JP5335250B2 - ウエーハの切削加工方法 - Google Patents
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Description
11 半導体ウエーハ
12 切削加工ユニット
15 デバイス
17 デバイス領域
19 外周余剰領域
23 基板
25 積層部
27 バンプ
28 切削バイト
29 樹脂層
34 チャックテーブル
36 高さ測定装置アセンブリ
40,42 リニアゲージ
58 非接触式高さ測定手段
60 アライメント手段
Claims (1)
- 複数のバンプ付きデバイスが形成されたデバイス領域と該デバイス領域を囲繞する外周余剰領域とを表面に有する基板部と、該基板部上面に所定の厚みを持って形成された積層部とから構成されるウエーハの上面を切削し、該ウエーハを所定の厚みに形成するウエーハの切削加工方法であって、
高さ測定手段でチャックテーブルに保持されたウエーハのデバイス領域の上面高さを測定すると共に、該チャックテーブルの上面高さを測定して該ウエーハのデバイス領域の厚みを算出する第1のウエーハ厚み算出工程と、
該第1のウエーハ厚み算出工程で算出されたウエーハの厚みをもとに、該チャックテーブルに保持されたウエーハの目標切削厚さを設定し、ウエーハのデバイス領域の一部が目標切削厚さとなるように該一部の上面を切削する第1の切削工程と、
該第1の切削工程を実施する前又は後に、撮像手段でウエーハを撮像してデバイス領域の該一部を検出するアライメント工程と、
該アライメント工程で検出されたデバイス領域の該一部の上方に前記高さ測定手段を位置付け、前記高さ測定手段で該チャックテーブルに保持された前記第1の切削工程後のウエーハのデバイス領域の該一部の上面の高さを測定し、その測定値と前記第1のウエーハ厚み算出工程で測定したチャックテーブル上面の高さとから、前記第1の切削工程後のウエーハのデバイス領域の該一部の厚みを算出する第2のウエーハ厚み算出工程と、
前記第1の切削工程で設定した前記目標切削厚さと、前記第2のウエーハ厚み算出工程で算出したウエーハのデバイス領域の該一部の厚みとの差を算出して、切削補正値を求める補正値算出工程と、
該補正値算出工程で算出した該切削補正値を加味したウエーハの目標仕上げ厚みを設定する目標仕上げ厚み設定工程と、
該目標仕上げ厚み設定工程で設定した目標仕上げ厚みにウエーハを切削する第2の切削工程と、
を備えたことを特徴とするウエーハの切削加工方法。
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