CN102046330B - 研磨装置及研磨方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种研磨装置及研磨方法。所述研磨装置中，在由输送具有挠性的板状工件(P)的多个输送辊(6、9)形成的输送路径(3A、3B、3C)的中途，对置配置夹持板状工件(P)的一对夹持辊(12、13)，利用所述夹持辊(12、13)将板状工件(P)沿上下方向传送，并且在对置配置的一对抛光辊(14、15)之间利用所述抛光辊(14、15)同时研磨传送来的该板状工件(P)的两面。

Description

研磨装置及研磨方法

技术领域

本发明涉及研磨装置及研磨方法，详细而言，涉及具备输送具有挠性的板状工件的多个输送辊和在这些输送辊进行输送的输送中途研磨板状工件的抛光辊的研磨装置及研磨方法。

背景技术

众所周知，作为板状工件的一种的印制电路板通过在形成于绝缘基板的一面或两面上的铜箔等构成的金属层的表面上形成光致抗蚀膜、经由曝光、显影、进行蚀刻等的光刻工序而制成。这种情况下，在绝缘基板的金属层的表面上形成光致抗蚀膜的前阶段，通常对该金属层进行抛光，即使是印制电路板那样极薄且具有挠性的基板，也需要进行上述抛光。

作为进行这种抛光的研磨装置，根据例如专利文献1(该文献的图10)及专利文献2(该文献的图8)，公开有如下所述的结构：具备抛光辊、与该抛光辊对置配置的支承辊，抛光辊对送入这两辊之间的作为板状工件的印制电路板进行研磨处理，同时将该印制电路板向前方输送。

并且，由于上述文献所公开的印制电路板是具有挠性的薄壁基板，因此由上下一对引导部材以维持直进性的方式引导并同时送入上述两辊之间来接受研磨处理，并且在研磨处理后也同样由引导部材引导并同时由输送辊向前方输送。

【专利文献1】日本特开2004-268249号公报；

【专利文献2】日本特开2003-062745号公报。

发明内容

然而，根据上述专利文献1、2所公开的研磨装置，构成为印制电路板被沿水平方向输送且维持该水平姿态而被送入抛光辊与支承辊之间，但若印制电路板为极薄且具有挠性的基板，则会产生如下问题：基板产生翘曲而导致质量降低。

详细而言，在研磨这种印制电路板时，例如对该印制电路板的上表面侧进行研磨的情况下，印制电路板的研磨区域中的输送方向前端向下侧位移，另外，例如对该印制电路板的下表面侧进行研磨的情况下，印制电路板的研磨区域的输送方向前端向上侧位移，换言之，印制电路板向抛光辊侧突起而弯曲。并且，由于在没有消除随着该弯曲而产生的翘曲的情况下从研磨装置输出印制电路板，因此无法对研磨后的印制电路板适当地执行光刻工序等后续工序，从而导致成品的质量降低。

进而，在将这种印制电路板送入抛光辊与支承辊之间前，由于印制电路板为水平姿势，因此其前端因自重而折弯并下垂，会导致无法将印制电路板适当地夹入两辊间这种情况，若不将其上游侧或下游侧的输送辊的排列间距设置为极小，则还会导致印制电路板的前端因自重而夹入输送辊之间的间隙的不良情况。

然而，上述的专利文献1、2所公开的研磨装置均构成为在抛光辊与支承辊之间通过抛光辊对印制电路板进行研磨的结构，因此在异物夹入该两辊间的情况下，因支承辊的周面的刚性高等而对印制电路板造成打痕，由此也会导致印制电路板的质量降低。

本发明鉴于上述情况，其技术课题在于，能够将具有挠性的板状工件适当地送入抛光辊的配设位置，且抑制因支承辊的存在而对板状工件造成打痕导致质量降低的情况。

为了解决上述技术课题，本发明所涉及的研磨装置利用输送机构输送具有挠性的板状工件，且在该输送机构进行输送的输送中途利用抛光辊研磨所述板状工件，所述研磨装置的特征在于，在由所述输送机构形成的输送路径的中途对置配置用于夹持所述板状工件的一对夹持辊，利用所述夹持辊沿上下方向传送所述板状工件，并且在对置配置的一对所述抛光辊的彼此之间利用所述抛光辊同时研磨传送来的所述板状工件的两面。这里，上述的“输送机构”可以是多个输送辊或传送带或者由它们的组合构成。

根据这样的结构，具有挠性的板状工件被一对夹持辊夹持而沿上下方向传送到抛光辊的配设位置，因此板状工件的前端不会因其自重而折弯，板状工件适当地直进到抛光辊的配设位置。并且，这样，对于沿上下方向传送的板状工件来说，其两面被对置配置的一对抛光辊同时研磨，因此避免翘曲的产生，且抑制板状工件的质量降低。进而，研磨板状工件时，不使用现有的支承辊，因此回避因异物的介入而对板状工件造成打痕等不良情况，与抑制上述的翘曲的产生相辅相成地进一步可靠地抑制板状工件的质量降低。

以上述的结构为基础，也可以构成为，所述输送路径形成为使所述输送机构沿水平方向输送所述板状工件，并且在该输送路径中途的一对所述夹持辊的下方配设一对所述抛光辊。

这样，输送路径自身是将板状工件沿水平方向输送的路径，但在进行研磨时板状工件被沿上下方向传送，因此，在享用上述优点的基础上，能够沿水平方向进行板状工件向该研磨装置的搬入及搬出。由此，能够将该研磨装置的整个高度维持较低而实现紧凑化，同时，在设于该研磨装置的上游侧及下游侧的用于执行其他工序的装置之间能够顺利地进行板状工件的交接。

另外，以上述结构为基础，也可以构成为，所述板状工件在由一对所述夹持辊夹持的状态下向下方传送后向上方传送，由此利用一对所述抛光辊对两面同时研磨。

这样，一对夹持辊在夹持有板状工件的状态下正转，由此该板状工件被向下方传送并同时由一对抛光辊对其两面同时研磨，之后，一对夹持辊反转，由此该板状工件被向上方传送并同时由一对抛光辊对其两面同时研磨。由此，板状工件的两面被向该板状工件的下方及上方这两个方向传送，同时同一区域两次被研磨，因此研磨效率提高。

进而，以上述结构为基础，也可以构成为，在所述输送路径中途的上游侧和下游侧的至少两个部位分别配设一对所述夹持辊和一对所述抛光辊。

这样，一对抛光辊对板状工件的两面的同时研磨至少在两个部位进行，因此与现有那样利用抛光辊和支承辊在各一处分别仅对板状工件的一面进行研磨的情况相比，将抛光辊的配设部位分为两处而能够实现该研磨装置的紧凑化。

在这样的结构中，优选构成为，通过配设在所述输送路径中途的上游侧的一对夹持辊和一对抛光辊，对所述板状工件的包括输送方向一端的局部区域进行研磨，通过配设在下游侧的一对夹持辊和一对抛光辊，对处于输送方向反向状态的所述板状工件的包括未研磨部的区域进行研磨。

这样，在上述那样实现了研磨装置的紧凑化的基础上，由于对板状工件的整个区域实施适当的研磨，且在下游侧在输送方向与上游侧的输送方向反向的状态下实施研磨，因此即使在板状工件的两面或一面形成飞边等，也能够将该飞边等适当地除去。

另外，以上述的结构为基础，也可以构成为，所述板状工件在进行由所述输送机构的沿水平方向的输送与相对于一对所述抛光辊的传送的方向变换时，在一对所述夹持辊的周边接受流体的喷射供给。

这样，在具有挠性的板状工件(板状工件的前端)到达夹持辊的配设位置的时刻，该板状工件接受流体的喷射供给而侵入一对夹持辊之间，从而方向变换成朝向一对抛光辊的方向，并且，在由一对抛光辊完成了研磨的板状工件(板状工件的后端)从一对夹持辊之间拔出的时刻，该板状工件也接受流体的喷射供给而方向变换成基于输送机构的水平输送方向。由此，能够顺利且可靠地进行具有挠性的板状工件在夹持辊处的方向变换。

在上述结构为基础，所述板状工件也可以是柔性印制电路板。

这样，能够可靠地享受已经叙述过的各种优点，若为在两面形成有铜箔等金属层的柔性印制电路板，则能够进一步可靠地享用已经叙述过的优点。需要说明的是，研磨对象并不限于柔性印制电路板，当然也可以是具有挠性的薄壁基板等其他的具有挠性的板状工件。

另一方面，为了解决上述技术课题，本发明所涉及的研磨方法利用输送机构输送具有挠性的板状工件，且在该输送机构进行输送的输送中途利用抛光辊研磨所述板状工件，所述研磨方法的特征在于，在由所述输送机构形成的输送路径的中途对置配置用于夹持所述板状工件的一对夹持辊，利用所述夹持辊沿上下方向传送所述板状工件，并且在对置配置的一对所述抛光辊的彼此之间利用所述抛光辊同时研磨传送来的所述板状工件的两面。

根据这样的方法，也能够获得与上述装置的基本结构所起到的作用效果实质上相同的作用效果。

如上所述，根据本发明，由于具有挠性的板状工件被一对夹持辊夹持而沿上下方向传送到抛光辊的配设位置，因此，板状工件的前端不会因其自重而折弯，板状工件适当地直进到抛光辊的配设位置，且该板状工件的两面被一对抛光辊同时研磨，因此避免翘曲的产生，且抑制板状工件的质量降低。并且，无须现有的支承辊，因此避免因异物的介入而对板状工件造成打痕等不良情况，与抑制上述的翘曲的产生相辅相成地进一步可靠地抑制板状工件的质量降低。

附图说明

图1是表示本发明的第一实施方式所涉及的研磨装置的整体结构的简要主视图。

图2是表示本发明的第一实施方式所涉及的研磨装置的整体结构的简要俯视图。

图3是图1的A-A线放大剖面图。

图4是表示本发明的第一实施方式所涉及的研磨装置的主要部分的放大简要立体图。

图5是表示本发明的第一实施方式所涉及的研磨装置的主要部分的放大简要主视图。

图6(a)、(b)、(c)是分别表示本发明的第一实施方式所涉及的研磨装置的作用的简要主视图。

图7(a)、(b)、(c)是分别表示本发明的第一实施方式所涉及的研磨装置的作用的简要主视图。

图8(a)、(b)、(c)是分别表示本发明的第一实施方式所涉及的研磨装置的作用的简要主视图。

图9(a)、(b)、(c)是分别表示本发明的第一实施方式所涉及的研磨装置的作用的简要主视图。

图10(a)、(b)、(c)是分别表示本发明的第一实施方式所涉及的研磨装置的作用的简要主视图。

图11(a)、(b)、(c)是分别表示本发明的第一实施方式所涉及的研磨装置的作用的简要主视图。

图12是示意性地表示本发明的第二实施方式所涉及的研磨装置的主要部分的简要主视图。

图13是示意性地表示本发明的第三实施方式所涉及的研磨装置的主要部分的简要主视图。

具体实施方式

以下，参照附图说明本发明的实施方式。图1是表示本发明的第一实施方式所涉及的研磨装置的整体结构的简要主视图，图2是表示该研磨装置的整体结构的简要俯视图。另外，图3是图1的A-A线放大剖面图。进而，图4是表示该研磨装置的主要部分的放大简要立体图，图5是表示该研磨装置的主要部分的放大简要主视图。

如图1所示，本实施方式所涉及的研磨装置1在箱体2的内部具有将板厚0.1mm以下(例如0.084mm)的具有挠性的作为板状工件的包括柔性印制电路板的薄壁基板(以下简称为印制电路板)P沿水平方向输送的输送路径3。该输送路径3被大致划分为与搬入印制电路板P的搬入口4连通的搬入用输送路径3A、对印制电路板P进行研磨并同时输送的研磨用输送路径3B、与输出印制电路板P的搬出口5连通的搬出用输送路径3C。

在搬入用输送路径3A上，在载置有印制电路板P的状态下从上游侧(该图的左侧)向下游侧(该图的右侧)输送的多个下部输送辊6沿水平方向排列。并且，在该搬入用输送路径3A的下游侧端部配设有入口传感器7和基板用限动器8，其中，所述入口传感器7检测由下部输送辊6输送的印制电路板P的前端(该图的右端)到达了初始位置这一情况，所述基板用限动器8根据来自该入口传感器7的信号，通过下降来停止印制电路板P。

在研磨用输送路径3B上，以小力夹持印制电路板P而进行输送的多个下部输送辊6及多个上部输送辊9沿水平方向排列，且在研磨用输送路径3B的上游端及下游端分别配设有夹持印制电路板P的整个区域而进行该印制电路板P的液切的上下一对夹持辊10、11。需要说明的是，上部输送辊9的排列间距是下部输送辊6的排列间距的二倍，且上部输送辊9在每隔一个下部输送辊6的上方与该下部输送辊6对置配置。这种情况下，上部输送辊9的排列间距与下部输送辊6的排列间距也可以相同。进而，在该研磨用输送路径3B的中间部的上游侧和下游侧这两个部位分别对质配置有以大力夹持印制电路板P的左右一对夹持辊12、13，且在该两个部位的夹持辊12、13的正下方分别对置配置有左右一对抛光辊14、15。另外，在该研磨用输送路径3B的两个部位的夹持辊12、13的上游侧分别配设有检测印制电路板P的前端到达了研磨用初始位置这一情况的初始位置检测传感器18、19。进而，在配设于两个部位的一对夹持辊12、13的各自中位于上游侧的夹持辊12、13的斜右上方分别对置配置有方向变换用引导辊16、17，且在同样位于游侧的夹持辊12、13的斜左上方分别配设有将水或空气等流体(在本实施方式中为水)向斜右下方喷射的流体喷射机构20、21。另外，在该研磨用输送路径3B的下方的各一对抛光辊14、15的配设位置的各自的左右两侧配设有向对应的夹持辊12、13及抛光辊14、15以及印制电路板P喷射供给研磨液的研磨液供给机构22。

在搬出用输送路径3C上，以小力夹持印制电路板P的多个下部输送辊6及上部输送辊9沿水平方向排列，且在搬出用输送路径3C的下游端配设有检测印制电路板P的前端到达了搬出口5附近这一情况的出口传感器23。

这种情况下，如图2及图3所示，下部输送辊6是在与上下游方向(输送方向)正交的辊轴6a上并列固定有多片辊体6b的结构。详细而言，厚度为直径的1/2以下的10片以上的辊体6b固定在辊轴6a上，且被设置成如下状态：在相邻的辊轴6a中，另一方的辊轴6a上的各辊体6b进入一方的辊轴6a上的各辊体6b间的间隙中。另外，如图3所示那样，上部输送辊9也是在与上下游方向正交的辊轴9a上并列固定有同样的多片辊体9b的结构。

另一方面，如图2所示，上游端及下游端的夹持辊10、11的外周面均被制成在与上下游方向正交的轴向上连续延伸的圆筒面，且该圆筒面的轴向长度设定为能够夹持印制电路板P的整个区域的长度。进而，也如图4所示那样，各夹持辊12(13)的外周面及各抛光辊14(15)的外周面也被制成在与上下游方向正交的轴向上连续延伸的圆筒面，且这些圆筒面的轴向长度设定为能够夹持印制电路板P的整个区域的长度。另外，方向变换用引导辊16(17)的外周面也被制成具有与上述同样的轴向长度的圆筒面。

图5表示上游侧的一对夹持辊12及一对抛光辊14的周边结构。需要说明的是，对于下游侧的一对夹持辊13及一对抛光辊15的周边结构来说，实际上与上游侧的一对夹持辊12及一对抛光辊14的周边结构相同，因此对这些结构要素在图5中标注带括号的符号而省略说明。如该图所示，对于随着下部输送辊6及上部输送辊9从研磨用输送路径3B的上游侧向箭头a方向的旋转而被向水平方向下游侧输送的印制电路板P来说，在其前端到达了一对夹持辊12中上游侧的夹持辊12的时刻，在从流体喷射机构20喷射供给的流体(水)的流动W1的作用下与上游侧的夹持辊12的外周面接触并同时夹持在一对夹持辊12彼此之间。然后，通过这两夹持辊12沿箭头b方向正转，夹持在两夹持辊12间的印制电路板P被向下方传送，而送入一对抛光辊14的彼此之间。该送入的印制电路板P的表背两面被一对抛光辊14同时研磨，该研磨一直执行到印制电路板P的后端即将离开一对夹持辊12之前。

之后，通过一对夹持辊12沿箭头c方向反转，使印制电路板P向上方传送，一对抛光辊14对印制电路板P的同一区域进行与上述反方向的两面的同时研磨。这种情况下，在印制电路板P向上方的传送开始后，印制电路板P的后端在从流体喷射机构20喷射供给的流体(水)的流动W2的作用下与下游侧的夹持辊12的外周面接触并同时夹持在其下游侧的下部输送辊6及上部输送辊9的彼此之间，之后，印制电路板P被向水平方向下游侧输送。需要说明的是，一对抛光辊14维持向箭头d方向的旋转。

接下来，按时间顺序对利用本实施方式所涉及的研磨装置1研磨印制电路板P的动作进行说明。

如图6(a)所示，通过搬入口4搬入的印制电路板P被搬入用输送路径3A的下部输送辊6向下游侧输送，在入口传感器7检测出印制电路板P的前端到达了初始位置的时刻，基板用限动器8下降为图示的状态。

其结果是，如图6(b)所示，印制电路板P的前端与基板用限动器8抵接而在夹持辊10前停止，在该时刻，通过基板用限动器8的动作使印制电路板P的前端在与上下游方向正交的方向上对齐，将印制电路板P维持成准确的姿态。

其后，如图6(c)所示，印制电路板P在由上下一对夹持辊10夹持的状态下被下部输送辊6及上部输送辊9向下游侧输送，通过上游侧的初始位置检测传感器18检测印制电路板P的前端到达了研磨用初始位置这一情况。这种情况下，根据来自初始位置检测传感器18的信号，由未图示的控制机构控制与印制电路板P的长度及输送速度对应的夹持辊12的正转及反转时期和来自流体喷射机构20的水的喷射供给时期等。

然后，印制电路板P被进一步向下游侧输送，由此印制电路板P在方向变换用引导辊16及来自流体喷射机构20的水的流动W1的作用下方向变换，如图7(a)所示，在由正转的一对夹持辊12夹持的状态下印制电路板P的前方部被向下方输送，其前端顺利地侵入一对抛光辊14间。

这样，在印制电路板P的前端侵入一对抛光辊14间之后，这一对抛光辊14对印制电路板P的两面同时研磨且将印制电路板P向下方传送。然后，如图7(b)所示，如此与印制电路板P的研磨相伴的向下方的传送在印制电路板P的后端即将从一对夹持辊12间脱离之前停止。在该时刻，后续的印制电路板P1处于通过入口传感器7而被基板用限动器8停止的待机状态。

之后，一对夹持辊12反转而将先行的印制电路板P向上方传送，此时，印制电路板P的两面在同方向旋转的一对抛光辊14的作用下同时接受与上述实际上同方向的研磨。并且，在印制电路板P向上方的传送开始后，印制电路板P的后端成为前端，其前端在方向变换用引导辊16和来自流体喷射机构20的水的流动W2的作用下方向变换为朝向水平方向下游侧，在作为印制电路板P的最初前端的后端向上方传送而从一对抛光辊14间脱离的时刻，如图7(c)所示，印制电路板P被下部输送辊6及上部输送辊9进一步向下游侧输送。需要说明的是，该印制电路板P的前侧区域(最初后侧区域)成为未研磨区域。在该时刻，后续的印制电路板P1由于基板用限动器8的上升而能够向下游侧输送。

进而，先行的印制电路板P被向下游侧输送，如图8(a)所示，其前端(最初后端)被下游侧的初始位置检测传感器19检测到，由此规定下游侧的一对夹持辊13的正转及反转的时期和流体喷射机构21的动作，且在该时刻，后续的印制电路板P1被上游侧的一对夹持辊10夹持而向下游侧输送。

然后，如图8(b)所示，先行的印制电路板P及后续的印制电路板P1被向下游侧输送，由此如图8(c)所示，在先行的印制电路板P的前端即将到达下游侧的夹持辊13之前的时刻，后续的印制电路板P1的前端被上游侧的初始位置检测传感器18检测到，由此规定上游侧的一对夹持辊12的正转及反转的时期和流体喷射机构20的动作。

其后，如图9(a)所示，在先行的印制电路板P的前端方向变换而被向下方传送、且侵入下游侧的一对抛光辊15间的时刻，后续的印制电路板P1的前端在上游侧的夹持辊12的附近方向变换。需要说明的是，上游侧的夹持辊12及抛光辊14、下游侧的夹持辊13及抛光辊15的旋转方向等的动作相同。

然后，如图9(b)所示，先行的印制电路板P被进一步向下方传送，由此作为该印制电路板P的未研磨区域的前侧区域被下游侧的一对抛光辊15研磨，且在该时刻，后续的印制电路板P1开始侵入上游侧的一对抛光辊14间。进而，如图9(c)所示，在先行的印制电路板P的后端即将从一对夹持辊13间脱离之前停止的时刻，后续的印制电路板P1处于与向下方的传送相伴的研磨中途。由此，在该研磨装置1中，多片(在图例中为2片)印制电路板P、P1同时接受研磨处理。

然后，如图10(a)所示，在先行的印制电路板P处于与向上方的传送相伴的研磨中途时，后续的印制电路板P1的后端处于即将从一对夹持辊13间脱离之前停止的状态，在该时刻，进而后续(第三片)的印制电路板P2处于通过入口传感器7而被基板用限动器8停止的状态。从而，在该研磨装置1中，多片(在图例中为三片)印制电路板P、P1、P2同时接受输送或研磨等处理。需要说明的是，先行的印制电路板P在该下游侧的抛光辊15的作用下接受与上游侧的抛光辊14的情况下反方向的研磨。

其后，如图10(b)所示，在先行的印制电路板P被下游侧的上下一对夹持辊11夹持的状态下，其前端通过出口传感器23而从搬出口5稍向外部突出的时刻，后续的印制电路板P1与进而后续的印制电路板P2处于与如上述的图7(c)所示的状态相同的状态。需要说明的是，经过图10(c)所示的状态，先行的印制电路板P的前端按照图11(a)、(b)、(c)所示的变化方式从搬出口5渐渐地突出，由此后续的印制电路板P1和进而后续的印制电路板P2处于与上述的图8(a)、(b)、(c)所示的变化方式相同的状态。然后，在先行的印制电路板P的后端通过了出口传感器的时刻，结束对该印制电路板P的研磨装置1内的处理。

需要说明的是，在上述的实施方式中，搬入用输送路径3A、研磨用输送路径3B及搬出用输送路径3C均构成为沿水平方向，但这些路径3A、3B、3C中的至少一个也可以相对于水平方向倾斜所定角度。

图12例示了本发明的第二实施方式所涉及的研磨装置1，为了方便而省略了输送辊等，且用单点划线图示了印制电路板P的移动轨迹。如该图所示，该研磨装置1构成为，从搬入口至上游侧的夹持辊12为止的输送路径的全部或一部分的路径3A1沿上下方向，且从下游侧的夹持辊13至搬出口为止的输送路径的全部或一部分的路径3C1沿上下方向。其他结构与上述第一实施方式所涉及的研磨装置1实际上相同，因此对共用的结构要件标注相同符号而省略动作等的说明。

图13例示了本发明的第三实施方式所涉及的研磨装置1，这种情况下为了方便而省略输送辊等，且用单点划线图示了印制电路板P的移动轨迹。如该图所示，该研磨装置1构成为，从搬入口沿水平方向(也可以为上下方向)输送而到达了上游侧的夹持辊12的印制电路板P被向下方传送且两面被上游侧的抛光辊14同时研磨，之后方向变换而输送至下游侧的抛光辊15的正下方，进一步方向变换而被向上方传送且两面被下游侧的抛光辊15同时研磨，之后经由下游侧的夹持辊13沿水平方向(也可以为上下方向)输送至搬出口。这种情况下，夹持印制电路板P的上游侧的夹持辊12及下游侧的夹持辊13配设在上游侧的抛光辊14的上方及下方、及下游侧的抛光辊15的上方及下方，这些夹持辊12、13与各抛光辊14、15沿该辊中标注的箭头的方向旋转。其他结构与上述的第一实施方式所涉及的研磨装置1实际上相同，因此对公共的结构要件标注相同符号而省略动作等的说明。

需要说明的是，在以上的实施方式中，使用了输送辊作为输送印制电路板P的输送机构，但该输送机构也可以为传送带，或者也可以为输送辊与传送带组合。

【符号说明】

1   研磨装置

3A  输送路径(搬入用输送路径)

3B  输送路径(研磨用输送路径)

3C  输送路径(搬出用输送路径)

6   输送机构(下部输送辊)

9   输送机构(上部输送辊)

12  夹持辊(上游侧的夹持辊)

13  夹持辊(下游侧的夹持辊)

14  抛光辊(上游侧的抛光辊)

15  抛光辊(下游侧的抛光辊)

16  方向变换用引导辊(上游侧的方向变换用引导辊)

17  方向变换用引导辊(下游侧的方向变换用引导辊)

20  流体喷射机构(上游侧的流体喷射机构)

21  流体喷射机构(下游侧的流体喷射机构)

P   印制电路板(薄壁基板)

P1  印制电路板(薄壁基板)

P2  印制电路板(薄壁基板)

W1  流体(水)的流动

W2  流体(水)的流动

Claims (7)

1.一种研磨装置，其利用输送机构输送具有挠性的板状工件，且在该输送机构进行输送的输送中途利用抛光辊研磨所述板状工件，所述研磨装置的特征在于，

在形成为使所述输送机构沿水平方向输送所述板状工件的输送路径的中途沿所述输送路径的输送方向对置配置用于夹持所述板状工件的一对夹持辊，利用一对所述夹持辊沿上下方向传送所述板状工件，并且在一对所述夹持辊的下方沿所述输送路径的输送方向对置配置的一对所述抛光辊的彼此之间利用所述抛光辊同时研磨由一对所述夹持辊传送来的所述板状工件的两面。

2.根据权利要求1所述的研磨装置，其特征在于，

所述板状工件在由一对所述夹持辊夹持的状态下向下方传送后向上方传送，由此利用一对所述抛光辊同时研磨两面。

3.根据权利要求1所述的研磨装置，其特征在于，

在所述输送路径中途的上游侧和下游侧的至少两个部位分别配设一对所述夹持辊和一对所述抛光辊。

4.根据权利要求3所述的研磨装置，其特征在于，

通过配设在所述输送路径中途的上游侧的一对夹持辊和一对抛光辊，对所述板状工件的包括输送方向一端的局部区域进行研磨，通过配设在下游侧的一对夹持辊和一对抛光辊，对处于输送方向反向状态的所述板状工件的包括未研磨部的区域进行研磨。

5.根据权利要求1所述的研磨装置，其特征在于，

所述板状工件在进行由所述输送机构的沿水平方向的输送与相对于一对所述抛光辊的传送的方向变换时，在一对所述夹持辊的周边喷射流体。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的研磨装置，其特征在于，

所述板状工件是柔性印制电路板。

7.一种研磨方法，其利用输送机构输送具有挠性的板状工件，且在该输送机构进行输送的输送中途利用抛光辊研磨所述板状工件，所述研磨方法的特征在于，

在形成为使所述输送机构沿水平方向输送所述板状工件的输送路径的中途沿所述输送路径的输送方向对置配置用于夹持所述板状工件的一对夹持辊，利用一对所述夹持辊沿上下方向传送所述板状工件，并且在一对所述夹持辊的下方沿所述输送路径的输送方向对置配置的一对所述抛光辊的彼此之间利用所述抛光辊同时研磨由一对所述夹持辊传送来的所述板状工件的两面。

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