JP2008258321A - 切削加工方法および切削加工装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】切削ユニット60によってウェーハ1のバンプ5の先端部を切削してバンプ高さを揃えている間に、後続するウェーハ1の基板部2の厚さ測定を基板部厚さ測定装置30により並行して行う。切削工程の最中には、ウェーハの総厚のみを総厚測定装置50により測定して基板部厚さを測定する必要をなくし、切削加工時間を短縮させる。
【選択図】図3
Description
[1]半導体ウェーハ(ワーク)
図1の符号1は、一実施形態で切削加工を施す半導体ウェーハ(以下、ウェーハと略称する)を示している。このウェーハ1は、シリコン等の半導体材料でできた円板状の基板部2を主体としている。基板部2は均一厚さに加工されており、その表面には、複数の半導体チップ3が形成されている。これら半導体チップ3は、格子状に形成された切断予定ライン4によって区画されている。半導体チップ3は、基板部2の表面に可能な限りの数が形成され、そのチップ形成領域2Aの周囲が、半導体チップ3が形成されていない余剰領域2Bとされている。
図3は、ウェーハのバンプを切削加工するのに好適な切削加工装置を示している。以下、この切削加工装置10の基本的な構成および動作を説明する。図3の符号11は、直方体状の基台である。ワークである上記ウェーハ1は、基台11上の所定位置にセットされる供給カセット12に、所定枚数が積層して収容される。供給カセット12からは、1枚のウェーハ1がピックアップロボット13によって取り出され、バンプ5が形成されている表面側を上に向けた状態で位置決め部20に移され、一定の位置に決められる。
次に、上記基板部厚さ測定装置および総厚測定装置を説明する。
図6に示すように、基板部厚さ測定装置30は、リニアゲージ31とサポートゲージ32とがウェーハ1の基板部2を挟んで該基板部2の厚さを測定する構成のもので、これらゲージ31,32は、コ字状のフレーム33の一端および他端に、互いに対向する状態に取り付けられている。
以上が本実施形態の切削加工装置10の構成および動作であり、本装置10によれば、多数のウェーハ1のバンプ5の切削加工処理が、連続して流れ作業的に続けられる。その作業中において、実際にバンプ5が切削されているときには、次に処理されるウェーハ1が供給カセット12から位置決め部20の回転テーブル21にセットされ、この切削加工前の段階の位置決め部20で、基板部厚さ測定装置30によって基板部2の厚さt1が測定される。したがって、この後のバンプ5の切削工程では、総厚測定装置50によってウェーハ1の総厚t2を測定するだけで、バンプ5の高さを算出することができる。
2…基板部
5…バンプ(積層部)
10…切削加工装置
20…位置決め部
30…基板部厚さ測定装置(基板部厚さ測定手段)
40…チャックテーブル(保持手段)
49…テーブルベース(移動手段)
50…総厚測定装置(総厚測定手段)
60…切削ユニット(切削手段)
65…バイト(切削刃)
80…制御部80
Claims (4)
- 基板部の表面に該表面の一部を残して積層部が設けられた板状のワークを、積層部側が露出し、かつ基板部の裏面が密着する状態に保持する保持手段と、
該保持手段に保持された前記ワークにおける前記積層部の表面を切削する切削刃を有する切削手段と、
前記保持手段に保持された前記ワークの、前記基板部と前記積層部の厚さを合わせた総厚を測定する総厚測定手段と、
前記保持手段に保持される前の前記ワークの前記基板部の厚さを測定する基板部厚さ測定手段とを備えた切削装置を用いて、
前記ワークにおける前記積層部を所定の厚さに切削する方法であって、
前記基板部厚さ測定手段によって前記ワークにおける前記基板部の厚さを測定する基板部厚さ測定工程と、
前記ワークを前記保持手段に保持し、前記総厚測定手段によって保持手段に保持したワークの総厚を測定する総厚測定工程と、
該総厚測定工程で得られた前記ワークの総厚測定値と、前記基板部厚さ測定工程で得られた前記基板部の厚さ測定値を比較して前記積層部の厚さを求めるとともに、この積層部の厚さが所定厚さになるまで、前記切削手段によって積層部の表面を切削する積層部切削工程と
を備えることを特徴とする切削加工方法。 - 基板部の表面に該表面の一部を残して積層部が設けられた板状のワークを、積層部側が露出し、かつ基板部の裏面が密着する状態に保持する保持手段と、
該保持手段に保持された前記ワークにおける前記積層部の表面を切削する切削刃を有する切削手段と、
前記保持手段に保持された前記ワークの、前記基板部と前記積層部の厚さを合わせた総厚を測定する総厚測定手段と、
前記保持手段に保持される前の前記ワークの前記基板部の厚さを測定する基板部厚さ測定手段とを備えることを特徴とする切削加工装置。 - 前記保持手段の近傍に配置され、該保持手段の所定位置に前記ワークが保持されるべく該ワークの位置を保持手段に保持される前の段階で定める位置決め部を有し、
該位置決め部に前記基板部厚さ測定手段が併設されていることを特徴とする請求項2に記載の切削加工装置。 - 前記保持手段を、該保持手段にワークを載置したり該保持手段からワークを取り上げたりするワーク着脱位置と、前記切削手段によって保持手段に保持されたワークの前記積層部の表面を切削加工するワーク加工位置とに位置付ける移動手段を備え、
前記総厚測定手段は、ワーク着脱位置に近接して設けられていることを特徴とする請求項2または3に記載の切削加工装置。
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