JP2009291906A - 研磨装置及び研磨方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 可撓性を有する板状ワークをバフ研磨ローラの配設位置に適切に送り込むことを可能にし、且つバックアップローラの存在により板状ワークに打痕が付き品位低下を招くという事態を抑止する。
【解決手段】 可撓性を有する板状ワークＰを搬送する複数の搬送ローラ６，９により形成される搬送径路３Ａ，３Ｂ，３Ｃの途中に、板状ワークＰを挟持する一対のグリップローラ１２，１３を対向して配置し、これらのグリップローラ１２，１３により板状ワークＰを上下方向に沿って送ると共に、その送られた板状ワークＰの両面を、対向して配置された一対のバフ研磨ローラ１４，１５の相互間でこれらのバフ研磨ローラ１４，１５により同時に研磨するように構成する。
【選択図】図１

Description

本発明は、研磨装置及び研磨方法に係り、詳しくは、可撓性を有する板状ワークを搬送する複数の搬送ローラと、これらの搬送ローラによる搬送途中で板状ワークを研磨するバフ研磨ローラとを備えた研磨装置及び研磨方法に関する。

周知のように、板状ワークの一種であるプリント基板は、絶縁基板の片面または両面に形成した銅箔等からなる金属層の表面にフォトレジスト膜を形成し、露光、現像、エッチング等を行うフォトリソ工程を経て製作される。この場合、絶縁基板の金属層の表面にフォトレジスト膜を形成する前段階においては、その金属層をバフ研磨するのが通例であって、プリント基板として極めて薄肉の可撓性を有する基板であっても、上記のバフ研磨を行う必要がある。

この種のバフ研磨を行う研磨装置として、例えば特許文献１（同文献の図１０）及び特許文献２（同文献の図８）によれば、バフ研磨ローラと、このバフ研磨ローラに対向配置されたバックアップローラとを備え、この両ローラの相互間に送り込まれた板状ワークとしてのプリント基板に対してバフ研磨ローラが研磨処理を施しつつ、該プリント基板を前方に搬送する構成が開示されている。

そして、これらの文献に開示されたプリント基板は、可撓性を有する薄肉基板であるため、上下一対のガイド部材により直進性を維持できるように案内されながら上記の両ローラの相互間に送り込まれて研磨処理を受けると共に、研磨処理後においても同様にガイド部材により案内されながら搬送ローラによってさらに前方に搬送されていくことになる。

特開２００４−２６８２４９号公報 特開２００３−０６２７４５号公報

ところで、上記の特許文献１、２に開示された研磨装置によれば、プリント基板が水平方向に搬送され且つその水平姿勢を維持してバフ研磨ローラとバックアップローラとの相互間に送り込まれる構成であるが、プリント基板が極めて薄い可撓性を有する基板であると、その反りの発生が品位低下を招くという問題が生じる。

詳述すると、この種のプリント基板が研磨されるに際して、例えばそのプリント基板の上面側が研磨された場合には、プリント基板は研磨領域の搬送方向前端が下側に変位するように、また例えばそのプリント基板の下面側が研磨された場合には、プリント基板は研磨領域の搬送方向前端が上側に変位するように、換言すれば、バフ研磨ローラ側に凸となるように湾曲する。そして、この湾曲に伴う反りが除去されることなく研磨装置からプリント基板が搬出されることになるため、研磨後のプリント基板にフォトリソ工程などの後工程を適正に実行することができず、最終製品の品位低下を招くことになる。

更に、この種のプリント基板をバフ研磨ローラとバックアップローラとの相互間に送り込む直前には、プリント基板が水平姿勢であるために、その前端が自重により折曲して垂れ下がり、両ローラ間にプリント基板が適切に挟み込まれないという事態を招くばかりでなく、その上流側或いは下流側の搬送ローラの配列ピッチを極めて小さくしなければ、プリント基板の前端が自重により搬送ローラ相互間の隙間に挟まるという不具合をも招く。

しかも、上記の特許文献１、２に開示された研磨装置は何れも、バフ研磨ローラとバックアップローラとの相互間で、プリント基板をバフ研磨ローラにより研磨する構成であるため、この両ローラ間に異物が介入した場合には、バックアップローラの周面の剛性が高いこと等に起因して、プリント基板に打痕が付き、これによってもプリント基板の品位低下を招くことになる。

本発明は、上記事情に鑑み、可撓性を有する板状ワークをバフ研磨ローラの配設位置に適切に送り込むことを可能にすると共に、バックアップローラの存在により板状ワークに打痕が付き品位低下を招くという事態を抑止することを技術的課題とする。

上記技術的課題を解決するためになされた本発明に係る装置は、可撓性を有する板状ワークが搬送手段により搬送されると共に、この搬送手段による搬送途中で前記板状ワークがバフ研磨ローラにより研磨されるように構成した研磨装置において、前記搬送手段により形成される搬送径路の途中に、前記板状ワークを挟持する一対のグリップローラを対向して配置し、これらのグリップローラにより前記板状ワークを上下方向に沿って送ると共に、その送られた板状ワークの両面を、対向して配置された一対の前記バフ研磨ローラの相互間でこれらのバフ研磨ローラにより同時に研磨するように構成したことに特徴づけられる。ここで、上記の「搬送手段」は、複数の搬送ローラまたは搬送コンベヤもしくはこれらの組み合わせで構成することができる。

このような構成によれば、可撓性を有する板状ワークは、一対のグリップローラにより挟持されて上下方向に沿ってバフ研磨ローラの配設位置に送られることから、板状ワークの前端がその自重により折曲することはなく、板状ワークはバフ研磨ローラの配設位置に適切に直進していくことになる。しかも、このように上下方向に沿って送られる板状ワークは、その両面が、対向配置された一対のバフ研磨ローラによって同時に研磨されるため、反りの発生が回避され、板状ワークの品位低下が抑止される。更に、板状ワークを研磨するに際して、従来のバックアップローラが使用されていないため、異物の介入によって板状ワークに打痕が付く等の不具合が回避され、上記の反りの発生抑止と相俟って板状ワークの品位低下がより一層確実に抑止される。

上記の構成において、前記搬送経路は、前記搬送手段が前記板状ワークを水平方向に沿って搬送するように形成されると共に、該搬送径路の途中における前記一対のグリップローラの下方に前記一対のバフ研磨ローラが配設されるように構成することができる。

このようにすれば、搬送径路自体は板状ワークを水平方向に沿って搬送するものであるが、研磨を行う際には板状ワークが上下方向に沿って送られることになるため、上述の利点を享受した上で、当該研磨装置への板状ワークの搬入及び搬出が水平方向に沿って行われることになる。これにより、当該研磨装置の全高を低く維持してコンパクト化を図りつつ、当該研磨装置の上流側及び下流側に設置される他の工程を実行するための装置との間で、板状ワークの受け渡しを円滑に行うことが可能となる。

また、上記の構成において、前記板状ワークは、前記一対のグリップローラにより挟持された状態で下方への送りの後に上方への送りが行われることにより前記一対のバフ研磨ローラにより両面が同時に研磨されるように構成することができる。

このようにすれば、一対のグリップローラが板状ワークを挟持した状態で正転することにより、該板状ワークが下方に送られつつ一対のバフ研磨ローラによりその両面が同時に研磨され、その後に、一対のグリップローラが逆転することにより、該板状ワークが上方に送られつつ一対のバフ研磨ローラによりその両面が同時に研磨される。これにより、板状ワークの両面は、該板状ワークの下方及び上方の双方向への送りを付与されつつ同一領域が二度に亘って研磨されることになるので、研磨効率が向上する。

更に、上記の構成において、前記搬送経路の途中における上流側と下流側との少なくとも二箇所にそれぞれ、前記一対のグリップローラと前記一対のバフ研磨ローラとが配設される構成とすることができる。

このようにすれば、板状ワークに対する一対のバフ研磨ローラによる両面の同時研磨が少なくとも二箇所で行われるため、従来のようにバフ研磨ローラとバックアップローラとにより各一箇所でそれぞれ板状ワークの片面のみを研磨していた場合と比較して、バフ研磨ローラの配設箇所を半分にして当該研磨装置のコンパクト化を図ることが可能となる。

このような構成においては、前記搬送経路の途中における上流側に配設された一対のグリップローラと一対のバフ研磨ローラとによって、前記板状ワークの搬送方向一端を含む一部領域を研磨し、下流側に配設された一対のグリップローラと一対のバフ研磨ローラとによって、搬送方向が逆向きの状態にある前記板状ワークの未研磨部を含む領域を研磨するように構成されていることが好ましい。

このようにすれば、上述のように研磨装置のコンパクト化を図った上で、板状ワークの全領域に対して適切な研磨を施すことが可能となると共に、下流側では上流側と搬送方向が逆向きの状態で研磨が施されるため、板状ワークの両面または片面にバリ等が形成されていても、このバリ等は適切に除去されることになる。

また、上記の構成において、前記板状ワークは、前記搬送手段による水平方向に沿う搬送と、前記一対のバフ研磨ローラに対する送りとの方向変換時に、前記一対のグリップローラの周辺で流体の噴射供給を受けるように構成することができる。

このようにすれば、可撓性を有する板状ワーク（板状ワークの前端）がグリップローラの配設位置に到達した時点で、流体の噴射供給を受けて一対のグリップローラの相互間に侵入して一対のバフ研磨ローラに向かう方向に方向変換すると共に、一対のバフ研磨ローラによる研磨を終えた板状ワーク（板状ワークの後端）が一対のグリップローラの相互間から抜け出る時点においても、流体の噴射供給を受けて搬送手段による水平搬送方向に方向変換する。これにより、可撓性を有する板状ワークのグリップローラでの方向変換が円滑且つ確実に行われることになる。

以上の構成において、前記板状ワークは、フレキシブルプリント基板とすることができる。

このようにすれば、既に述べた種々の利点を的確に享受することができ、また両面に銅箔等の金属層が形成されたフレキシブルプリント基板であれば、より一層的確に既述の利点を享受することが可能となる。なお、研磨対象は、フレキシブルプリント基板に限られず、可撓性を有する薄肉基板その他の可撓性を有する板状ワークであってもよいことは言うまでもない。

一方、上記技術的課題を解決するためになされた本発明に係る方法は、可撓性を有する板状ワークが搬送手段により搬送されると共に、この搬送手段による搬送途中で前記板状ワークがバフ研磨ローラにより研磨される研磨方法において、前記搬送手段により形成される搬送径路の途中に、前記板状ワークを挟持する一対のグリップローラを対向して配置し、これらのグリップローラにより前記板状ワークを上下方向に沿って送ると共に、その送られた板状ワークの両面を、対向して配置された一対の前記バフ研磨ローラの相互間でこれらのバフ研磨ローラにより同時に研磨することに特徴づけられる。

このような方法によっても、上記装置の基本的構成から得られる作用効果と実質的に同一の作用効果を得ることができる。

以上のように本発明によれば、可撓性を有する板状ワークが一対のグリップローラにより挟持されて上下方向に沿ってバフ研磨ローラの配設位置に送られるため、板状ワークの前端がその自重により折曲することなくバフ研磨ローラの配設位置に適切に直進していくと共に、その板状ワークの両面が一対のバフ研磨ローラによって同時に研磨されるため、反りの発生が回避され、板状ワークの品位低下が抑止される。しかも、従来のバックアップローラが不要であるため、異物の介入によって板状ワークに打痕が付く等の不具合が回避され、上記の反りの発生抑止と相俟って板状ワークの品位低下がより一層確実に抑止される。

以下、本発明の実施形態を添付図面を参照して説明する。図１は、本発明の第一の実施形態に係る研磨装置の全体構成を示す概略正面図であり、図２は、当該研磨装置の全体構成を示す概略平面図である。また、図３は、図１のＡ−Ａ線拡大断面図である。更に、図４は、当該研磨装置の要部を示す拡大概略斜視図であり、図５は、当該研磨装置の要部を示す拡大概略正面図である。

図１に示すように、本実施形態に係る研磨装置１は、筐体２の内部に、板厚が０．１ｍｍ以下（例えば０．０８４ｍｍ）の可撓性を有する板状ワークとしてのフレキシブルプリント基板を含む薄肉基板（以下、単にプリント基板という）Ｐを、水平方向に沿って搬送する搬送経路３を有している。この搬送経路３は、プリント基板Ｐを搬入させる搬入口４に通じる搬入用搬送経路３Ａと、プリント基板Ｐを研磨しつつ搬送する研磨用搬送経路３Ｂと、プリント基板Ｐを搬出させる搬出口５に通じる搬出用搬送経路３Ｃとに大略区分される。

搬入用搬送経路３Ａには、プリント基板Ｐを載せた状態で上流側（同図の左側）から下流側（同図の右側）に搬送する複数個の下部搬送ローラ６が水平方向に沿って配列されている。そして、この搬入用搬送経路３Ａの下流側端部には、下部搬送ローラ６によって搬送されるプリント基板Ｐの前端（同図の右端）が初期位置に到達したことを検出する入口センサ７と、この入口センサ７からの信号に基づいて下降することによりプリント基板Ｐを停止させる基板用ストッパ８とが配設されている。

研磨用搬送経路３Ｂには、プリント基板Ｐを小さな力で挟持して搬送する複数個の下部搬送ローラ６及び複数個の上部搬送ローラ９が水平方向に沿って配列されると共に、その上流端及び下流端にはそれぞれ、プリント基板Ｐの全領域を挟持してそのプリント基板Ｐの液切りを行う上下一対の挟持ローラ１０、１１が配設されている。なお、上部搬送ローラ９の配列ピッチは、下部搬送ローラ６の配列ピッチの二倍であると共に、上部搬送ローラ９は、一つおきの下部搬送ローラ６の上方に対向して配置されている。この場合、上部搬送ローラ９の配列ピッチと、下部搬送ローラ６の配列ピッチとは、同一であっても差し支えない。更に、この研磨用搬送経路３Ｂの中間部における上流側と下流側との二箇所にはそれぞれ、プリント基板Ｐを大きな力で挟持する左右一対のグリップローラ１２、１３が対向して配置されると共に、この二箇所のグリップローラ１２、１３の直下方にはそれぞれ、左右一対のバフ研磨ローラ１４、１５が対向して配置されている。また、この研磨用搬送経路３Ｂにおける二箇所のグリップローラ１２、１３の上流側にはそれぞれ、プリント基板Ｐの前端が研磨用初期位置に到達したことを検出する初期位置検出センサ１８、１９が配設されている。更に、二箇所に配設された一対のグリップローラ１２、１３のそれぞれのうち、上流側に存するグリップローラ１２、１３の斜め右上には方向変換用ガイドローラ１６、１７がそれぞれ対向して配置されると共に、同じく上流側に存するグリップローラ１２、１３の斜め左上方には、水やエア等の流体（本実施形態では水）を斜め右下方に向けて噴射する流体噴射手段２０、２１がそれぞれ配設されている。また、この研磨用搬送経路３Ｂの下方における各一対のバフ研磨ローラ１４、１５の配設位置のそれぞれの左右両側には、対応するグリップローラ１２、１３及びバフ研磨ローラ１４、１５並びにプリント基板Ｐに向けて研磨液を噴射供給する研磨液供給手段２２が配設されている。

搬出用搬送経路３Ｃには、プリント基板Ｐを小さな力で挟持する複数個の下部搬送ローラ６及び上部搬送ローラ９が水平方向に沿って配列されると共に、その下流端には、プリント基板Ｐの前端が搬出口５近傍に到達したことを検出する出口センサ２３が配設されている。

この場合、図２及び図３に示すように、下部搬送ローラ６は、上下流方向（搬送方向）と直交するローラ軸６ａ上に複数枚のローラ体６ｂが並列に固定されてなるものである。詳述すると、厚みが直径の１／２以下とされた１０枚以上のローラ体６ｂがローラ軸６ａ上に固定され、隣り合うローラ軸６ａのうち、一方のローラ軸６ａ上の各ローラ体６ｂ間の隙間に、他方のローラ軸６ａ上の各ローラ体６ｂが入り込んだ状態とされている。また、上部搬送ローラ９も、図３に示すように、上下流方向と直交するローラ軸９ａ上に同様の複数枚のローラ体９ｂが並列に固定されてなるものである。

一方、図２に示すように、上流端及び下流端の挟持ローラ１０、１１は何れも、外周面が上下流方向と直交する軸方向に連続して延びる円筒面をなし、この円筒面の軸方向長さは、プリント基板Ｐの全領域を挟持できる長さとされている。更に、図４にも示すように、各グリップローラ１２（１３）の外周面及び各バフ研磨ローラ１４（１５）の外周面も、上下流方向と直交する軸方向に連続して延びる円筒面をなし、これらの円筒面の軸方向長さは、プリント基板Ｐの全領域を挟持できる長さとされている。また、方向変換用ガイドローラ１６（１７）も、上記と同様の軸方向長さを有する円筒面とされている。

図５は、上流側の一対のグリップローラ１２及び一対のバフ研磨ローラ１４の周辺構造を示すものである。なお、下流側の一対のグリップローラ１３及び一対のバフ研磨ローラ１５の周辺構造についても実質的に同一であるので、その構成要素については図５に括弧付きの符号を付してその説明を省略する。同図に示すように、研磨用搬送経路３Ｂの上流側から下部搬送ローラ６及び上部搬送ローラ９の矢印ａ方向への回転に伴って水平方向下流側に搬送されるプリント基板Ｐは、その前端が一対のグリップローラ１２のうち上流側のグリップローラ１２に到達した時点で、流体噴射手段２０から噴射供給される流体（水）の流れＷ１によって上流側のグリップローラ１２の外周面に接触しつつ一対のグリップローラ１２の相互間に挟持される。そして、この両グリップローラ１２が矢印ｂ方向に正転することによって、両グリップローラ１２間に挟持されたプリント基板Ｐは、下方に向かって送られ、一対のバフ研磨ローラ１４の相互間に送り込まれる。この送り込まれたプリント基板Ｐは、その表裏両面が一対のバフ研磨ローラ１４により同時に研磨され、この研磨は、プリント基板Ｐの後端が一対のグリップローラ１２から離反する直前まで実行されるようになっている。

この後においては、一対のグリップローラ１２が矢印ｃ方向に逆転することによって、プリント基板Ｐは上方に向かって送られ、一対のバフ研磨ローラ１４により上記とは逆方向の両面の同時研磨がプリント基板Ｐの同一領域に対して行われる。この場合、プリント基板Ｐの上方への送りが開始された直後においては、プリント基板Ｐの後端は、流体噴射手段２０から噴射供給される流体（水）の流れＷ２によって下流側のグリップローラ１２の外周面に接触しつつその下流側の下部搬送ローラ６及び上部搬送ローラ９の相互間に挟持され、その後、プリント基板Ｐは水平方向下流側に搬送されるようになっている。なお、一対のバフ研磨ローラ１４は、矢印ｄ方向への回転を維持する。

次に、本実施形態に係る研磨装置１によりプリント基板Ｐを研磨する動作を時系列的に説明する。

図６（ａ）に示すように、搬入口４を通じて搬入されたプリント基板Ｐは、搬入用搬送経路３Ａの下部搬送ローラ６により下流側に向かって搬送され、入口センサ７によってプリント基板Ｐの前端が初期位置に到達したことが検出された時点で、基板用ストッパ８が図示の状態に下降する。

その結果、図６（ｂ）に示すように、プリント基板Ｐは、その前端が基板用ストッパ８に当接して挟持ローラ１０の直前で停止するが、この時点では、基板用ストッパ８の動作によって、プリント基板Ｐの前端が上下流方向と直交する方向に揃えられて、プリント基板Ｐが正確な姿勢に維持される。

この後、図６（ｃ）に示すように、プリント基板Ｐは、上下一対の挟持ローラ１０に挟持された状態で下部搬送ローラ６及び上部搬送ローラ９によって下流側に搬送され、上流側の初期位置検出センサ１８により、プリント基板Ｐの前端が研磨用初期位置に到達したことが検知される。この場合、初期位置検出センサ１８からの信号に基づいて、プリント基板Ｐの長さ及び搬送速度に応じたグリップローラ１２の正転及び逆転の時期や流体噴射手段２０からの水の噴射供給の時期等が、図外の制御手段により制御される。

そして、プリント基板Ｐが更に下流側に搬送されていくことにより、プリント基板Ｐは、方向変換用ガイドローラ１６及び流体噴射手段２０からの水の流れＷ１によって方向変換して、図７（ａ）に示すように、正転する一対のグリップローラ１２により挟持された状態でその前方部が下方に向かって送られ、その前端が一対のバフ研磨ローラ１４間に円滑に侵入する。

このように、プリント基板Ｐの前端が一対のバフ研磨ローラ１４間に侵入した後は、その一対のバフ研磨ローラ１４によってプリント基板Ｐの両面が同時に研磨されながらプリント基板Ｐは下方に送られる。そして、このようなプリント基板Ｐの研磨を伴う下方への送りは、図７（ｂ）に示すように、プリント基板Ｐの後端が一対のグリップローラ１２間から離脱する直前で停止する。この時点では、後続のプリント基板Ｐ１が、入口センサ７を通過して基板用ストッパ８により停止されて待機した状態にある。

この後は、一対のグリップローラ１２が逆転して先行するプリント基板Ｐは上方に向かって送られるが、この際には、同方向に回転している一対のバフ研磨ローラ１４によりプリント基板Ｐの両面が上記と実質的に同方向の研磨を同時に受ける。そして、プリント基板Ｐの上方への送り開始直後においては、プリント基板Ｐの後端が前端となって、その前端が、方向変換用ガイドローラ１６と流体噴射手段２０からの水の流れＷ２とによって水平方向下流側に向かうように方向変換し、プリント基板Ｐの当初前端であった後端が上方への送りによって一対のバフ研磨ローラ１４間から離脱した時点で、図７（ｃ）に示すように、プリント基板Ｐは下部搬送ローラ６及び上部搬送ローラ９によって更に下流側に向かって搬送される。なお、このプリント基板Ｐの前側領域（当初後側領域）は、未研磨領域となっている。この時点で、後続のプリント基板Ｐ１は、基板用ストッパ８の上昇により下流側に向かって搬送可能となる。

更に、先行するプリント基板Ｐが下流側に搬送され、その前端（当初後端）が、図８（ａ）に示すように、下流側の初期位置検出センサ１９により検知されて、下流側の一対のグリップローラ１３の正転及び逆転の時期や流体噴射手段２１の動作が特定されると共に、この時点では、後続のプリント基板Ｐ１は上流側の一対の挟持ローラ１０により挟持されて下流側に搬送される。

そして、図８（ｂ）に示すように、先行するプリント基板Ｐ及び後続のプリント基板Ｐ１が下流側に搬送されることにより、図８（ｃ）に示すように、先行するプリント基板Ｐの前端が、下流側のグリップローラ１３の直前に到達した時点で、後続のプリント基板Ｐ１は、その前端が上流側の初期位置検出センサ１８により検知されて、上流側の一対のグリップローラ１２の正転及び逆転の時期や流体噴射手段２０の動作が特定される。

この後、図９（ａ）に示すように、先行するプリント基板Ｐの前端が方向変換して下方に向かって送られ、下流側の一対のバフ研磨ローラ１５間に侵入した時点で、後続のプリント基板Ｐ１は、その前端が上流側のグリップローラ１２の近傍で方向変換しつつある。なお、上流側のグリップローラ１２及びバフ研磨ローラ１４と、下流側のグリップローラ１３及びバフ研磨ローラ１５とは、回転方向等の動作が同一である。

そして、図９（ｂ）に示すように、先行するプリント基板Ｐが更に下方に送られることにより、そのプリント基板Ｐの未研磨領域である前側領域が、下流側の一対のバフ研磨ローラ１５により研磨されると共に、この時点では、後続のプリント基板Ｐ１が、上流側の一対のバフ研磨ローラ１４間に侵入を開始する。更に、図９（ｃ）に示すように、先行するプリント基板Ｐの後端が一対のグリップローラ１３間から離脱する直前で停止した時点では、後続のプリント基板Ｐ１は下方への送りを伴う研磨途中にある。したがって、この研磨装置１では、複数枚（図例では２枚）のプリント基板Ｐ、Ｐ１が、同時に研磨処理を受けることになる。

そして、図１０（ａ）に示すように、先行するプリント基板Ｐが上方への送りを伴う研磨途中にある時に、後続のプリント基板Ｐ１の後端は一対のグリップローラ１３間から離脱する直前で停止した状態にあるが、この時点では、更に後続（三枚目）のプリント基板Ｐ２が入口センサ７を通過して基板用ストッパ８により停止された状態にある。したがって、この研磨装置１では、複数枚（図例では三枚）のプリント基板Ｐ、Ｐ１、Ｐ２が、搬送や研磨等の処理を同時に受けることになる。なお、先行するプリント基板Ｐは、この下流側のバフ研磨ローラ１５によって、上流側のバフ研磨ローラ１４による場合とは逆方向の研磨を受ける。

この後、図１０（ｂ）に示すように、先行するプリント基板Ｐが下流側の上下一対の挟持ローラ１１により挟持された状態で、その前端が出口センサ２３を通過して搬出口５から僅かに外部に突出した時点では、後続のプリント基板Ｐ１と、更に後続のプリント基板Ｐ２とは、上述の図７（ｃ）に示す状態と同一になる。なお、図１０（ｃ）に示す状態を経て、先行するプリント基板Ｐの前端が、図１１（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に示す変化態様に則して、搬出口５から徐々に突出していくことにより、後続のプリント基板Ｐ１と、更に後続のプリント基板Ｐ２とは、上述の図８（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に示す変化態様と同一になる。そして、先行するプリント基板Ｐの後端が出口センサを通過した時点で、このプリント基板Ｐに対する研磨装置１内での処理が終了する。

なお、上記の実施形態では、搬入用搬送経路３Ａ、研磨用搬送経路３Ｂ及び搬出用搬送経路３Ｃの全てが水平方向に沿うように構成したが、これらの径路３Ａ、３Ｂ、３Ｃのうちの少なくとも一つが水平方向に対して所定角度だけ傾斜していてもよい。

図１２は、本発明の第二の実施形態に係る研磨装置１を例示するものであるが、便宜上、搬送ローラ等を省略すると共に、プリント基板Ｐの移動軌跡を一点鎖線で図示したものである。同図に示すように、この研磨装置１は、搬入口から上流側のグリップローラ１２に至るまでの搬送径路の全部または一部の径路３Ａ１が上下方向に沿うと共に、下流側のグリップローラ１３から搬出口に至るまでの搬送経路の全部または一部の径路３Ｃ１が上下方向に沿うように構成されている。その他の構成は、上述の第一の実施形態に係る研磨装置１と実質的に同一であるので、共通する構成要素に同一符号を付して動作等の説明を省略する。

図１３は、本発明の第三の実施形態に係る研磨装置１を例示するものであり、この場合にも便宜上、搬送ローラ等を省略すると共に、プリント基板Ｐの移動軌跡を一点鎖線で図示したものである。同図に示すように、この研磨装置１は、搬入口から水平方向（上下方向でもよい）に沿って搬送されて上流側のグリップローラ１２に到達したプリント基板Ｐが、下方のみに送られながら上流側のバフ研磨ローラ１４により両面が同時研磨された後、方向変換して搬送されることにより下流側のバフ研磨ローラ１５の直下方に至り、更に方向変換して上方のみに送られながら下流側のバフ研磨ローラ１５により両面が同時研磨され、然る後、下流側のグリップローラ１３を経て水平方向（上下方向でもよい）に沿って搬出口に至るように構成されている。この場合、プリント基板Ｐを挟持する上流側のグリップローラ１２及び下流側のグリップローラ１３は、上流側のバフ研磨ローラ１４の上方及び下方と、下流側のバフ研磨ローラ１５の上方及び下方とに配設され、これらのグリップローラ１２、１３と各バフ研磨ローラ１４、１５とは、該当するローラに矢印を付した方向に回転する。その他の構成は、上述の第一の実施形態に係る研磨装置１と実質的に同一であるので、共通する構成要件については同一符号を付してその説明を省略する。

なお、以上の実施形態では、プリント基板Ｐを搬送する搬送手段として搬送ローラを使用したが、この搬送手段は、搬送コンベヤであってもよく、或いは搬送ローラと搬送コンベヤとの組み合わせであってもよい。

本発明の第一の実施形態に係る研磨装置の全体構成を示す概略正面図である。 本発明の第一の実施形態に係る研磨装置の全体構成を示す概略平面図である。 図１のＡ−Ａ線拡大断面図である。 本発明の第一の実施形態に係る研磨装置の要部を示す拡大概略斜視図である。 本発明の第一の実施形態に係る研磨装置の要部を示す拡大概略正面図である。 図６（ａ）、（ｂ）、（ｃ）はそれぞれ、本発明の第一の実施形態に係る研磨装置の作用を示す概略正面図である。 図７（ａ）、（ｂ）、（ｃ）はそれぞれ、本発明の第一の実施形態に係る研磨装置の作用を示す概略正面図である。 図８（ａ）、（ｂ）、（ｃ）はそれぞれ、本発明の第一の実施形態に係る研磨装置の作用を示す概略正面図である。 図９（ａ）、（ｂ）、（ｃ）はそれぞれ、本発明の第一の実施形態に係る研磨装置の作用を示す概略正面図である。 図１０（ａ）、（ｂ）、（ｃ）はそれぞれ、本発明の第一の実施形態に係る研磨装置の作用を示す概略正面図である。 図１１（ａ）、（ｂ）、（ｃ）はそれぞれ、本発明の第一の実施形態に係る研磨装置の作用を示す概略正面図である。 本発明の第二の実施形態に係る研磨装置の要部を模式的に示す概略正面図である。 本発明の第三の実施形態に係る研磨装置の要部を模式的に示す概略正面図である。

符号の説明

１ 研磨装置
３Ａ 搬送経路（搬入用搬送経路）
３Ｂ 搬送経路（研磨用搬送経路）
３Ｃ 搬送経路（搬出用搬送経路）
６ 搬送手段（下部搬送ローラ）
９ 搬送手段（上部搬送ローラ）
１２ グリップローラ（上流側のグリップローラ）
１３ グリップローラ（下流側のグリップローラ）
１４ バフ研磨ローラ（上流側のバフ研磨ローラ）
１５ バフ研磨ローラ（下流側のバフ研磨ローラ）
１６ 方向変換用ガイドローラ（上流側の方向変換用ガイドローラ）
１７ 方向変換用ガイドローラ（下流側の方向変換用ガイドローラ）
２０ 流体噴射手段（上流側の流体噴射手段）
２１ 流体噴射手段（下流側の流体噴射手段）
Ｐ プリント基板（薄肉基板）
Ｐ１ プリント基板（薄肉基板）
Ｐ２ プリント基板（薄肉基板）
Ｗ１ 流体（水）の流れ
Ｗ２ 流体（水）の流れ

Claims (8)

1. 可撓性を有する板状ワークが搬送手段により搬送されると共に、この搬送手段による搬送途中で前記板状ワークがバフ研磨ローラにより研磨されるように構成した研磨装置において、
   前記搬送手段により形成される搬送径路の途中に、前記板状ワークを挟持する一対のグリップローラを対向して配置し、これらのグリップローラにより前記板状ワークを上下方向に沿って送ると共に、その送られた板状ワークの両面を、対向して配置された一対の前記バフ研磨ローラの相互間でこれらのバフ研磨ローラにより同時に研磨するように構成したことを特徴とする研磨装置。
2. 前記搬送経路は、前記搬送手段が前記板状ワークを水平方向に沿って搬送するように形成されると共に、該搬送径路の途中における前記一対のグリップローラの下方に前記一対のバフ研磨ローラが配設されていることを特徴とする請求項１に記載の研磨装置。
3. 前記板状ワークは、前記一対のグリップローラにより挟持された状態で下方への送りの後に上方への送りが行われることにより前記一対のバフ研磨ローラにより両面が同時に研磨されるように構成されていることを特徴とする請求項１または２に記載の研磨装置。
4. 前記搬送経路の途中における上流側と下流側との少なくとも二箇所にそれぞれ、前記一対のグリップローラと前記一対のバフ研磨ローラとが配設されていることを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載の研磨装置。
5. 前記搬送経路の途中における上流側に配設された一対のグリップローラと一対のバフ研磨ローラとによって、前記板状ワークの搬送方向一端を含む一部領域を研磨し、下流側に配設された一対のグリップローラと一対のバフ研磨ローラとによって、搬送方向が逆向きの状態にある前記板状ワークの未研磨部を含む領域を研磨するように構成されていることを特徴とする請求項４に記載の研磨装置。
6. 前記板状ワークは、前記搬送手段による水平方向に沿う搬送と、前記一対のバフ研磨ローラに対する送りとの方向変換時に、前記一対のグリップローラの周辺で流体の噴射供給を受けるように構成されていることを特徴とする請求項２〜５の何れかに記載の研磨装置。
7. 前記板状ワークは、フレキシブルプリント基板であることを特徴とする請求項１〜６の何れかに記載の研磨装置。
8. 可撓性を有する板状ワークが搬送手段により搬送されると共に、この搬送手段による搬送途中で前記板状ワークがバフ研磨ローラにより研磨される研磨方法において、
   前記搬送手段により形成される搬送径路の途中に、前記板状ワークを挟持する一対のグリップローラを対向して配置し、これらのグリップローラにより前記板状ワークを上下方向に沿って送ると共に、その送られた板状ワークの両面を、対向して配置された一対の前記バフ研磨ローラの相互間でこれらのバフ研磨ローラにより同時に研磨することを特徴とする研磨方法。

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