JP5836757B2 - 板状物の研削方法 - Google Patents
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Description
2 基台
3 ターンテーブル
4 研削ユニット(研削手段)
5 制御部
6 研削ユニット移動機構
7 リング部材形成ユニット
8 リング部材形成ユニット移動機構
11 上型
12 下型
13 溝部
31 チャックテーブル
43 研削砥石
44 研削ホイール
51 ハイトゲージ(厚み測定手段)
71 ディスペンサ
72 UV光源
73 回転テーブル
91 リングフレーム
92 貼着テープ(支持部材)
93 リング部材(リング形状測定部材)
Claims (3)
- 上面に板状物を保持し回転可能なチャックテーブルと、前記チャックテーブルに対峙して配設された研削ホイールを備えた研削手段と、前記チャックテーブルに保持された板状物の厚みを測定する厚み測定手段と、から少なくとも構成される研削装置を用いて板状物を研削して所定の厚さに仕上げる板状物の研削方法であって、
外部刺激により硬化する液状樹脂を前記所定の厚さよりも厚くリング形状に成形し、前記液状樹脂を硬化させてリング形状測定部材を形成するリング形状測定部材形成ステップと、
前記リング形状測定部材および複数の板状物を支持部材に貼着して前記リング形状測定部材と前記板状物とを一体にする一体貼着ステップと、
前記複数の板状物と一体となった前記リング形状測定部材の中心を前記チャックテーブルの回転中心に位置付けて前記チャックテーブルに保持する保持ステップと、
前記チャックテーブルに保持された前記リング形状測定部材及び複数の板状物を前記研削手段によって研削する研削ステップと、から構成され、
前記研削ステップでは、前記リング形状測定部材の厚さを測定して研削された板状物の厚さを間接的に検出する、
ことを特徴とする板状物の研削方法。 - 上面に板状物を保持し回転可能なチャックテーブルと、前記チャックテーブルに対峙して配設された研削ホイールを備えた研削手段と、前記チャックテーブルに保持された板状物の厚みを測定する厚み測定手段と、から少なくとも構成される研削装置を用いて板状物を研削して所定の厚さに仕上げる板状物の研削方法であって、
支持部材の上面に複数の板状物を貼着する前または後に、前記複数の板状物が貼着される領域以外の前記支持部材の上面上に、外部刺激により硬化する液状樹脂を前記所定の厚さよりも厚くリング形状に成形し、前記液状樹脂を硬化させてリング形状測定部材を形成するリング形状測定部材形成ステップと、
前記複数の板状物と一体となった前記リング形状測定部材の中心を前記チャックテーブルの回転中心に位置付けて前記チャックテーブルに保持する保持ステップと、
前記チャックテーブルに保持された前記リング形状測定部材及び複数の板状物を前記研削手段によって研削する研削ステップと、から構成され、
前記研削ステップでは、前記リング形状測定部材の厚さを測定して研削された板状物の厚さを間接的に検出する、
ことを特徴とする板状物の研削方法。 - 前記リング形状測定部材形成ステップでは、回転する回転テーブル上に回転中心から所定距離離した位置に前記液状樹脂を滴下するとともに外部刺激を加えて硬化させ、前記所定の厚さよりも厚くリング形状測定部材を形成する、ことを特徴とする請求項1または2に記載の板状物の研削方法。
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