上述支承辊旋转的支承辊驱动机构；对上述抛光辊驱动机构和支承辊驱动机构进行控制的控制机构；输送板状工件的输送辊，该板状工件研磨装置将印刷基板板材等板状工件供给于上述抛光辊和上述支承辊之间，对板状工件的表面进行研磨，其特征在于，在板状工件的后端部从上述抛光辊和上述支承辊之间出来之前，上述控制机构进行使抛光辊停止转动的控制。

本申请第7项发明为一种板状工件研磨装置，包括：由抛光辊和相对该抛光辊设置的支承辊构成的多个设置的研磨辊组；使上述抛光辊旋转的抛光辊驱动机构；使上述支承辊旋转的支承辊驱动机构；对上述抛光辊驱动装置和支承辊驱动机构进行控制的控制机构；沿输送方向旋转以输送板状工件的输送辊，该板状工件研磨装置将印刷基板板材等板状工件供给于沿上述板状工件输送方向上旋转的上述抛光辊和支承辊之间，从而对板状工件的表面进行研磨，上述抛光辊旋转的圆周速度比上述输送辊的圆周速度要快，上述支承辊沿上述板状工件的输送方向旋转，其特征在于，板状工件的一部分位于研磨辊组的抛光辊和支承辊之间、且板状工件的前端部进入一对输送辊之间，该一对输送辊夹着上述研磨辊组在板状工件的输送方向上相对设置，而且在该板状工件的后端部从另一对输送辊之间离开之前，上述控制机构对上述抛光辊进行控制，使上述抛光辊暂时地向与板状工件输送方向相反的方向旋转，上述另一对输送辊以夹着上述研磨辊组的方式在板状工件输送方向的反方向上相对设置。

本申请第8项发明为一种板状工件的研磨方法，将印刷基板板材等板状工件供给于抛光辊和支承辊之间，一边向板状工件浇水一边对板状工件的表面进行研磨，其特征在于，至少一边防止含有研磨渣的水花向工件输送方向侧的飞溅一边进行对板状工件研磨。

本申请第9项发明为一种如第8项记载的板状工件研磨方法，其特征在于将遮蔽部件遮挡的水输送到设备以外。

本申请第10项发明为一种板状工件的研磨方法，将印刷基板板材等板状工件供给于抛光辊和支承辊之间，对板状工件的表面进行研磨，其特征在于在板状工件从上述抛光辊和上述支承辊之间出来之前，使抛光辊停止转动。

本申请第11项发明为一种板状工件的研磨方法，利用由抛光辊和相对该抛光辊设置的支承辊构成的多个设置的研磨辊组、以及在板状工件输送方向上旋转的输送辊，一边使上述抛光辊沿印刷基板板材等板状工件的输送方向上以圆周速度快于上述输送辊圆周速度的方式进行旋转，一边使支承辊在上述板状工件的输送方向上旋转，以对供给于抛光辊和支承辊之间的板状工件表面进行研磨，其特征在于，板状工件的一部分位于研磨辊组的抛光辊和支承辊之间，且板状工件的前端部进入到一对输送辊之间，该一对输送辊夹着上述研磨辊组在板状工件的输送方向上相对设置，而且该板状工件的后端部在从另一对输送辊之间离开之前，使上述抛光辊暂时的向与板状工件输送方向相反的方向旋转，上述另一对输送辊以夹着上述研磨辊组的方式在板状工件输送方向的反方向上相对设置。

本申请第12项发明为一种如第11项记载的板状工件研磨方法，其特征在于，上述抛光辊在板状工件输送方向的反方向上暂时旋转时的圆周速度要小于上述抛光辊在板状工件输送方向上旋转时的圆周速度。

附图说明

图1是本发明实施例中板状工件研磨装置的立体图。

图2是本发明实施例中板状工件研磨装置内部的结构的示意图。

图3是本发明实施例中板状工件研磨装置的部分立体图。

图4是本发明实施例中板状工件研磨装置的部分立体图。

图5是本发明实施例中板状工件研磨装置的部分立体图。

图6是本发明实施例中板状工件研磨装置的部分立体图。

图7是本发明实施例中板状工件研磨装置的控制系统示意图。

图8是说明本发明实施例中板状工件研磨装置动作的示意图。

图9是说明导致印刷基板板材因研磨而产生延长的原因(偏移)的图。

图10是说明本发明实施例中板状工件研磨装置动作的示意图。

图11是说明本发明实施例中板状工件研磨装置动作的示意图。

图12是本发明实施例中遮蔽板和流槽的立体图。

图13是本发明实施例中遮蔽板和流槽的立体图。

图14是本发明实施例中遮蔽板和流槽的立体图。

图15是本发明实施例中遮蔽板和流槽的立体图。

图16是本发明实施例中遮蔽板和流槽的立体图。

图17是本发明实施例中遮蔽板和流槽的立体图。

图18是本发明实施例中遮蔽板和流槽的立体图。

图19是本发明实施例中遮蔽板和流槽的立体图。

图20是图19的主视图。

具体实施方式

下面，说明本发明实施例中的板状工件研磨装置1。

图1、图2中的标号3表示机架，该机架3上形成入口31和出口32，进而下面研磨辊组5a、5c，上面研磨辊组7b、7d以下面研磨辊组5a在最前的方式交替地设置。即，下面研磨辊组5a、上面研磨辊组7b、下面研磨辊组5c、上面研磨辊组7d依次向下游侧方向设置。

下面研磨辊组5a、5c由设在下侧的抛光辊9和设在上侧的支承辊11彼此相对设置而构成。此外，上面研磨辊组7b、7d由设在上侧的抛光辊9和设在下侧的支承辊11彼此相对设置而构成。

抛光辊9包括研磨用的抛光筒，且抛光辊9的轴12可自由旋转地靠轴承13支承。在该轴12的一端安装着皮带轮15。

标号17a表示抛光辊用电机，在该抛光辊用电机17a的驱动轴18上，安装着皮带轮19。V形带21跨接在该皮带轮19和上述轴12的皮带轮15上。

由轴12、皮带轮15、抛光辊用电机17a、皮带轮19和V形带21构成了抛光辊驱动机构。

标号23a表示支承辊用电机(参考图2)，在该支承辊用电机23a的驱动轴24上也安装着皮带轮25。而且在支承辊11的轴27上也安装着皮带轮29，该皮带轮29和皮带轮25之间跨接着V形带(未示出)。

轴27、皮带轮29、支承辊用电机23a、皮带轮25和未示出的V形带构成了支承辊驱动机构。

由于另一个下面研磨辊组5c的抛光辊9和支承辊11的驱动机构，同上述下面研磨辊组5a具有相同的结构，所以基本加上了相同的标号而省去了这部分说明。但是，为了便于说明，用标号17c表示抛光辊用电机，用标号23c表示支承辊用电机。

由于上面研磨辊组7b、7d的抛光辊9和支承辊11的驱动机构也同上述下面研磨辊组5a具有相同的结构，所以基本加上了相同的标号而省去了这部分说明。但是，为了便于说明，用标号17b、17d表示抛光辊用电机，用标号23b、23d表示支承辊用电机。

抛光辊用电机17a、17b、17c、17d和支承辊用电机23a、23b、23c、23d均为脉冲电机。

形成有机架3的入口31，在该入口31的上游侧形成多个输送滚筒33，这些输送滚筒33由未示出的电机驱动旋转。

在输送滚筒33和下面研磨辊组5a之间，具有输送辊组35、37、39。且，在下面研磨辊组5a和上面研磨辊组7b之间，具有输送辊组41、输送辊组42和输送辊组43。上面研磨辊组7b和下面研磨辊组5c之间，包括着输送辊组45、输送辊组47和输送辊组49。在下面研磨辊组5c和上面研磨辊组7d之间，具有输送辊组51、输送辊组53和输送辊组55。进而，在上面研磨辊组7d的更下游侧，还设置着输送辊组57、59、61和输送辊63。

输送辊组41、43、45、47、49、51、53、55、57、59、61均由输送辊65和输送辊67构成。输送辊65和输送辊67由未示出的电机驱动旋转。

如图3详细所示，在下面研磨辊组5a和输送辊组41之间，具有导向部件69、70。导向部件69由截面呈L形的框架71以及固定在该框架71上、在该框架71宽度方向两侧突出的且由丙稀制成的薄板73、75构成。薄板73、75的厚度大约为1mm，具有柔性。且，薄板75比薄板73的宽度尺寸更大一些，且从框架71突出的尺寸也大一些。

导向部件70由截面呈L形的框架71以及薄板73构成，该薄板73固定在该框架71上，从该框架71宽度方向两侧突出且由丙稀制成，但该导向部件70并不包括薄板75。

导向部件69、70设置得以薄板73作为下游侧，由未示出的螺栓固定在机架3上，朝向上游侧敞开，并通往下游侧，因而相互之间的间隔很窄。即，导向部件69、70设置成朝向上游侧敞开成八字形。且，薄板75和下面研磨辊组5a的支承辊11的外周面相接。

此外在输送辊42的上侧具有导向部件70，由未示出的螺栓固定在机架3上。该导向部件70具有薄板73，该薄板73朝向下游侧，且薄板73一侧呈以降低的方式倾斜的姿态。

在上面研磨辊组7b和输送辊组45之间，具有导向部件69、70。这些导向部件69、70和设置在下面研磨辊组5a和输送辊组41之间的那些相同，但是与设置在上面研磨辊组7b和输送辊组45之间的导向部件69、70相比，却上下相反设置。即。导向部件70设置在上侧，导向部件69设置在下侧。导向部件69的薄板75和上面研磨辊组7b的支承辊11的外周面相接。

在下面研磨辊组5c和输送辊组51之间，具有导向部件69、70。这些导向部件69、70的姿态、固定方法均和设置在下面研磨辊组5a、输送辊组41之间的导向部件69、70相同。

在输送辊53的上侧具有导向部件70。该导向部件70的姿态、固定方法均与在输送辊42上侧具有的导向部件70相同。

在上面研磨辊组7d和输送辊组57之间，具有导向部件69、70。这些导向部件69、70的姿态、固定方法均和设置在上面研磨辊组7b、输送辊组45之间的导向部件69、70相同。

标号77表示供水管，该供水管77沿着抛光辊9延伸设置。在供水管77上，安装着多个喷口79，这些多个喷口79沿着供水管77的长方向排列。由这些供水管77和喷口79构成水供水机构。

在机架3内，作为长方形板状遮蔽部件的遮蔽板83固定在机架3上。遮蔽板83以包夹着上游侧的抛光辊9的方式分别设置在上游侧和下游侧，进而也可以设置在下游侧抛光辊9的上游侧。遮蔽板83的宽度尺寸和上面研磨辊组7b中抛光辊9的长度尺寸大致相同。在遮蔽板83的下端部，整体形成着作为输送通路的流槽85。流槽85设置在遮蔽板83下端部的左右两侧(上游侧和下游侧)，且流槽85在图3中向读者方向倾斜。

标号87表示工件检测用传感器87，该检测传感器87设置在机架3的入口31处稍微下游侧。

标号89表示操作箱，在该操作箱89中，容纳着构成控制装置90(参考图7)的各个电路，进而在操作箱89的前门91上设置着操作开关等。

如图7所示，在控制装置90上，传感器87、抛光辊用电机17a、17b、17c、17d、支承辊用电机23a、23b、23c、23d及电源93连在一起。

下面，说明利用该抛光辊式研磨装置1对印刷基板板材W进行研磨的方法。

首先，操作设置在操作箱89的前门91上的开关，来驱动抛光辊用电机17a、17b、17c、17d、支承辊用电机23a、23b、23c、23d及输送滚筒用电机33(未示出)。

在驱动抛光辊用电机17a、17b、17c、17d的驱动轴18的同时驱动皮带轮19，于是该驱动力通过V形带21传递到固定在轴12上的皮带轮15，从而使抛光辊9旋转。

在图2中，下面研磨辊组5a、5c的抛光辊9沿逆时针方向转动，上面研磨辊组7b、7d的抛光辊9沿顺时针转动。即，抛光辊9向印刷基板板材W的输送方向转动。

在驱动支承辊用电机23a、23b、23c、23d的驱动轴24的同时驱动皮带轮25，该驱动力通过未示出的V形带传递到固定在轴27上的皮带轮29，从而使支承辊11转动。

在图2中，下面研磨辊组5a、5c的支承辊11向顺时针方向转动，上面研磨辊组7b、7d的支承辊11沿逆时针方向旋转。即，支承辊11向印刷基板板材W的输送方向转动。

此外在图2中，输送滚筒33向逆时针方向旋转。进而，向供水管77供水，并从喷口79喷出水。

在该状态下，当作为板状工件的印刷基板板材W被搭载在输送滚筒33上时，印刷基板板材W由输送滚筒33向下游侧输送，此时通过传感器87探测印刷基板板材W的前端部。因而如后所述，在印刷基板板材W的输送途中，一边从喷口79向工件表面喷水，一边进行研磨。

下面说明由控制装置90的指令对抛光辊用电机17a、17c和支承辊用电机23a、23c的控制，抛光辊用电机17a、17c的正转、反转等以及停止、再启动等的定时均在传感器87探测到印刷基板板材W之后，通过计数该电机的脉冲来确定。

印刷基板板材W从机架3的入口31进入机架3内，被夹在输送辊组35、37、39的输送辊65和输送辊67之间，被输送到下面研磨辊组5a处。且，印刷基板板材的输送速度根据板厚和材质而有所不同，但一般为0.5～2.5m/分。但是，本发明并不限定于上述印刷基板板材的输送速度。

到达下面研磨辊组5a的印刷基板板材W通过抛光辊9和支承辊11之间，下表面被研磨。

如图8所示，印刷基板板材W的一部分在抛光辊9和支承辊11之间，且印刷基板板材W的前端部位于输送辊组41中相对设置的一对输送辊65、67之间，在印刷基板板材W的后端部从输送辊组39中相对设置的一对输送辊65、67之间脱离之前，即：从一对输送辊65、67之间出来之前，在印刷基板板材W输送方向的反方向(在图8中以实线箭头示出的顺时针转动方向)上使抛光辊9旋转。由此，就能够防止位于印刷基板板材W的输送辊组41和下面研磨辊组5a之间的部分如图8中点划线所示的那样弯折。

且，上述抛光辊9在印刷基板板材W的后端从抛光辊9和支承辊11之间出来之前，继续沿顺时针方向转动，在此之后沿逆时针方向转动。

如上所述下面研磨辊组5a的抛光辊9在图8中以点划线所示的逆时针方向旋转，其圆周速度比输送辊65、67要快很多，例如可以设定在500～1000m/分之间。因此，如果印刷基板板材W的一部分位于抛光辊9和支承辊11之间，且印刷基板板材W的前端部进入输送辊组41上相对设置的一对输送辊65、67之间，而且印刷基板板材W的后端部离开输送辊组39上相对设置的一对输送辊65、67时，由于高速旋转的抛光辊9比输送辊组41更快地将印刷基板板材W向下游方向输送，因而印刷基板板材W的中间部分就会如点划线所示的那样产生弯折。

因此，暂时地使抛光辊9沿印刷基板板材W输送方向的反方向，即图8中的顺时针方向旋转，就可以防止印刷基板板材W位于输送辊组41和下面研磨辊组5a之间的部分产生弯折。

又，在印刷基板板材W的后端部离开输送辊组39之前，印刷基板板材W由输送辊组39的输送辊65、67夹持，由此，由于印刷基板板材W根据抛光辊9向下游方向的移动被限制，所以印刷基板板材W的中间部分就不会产生如点划线所示的那样弯折。

此外，使上述抛光辊9沿印刷基板板材W输送方向的反方向，即顺时针方向旋转时的圆周速度，要比沿印刷基板板材W的输送方向即逆时针方向旋转时的圆周速度小一些，例如可以设定在450～900m/分之间。

如上所述，由于抛光辊9沿顺时针方向旋转的圆周速度要小于沿逆时针方向旋转的圆周速度，所以就会防止如图9所示地以印刷基板板材W输送方向的中心S(在图中由双点划线示出)为界，后半部Wb如单点划线所示的比前半部Wa多伸出一些。(图中，夸张描叙了从后半部Wb伸出的部分)

即，在印刷基板板材W的一部分位于抛光辊9和支承辊11之间且印刷基板板材W的前端部位于输送辊组41中相对设置的一对输送辊65、67之间，而在印刷基板板材W的后端部离开输送辊组39中相对设置的一对输送辊65、67之前，如果以和沿逆时针旋转时相同的圆周速度在顺时针方向旋转，则由于会以相当大的力向上游侧拉伸后半部Wb，所以后半部Wb就会伸出来。因此，通过减小上述圆周速度，来防止后半部Wb伸出，使前半部Wa和后半部Wb等量伸出，就可以减小印刷基板板材W的整体偏移量。由此，因为能够减小印刷基板板材W的整体偏移量，所以就可以防止电路的对位不良。

且，如果确定逆时针方向的转数，则能够由印刷基板板材W的输送速度计算出上述动作中抛光辊9的顺时针方向转数，并能对其进行自动控制。

如图10所示，在印刷基板板材W的后端部刚通过下面研磨辊组5a之前，使抛光辊9停止旋转，印刷基板板材W的后端部和旋转的抛光辊9相接触，就可以防止弯折。抛光辊9在印刷基板板材W的后端部向不接触抛光辊9的位置移动之后再进行启动。

此外，印刷基板板材W通过下面研磨辊组5a，对下面一侧进行研磨时，印刷基板板材W虽向下弯曲，也如图11所示，夹入到由导向部件69、70导向的输送辊组41的输送辊65、67之间。在没有导向部件69、70时，由于如上所述的那样印刷基板板材W弯曲，所以印刷基板板材W的前端部就不会夹入到输送辊65、67之间。因此，印刷基板板材W的前端部弯折，以该状态进入输送辊65、67之间的话，就会产生翻折。

进而，由于导向部件69的薄板75和支承辊11的外周面相接触，所以就能够作为刮板实现刮取附着在支承辊11外周面上的研磨渣等污物的功能。由薄板75刮取的研磨渣由喷嘴79喷射的水进行清洗。

此外，印刷基板板材W向下游侧输送，借助于导向部件70进入输送辊组43的输送辊65、67之间。在不具备导向部件70时，由于如上所述那样印刷基板板材W弯曲，所以印刷基板板材W的前端部就不会进入输送辊65、67之间。因此，印刷基板板材W的前端部会弯折，而以该状态进入输送辊65、67之间的话，就会产生翻折。

印刷基板板材W依靠输送辊组41、输送辊42、输送辊组43进一步向下游侧输送。因此到达上面研磨辊组7b的印刷基板板材W通过抛光辊9和支承辊11之间时对上面进行研磨。进而，印刷基板板材W由导向部件69、70导向，并依靠输送辊组45、47、49向下游侧输送。导向部件69可以对上面研磨辊组7b的支承辊11实现刮板的效果。

进而，到达下面研磨辊组5c的印刷基板板材W和上述下面研磨辊组5a的情况相同，由下面研磨辊组5c的抛光辊9对下面进行研磨。

下面研磨辊组5c的抛光辊9进行与在图8、图10的说明中相同的动作。但是，将下述定时与下面研磨辊组5a的情况错开进行，该定时为将图8中说明的抛光辊9沿印刷基板板材W输送方向的反方向、即在图2、图8中顺时针方向旋转的定时。抛光辊9沿顺时针方向转动时，接触抛光辊9的部分就有可能不会进行充分地研磨。因此，下面研磨辊组5a中抛光辊9沿顺时针方向旋转的定时和下面研磨辊组5c中抛光辊9沿顺时针方向旋转的定时彼此不同，从而将印刷基板板材W和抛光辊9在沿顺时针方向旋转时相接触的部分错开，就能够防止产生研磨不充分的情况。

在印刷基板板材W从下面研磨辊组5c出来时，被导向部件69、70导向，由输送辊组51、输送辊53和输送辊组55向下游输送，且由输送辊53上方设置的导向部件70进行导向，以到达上面研磨辊组7d。

到达上面研磨辊组7d的印刷基板板材W和上面研磨辊组7b中的情况相同，对上面进行研磨，并被导向部件69、70导向，且由输送辊组57、59、61和输送辊63进行输送，从出口32输送到设备以外。导向部件69的薄板75对上面研磨辊组7d的支承辊11实现刮板的效果。

由于设置着遮蔽板83，所以在上面研磨辊组7b的抛光辊9旋转时，即使从喷嘴79喷出的水飞溅出来，遮蔽板83也会被遮蔽板83挡住，这些水顺着遮蔽板83流下，进而流到流槽85中排到设备以外。因此，就可以防止含有研磨渣的水向上游侧和下游侧方向飞溅，并同时能够对印刷基板板材W进行研磨，也能够防止在印刷基板板材W产生凹痕或划伤。

即，飞溅到抛光辊9上的水中含有研磨渣，这些研磨渣搭载在被输送的印刷基板板材W上，如果如此通过输送辊65、67之间或下面研磨辊组5c时，研磨渣会被按压在印刷基板板材W上，就有可能造成凹痕，但是由于设置有遮蔽板83，所以含有研磨渣的水不能向下游侧飞散，从而就能够防止在印刷基板板材W上产生凹痕或划伤。

在上面研磨辊组7d中，也同样能够由遮蔽板83防止含有研磨渣的水向上游侧和下游侧飞散，从而能够防止在印刷基板板材W上产生凹痕或划伤。

图12～图19中示出了其他实施例中的遮蔽部件及输送通路。

在图12中，作为遮蔽部件的遮蔽板83a和作为输送通路的流槽85a整体成型，流槽85a仅仅设置在下游侧(出口32一侧)。

在图13中，作为遮蔽部件的遮蔽板83b和作为输送通路的流槽85b整体成型，流槽85b仅仅设置在上游侧(入口31一侧)。

在图14中，作为遮蔽部件的遮蔽板83c和作为输送通路的流槽85c分别为独立的零件。遮蔽板83c为长方形的板状形式，流槽85c由平坦的底部和在该底部宽度方向的两侧上整体形成的上升部构成。

图15～图18示出了作为遮蔽部件的遮蔽板，由于和图14中的遮蔽板83c形状相同，所以标号相同，因而省略了对其的说明，仅仅说明作为输送通路的流槽。

图15中流槽85d的底部以向宽度方向的中心倾斜的形状，在底部宽度方向的两侧处形成上升部。

图16中的流槽85e仅由向宽度方向中心倾斜的底部构成。

图17的流槽87f形成为将圆筒纵向剖开的形状。

图18的流槽85g形成以长方向的中心为界向左右倾斜而产生弯曲的形状，

图19、图20中作为遮蔽部件的遮蔽板83d形成沿抛光辊9的周面弯曲的形状，且设置有开放部86。在该遮蔽板83d弯曲方向的两端部上，作为输送通路的流槽85h和遮蔽板83d整体成形。流槽85h由浅槽构成，沿着遮蔽板83d延伸设置。

遮蔽板83d在抛光辊9上错开间隙设置，该开放部86具有向下侧的姿态。因此，遮蔽板83d完全覆盖了抛光辊9的侧面和上方。所以遮蔽板83d全部覆盖了水飞散到抛光辊9周围的区域，就可以完全防止含有研磨渣的水飞溅到被输送的印刷基板板材W上。

在上面详细叙述了本发明的实施例，但具体的结构并不限定于这些实施例，不偏离本发明主旨的范围内的设计变化，也都包含在本发明内。

例如，对于上述实施例，以作为板状工件的印刷基板材料作为研磨对象，但是本发明并不限定于此，只要是非常薄的板状工件什么样的东西都能作为研磨对象。

此外，遮蔽板83也可以仅设置在紧接着上面研磨辊组7b至少下游侧的地方。即，遮蔽板83仅设置在上面研磨辊组7b的上游侧或下游侧中的一个上，或也可以在上游侧和下游侧处都设置。

且对于上述实施例，如图8所述，在印刷基板板材W的一部分位于抛光辊9和支承辊11之间，且位于印刷基板板材W的前端部位于输送辊组41上相对设置的一对输送辊65、67之间，在印刷基板板材W的后端部离开输送辊组39上相对设置的一对输送辊65、67之前，抛光辊9在印刷基板板材W输送方向的反方向(在图8中以实线箭头示出的顺时针转动方向)上旋转时的圆周速度被设定得要小于在印刷基板板材W输送方向，即逆时针方向上旋转时的圆周速度，但是本发明并不限定于此，根据印刷基板板材的厚度，上述抛光辊9在顺时针方向的圆周速度也可以大于逆时针方向的圆周速度。

工业上应用可能性

根据本发明，

(1)即使非常薄的印刷基板板材等板状工件，也能够防止其前端部产生折叠。

(2)能够防止板状工件中间部弯曲而产生的折叠。

(3)能够防止板状工件的后端部产生折叠。

(4)能够防止在板状工件上产生凹痕或划伤。且，由于能够防止研磨渣夹杂在印刷基板板材中的孔内，所以能够消除通过印刷基板板材层间的孔进行导电连接而产生次品的原因。

Claims (12)

1.一种板状工件研磨装置，包括：由抛光辊和相对该抛光辊设置的支承辊构成的多个设置的研磨辊组；使上述抛光辊旋转的抛光辊驱动机构；使上述支承辊旋转的支承辊驱动机构；对上述抛光辊驱动机构和支承辊驱动机构进行控制的控制机构；输送板状工件的输送辊，该板状工件研磨装置将印刷基板板材等板状工件供给于上述抛光辊和上述支承辊之间，对板状工件的表面进行研磨，其特征在于，还包括将在上述研磨辊组的抛光辊和支承辊之间通过的板状工件向输送辊导向的导向部件。

2.一种板状工件研磨装置，包括：由抛光辊和相对该抛光辊设置的支承辊构成的多个设置的研磨辊组；使上述抛光辊旋转的抛光辊驱动机构；使上述支承辊旋转的支承辊驱动机构；对上述抛光辊驱动机构和支承辊驱动机构进行控制的控制机构；输送板状工件的输送辊，该板状工件研磨装置将印刷基板板材等板状工件供给于上述抛光辊和上述支承辊之间，对板状工件的表面进行研磨，其特征在于，在上述研磨辊组中，交替设置着下面研磨辊组和上面研磨辊组，其中，下面研磨辊组将抛光辊配置在下侧而将支承辊配置在上侧；上面研磨辊组将抛光辊配置在上侧而将支承辊配置在下侧，且包括向被研磨的板状工件浇水的水供给机构，还包括遮蔽部件，该遮蔽部件至少防止下述水花向工件输送方向飞溅，该水花为含有上述上面研磨辊组中产生的研磨渣的水花。

3.如权利要求2所述的板状工件研磨装置，其特征在于，包括用于将被遮蔽部件遮挡的水输送到设备以外的输送通路。

4.如权利要求3所述的板状工件研磨装置，其特征在于，遮蔽部件和输送通路整体成形。

5.如权利要求2-4中任一项所述的板状工件研磨装置，其特征在于，遮蔽部件形成沿上面研磨辊组的抛光辊周面弯曲的形状，上述遮蔽部件设置成能够覆盖抛光辊周面的至少一部分。

6.一种板状工件研磨装置，包括：由抛光辊和相对该抛光辊设置的支承辊构成的多个设置的研磨辊组；使上述抛光辊旋转的抛光辊驱动机构；使上述支承辊旋转的支承辊驱动机构；对上述抛光辊驱动机构和支承辊驱动机构进行控制的控制机构；输送板状工件的输送辊，该板状工件研磨装置将印刷基板板材等板状工件供给于上述抛光辊和上述支承辊之间，对板状工件的表面进行研磨，其特征在于，在板状工件的后端部从上述抛光辊和上述支承辊之间出来之前，上述控制机构进行使抛光辊停止转动的控制。

7.一种板状工件研磨装置，包括：由抛光辊和相对该抛光辊设置的支承辊构成的多个设置的研磨辊组；使上述抛光辊旋转的抛光辊驱动机构；使上述支承辊旋转的支承辊驱动机构；对上述抛光辊驱动装置和支承辊驱动机构进行控制的控制机构；沿输送方向旋转以输送板状工件的输送辊，该板状工件研磨装置将印刷基板板材等板状工件供给于沿上述板状工件输送方向上旋转的上述抛光辊和支承辊之间，从而对板状工件的表面进行研磨，上述抛光辊旋转的圆周速度比上述输送辊的圆周速度要快，上述支承辊沿上述板状工件的输送方向旋转，其特征在于，板状工件的一部分位于研磨辊组的抛光辊和支承辊之间、且板状工件的前端部进入一对输送辊之间，该一对输送辊夹着上述研磨辊组在板状工件的输送方向上相对设置，而且在该板状工件的后端部从另一对输送辊之间离开之前，上述控制机构对上述抛光辊进行控制，使上述抛光辊暂时地向与板状工件输送方向相反的方向旋转，上述另一对输送辊以夹着上述研磨辊组的方式在板状工件输送方向的反方向上相对设置。

8.一种板状工件的研磨方法，将印刷基板板材等板状工件供给于抛光辊和支承辊之间，一边向板状工件浇水一边对板状工件的表面进行研磨，其特征在于，至少一边防止含有研磨渣的水花向工件输送方向侧的飞溅一边进行对板状工件研磨。

9.如权利要求8所述的板状工件研磨方法，其特征在于，将遮蔽部件遮挡的水输送到设备以外。

10.一种板状工件的研磨方法，将印刷基板板材等板状工件供给于抛光辊和支承辊之间，对板状工件的表面进行研磨，其特征在于在板状工件从上述抛光辊和上述支承辊之间出来之前，使抛光辊停止转动。

11.一种板状工件的研磨方法，利用由抛光辊和相对该抛光辊设置的支承辊构成的多个设置的研磨辊组、以及在板状工件输送方向上旋转的输送辊，一边使上述抛光辊沿印刷基板板材等板状工件的输送方向上以圆周速度快于上述输送辊圆周速度的方式进行旋转，一边使支承辊在上述板状工件的输送方向上旋转，以对供给于抛光辊和支承辊之间的板状工件表面进行研磨，其特征在于，板状工件的一部分位于研磨辊组的抛光辊和支承辊之间，且板状工件的前端部进入到一对输送辊之间，该一对输送辊夹着上述研磨辊组在板状工件的输送方向上相对设置，而且该板状工件的后端部在从另一对输送辊之间离开之前，使上述抛光辊暂时的向与板状工件输送方向相反的方向旋转，上述另一对输送辊以夹着上述研磨辊组的方式在板状工件输送方向的反方向上相对设置。

12.如权利要求11所述的板状工件研磨方法，其特征在于，上述抛光辊在板状工件输送方向的反方向上暂时旋转时的圆周速度要小于上述抛光辊在板状工件输送方向上旋转时的圆周速度。

Images