JP2003062745A - 研磨装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】薄いワークが搬送ローラに巻き付いて研磨装置
が停止することを防止する。 【解決手段】ワークを搬送する搬送ローラ２と、搬送ロ
ーラ２，２の間に配設されたバフ研磨ローラ３と、この
バフ研磨ローラ３のバックアップローラ４とを備える研
磨装置において、搬送ローラ２のワーク搬送方向前方側
に、この搬送ローラと一部オーバーラップするフリーロ
ーラ６，７を設けた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は研磨装置に関し、特
に、フレキシブルプリント基板などの薄いワークを、効
率良く連続的にバフ研磨する研磨装置に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】プリント基板は、絶縁基板の片面または
両面に貼着した銅箔上にフォトレジスト膜を形成し、フ
ォトレジスト膜の露光および現像、レジスト膜から露出
した銅箔のエッチング、フォトレジスト膜の剥離、銅箔
のマイクロエッチング、水洗などの諸工程を経て製造さ
れている。

【０００３】前記銅箔上にフォトレジスト膜を形成する
場合、銅箔の厚さがばらついていると、形成される導電
路としてのラインの厚さもばらつくことになる。また、
銅箔の表面に酸化層があると、得られた導電路としての
ラインの導電性がばらつくことになる。さらに、銅箔上
に汚れがあるとフォトレジスト膜の付着強度が小さくな
って、エッチング中にフォトレジスト膜が部分的に剥離
して、フォトレジスト膜下の銅箔のサイドエッチングが
進行するため、導電路としてのライン幅が不足して抵抗
値が高くなるという問題点がある。

【０００４】そこで、プリント基板の銅箔上にフォトレ
ジスト膜を形成する前に、銅箔表面をバフ研磨すること
が行なわれている。

【０００５】図７（ａ）は、従来の研磨装置２０の概略
平面図を示し、図７（ｂ）はその概略透視正面図を示
す。図７（ａ）（ｂ）において、２１は送りローラで、
この送りローラ２１上にプリント基板などのワークが供
給される。２２は上下一対の多数組よりなるワーク搬送
用の搬送ローラで、例えば、ワークを０〜１０ｍ／ｍｉ
ｎ（可変）の速度で搬送する。２３は搬送ローラ２２，
２２間に配設されたバフ研磨ローラで、図示例は上下に
交互に２個ずつ配置されている。このバフ研磨ローラ２
３は搬送ローラ２２によるワークの搬送速度よりも周速
度が大きくなるように、例えば、回転数が２０００ｒｐ
ｍ（固定）に設定されており、バフ研磨ローラ２３の周
面が高速でワークの両面を擦ることによって、ワークが
バフ研磨される。２４はバフ研磨ローラ２３をワークに
対して所定の押圧力で押し当てるためのバフ研磨ローラ
２３のバックアップローラである。２５はバフ研磨に伴
うワークやバフ研磨ローラ２３の温度上昇を低減すると
ともに、バフ研磨によって生じた研磨屑を洗い流す冷却
水を供給する冷却水供給部である。

【０００６】上記の研磨装置２０において、送りローラ
２１上にプリント基板などのワークを供給すると、送り
ローラ２１の回転によってワークは送りローラ２１上を
送られて、搬送ローラ２２に挟まれて搬送される。ワー
クがバフ研磨ローラ２３の位置に来ると、ワークがバフ
研磨ローラ２３とバックアップローラ２４との間に所定
の押圧力で挟まれて、高速回転するバフ研磨ローラ２３
によってバフ研磨される。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記の研磨
装置２０は、通常の厚板プリント基板のようなワークに
対しては何ら問題がないが、例えば、厚さ寸法が０．２
ｍｍ以下のフレキシブルプリント基板のような薄いワー
クの場合は、搬送ローラ２２から出る際に、この搬送ロ
ーラ２２に、薄いワークが巻き付いてしまう現象が生じ
ることがある。

【０００８】もしも、そのような巻き付き現象が生じる
と、研磨装置２０が動作停止するので、その修復作業が
大変であり、かつ、その間に研磨加工が行えないため生
産性が低下する。このため、フレキシブルプリント基板
のような薄いワークが搬送ローラ２２に巻き付かないよ
うにすることが必要になる。

【０００９】図８はそのような巻き付き防止機構を有す
る従来の研磨装置２０Ａの要部拡大概略正面図である。
図８において、図７と同一部分には同一符号を付して、
その説明を省略する。図７と相違する点は、搬送ローラ
２２，バフ研磨ローラ２３およびバックアップローラ２
４の出口側（ワークの搬送方向前方側）に、巻き付き防
止用のガイドプレート２６を取り付けていることであ
る。

【００１０】このような構成によると、搬送ローラ２２
や、バフ研磨ローラ２３およびバックアップローラ２４
から送り出された薄いワークが、ガイドプレート２６で
案内されることによって、巻き付きを防止することがで
きる。

【００１１】このようなガイドプレート２６を設けるも
のでは、その目的上、ガイドプレート２６は搬送ローラ
２２や、バフ研磨ローラ２３およびバックアップローラ
２４に極めて接近して配設する必要がある。しかしなが
ら、ガイドプレート２６が搬送ローラ２２や、バフ研磨
ローラ２３およびバックアップローラ２４に接近し過ぎ
ると、搬送ローラ２２や、バフ研磨ローラ２３およびバ
ックアップローラ２４に接触するし、逆に、搬送ローラ
２２や、バフ研磨ローラ２３およびバックアップローラ
２４から離れ過ぎると、所期のワークを案内することに
よって巻き付きを防止するという機能を発揮することが
できなくなる。したがって、ガイドプレート２６の初期
位置設定および使用時の位置調整は非常に重要である
が、微妙なだけに作業がかなり煩雑である。

【００１２】また、ガイドプレート２６は、例えば、ス
テンレス鋼で製作され、そのガイド面は鏡面仕上げされ
るが、研磨による銅粉や、研磨材の屑が鏡面部に付着す
ると、ワークが詰まり易くなる。ワークが詰まったと
き、ガイドプレート２６は変形し易く、直ぐに修復して
生産が再開できなかった。

【００１３】なお、バフ研磨ローラ２３は、回転軸を有
するが、従来の研磨装置２０，２０Ａにおいては、図９
に示すように、回転軸２７はその質量を小さくして駆動
モータの駆動トルクを小さくするために、バフ研磨部材
２３ａの内径寸法よりも外径寸法が小さい中実状の棒材
で構成されており、この回転軸２７にその外形寸法が、
バフ研磨部材２３ａの内径寸法と一致する複数個のリン
グ状のカラー部材２８を介在して装着していた。

【００１４】しかしながら、このような回転軸２７およ
びカラー部材２８を用いるバフ研磨ローラ２３の構造で
は、図１０から明らかなように、カラー部材２８，２８
間に隙間２９が形成されて、この隙間２９部分のバフ研
磨部材２３ａの支持が不十分になり、ワークからの反力
でカラー部材２８，２８間のバフ研磨部材２３ａ部分が
回転軸２７側に凹入（変位）する結果、カラー部材２８
のある位置のバフ研磨部材２３ａ部分よりもワークに対
する押圧力が低下してその研磨量が小さくなり、ワーク
の面内で研磨量がばらつくという問題点があった。

【００１５】また、ワークが存在しない位置では、バフ
研磨部材２３ａが、前述のように、例えば、２０００ｒ
ｐｍの高速で回転される結果、遠心力によって外方に振
り出されるので、カラー部材２８，２８間のバフ研磨部
材２３ａ部分は、回転中に、径方向に凹入したり振り出
されたりする動作を繰り返し、運転時に異音、振動を生
じ、特に、使用によってバフ研磨部材２３ａが磨耗して
薄くなって来ると、径方向への凹入／振り出し振幅がま
すます大きくなって、その異音、振動がますます激しく
なる。このため、バフ研磨部材２３ａ自体は未だ十分使
用可能であるにも関わらず、バフ研磨部材２３ａを交換
廃棄しなければならなくなり、部品費の無駄が生じるの
みならず、バフ研磨部材２３ａの交換のために交換作業
が必要で、しかも、研磨作業を停止しなければならず、
生産性が低下するという問題点もあった。

【００１６】さらに、この種研磨装置は、厚さが５ｍｍ
程度の厚板プリント基板から、例えば０．１２４ｍｍ程
度の薄いフレキシブルプリント基板など、種々のワーク
の厚さ寸法に応じて、常に均一な研磨を行う必要があ
る。そのため、バフ研磨ローラ２３の回転軸２７を駆動
する駆動モータの負荷電流をフイードバックして、バフ
研磨ローラ２３の位置を制御するシステムを採用してい
る。しかしながら、ワークの厚さ寸法は、数値入力また
はリニアゲージ機構で認識できるが、バフ研磨部材２３
ａは、研磨に伴って磨耗する消耗品であり、例えば、使
用初期の外径寸法φ１５０ｍｍから使用末期の外径寸法
φ１１０ｍｍの間で使用するため、バフ研磨ローラ２３
の原点位置を検出することが困難であった。

【００１７】このため、従来の研磨装置は、バフ研磨ロ
ーラ２３を高速回転させつつバックアップローラ２４に
接触させて、接触によるバフ研磨ローラ２３の回転軸２
７の負荷増に起因する駆動モータの負荷電流が増大する
点を検出して原点とするように構成していた。しかしな
がら、このような構成では、バフ研磨ローラ２３が高速
でバックアップローラ２４に接触するため、バフ研磨部
材２３ａの磨耗が激しいのみならず、バックアップロー
２４との接触によってバフ表面の切れ味が低下するとい
う問題点があった。

【００１８】そこで、本発明は、フレキシブルプリント
基板などの薄いワークが、搬送ローラに巻き付かない研
磨装置を提供することを主たる目的とする。

【００１９】本発明は、上記目的に加えて、バフ研磨部
材が、従来のように、径方向に凹入および振れ出しを繰
り返して、研磨量がばらついたり、異音や振動を発生し
たりしない研磨装置を提供することを目的とする。

【００２０】本発明は、上記目的に加えて、バフ研磨ロ
ーラの原点位置を、バフ研磨部材の磨耗を可及的に少な
くして、しかも、容易かつ確実に検出できる原点検出手
段を具備する研磨装置を提供することを目的とする。

【００２１】

【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に記載
された研磨装置は、上記の課題を解決するために、ワー
クを搬送する搬送ローラと、搬送ローラの間に配設され
たバフ研磨ローラと、バフ研磨ローラのバックアップロ
ーラとを備える研磨装置において、前記搬送ローラのワ
ーク搬送方向前方側に、この搬送ローラと一部がオーバ
ーラップするフリーローラを設けたことを特徴とするも
のである。

【００２２】上記の研磨装置によれば、搬送ローラを通
過したワークの進行方向前方端を、フリーローラに当接
させ、かつ、フリーローラの周面に沿って案内すること
によって、薄いワークの搬送ローラへの巻き付きを防止
することができ、フレキシブルプリント基板などの薄い
ワークの研磨が可能になる。しかも、従来のガイトプレ
ートと相違して、フリーローラを搬送ローラと微小間隔
で配置する必要がなく、一部オーバーラップさせるだけ
でよく、微妙な間隔寸法調整が不要となる。

【００２３】なお、上記構成において、「オーバーラッ
プ」なる用語は、フリーローラが搬送ローラと平面視で
重なり合っている構成のものの他、搬送ローラおよびフ
リーローラを長さ方向に沿って凹凸状に形成し、搬送ロ
ーラの凹部にフリーローラの周縁部が入り込み、フリー
ローラの凹部に搬送ローラの凸部が入り込むような構成
をいう。

【００２４】特に、上記の後者の構成の研磨装置によれ
ば、搬送ローラが、長さ方向に沿って複数個の凹部を有
するので、搬送ローラの長さ方向に凹部がない場合に比
較して、第１に搬送ローラとワークとの接触面積が減少
することによって、搬送ローラに対するワークの密着力
が小さくなること、第２に搬送ローラの凹部を通って冷
却水や空気が搬送ローラとワークとの接触部に入り込む
ことによって、搬送ローラからワークが剥離し易くなる
こと、第３に搬送ローラの凹部にフリーローラの周縁部
が非接触状態で入り込んでいるので、仮に、搬送ローラ
に薄いワークが連れ回ろうとしても、ワークの進行方向
前縁部が必ずフリーローラに接触して、このフリーロー
ラに案内されることによって、搬送ローラへのワークの
巻き付きを確実に防止することができる。

【００２５】請求項２に記載された研磨装置は、前記バ
フ研磨ローラの回転軸が、昇降動作可能に構成されてい
ることを特徴とするものである。

【００２６】上記の研磨装置によれば、新しいバフ研磨
ローラを装着するときや、使用済みのバフ研磨ローラを
取り外す場合に、バフ研磨ローラを最上位（または最下
位）に位置させることによって、バックアップローラや
搬送ローラやフリーローラから離した位置で、バフ研磨
ローラの装着および取り外しが容易に行える。また、バ
フ研磨ローラやバックアップローラが磨耗しても、上部
側バフ研磨ローラの回転軸を下降（または下部側バフ研
磨ローラの回転軸を上昇）させて、常に一定の押圧力で
バフ研磨ローラをワークに押し当てて研磨することがで
きるので、ワークの研磨量が一定化されて、高精度のワ
ーク研磨が実現される。

【００２７】請求項３に記載された研磨装置は、さら
に、前記バフ研磨ローラの原点をバックアップローラの
回転によるバフ研磨ローラの連れ回りで検出する原点検
出手段を備えていることを特徴とするものである。

【００２８】上記の研磨装置によれば、バックアップロ
ーラを回転させておいて、上部側バフ研磨ローラを徐々
に下降（または下部側バフ研磨ローラを徐々に上昇）さ
せていき、バフ研磨ローラがバックアップローラと所定
の接触圧力以上で接触して連れ回りを開始する点を原点
とすることにより、バフ研磨ローラやバックアップロー
ラの磨耗程度に関係なく、常に正しい原点設定を容易、
かつ、確実に行うことができる。また、従来のバフ研磨
ローラを高速回転しバックアップローラに接触する方式
では、バフ研磨部材の磨耗により切れ味が低下するが、
バフ研磨ローラを高速回転させないので、バフ研磨部材
の磨耗が防止でき、切れ味が低下しなくなる。

【００２９】請求項４に記載された研磨装置は、前記バ
フ研磨ローラの回転軸が、バフ研磨部材の内径寸法に応
じた外径寸法を有する中空部材で構成されていることを
特徴とするものである。

【００３０】上記の研磨装置によれば、回転軸の外周面
がバフ研磨部材の内周面に一致しているので、従来の小
径の回転軸にカラー部材を取り付けた場合のように、カ
ラー部材間に隙間が形成されることがなく、したがっ
て、この隙間にバフ研磨部材が凹入して、バフ研磨ロー
ラによるワークの押圧力が不足して研磨量がばらつくと
いったことが皆無になる。また、従来の小径の回転軸お
よびカラー部材を用いたバフ研磨ローラのように、バフ
研磨部材がカラー部材間の隙間に凹入したり、遠心力で
振り出されることを繰り返して、異音、振動を発生した
りすることがなくなる。

【００３１】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態に係る研
磨装置について、図面を参照して説明する。図１は研磨
装置１０の概略要部拡大正面図、図２は研磨装置１０の
具体的な正面図、図３は研磨装置１０のピンチローラ部
の一部を断面で示した平面図、図４は研磨装置１０の搬
送ローラ部の一部を断面で示した平面図である。

【００３２】図１〜図４において、１は送りローラ、２
は搬送ローラ、３はバフ研磨ローラ、４はバックアップ
ローラ、５は冷却水供給手段で、これらは図７（ａ）
（ｂ）および図８に示す従来の研磨装置と基本的には同
様である。しかしながら、図１〜図４の研磨装置１０に
おいては、図８に示すガイドプレート２６に代えて、フ
リーローラ６，７を設けている点が相違している。な
お、図２において符号８は、上部搬送ローラ２を押圧す
る圧縮バネである。

【００３３】また、搬送ローラ２は、図３および図４か
ら明らかなように、その長さ方向に沿って凸部２ａと凹
部２ｂとを有する凹凸状のものである。そして、この搬
送ローラ２と一部オーバーラップして、フリーローラ
６，７が配設されている。すなわち、一方のフリーロー
ラ６は、搬送ローラ２の凹部２ｂに２個の小径、かつ、
比較的幅広状の周縁部が非接触状態で入り込むように構
成されており、他方のフリーローラ７は、搬送ローラ２
の凹部２ｂに２枚の大径、かつ、比較的幅狭状の周縁部
が非接触状態で入り込むように構成されている。

【００３４】上記のように、フリーローラ６，７が、搬
送ローラ２の凹部２ｂに入りこむように一部オーバーラ
ップして構成されているから、もし、搬送ローラ２に薄
いワークが巻き付こうとしても、その出口側（ワークの
搬送方向前方側）でワークの進行方向の前方端部がフリ
ーローラ６，７に必ず接触する。このワーク接触によっ
て、ワークがフリーローラ６，７に案内されるので、ワ
ークは搬送ローラ２に巻き付くことなく、フリーローラ
６，７および搬送ローラ２によって進行方向に搬送され
る。

【００３５】なお、ワークが搬送ローラ２によって連続
的に搬送されている場合は、フリーローラ６，７がワー
クの搬送に伴う連れ回りによって、搬送ローラ２と同一
方向に回転しているので、フリーローラ６，７の周縁部
に接触したワークは、フリーローラ６，７および搬送ロ
ーラ２の回転によって確実に搬送される。

【００３６】このようにして、厚さ寸法が０．１２４ｍ
ｍ程度のフレキシブルプリント基板のような薄いワーク
でも、搬送ローラ２に巻き付いて研磨装置の動作を停止
させることがなくなるので、その修復作業も不要にな
り、生産性が向上する。しかも、従来のガイドプレート
のような、微妙な初期位置設定や使用時の位置調整が不
要であり、また、ガイド面である鏡面仕上げ面に研磨さ
れた銅粉や研磨材の屑が付着することによるガイドプレ
ートの変形に起因する研磨装置の修復作業が不要なた
め、維持管理が極めて容易になる。

【００３７】さらに、図８の従来のガイドプレートを用
いる場合に比較して、図１に示すように、バフ研磨ロー
ラ３，３間の間隔寸法を縮小できるため、研磨装置の全
長を小さくすることができ、価格低減ができるととも
に、設置スペースを小さくすることができる。

【００３８】次に、バフ研磨ローラ３の構成について説
明する。図２に示すように、バフ研磨ローラ３は回転軸
９を有する。図５は、バフ研磨ローラ３の回転軸９部分
の縦断面図である。この回転軸９は、従来の回転軸２７
と相違して、その外径寸法がバフ研磨部材３Ａの内径寸
法と一致し、内部に空洞９ａを有する中空部材によって
構成されている。

【００３９】このように、回転軸９の外径寸法をバフ研
磨部材３Ａの内径寸法に一致させると、回転軸９とバフ
研磨部材３Ａとの間に、従来のような隙間（２９）が形
成されないので、バフ研磨部材３Ａが隙間に凹入してバ
フ研磨部材３Ａによるワークに対する押圧力が不足して
研磨量がばらつくことがなくなる。また、バフ研磨部材
３Ａが隙間に凹入したり、高速回転による遠心力で振り
出されることを繰り返して、異音や振動を発生したりす
ることがなくなる。しかも、回転軸９は内部に空洞９ａ
を有する中空部材で構成されているので、回転軸９の質
量が中実部材の場合に比較して格段に小さくなり、駆動
モータの駆動トルクを小さくすることができる。

【００４０】前記図２から明らかなように、バフ研磨ロ
ーラ３の回転軸９は、昇降可能に構成されている。すな
わち、新しいバフ研磨ローラ３を装着する場合、あるい
は使用済みのバフ研磨ローラ３を取り外す場合は、上側
のバフ研磨ローラ３の回転軸９を最上位点（または下側
のバフ研磨ローラ３の回転軸９を最下位点）に位置させ
ることによって、バフ研磨ローラ３の装着や取り外し作
業を容易に行うことができる。

【００４１】また、バフ研磨ローラ３（バフ研磨材３
Ａ）は、研磨作業によって次第に磨耗していき、その外
径寸法が次第に減少していくが、その磨耗に伴う外径寸
法の減少に伴って、回転軸９が次第に下降（または上
昇）していき、使用限界時点では最下位点（または最上
位点）に移動する。このようにして、常にバフ研磨ロー
ラ３（バフ研磨材３Ａ）の状態に応じてワークを最適、
かつ、一定の押圧力でもって押圧しながら、ワークを研
磨することができる。なお、図２では、回転軸９が最上
位点（または最下位点）にあるときのバフ研磨ローラを
符号３ａで、また、新しい使用開始時のバフ研磨ローラ
位置を符号３ｂで、さらに、磨耗による使用限界時のバ
フ研磨ローラ位置を符号３ｃで示している。

【００４２】図６（ａ）は、バフ研磨ローラ３の使用開
始時の原点を検出するための原点検出手段１１の平面図
を示し、（ｂ）は左側面図、（ｃ）は正面図である。図
６（ａ）（ｂ）（ｃ）において、原点検出手段１１は、
バフ研磨ローラ３の回転軸９に取り付けられている周縁
部に等間隔で複数の切り欠き１２ａを設けた円板１２
と、この円板１２の周縁部を両側から挟み込む凹部を有
する透過型センサ１３とを備えて構成されている。

【００４３】この透過型センサ１３は、前記凹部の一方
側に発光部を備え、他方側に受光部を備えたもので、円
板１２の切り欠き１２ａがない部分がセンサ１３位置に
ある場合は、発光部から照射された光が円板１２で遮光
されて受光部が受光することができず、一方、円板１２
の切り欠き１２ａ部分がセンサ１３位置に来た場合は、
発光部から照射された光が円板１２の切り欠き１２ａを
透過して受光部に入射することによって、回転軸９の回
転の有無を検出し、もって原点を検出するように構成さ
れている。

【００４４】すなわち、今、バックアップローラ４を回
転させておき、バフ研磨ローラ３の回転軸９を回転させ
ないフリー状態でゆっくりと下降（または上昇）させて
いく。すると、バフ研磨ローラ３がバックアップローラ
４から離れている間は、バフ研磨ローラ３は回転しない
で静止したままである。

【００４５】さらに回転軸９をゆっくりと下降（または
上昇）させていくと、バフ研磨ローラ３がバックアップ
ローラ４に接触するが、その接触圧力が所定値を超える
までは、バフ研磨ローラ３は回転しないで静止したまま
である。

【００４６】そうして、バフ研磨ローラ３とバックアッ
プローラ４との接触圧力が一定値を超えると、バフ研磨
ローラ３がバックアップローラ４の回転動作に伴って連
れ回りを開始する。このバフ研磨ローラ３の連れ回りの
開始によって、バフ研磨ローラ３の回転軸９が回転する
から、この回転軸９に取り付けられた円板１２が回転を
開始する。そして、円板１２の切り欠き１２ａが透過型
センサ１３の位置に来ると、切り欠き１２ａを透過した
光が受光部に入射して、回転軸９が回転したことを検出
できる。

【００４７】あるいは、上記と逆に、バフ研磨ローラ３
が連れ回りを開始するまでは、発光部から照射された光
が円板１２の切り欠き１２ａを透過して受光部に入射す
るが、バフ研磨ローラ３が連れ回りを開始すると、発光
部から照射された光が円板１２によって遮光されること
によって、バフ研磨ローラ３の原点位置を検出するよう
にすることもできる。

【００４８】このような原点検出手段１１によると、バ
フ研磨ローラ３の磨耗状態に左右されることなく、バフ
研磨ローラ３とバックアップローラ４との接触圧力が所
定値に達した段階でバフ研磨ローラ３が連れ回りを開始
して原点位置を検出できるので、バフ研磨ローラ３やバ
ックアップローラ４の磨耗状態による調整は一切不要に
なる。

【００４９】また、従来のバフ研磨ローラを高速回転さ
せてバックアップローラに接触させる原点検出手段に比
較して、バックアップローラ４の磨耗は全くないか著し
く小さく無視でき、バフ研磨部材３Ａの磨耗による切れ
味の低下もなくなる。さらに、負荷電流値の増大を検出
する場合に比較して、センサ１３の受光部に光が入射す
るか、しないかの不連続的な変化を検出するので、原点
検出が容易、かつ、確実に行える。

【００５０】なお、上記実施形態では、円板１２の切り
欠き１２ａを検出するセンサとして透過型センサ１３を
用いる場合について説明したが、反射型センサを用いて
もよい。この場合は、円板１２の切り１２ａがない部分
がセンサ位置にある場合は、発光部から照射された光が
円板１２で反射されて受光部に入射し、一方、切り欠き
１２ａがある部分がセンサ位置に来た場合は、発光部か
ら照射された光が切り欠き１２ａを透過して受光部に入
射しないので、受光部への反射光の有無によって、原点
位置を検出することができる。

【００５１】また、センサは、発光部および受光部に代
えて、レーザ照射部およびレーザ入射部を有する透過型
または反射型レーザセンサを用いてもよい。

【００５２】

【発明の効果】本発明は、以上のように、ワークを搬送
する搬送ローラと、搬送ローラの間に配設されたバフ研
磨ローラと、バフ研磨ローラのバックアップローラとを
備える研磨装置において、前記搬送ローラのワーク搬送
方向前方側に、この搬送ローラと一部がオーバーラップ
するフリーローラを設けたことを特徴とするものである
から、フレキシブルプリント基板のような薄いワークが
搬送ローラに巻き付こうとしても、そのワーク搬送方向
前方側にオーバーラップして配置されたフリーローラに
よってワークが案内され、このフリーローラおよび搬送
ローラによって搬送されるので、薄いワークの巻き付き
による研磨装置の動作停止は発生せず、したがって、そ
の修復作業が不要であり、研磨装置の停止に伴う生産性
の低下も生じないため、ワークを効率よく研磨できると
いう効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る実施形態の研磨装置の概略要部拡
大正面図である。

【図２】本発明に係る実施形態の研磨装置の要部透視正
面図である。

【図３】本発明に係る実施形態の研磨装置におけるピン
チローラ部の一部を断面で示した平面図である。

【図４】本発明に係る実施形態の研磨装置における搬送
ローラ部の一部を断面で示した平面図である。

【図５】本発明に係る実施形態の研磨装置における搬送
方向と直角方向の回転軸の拡大縦断面図である。

【図６】（ａ）は本発明の研磨装置におけるバフ研磨ロ
ーラの原点検出手段の拡大平面図、（ｂ）は（ａ）の原
点検出手段における拡大左側面図、（ｃ）は（ａ）の原
点検出手段における拡大正面図である。

【図７】（ａ）は従来の研磨装置の概略平面図、（ｂ）
は（ａ）の研磨装置の概略透視正面図である。

【図８】従来の研磨装置の概略要部拡大正面図である。

【図９】従来の研磨装置におけるバフ研磨部材を装着す
る回転軸の拡大斜視図である。

【図１０】従来の研磨装置におけるバフ研磨部材の装着
部の拡大縦断面図である。

【符号の説明】

２ 搬送ローラ ２ａ 凸部 ２ｂ 凹部 ３ バフ研磨ローラ ３Ａ バフ研磨部材 ３ａ 装着時または取り外し時のバフ研磨ローラ位置 ３ｂ 使用開始時のバフ研磨ローラ位置 ３ｃ 使用末期時のバフ研磨ローラ位置 ４ バックアップローラ ５ 冷却水供給部 ６，７ フリーローラ ９ 回転軸 ９ａ 空洞 １０ 研磨装置 １１ 原点検出手段 １２ 円板 １２ａ 切り欠き １３ 透過型センサ

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ワークを搬送する搬送ローラと、搬送ロー
   ラの間に配設されたバフ研磨ローラと、バフ研磨ローラ
   のバックアップローラとを備える研磨装置において、 前記搬送ローラのワーク搬送方向前方側に、この搬送ロ
   ーラと一部がオーバーラップするフリーローラを設けた
   ことを特徴とする研磨装置。
2. 【請求項２】前記バフ研磨ローラの回転軸が、昇降動作
   可能に構成されていることを特徴とする請求項１に記載
   の研磨装置。
3. 【請求項３】さらに、前記バフ研磨ローラの原点をバッ
   クアップローラの回転によるバフ研磨ローラの連れ回り
   で検出する原点検出手段を備えていることを特徴とする
   請求項１または２に記載の研磨装置。
4. 【請求項４】前記バフ研磨ローラの回転軸が、バフ研磨
   部材の内径寸法に応じた外径寸法を有する中空部材で構
   成されていることを特徴とする請求項１ないし３のいず
   れかに記載の研磨装置。