KR102151282B1

KR102151282B1 - 연삭 장치

Info

Publication number: KR102151282B1
Application number: KR1020150073849A
Authority: KR
Inventors: 다쿠야 미하라
Original assignee: 가부시기가이샤 디스코
Priority date: 2014-06-13
Filing date: 2015-05-27
Publication date: 2020-09-02
Also published as: TWI651162B; TW201600239A; CN105290969A; KR20150143307A; JP6295146B2; JP2016002606A; CN105290969B

Abstract

본 발명은, 복수의 피가공물을 동시에 유지하여 연삭을 행하는 경우에 있어서도, 계측침을 안정되게 피가공물의 상면에 접촉시켜 피가공물의 두께를 계측 가능한 연삭 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
연삭 장치는 피가공물(W)을 유지하는 유지면을 갖는 유지 수단과, 유지 수단에 유지된 피가공물(W)의 이면(裏面)(WR)을 연삭하는 연삭 수단과, 연삭 수단에 의해 연삭된 피가공물(W)의 이면(WR)의 높이를 측정하는 높이 측정기(40)를 구비한다. 높이 측정기(40)는 피가공물(W)의 이면(WR)에 접촉시키는 접촉점이 동일 높이 위치에 배치된 2개의 계측침(43)을 구비한다. 2개의 계측침(43)은 유지 수단의 회전축(A)를 중심으로 한 원주(C) 상을 따라 병렬로 또한 인접한 피가공물(W)끼리의 둘레 방향의 간격(W2)보다도 큰 간격(W1)만큼 이격되어 배치된다.

Description

연삭 장치{GRINDING DEVICE}

본 발명은, 피가공물의 상면 높이를 계측하면서 피가공물의 연삭을 행하는 연삭 장치에 관한 것이다.

각종 피가공물을 박화 연삭하여 원하는 두께로 마무리하는 경우에 있어서는, 피가공물의 두께를 계측하면서 연삭을 행하여, 원하는 두께가 되면 연삭을 종료하도록 하고 있다. 피가공물의 두께를 계측하는 방법으로는, 두께 계측기의 접촉자를 피가공물의 표면 및 피가공물을 유지하는 유지 테이블의 표면에 접촉시키고, 그 높이의 차를 구하여 이 차의 값으로부터 피가공물의 두께를 구하는 접촉식의 계측 방법이 알려져 있다(예컨대, 특허문헌 1 참조).

한편, 사파이어나 질화갈륨(GaN) 등으로 형성된 피가공물로서의 웨이퍼로는, 통상의 웨이퍼에 비하여 직경이 작은 것이 있다. 이와 같이 직경이 작은 웨이퍼의 연삭에 대해서는, 하나의 유지 테이블의 동일 유지면 상에 있어서 복수의 웨이퍼를 유지하고, 복수의 웨이퍼를 동시에 연삭함으로써, 연삭에 소요되는 시간을 단축하는 기술이 제안되어 있다(예컨대, 특허문헌 2 참조).

[특허문헌 1] 일본 특허 공개 제2000-006018호 공보 [특허문헌 2] 일본 특허 공개 제2012-101293호 공보

복수의 웨이퍼를 동시에 연삭하는 경우, 전술한 바와 같이 두께 계측기의 접촉자를 피가공물의 표면에 접촉시키면서 연삭을 행하려고 하면, 회전하는 소직경의 피가공물 사이에서 접촉자가 걸려 안정되게 피가공물의 유지면으로부터의 높이를 계측할 수 없다고 하는 문제가 있다.

본 발명의 목적은, 복수의 피가공물을 동시에 유지하여 연삭을 행하는 경우에 있어서도, 접촉침을 안정되게 피가공물의 상면에 접촉시켜 피가공물의 두께를 계측 가능한 연삭 장치를 제공하는 것이다.

전술한 과제를 해결하고 목적을 달성하기 위해서, 청구항 1에 기재된 본 발명에 따른 연삭 장치는, 피가공물을 유지하는 유지면을 갖는 유지 수단과, 상기 유지 수단에 유지된 피가공물의 상면을 연삭하는 연삭 수단과, 상기 연삭 수단에 의해 연삭된 피가공물의 상기 상면의 높이를 측정하는 높이 측정기를 구비한 연삭 장치로서, 상기 유지 수단은, 복수의 피가공물을 유지하여 피가공물의 사이즈보다도 큰 사이즈로 형성된 유지면을 가지며, 상기 유지면에 직교하며 상기 유지면의 중심을 통과하는 회전축을 중심으로 하여 회전 가능하고, 상기 유지면 상에 있어서 상기 회전축을 중심으로 한 원주 상에서 상기 복수의 피가공물을 둘레 방향으로 유지하며, 상기 높이 측정기는, 피가공물의 상면에 접촉시키는 접촉점이 동일 높이 위치에 배치된 2개의 계측침을 구비하고, 상기 2개의 계측침은 상기 유지 수단의 회전축을 중심으로 한 상기 원주 상을 따라 병렬로 또한 인접한 피가공물끼리의 둘레 방향의 간격보다도 큰 간격만큼 이격되어 배치되며, 복수의 피가공물의 연삭시에 있어서는, 한쪽의 상기 계측침이 상기 복수의 피가공물 사이에 위치할 때에는 다른 한쪽의 상기 계측침은 복수의 피가공물 중 어느 하나의 상면에 접촉하여 피가공물의 높이 위치를 항상 계측하는 것을 특징으로 한다. 또한, 청구항 1에서 말하는 인접한 피가공물끼리의 둘레 방향의 간격이란, 피가공물이 둘레 방향으로 등간격으로 배열되어 있는 경우에는, 인접한 피가공물끼리의 간격을 말하고, 피가공물이 둘레 방향으로 등간격으로 배열되어 있지 않은 경우에는, 인접한 피가공물끼리의 간격 중의 가장 이격된 피가공물끼리의 간격을 말한다.

본 발명의 연삭 장치에 따르면, 계측침을 2개 구비하고, 2개의 계측침을 유지 수단의 회전축을 중심으로 한 원주를 따라 병렬로 또한 인접한 피가공물끼리의 둘레 방향의 간격보다도 큰 간격만큼 이격시켜 배치하고 있다. 그 때문에, 연삭시에 한쪽의 계측침이 복수의 피가공물 사이에 위치할 때에는, 다른 한쪽의 계측침은 반드시 복수의 피가공물의 상면에 접촉하여 계측 가능하게 된다. 따라서, 복수의 피가공물을 동시에 유지하여 연삭을 행하는 경우에 있어서도, 피가공물 사이에 계측침이 낙하하거나 피가공물에 걸리지 않고, 계측침을 안정되게 피가공물의 상면에 접촉시켜 피가공물의 두께를 계측할 수 있다.

도 1은 실시형태에 따른 연삭 장치의 구성을 도시한 외관 사시도.
도 2는 실시형태에 따른 연삭 장치의 유지 수단과 높이 측정기 등의 사시도.
도 3은 실시형태에 따른 연삭 장치의 높이 측정기와 복수의 피가공물의 사시도.
도 4는 실시형태에 따른 연삭 장치의 높이 측정기 등과 복수의 피가공물의 평면도.
도 5는 실시형태에 따른 연삭 장치의 높이 측정기와 복수의 피가공물의 측면도.

본 발명을 실시하기 위한 형태(실시형태)에 대해, 도면을 참조하면서 상세히 설명한다. 이하의 실시형태에 기재한 내용에 의해 본 발명이 한정되는 것은 아니다. 또한, 이하에 기재한 구성 요소에는, 당업자가 용이하게 상정할 수 있는 것, 실질적으로 동일한 것이 포함된다. 또한, 이하에 기재한 구성은 적절하게 조합하는 것이 가능하다. 또한, 본 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위에서 구성의 여러 가지의 생략, 치환 또는 변경을 행할 수 있다.

본 발명의 실시형태에 따른 연삭 장치를, 도 1 내지 도 5에 기초하여 설명한다. 도 1은 실시형태에 따른 연삭 장치의 구성을 도시한 외관 사시도이고, 도 2는 실시형태에 따른 연삭 장치의 유지 수단과 높이 측정기 등의 사시도이며, 도 3은 실시형태에 따른 연삭 장치의 높이 측정기와 복수의 피가공물의 사시도이고, 도 4는 실시형태에 따른 연삭 장치의 높이 측정기 등과 복수의 피가공물의 평면도이며, 도 5는 실시형태에 따른 연삭 장치의 높이 측정기와 복수의 피가공물의 측면도이다.

본 실시형태에 따른 연삭 장치(1)는, 피가공물(W)(도 3에 도시함)에 연삭(가공에 해당함)을 행하는 장치이다. 여기서, 가공 대상으로서의 피가공물(W)은, 본 실시형태에서는, 실리콘, 사파이어, 질화갈륨(GaN) 등을 모재로 하는 원판형의 반도체 웨이퍼나 광 디바이스 웨이퍼이다. 피가공물(W)은, 예컨대, 표면(WS)에 격자형으로 형성된 스트리트라고 불리는 분할 예정 라인에 의해 복수의 영역이 구획되고, 이들의 구획된 영역에 디바이스가 형성되어 있다. 피가공물(W)은, 도 3에 도시된 바와 같이, 표면(WS)이 유지 부재(M)에 접착되어, 유지 부재(M) 상에 복수 유지된 상태에서, 표면(WS)의 안쪽 이면(裏面)(WR)(도 3 및 도 4에 도시함)에 연삭 지석(26)에 의해 연삭이 행해진다. 또한, 본 실시형태에서는, 유지 부재(M)를 원판형으로 형성하고, 5개의 피가공물(W)을 유지 부재(M)의 외연부에 둘레 방향으로 등간격으로 배치하고 있다.

연삭 장치(1)는, 도 1에 도시된 바와 같이, 유지 수단(10)과, 연삭 수단(20)과, 가공 이송 수단(30)과, 높이 측정기(40)(도 2에 도시함)와, 제어 수단(100) 등을 구비한다.

유지 수단(10)은, 유지 부재(M)를 통해 피가공물(W)의 표면(WS)이 배치되어, 배치된 복수의 피가공물(W)을 흡인 유지하는 유지면(10a)을 갖는 것이다. 유지 수단(10)은, 도 2에 도시된 바와 같이, 유지면(10a)을 구성하는 부분이 다공성 세라믹 등으로 형성된 원반 형상이며, 도시하지 않은 진공 흡인 경로를 통해 도시하지 않은 진공 흡인원과 접속되고, 유지면(10a)에 배치된 피가공물(W)을 유지 부재(M)를 통해 흡인함으로써 유지한다.

즉, 유지 수단(10)은, 피가공물(W)의 사이즈보다도 큰 사이즈로 형성된 유지면(10a)을 갖고 있다. 유지 수단(10)은, 도시하지 않은 유지 수단 이동 수단에 의해 연삭 수단(20)의 아래쪽의 가공 위치와, 연삭 수단(20)의 아래쪽으로부터 이격된 착탈 위치에 걸쳐 Y축 방향으로 이동된다. 유지 수단(10)은, 도시하지 않은 회전 구동 수단에 의해 흡인 유지한 피가공물(W)을 유지면(10a)에 직교하고 유지면(10a)의 중심을 통과하는 회전축(A)(도 2 및 도 3에 일점쇄선으로 나타냄)을 중심으로 하여 회전 가능하다. 유지 수단(10)은, 유지면(10a) 상에 유지 부재(M)를 통해 복수의 피가공물(W)을 유지함으로써, 유지면(10a) 상에 있어서 회전축(A)을 중심으로 한 원주 상에서 복수의 피가공물(W)을 둘레 방향으로 등간격으로 유지한다.

가공 이송 수단(30)은, 연삭 수단(20)을 유지면(10a)에 대하여 근접 이격되는 방향으로 Z축과 평행하게 이동시키는 것이다. 가공 이송 수단(30)은, 가공 이송 모터(31) 등을 구비한다. 가공 이송 모터(31)는, 연삭 수단(20)이 장착된 이동 베이스(21)를 안내 레일(33)을 따라 가공 이송하기 위한 것이다. 가공 이송 모터(31)는, 연삭 장치(1)의 장치 본체(2)로부터 세워진 기둥부(3)에 부착되고, 출력축에 리드 스크류(34)가 부착되어 있다. 리드 스크류(34)는, Z축과 평행하게 배치되고, 기둥부(3)에 축심 주위로 회전 가능하게 지지되어 있다. 리드 스크류(34)는, 이동 베이스(21)에 부착된 도시하지 않은 너트에 나사 결합되어 있다. 안내 레일(33)은, Z축과 평행하게 기둥부(3)에 부착되어, 이동 베이스(21)를 Z축 방향으로 슬라이드 가능하게 지지하고 있다.

연삭 수단(20)은, 유지 수단(10)에 유지된 복수의 피가공물(W)의 이면(WR)(상면에 해당) 가공액으로서의 연삭액을 공급하면서 연삭하는 것이다. 연삭 수단(20)은, 도 1에 도시된 바와 같이, 연삭 휠(23)을 선단에 장착하는 스핀들(24)과, 스핀들 모터(27) 등을 구비한다.

연삭 휠(23)은, 원반 형상의 지석 베이스(25)와, 복수의 연삭 지석(26)을 구비하고 있다. 지석 베이스(25)는, 스핀들(24)의 선단에 마련된 플랜지부(24a)에 볼트 등에 의해 부착된다. 연삭 지석(26)은, 지석 베이스(25)의 외연부에 원환형으로 마련되어 있다. 연삭 지석(26)은, 주지된 지립과, 지립을 굳히는 본드제 등으로 구성되고, 스핀들 모터(27)에 의해 스핀들(24)이 수직 방향과 평행한 Z축 주위로 회전됨으로써, 피가공물(W)의 이면(WR)을 연삭한다. 또한, 도 4에 도시된 바와 같이, 연삭 지석(26)은, 스핀들 모터(27)의 회전에 의해, 가공 위치의 유지 수단(10)의 회전축(A) 상을 통과한다. 이 때문에, 연삭 중에는, 유지 수단(10)에 유지된 피가공물(W)의 이면(WR)의 일부는 노출되어 있다.

스핀들(24)은 스핀들 하우징(28) 내에 Z축 주위로 회전 가능하게 수용되어 있다. 스핀들 하우징(28)은 이동 베이스(21)에 부착된 지지부(29)에 유지되어 있다. 스핀들 모터(27)는 스핀들(24), 즉 연삭 휠(23)을 Z축 주위로 회전시킨다.

높이 측정기(40)는, 연삭 수단(20)에 의해 연삭된 복수의 피가공물(W)의 유지 수단(10)의 유지면(10a)으로부터의 이면(WR)의 높이를 측정하기 위한 것이다. 높이 측정기(40)는, 도 2에 도시된 바와 같이, 본체부(41)와, 본체부(41)에 상하 방향으로 요동 가능하게 지지된 계측 아암(42)과, 계측 아암(42)의 선단부(42a)에 부착된 2개의 계측침(43)을 구비한다. 본체부(41)는, 가공 위치의 유지 수단(10) 근방에 배치된다. 본체부(41)는, 선단부(42a)가 상하 이동하도록 계측 아암(42)을 요동 가능하게 지지하고 있다. 본체부(41)에는, 에어 공급원(44)으로부터 가압된 기체가 공급되면, 계측 아암(42)의 요동 중심(M)보다도 기단측을 아래쪽으로 눌러 계측 아암(42)의 선단부(42a)를 상승시키는 에어 실린더(45)가 마련되어 있다. 또한, 본체부(41)에는, 계측 아암(42)의 요동 중심(M) 주위의 회전 위치를 검출하여, 피가공물(W)의 이면(WR)의 높이를 검출하는 검출 수단(도시하지 않음)이 마련되어 있다. 검출 수단은 검출 결과를 제어 수단(100)에 출력한다.

계측 아암(42)은, 원주 막대 형상으로 형성되고, 기단부(42b)를 중심으로 하여 요동 가능하게 본체부(41)에 지지되어 있다. 계측 아암(42)의 선단부(42a)에는, 2개의 계측침(43)이 부착된 침 지지 부재(46)가 마련되어 있다.

2개의 계측침(43)은, 원주 막대 형상으로 형성되고, 또한 침 지지 부재(46)에 부착되어 있다. 2개의 계측침(43)은 계측 아암(42)과 평행한 평행부(47)와, 평행부(47)의 선단으로부터 유지 수단(10)의 유지면(10a)을 향해 연장되어 피가공물(W)의 이면(WR)과 접촉하는 접촉부(48)를 구비하고 있다. 접촉부(48)의 하단은, 피가공물(W)의 이면(WR)과 접촉하는 접촉점(48a)을 이루고 있다. 2개의 계측침(43)은, 연삭 중에 노출되는 피가공물(W)의 이면(WR)에 접촉시키는 접촉점(48a)이 동일 높이 위치에 배치되어 있다. 2개의 계측침(43)은, 도 5에 도시된 바와 같이, 평행부(47)가 서로 평행하게 또한 수평 방향으로 간격을 두고 배치되며, 접촉부(48)의 길이(L)가 동일하게 형성되어 있다. 2개의 계측침(43)은, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 유지 수단(10)의 회전축(A)을 중심으로 한 원주(C)(도 4 중에 일점쇄선으로 나타냄) 상을 따라 병렬로 또한 인접한 피가공물(W)끼리의 둘레 방향의 간격(W2)보다도 큰 간격(W1)만큼 이격되어 배치되어 있다.

또한, 본 발명에서 말하는 인접한 피가공물(W)끼리의 둘레 방향의 간격(W2)이란, 접촉점(48a)이 피가공물(W)의 이면(WR) 상을 통과하는 원주(C) 상의 간격(W2)을 말한다. 또한, 본 실시형태에서는, 2개의 계측침(43)의 간격(W1)은, 이들 계측침(43)의 중심간의 간격(W1)을 말한다. 또한, 2개의 계측침(43)의 간격(W1)은, 피가공물(W)의 이면(WR)의 외연과 상기 원주(C)가 교차하는 점(P) 사이의 간격(W3)보다도 충분히 작게 형성되어 있다.

이와 같이, 2개의 계측침(43)은 배치됨으로써, 유지 부재(M)를 통해 복수의 피가공물(W)을 유지 수단(10)에 유지하는 연삭시에 있어서는, 도 5에 점선으로 나타낸 바와 같이, 한쪽의 계측침(43)이 복수의 피가공물(W) 사이에 위치할 때에는, 다른 한쪽의 계측침(43)은 복수의 피가공물(W) 중 어느 하나의 이면(WR)에 접촉하여, 피가공물(W)의 이면(WR)의 높이 위치를 항상 계측한다.

제어 수단(100)은, 연삭 장치(1)를 구성하는 전술한 구성 요소를 각각 제어하여, 피가공물(W)에 대한 가공 동작을 연삭 장치(1)에 행하게 하는 것이다. 또한, 제어 수단(100)은, 예컨대 CPU 등으로 구성된 연산 처리 장치나 ROM, RAM 등을 구비하는 도시하지 않은 마이크로프로세서를 주체로 하여 구성되어 있고, 가공 동작의 상태를 표시하는 도시하지 않은 표시 수단이나, 오퍼레이터가 가공 내용 정보 등을 등록할 때에 이용하는 도시하지 않은 조작 수단 등과 접속되어 있다.

다음에, 본 실시형태에 따른 연삭 장치(1)의 가공 동작에 대해서 설명한다. 우선, 오퍼레이터가 가공 내용 정보를 제어 수단(100)에 등록하고, 오퍼레이터로부터 가공 동작의 개시 지시가 있었던 경우에, 연삭 장치(1)가 가공 동작을 시작한다. 가공 동작에 있어서, 연삭 수단(20)의 아래쪽으로부터 이격된 착탈 위치에 있어서 유지 수단(10) 상에 표면(WS)에 유지 부재(M)에 접착된 복수의 피가공물(W)이 배치되면, 제어 수단(100)이, 피가공물(W)을 유지 수단(10)에 흡인 유지시킨다. 또한, 제어 수단(100)은, 에어 공급원(44)으로부터 가압된 기체를 에어 실린더(45)에 공급하여, 계측 아암(42)의 선단부(42a) 및 계측침(43)을 도 2 내에 이점쇄선으로 나타낸 바와 같이, 유지 수단(10)의 유지면(10a)보다도 상승시킨다.

제어 수단(100)은, 유지 수단 이동 수단에 의해 유지 수단(10)을 이동시켜, 유지 수단(10)을 가공 위치에 위치시키고, 에어 공급원(44)으로부터 에어 실린더(45)로의 가압된 기체의 공급을 정지하여, 2개의 계측침(43)의 접촉점(48a)을 유지 수단(10)에 유지된 피가공물(W)의 이면(WR)에 접촉시킨다. 제어 수단(100)은, 스핀들 모터(27)에 의해 회전하는 연삭 휠(23)을, 도 4에 도시된 바와 같이, 회전하는 유지 수단(10)의 회전축(A) 상에 위치시킨다. 그리고, 제어 수단(100)은, 가공 이송 수단(30)에 의해 연삭 휠(23)을 서서히 하강시켜 나가고, 피가공물(W)의 이면(WR)에 연삭 이송한다. 피가공물(W)의 이면(WR)을 연삭 휠(23)의 연삭 지석(26)으로 연삭한다. 연삭 중에는, 항상, 높이 측정기(40)로 이면(WR)의 높이를 측정한다.

제어 수단(100)은, 높이 측정기(40)의 검출 결과에 기초하여, 피가공물(W)의 이면(WR)의 높이가 원하는 높이가 되면, 가공 이송 수단(30)에 의해 연삭 수단(20)을 피가공물(W)로부터 이격시킨다. 또한, 제어 수단(100)은, 에어 공급원(44)으로부터 가압된 기체를 에어 실린더(45)에 공급하여, 계측 아암(42)의 선단부(42a) 및 계측침(43)을 유지 수단(10)의 유지면(10a)보다도 상승시킨다.

제어 수단(100)은, 그 후, 유지 수단 이동 수단에 의해 유지 수단(10)을 연삭 수단(20)의 아래쪽의 가공 위치로부터 착탈 위치를 향해 이동시킨다. 그리고, 유지 수단(10)이 착탈 위치에 위치하면, 제어 수단(100)이, 유지 수단 이동 수단에 의한 유지 수단(10)의 이동을 정지하고, 유지 수단(10)의 피가공물(W)의 흡인 유지를 해제시킨다. 연삭 후의 피가공물(W)과 연삭 전의 피가공물(W)이 교환되면, 연삭 장치(1)는, 전술한 공정과 마찬가지로, 피가공물(W)에 연삭을 행한다.

이상과 같이, 본 실시형태에 따른 연삭 장치(1)는, 계측침(43)을 2개 구비하고, 2개의 계측침(43)을 유지 수단(10)의 회전축(A)을 중심으로 한 원주를 따라 병렬로 또한 인접한 피가공물(W)끼리의 둘레 방향의 간격(W2)보다도 큰 간격(W1)만큼 이격되어 배치되어 있다. 또한, 2개의 계측침(43) 사이의 간격(W1)을 피가공물(W)의 이면(WR)의 외연과 상기 원주(C)가 교차하는 점(P) 사이의 간격(W3)보다도 충분히 작게 형성하고 있다. 그 때문에, 연삭시에 하나의 계측침(43)이 복수의 피가공물(W) 사이에 위치할 때에는, 다른 한쪽의 계측침(43)은 반드시 복수의 피가공물(W)의 이면(WR)에 접촉하여 계측 가능하게 된다. 따라서, 복수의 피가공물(W)을 동시에 유지하여 연삭을 행하는 경우에 있어서도, 피가공물(W) 사이에 계측침(43)이 낙하하거나 피가공물(W)에 걸리지 않고, 계측침(43)을 안정되게 피가공물(W)의 이면(WR)에 접촉시켜 피가공물(W)의 두께를 계측할 수 있다.

또한, 본 발명에서는, 연삭 장치(1)는, 유지 수단(10)과 연삭 수단(20)을 복수 구비하여도 좋다. 본 발명에서는, 연삭의 사전에 유지 수단(10)의 유지면(10a)의 높이 위치를 높이 측정기(40)로 측정해 두고, 제어 수단(100)은, 연삭 중에 측정한 높이 위치와의 차를 산출하고, 차의 값으로부터 피가공물(W)의 두께를 구하여, 원하는 두께가 될 때까지 연삭하도록 제어하여도 좋다.

또한, 본 발명에서는, 유지 수단(10)의 유지면(10a)의 외경(外徑)이 피가공물(W) 또는 유지 부재(M)의 외경과 거의 동등하게 형성되어 있는 경우에, 유지면(10a)의 외주의 외주부(10b)(도 2에 도시함)에 접촉하는 계측침을 하나 갖는 높이 측정기(도시하지 않음)를 별도로 마련한다. 제어 수단(100)은, 연삭 중에 별도로 마련한 높이 측정기의 계측침을 외주부(10b)에 접촉시켜, 항상, 유지 수단(10)의 높이 위치를 측정하고, 측정한 값 등으로부터 피가공물(W)의 두께를 구하도록 하여도 좋다.

또한, 본 발명은 상기 실시형태에 한정되는 것은 아니다. 즉, 본 발명의 골자를 벗어나지 않는 범위에서 여러 가지 변형하여 실시할 수 있다.

1 : 연삭 장치
10 : 유지 수단
10a : 유지면
20 : 연삭 수단
40 : 높이 측정기
43 : 계측침
48a : 접촉점
A : 회전축
C : 원주
W : 피가공물
WR : 이면(상면)
W1 : 간격
W2 : 간격

Claims

피가공물을 유지하는 유지면을 갖는 유지 수단과, 상기 유지 수단에 유지된 피가공물의 상면을 연삭하는 연삭 수단과, 상기 연삭 수단에 의해 연삭된 피가공물의 상기 상면의 높이를 측정하는 높이 측정기를 구비한 연삭 장치로서,
상기 유지 수단은, 복수의 피가공물을 유지하고 피가공물의 사이즈보다도 큰 사이즈로 형성된 유지면을 가지며, 상기 유지면에 직교하고 상기 유지면의 중심을 통과하는 회전축을 중심으로 하여 회전 가능하고, 상기 유지면 상에 있어서 상기 회전축을 중심으로 한 원주 상에서 상기 복수의 피가공물을 둘레 방향으로 유지하고,
상기 높이 측정기는, 피가공물의 상면에 접촉시키는 접촉점이 동일 높이 위치에 배치된 2개의 계측침을 구비하고, 상기 2개의 계측침은 상기 유지 수단의 회전축을 중심으로 한 상기 원주 상을 따라 병렬로 또한 인접한 피가공물끼리의 둘레 방향의 간격보다도 큰 간격만큼 이격되어 배치되고,
복수의 피가공물의 연삭시에 있어서는, 한쪽의 상기 계측침이 상기 복수의 피가공물 사이에 위치할 때에는 다른 한쪽의 상기 계측침은 복수의 피가공물 중 어느 하나의 상면에 접촉하여 피가공물의 높이 위치를 항상 계측하는 것을 특징으로 하는 연삭 장치.