JP2005159011A - 研磨装置、リテーナーリングおよび半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 リテーナーリングでホルディングされる研磨対象物の外周部の研磨均一性を向上させる。
【解決手段】 研磨クロス2との接触面が、ウェハWの研磨面の材料と同一であるか、またはウェハWの研磨面の材料を主成分とするようにして、リテーナーリング4を構成する。
【選択図】 図1
【解決手段】 研磨クロス2との接触面が、ウェハWの研磨面の材料と同一であるか、またはウェハWの研磨面の材料を主成分とするようにして、リテーナーリング4を構成する。
【選択図】 図1
Description
本発明は研磨装置、リテーナーリングおよび半導体装置の製造方法に関し、特に、CMP(chemical mechanical polishing:化学的機械的研磨)に適用して好適なものである。
近年の半導体装置では、配線層や絶縁層などの成膜後の表面を平坦化して、フォトリソグラフィー工程における焦点合わせを精度よく行うために、CMPが用いられている。
そして、半導体ウェハのCMPを行う場合、例えば、特許文献1に開示されているように、研磨テーブル上で半導体ウェハの周囲をホルディングさせるために、リテーナーリング(ガイドリングとも言う。)が用いられている。
そして、半導体ウェハのCMPを行う場合、例えば、特許文献1に開示されているように、研磨テーブル上で半導体ウェハの周囲をホルディングさせるために、リテーナーリング(ガイドリングとも言う。)が用いられている。
ここで、従来のリテーナーリングの材質としては、磨耗を減らすために、PPS(ポリフェニルサルファイト)などの樹脂が用いられていた。
特許第2917992号公報
しかしながら、リテーナーリングを樹脂で構成する方法では、研磨対象となる半導体ウェハとリテーナーリングとの間での研磨速度が異なるため、半導体ウェハの外周部の研磨均一性が劣化するという問題があった。
そこで、本発明の目的は、研磨対象物の外周部の研磨均一性を向上させることが可能な研磨装置、リテーナーリングおよび半導体装置の製造方法を提供することである。
そこで、本発明の目的は、研磨対象物の外周部の研磨均一性を向上させることが可能な研磨装置、リテーナーリングおよび半導体装置の製造方法を提供することである。
上述した課題を解決するために、本発明の一態様に係る研磨装置によれば、研磨テーブルと、前記研磨テーブル上に貼り付けられた研磨クロスと、前記研磨テーブルを回転させる回転手段と、前記研磨テーブル上にスラリを供給するスラリ供給手段と、前記研磨クロスとの接触面が、ウェハの研磨面の材料と同一であるか、またはウェハの研磨面の材料を主成分として構成され、前記研磨テーブル上で前記ウェハの周囲をガイドするリテーナーリングと、前記研磨テーブル上で前記ウェハを前記リテーナーリングとともに押さえる研磨ヘッドとを備えることを特徴とする。
これにより、研磨対象となるウェハの研磨面とリテーナーリングの接触面との間の研磨速度を一致させるか、または近づけることが可能となる。このため、ウェハの外周部の研磨均一性を向上させることが可能となるとともに、ウェハの研磨面の材料と異なる異物の発生を低減させることを可能として、研磨異常を抑制することができる。
また、本発明の一態様に係る研磨装置によれば、研磨テーブルと、前記研磨テーブル上に貼り付けられた研磨クロスと、前記研磨テーブルを回転させる回転手段と、前記研磨テーブル上にスラリを供給するスラリ供給手段と、磨耗リングを支持する支持リングが積層されたリテーナーリングと、前記支持リングに形成された開口部と、前記開口部を通して前記磨耗リングに入射された超音波の反射波を検出する超音波センサと、前記研磨テーブル上で前記ウェハを前記リテーナーリングとともに押さえる研磨ヘッドとを備えることを特徴とする。
また、本発明の一態様に係る研磨装置によれば、研磨テーブルと、前記研磨テーブル上に貼り付けられた研磨クロスと、前記研磨テーブルを回転させる回転手段と、前記研磨テーブル上にスラリを供給するスラリ供給手段と、磨耗リングを支持する支持リングが積層されたリテーナーリングと、前記支持リングに形成された開口部と、前記開口部を通して前記磨耗リングに入射された超音波の反射波を検出する超音波センサと、前記研磨テーブル上で前記ウェハを前記リテーナーリングとともに押さえる研磨ヘッドとを備えることを特徴とする。
これにより、ウェハを研磨しながら、磨耗リングの磨耗度を容易に管理することが可能となる。このため、磨耗度の激しいリテーナーリングを用いてウェハが研磨されることを防止することが可能となり、ウェハの研磨異常を抑制することができる。
また、本発明の一態様に係るリテーナーリングによれば、研磨クロスとの接触面が、研磨対象の研磨面の材料と同一であるか、または研磨対象の研磨面の材料を主成分とすることを特徴とする。
また、本発明の一態様に係るリテーナーリングによれば、研磨クロスとの接触面が、研磨対象の研磨面の材料と同一であるか、または研磨対象の研磨面の材料を主成分とすることを特徴とする。
これにより、ウェハの外周部の研磨均一性を向上させることが可能となるとともに、ウェハの研磨面の材料と異なる異物の発生を低減させることが可能となり、研磨異常を抑制することができる。
また、本発明の一態様に係るリテーナーリングによれば、前記研磨クロスとの接触面は、無機物、金属または半導体から構成されるか、無機物、金属または半導体を主成分とすることを特徴とする。
また、本発明の一態様に係るリテーナーリングによれば、前記研磨クロスとの接触面は、無機物、金属または半導体から構成されるか、無機物、金属または半導体を主成分とすることを特徴とする。
これにより、ウェハの研磨面とリテーナーリングの接触面との間の研磨速度を一致させるか、または近づけることを可能としつつ、絶縁層または配線層が形成されたウェハを研磨することができ、ウェハの外周部の研磨均一性を向上させることが可能となる。
また、本発明の一態様に係るリテーナーリングによれば、研磨クロスと接触する磨耗リングと、前記磨耗リング上に積層され、前記磨耗リングを支持する支持リングと、前記磨耗リングおよび前記支持リングの外周部にそれぞれ設けられた段差と、前記段差を挟み込むことで、前記磨耗リングを前記支持リングに固定するクランプとを備えることを特徴とする。
また、本発明の一態様に係るリテーナーリングによれば、研磨クロスと接触する磨耗リングと、前記磨耗リング上に積層され、前記磨耗リングを支持する支持リングと、前記磨耗リングおよび前記支持リングの外周部にそれぞれ設けられた段差と、前記段差を挟み込むことで、前記磨耗リングを前記支持リングに固定するクランプとを備えることを特徴とする。
これにより、粘着テープまたは接着剤を用いることなく、磨耗リングを支持リングに固定することが可能となり、異物の発生を抑制しつつ、磨耗リングを補強することができる。
また、本発明の一態様に係るリテーナーリングによれば、研磨クロスと接触する磨耗リングと、前記磨耗リング上に積層され、前記磨耗リングを支持する支持リングと、前記支持リングに形成され、前記支持リングを介して前記磨耗リングに超音波を入射させる開口部とを備えることを特徴とする。
また、本発明の一態様に係るリテーナーリングによれば、研磨クロスと接触する磨耗リングと、前記磨耗リング上に積層され、前記磨耗リングを支持する支持リングと、前記支持リングに形成され、前記支持リングを介して前記磨耗リングに超音波を入射させる開口部とを備えることを特徴とする。
これにより、複雑な機構を用いることなく、磨耗リングの磨耗度を容易に管理することが可能となり、ウェハの研磨異常を抑制することができる。
また、本発明の一態様に係る半導体装置の製造方法によれば、研磨クロスが貼り付けられた研磨テーブル上にウェハを配置する工程と、前記研磨クロスとの接触面が、ウェハの研磨面の材料と同一であるか、またはウェハの研磨面の材料を主成分として構成されたリテーナーリングを用いることにより、前記ウェハの周囲をガイドする工程と、前記リテーナーリングで前記ウェハの周囲をガイドしながら、前記ウェハの研磨面を研磨する工程とを備えることを特徴とする。
また、本発明の一態様に係る半導体装置の製造方法によれば、研磨クロスが貼り付けられた研磨テーブル上にウェハを配置する工程と、前記研磨クロスとの接触面が、ウェハの研磨面の材料と同一であるか、またはウェハの研磨面の材料を主成分として構成されたリテーナーリングを用いることにより、前記ウェハの周囲をガイドする工程と、前記リテーナーリングで前記ウェハの周囲をガイドしながら、前記ウェハの研磨面を研磨する工程とを備えることを特徴とする。
これにより、ウェハの外周部の研磨均一性を向上させることが可能となるとともに、ウェハの研磨面の材料と異なる異物の発生を低減させることが可能となり、ウェハの研磨異常を抑制することができる。
また、本発明の一態様に係る半導体装置の製造方法によれば、研磨クロスが貼り付けられた研磨テーブル上にウェハを配置する工程と、磨耗リングを支持する支持リングが積層されたリテーナーリングを用いることにより、前記ウェハの周囲をガイドする工程と、前記支持リングに形成された開口部を通して前記磨耗リングに入射された超音波の反射波を検出しながら、前記ウェハの研磨面を研磨する工程とを備えることを特徴とする。
また、本発明の一態様に係る半導体装置の製造方法によれば、研磨クロスが貼り付けられた研磨テーブル上にウェハを配置する工程と、磨耗リングを支持する支持リングが積層されたリテーナーリングを用いることにより、前記ウェハの周囲をガイドする工程と、前記支持リングに形成された開口部を通して前記磨耗リングに入射された超音波の反射波を検出しながら、前記ウェハの研磨面を研磨する工程とを備えることを特徴とする。
これにより、ウェハを研磨しながら、磨耗度の激しいリテーナーリングの交換時期を容易に判別することが可能となり、ウェハの研磨異常を抑制しつつ、ウェハを研磨することができる。
以下、本発明の実施形態に係る研磨装置およびリテーナーリングについて図面を参照しながら説明する。
図1は、本発明の第1実施形態に係る研磨装置の概略構成を示す断面図である。
図1において、研磨テーブル(プラテンとも言う。)1は回転軸3に結合され、回転軸3を中心として回転できるようにされるとともに、研磨テーブル1上には研磨クロス(研磨パッドとも言う。)2が貼り付けられている。
図1は、本発明の第1実施形態に係る研磨装置の概略構成を示す断面図である。
図1において、研磨テーブル(プラテンとも言う。)1は回転軸3に結合され、回転軸3を中心として回転できるようにされるとともに、研磨テーブル1上には研磨クロス(研磨パッドとも言う。)2が貼り付けられている。
また、研磨クロス2が貼り付けられた研磨テーブル1上には、ウェハWの周囲をガイドするリテーナーリング4が設けられるとともに、ウェハWおよびリテーナーリング4を研磨クロス2上に押さえ付ける研磨ヘッド5が設けられている。なお、研磨対象となるウェハWとしては、例えば、Al、Cu、多結晶シリコンなどの配線層、シリコン酸化膜やシリコン窒素膜などの絶縁層などが形成された半導体ウェハやガラスウェハなどを挙げることができる。
ここで、リテーナーリング4の底面には溝が放射状に形成されている。また、リテーナーリング4における研磨クロス2との接触面が、ウェハWの研磨面の材料と同一であるか、またはウェハWの研磨面の材料を主成分とすることができる。また、研磨ヘッド5とウェハWとの間には、ウェハWの押圧を調整するメンブレン7が挿入されている。なお、メンブレン7は、例えば、ゴムなどで構成することができる。
そして、研磨ヘッド5は、スピンドル6に結合され、ウェハWおよびリテーナーリング4を研磨クロス2上に押さえ付けながら、スピンドル6の回りを回転できるように構成されている。また、研磨テーブル1上方には、研磨剤スラリ9を研磨クロス2上に吐出させるノズル8が設けられている。
そして、ウェハWを研磨する場合、研磨テーブル1上に研磨クロス2を貼り付け、研磨クロス2上に研磨剤スラリ9を吐出させる。そして、研磨ヘッド5により、リテーナーリング4およびウェハWを研磨クロス2上に押さえ付け、ウェハWの周囲をリテーナーリング4でガイドしながら、研磨テーブル1および研磨ヘッド5を回転させる。
そして、ウェハWを研磨する場合、研磨テーブル1上に研磨クロス2を貼り付け、研磨クロス2上に研磨剤スラリ9を吐出させる。そして、研磨ヘッド5により、リテーナーリング4およびウェハWを研磨クロス2上に押さえ付け、ウェハWの周囲をリテーナーリング4でガイドしながら、研磨テーブル1および研磨ヘッド5を回転させる。
ここで、ウェハWおよびリテーナーリング4を研磨クロス2上に押し付けると、ウェハWおよびリテーナーリング4の押圧で研磨クロス2が圧縮され、ウェハWおよびリテーナーリング4の端部での沈み込みが発生する。このため、ウェハWおよびリテーナーリング4を研磨クロス2上に押し付ける場合、ウェハWの押圧よりもリテーナーリング4の押圧の方が大きくなるように、メンブレン7の厚みや材質などを調整する。これにより、ウェハWの位置に比べてリテーナーリング4の位置での研磨クロス2の圧縮量を大きくすることができ、研磨クロス2の沈み込み10をリテーナーリング4の端部で発生させることを可能として、ウェハWの端部での研磨クロス2の沈み込みを防止することが可能となる。このため、研磨クロス2がウェハW全面に均一に当たるようにすることが可能となり、ウェハWの研磨の均一性を向上させることが可能となる。
また、ウェハWを研磨テーブル1上に押し付ける場合、リテーナーリング4の底面も研磨テーブル1上に押し付けられ、リテーナーリング4の底面も削り取られる。そして、研磨テーブル1上に供給された研磨剤スラリ9やウェハWの削り屑などは、リテーナーリング4の底面に設けられた溝を介してリテーナーリング4の内周面側に出し入れすることができる。
ここで、リテーナーリング4における研磨クロス2との接触面を、ウェハWの研磨面の材料と同一とするか、またはウェハWの研磨面の材料を主成分として構成することにより、ウェハWの研磨面とリテーナーリング4の接触面との間の研磨速度を一致させるか、または近づけることが可能となる。このため、ウェハWの外周部の研磨均一性を向上させることが可能となるとともに、ウェハWの研磨面の材料と異なる異物の発生を低減させることが可能となり、ウェハWの研磨異常を抑制することができる。
図2(a)は、図1のリテーナーリングの概略構成を示す斜視図である。
図2において、リテーナーリング4は、例えば、磨耗リング11bを支持する支持リング11aと、支持リング11a上に積層された磨耗リング11bとを備えることができる。なお、磨耗リング11bを支持リング11aに固定する場合、例えば、両面テープまたは接着剤などを用いることができる。ここで、支持リング11aの材質としては、例えば、ステンレスなどを用いることができる。また、磨耗リング11bは、研磨クロス2による磨耗を受けながら、ウェハWを内側でガイドするもので、ウェハWの研磨面の材料と同一であるか、またはウェハWの研磨面の材料を主成分として構成することができる。例えば、磨耗リング11bとして、石英、ガラスやセラミックスなどの無機物、Al、Cu、Wなどの金属、またはSi、GaAS、InPなどの半導体などを用いることができる。そして、磨耗リング11bの底面には溝12が放射状に形成されている。
図2において、リテーナーリング4は、例えば、磨耗リング11bを支持する支持リング11aと、支持リング11a上に積層された磨耗リング11bとを備えることができる。なお、磨耗リング11bを支持リング11aに固定する場合、例えば、両面テープまたは接着剤などを用いることができる。ここで、支持リング11aの材質としては、例えば、ステンレスなどを用いることができる。また、磨耗リング11bは、研磨クロス2による磨耗を受けながら、ウェハWを内側でガイドするもので、ウェハWの研磨面の材料と同一であるか、またはウェハWの研磨面の材料を主成分として構成することができる。例えば、磨耗リング11bとして、石英、ガラスやセラミックスなどの無機物、Al、Cu、Wなどの金属、またはSi、GaAS、InPなどの半導体などを用いることができる。そして、磨耗リング11bの底面には溝12が放射状に形成されている。
そして、ウェハWを研磨する場合、ウェハWの周囲をリテーナーリング11でガイドしながら、ウェハWおよびリテーナーリング11を研磨テーブ1上で回転させる。ここで、リテーナーリング11の底面は、ウェハWとともに研磨テーブル1上に押し付けられ、研磨テーブル1上に供給されたスラリ9や研磨屑などは、溝12を介してリテーナーリング11の内周面側に出し入れすることができる。
図3は、本発明の第2実施形態に係るリテーナーリングの概略構成を示す断面図である。
図3において、研磨クロス21上には、ウェハWが配置されるとともに、ウェハWの周囲をガイドするリテーナーリング22が配置されている。
ここで、リテーナーリング22は、例えば、磨耗リング23bを支持する支持リング23aと、支持リング23a上に積層された磨耗リング23bとを備えることができる。そして、磨耗リング23bおよび支持リング23aの外周部には段差が設けられ、この段差を挟み込むことにより、支持リング23aと磨耗リング23bとを互いに繋ぎ止めるクランプ25が設けられている。
図3において、研磨クロス21上には、ウェハWが配置されるとともに、ウェハWの周囲をガイドするリテーナーリング22が配置されている。
ここで、リテーナーリング22は、例えば、磨耗リング23bを支持する支持リング23aと、支持リング23a上に積層された磨耗リング23bとを備えることができる。そして、磨耗リング23bおよび支持リング23aの外周部には段差が設けられ、この段差を挟み込むことにより、支持リング23aと磨耗リング23bとを互いに繋ぎ止めるクランプ25が設けられている。
また、支持リング23aには、支持リング23aを介して磨耗リング23bに超音波を入射させる開口部24が形成されている。そして、支持リング23a上には、開口部24を通して磨耗リング23bに入射された超音波の反射波を検出する超音波センサ26が配置されている。
そして、開口部24を通して磨耗リング23bに入射させ、磨耗リング23bの露出面および磨耗リング23bと研磨クロス21との界面からの反射波を超音波センサ26にて検出することにより、磨耗リング23bの膜厚を測定することができる。
そして、開口部24を通して磨耗リング23bに入射させ、磨耗リング23bの露出面および磨耗リング23bと研磨クロス21との界面からの反射波を超音波センサ26にて検出することにより、磨耗リング23bの膜厚を測定することができる。
図4は、図3の磨耗リング23bの膜厚測定方法を示す図である。
図4において、開口部24を通して磨耗リング23bに入射させると、超音波が磨耗リング23bの露出面で反射する。このため、支持リング23aの厚み方向の往復時間t1だけ遅延した反射波P1を超音波センサ26にて検出することができる。
また、開口部24を通して磨耗リング23bに入射された超音波は、磨耗リング23bと研磨クロス21との界面で反射する。このため、支持リング23aおよび磨耗リング23bの厚み方向の往復時間t2だけ遅延した反射波P2を超音波センサ26にて検出することができる。
図4において、開口部24を通して磨耗リング23bに入射させると、超音波が磨耗リング23bの露出面で反射する。このため、支持リング23aの厚み方向の往復時間t1だけ遅延した反射波P1を超音波センサ26にて検出することができる。
また、開口部24を通して磨耗リング23bに入射された超音波は、磨耗リング23bと研磨クロス21との界面で反射する。このため、支持リング23aおよび磨耗リング23bの厚み方向の往復時間t2だけ遅延した反射波P2を超音波センサ26にて検出することができる。
ここで、磨耗リング23bの磨耗が進むと、磨耗リング23bの膜厚が薄くなる。このため、支持リング23aおよび磨耗リング23bの厚み方向の往復時間t3が、磨耗リング23bの磨耗がない場合の往復時間t2よりも短くなり、反射波P2よりも遅延時間の短い反射波P3を超音波センサ26にて検出することができる。そして、超音波センサ26にて検出された反射波P2、P3の遅延時間を比較することにより、磨耗リング23bの膜厚を計測することができる。
ここで、磨耗リング23bをガラスなどの無機物で構成することにより、磨耗リング23bをPPSなどの樹脂で構成した場合に比べて、磨耗リング23bと研磨クロス21との界面で反射した反射波P2、P3の反射強度を大きくすることができ、測定精度を向上させることが可能となる。
1 研磨テーブル、2、21 研磨クロス、3 回転軸、4、22 リテーナーリング、5 研磨ヘッド、6 スピンドル、7 メンブレン、8 ノズル、9 研磨剤スラリ、10 沈み込み部、W ウェハ、11a、23a 支持リング、11b、23b 磨耗リング、12 溝、24 開口部、25 クランプ、26 超音波センサ、P1〜P3 反射波
Claims (8)
- 研磨テーブルと、
前記研磨テーブル上に貼り付けられた研磨クロスと、
前記研磨テーブルを回転させる回転手段と、
前記研磨テーブル上にスラリを供給するスラリ供給手段と、
前記研磨クロスとの接触面が、ウェハの研磨面の材料と同一であるか、またはウェハの研磨面の材料を主成分として構成され、前記研磨テーブル上で前記ウェハの周囲をガイドするリテーナーリングと、
前記研磨テーブル上で前記ウェハを前記リテーナーリングとともに押さえる研磨ヘッドとを備えることを特徴とする研磨装置。 - 研磨テーブルと、
前記研磨テーブル上に貼り付けられた研磨クロスと、
前記研磨テーブルを回転させる回転手段と、
前記研磨テーブル上にスラリを供給するスラリ供給手段と、
磨耗リングを支持する支持リングが積層されたリテーナーリングと、
前記支持リングに形成された開口部と、
前記開口部を通して前記磨耗リングに入射された超音波の反射波を検出する超音波センサと、
前記研磨テーブル上で前記ウェハを前記リテーナーリングとともに押さえる研磨ヘッドとを備えることを特徴とする研磨装置。 - 研磨クロスとの接触面が、研磨対象の研磨面の材料と同一であるか、または研磨対象の研磨面の材料を主成分とすることを特徴とするリテーナーリング。
- 前記研磨クロスとの接触面は、無機物、金属または半導体から構成されるか、無機物、金属または半導体を主成分とすることを特徴とする請求項3記載のリテーナーリング。
- 研磨クロスと接触する磨耗リングと、
前記磨耗リング上に積層され、前記磨耗リングを支持する支持リングと、
前記磨耗リングおよび前記支持リングの外周部にそれぞれ設けられた段差と、
前記段差を挟み込むことで、前記磨耗リングを前記支持リングに固定するクランプとを備えることを特徴とするリテーナーリング。 - 研磨クロスと接触する磨耗リングと、
前記磨耗リング上に積層され、前記磨耗リングを支持する支持リングと、
前記支持リングに形成され、前記支持リングを介して前記磨耗リングに超音波を入射させる開口部とを備えることを特徴とするリテーナーリング。 - 研磨クロスが貼り付けられた研磨テーブル上にウェハを配置する工程と、
前記研磨クロスとの接触面が、ウェハの研磨面の材料と同一であるか、またはウェハの研磨面の材料を主成分として構成されたリテーナーリングを用いることにより、前記ウェハの周囲をガイドする工程と、
前記リテーナーリングで前記ウェハの周囲をガイドしながら、前記ウェハの研磨面を研磨する工程とを備えることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 研磨クロスが貼り付けられた研磨テーブル上にウェハを配置する工程と、
磨耗リングを支持する支持リングが積層されたリテーナーリングを用いることにより、前記ウェハの周囲をガイドする工程と、
前記支持リングに形成された開口部を通して前記磨耗リングに入射された超音波の反射波を検出しながら、前記ウェハの研磨面を研磨する工程とを備えることを特徴とする半導体装置の製造方法。
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JP (1) | JP2005159011A (ja) |
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