KR102017900B1 - 워크 연마 장치 - Google Patents

Abstract

워크 연마 장치는, 윗면을 갖고, 상기 윗면에 연마포가 부착되고, 수평면 내에서 회전하는 정반과, 상기 정반의 상방에 마련되고, 상하이동할 수 있고, 수평면 내에서 회전할 수 있고, 상기 정반과의 사이에 배치된 캐리어 플레이트를 가압할 수 있고, 하면에 워크를 지지하여, 상기 워크를 정반상에 가압하는 탑링과, 상기 탑링에 제공되고, 상기 정반상에 재치되고, 상기 정반을 회전시킴에 의해 상기 탑링 하면측에 진입하는 상기 캐리어 플레이트를, 연마 위치에서 받아내어 유지(stopping and holding)하는 스토퍼를 포함한다.

Description

워크 연마 장치{WORK POLISHING APPARATUS}

본 발명은 예를 들면 웨이퍼의 워크 또는 워크의 워크 연마 장치에 관한 것이다.

실리콘 웨이퍼, 사파이어 웨이퍼 등의 워크의 연마 장치에는 여러가지 구조의 것이 제안되어 있다.

예를 들면, 일본국 특개평7-130687호에 나타나는 워크 연마 장치는, 윗면에 연마포가 부착되고, 구동부에 의해 수평면 내에서 회전하는 정반과, 그 정반의 상방으로 상하이동 자유롭게, 또한 수평면 내에서 회전 자유롭게 배치되고, 상기 정반과의 사이에서, 하면에 워크가 지지된 캐리어 플레이트를 끼우고, 워크를 정반면에 가압하는 탑링을 구비하고, 슬러리 공급부로부터 슬러리를 공급하면서 정반과 탑링을 소요 방향으로 회전하여 워크를 연마하도록 하고 있다.

또한, 상기 일본국 특개평7-130687에 나타나는 워크 연마 장치는, 정반의 상방에, 정반의 회전 방향에 따라 복수의 탑링이 배치되고, 또한 정반의 중심에 센터 롤러가 배치되고, 또한, 정반의 주위에, 정반면상과 정반면상에서 벗어나는 위치와의 사이에 걸쳐서 이동 자유롭게 복수의 가이드 롤러를 배치한 구성으로 되어 있다.

이 정반상의 소정 위치에 캐리어 플레이트를 반입(로딩)하면 다음과 같이 된다.

우선, 정반에의 캐리어 플레이트의 투입부로부터, 정반의 회전 방향의 가장 뒷쪽이 되는 탑링에 대응하는 가이드 롤러를 정반면상의 위치에 이동시켜 두고, 정반의 투입부로부터 캐리어 플레이트를 정반상에 재치하고, 캐리어 플레이트를 반송한다. 캐리어 플레이트는 정반의 회전에 의해 반송되고, 외주부가 센터 롤러와 상기 대응하는 가이드 롤러에 맞닿은 위치(대응하는 탑링의 하방 위치)에서 위치 결정되고, 유지된 상태가 된다.

다음에, 가장 뒷쪽부로부터 하나 앞쪽의 탑링에 대응하는 가이드 롤러를 정반면상의 위치에 이동시키고, 상기한 바와 마찬가지로 하여 캐리어 플레이트를 정반의 회전에 의해 반송하고, 센터 롤러와 가이드 롤러에 맞닿게 하여, 정반상의 대응하는 탑링까지 반입한다. 이와 같이 하여, 순차적으로, 대응하는 탑링의 하방 위치에 캐리어 플레이트를 반입하는 것이다. 뒤이어 탑링을 하강하여, 캐리어 플레이트를 통하여 워크를 연마포에 가압하고, 슬러리를 정반면에 공급하면서 정반 및 탑링을 회전함에 의해 워크의 연마를 행하도록 하고 있다.

상기 워크의 연마 장치에 의하면, 워크를 접착한 캐리어 플레이트를 순차적으로 거의 자동적으로 정반상의 대응하는 탑링의 하방 위치에 반입할 수 있다.

그러나, 이 종래의 워크 연마 장치의 경우, 정반의 주위에 복수의 가이드 롤러를, 정반면상과 정반면 외측과의 사이에서 이동 가능하게 마련할 필요가 있고, 장치가 대형화, 또한 복잡화한다는 과제가 있다.

그래서 본 발명의 목적은 상기 과제를 해결하기 위해 이루어진 것으로, 그 목적으로 하는 바는, 장치의 소형화, 간이화가 가능하게 되는 워크 연마 장치를 제공하는데 있다.

상기한 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 다음 구성을 구비한다.

즉, 본 발명에 관한 워크 연마 장치는, 윗면에 연마포가 부착되고, 수평면 내에서 회전하는 정반과, 상기 정반의 상방으로 상하이동 자유롭게, 또한 수평면 내에서 회전 자유롭게 배치되고, 상기 정반과의 사이에서, 하면에 워크가 지지된 캐리어 플레이트를 끼우고, 워크를 정반면에 가압하는 탑링을 구비하는 워크 연마 장치에 있어서, 상기 탑링에, 상기 정반상에 재치되고, 그 정반의 회전과 함께 이동하여 상기 탑링 하면측에 진입하는 상기 캐리어 플레이트를 연마 위치에서 받아내어, 유지하는 스토퍼가 마련되어 있는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 스토퍼는, 상기 탑링 하면 주연부로부터 하방으로 돌출하는 링형상으로 마련되고, 그 스토퍼의 상기 탑링 하면부터 돌출하는 돌출부의 높이가, 상기 캐리어 플레이트가 상기 탑링의 하면에 진입하는 측의 진입부가 낮고, 그 진입부와 반대측에서 상기 캐리어 플레이트를 받아내는 홀딩부가 높게 되도록 형성되고, 상기 탑링이 상기 정반의 상방에 소요 높이 위치까지 하강된 때에, 상기 진입부 하면과 상기 정반면 사이의 간극으로부터 상기 캐리어 플레이트가 상기 탑링 하면측에 진입하고, 상기 홀딩부로부터 받아내어지는 것을 특징으로 한다.

상기 스토퍼의, 상기 진입부와 홀딩부 사이의 단차 벽면을, 외주측으로 갈수록, 캐리어 플레이트의 회전 후방측을 향하도록 경사하는 경사 벽면으로 형성하면 알맞다.

또한, 연마 때 상기 탑링이 하강되어 상기 캐리어 플레이트가 상기 링형상의 스토퍼 내에 진입하여 유지되도록 하면 알맞다.

또한, 상기 탑링을, 상부 플레이트와, 상기 스토퍼가 마련됨과 함께, 상기 상부 플레이트에 대해 구면 지지부재를 통하여 요동 자유롭게 지지되고, 또한 스프링에 의해 상방으로 가세되어, 상기 정반에 대해 수평으로 지지되는 하부 플레이트로 구성하면 알맞다.

상기 스토퍼를, 상기 탑링 하면측에 착탈 자유롭게 마련함에 의해, 여러가지의 외경, 두께를 갖는 캐리어 플레이트에 대응할 수가 있어서, 알맞다.

상기 스토퍼를 수지제의 것으로 함에 의해, 캐리어 플레이트에의 충격을 적게 할 수가 있어서 알맞다.

상기 탑링 하면과 상기 캐리어 플레이트 윗면 사이의 공간의 공기를 흡인하는 흡인기구와, 그 흡인기구에 의해 흡인되어 상기 공간의 공기압이 소정치 이상으로 저하된 것을 검출하여, 캐리어 플레이트가 탑링 하면에 유지된 것을 판정하는 센서 장치를 갖는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 탑링이, 상기 정반의 상방에 정반의 회전 방향에 따라 복수기 배치되고, 상기 정반에의 상기 캐리어 플레이트의 투입부로부터 정반의 회전 방향에 대해 먼 측부터 가까운 측이 되는 순서로 상기 캐리어 플레이트를 대응하는 탑링 하면측에 반입하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 의하면, 다음과 같은 작용 효과를 이룬다.

탑링 그 자체에, 정반의 회전과 함께 이동하여 오는 탑링을 받아, 연마 위치에 유지하는 스토퍼를 마련하였기 때문에, 종래와 같이, 각 탑링에 대응하여 가이드 롤러를 마련할 필요가 없어지고, 장치의 소형화, 간이화가 도모되고, 비용의 저감화가 가능해진다.

도 1은 워크 연마 장치의 정면도.
도 2는 정반상에서의 탑링의 위치를 도시하는 평면도.
도 3은 탑링의 상하이동 및 회전기구를 도시하는 정면도.
도 4는 탑링의 상하이동 및 회전기구를 도시하는 평면도.
도 5는 탑링의 단면도.
도 6은 탑링의 평면도.
도 7은 캐리어 플레이트의 반입 스텝을 도시하는 플로 차트.

이하 본 발명의 알맞는 실시의 형태를 부착 도면에 의거하여 상세히 설명한다.

도 1은 워크 연마 장치(10)의 정면도, 도 2는 정반상에서의 탑링의 위치를 도시하는 평면도, 도 3은 탑링의 상하이동 및 회전기구를 도시하는 정면도, 도 4는 그 평면도이다. 도 5는 탑링의 단면도, 도 6은 탑링의 평면도이다. 또한, 상기 도면에서, 편의상, 보이지 않는 곳을 실선 표기하고 있는 부분이 있다.

워크 연마 장치(10)는, 윗면에 연마포가 부착되고, 공지인 구동 장치(도시 생략)에 의해 수평면 내에서 회전 자유롭게 마련된 정반(14)을 갖는다. 정반(14)의 상방에는, 정반(14)의 회전 방향에 따라 4개의 탑링(16)이 배치되어 있다. 또한, 도시하지 않지만, 정반(14)상에 슬러리를 공급하는 슬러리 공급 기구가 마련되어 있다.

도 2에서, A, B, C, D는 정반(14)에 대한 각 탑링(16)의 위치를 나타낸다. 각 탑링(16)이, 장치 본체(18)의 상부에 마련된 실린더 장치(20)에 의해 상하이동 자유롭게 마련되고, 정반(14)의 윗면에 대해 멀어지게 이동하도록 되어 있다. 또한 탑링(16)이 수평면 내에서 회전하도록 되어 있다.

도 3, 도 5에 도시하는 바와 같이, 즉, 탑링(16)이 그 상단에 회전축(22)이 세워지고(立設), 이 회전축(22)이, 장치 본체(18)의 상반관통하여 상하이동하는 통체에 회전 자유롭게 지지되어 있다. 또한, 이 통체(24)의 상단이 테두리체(25)에 고정되고, 이 테두리체(25)가 실린더 장치(20)에 의해 상하이동됨에 의해, 각 탑링(16)이 테두리체(25)와 함께 상하이동 하도록 되어 있다. 26은 가이드봉이고, 테두리체(25)의 상하이동을 가이드한다.

그리고, 탑링(16)이, 테두리체(25)상에 마련된 구동 모터(28)의 풀리(29)와, 회전축(22)의 풀리(30) 사이에, 타이밍 벨트(도시를 생략)가 건너지르고, 구동 모터(28)가 구동됨에 의해, 수평면 내에서 회전한다. 또한, 테두리체(25)에는, 회전축(22)의 풀리(30)와 대향하도록 하여 포토 센서(32)가 마련되고, 이 포토 센서(32)에 의해 풀리(30)에 마련한 감지 부재(도시 생략)를 검출함에 의해, 회전축(22), 즉 탑링(16)의 회전 위치를 검출할 수 있도록 되어 있다. 또한, 도 3에서는, 구조를 알기 쉽게 하기 위해, 2개의 탑링(16)을, 보는 각도를 바꾸어서 기재하고 있다.

계속해서, 도 5 및 도 6에 의해, 탑링(16)의 구조를 더욱 상세히 설명한다.

탑링(16)은, 상부 플레이트(34)와 하부 플레이트(35)를 갖는다. 상부 플레이트(34)에는, 상기 회전축(22)이 연결되어 있다. 회전축(22)은, 통형상으로 형성됨과 함께, 축받이(36)를 통하여 상기 통체(24)에 회전 자유롭게 지지되어 있다.

상부 플레이트(34)의 하면측 중앙부에는, 내벽면이 구면의 일부를 이루는 오목부(38)가 형성되어 있다. 한편, 하부 플레이트(35)의 윗면 중앙부에는, 외주면이 오목부(38)에 감합하는 구면의 일부를 이루는 구면 지지부재(40)가 나사(41)에 의해 고정되어 있다.

상부 플레이트(34)에는, 둘레방향에 등간격을 두고, 각각 하부 플레이트(35)의 윗면에 나착한 두부 붙은 핀(42)이 관통하는 4개의 구멍(43)이 마련되어 있다. 구멍(43)의 하부는 소경으로, 상부는 대경으로 형성되어 있다. 이 구멍(43)의 대경부의 저부와 두부 부착 핀(42)의 두부와의 사이에는, 압축 스프링(44)이 압축된 상태로 삽입되어 있다. 따라서 하부 플레이트(35)는 압축 스프링(44)의 가세력에 의해 상방으로 가세되어, 구면 지지부재(40)의 구면이 오목부(38)의 구면에 압접된 상태가 된다. 압축 스프링(44)이, 둘레방향에 등간격으로 4개소에 배설되어 있고, 하부 플레이트(35)는 그 압축 스프링(44)으로부터의 균등한 가압력을 받기 때문에, 상부 플레이트(34)에 대해 평행하게, 즉 수평으로 유지된다. 또한, 46은, 인접하는 두부 붙은 핀(42)의 사이에 위치하여 하부 플레이트(35) 윗면에 나착된 가이드 핀으로, 상부 플레이트(34)에 마련된 구멍(47)에 감합하여, 하부 플레이트(35)의 움직임을 가이드한다.

다음에, 50은, 본 실시의 형태에 따라 마련된 스토퍼이다.

스토퍼(50)는, 수지제로 링형상을 이루고, 하부 플레이트(35)의 외주부상에 착탈 자유롭게 감합, 고정된다. 51은 스토퍼(50)를 하부 플레이트(35)에 고정하는 나사이다. 또한, 스토퍼(50)는, 수지제가 아니라, 금속제 등이라도 좋다. 또한, 스토퍼(50)는, 하부 플레이트(35)와 일체로 마련하여도 좋다.

링형상의 스토퍼(50)의 하부는, 하부 플레이트(35) 하면부터 소요 높이 하방으로 돌출하도록, 하부 플레이트(35)에 장착된다.

스토퍼(50)의 하부 플레이트(35) 하면부터 돌출하는 돌출부의 높이는 일양하지는 않고, 높이가 낮은 진입부(50a)와, 이 낮은 진입부(50a)보다도 높이가 높은 홀딩부(50b)를 갖는다. 본 실시의 형태에서는, 정반(14)상의 소정 위치에 재치된 캐리어 플레이트(52)를, 정반(14)의 회전과 함께 이동하여, 소정 하강 위치에서 대기하는 대응하는 탑링(16)의 하면측에 반입(로딩)하고, 이 반입 위치에서 유지하도록 하고 있다. 그 때문에, 정반(14)과 함께 이동하여 오는 캐리어 플레이트(52)가 하부 플레이트(35) 하면에 진입을 시작하려고 하는 측의 돌출부는 높이가 낮은 진입부(50a)로 하여, 캐리어 플레이트(52)의 진입을 가능하게 하고, 그 반대의 속측의 돌출부는 돌출 높이가 높은 홀딩부(50b)로 하여, 캐리어 플레이트(52)의 전단부를 맞닿게 하여 탈출 불능하게 하여, 링형상의 스토퍼(50) 내에 유지한 것이다.

스토퍼(50)의, 하부 플레이트(35) 하면부터의 돌출 높이가 낮은 진입부(50a)를 마련하는 범위는, 캐리어 플레이트(52)가 하부 플레이트(35) 하면측에 들어가기 쉽게 하기 위해, 링형상의 스토퍼(50) 전둘레의 절반보다도 큰 범위, 바람직하게는 2/3주(周) 정도의 범위에 걸치는 것이 좋다.

또한, 스토퍼(50)의, 하부 플레이트(35) 하면부터의 돌출 높이가 높은 홀딩부(50b)의 범위는, 캐리어 플레이트(52)를 그 원호면으로 유지할 수 있도록 하기 위해, 적어도 링형상의 스토퍼(50)의 1/3주 정도를 확보하는 것이 좋다.

또한, 스토퍼(50)의, 홀딩부(50b)와 진입부(50a) 사이의 단차 벽면(50c)은, 외주측으로 갈수록, X방향으로 회전하는 캐리어 플레이트(52)의 회전 후방측을 향하도록 경사하는 경사 벽면으로 형성하면 알맞다. 이와 같이 경사 벽면으로 형성함으로써, 정반(14) 윗면에 공급되는 슬러리를, 단차 벽면(50c)의 선단에서 나눌 수가 있어서, 슬러리를 단차 벽면(50c)에 정체시키는 일이 없고, 슬러리의 흐름을 스무스하게 할 수 있다.

또한, 스토퍼(50)는, 반드시 링형상이 아니더라도 좋다. 적어도 홀딩부(50b)를 가지면 좋다.

후기하는 바와, 같이, 대응하는 탑링(16)의 하방 위치에 캐리어 플레이트(52)를 반입할 때, 탑링(16)이, 스토퍼(50)의 상기 진입부(50a)의 하면과 정반(14) 윗면과의 사이에 캐리어 플레이트(52)가 진입 가능하게 되는 간극이 벌어지는 위치까지 하강된다. 이 간극은 특히 한정되는 것이 아니지만, 캐리어 플레이트(52)의 높이보다도 수㎜ 커지도록 한다.

상기 간극으로부터 캐리어 플레이트(52)를 대응하는 탑링(16)의 하방에 진입시키기 위해, 탑링(16)의 하부 플레이트(35)를 수평으로 유지하여, 상기 간극을 일정하게 하는 것이 중요하게 된다. 본 실시의 형태에서는, 상기한 바와 같이, 하부 플레이트(35)를 구면 지지부재(40)와 압축 스프링(44)에 의해 지지하는 기구로 하였기 때문에, 하부 플레이트(35)를 수평으로 유지하는 것이 가능해져서, 상기 간극을 일정하게 유지함에 의해, 캐리어 플레이트(52)가 진입부(50a)에 충돌하는 등의 부적합함을 회피할 수 있다.

또한, 캐리어 플레이트(52)를 탑링(16)의 하면측에 반입 후, 연마를 시작할 때에는, 탑링(16)을 더욱 하강하여, 탑링(16) 하면에서 캐리어 플레이트(52) 윗면을 가압하여, 워크를 정반(14)의 연마포에 가압하여 연마하도록 한다. 그 때, 캐리어 플레이트(52)는 링형상의 스토퍼(50) 내에 들어가, 주변부가 스토퍼(50)에 둘러싸여지기 때문에, 스토퍼(50)로부터 빠져나와 버리는 일이 없다. 또한 그 때, 돌출 높이가 높은 홀딩부(50b)는 연마포에는 도달하지 않는 높이로 설정되어 있기 때문에, 연마의 지장이 되는 일은 없다.

또한, 도 5에서, 54는 에어 흡인 파이프이고, 중공형상의 회전축(22) 내에 배치한 호스(도시 생략)를 통하여 도시하지 않은 진공 장치에 접속되고, 캐리어 플레이트(52) 윗면과 하부 플레이트(35) 하면 사이의 공간의 공기를 흡인 가능하게 되어 있다. 56은 하부 플레이트(35) 하면에 마련한 실 링이다. 또한, 그 공간 내의 공기압을 검출 가능한 압력 센서(도시 생략)가 마련되어 있다.

58은 커버이고, 상부 플레이트(34) 상방을 덮어, 슬러리 등이 진입하지 않도록 하고 있다.

또한, 정반(14)의 구동, 실린더 장치(20)의 구동, 구동 모터(28)의 구동 등의 일련의 동작의 제어는 도시하지 않은 제어부에 의해 이루어진다.

다음에, 도 7에 도시하는 플로 차트에 의해, 캐리어 플레이트(52)를 대응하는 캐리어 플레이트(52)의 하방 위치에 반입하는 일련의 동작에 관해 설명한다.

우선, 장치의 기동 스위치(도시 생략)를 투입한다(스텝 1 : S1).

뒤이어, 4개의 탑링(16) 중, 캐리어 플레이트(52)를 최초에 반입하는 탑링(16)을 선택한다(S2). 캐리어 플레이트(52)를 최초에 반입하는 탑링(16)은, 정반(14)상에의 캐리어 플레이트(52)의 투입 위치로부터, 반송 방향으로 가장 먼 측의 탑링(16)이 된다. 본 실시의 형태의 경우, 캐리어 플레이트(52)의 투입 위치는, 도 2에서의 위치(D)와 위치(A) 사이의 정반(14)상이다. 정반(14)은 도면에서 반시계 회전 방향으로 회전한다. 따라서 우선, D위치가 되는 탑링(16)을 선택한다.

뒤이어, 실린더 장치(20)를 구동하여, 높이가 낮은 진입부(50a)와 정반(14)의 윗면과의 사이가 상기 소요 간격의 간극이 될 때까지 탑링(16)을 하강한다. 또한, 구동 모터(28)를 구동하고, 탑링(16)을 회전하여, 탑링(16)의 회전 위치를 포토 센서(32)에 의해 산출하여 낸다(S3).

뒤이어, 탑링(16)을, 진입부(50a)가, 정반(14)의 회전에 수반하여 반송되어 오는 캐리어 플레이트(52)에 정면으로 맞서는 위치가 되는 위치(캐리어 플레이트(52)의 수취 위치)에서 정지한다(S4).

다음에, 정반(14)의 상기 투입부(위치(D)와 위치(A)의 사이)에 캐리어 플레이트(52)를 투입한다(S5).

뒤이어, 정반(14)을 회전 구동한다(S6).

정반(14)이 회전함에 의해, 캐리어 플레이트(52)는 정반(14)의 회전과 함께 이동하고, D위치에서의 탑링(16)의 하면측에, 스토퍼(50)의 진입부(50a)와 정반(14)의 간극으로부터 진입하고, 반대측의 홀딩부(50b)에 맞닿아서 그 홀딩부(50b)에 맞닿아 받아내어진다. 따라서 캐리어 플레이트(52)는 그 위치에서 정지하고, 정반(14)이 공전한다. 이 상태를 오퍼레이터가 육안에 의해 확인하고, 정반(14)을 정지한다(S7).

뒤이어 탑링(16)을 하강하고(S8), 그 하면의 실 링(56)이 캐리어 플레이트(52)의 윗면에 맞닿은 위치에서 하강을 정지한다(S9).

이 상태에서 진공 장치(도시 생략)를 작동하고, 흡인 파이프(54)로부터 탑링(16) 하면과 캐리어 플레이트(52) 윗면 사이의 공간의 공기를 흡인하고, 도시하지 않은 압력 센서에 의해 그 공간의 공기압을 검출하고, 공기압이 소정 설정치 이하로 되는지를 확인한다(S10). 공기압이 소정 설정치 이하로 된 것이 확인되면, 캐리어 플레이트(52)가 소정의 탑링(16) 하면에 반입되었다고 판단하고, 넥스트 탑링(16)의 선택을 한다(S2).

이와 같이 하여, 순차적으로 대응하는 탑링(16) 하면측에 캐리어 플레이트(52)를 반입할 수 있다.

또한, S10에서, 상기 공간의 공기압이 소요 설정치보다 저하되지 않을 때는, 캐리어 플레이트(52)의 반입 미스라고 판단하고, 제어부는 버저 등의 경고를 발한다. 이 경우, 오퍼레이터는 매뉴얼에 의해 탑링(16)을 상승시키고, 수작업 및 육안으로 캐리어 플레이트(52)를 대응하는 탑링(16)의 앞 위치까지 이동시킨 후, S6 내지 S10의 스텝을 행하고, 캐리어 플레이트(52)의 재반입을 하면 좋다.

상기한 바와 같이 하여, 모든 캐리어 플레이트(52)를 대응하는 탑링(16)의 하면 위치에 반입한 후, 실린더 장치(20)에 의해 캐리어 플레이트(52)를 소요 압력으로 정반(14)에 가압하면서, 정반(14)을 회전시키고, 또한 탑링(16)을 회전시키고, 또한 슬러리를 공급하면서 소요 시간 워크의 연마를 행하도록 하는 것이다.

연마 종료 후, 탑링(16)을 상승시키고, 캐리어 플레이트(52)를 정반(14)상으로부터 반출하도록 한다.

또한, 제어부에 의한 상기 일련의 동작은, 미리 설정한 시퀀스에 의해, 적절히 매뉴얼 동작을 섞어서 자동적으로 행할 수 있도록 할 수 있다.

금회 개시된 실시의 형태는 모든 점에서 예시이고 제한적인 것이 아니라고 생각되어야 할 것이다. 본 발명의 범위는, 상기한 설명이 아니라, 청구의 범위에 의해 나타나고, 청구의 범위와 균등한 의미 및 범위 내에서의 모든 변경이 포함되는 것이 의도된다.

Claims (9)

1. 워크 연마 장치에 있어서,
   윗면을 갖고, 상기 윗면에 연마포가 부착되고, 수평면 내에서 회전하는 정반과,
   상기 정반의 상방에 마련되고, 상하이동 및 수평 회전을 할 수 있고, 상기 정반과의 사이에 배치된 캐리어 플레이트를 가압할 수 있고, 하면에서 워크를 지지하여, 상기 워크를 정반상에 가압하는 탑링과,
   상기 탑링에 제공되고, 상기 정반상에 재치되고, 상기 정반을 회전시킴에 의해 상기 탑링 하면과 상기 정반의 윗면 사이에 형성된 공간으로 이동하는 상기 캐리어 플레이트를, 연마위치에서 받아내어 유지하는(stopping and holding) 스토퍼를 포함하고,
   상기 스토퍼는 링형상이고, 상기 탑링 하면 주연부로부터 하방으로 돌출하고,
   상기 스토퍼는, 상기 캐리어 플레이트가 상기 탑링의 하면과의 사이로 진입하는 진입부와, 상기 진입부의 반대측에 위치하며 상기 캐리어 플레이트를 받아내어 유지하는 홀딩부를 갖고,
   상기 진입부의 돌출 길이는 상기 홀딩부의 돌출 길이보다 더 작고,
   상기 진입부와 상기 홀딩부 사이의 단차 벽면이 상기 캐리어 플레이트의 회전 방향의 후방측을 향하여 바깥 방향으로 경사져 있어, 상기 정반상에 공급된 슬러리를 상기 단차 벽면상에 상기 슬러리를 정체시키는 일이 없이 상기 단차 벽면의 선단에서 나눌 수 있는 것을 특징으로 하는 워크 연마 장치.
2. 제1항에 있어서,
   연마 중에, 상기 탑링이 하강하여, 상기 링형상 스토퍼 내에 진입한 상기 캐리어 플레이트가 유지되는 것을 특징으로 하는 워크 연마 장치.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   상기 스토퍼가 상기 탑링 하면측에 착탈가능하게 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 워크 연마 장치.
4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   상기 스토퍼가 수지제인 것을 특징으로 하는 워크 연마 장치.
5. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   상기 탑링의 하면과 상기 캐리어 플레이트의 윗면 사이에 형성된 상기 공간으로부터 공기를 흡인하는 흡인기구와,
   상기 흡인기구에 의해 상기 공간의 공기압이 소정치 이하가 된 것 및 캐리어 플레이트가 상기 탑링 하면에 유지된 것을 검출하는 압력 센서를 더 갖는 것을 특징으로 하는 워크 연마 장치.
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