RU2013128242A - Устройство для полировки изделий - Google Patents

Устройство для полировки изделий Download PDF

Info

Publication number
RU2013128242A
RU2013128242A RU2013128242/02A RU2013128242A RU2013128242A RU 2013128242 A RU2013128242 A RU 2013128242A RU 2013128242/02 A RU2013128242/02 A RU 2013128242/02A RU 2013128242 A RU2013128242 A RU 2013128242A RU 2013128242 A RU2013128242 A RU 2013128242A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
polishing
upper ring
plate
carrier plate
stopper
Prior art date
Application number
RU2013128242/02A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2632045C2 (ru
Inventor
Еити МОРОЗУМИ
Харумити КОЯМА
Манабу КАСУО
Масаки ВАДА
Original Assignee
Фудзикоси Мэшинери Корп.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Фудзикоси Мэшинери Корп. filed Critical Фудзикоси Мэшинери Корп.
Publication of RU2013128242A publication Critical patent/RU2013128242A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2632045C2 publication Critical patent/RU2632045C2/ru

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
    • B24B37/04—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B7/00—Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor
    • B24B7/10—Single-purpose machines or devices
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
    • B24B37/27—Work carriers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
    • B24B37/34—Accessories
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B41/00—Component parts such as frames, beds, carriages, headstocks
    • B24B41/06—Work supports, e.g. adjustable steadies
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B7/00—Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor
    • B24B7/20—Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of the material of non-metallic articles to be ground
    • B24B7/22—Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of the material of non-metallic articles to be ground for grinding inorganic material, e.g. stone, ceramics, porcelain
    • B24B7/228—Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of the material of non-metallic articles to be ground for grinding inorganic material, e.g. stone, ceramics, porcelain for grinding thin, brittle parts, e.g. semiconductors, wafers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
    • H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
    • H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
    • H01L21/302—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to change their surface-physical characteristics or shape, e.g. etching, polishing, cutting
    • H01L21/304—Mechanical treatment, e.g. grinding, polishing, cutting
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
    • B24B37/04—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces
    • B24B37/07—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces characterised by the movement of the work or lapping tool
    • B24B37/10—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces characterised by the movement of the work or lapping tool for single side lapping

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
  • Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)

Abstract

1. Устройство для полировки изделий, содержащее:полировочную пластину, имеющую верхнюю поверхность, к которой адгезивно прикреплена полировочная ткань, и выполненную с возможностью вращения в горизонтальной плоскости;верхнее кольцо, предусмотренное над полировочной пластиной, выполненное с возможностью перемещения вверх и вниз, вращения в горизонтальной плоскости, прижимания несущей пластины, расположенной между полировочной пластиной и верхним кольцом, и удержания изделия на нижней поверхности для прижатия изделия к полировочной пластине; истопор, предусмотренный на верхнем кольце, останавливающий и удерживающий несущую пластину, установленную на полировочной поверхности и перемещаемую к нижней стороне верхнего кольца посредством поворота полировочной пластины в положении полировки.2. Устройство по п.1, в котором стопор является кольцеобразным и выступает вниз от нижнего края верхнего кольца, при этомстопор имеет входную часть, от которой несущая пластина перемещается к нижней стороне верхнего кольца, и удерживающую часть, расположенную на противоположной стороне от входной части, которая останавливает и удерживает несущую пластину,длина выступания входной части меньше, чем у удерживающей части, инесущая пластина перемещается к нижней стороне верхнего кольца через зазор между нижней поверхностью входной части и полировочной пластиной, и останавливается и удерживается удерживающей частью, когда верхнее кольцо перемещается вниз до достижения заданной высоты от полировочной пластины.3. Устройство по п.2, в котором поверхность стенки ступенчатой стенки между входной частью и удерживающей часть�

Claims (9)

1. Устройство для полировки изделий, содержащее:
полировочную пластину, имеющую верхнюю поверхность, к которой адгезивно прикреплена полировочная ткань, и выполненную с возможностью вращения в горизонтальной плоскости;
верхнее кольцо, предусмотренное над полировочной пластиной, выполненное с возможностью перемещения вверх и вниз, вращения в горизонтальной плоскости, прижимания несущей пластины, расположенной между полировочной пластиной и верхним кольцом, и удержания изделия на нижней поверхности для прижатия изделия к полировочной пластине; и
стопор, предусмотренный на верхнем кольце, останавливающий и удерживающий несущую пластину, установленную на полировочной поверхности и перемещаемую к нижней стороне верхнего кольца посредством поворота полировочной пластины в положении полировки.
2. Устройство по п.1, в котором стопор является кольцеобразным и выступает вниз от нижнего края верхнего кольца, при этом
стопор имеет входную часть, от которой несущая пластина перемещается к нижней стороне верхнего кольца, и удерживающую часть, расположенную на противоположной стороне от входной части, которая останавливает и удерживает несущую пластину,
длина выступания входной части меньше, чем у удерживающей части, и
несущая пластина перемещается к нижней стороне верхнего кольца через зазор между нижней поверхностью входной части и полировочной пластиной, и останавливается и удерживается удерживающей частью, когда верхнее кольцо перемещается вниз до достижения заданной высоты от полировочной пластины.
3. Устройство по п.2, в котором поверхность стенки ступенчатой стенки между входной частью и удерживающей частью выполнена в виде наклонной поверхности, наклоненной так, чтобы быть больше обращенной к направлению, противоположному направлению вращения несущей пластины в направлении наружного края стопора.
4. Устройство по п.2 или 3, в котором верхнее кольцо перемещается вниз, и несущая пластина, перемещенная в кольцеобразный стопор, удерживается в нем при полировке изделия.
5. Устройство по любому из пп.1-3, в котором верхнее кольцо содержит верхнюю пластину и нижнюю пластину, содержащую стопор, поддерживаемую с возможностью качания относительно верхней пластины сферическим опорным элементом, смещаемым вверх пружиной, и поддерживаемую горизонтально относительно полировочной пластины.
6. Устройство по любому из пп.1-3, в котором стопор съемно прикреплен к нижней поверхности верхнего кольца.
7. Устройство по любому из пп.1-3, в котором стопор выполнен из пластика.
8. Устройство по любому из пп.1-3, дополнительно содержащее:
всасывающий механизм для всасывания воздуха из пространства, образованного между нижней поверхностью верхнего кольца и верхней поверхностью несущей пластины; и
блок датчиков для определения, что давление воздуха в указанном пространстве стало ниже заданного значения посредством всасывающего воздух механизма, и что несущая пластина удерживается на нижней поверхности верхнего кольца.
9. Устройство по любому из пп.1-3, в котором множество верхних колец предусмотрено над полировочной пластиной и расположено в направлении вращения полировочной пластины, и
несущие пластины перемещаются к нижним сторонам верхних колец, по порядку, от верхнего кольца, расположенного наиболее удаленно от положения установки несущей пластины, в котором несущая пластина устанавливается на полировочную пластину, до верхнего кольца, расположенного наиболее близко от него в направлении вращения полировочной пластины.
RU2013128242A 2012-06-20 2013-06-19 Устройство для полировки изделий RU2632045C2 (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012138375A JP6028410B2 (ja) 2012-06-20 2012-06-20 ワーク研磨装置
JP2012-138375 2012-06-20

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2013128242A true RU2013128242A (ru) 2014-12-27
RU2632045C2 RU2632045C2 (ru) 2017-10-02

Family

ID=49890643

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2013128242A RU2632045C2 (ru) 2012-06-20 2013-06-19 Устройство для полировки изделий

Country Status (5)

Country Link
JP (1) JP6028410B2 (ru)
KR (1) KR102017900B1 (ru)
CN (1) CN103506935B (ru)
RU (1) RU2632045C2 (ru)
TW (1) TWI643705B (ru)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107309726A (zh) * 2017-08-14 2017-11-03 海盐孚邦机械有限公司 一种柱塞套生产用半自动端面磨平机
CN108581749A (zh) * 2018-04-28 2018-09-28 湖南宇晶机器股份有限公司 高精密曲面抛光机精准加压系统
CN114505782B (zh) * 2020-11-17 2023-08-04 长鑫存储技术有限公司 固定装置及检测系统

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU1104762A1 (ru) * 1979-04-23 1988-03-07 Грузинский политехнический институт им.В.И.Ленина Устройство дл абразивной обработки плоских поверхностей
JPH04129668A (ja) * 1990-09-18 1992-04-30 Asahi Glass Co Ltd 研磨装置及び研磨方法
JP3230854B2 (ja) * 1992-09-18 2001-11-19 東芝機械株式会社 研磨方法及びその装置
US5377451A (en) * 1993-02-23 1995-01-03 Memc Electronic Materials, Inc. Wafer polishing apparatus and method
JP3705670B2 (ja) * 1997-02-19 2005-10-12 株式会社荏原製作所 ポリッシング装置及び方法
CN1445060A (zh) * 2002-03-07 2003-10-01 株式会社荏原制作所 抛光装置
TWI238754B (en) * 2002-11-07 2005-09-01 Ebara Tech Inc Vertically adjustable chemical mechanical polishing head having a pivot mechanism and method for use thereof
JP2005159011A (ja) * 2003-11-26 2005-06-16 Seiko Epson Corp 研磨装置、リテーナーリングおよび半導体装置の製造方法
CN101972979B (zh) * 2010-08-30 2012-03-21 南京航空航天大学 一种金刚石表面化学机械复合研磨抛光方法与装置

Also Published As

Publication number Publication date
TWI643705B (zh) 2018-12-11
CN103506935A (zh) 2014-01-15
KR20130142925A (ko) 2013-12-30
JP2014000647A (ja) 2014-01-09
KR102017900B1 (ko) 2019-09-03
TW201400238A (zh) 2014-01-01
RU2632045C2 (ru) 2017-10-02
CN103506935B (zh) 2017-12-22
JP6028410B2 (ja) 2016-11-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
USD694228S1 (en) Mounting plate for apparatus supports
USD703565S1 (en) Fire detector
FI20115334A0 (fi) Kontti
RU2013128242A (ru) Устройство для полировки изделий
MX2013010929A (es) Soporte de recipiente y portador de recipiente.
EP2578158A4 (en) ULTRASONIC DIAGNOSTIC DEVICE
RU2014117172A (ru) Пакетик для приготовления напитка
RU2010100435A (ru) Устройство для обработки заготовок из пластмасс
JP2012101354A5 (ru)
JP2018509625A5 (ru)
CN204467666U (zh) 吸附式杯体底座
RU2013120970A (ru) Оберточная установка для оконных профилей
MX2019001050A (es) Soporte de succion para vidrio.
JP2013168627A5 (ru)
JP2014056783A5 (ru)
JP2014055109A5 (ru)
EP3159105A3 (en) Grinding machine with movable water trough
NZ590938A (en) Improvements to adjustable supports for access hatch frames
CN204186770U (zh) 一种可拆卸式挂钩吸盘结构
TW200515524A (en) Holding device of cleaning container
CN102494624B (zh) 一种镭射调整模组
ES2579728T3 (es) Cesta de recepción de vajilla destinada para ser introducida en el interior de una máquina de lavar
CN205452239U (zh) 一种晶圆厚度测量装置
CN203929674U (zh) 一种玻璃检测装置
TW201237852A (en) Electronic device with odd support module