JP2009018410A

JP2009018410A - 研磨装置及び研磨方法

Info

Publication number: JP2009018410A
Application number: JP2008044138A
Authority: JP
Inventors: Yuji Sakamoto; 裕二坂本
Original assignee: Ishii Hyoki Co Ltd
Current assignee: Ishii Hyoki Co Ltd
Priority date: 2007-06-15
Filing date: 2008-02-26
Publication date: 2009-01-29

Abstract

【課題】バフ研磨ローラとバックアップローラとの相互間でプリント基板等のワークを研磨する際に、そのワークの後端部が、バックアップローラ或いはバフ研磨ローラの外周面に接触することによってワークが損傷するという不具合を回避する。
【解決手段】ワークＰを研磨するバフ研磨ローラＢ１と、このバフ研磨ローラＢ１に対向配置されたバックアップローラＣ１と、この両ローラＢ１、Ｃ１のワーク搬送方向前後両側に配列された搬送ローラＲ１〜Ｒ６とを備えると共に、バフ研磨ローラＢ１及びバックアップローラＣ１による研磨位置Ｄ１のワーク搬送方向前方側に、気体をワーク搬送方向後方側に向かって吹き付ける気体噴射手段の噴口Ｅ１を配設する。
【選択図】図７

Description

本発明は、研磨装置及び研磨方法に係り、詳しくは、バフ研磨ローラ及びバックアップローラによる研磨位置に対するワークの搬送を適正に行わせるための技術に関する。

周知のように、プリント基板は、絶縁基板の片面または両面に形成した銅箔等からなる金属層の表面にフォトレジスト膜を形成し、露光、現像、エッチング等を行うフォトリソ工程を経て製作される。この場合、絶縁基板の金属層の表面にフォトレジスト膜を形成する前段階においては、その金属層をバフ研磨することが行われている。

この種のバフ研磨を行う研磨装置として、例えば特許文献１（図１０）によれば、バフ研磨ローラと、このバフ研磨ローラに対向配置されたバックアップローラとを備え、この両ローラの相互間に送り込まれた薄板ワークとしてのプリント基板に対してバフ研磨ローラが研磨処理を施しつつ、該プリント基板を前方に搬送するようにした構成が開示されている。そして、このプリント基板は、フレキシブル基板であるため、上下一対のガイド部材により直進性を維持できるように案内された後、搬送ローラによってさらに前方に搬送されていく。

詳述すると、プリント基板がバフ研磨ローラにより研磨される場合には、プリント基板は表裏方向に湾曲するが、このように湾曲した場合であっても、プリント基板はガイド部材によって案内されて、一対の搬送ローラの相互間に入り込むように構成されている。

特開２００４−２６８２４９号公報

ところで、上記の特許文献１に開示された研磨装置によれば、プリント基板が上記のように湾曲していても、その研磨後の前端部はガイド部材により案内されることから当該前端部については致命的な支障が生じないものの、その研磨前の後端部は、研磨位置に達する以前に、両ローラ（特にバックアップローラ）の外周面に接触して損傷するおそれがある。また、プリント基板の研磨後の後端部がバフ研磨ローラから離脱した直後には、その研磨後の後端部が、両ローラ（特にバフ研磨ローラの外周面）に接触し、捲り上げられて損傷するおそれもある。

すなわち、プリント基板は極めて高速度で搬送されながら、バフ研磨ローラにより研磨されるものであり、その場合にプリント基板が表裏方向に湾曲したならば、プリント基板における研磨前の後端部に水平方向に沿う引張力が作用しないことから、当該後端部の揺れや波打ちなどが原因となって、研磨位置に達する以前に、当該後端部が主としてバックアップローラの外周面に接触するという事態を招く。

また、プリント基板が研磨後に湾曲した状態でバフ研磨ローラから離脱し、その離脱直後にプリント基板の後端部がバフ研磨ローラの外周面に接触した場合には、その接触部にプリント基板を押し上げる方向にバフ研磨ローラが回転していることから、プリント基板の後端部に欠けが発生し或いは当該後端部が捲り上げられて不当な応力が作用し、これに起因してプリント基板が破損或いは損傷するという不具合を招く。

本発明は、上記事情に鑑み、バフ研磨ローラとバックアップローラとの相互間でプリント基板等のワークを研磨する際に、そのワークの後端部が、バックアップローラ或いはバフ研磨ローラの外周面に接触することによってワークが損傷するという不具合を回避することを技術的課題とする。

上記技術的課題を解決するために創案された本発明に係る装置は、ワークを研磨するバフ研磨ローラと、該バフ研磨ローラに対向配置されたバックアップローラと、この両ローラのワーク搬送方向前後両側に配列された搬送ローラとを備えてなる研磨装置において、上記バフ研磨ローラ及びバックアップローラによる研磨位置のワーク搬送方向前方側に、気体をワーク搬送方向後方側に向かって吹き付ける気体噴射手段の噴口を配設したことに特徴づけられる。

このような構成によれば、バフ研磨ローラとバックアップローラとの相互間で研磨処理を受けているプリント基板等（フレキシブル基板等）のワークが表裏方向に湾曲し、そのワークの研磨前の後端部が、高速度で上記両ローラによる研磨位置に接近していく際に揺れや波打ち等が原因となって上記両ローラの外周面に接触しようとしても、上記研磨位置よりもワーク搬送方向前方側に配設された気体噴射手段の噴口から気体がワーク搬送方向後方側に吹き付けられることによって、上記のような接触が回避される。すなわち、気体噴射手段の噴口から吹き付けられた気体は、上記両ローラの周辺を通過してワークの後端部の周囲を流れるが、この流れによってワークの後端部は揺れや波打ちを生じることなく一平面に略沿う形態となって上記両ローラに接近していくことになるため、ワークの後端部が研磨位置に達する以前に両ローラ（特にバックアップローラ）の外周面に接触するという不具合が回避される。一方、研磨処理を受けて湾曲したワークが前方に送られて上記両ローラから離脱した直後に、ワークの後端部が両ローラの外周面に接触しようとした場合においても、上記両ローラによる研磨位置よりもワーク搬送方向前方側に配設された気体噴射手段の噴口から気体がワーク搬送方向後方側に吹き付けられることによって、そのような接触が回避される。すなわち、上記両ローラから離脱した後におけるワークの後端部と両ローラ（特にバフ研磨ローラ）の外周面との間に、気体噴射手段の噴口から吹き付けられた気体が流入して、両者を離反させた状態に維持することになるので、両者の接触が阻止されて、ワークにバフ研磨ローラから不当な押圧力が作用しなくなる。これにより、ワークの後端部がバフ研磨ローラに接触して搬送方向後方側から押し付けられることに起因して、ワークに押圧変形や捲り上げ変形さらには欠け等が生じるという事態が回避され、ワークの損傷や破損等の不具合が生じなくなる。尚、上記の「気体」は、エアであることが好ましいが、窒素、酸素またはアルゴン等の不活性ガスであっても差し支えない。

この場合、少なくとも、ワークの後端部が、バフ研磨ローラ及びバックアップローラのワーク搬送方向後方側の直近の搬送ローラを抜け出た時点から、該バフ研磨ローラとバックアップローラとの相互間を抜け出るまでの間に、上記気体噴射手段の噴口から気体をワーク搬送方向後方側に向かって吹き付けるように構成することができる。

すなわち、気体噴射手段の噴口から気体を吹き付ける時期は、常時吹き付けを行っても良く、所定の周期で一時的に吹き付けを行っても良いが、少なくともワークの後端部が上記両ローラの後方側の直近の搬送ローラを抜け出た時点から上記両ローラの相互間を抜け出るまでの間に、気体の吹き付けが行われていることが好ましい。このようにすれば、ワークの後端部が当該搬送ローラを抜け出ることにより、フリーな状態となって水平方向の引張力が作用しなくなった場合でも、気体の流れによって引張力に相当する力が作用することになり、ワークの後端部が上記両ローラの相互間を抜け出るまでの間に、既述のように主としてバックアップローラの外周面とワークの後端部とが接触するという事態を回避することができる。

また、ワークの後端部が、バフ研磨ローラとバックアップローラとの相互間を抜け出た後に、上記気体噴射手段の噴口から気体をワーク搬送方向後方側に向かって吹き付けるように構成してもよい。

このようにすれば、研磨処理を受けた後の湾曲したワークの後端部が、主としてバフ研磨ローラの外周面に接触するという事態が確実に回避され、ワークの損傷等の発生確率を的確に低減させることが可能となる。

この研磨装置において、上記バフ研磨ローラは、バックアップローラに接近し且つバックアップローラとの間でワークを挟持して研磨する研磨位置と、バックアップローラから離反して退避する退避位置とを取るように構成されていてもよい。

このような構成であっても、ワークの研磨前の後端部或いはワークの研磨後の後端部が、バフ研磨ローラが退避位置に移行した時に、バックアップローラやバフ研磨ローラの外周面に接触することは起こり得るが、既述のように気体噴射手段の噴口からの気体の吹き付けによって両者の接触は効果的に回避される。

更に、上記気体噴射手段の噴口は、気体をワーク搬送方向後方側であってバックアップローラのバフ研磨ローラとの対向側端部に向かって吹き付けるように構成されていることが好ましい。

このようにすれば、気体噴射手段の噴口からの気体の吹き付け方向が、ワークの後端部がバックアップローラ或いはバフ研磨ローラの外周面に接触することを阻止する上で最適な方向となり、より確実に両者の接触を回避してワークの損傷等を回避することが可能となる。

以上の構成において、上記バフ研磨ローラ及びバックアップローラによる研磨位置のワーク搬送方向後方側であってその後方側の直近の搬送ローラよりも上記研磨位置側に、ワークを案内する一対のガイドが配設され、その一対のガイドのうち少なくとも一方のガイドがワークに対して接近及び離反するように構成されていることが好ましい。

このようにすれば、研磨位置のワーク搬送方向後方側に存する搬送ローラよりもバフ研磨ローラ及びバックアップローラに近い位置で、少なくとも一方のガイドがワークに接近することにより一対のガイドによってワークの表裏両面を適正に案内することができる。また、例えば、ワークが研磨位置を通過していく過程において、この一対のガイドと研磨位置のワーク搬送方向前方側に存する搬送ローラとによって、ワークを適度に挟み込み支持することが可能となる。従って、ワークに対する研磨処理が、ワークを全長に亘って確実に案内しつつ安定した状態で行うことが可能となる。

また、上記バフ研磨ローラ及びバックアップローラによる研磨位置のワーク搬送方向前方側であってその前方側の直近の搬送ローラよりも上記研磨位置側に、ワークを案内する一対のガイドが配設され、その一対のガイドのうちバックアップローラ側（ワーク搬送方向と直交する方向におけるバックアップローラ側）に位置するガイドに上記気体噴射手段の噴口が設けられる構成とすることができる。

このようにすれば、ワークの後端部とバックアップローラの外周面との接触を回避するに際して、ガイドが気体噴射手段の噴口の形成部として有効利用されて、部品点数の削減が図られると共に、噴口の形成部を適正な位置とすることができ、仮に噴口を他部材に形成した場合における当該他部材とガイドとの干渉等を回避することが可能となる。

この場合、上記バフ研磨ローラ及びバックアップローラによる研磨位置のワーク搬送方向前方側であってその前方側の直近の搬送ローラよりも上記研磨位置側に、ワークを案内する一対のガイドが配設され、その一対のガイドのうちバフ研磨ローラ側（ワーク搬送方向と直交する方向におけるバフ研磨ローラ側）に位置するガイドに上記気体噴射手段の噴口が設けられる構成としてもよい。

このようにすれば、ワークの後端部とバフ研磨ローラの外周面との接触を回避するに際して、ガイドが気体噴射手段の噴口の形成部として有効利用され、上述の場合と同様の作用効果を享受することができる。

尚、そのような研磨装置において、上記一対のガイドのうち、気体噴射手段の噴口が設けられていないガイドを廃止してもよい。

このようにすれば、ワークを一対のガイド間で案内することまでをも要求されない部位においても、気体の吹き付けによる既述の作用効果を享受することができる。

一方、上記技術的課題を解決するために創案された本発明に係る方法は、ワークを研磨するバフ研磨ローラと、該バフ研磨ローラのバックアップローラと、この両ローラのワーク搬送方向前後両側に配列された搬送ローラとを備え、ワークが搬送ローラにより前方側に搬送される途中でバフ研磨ローラとバックアップローラとの間で研磨処理を受ける研磨方法において、上記バフ研磨ローラ及びバックアップローラによる研磨位置のワーク搬送方向前方側に配置した気体噴射手段の噴口から、気体をワーク搬送方向後方側に向かって吹き付けることに特徴づけられる。

このような方法によっても、上記装置の基本的構成から得られる作用効果と実質的に同一の作用効果を享受することができる。

以上のように本発明によれば、バフ研磨ローラとバックアップローラとの相互間で研磨処理を受けるプリント基板等のワークの後端部が、バフ研磨ローラ或いはバックアップローラの外周面に接触して損傷するという不具合が、気体の吹き付けによって効果的に回避される。

以下、本発明の実施形態を添付図面を参照して説明する。

図１は、本発明の第一実施形態に係る研磨装置の全体構成を示す概略正面図である。この第一実施形態に係る研磨装置は、プリント基板からなるワークが研磨処理を受けている場合におけるそのワークの研磨前の後端部が、バックアップローラに接触することを回避する目的で構成された装置である。

同図に示すように、研磨装置１は、後方側（左側）から前方側（右側）に向かうワーク搬送径路の途中に、第１研磨処理部Ｓ１と、第２研磨処理部Ｓ２と、第３研磨処理部Ｓ３と、第４研磨処理部Ｓ４とを備えている。尚、同図に符号Ｌで示す鎖線は、ワーク搬送径路の基準線である。

第１研磨処理部Ｓ１においては、バフ研磨ローラＢ１が基準線Ｌの下方に配置され且つバックアップローラＣ１がその上方に配置され、第２、第３研磨処理部Ｓ２、Ｓ３においては、バフ研磨ローラＢ２、Ｂ３が基準線Ｌの上方に配置され且つそれらの下方にバックアップローラＣ２、Ｃ３がそれぞれ配置され、第４研磨処理部Ｓ４においては、バフ研磨ローラＢ４が基準線Ｌの下方に配置され且つバックアップローラＣ４がその上方に配置されている。そして、各バフ研磨ローラＢ１、Ｂ２、Ｂ３、Ｂ４はモータＭによりそれぞれ矢印方向に回転駆動されると共に、第１、第４研磨処理部Ｓ１、Ｓ４のバックアップローラＣ１、Ｃ４も矢印方向に回転駆動され、第２、第３研磨処理部Ｓ２、Ｓ３のバックアップローラＣ２、Ｃ３は矢印方向に従動回転する構成とされている。

第１研磨処理部Ｓ１は、バフ研磨ローラＢ１とバックアップローラＣ１とによる研磨位置Ｄ１のワーク搬送方向後方側（以下、単に後方側ともいう）に、二対の搬送ローラＲ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４が配置されると共に、研磨位置Ｄ１のワーク搬送方向前方側（以下、単に前方側ともいう）に、一対の搬送ローラＲ５、Ｒ６が配置されている。更に、研磨位置Ｄ１と後方側の搬送ローラＲ３、Ｒ４との間には、一対のガイドＧ１、Ｇ２が配置されると共に、研磨位置Ｄ１と前方側の搬送ローラＲ５、Ｒ６との間にも、一対のガイドＧ３、Ｇ４が配置されている。そして、後方側の一対のガイドＧ１、Ｇ２は、何れも板状をなし、この両ガイドＧ１、Ｇ２の離隔寸法は後方側に移行するに連れて漸次長くなると共に、下方のガイドＧ２は上方側に凸となるように湾曲または折曲している。一方、前方側の一対のガイドＧ３、Ｇ４は、何れも板状をなし、この両ガイドＧ３、Ｇ４の離隔寸法も後方側に移行するに連れて漸次長くなっている。そして、この上方（搬送径路よりもバックアップローラＣ１側）のガイドＧ３の後端部には、気体噴射手段の噴口（スリット）Ｅ１が形成されている。また、前方側の上方のガイドＧ３と、後方側の上方のガイドＧ１と、後方側の上方の搬送ローラＲ１、Ｒ３とは、バックアップローラＣ１と一体となって上下動するように構成されると共に、後方側の下方のガイドＧ２は、駆動手段（ピストンシリンダ）Ａ１の動作により上下動するように構成されている。更に、前方側の搬送ローラＲ５、Ｒ６の前方にも、一対のガイドＧ５、Ｇ６が配置され、これらのうち上方のガイドＧ５が、前方側の上方の搬送ローラＲ５と一体となって駆動手段Ａ２の動作により上下動するように構成されている。

第２研磨処理部Ｓ２は、バフ研磨ローラＢ２とバックアップローラＣ２とによる研磨位置Ｄ２の後方側に一対の搬送ローラＲ７、Ｒ８が配置され且つ前方側にも一対の搬送ローラＲ９、Ｒ１０が配置されると共に、研磨位置Ｄ２と後方側の搬送ローラＲ７、Ｒ８との間には、一対のガイドＧ７、Ｇ８が配置され、研磨位置Ｄ２と前方側の搬送ローラＲ９、Ｒ１０との間には、基準線Ｌの下方（搬送径路のバックアップローラＣ２側）にのみガイドＧ９が配置されている。この場合、後方側のガイドＧ７、Ｇ８は、何れも板状をなし、この両ガイドＧ７、Ｇ８の離隔寸法は後方側に移行するに連れて漸次長くなると共に、上方のガイドＧ７は後方側の上方の搬送ロラＲ７と一体となって駆動手段Ａ３の動作により上下動し、下方のガイドＧ８は駆動手段Ａ４の動作により上下動するように構成されている。一方、前方側のガイドＧ９は、板状をなし、このガイドＧ９の後端部には、気体噴射手段のスリットＥ２が形成されている。また、前方側の上方の搬送ローラＲ９は、駆動手段Ａ５の動作により上下動するように構成されている。

第３研磨処理部Ｓ３は、バフ研磨ローラＢ３とバックアップローラＣ３とによる研磨位置Ｄ３の後方側に一対の搬送ローラＲ１１、Ｒ１２が配置され且つ前方側にも一対の搬送ローラＲ１３、Ｒ１４が配置されると共に、研磨位置Ｄ３と後方側の搬送ローラＲ１１、Ｒ１２との間には、一対のガイドＧ１１、Ｇ１２が配置され、研磨位置Ｄ３と前方側の搬送ローラＲ１３、Ｒ１４との間には、基準線Ｌの下方にのみガイドＧ１３が配置されている。そして、前方側の搬送ローラＲ１３、Ｒ１４、後方側の搬送ローラＲ１１、Ｒ１２、前方側のガイドＧ１３及び後方側のガイドＧ１１、Ｇ１２の構成、並びにこれらと駆動手段Ａ６、Ａ７、Ａ８との関係、並びに前方側のガイドＧ１３の後端部に気体噴射手段のスリットＥ３が形成されている点については、上記第２研磨処理部Ｓ２の場合と実質的に同一とされている。尚、第２研磨処理部Ｓ２の前方側の搬送ローラＲ９、Ｒ１０と、第３研磨処理部Ｓ３の後方側の搬送ローラＲ１１、Ｒ１２との間には、基準線Ｌの下方にのみ搬送ローラＲｘが配設されると共に、その前後両側には、基準線Ｌの下方にのみガイドＧｘ、Ｇｙが配設されている。

第４研磨処理部Ｓ４は、バフ研磨ローラＢ４とバックアップローラＣ４とによる研磨位置Ｄ４の後方側に一対の搬送ローラＲ１５、Ｒ１６が配置されると共に、研磨位置Ｄ４の前方側に二対の搬送ローラＲ１７、Ｒ１８、Ｒ１９、Ｒ２０が配置されている。また、研磨位置Ｄ４と後方側の搬送ローラＲ１５、Ｒ１６との間には、一対のガイドＧ１５、Ｇ１６が配置されると共に、研磨位置Ｄ４と前方側の搬送ローラＲ１７、Ｒ１８との間にも、一対のガイドＧ１７、Ｇ１８が配置されている。そして、後方側のガイドＧ１５、Ｇ１６と前方側のガイドＧ１７、Ｇ１８の形状や構成、及び前方側の上方のガイドＧ１８の後端部に気体噴射手段のスリットＥ４が形成されている点、後方側の下方のガイドＧ１６が駆動手段Ａ９の動作により上下動する点については、上記第１研磨処理部Ｓ１と同一である。但し、この第４研磨処理部Ｓ４では、前方側の上方の両ローラＲ１７、Ｒ１９が駆動手段Ａ１０の動作により上下動し、前方側及び後方側の上方の両ガイドＧ１５、Ｇ１７と、後方側の上方の搬送ローラＲ１５とが、バックアップローラＣ４と一体となって上下動するように構成されている。尚、第３研磨処理部Ｓ３の前方側の搬送ローラＲ１３、Ｒ１４と、第４研磨処理部Ｓ４の後方側の搬送ローラＲ１５、Ｒ１６との間には、基準線Ｌの下方にのみガイドＧｚが配設されている。

次に、上記第一実施形態に係る研磨装置１の作用を、第１〜第４研磨処理部Ｓ１〜Ｓ４のそれぞれについて別々に説明する。

図２は、第１研磨処理部Ｓ１が初期状態にある時、即ちワークとしてのプリント基板Ｐが搬送されてきていないときの状態を示している。この時点においては、バフ研磨ローラＢ１及びバックアップローラＣ１を含む所定の構成要素が退避した状態にある。尚、このプリント基板Ｐは、厚みが５０μｍ〜１５０μｍ程度の薄肉基板（フレキシブル基板）である。

このような状態から、プリント基板Ｐが第１研磨処理部Ｓ１に搬送されてきた場合には、図３に示すように、バックアップローラＣ１が下動し、これに伴って、後方側の上方の搬送ローラＲ１、Ｒ３と、後方側の上方のガイドＧ１と、前方側の上方のガイドＧ３とが下動する。この後、図４に示すように、バフ研磨ローラＢ１が上動して、バックアップローラＣ１との間にプリント基板Ｐの厚みに対応する僅かな隙間が設けられた状態となる。

このような状態の下で、プリント基板Ｐが搬送ローラＲ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４によって前方に搬送されるが、図５に示すように、プリント基板Ｐがバフ研磨ローラＢ１とバックアップローラＣ１との間を通過して研磨処理を受けながら搬送されることにより、プリント基板Ｐの前端部が、後方側のガイドＧ１、Ｇ２によって案内された後、前方側のガイドＧ３、Ｇ４によって案内される。

その後、プリント基板Ｐの前端部が前方側の搬送ローラＲ５、Ｒ６の相互間に達した時点で、図６に示すように、上方の搬送ローラＲ５が下動してプリント基板Ｐを挟み込んだ状態で前方に搬送する。そして、同図に示すように、プリント基板Ｐの後端部が、後方側の搬送ローラＲ３、Ｒ４に挟まれた状態から抜け出ようとした時点で、前方側の上方のガイドＧ３の後端部に形成されたスリットＥ１から、エアが後方側に向かって、厳密にはバックアップローラＣ１の下端部に向かって吹き付けられる。

この後、プリント基板Ｐの後端部が、後方側の搬送ローラＲ３、Ｒ４から抜け出た場合には、プリント基板Ｐは前方側の搬送ローラＲ５、Ｒ６のみによって挟み込み支持された状態で研磨処理を受ける。この場合、仮にスリットＥ１からエアが後方側に吹き付けられていないとしたならば、図７に鎖線で示すプリント基板Ｐの後端部Ｐｘに、揺れや波打ちが発生して当該後端部ＰｘがバックアップローラＣ１の外周面（或いはガイドＧ１）に接触し、これに起因してプリント基板Ｐが損傷するという事態を招く。しかしながら、この第１研磨処理部Ｓ１では、スリットＥ１からエアが後方側に向かって吹き付けられているので、このエアはバックアップローラＣ１の周囲を通過することになり、プリント基板Ｐの後端部Ｐｘの周囲には後方側に向かうエアの流れが生成され、当該後端部Ｐｘは波打ち等を生じることなく一平面に略沿う形態に維持される。これにより、プリント基板Ｐの後端部ＰｘがバックアップローラＣ１の外周面（またはガイドＧ１）に接触するという事態が回避される。

そして、プリント基板Ｐが研磨処理を受け終えた時点で、図８に示すように、バフ研磨ローラＢ１が下動すると同時に、バックアップローラＣ１が後方側の上方の搬送ローラＲ１、Ｒ３と前後の上方のガイドＧ１、Ｇ２と一体となって上動し、さらに後方側の下方のガイドＧ２が下動する。これにより、プリント基板Ｐは、前方側の搬送ローラＲ５、Ｒ６に挟み込まれた状態で搬送されると共に、スリットＥ１からのエアの吹き付けが停止する。この後、プリント基板Ｐが第２研磨処理部Ｓ２に搬送されていくことにより、図９に示すように、前方側の上方の搬送ローラＲ５が上動し、これに伴って前方側の上方のガイドＧ５も上動する。

図１０は、第２研磨処理部Ｓ２の初期状態を示している。この時点においては、バフ研磨ローラＢ１を含む所定の構成要素が退避した状態にある。この第２研磨処理部Ｓ２では、前方側のガイドＧ９が基準線Ｌの下方にのみ設けられ、このガイドＧ９の後端部にスリットＥ２が形成されると共に、バックアップローラＣ２は一定位置に保持される。このような状態からプリント基板Ｐが第１研磨処理部Ｓ１を通過して搬送されてきた時点で、図１１に示すように、後方側の上方の搬送ローラＲ７が下動し、これに伴って後方側の上方のガイドＧ７も下動する。この後、図１２に示すように、後方側の搬送ローラＲ７、Ｒ８にプリント基板Ｐの前端部が挟み込まれて搬送されると共に、バフ研磨ローラＢ２が下動して、バックアップローラＣ２との間にプリント基板Ｐの厚みに対応する僅かな隙間が設けられた状態となる。

このような状態の下で、プリント基板Ｐが後方側の搬送ローラＲ７、Ｒ８によって更に前方に搬送され、プリント基板Ｐが前後のガイドＧ７、Ｇ８、Ｇ９、Ｇ１０によって案内されながら、バフ研磨ローラＢ２とバックアップローラＣ２との間を通過することにより研磨処理を受けて、図１３に示すように、プリント基板Ｐの前端部が前方側の搬送ローラＲ９、Ｒ１０の相互間に接近した時点で、上方の搬送ローラＲ９が下動して、図１４に示すようにプリント基板Ｐの前端部を挟み込む。

そして、図１４に示すように、プリント基板Ｐの後端部が、後方側の搬送ローラＲ７、Ｒ８から抜け出ようとした時点で、前方側のガイドＧ９の後端部に形成されたスリットＥ２から、エアが後方側に向かって、厳密にはバックアップローラＣ２の上端部に向って吹き付けられる。また、この時点においては、プリント基板Ｐの後部が後方側のガイドＧ７、Ｇ８の相互間に介在された状態となると共に、プリント基板Ｐの前端部は、前方側の搬送ローラＲ９、Ｒ１０によって挟み込み支持された状態となる。

そして、このような状態で、プリント基板Ｐが前方に搬送されることにより、プリント基板Ｐの後端部が、後方側の搬送ローラＲ７、Ｒ８から抜け出た場合であっても、スリットＥ２からのエアによって、プリント基板Ｐの後端部が波打ち等を生じることなく、一平面に略沿う形態で前方に搬送される。これにより、プリント基板Ｐの後端部がバックアップローラＣ２に接触して損傷するという事態が回避される。

この後、図１５に示すように、プリント基板Ｐが研磨処理を受けながらさらに前方に搬送されて、プリント基板Ｐの後端部がバフ研磨ローラＢ２とバックアップローラＣ２との相互間から抜け出ようとした時点（プリント基板Ｐの研磨処理を終えた時点）で、図１６に示すように、バフ研磨ローラＢ２が上動すると同時に、後方側の上方の搬送ローラＲ７と後方側の上方のガイドＧ７とが一体となって上動する。そして、この状態の下で、スリットＥ２からのエアの吹き付けが停止する。

このような状態からプリント基板Ｐがさらに前方に送られて、図１７に示すように、プリント基板Ｐの後端部が前方側の搬送ローラＲ９、Ｒ１０を抜け出ようとした時点で、その上方の搬送ローラＲ９が上動して、プリント基板Ｐが第３研磨処理部Ｓ３に搬送されていく。

尚、後続の第３研磨処理部Ｓ３における動作は、上述の第２研磨処理部Ｓ２の動作と実質的に同一であるので、その説明を省略すると共に、後続の第４研磨処理部Ｓ４における動作も、上述の第１研磨処理部Ｓ１の動作と実質的に同一であるので、その説明を省略する。

図１８は、本発明の第二実施形態に係る研磨装置の全体構成を示す概略正面図である。この第二実施形態に係る研磨装置は、プリント基板からなるワークが研磨処理を受けた後に、そのワークの研磨後の後端部が、バフ研磨ローラに接触することを回避する目的で構成された装置である。

同図に示すように、この第二実施形態に係る研磨装置１が、上述の第一実施形態と相違している主たる点は、第１研磨処理部Ｓ１及び第４研磨処理部Ｓ４におけるそれぞれの前方側の一対のガイドＧ３、Ｇ４及びＧ１７、Ｇ１８のうち、下方（バフ研磨ローラＢ１側）のそれぞれのガイドＧ４、Ｇ１８の後端部に、後方側に向かって気体を吹き付けるための気体噴射手段のスリットＥ１、Ｅ４が形成されている点と、第２研磨処理部Ｓ１及び第３研磨処理部Ｓ３におけるそれぞれの前方側のガイドとして、上下一対のガイドＧ９、Ｇ１０及びＧ１３、Ｇ１４を備え、且つそれぞれの上方のガイドＧ９、Ｇ１３の後端部に、後方側に向かって気体を吹き付けるための気体噴射手段のスリットＥ２、Ｅ３が形成されている点とである。その他の構成は、基本的に、上述の第一実施形態と同一であるので、両者に共通の構成要件については同一符号を付してその説明を省略する。

このような構成によれば、以下に示すような作用効果が得られる。すなわち、第１研磨処理部Ｓ１（第２研磨処理部Ｓ４も同様）では、プリント基板Ｐが研磨処理を受け終えた時点で、図１９に示すように、バフ研磨ローラＢ１が下動すると同時に、バックアップローラＣ１が後方側の上方の搬送ローラＲ１、Ｒ３と前後の上方のガイドＧ１、Ｇ２と一体となって上動し、さらに後方側の下方のガイドＧ２が下動する。この結果、プリント基板Ｐの後端部は、反りや波打ち等の発生によりバフ研磨ローラＢ１の外周面に接触しようとするが、この時点においては、前方側の下方のガイドＧ４の後端部に形成されたスリットＥ１から後方に向かってエアが吹き付けられていることにより、プリント基板Ｐの後端部は一平面に略沿う形態となって搬送される。したがって、プリント基板Ｐの後端部がバフ研磨ローラＢ１に接触して損傷するという不具合が回避される。

また、第２研磨処理部Ｓ２（第３研磨処理部Ｓ３も同様）においても、図２０に示すように、プリント基板Ｐの研磨処理を終えた時点で、バフ研磨ローラＢ２が上動すると同時に、後方側の上方の搬送ローラＲ７と後方側の上方のガイドＧ７とが一体となって上動する。この時点においては、プリント基板Ｐに反りや波打ち等が発生しその後端部が上方に浮上してバフ研磨ローラＢ２の外周面に接触しようとしても、前方側の上方のガイドＧ９の後端部に形成されたスリットＥ２からエアが後方に向かって吹き付けられているので、プリント基板Ｐの後端部の浮上が阻止されて、バフ研磨ローラＢ２に接触することによるプリント基板Ｐの損傷が効果的に回避される。

尚、以上の実施形態では、気体噴射手段の噴口（スリット）をガイドに形成したが、ガイド以外の他部材を別途配設して、その他部材に気体噴射手段の噴口を形成するようにしてもよい。

本発明の第一実施形態に係る研磨装置の全体構成を示す概略正面図である。本発明の第一実施形態に係る研磨装置の第１研磨処理部の作用を示す概略正面図である。本発明の第一実施形態に係る研磨装置の第１研磨処理部の作用を示す概略正面図である。本発明の第一実施形態に係る研磨装置の第１研磨処理部の作用を示す概略正面図である。本発明の第一実施形態に係る研磨装置の第１研磨処理部の作用を示す概略正面図である。本発明の第一実施形態に係る研磨装置の第１研磨処理部の作用を示す概略正面図である。本発明の第一実施形態に係る研磨装置の第１研磨処理部の作用を示す概略正面図である。本発明の第一実施形態に係る研磨装置の第１研磨処理部の作用を示す概略正面図である。本発明の第一実施形態に係る研磨装置の第１研磨処理部の作用を示す概略正面図である。本発明の第一実施形態に係る研磨装置の第２研磨処理部の作用を示す概略正面図である。本発明の第一実施形態に係る研磨装置の第２研磨処理部の作用を示す概略正面図である。本発明の第一実施形態に係る研磨装置の第２研磨処理部の作用を示す概略正面図である。本発明の第一実施形態に係る研磨装置の第２研磨処理部の作用を示す概略正面図である。本発明の第一実施形態に係る研磨装置の第２研磨処理部の作用を示す概略正面図である。本発明の第一実施形態に係る研磨装置の第２研磨処理部の作用を示す概略正面図である。本発明の第一実施形態に係る研磨装置の第２研磨処理部の作用を示す概略正面図である。本発明の第一実施形態に係る研磨装置の第２研磨処理部の作用を示す概略正面図である。本発明の第二実施形態に係る研磨装置の全体構成を示す概略正面図である。本発明の第二実施形態に係る研磨装置の第１研磨処理部の作用を示す概略正面図である。本発明の第二実施形態に係る研磨装置の第２研磨処理部の作用を示す概略正面図である。

符号の説明

１研磨装置
Ｂ１バフ研磨ローラ
Ｂ２バフ研磨ローラ
Ｂ３バフ研磨ローラ
Ｂ４バフ研磨ローラ
Ｃ１バックアップローラ
Ｃ２バックアップローラ
Ｃ３バックアップローラ
Ｃ４バックアップローラ
Ｅ１気体噴射手段の噴口（スリット）
Ｅ２気体噴射手段の噴口（スリット）
Ｅ３気体噴射手段の噴口（スリット）
Ｅ４気体噴射手段の噴口（スリット）
Ｇ１〜Ｇ１８ガイド
Ｒ１〜Ｒ２０搬送ローラ
Ｐプリント基板（ワーク）

Claims

ワークを研磨するバフ研磨ローラと、該バフ研磨ローラに対向配置されたバックアップローラと、この両ローラのワーク搬送方向前後両側に配列された搬送ローラとを備えてなる研磨装置において、
上記バフ研磨ローラ及びバックアップローラによる研磨位置のワーク搬送方向前方側に、気体をワーク搬送方向後方側に向かって吹き付ける気体噴射手段の噴口を配設したことを特徴とする研磨装置。
少なくとも、ワークの後端部が、バフ研磨ローラ及びバックアップローラのワーク搬送方向後方側の直近の搬送ローラを抜け出た時点から、該バフ研磨ローラとバックアップローラとの相互間を抜け出るまでの間に、上記気体噴射手段の噴口から気体をワーク搬送方向後方側に向かって吹き付けるように構成されていることを特徴とする請求項１に記載の研磨装置。
ワークの後端部が、バフ研磨ローラとバックアップローラとの相互間を抜け出た後に、上記気体噴射手段の噴口から気体をワーク搬送方向後方側に向かって吹き付けるように構成されていることを特徴とする請求項１または２に記載の研磨装置。
上記バフ研磨ローラは、バックアップローラに接近し且つバックアップローラとの間でワークを挟持して研磨する研磨位置と、バックアップローラから離反して退避する退避位置とを取るように構成されていることを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載の研磨装置。
上記気体噴射手段の噴口は、気体をワーク搬送方向後方側であってバックアップローラのバフ研磨ローラとの対向側端部に向かって吹き付けるように構成されていることを特徴とする請求項１〜４の何れかに記載の研磨装置。
上記バフ研磨ローラ及びバックアップローラによる研磨位置のワーク搬送方向後方側であってその後方側の直近の搬送ローラよりも上記研磨位置側に、ワークを案内する一対のガイドが配設され、その一対のガイドのうち少なくとも一方のガイドがワークに対して接近及び離反するように構成されていることを特徴とする請求項１〜５の何れかに記載の研磨装置。
上記バフ研磨ローラ及びバックアップローラによる研磨位置のワーク搬送方向前方側であってその前方側の直近の搬送ローラよりも上記研磨位置側に、ワークを案内する一対のガイドが配設され、その一対のガイドのうちバックアップローラ側に位置するガイドに上記気体噴射手段の噴口が設けられていることを特徴とする請求項１〜６の何れかに記載の研磨装置。
上記バフ研磨ローラ及びバックアップローラによる研磨位置のワーク搬送方向前方側であってその前方側の直近の搬送ローラよりも上記研磨位置側に、ワークを案内する一対のガイドが配設され、その一対のガイドのうちバフ研磨ローラ側に位置するガイドに上記気体噴射手段の噴口が設けられていることを特徴とする請求項１〜６の何れかに記載の研磨装置。
請求項７または８に記載の研磨装置において、上記一対のガイドのうち、気体噴射手段の噴口が設けられていないガイドを廃止したことを特徴とする研磨装置。
ワークを研磨するバフ研磨ローラと、該バフ研磨ローラのバックアップローラと、この両ローラのワーク搬送方向前後両側に配列された搬送ローラとを備え、ワークが搬送ローラにより前方側に搬送される途中でバフ研磨ローラとバックアップローラとの間で研磨処理を受ける研磨方法において、
上記バフ研磨ローラ及びバックアップローラによる研磨位置のワーク搬送方向前方側に配置した気体噴射手段の噴口から、気体をワーク搬送方向後方側に向かって吹き付けることを特徴とする研磨方法。