KR100712575B1 - 광자기 기록 매체, 정보 기록/재생 방법, 및 자기 기록 장치 - Google Patents

광자기 기록 매체, 정보 기록/재생 방법, 및 자기 기록 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 기판상에, 기록용의 광의 조사 및 자장의 공급을 받아서 데이터를 기록하는 기록층을 가지며, 그 기록층측으로부터 기록용의 광의 조사 및 자장의 공급을 받는 광자기 기록 매체에 관한 것으로, 매체 노이즈를 악화시키지 않고 재생시에는 대전력의 레이저광을 조사할 수 있으며, 게다가 기록시에는 그다지 큰 전력의 레이저광을 조사하지 않아도 기록층에, 보자력을 저하시키기에 충분한 열을 공급할 수 있는 광자기 기록 매체를 제공하는 것을 목적으로 하고, 기판(10)과, 상기 기판(10)상에 형성되고, 제1 열전도율을 갖는 제1 방열층(11)과, 상기 제1 방열층(11)상에 형성되고, 상기 제1 열전도율보다 낮은 제2 열전도율을 갖는 분단층(12)과, 상기 분단층(12)상에 형성되고, 상기 제2 열전도율보다는 높고 또한 상기 제1 열전도율보다는 낮은 제3 열전도율을 갖는 제2 방열층(13)과, 상기 방열층(13)상에 형성되고, 기록용 광의 조사 및 자장의 공급을 받아서 데이터를 기록하는 기록층(14, 15)을 포함한다.
광자기 기록, 자장, 레이저광, 열전도율, 기록층, 방열층, 기록층

Description

광자기 기록 매체, 정보 기록/재생 방법, 및 자기 기록 장치{MAGNETOOPTIC RECORDING MEDIUM, INFORMATION RECORDING/REPRODUCING METHOD, AND MAGNETIC RECORDING DEVICE}
본 발명은 기판상에, 기록용의 광의 조사 및 자장의 공급을 받아서 데이터를 기록하는 기록층을 가지며, 그 기록층측으로부터 기록용의 광의 조사 및 자장의 공급을 받는 광자기 기록 매체, 이 광자기 기록 매체에 정보를 기록하고 재생하는 정보 기록/재생 방법, 및 이 광자기 기록 매체에 정보를 기록하고 재생하는 자기 기록 장치에 관한 것이다.
종래, 실용화되어 있는 광자기 기록 매체의 대다수는 투명한 기판상에, 기록층, 그 기록층보다도 열전도율이 높은 방열층, 및 이들 층을 보호하는 보호층 등이 적층된 것으로, 기판너머로 기록용의 광 빔의 조사 및 자장의 공급을 행함으로써, 정보의 기록을 행한다. 또한, 기록층에 기록된 정보를 재생함에 있어서도, 기판너머로 재생용의 광 빔의 조사를 행한다.
이와 같은 광과 자기의 쌍방을 이용하여 정보의 기록을 행하는 광자기 기록 매체에서는, 더욱 고밀도의 기록을 행하기 위하여, 기록층에 조사하는 광 빔을 대물 렌즈로 좁힘으로써, 그 광 빔의 스폿 사이즈 φ를 작게 하는 것이 검토되고 있 다. 스폿 사이즈 φ와, 대물 렌즈의 개구수 NA와, 광 빔의 파장 λ의 관계는 일반적으로 φ=λ/2NA로 표시된다. 따라서, 스폿 사이즈 φ를 작게 하여 고밀도화를 도모하기 위해서는, 광 빔의 파장 λ을 짧게 하거나, 대물 렌즈의 개구수 NA를 크게 하면 된다. 그러나, 대물 렌즈의 개구수 NA를 크게 하면 할수록 초점 거리가 짧아져서, 종래와 같이 광 빔을 기판너머로 조사하면, 기판의 두께 불균일이나 기판의 휨 등에 의해 수차가 커지는 문제가 있다. 이로 인해, 광 빔을, 기판측으로부터가 아니라 기록층측으로부터 입사함으로써, 대물 렌즈의 개구수 NA를 크게 하는 기술이 알려져 있다(예를 들면, 특허 문헌 1 참조). 이하, 광 빔을 기록층측으로부터 입사하는 방식을, 프론트 일루미네이션(front illumination）방식이라 부르기로 한다. 이 프론트 일루미네이션 방식에 대응한 광자기 기록 매체에서는, 기록층측으로부터 광 빔이 입사되기 때문에, 방열층은 기록층보다도 기판측에 형성되어 있다.
또한, 파장 λ을 짧게 하기 위해서는, 광 빔으로서 종래 사용되고 있는 적색 레이저 대신에 청색 레이저를 사용하면 된다. 그런데, 광자기 기록 매체를 구동하는, 청색 레이저광의 광원과 포토디텍터를 구비한 드라이브에서는 적색 레이저광의 광원과 포토디텍터를 구비한 드라이브보다도 회로 노이즈가 크고, 또한 청색 레이저광의 포토디텍터의 변환 효율은 적색 레이저광의 변환 효율보다도 나빠서, 재생시에 신호 강도(캐리어)가 저하되게 된다. 그 결과, 종래의 적색 레이저를 사용한 경우에 비하여 청색 레이저를 사용한 경우에는, CNR(Carrier to Noise Ratio)이 저하되게 된다는 문제가 있다. 회로 노이즈를 상대적으로 저감시킴과 아울러 캐리어 를 높이기 위해서는, 가능한 한 높은 재생 파워의 청색 레이저광을 조사하면 된다. 그런데, 재생시에 기록층이 레이저 조사에 의해 가열되고, 기록층의 온도가 큐리점을 넘어버리게 되면 보자성(保磁性)이 상실되고, 기록해 두었던 정보가 소거되어 버린다. 이로 인해, 기록 매체측에서는, 레이저광이 조사됨으로써 기록층에 생긴 열을 방출하는 방열층의 능력을 높일 필요가 생긴다. 종래에서는, 이 방열층의 두께를 두껍게 함으로써, 방열층의 능력을 높이고 있다.
그런데, 광자기 기록 매체의 기판 표면은 요철 형상으로 형성되어 있는 것이 일반적이고, 기판상에 적층된 기록층에는 이 요철 형상에 따른 랜드(볼록부)·그루브(오목부)가 형성된다. 프론트 일루미네이션 방식에 대응한 광자기 기록 매체에서는, 요철 형상의 기판 표면에 방열층을 적층시키고, 이 방열층의 표면에 기록층의 이면이 접하도록 기록층을 형성한다. 방열층은 일반적으로 금속층이며, 방열층의 두께를 두껍게 하면 할수록, 방열층의 표면은 움푹움푹하게 입자 형상으로 거칠고 불균일하게 되기 쉽다. 방열층의 표면이 거칠면, 프론트 일루미네이션 방식에 대응한 광자기 기록 매체에서는 그 표면의 거칠기가 기록층에 나타나서, 랜드·그루브의 형상이 붕괴되어 버린다. 고밀도로 정보를 기록하는 광자기 기록 매체에서는 랜드와 그루브 양자를 트랙으로 하여, 공급된 자장에 따른 방향으로 자화된 마크가 랜드나 그루브에 형성된다. 랜드·그루브의 형상이 붕괴되어 있으면, 마크의 형상도 붕괴되어, 매체 노이즈가 악화되게 된다. 또한, 광자기 기록 매체의 기록시에는 기록용의 레이저광의 조사에 의해 기록층을 가열하고, 기록층의 보자력을 저하시킨 상태로 하여 자장을 공급한다. 방열층의 두께를 두껍게 하면, 방열성이 향상되고, 재생시에는 대전력의 레이저광을 조사할 수 있지만, 기록시에는 대전력의 레이저광을 조사하더라도 기록층에, 보자력을 저하시키기에 충분한 열을 공급할 수 없게 된다.
(특허 문헌 1)
일본 특허공개 2000-306271호 공보(도 1)
본 발명은 상기 사정을 감안하여, 재생시에 레이저광을 조사하는 경우에 있어서는, 매체 노이즈를 악화시키지 않고 대전력의 레이저광을 조사할 수 있으며, 게다가 기록시에는 그다지 큰 전력의 레이저광을 조사하지 않더라도 기록층에, 보자력을 저하시키기에 충분한 열을 공급할 수 있는 광자기 기록 매체, 이 광자기 기록 매체에 정보를 기록하고 재생하는 정보 기록/재생 방법, 및 이 광자기 기록 매체에 정보를 기록하고 재생하는 자기 기록 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하는 본 발명의 광자기 기록 매체는, 기판과,
상기 기판상에 형성된, 소정의 고열전도율을 갖는 제1 방열층과,
상기 제1 방열층상에 형성된, 상기 고열전도율보다 낮은 저열전도율을 갖는 분단층과,
상기 분단층상에 형성된, 상기 저열전도율보다는 높고 또한 상기 고열전도율보다는 낮은 소정의 열전도율을 갖는 제2 방열층과,
상기 방열층상에 형성된, 기록용의 광의 조사 및 자장의 공급을 받아서 데이터를 기록하는 기록층을 갖는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 광자기 기록 매체는 프론트 일루미네이션 방식에 대응한 층 구조를 갖는 것이며, 이 광자기 기록 매체에 따르면, 방열층이 제1 방열층과 제2 방열층의 2개로 분단되어 있기 때문에, 1개의 방열층의 두께를 표면이 거칠수록 두껍게 하지 않더라도, 광자기 기록 매체 전체적으로는 충분한 방열성을 갖게 할 수 있으며, 매체 노이즈를 악화시키지 않고 재생시에는 대전력의 레이저광을 조사할 수 있다.
여기에서, 재생시에 광 빔을 조사하는 경우에 있어서는 일반적으로는 레이저광을 DC적으로 연속 조사하고, 기록층은 계속하여 가열된다. 한편, 기록용의 광 빔의 조사에 있어서는, 레이저광을 펄스적으로 단속 조사하는 편이 양호한 형상의 마크가 기록된다는 것이 알려져 있으며, 이 경우, 기록층은 순간적으로 가열된다. 본 발명의 광자기 기록 매체에서는 2개의 방열층 사이에, 이들 어느 방열층의 열전도율보다도 낮은 열전도율을 갖는 분단층을 형성하고, 또한 기록층측의 제2 방열층이, 기판측의 제1 방열층보다도 열전도율이 작은 것이다. 이로 인해, 본 발명의 광자기 기록 매체에서는, 재생시에 광 빔을 연속적으로 조사하는 경우에 있어서는, 기록층에 계속하여 생기는 열이 기록층→제2 방열층→분단층→제1 방열층의 경로로 방출되지만, 기록시의, 레이저광의 단속 조사에 있어서는, 기록층에 순간적으로 생긴 열의 전도가 제2 방열층에서 머무르고, 그다지 큰 전력의 기록용 광 빔을 조사하지 않더라도 기록층의 보자력을 저하시키기에 충분한 열을 공급할 수 있다.
또한, 재생시에는 광 빔을 조사하지 않고, 기록층의 자속을 검출함으로써 정보의 재생이 행해지는, 소위 하드 디스크 타입의 광자기 기록 매체에도 본 발명의 광자기 기록 매체를 적용할 수 있다. 이와 같은 하드 디스크 타입의 광자기 기록 매체에 본 발명을 적용하면, 기록시에는 그다지 큰 전력의 레이저광을 조사하지 않더라도 기록층에, 보자력을 저하시키기에 충분한 열을 공급할 수 있다.
또한, 본 발명의 광자기 기록 매체에 있어서, 상기 제1 방열층 및 제2 방열층 모두가 Al, Ag, Au 및 Pt 중에서 선택된 하나의 원소를 주성분으로 하고, Cu, Pd, Si, Cr, Ti 및 Co 중에서 선택된 적어도 하나가 첨가되어 이루어지는 것이 바람직하다.
Al, Ag, Au 및 Pt는 모두 방열성이 양호하고, Cu, Pd, Si, Cr, Ti 및 Co는 모두 Al, Ag, Au 및 Pt의 입경 확대를 억제한다. 또한, Cu, Pd, Si, Cr, Ti 및 Co는 모두 Al, Ag, Au 및 Pt 중에서 선택된 하나의 원소를 주성분으로 하는 것에 첨가됨으로써, 열전도율을 저하시킨다.
여기에서, 본 발명의 광자기 기록 매체에 있어서, 상기 제1 방열층 및 제2 방열층 모두가 비자성의 재료로 이루어지는 것이 바람직하고,
상기 분단층이 Si의 단체(單體), Al의 단체 및 C의 단체 중의 적어도 어느 하나의 단체를 포함하는 재료, 또는 Si의 질화물, Si의 산화물, Si의 탄화물, Al의 질화물, Al의 산화물, Fe의 탄화물, Zn의 황화물 및 Zn의 산화물 중에서 선택된 하나의 화합물로 이루어지는 것이 바람직하다.
또한, 본 발명의 광자기 기록 매체에 있어서, 상기 제2 방열층은 이 제2 방열층 표면이 상기 제1 방열층 표면보다도 평활한 것이 바람직하다.
상기 제2 방열층의 표면 거칠기가 기록층에 최종적으로 영향을 미치기 때문 에, 상기 제2 방열층 표면을 평활한 것으로 해 둠으로써, 기록층을 깨끗한 형상으로 성막할 수 있다.
또한, 본 발명의 광자기 기록 매체에 있어서, 상기 분단층은 이 분단층 표면이 상기 제2 방열층 표면보다도 평활한 것이 더욱 바람직하다.
상기 분단층상에 상기 제2 방열층을 성막함에 있어서, 상기 제2 방열층을, 상기 분단층의 표면 거칠기 이하의 표면 거칠기로 성막하는 것은 아주 곤란하기 때문에, 상기 분단층을 평활한 것으로 해 둠으로써, 기록층을 깨끗한 형상으로 확실하게 성막할 수 있다.
상기 목적을 달성하는 본 발명의 정보 기록/재생 방법은 기판과, 상기 기판상에 형성된, 소정의 고열전도율을 갖는 제1 방열층과, 상기 제1 방열층상에 형성된, 상기 고열전도율보다 낮은 저열전도율을 갖는 분단층과, 상기 분단층상에 형성된, 상기 저열전도율보다는 높고 또한 상기 고열전도율보다는 낮은 소정의 열전도율을 갖는 제2 방열층과, 상기 방열층상에 형성된, 기록용의 광의 조사 및 자장의 공급을 받아서 데이터를 기록하는 기록층을 갖는 광자기 기록 매체에, 기록용의 광의 조사 및 자장의 공급을 행하고 정보의 기록을 행하는 기록 단계, 및
상기 기판과는 반대측의 상기 기록층측으로부터, 상기 기록층의 자속을 검출하여 정보의 자기 재생을 행하는 재생 단계를 갖는 것을 특징으로 한다.
상기 목적을 달성하는 본 발명의 제1 자기 기록 장치는 기판과, 상기 기판상에 형성된, 소정의 고열전도율을 갖는 제1 방열층과, 상기 제1 방열층상에 형성된, 상기 고열전도율보다 낮은 저열전도율을 갖는 분단층과, 상기 분단층상에 형성된, 상기 저열전도율보다는 높고 또한 상기 고열전도율보다는 낮은 소정의 열전도율을 갖는 제2 방열층과, 상기 방열층상에 형성된, 기록용의 광의 조사 및 자장의 공급을 받아서 데이터를 기록하는 기록층을 갖는 광자기 기록 매체에, 기록용의 광의 조사 및 자장의 공급을 행하고 정보의 기록을 행하는 광자기 기록부, 및
상기 기판과는 반대측의 상기 기록층측으로부터, 상기 기록층의 자속을 검출하여 정보의 자기 재생을 행하는 자기 재생부를 구비한 것을 특징으로 한다.
상기 목적을 달성하는 본 발명의 제2 자기 기록 장치는 기판과, 상기 기판상에 형성된, 소정의 고열전도율을 갖는 제1 방열층과, 상기 제1 방열층상에 형성된, 상기 고열전도율보다 낮은 저열전도율을 갖는 분단층과, 상기 분단층상에 형성된, 상기 저열전도율보다는 높고 또한 상기 고열전도율보다는 낮은 소정의 열전도율을 갖는 제2 방열층과, 상기 방열층상에 형성된, 기록용의 광의 조사 및 자장의 공급을 받아서 데이터를 기록하는 기록층을 갖는 광자기 기록 매체에, 광을 조사하여 이 기록층을 가열하는 광조사 소자, 이 기록층에 자장을 공급하는 자장 공급 소자, 및 이 기록층의 자속을 검출하는 자속 검출 소자가 탑재된 하나의 슬라이더를 갖는 것을 특징으로 한다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 재생시에 레이저광을 조사하는 경우에 있어서는, 매체 노이즈를 악화시키지 않고 대전력의 레이저광을 조사할 수 있으며, 게다가 기록시에는 그다지 큰 전력의 레이저광을 조사하지 않더라도 기록층에, 보자력을 저하시키기에 충분한 열을 공급할 수 있는 광자기 기록 매체, 이 광자기 기록 매체에 정보를 기록하고 재생하는 정보 기록/재생 방법, 및 이 광자기 기록 매체에 정보를 기록하고 재생하는 자기 기록 장치를 제공할 수 있다.
도 1은 본 발명의 제1 실시 형태의 광자기 기록 매체의 층 구조를 모식적으로 도시한 도면이다.
도 2는 종래의 광자기 기록 매체에 있어서의 층 구조의 일례를 모식적으로 도시한 도면이다.
도 3은 도 1에 도시한 제1 실시 형태의 광자기 기록 매체에 있어서의 CNR의, 재생용 광 빔의 전력 의존성을 나타내는 그래프이다.
도 4는 방열층의 두께를 다르게 한 여러 점의 샘플 각각에 있어서의 CNR의, 재생용 광 빔의 전력 의존성을 나타내는 그래프이다.
도 5는 이레이즈 노이즈의 계측 결과를 나타내는 그래프이다.
도 6은 도 1에 도시한 광자기 기록 매체에 있어서의 CNR의, 기록용 광 빔의 전력 의존성을 나타내는 그래프이다.
도 7은 방열층의 두께를 다르게 한 여러 점의 샘플 각각에 있어서의 CNR의, 기록용 광 빔의 전력 의존성을 나타내는 그래프이다.
도 8은 재생용 광 빔을 조사한 기록층의, 이 광 빔의 빔 스폿내의 온도 분포를 나타내는 그래프이다.
도 9는 제2 실시 형태의 광자기 기록 매체의 층 구조를 모식적으로 도시한 도면이다.
도 10은 종래의 RAD 매체인 광자기 기록 매체에 있어서의 층 구조의 일례를 모식적으로 도시한 도면이다.
도 11은 도 9에 도시한 광자기 기록 매체와, 도 10에 도시한 광자기 기록 매체 각각에 있어서의 CNR의, 재생용 광 빔의 전력 의존성을 나타내는 그래프이다.
도 12는 도 9에 도시한 광자기 기록 매체와, 도 10에 도시한 광자기 기록 매체 각각에 있어서의 CNR의, 기록용 광 빔의 전력 의존성을 나타내는 그래프이다.
도 13은 도 9에 도시한 광자기 기록 매체와, 도 10에 도시한 광자기 기록 매체 각각의 이레이즈 노이즈의 계측 결과를 나타내는 그래프이다.
도 14는 제3 실시 형태의 광자기 기록 매체의 층 구조를 모식적으로 도시한 도면이다.
도 15는 종래의 DWDD 매체인 광자기 기록 매체에 있어서의 층 구조의 일례를 모식적으로 도시한 도면이다.
도 16은 도 14에 도시한 광자기 기록 매체와, 도 15에 도시한 광자기 기록 매체 각각에 있어서의 CNR의, 재생용 광 빔의 전력 의존성을 나타내는 그래프이다.
도 17은 도 14에 도시한 광자기 기록 매체와, 도 15에 도시한 광자기 기록 매체 각각에 있어서의 CNR의, 기록용 광 빔의 전력 의존성을 나타내는 그래프이다.
도 18은 도 14에 도시한 광자기 기록 매체와, 도 15에 도시한 광자기 기록 매체 각각에 있어서의 이레이즈 노이즈의 계측 결과를 나타내는 그래프이다.
도 19는 하드 디스크 타입의 광자기 기록 매체에 정보를 기록하고, 기록한 정보를 재생하는 자기 기록 장치의 한 실시 형태의 개략 구성을 도시한 도면이다.
도 20은 도 19에 도시한 광자기 기록 매체의, 온도에 대한 보자력의 변화와 포화 자화의 변화의 일례를 나타내는 그래프이다.
도 21은 본 발명의 정보 기록/재생 방법의 한 실시 형태를 나타낸 플로우차트이다.
도 22는 도 19에 도시한 광자기 기록 매체의, 레이저 기록 전력에 대한 CNR의 변화의 일례를 나타내는 그래프이다.
도 23은 일체형 슬라이더를 구비한 자기 기록 장치의 일체형 슬라이더의 개략 구성을 도시한 도면이다.
도 24는 도 23에 도시한 광자기 기록 매체의, 기록 전류에 대한 CNR의 변화의 일례를 나타내는 그래프이다.
이하, 본 발명의 실시 형태에 관하여 설명한다.
먼저, 본 발명 중의 광자기 기록 매체의 실시 형태에 관하여 설명한다.
도 1은 본 발명의 제1 실시 형태의 광자기 기록 매체의 층 구조를 모식적으로 도시한 도면이다.
도 1에 도시한 광자기 기록 매체(1)는 기록용의 광 빔(R)의 조사 및 자장의 공급을 받아서 정보를 기록하고, 재생용의 광 빔(P)의 조사를 받아서 정보를 재생하는 기록 매체이다. 이 광자기 기록 매체(1)는 기판(10)을 구비하고, 이 기판상에 프론트 일루미네이션 방식에 대응한 층 구조를 갖는 것이다. 즉, 도 1에 도시한 광자기 기록 매체(1)는 제1 방열층(11), 분단층(12), 제2 방열층(13), 기록 보조층(14), 기록층(15), 보호층(16) 및 커버층(17)이, 기판(10)측으로부터 이 기재 순으로 적층된 것이다. 기판(10)은 직경 120㎜, 두께 1.2㎜의 유리 2P제의 원판형상의 것이며, 도시를 생략했지만, 기판(10)의 표면(10a)은 요철 형상으로 형성되어 있다. 오목부와 볼록부의 넓이는 각각 0.25㎛이고, 깊이는 30㎚이다. 이와 같은 기판(10)에는 DUV(Deep UltraViolet) 조사 처리가 이루어져 있으며, 그 표면(10a)은 표면 거칠기 Ra가 0.25㎚ 정도의 매우 평활한 표면으로 마무리되어 있다. 한편, 여기에서 말하는 표면 거칠기 Ra는 일본 공업 규격(통칭 JIS 규격)의 1994년에 개정된 B0601 중에 규정되어 있는 중심선 평균 거칠기이다. 즉, 거칠기 곡선(75%)으로부터 그 중심선의 방향으로 측정 길이 L의 부분을 발췌하고, 이 발췌 부분의 중심선을 X축, 횡축의 방향을 Y축으로 하고, 거칠기 곡선(75%)을 y=f(x)로 표현했을 때에, 이하의 식(1)로 표현되는, 단위를 ㎚으로 하는 표면 거칠기이다.
Figure 112004060313326-pct00001
이하의 설명에서는, 이 식(1)에 의해 표현되는 표면 거칠기를, 간단히 표면 거칠기 Ra로 부르기로 한다.
도 1에 도시한 제1 방열층(11), 분단층(12) 및 제2 방열층(13)은 모두 비자성의 층이고, 이들 중에서 제1 방열층(11)은 Ag를 주성분으로 하고, Pd, Cu 및 Si를 포함하는, 두께 10㎚의 합금막이다. 이 제1 방열층(11)은 Ag를 주성분으로 하고 Pd와 Cu가 첨가된 합금 타겟과, Si 타겟을 이용한 코스퍼터링에 의해 기판(10)의 표면(10a)에 형성된 것이다. 코스퍼터링의 조건은 가스 압력이 0.5㎩이고, 합 금 타겟에의 방전 전력이 500W, Si 타겟에의 방전 전력이 320W이다. 이와 같은 제1 방열층(11)의 구체적 조성은 Ag 96at%, Pd 1at%, Cu 1at%, Si 2at%이다.
분단층(12)은 두께 5㎚의 SiN막이다. 이 분단층(12)은 제1 방열층(11)의 표면에, B를 도프한 Si를 타겟으로 하여, 가스압 0.3㎩의 N2 가스중에서 스퍼터링 성막함으로써 형성한 것이다.
제2 방열층(13)은 Ag를 주성분으로 하고, Pd, Cu 및 Si를 첨가한, 두께 30㎚의 합금막이다. 이 제2 방열층(13)은 분단층(12)의 표면에, Ag를 주성분으로 하고 Pd와 Cu가 첨가된 합금 타겟과, Si 타겟을 이용한 코스퍼터링에 의해 형성된 합금막이다. 제2 방열층(13)을 형성하는 코스퍼터링에서도, 가스 압력은 0.5㎩, 합금 타겟에의 방전 전력은 500W이지만, Si 타겟에의 방전 전력은 320W이다. 이와 같은 제2 방열층(13)의 구체적 조성은 Ag 94at%, Pd 1at%, Cu 1at%, Si 4at%이다. 제2 방열층(13)의 Si 함유율은 제1 방열층(11)의 Si 함유량보다도 많고, Si 함유량이 많아지면 많아질수록 방열층의 열전도율은 저하한다. 따라서, 제2 방열층(13)은 제1 방열층(11)보다도 열전도율이 낮다.
기록 보조층(14)은 기록시에 필요한 인가 자계가 작게 되도록 작용하는, 두께 5㎚의 GdFeCo 자성막이다. 이 기록 보조층(14)은 제2 방열층(13)의 표면에, GdFeCo 합금을 타겟으로 하여, 방전 전력 500W, 가스압 0.5㎩에서 스퍼터링 성막함으로써 형성한 것이다. 또한, 기록층(15)은 두께 25㎚의 TbFeCo 자성막이다. 이 기록층(15)은 기록 보조층(14)의 표면에, TbFeCo 합금을 타겟으로 하여, 방전 전력 500W, 가스압 1.0㎩에서 스퍼터링 성막함으로써 형성한 것이다. 기록층(15)에는 기판 표면(10a)의 요철 형상을 받아서, 랜드(볼록부)·그루브(오목부)가 형성되어 있다. 이 광자기 기록 매체(1)에서는, 고밀도로 정보를 기록하기 위하여, 랜드와 그루브 양자를 트랙으로 하고, 공급된 자장에 따른 방향으로 자화된 마크가 랜드나 그루브에 형성된다. 한편, 기록 보조층(14)과 기록층(15)을 겸한 것이, 본 발명에서 말하는 기록층에 상당한다.
보호층(16)은 습기 등으로부터 기록층 등을 보호하는 기능을 갖는, 두께 50㎚의 SiN 유전체막이다. 이 보호층(16)은 기록층(15)의 표면에, B를 도프한 Si를 타겟으로 하여, 방전 전력 800W, 가스압 0.3㎩의 N2 가스중에서 스퍼터링 성막함으로써 형성한 것이다.
커버층(17)은 프론트 일루미네이션 방식에 대응한 층 구조에 있어서의 기판의 역할을 하는 것으로, 투명한 자외선 경화 수지로 이루어지는 두께 15㎛의 층이다. 이 커버층(17)은 보호층(16)의 표면에, 스핀코팅법에 의해 자외선 경화 수지를 15㎛의 두께로 도포한 후, 자외선을 30초 정도 조사하여 경화시킴으로써 형성한 것이다.
여기에서 참고로, 도 2를 사용하여 종래의 광자기 기록 매체의 일례를 설명한다.
도 2는 종래의 광자기 기록 매체에 있어서의 층 구조의 일례를 모식적으로 도시한 도면이다.
도 2에 도시한 광자기 기록 매체(7)도, 기록용의 광 빔(R)의 조사 및 자장의 공급을 받아서 정보를 기록하고, 재생용의 광 빔(P)의 조사를 받아서 정보를 재생하는, 프론트 일루미네이션 방식에 대응한 기록 매체이다. 이 종래의 광자기 기록 매체(7)에는 도 1에 도시한 분단층(12)이 존재하지 않고, 이 광자기 기록 매체(7)는 방열층(71), 기록 보조층(72), 보호층(74) 및 커버층(75)이, 기판(70)측으로부터 이 기재순으로 적층된 것이다. 즉 이 광자기 기록 매체(7)에 형성된 방열층은 1층이다. 이 1층만의 방열층(71)의 구체적 조성은 Ag 95at%, Pd 1at%, Cu 1at%, Si 3at%이다. 여기에서는, 비교를 위하여, 이 1층만의 방열층(71)의 두께를 다르게 한 광자기 기록 매체를 샘플로서 여러 점 준비하고, CNR(Carrier to Noise Ratio)의, 재생용 광 빔의 전력 의존성에 대한 실험을 행했으므로, 그 결과에 관하여 설명한다.
도 3은 도 1에 도시한 제1 실시 형태의 광자기 기록 매체에 있어서의 CNR의, 재생용 광 빔의 전력 의존성을 나타내는 그래프이고, 도 4는 방열층의 두께를 다르게 한 여러 점의 샘플 각각에 있어서의 CNR의, 재생용 광 빔의 전력 의존성을 나타내는 그래프이다.
여기에서의 실험에서는, 먼저, 광자기 기록 매체를 회전시키면서, 이 매체의 커버층측부터 기록용 광 빔의 조사 및 자장의 공급을 행함으로써 기록층에 정보를 표시하는 마크를 기록하고, 이어서 광자기 기록 매체를 회전시키면서, 그 커버층측부터 재생용 광 빔의 조사를 행함으로써 기록한 마크에 의거한 정보를 재생하고, CNR을 얻었다. 재생용 광 빔의 조사에 있어서는, 광 빔의 전력을 수단계로 변화시 켜서 행하였다. 기록시의 마크 길이는 0.25㎛이고, 재생시의 광자기 기록 매체의 주속(周速)은 7.5m/s였다.
도 3 및 도 4에 나타내는 그래프의, 횡축은 재생용 광 빔의 전력 Pr(단위;㎽)를 나타내고, 종축은 CNR(단위; ㏈)을 나타낸다. 또한, 도 4의 검정 원의 플롯을 잇는 실선은 도 2에 도시한 방열층(71)의 두께를 5㎚으로 한 샘플에 있어서의 결과를 나타내고, 흰 삼각의 플롯을 잇는 실선은 그 두께를 20㎚으로 한 샘플에 있어서의 결과를 나타내고, 흰 원의 플롯을 잇는 실선은 그 두께를 45㎚로 한 샘플에 있어서의 결과를 나타내고, 검정 삼각의 플롯을 잇는 실선은 그 두께를 50㎚으로 한 샘플에 있어서의 결과를 나타낸다.
도 4에 나타낸 바와 같이, 1층만의 방열층을 갖는 샘플의 광자기 기록 매체에서는, 그 1층만의 방열층의 두께를 두껍게 하면 할수록, 가장 높은 CNR의 값을 얻을 수 있는 재생용 광 빔의 전력(이하, 최적 Pr이라 함)이 커지고, 그 최적 Pr에 있어서의 CNR의 값도 커진다. 여기에서, 실용에 충분한 매체 특성의 기준의 하나로서, CNR의 값은 45㏈ 이상인 것이 요망된다. 그러나, 1층만의 방열층을 갖는 광자기 기록 매체에서는, 방열층을 50㎚까지 두껍게 하더라도, CNR의 값은 45㏈에 이르지 못한다. 이것은 50㎚의 방열층을 갖는 광자기 기록 매체에서는, 방열층을 너무 두껍게 했기 때문에 방열층의 표면이 거칠고, 기록층에, 기판 표면의 요철 형상에 따른 깨끗한 랜드·그루브가 형성되지 않고, 마크의 형상이 붕괴되어 노이즈가 커졌기 때문이라 생각된다.
한편, 도 3에 나타낸 바와 같이, 도 1에 도시한 광자기 기록 매체에 있어서 의, 최적 Pr에서의 CNR의 값은 50㎚의 방열층을 갖는 샘플의 매체에 있어서의 그것보다도 2㏈ 이상 향상되고, 실용에 충분한 45㏈ 이상으로 되어 있다. 이것은 제1 방열층(11)의 두께가 10㎚임과 아울러 제2 방열층(13)의 두께가 30㎚이고, 어느 방열층(11, 13)의 두께도 기록층에 깨끗한 랜드·그루브가 형성되기 어려워지는 50㎚미만의 두께이기 때문에, 먼저, 제1 방열층(11)의 표면에는 기판 표면(10a)에 형성된 요철 형상에 따른 깨끗한 요철 형상이 형성되고, 제2 방열층(13)의 표면에도, 분단층(12)을 통해 깨끗한 요철 형상이 형성되고, 최종적으로는, 기록층(15)에, 기판 표면(10a)의 요철 형상에 따른 깨끗한 랜드·그루브가 형성된 것이 요인의 하나라고 생각된다. 즉, 랜드·그루브가 깨끗하게 형성됨으로써, 랜드나 그루브에 형성된 마크의 형상도 깨끗한 형상이 되고, 노이즈가 저하되었다고 생각된다. 또한, 도 1에 도시한 광자기 기록 매체의 최적 Pr은 50㎚의 방열층을 갖는 샘플의 매체의 최적 Pr보다도 크고, 캐리어(신호 강도)를 증가할 수 있었다는 것이 또하나의 요인이라 생각된다.
또한, 도 1에 도시한 광자기 기록 매체를 한 방향으로 DC 이레이즈한 후의, 각 주파수에 있어서의 노이즈(이레이즈 노이즈)의 레벨 계측을 행했으므로, 그 결과에 관하여 설명한다. 이 계측에서는, 비교를 위하여, 도 1에 도시한 광자기 기록 매체 외에 2개의 샘플을 준비하고, 각각의 이레이즈 노이즈에 대해서도 계측하였다. 2개의 샘플 중의 한쪽 샘플은 도 1에 도시한 분단층이 존재하지 않는, 도 2에 도시한 층 구조의 광자기 기록 매체이다. 이 샘플에 형성된, 1층만의 방열층의 구체적 조성은 Ag 95at%, Pd 1at%, Cu 1at%, Si 3at%이고, 두께는 40㎚이다. 또 한, 다른 한쪽의 샘플은 분단층을 가지며, 방열층은 이 분단층에 의해 제1 방열층과 제2 방열층으로 분단되어 있지만, 도 1에 도시한 광자기 기록 매체와는 달리, 기록층측의 제2 방열층의 열전도율이 기판측의 제1 방열층의 열전도율보다도 높은 광자기 기록 매체이다. 이 다른 한쪽의 샘플에서는, 제2 방열층 조성을 Ag 97at%, Pd 1at%, Cu 1at%, Si 1at%로 Si량을 줄임으로써, 제1 방열층의 열전도율보다도 높게 하고 있다.
도 5는 이레이즈 노이즈의 계측 결과를 나타내는 그래프이다.
도 5에 나타내는 그래프의, 횡축은 주파수(단위; ㎒)를 나타내고, 종축은 이레이즈 노이즈의 크기를 나타낸다. 이레이즈 노이즈의 크기는 40㎚의 방열층을 갖는 샘플에 있어서의 이레이즈 노이즈의 최대값을 1로서 규격화하고, 이에 대한 비로 표시되어 있다. 도 5에는, 도 1에 도시한 광자기 기록 매체의 이레이즈 노이즈를 나타낸 실선(51)과, 40㎚의 방열층을 갖는 샘플의 이레이즈 노이즈를 나타낸 실선(52)과, 제2 방열층의 열전도율의 쪽이 제1 방열층의 열전도율보다도 높은 샘플의 이레이즈 노이즈를 나타낸 실선(53)이 표시되어 있으며, 각 실선과 종축과 횡축으로 둘러싸인 영역의 면적이, 각 광자기 기록 매체의, 계측한 전체 주파수에 있어서의 이레이즈 노이즈의 크기에 상응한다. 이 도 5의 그래프로부터, 분단층을 형성하여 방열층을 2개로 분할함으로써, 이레이즈 노이즈를 저감시킬 수 있으며, 또한 기판측의 제1 방열층을 기록층측의 제2 방열층보다도 열전도율이 높은 것으로 함으로써, 이레이즈 노이즈를 더욱 저감시킬 수 있다는 것을 알 수 있다.
여기에서, 표 1에 나타낸 바와 같이, 제1 방열층의 조성이나 제2 방열층의 조성을 변경하더라도, 이레이즈 노이즈를 저감시킬 수 있다.
Figure 112004060313326-pct00002
표 1에는, 상단에 제1 방열층의 조성이나 제2 방열층의 조성 등이 기재되고, 그 아래에, 상단에 기재된 조성으로 이루어지는 층을 갖는 광자기 기록 매체의, 계 측한 전체 주파수에 있어서의 이레이즈 노이즈의 크기가 기재되어 있다. 여기에서의 이레이즈 노이즈의 크기는 도 4에 그 결과를 나타낸 실험에서 사용한, 50㎚의 1층만의 방열층을 갖는 샘플에 있어서의, 계측한 전체 주파수에 있어서의 이레이즈 노이즈의 크기를 1로서 규격화하고, 이것에 대한 비로 표시되어 있다. 표 1의 좌단에는 50㎚의 방열층을 갖는 샘플에 있어서의 이레이즈 노이즈가 1로서 기재되어 있다. 한편, 표 1의 상단에 이 샘플의 제2 방열층으로서 기재된 "Ag95Pd1Cu1Si3"은 Ag 95at%, Pd 1at%, Cu 1at%, Si 3at%이라는 것을 나타내고 있으며, 이 표 1의 상단에 있어서의 다른 동일한 기재에 있어서도, 숫자는 그 숫자 바로앞의 원소의 at%를 나타내고 있다. 또한, 이 샘플의 우측 인근에는 도 1에 도시한 광자기 기록 매체에 있어서의 이레이즈 노이즈의 크기가 표시되어 있다.
또한, 도 1에 도시한 광자기 기록 매체보다도 우측에 기재된 6개의 광자기 기록 매체는 모두 기판측의 제1 방열층의 두께가 10㎚, 기록층측의 제2 방열층의 두께가 30㎚이고, 제1 방열층의 열전도율의 쪽이 제2 방열층의 열전도율보다도 높은 기록 매체이다. 이들 6개의 광자기 기록 매체의 이레이즈 노이즈는 모두 50㎚의 방열층을 갖는 샘플의 이레이즈 노이즈의 대략 절반 정도까지 저감되어 있으며, 제1 방열층과 제2 방열층은 모두 도 1을 사용하여 설명한 광자기 기록 매체에 형성된, Si, Pd 및 Cu가 첨가된 Al 합금막에 한정되지 않고, Al, Ag, Au 및 Pt 중에서 선택된 하나의 원소를 주성분으로 하고, Si, Cr, Ti 및 Co 중에서 선택된 원소가 첨가되어 이루어지는 합금막이어도 된다는 것을 알 수 있다. Al, Ag, Au 및 Pt는 모두 방열성이 양호하고, 이들에, Cu, Pd, Si, Cr, Ti 및 Co 중에서 선택된 적어도 하나의 원소를 첨가함으로써, 열전도율의 크기를 조정할 수 있다. 즉 Al, Ag, Au 및 Pt 중에서 선택된 하나의 원소를 주성분으로 하는 금속막에, Cu, Pd, Si, Cr, Ti 또는 Co가 많이 포함되어 있을수록, 이 금속막의 열전도율은 저하된 것이 된다. 따라서, 이들 첨가 원소는 제1 방열층보다도 제2 방열층에 많이 포함되어 있을 필요가 있다. 또한, Cu, Pd, Si, Cr, Ti 및 Co는 모두 Al, Ag, Au 및 Pt의 입경 확대를 억제하는 기능을 갖는다. 이로 인해, 이들 원소를 첨가하면, 방열층의 표면이 움푹움푹하게 입자 형상으로 거칠어서 불균일하게 되는 것이 억제되고, 노이즈의 증대를 방지할 수 있다.
또한, CNR의, 기록용 광 빔의 전력 의존성에 대해서도 실험을 행했으므로, 그 결과에 관하여 설명한다. 여기에서도, 도 1에 도시한 광자기 기록 매체 외에, 비교를 위하여, CNR의, 재생용 광 빔의 전력 의존성에 대한 실험에서 사용한, 방열층의 두께를 다르게 한 여러 점의 샘플과 동일한 것을 준비하여 실험을 행하였다.
도 6은 도 1에 도시한 광자기 기록 매체에 있어서의 CNR의, 기록용 광 빔의 전력 의존성을 나타내는 그래프이고, 도 7은 방열층의 두께를 다르게 한 여러 점의 샘플 각각에 있어서의 CNR의, 기록용 광 빔의 전력 의존성을 나타내는 그래프이다.
여기에서의 실험에서는, 기록용 광 빔의 전력을 수단계로 변화시키고, CNR의, 재생용 광 빔의 전력 의존성에 대한 실험과 마찬가지로 하여 CNR을 구하였다. 즉, 기록시의 마크 길이는 0.25㎛이고, 재생시의 광자기 기록 매체의 주속은 7.5m/s이다.
도 6 및 도 7에 나타내는 그래프의, 횡축은 기록용 광 빔의 전력 Pw(단위; ㎽)를 나타내고, 종축은 CNR(단위; ㏈)를 나타낸다. 또한, 도 3과 마찬가지로, 도 7의 검정 원의 플롯을 잇는 실선은 두께 5㎚의 방열층이 형성된 샘플에 있어서의 결과를 나타내고, 흰 삼각의 플롯을 잇는 실선은 두께 20㎚의 방열층이 형성된 샘플에 있어서의 결과를 나타내고, 흰 원의 플롯을 잇는 실선은 두께 45㎚의 방열층이 형성된 샘플에 있어서의 결과를 나타내고, 검정 삼각의 플롯을 잇는 실선은 두께 50㎚의 방열층이 형성된 샘플에 있어서의 결과를 나타낸다.
도 7에 나타낸 바와 같이, 1층만의 방열층을 갖는 샘플의 광자기 기록 매체에서는, 그 1층만의 방열층의 두께를 두껍게 하면 할수록, 가장 높은 CNR의 값을 얻을 수 있는 재생용 광 빔의 전력(이하, 최적 Pw이라 함)이 커진다. 한편, 그 최적 Pw에서 기록했을 때의 CNR의 값은 최적 Pr에서 기록했을 때의 CNR의 값에 합해져 있으며, 1층만의 방열층을 갖는 샘플의 광자기 기록 매체에서는, 모두 CNR의 값이 45㏈ 미만이다.
한편, 도 6에 나타낸 바와 같이, 도 1에 도시한 광자기 기록 매체에 있어서의, 최적 Pw에서의 CNR의 값도, 최적 Pr에서 기록했을 때의 CNR의 값에 합해져 있으며, 실용에 충분한 45㏈ 이상으로 되어 있다. 또한, 최적 Pw의 값은 50㎚의 방열층이 형성된 샘플의 최적 Pw의 값보다도 2㎽ 이상이나 낮게 억제되어 있다. 여기에서, 일반적으로는, 재생용 광 빔의 조사에 있어서는, 레이저광을 DC적으로 연속 조사하고, 기록층은 계속하여 가열된다. 한편, 기록용의 광 빔의 조사에 있어서는, 레이저광을 펄스적으로 단속 조사하고, 기록층은 순간적으로 가열된다. 도 1에 도시한 광자기 기록 매체(1)는 제1 방열층(11)과 제2 방열층(13) 사이에, 이들 어느 방열층(11, 13)의 열전도율보다도 낮은 열전도율을 갖는 분단층(12)이 형성되어 있고, 또한, 기록층측의 제2 방열층(13)이, 기판측의 제1 방열층(11)보다도 열전도율이 작은 것이다. 이로 인해, 이 광자기 기록 매체(1)에서는, 재생시의, 레이저광의 연속적인 조사에 있어서는, 기록층(15)에 계속하여 생기는 열이, 기록층(15)→기록 보조층(14)→제2 방열층(13)→분단층(12)→제1 방열층(11)의 경로로 방출되지만, 기록시의, 레이저광의 단속 조사에 있어서는, 기록층(15)에 순간적으로 생긴 열의 전도가 제2 방열층(13)에서 머무른다고 생각된다. 즉, 도 1에 도시한 광자기 기록 매체(1)에서는, 재생용 광 빔의 조사에 의해 기록층(15)에 생긴 열의 방열에는, 기록층측의 제2 방열층(13)과 기판측의 제1 방열층(11) 양자의 방열층이 기여하지만, 기록용 광 빔의 조사에 의해 기록층(15)에 생긴 열의 방열에는, 제2 방열층(13)만이 기여한다고 생각된다. 이로 인해, 도 1에 도시한 광자기 기록 매체(1)에 있어서는, 그다지 큰 전력의 기록용 광 빔을 조사하지 않더라도 기록층(15)의 보자력을 저하시키기에 충분한 열을 공급할 수 있으며, 최적 Pr의 값을 높이면서, 도 6에 도시한 바와 같이 최적 Pw의 값을 낮게 억제할 수 있다고 생각된다. 한편, 기록시에, 필요이상으로 큰 전력의 레이저광을 조사하면, 마크 형상이 붕괴되고 노이즈가 증대된다.
다음으로, 도 1에 도시한 광자기 기록 매체에 있어서, 기록층측의 제2 방열층(130)이, 기판측의 제1 방열층(11)보다도 열전도율이 작은 것이라는 것의 의의에 관하여 더욱 상세히 설명한다. 여기에서는, 제1 방열층(11)의 열전도율 σ1＞제2 방열층(13)의 열전도율 σ2의 관계를 갖는, 도 1에 도시한 광자기 기록 매체 외에, 비교를 위하여, 이 관계와는 반대의, 제1 방열층(11)의 열전도율 σ1＜제2 방열층(13)의 열전도율 σ2의 관계를 갖는 광자기 기록 매체를 샘플로서 준비하고, 각 광자기 기록 매체의 기록층에, 커버층측으로부터 재생용 광 빔을 조사하고, 기록층의, 그 광 빔의 빔 스폿내의 온도 분포에 관하여 조사하였다.
도 8은 재생용 광 빔을 조사한 기록층의, 그 광 빔의 빔 스폿내의 온도 분포를 나타내는 그래프이다.
도 8의 그래프의 횡축은 재생용 광 빔의 빔 스폿 중심으로부터의 거리를 나타낸다. 여기에서의 거리는 빔 스폿의 중심을 0으로 하여, 빔 스폿의, 광자기 기록 매체의 회전 방향 진행측의 한 단을 +1.0, 다른 단을 -1.0으로 나타낸다. 따라서, 빔 스폿은 -측을 향하여 이동하게 된다. 여기에서는, 빔 스폿의 이동 방향을 기준으로 하여, -측을 전방이라 부르고, +측을 후방이라 부르기로 한다. 또한, 도 8의 그래프의 종축은 기록층의, 재생용 광 빔의 빔 스폿내의 온도를 나타낸다. 여기에서의 온도는, 빔 스폿내의 최고 온도를 1로서 규격화하고, 이 최고 온도에 대한 비로 표시되어 있다. 도 8에는, 제1 방열층(11)의 열전도율 σ1＞제2 방열층(13)의 열전도율 σ2의 관계를 갖는다. 도 1에 도시한 광자기 기록 매체의 온도 분포가 실선으로 표시되어 있으며, 그 관계와는 반대의, 제1 방열층(11)의 열전도율 σ1＜제2 방열층(13)의 열전도율 σ2의 관계를 갖는, 샘플의 광자기 기록 매체의 온도 분포가 점선으로 표시되어 있다.
광자기 기록 매체에 있어서는, 재생시에, 재생용 광 빔의 빔 스폿 중심으로부터 아주 약간 후방으로 치우친 곳에, 빔 스폿내의 온도 피크의 위치가 오면, 이 상적인 신호를 얻을 수 있다는 것이 알려져 있다. 이것은 저온 마스크, 중온 온도 재생 영역 및 고온 마스크와 같은 온도 분포의 영역을 만들 필요가 있는, 후술하는 초해상 매체(예를 들면, RAD; Rear Aperture Detection)나 확대계 매체(예를 들면, DWDD; Domain Wall Displacement Detection)에서는 특히 중요하다. 도 8의 그래프에 나타낸 바와 같이, 샘플의 광자기 기록 매체에서는, 재생용 광 빔의 빔 스폿내의 온도 피크의 위치가, 재생용 광 빔의 빔 스폿 중심으로부터 전방으로 치우친 곳에 오고 있지만, 도 1에 도시한 광자기 기록 매체에서는, 그 온도 피크의 위치가, 빔 스폿 중심으로부터 아주 약간 후방으로 치우친 곳에 와 있다. 높은 캐리어를 얻기 위해서는, 기록층측의 제2 방열층(13)이, 재생용 광 빔의 조사에 의해 가열된 기록층(15)이 큐리점을 넘어 보자성을 상실하지 않을 정도의 방열성을 갖는 것이 필요하지만, 방열성이 너무 좋으면 이번에는 재생용 광 빔의 빔 스폿내의 온도 피크의 위치가 재생용 광 빔의 빔 스폿 중심으로부터 전방으로 치우친 곳에 오게 된다고 생각된다.
또한, 제1 방열층(11)과 분단층(12)과 제2 방열층(13)의 3층의 표면 거칠기 Ra의 관계에 관하여 검토를 행했으므로 설명한다.
여기에서의 검토에서는, 이들 3층의 표면 거칠기 Ra의 조합을 바꾼, 도 1에 도시한 층 구조의 광자기 기록 매체의 샘플을 5개 준비하였다. 어느 샘플에 있어서도, 제1 방열층(11) 및 제2 방열층(13)은 모두 합금막으로 하였다. 또한, 제1 방열층(11)의 두께는 10㎚으로 하고, 제2 방열층(13)의 두께는 30㎚으로 하였다. 또한, 분단층(12)은 SiN막으로 통일하고, 그 두께도 5㎚으로 통일하였다. 이들 샘 플의 제작에 있어서는, 스퍼터링에 의해 각 층을 성막하였으나, 성막 가스 압력과 방전 전력을 변화시킴으로써, 이들 3층의 표면 거칠기 Ra를 조정하였다. 또한, 평가를 위하여, 최적 Pw 및 최적 Pr에 있어서의 CNR을 구하였다. CNR을 구함에 있어서의, 기록시의 마크 길이는 0.3㎛이고, 재생시의 광자기 기록 매체의 주속은 7.5m/s였다.
표 2에, 각 샘플(매체 A∼매체 E)마다의 CNR을 나타낸다.
Figure 112004060313326-pct00003
이 표 2는 가로 1행마다, 각 샘플의, 제1 방열층의 표면 거칠기 Ra(Ra1), 분단층의 표면 거칠기 Ra(Ra0), 제2 방열층의 표면 거칠기 Ra(Ra2), 재생시의 CNR(단위; ㏈)이 기재되어 있다. 또한, CNR의 우측 인근에는, 이 CNR을 산출하기 위하여 측정한, 노이즈(단위; ㏈)와 (단위; ㏈)의 수치가 기재되어 있다.
매체 A와 매체 B는 모두 제1 방열층의 표면 거칠기 Ra1＞제2 방열층의 표면 거칠기 Ra2의 관계를 갖는데, 매체 C, 매체 D 및 매체 E는 모두 제1 방열층의 표면 거칠기 Ra1＜제2 방열층의 표면 거칠기 Ra2의 관계를 갖는다. Ra1＞Ra2의 관계를 갖는 매체 A와 매체 B는 모두 CNR이 실용에 충분한 45㏈ 이상이지만, 이 관계와는 반대의 Ra1＜Ra2의 관계를 갖는 매체 C∼매체 E는 모두 CNR이 45㏈ 미만이다. 이 것은 기록층이 적층되는 기록 보조층이 제2 방열층 표면에 형성되기 때문에, 제2 방열층 표면의 거칠기를 억제할 수 있으며, 최종적으로, 기록층에, 기판 표면의 요철 형상에 따른 깨끗한 랜드·그루브가 형성되고, 노이즈가 저하된 것이 요인이라 생각된다. 이것으로부터, 제2 방열층 표면을 제1 방열층 표면보다도 평활하게 하는 것이 바람직하다고 말할 수 있다.
또한, 스퍼터링에 의한 성막에서는, 합금막인 제2 방열층의 표면 거칠기 Ra1를, 제2 방열층의 이면이 접하는, SiN막인 분단층의 표면 거칠기 Ra0 이하로 하는 것은 아주 곤란하기 때문에, 이들 5개의 매체 모두에 있어서도, 분단층의 표면 거칠기 Ra는 제2 방열층의 표면 거칠기 Ra보다도 작게 하고 있다.
또한, 분단층의 재질의 검토도 행했으므로 설명한다.
도 1에 도시한 광자기 기록 매체의 분단층(12)은 SiN막이었지만, 여기에서는, 분단층(12)에, 이 SiN막 대신에 C막, Si막, SiO2막, SiC막, Al막, AlN막, Al2O 3막, FeC막, ZnS막 및 ZnO막을 사용한, 도 1에 도시한 층 구조의 광자기 기록 매체의 샘플을 각각 준비하고, 최적 Pw 및 최적 Pr에 있어서의 CNR을 구하였다. CNR을 구함에 있어서의, 기록시의 마크 길이는 0.30㎛이고, 재생시의 광자기 기록 매체의 주속은 7.5m/s였다.
표 3에, 각 샘플마다 구한 CNR과, 이 CNR을 구했을 때의 최적 Pr 및 최적 Pw를 나타낸다.
Figure 112004060313326-pct00004
이 표 3에는, 가장 위에 분단층(12)의 막이 기재되고, 세로 1열마다, 각 샘프의, 분단층의 두께(단위; ㎚), 최적 Pr(단위; ㎽), 최적 Pw(단위; ㎽) 및 CNR(단위; ㏈)이 기재되어 있다. 한편, 표 3의 좌측에 표시된, 분단층(12)이 SiN막인 세로 1열은 도 1에 도시한 광자기 기록 매체의, 최적 Pr, 최적 Pw 및 CNR을 나타낸 것이다.
표 3에 나타낸 바와 같이, 어느 샘플의 광자기 기록 매체에 있어서도, 최적 Pr의 값은 도 1에 도시한 광자기 기록 매체에 있어서의 최적 Pr의 값과 동일한 2.8㎽이고, 최적 Pr의 값이 높아져 있다는 것을 알 수 있다. 또한, 어느 샘플에 있어서도, CNR의 값은 실용에 충분한 45㏈ 이상이다. 또한, 각 샘플의 광자기 기록 매체에 있어서의 최적 Pw의 값은 도 1에 도시한 광자기 기록 매체에 있어서의 최적 Pw의 값과 동일한 7.6㎽이거나, 또는 이것보다 낮은 7.4㎽이기 때문에, 최적 Pw의 값이 낮게 억제되어 있다는 것도 알 수 있다. 따라서, 분단층은 SiN막으로 한정되지 않고, Si의 단체, Al의 단체 및 C의 단체 중의 적어도 어느 하나의 단체를 포함하는 재료, 또는 Si의 산화물, Si의 탄화물, Al의 질화물, Al의 산화물, Fe의 탄화물, Zn의 황화물 및 Zn의 산화물 중에서 선택된 하나의 화합물로 이루어지는 것인 것이어도 된다는 것을 알 수 있다.
한편, Al, Ag, Au 및 Pt 중에서 선택된 하나의 원소를 주성분으로 하는 합금막인 제1 방열층에 대하여, 이 제1 방열층 표면에 이면이 접하는 분단층을, 제1 방열층을 구성하는 입자보다도 작은 입경의 입자로 구성된 막(예를 들면, Si막이나 SiN막 등)으로 함으로써, 제1 방열층 표면의 입자간을, 그 작은 직경의 입자로 메움으로써, 제1 방열층 표면의 거칠기를 개선할 수 있다.
계속하여, 본 발명의 제2 실시 형태의 광자기 기록 매체에 관하여 설명한다.
도 9는 제2 실시 형태의 광자기 기록 매체의 층 구조를 모식적으로 도시한 도면이다.
도 9에 도시한 광자기 기록 매체(2)는 기록용의 광 빔(R)의 조사 및 자장의 공급을 받아서 정보를 기록하고, 재생용의 광 빔(P)의 조사 및 자장의 공급을 받아서 정보를 재생하는, 초해상 매체의 하나인 RAD 매체이다. 이 광자기 기록 매체(2)는 제1 실시 형태의 광자기 기록 매체(1)와 마찬가지로, 기판(20)을 구비하고, 이 기판상에 프론트 일루미네이션 방식에 대응한 층 구조를 갖는 것인데, RAD 매체이기 때문에 특유의 층 구조를 갖는다. 즉 도 9에 도시한 광자기 기록 매체(2)는 제1 실시 형태의 광자기 기록 매체(1)와 마찬가지로, 제1 방열층(21), 분단층(22), 제2 방열층(23)이 기판(20)측으로부터 이 기재순으로 적층된 것인데, 제2 방열층(23)상에는, 기록층(24), 중간층(25), 재생층(26), 보호층(27), 커버층(28)이 이 기재순으로 적층되어 있다. 이 광자기 기록 매체(2)에 구비된 기판(20)의 재질 및 형상은 제1 실시 형태의 광자기 기록 매체(1)에 구비된 기판(10)의 재질 및 형상과 동일하고, 도시를 생략했지만, 기판 표면은 요철 형상으로 형성되어 있다. 또한, 이 광자기 기록 매체(2)에 형성된 층(21∼28) 중에서, 중간층(25), 재생층(26) 및 보호층(27)을 제외한 층(21∼24, 28)의, 두께, 조성 및 성막 조건은 제1 실시 형태의 광자기 기록 매체(1)에 구비된, 동일 명칭의 각 층(11∼13, 15, 17)의 그것과 동일하다. 따라서, 이 광자기 기록 매체(2)에서도, 기판(20)측의 제1 방열층(21)의 열전도율＞기록층(24)측의 제2 방열층(23)의 열전도율＞분단층(22)의 열전도율과 같은 관계가 성립하고 있다.
한편, 도 9에 도시한, 제1 방열층(21) 및 제2 방열층(23)은 모두 Si, Pd 및 Cu가 첨가된 Al 합금막에 한정되지 않고, 표 1에 나타낸 조성의 것이어도 되고, 분단층(22)도, SiN막에 한정되지 않고, 표 3에 나타낸 각종의 막이어도 된다. 또한, 제1 방열층(21), 분단층(22), 제2 방열층(23) 각각의 표면 거칠기 Ra의 관계는 제1 방열층(21)의 표면 거칠기 Ra＞제2 방열층(23)의 표면 거칠기 Ra＞분단층(22)의 표면 거칠기 Ra인 것이 바람직하다.
이하, 도 2에 도시한, 중간층(25), 재생층(26) 및 보호층(27)에 대해서만 설명하고, 다른 층의 설명은 생략한다. 중간층(25)은 기록층(24)의 표면에, GdFeCo 합금을 타겟으로 하여, 그 타겟상에 Si칩을 놓고, 방전 전력 500W, 가스압 0.54㎩로 스퍼터링 성막함으로써 형성한, GdFeCoSi 자성막이다. 이 중간층(25)은 재생용의 광 빔(P)의 조사를 받아서 가열됨으로써, 기록층(24)에 형성된 마크의 자장에 의해 자화된다.
재생층(26)은 중간층(25)의 표면에, GdFeCo 합금을 타겟으로 하여, 방전 전 력 800W, 가스압 0.86㎩로 스퍼터링 성막함으로써 형성한, GdFeCo 자성막이다. 이 재생층(26)에는, 재생시에 기록층에 형성된 마크의 자화 방향과 동일 방향으로 자화된, 이 마크의 크기보다도 큰 영역이 형성된다.
도 2에 도시한 보호층(27)은 도 1에 도시한 보호층(16)과는, 성막 조건 중의 가스 압력이 다르다. 도 1에 도시한 보호층(16)의 성막에서는, 가스압 0.3㎩의 조건하에서 스퍼터링을 실시하는데, 도 2에 도시한 보호층(27)의 성막에서는, 가스압 0.5㎩의 조건하에서 스퍼터링을 실시한다.
여기에서 참고로, 도 10을 사용하여 종래의 RAD 매체의 일례를 설명한다.
도 10은 종래의 RAD 매체인 광자기 기록 매체에 있어서의 층 구조의 일례를 모식적으로 도시한 도면이다.
도 10에 도시한 광자기 기록 매체(8)도, 기록용의 광 빔(R)의 조사 및 자장의 공급을 받아서 정보를 기록하고, 재생용의 광 빔(P)의 조사 및 자장의 공급을 받아서 정보를 재생하는, 프론트 일루미네이션 방식에 대응한 RAD 매체이다. 이 종래의 RAD 매체인 광자기 기록 매체(8)에는 도 9에 도시한 분단층(22)이 존재하지 않고, 이 광자기 기록 매체(8)는 방열층(81), 기록층(82), 중간층(83), 재생층(84), 보호층(85) 및 커버층(86)이 기판(80)측으로부터 이 기재순으로 적층된 것이다. 즉 이 광자기 기록 매체(8)에 형성된 방열층은 1층이다. 이 1층만의 방열층(81)의 구체적 조성은 Ag 95at%, Pd 1at%, Cu 1at%, Si 3at%이고, 그 두께는 40㎚이다.
이하, 도 9에 도시한 광자기 기록 매체와, 도 10에 도시한 광자기 기록 매체 각각에 있어서의 CNR의, 재생용 광 빔의 전력 의존성 및 기록용 광 빔의 전력 의존성 양자에 대한 실험을 행했으므로, 그 결과에 관하여 설명한다.
도 11은 도 9에 도시한 광자기 기록 매체와, 도 10에 도시한 광자기 기록 매체 각각에 있어서의 CNR의, 재생용 광 빔의 전력 의존성을 나타내는 그래프이고, 도 12는 이들 2개의 광자기 기록 매체 각각에 있어서의 CNR의, 기록용 광 빔의 전력 의존성을 나타내는 그래프이다.
여기에서의 실험에서는, 광자기 기록 매체를 회전시키면서, 이 매체의 커버층측부터 기록용 광 빔의 조사 및 자장의 공급을 행함으로써 기록층에 정보를 나타내는 마크를 기록하였다. 기록용 광 빔의 조사에서는, 최적 Pw를 얻기 위하여, 그 전력을 수단계로 변화시켜 행했다. 이어서, 광자기 기록 매체를 회전시키면서, 그 커버층측부터 재생용 광 빔의 조사 및 자장의 공급을 행함으로써 기록한 마크에 의거한 정보를 재생하고, CNR을 얻었다. 재생용 광 빔의 조사에서는, 최적 Pr을 얻기 위하여, 그 전력을 수단계로 변화시켜 행했다. 기록시의 마크 길이는 0.20㎛이고, 재생시의 광자기 기록 매체의 주속은 7.5m/s였다.
도 11에 나타내는 그래프의 횡축은 재생용 광 빔의 전력 Pr(단위; ㎽)를 나타내고, 도 12에 나타내는 그래프의 횡축은 기록용 광 빔의 전력 Rw(단위; ㎽)를 나타낸다. 또한, 도 11의 그래프의 종축 및 도 12의 그래프의 종축은 모두 CNR(단위; ㏈)을 나타낸다. 또한, 도 11 및 도 12에 있어서, 원의 플롯을 잇는 실선은 도 9에 도시한, 제2 실시 형태의 광자기 기록 매체(2)에 있어서의 결과를 나타내고, 삼각의 플롯을 잇는 실선은 도 10에 도시한, 1층만의 방열층을 갖는 광자기 기 록 매체에 있어서의 결과를 나타낸다.
도 11에 나타낸 바와 같이, 제2 실시 형태의 광자기 기록 매체(2)의 최적 Pr은 1층만의 방열층을 갖는 광자기 기록 매체의 최적 Pr에 비하여, 0.5㎽ 정도 높다. 또한, 제2 실시 형태의 광자기 기록 매체(2)의, 최적 Pr에 있어서의 CNR의 값은 1층만의 방열층을 갖는 광자기 기록 매체의 그것에 비하여 2㏈ 정도 높고, 실용에 충분한 45㏈ 이상이다. 또한, 도 12에 나타낸 바와 같이, 제2 실시 형태의 광자기 기록 매체(2)의 최적 Pw는 1층만의 방열층을 갖는 광자기 기록 매체의 최적 Pw에 비하여, 1㎽ 정도 낮게 억제되어 있다.
또한, 제2 실시 형태의 광자기 기록 매체(2)와, 1층만의 방열층을 갖는 광자기 기록 매체(8) 각각의 이레이즈 노이즈의 레벨 계측을 행했으므로, 그 결과에 관해서도 설명한다.
도 13은 도 9에 도시한 광자기 기록 매체와, 도 10에 도시한 광자기 기록 매체 각각의 이레이즈 노이즈의 계측 결과를 나타내는 그래프이다.
도 13에 나타내는 그래프의, 횡축은 주파수(단위; ㎒)를 나타내고, 종축은 이레이즈 노이즈의 크기를 나타낸다. 이레이즈 노이즈의 크기는 도 10에 도시한, 1층만의 방열층을 갖는 광자기 기록 매체에 있어서의 이레이즈 노이즈의 최대값을 1로서 규격화하고, 이에 대한 비로 표시되어 있다. 도 13에는, 도 9에 나타낸, 제2 실시 형태의 광자기 기록 매체의 이레이즈 노이즈를 나타낸 실선(121)과, 도 10에 나타낸, 1층만의 방열층을 갖는 광자기 기록 매체의 이레이즈 노이즈를 나타낸 실선(122)이 표시되어 있으며, 각 실선과 종축과 횡축으로 둘러싸인 영역의 면적 이, 각 광자기 기록 매체의, 계측한 전체 주파수에 있어서의 이레이즈 노이즈의 크기에 상응한다. 이 도 13의 그래프로부터, RAD 매체에 있어서도, 분단층을 형성하여 방열층을 2개로 분할함으로써, 이레이즈 노이즈를 저감시킬 수 있다는 것을 알 수 있다.
이상으로부터, 본 발명을 RAD 매체에 적용하더라도, 매체 노이즈를 악화시키지 않고 재생시에는 대전력의 레이저광을 조사할 수 있으며, 게다가 기록시에는 그다지 큰 전력의 레이저광을 조사하지 않더라도 기록층의 보자력을 저하시키기에 충분한 열을 공급할 수 있다는 것을 알 수 있다. 한편, 본 발명은 RAD 매체에 한정되지 않고, 초해상 매체인, FAD(Front Aperture Detection) 매체나 CAD(Center Aperture Detection) 매체에도 적용할 수 있다.
계속하여, 본 발명의 제3 실시 형태의 광자기 기록 매체에 관하여 설명한다.
도 14는 제3 실시 형태의 광자기 기록 매체의 층 구조를 모식적으로 도시한 도면이다.
도 14에 도시한 광자기 기록 매체(3)는 기록용의 광 빔(R)의 조사 및 자장의 공급을 받아서 정보를 기록하고, 재생용의 광 빔(P)의 조사 및 자장의 공급을 받아서 정보를 재생하는, 확대계 매체의 하나인 DWDD 매체이다. 이 광자기 기록 매체(3)는 상술한 실시 형태의 광자기 기록 매체(1, 2)와 마찬가지로, 기판(30)을 구비하고, 이 기판상에 프론트 일루미네이션 방식에 대응한 층 구조를 갖는 것인데, DWDD 매체이기 때문에 특유의 층 구조를 갖는다. 즉 도 14에 도시한 광자기 기록 매체(3)는 제1 실시 형태의 광자기 기록 매체(1)와 마찬가지로, 제1 방열층(31), 분단층(32), 제2 방열층(33)이, 기판(30)측으로부터 이 기재순으로 적층된 것인데, 제2 방열층(33)상에는, 기록층(34), 스위칭층(35), 컨트롤층(36), 재생층(37), 보호층(38), 커버층(39)이 이 기재순으로 적층되어 있다. 이 광자기 기록 매체(3)에 구비된 기판(30)의 재질 및 형상은 제1 실시 형태의 광자기 기록 매체(1)에 구비된 기판(10)의 재질 및 형성과 동일하고, 도시를 생략했지만, 기판 표면에 요철 형상이 형성되어 있다. 또한, 이 광자기 기록 매체(3)에 형성된 층(31∼38) 중에서, 스위칭층(35) 및 컨트롤층(36)을 제외한 층(31∼34, 37∼39)의, 두께, 조성 및 성막 조건은 제2 실시 형태의 광자기 기록 매체(2)에 구비된, 동일 명칭의 각 층(21∼24, 26∼28)의 그것과 동일하다. 따라서, 이 광자기 기록 매체(3)에서도, 기판(30)측의 제1 방열층(31)의 열전도율＞기록층(34)측의 제2 방열층(33)의 열전도율＞분단층(32)의 열전도율과 같은 관계가 성립하고 있다.
한편, DWDD 매체에 있어서도, 제1 방열층(31) 및 제2 방열층(33)은 모두 Si, Pd 및 Cu가 첨가된 Al 합금막에 한정되지 않고, 표 1에 나타낸 조성의 것이어도 되고, 분단층(32)도 SiN막에 한정되지 않고, 표 3에 나타낸 각종의 막이어도 된다. 또한, 제1 방열층(31), 분단층(32), 제2 방열층(33) 각각의 표면 거칠기 Ra의 관계는 제1 방열층(31)의 표면 거칠기 Ra＞제2 방열층(33)의 표면 거칠기 Ra＞분단층(32)의 표면 거칠기 Ra인 것이 바람직하다.
이하, 도 14에 도시한, 스위칭층(35) 및 컨트롤층(36)에 대해서만 설명하고, 다른 층의 설명은 생략한다. 스위칭층(35)은 기록층(34)의 표면에, TdFe 합금을 타겟으로 하여, 이 타겟상에 Al 칩을 놓고, 방전 전력 500W, 가스압 0.5㎩로 스퍼터링 성막함으로써 형성한, TbFeAl 자성막이다. 이 스위칭층(35)은 도 9에 도시한 중간층(25)과 마찬가지로, 재생용의 광 빔(P)의 조사를 받아서 가열됨으로써, 기록층(34)에 형성된 마크의 자장에 의해 자화된다.
컨트롤층(36)은 스위칭층(35)의 표면에, TbFeCo 합금을 타겟으로 하여, 방전 전력 800W, 가스압 0.8㎩로 스퍼터링 성막함으로써 형성한, TbFeCo 자성막이다. 이 컨트롤층(36)은 스위칭층(35)이 기록층(34)에 형성된 마크의 자장에 의해 자화되기 쉽도록 작용하는 것이다.
여기에서 참고로, 도 15를 사용하여 종래의 DWDD 매체의 일례를 설명한다.
도 15는 종래의 DWDD 매체인 광자기 기록 매체에 있어서의 층 구조의 일례를 모식적으로 도시한 도면이다.
도 15에 도시한 광자기 기록 매체(9)도, 기록용의 광 빔(R)의 조사 및 자장의 공급을 받아서 정보를 기록하고, 재생용의 광 빔(P)의 조사 및 자장의 공급을 받아서 정보를 재생하는, 프론트 일루미네이션 방식에 대응한 DWDD 매체이다. 이 종래의 DWDD 매체인 광자기 기록 매체(9)에는 도 14에 도시한 분단층(32)이 존재하지 않고, 이 광자기 기록 매체(9)는 방열층(91), 기록층(92), 스위칭층(93), 컨트롤층(94), 재생층(95), 보호층(96) 및 커버층(97)이, 기판(90)측으로부터 이 기재순으로 적층된 것이다. 즉 이 광자기 기록 매체(9)에 형성된 방열층(91)은 1층이다. 이 1층만의 방열층(91)의 구체적 조성은 Ag 95at%, Pd 1at%, Cu 1at%, Si 3at%이고, 그 두께는 40㎚이다.
이하, 도 14에 도시한 광자기 기록 매체와, 도 15에 도시한 광자기 기록 매 체 각각에 있어서의 CNR의, 재생용 광 빔의 전력 의존성 및 기록용 광 빔의 전력 의존성 양자에 관한 실험을 행했으므로, 그 결과에 관하여 설명한다.
도 16은 도 14에 도시한 광자기 기록 매체와, 도 15에 도시한 광자기 기록 매체 각각에 있어서의 CNR의, 재생용 광 빔의 전력 의존성을 나타내는 그래프이고, 도 17은 이들 2개의 광자기 기록 매체 각각에 있어서의 CNR의, 기록용 광 빔의 전력 의존성을 나타내는 그래프이다.
여기에서는, 상술한 RAD 매체에 있어서의 CNR의 각 전력 의존성의 실험과 동일한 실험을 행하고 CNR을 얻었다. 기록시의 마크 길이는 0.20㎛이고, 재생시의 광자기 기록 매체의 주속은 7.5m/s였다.
도 16에 나타내는 그래프의 횡축은 재생용 광 빔의 전력 Pr(단위; ㎽)을 나타내고, 도 17에 나타내는 그래프의 횡축은 기록용 광 빔의 전력 Pw(단위; ㎽)를 나타낸다. 또한, 도 16의 그래프의 종축 및 도 17의 그래프의 종축은 모두 CNR(단위; ㏈)을 나타낸다. 또한, 도 16 및 도 17에 있어서, 원의 플롯을 잇는 실선은 도 16에 나타낸, 제3 실시 형태의 광자기 기록 매체(3)에 있어서의 결과를 나타내고, 삼각의 플롯을 잇는 실선은 도 15에 나타낸, 1층만의 방열층(91)을 갖는 광자기 기록 매체(9)에 있어서의 결과를 나타낸다.
도 16에 나타낸 바와 같이, 제3 실시 형태의 광자기 기록 매체(3)의 최적 Pr은 1층만의 방열층을 갖는 광자기 기록 매체(9)의 최적 Pr에 비하여, 1.0㎽ 정도 높다. 또한, 제3 실시 형태의 광자기 기록 매체(3)의, 최적 Pr에 있어서의 CNR의 값은 1층만의 방열층을 갖는 광자기 기록 매체(9)의 그것에 비하여 2㏈ 이상 높고, 실용에 충분한 45㏈ 이상이다. 또한, 도 17에 나타낸 바와 같이, 제3 실시 형태의 광자기 기록 매체(3)의 최적 Pw는 1층만의 방열층을 갖는 광자기 기록 매체(9)의 최적 Pw에 비하여, 1㎽ 정도 낮게 억제되어 있다.
또한, 제3 실시 형태의 광자기 기록 매체(3)와, 1층만의 방열층을 갖는 광자기 기록 매체(9) 각각의 이레이즈 노이즈의 레벨 계측을 행했으므로, 그 결과에 대해서도 설명한다.
도 18은 도 14에 도시한 광자기 기록 매체와, 도 15에 도시한 광자기 기록 매체 각각의 이레이즈 노이즈의 계측 결과를 나타내는 그래프이다.
도 18에 나타내는 그래프의, 횡축은 주파수(단위; ㎒)를 나타내고, 종축은 이레이즈 노이즈의 크기를 나타낸다. 이레이즈 노이즈의 크기는 1층만의 방열층을 갖는 광자기 기록 매체(9)에 있어서의 이레이즈 노이즈의 최대값을 1로서 규격화하고, 이것에 대한 비로 표시되어 있다. 도 18에는, 도 14에 도시한, 제3 실시 형태의 광자기 기록 매체(3)의 이레이즈 노이즈를 나타낸 실선(181)과, 도 15에 도시한, 1층만의 방열층을 갖는 광자기 기록 매체(9)의 이레이즈 노이즈를 나타낸 실선(182)이 표시되어 있으며, 각 실선과 종축과 횡축으로 둘러싸인 영역의 면적이 각 광자기 기록 매체의, 계측한 전체 주파수에 대한 이레이즈 노이즈의 크기에 상응한다. 이 도 18의 그래프로부터 DWDD 매체에 있어서도, 분단층을 형성하여 방열층을 2개로 분할함으로써, 이레이즈 노이즈를 저감시킬 수 있다는 것을 알 수 있다.
이상으로부터, 본 발명을 DWDD 매체에 적용하더라도, 매체 노이즈를 악화시키지 않고 재생시에는 대전력의 레이저광을 조사할 수 있으며, 게다가 기록시에는 아주 큰 전력의 레이저광을 조사하지 않더라도 기록층의 보자력을 저하시키기에 충분한 열을 공급할 수 있다는 것을 알 수 있다. 한편, 본 발명은 DWDD 매체에 한정되지 않고, 다른 확대계 매체인, MAMMOS(Magnetically Amplified MO system) 매체에도 적용할 수 있다.
이상, 본 발명의 광자기 기록 매체의 실시 형태로서 3가지 실시 형태를 설명하였으나, 여기에서 설명한 광자기 기록 매체는 모두 재생시에 광 빔의 조사를 행할 필요가 있는 기록 매체였다. 그러나, 본 발명의 광자기 기록 매체는 재생시에 광 빔의 조사를 행하는 것이 불필요한 기록 매체에도 적용할 수 있다. 예를 들면, 재생시에는 광 빔을 조사하지 않고, 기록층의 자속을 검출함으로써 정보의 재생이 행해지는, 이른바 하드 디스크 타입의 광자기 기록 매체에 적용할 수 있다. 이하, 본 발명의 광자기 기록 매체를, 이 하디 디스크 타입의 광자기 기록 매체에 적용한 예를, 자기 기록 장치의 한 실시 형태와 아울러 설명한다.
도 19는 하드 디스크 타입의 광자기 기록 매체에 정보를 기록하고, 기록한 정보를 재생하는 자기 기록 장치의 한 실시 형태의 개략 구성을 도시한 도면이다.
도 19에 도시한 광자기 기록 매체(100)는 디스크 직경 2.5인치의 것이고, 평탄한 유리 기판(110)을 구비하고, 이 유리 기판(110)상에 프론트 일루미네이션 방식에 대응한 층 구조(120)를 갖는 것이다. 이 층 구조(120)는 유리 기판(110)측으로부터 제1 방열층, 분단층, 제2 방열층, 기록층, 보호층 및 윤활층이 적층된 것이다. 제1 방열층은 두께 10㎚의 합금막이고, 그 구체적 조성은 Ag 96at%, Pd 1at%, Cu 1at%, Si 2at%이다. 분단층은 두께 5㎚의 SiN막이다. 제2 방열층은 제1 방열 층보다도 열전도율이 낮은, 두께 30㎚의 합금막이고, 그 구체적 조성은 Ag 94at%, Pd 1at%, Cu 1at%, Si 4at%이다. 기록층은 두께 25㎚의 TbFeCo 자성막이고, 그 구체적 조성은 Tb 21at%, Fe 40at%, Co 39at%이다. 보호층은 두께 3㎚의 SiN막과, 이 SiN막상에 형성된 두께 1㎚의 Cr막과, 이 Cr막위에 형성된 두께 1㎚의 C막으로 이루어지는 것이다. 윤활층은 보호층상에 불소계 수지를 스핀코팅법에 의해 도포함으로써 형성된, 두께 약 1㎚의 층이다.
도 19에 도시한 자기 기록 장치(200)는 본 발명의 제1 자기 기록 장치의 일례에 상응하는 것이고, 스핀들(251)에 의해 광자기 기록 매체(100)를 소정의 회전 속도로 회전시킨다. 광자기 기록 매체(100)가 갖는 기록층에 대하여, 레이저 다이오드(253)로부터 레이저광을 조사한다. 레이저광은 콜리메이터 렌즈(254)에 의해 평행광이 되고, 빔 스플리터(255)를 통과하고, 광학 헤드 슬라이더(258)에 탑재된 대물 렌즈(256)에 의해 집광되고, 기록층에 초점을 잇도록 제어된다. 레이저 다이오드(253)는 레이저 구동 회로(263)에 의해 펄스 변조되고 높은 레벨의 광 출력과 낮은 레벨의 광 출력이 가능하게 되어 있다.
정보의 기록시에 있어서는, 레이저 구동 회로(263)에 의해 레이저를 발진시켜서, 기록층에 조사된다. 그리고, 기록용으로 제어된 레이저광의 조사에 의해 기록층의 표면에 형성한 레이저 스폿의 근처에는 기록용 코일(259)에 의해, 도면에서 상향 방향에서, 소정의 크기의 직류 자계를 인가함으로써 상향 자계의 정보를, 또한 하향 방향의 자계를 인가함으로써 하향 자계의 정보를 자구로서 기록할 수 있다. 기록용 코일(259)을 기록층에 근접시킴으로써 기록용 코일(259)을 아주 작게 구성하는 것이 가능해진다. 기록용 코일(259)을 충분히 작게 함으로써, 자계 변조 기록이 가능해진다. 한편, 기록용 코일(259)은 기록용 코일 구동 회로(267)에 의해 제어된다. 광학 헤드 슬라이더(258), 기록용 코일(259) 등이 광자기 기록부를 구성한다.
또한, 기록층에서 반사한 광은 빔 스플리터(255)에 의해, 도면에서 우측으로 광로가 변경되고 광 검출기(264)에 의해 전기 신호로 변환되고 포커스 신호 검출 회로(265)에 의해, 포커스 방향이 검출된다. 포커스 신호 검출 회로(265)에 의해 검출된 포커스 방향에 의해 포커스용 코일 구동 회로(266)가 제어되고, 포커스용 코일(257)에 포커스 전류가 흐르고, 대물 렌즈(256)를 도면에서 상하로 동작시켜서, 레이저 스폿이 기록층에 집광하도록 제어된다.
한편, 재생시에 있어서는, 자기 헤드 슬라이더(261)에 탑재된 자속을 검출하는 소자인 자기 재생 소자(260)에 의해 자구의 변화를 검출(자구의 자화 방향에 대응한 자속을 검출)하고, 재생 소자 구동 검출 회로(262)에 의해, 고밀도로 기록된 정보를 양호한 CNR로써 재생할 수 있다. 자기 재생 소자(260), 자기 헤드 슬라이더(261) 등이 자기 재생부를 구성한다.
다음으로, 도 19에 도시한 광자기 기록 매체(100)에 있어서의 보자력과 포화 자화 각각의 온도 의존성에 관하여 설명한다.
도 20은 도 19에 도시한 광자기 기록 매체의, 온도에 대한 보자력의 변화와 포화 자화의 변화의 일례를 나타내는 그래프이다.
도 20에 나타내는 그래프의 횡축은 온도(℃)를 나타낸다. 또한, 이 그래프 의 종축은 보자력(kOe)과 포화 자화(emu/cc)를 나타내고, 실선은 도 19에 나타낸 광자기 기록 매체(100)의 보자력을 나타내고, 점선은 이 광자기 기록 매체(100)의 포화 자화를 나타낸다.
실온에 있어서의 도 19에 나타낸 광자기 기록 매체(100)의 보자력은 10kOe이상이지만, 승온하면 도면에서 실선으로 나타낸 바와 같이 보자력은 작아지고, 대략 350℃에서 0이 된다. 도 19에 나타낸 광학용 슬라이더(258)에 탑재된 기록용 코일(259)에서 발생한 기록 자계에 의해 기록가능한 보자력이 되는 온도까지 기록층을 가열하면, 기록하는 것이 가능해진다.
또한, 실온에 있어서의 도 19에 도시한 광자기 기록 매체(100)의 포화 자화의 값은 100emu/cc 이상이므로, 기록된 마크로부터의 자속을 통상의 자기 저항 소자에 의해 재생하는 것이 가능하다.
계속하여, 도 21을 사용하여, 도 19에 도시한 광자기 기록 매체(100)의 정보 기록/재생 방법에 관하여 설명한다.
도 21은 본 발명의 정보 기록/재생 방법의 한 실시 형태를 나타낸 플로우차트이다.
도 19에 도시한 광자기 기록 매체(100)에 정보를 기록하기 위해서는, 광의 조사에 의해 광자기 기록 매체(100)를 승온하여 기록층의 보자력을 낮춘 상태에서 자계를 인가한다(기록 단계 S1). 이와 같이 함으로써, 기록층에 자구가 기록된다.
또한, 도 19에 도시한 광자기 기록 매체(100)에 기록된 정보를 재생하기 위해서는, 기록층에 기록된 자구로부터의 누설 자속을 검출한다(재생 단계 S2). 이 와 같이 함으로써, 재생 신호가 얻어진다.
다음으로, 도 19에 도시한 광자기 기록 매체(100)에 있어서의 CNR의 레이저 기록 전력 의존성에 관하여 설명한다.
도 22는 도 19에 도시한 광자기 기록 매체의, 레이저 기록 전력에 대한 CNR의 변화의 일례를 나타내는 그래프이다.
도 22에 나타내는 그래프의 횡축은 레이저 기록 전력(㎽)을 나타내고, 종축은 CNR(㏈)을 나타낸다. 또한, 도면 중의 실선이 도 19에 도시한 광자기 기록 매체의 CNR 특성을 나타내는 것으로, 도면 중의 점선에 대해서는 후술한다.
여기에서, 기록 자계는 400 에르스테드로 하였다. 또한, 기록한 마크의 사이즈는 상술한 광 빔의 조사에 의해 재생을 행하는 광 재생의 기록 매체에서는, 0.2㎛∼0.3㎛ 정도로 하였으나, 이 자속 검출에 의해 재생을 행하는 자기 재생의 기록 매체에서는 50㎚으로 하였다. 사용한 자기 헤드 슬라이더의 재생 코어 폭은 0.2㎛, 실드 갭 길이는 0.09㎛이다. 기록용 레이저의 파장은 405㎚, 대물 렌즈의 개구수 NA는 0.85이다.
도 22에 도시한 바와 같이, 레이저 기록 전력을 15㎽로 함으로써, 재생 특성은 거의 포화되어 있다. 자기 재생함으로써, 50㎚이라는 미소한 마크에서도 재생 가능해지고, 광 재생함으로써 재생 특성이 매우 개선되어 있다.
계속하여, 자기 재생 기록 매체에 정보를 기록하고, 기록한 정보를 재생하는 자기 기록 장치의 다른 실시 형태를 설명한다. 도 19에 도시한 자기 기록 장치(200)는 광학 헤드 슬라이더(258)와 자기 헤드 슬라이더(261)라는 2개의 슬라이더 를 구비하고 있는데, 여기에서 설명하는 자기 기록 장치는 이들 슬라이더를 일체로 한 1개의 슬라이더를 구비하고 있다.
도 23은 일체형 슬라이더를 구비한 자기 기록 장치의 일체형 슬라이더의 개략 구성을 도시한 도면이다.
먼저, 이 자기 기록 장치에 의해 기록/재생되는 광자기 기록 매체에 대하여 설명한다. 이 광자기 기록 매체도 유리 기판상에, 제1 방열층, 분단층, 제2 방열층, 기록층, 보호층 및 윤활층을 갖는데, 제1 방열층과 제2 방열층의 재질이 다르다. 즉 도 19에 도시한 광자기 기록 매체(100)에서는, 제1 방열층과 제2 방열층에 비자성 재료를 사용하고 있지만, 이 광자기 기록 매체에서는, 제1 방열층과 제2 방열층에, 방열 효과를 갖는 연자성 재료를 사용하고 있다. 금속의 경우, Al, Ag계의 열전도율이 높지만, 통상의 자성 재료인 Co, Fe계 합금이더라도, 분단층에 사용하는 유전체 재료에 비하여 열전도율은 훨씬 높다. 또한, 연자성 재료를 사용함으로써 기록용 코일의 자계가 기록층에 집중되므로, 큰 자계를 얻을 수 있다.
이 광자기 기록 매체의 제1 방열층으로서는, FeAlC 연자성막을 사용하고, 막후를 20㎚으로 하였다. 또한, 제2 방열층으로서는, FeSiC 연자성막을 사용하고, 막후를 30㎚으로 하였다. 이하, 이 광자기 기록 매체를, 연자성막을 갖는 광자기 기록 매체라고 부르기로 한다.
또한, 이 연자성막을 갖는 광자기 기록 매체의 분단층에는 도 19에 도시한 광자기 기록 매체의 분단층과 마찬가지로, 두께 5㎚의 SiN막을 사용하고 있다. 또한, 기록층도 도 19에 도시한 광자기 기록 매체의 기록층과 마찬가지로 TbFeCo 자 성막을 사용하고 있지만, 제2 방열층의 FeSiC 연자성막과 이 TbFeCo 자성막 사이에 교환 결합력이 직접 작용하지 않도록, 제2 방열층상에 두께 1㎚의 SiN층과 두께 1㎚의 Pt층을 이 기재순으로 형성하고, 그 위에 제2 방열층이 형성되어 있다. 이 SiN/Pt층의 표면에는 고저차가 10㎚ 미만인 미세한 요철 구조가 형성되어 있다. 제2 방열층은 이 미세한 요철 홈이 반영되어 칼럼 구조가 되고, 기록 분해능이 향상된다. 도 22 중의 점선은 연자성막을 갖는 광자기 기록 매체의, 레이저 기록 전력에 대한 CNR 특성을 나타내는 것이다. 이 CNR 특성은 도 19에 도시한 비자성막을 갖는 광자기 기록 매체의, 레이저 기록 전력에 대한 CNR 특성을 얻을 때에 있어서의 조건과 동일한 조건에서 측정된 결과에 의거하는 것이다. 도 22 중의 실선과 점선을 비교하면, 연자성막을 갖는 점선으로 나타낸 광자기 기록 매체의 쪽이, 비자성막을 갖는 실선으로 나타낸 광자기 기록 매체(100)에 비하여 낮은 전력으로 기록할 수 있다는 것을 알 수 있다. 이것은 연자성막을 갖는 광자기 기록 매체의 쪽이, 비자성막을 갖는 광자기 기록 매체(100)에 비하여, 제1 방열층과 제2 방열층 각각의 열전도율이 낮음에 따른 것이다. 또한, 연자성막을 갖는 광자기 기록 매체의 쪽이, 비자성막을 갖는 광자기 기록 매체(100)에 비하여 CNR에 약간의 증대가 보여진다. 이와 같은 CNR의 증대는 연자성막을 갖는 광자기 기록 매체의 쪽이, 비자성막을 갖는 광자기 기록 매체(100)에 비하여 매체상의 자계를 크게 할 수 있었던 것에 따른 효과가 크다.
도 23에 그 일부를 도시한 자기 기록 장치(400)는 일체형 헤드(471)가 탑재된 슬라이더(470)를 구비하고 있다.
도 23(A)는 슬라이더(470)를 구성하는 슬라이더 기판(475)의 단부에 일체형 헤드(471)를 탑재한 상태를 도시한다. 이 도면에서는, 광자기 기록 매체는 도면의 좌측으로부터 우측을 향하여 이동하고 있다.
도 23(B)는 도 23(A)의 화살표 B방향에서 본 도면이다. 요컨데, 슬라이더면(기록 매체에 대향하는 면)에서 본 도면이다. 도 23(B)의 하측이 도 23(A)의 좌측에 대응하고, 도 23(B)의 상측이 도 23(A)의 우측에 대응한다.
도 23(C)는 도 23(A)의 화살표 C방향에서 본 도면이다. 요컨데, 일체형 헤드(471)의 측면을 도시한 도면이고, 도 23(C)의 하측이 도 23(A)의 하측에 대응하고, 도 23(C)의 상측이 도 23(A)의 상측에 대응한다.
도 23(A)에 도시한 일체형 헤드(471)는 도 23(B) 및 (C)에 도시한, 레이저광조사부(472)와 기록용 코일(473)과 자기 재생 소자(자기 저항 소자(474))를 일체로 한 것이다. 레이저광 조사부(472)에는 도파로 타입의 광학계가 사용되고 있으며, 이 레이저광 조사부(472)는 레이저 다이오드(4721), 광 도입구(4722), 도파로(4723) 및 광 개구부(4724) 등으로 구성되어 있다. 기록용 코일(473)은 광자기 기록 매체에 조사하는 광이 출사되는 광 개구부(4724)보다 후측에 배치되어 있다. 도 23(A)에 있어서는, 도시를 생략하였지만, 기록용 코일(473)은 광 개구부(4724)보다 우측에 배치되어 있다. 이와 같은 위치에 기록용 코일(473)을 배치한 이유는 광자기 기록 매체가 고속으로 회전하고 있으면, 실제로 온도가 상승하는 부위는 스폿 위치보다 후측(도 23(A)에서는 우측)으로 어긋나기 때문이다. 자속을 검출하는 자기 저항 소자(474)는 광 개구부(4724)와 기록용 코일(473) 사이에 배치되어 있 다.
슬라이더 기판(475)에는 AlTiC를 사용하였다. AlTiC 기판상에는, 웨이퍼 프로세스에 의해, 한번에 복수의 일체형 헤드를 형성할 수 있다. 이것은 자기 디스크의 헤드를 만드는 수법과 동일하다. 여기서는, 도 23(B)를 참조하면서, 그 형성 프로세스에 관하여 간단히 설명한다.
먼저, 슬라이더 기판(475)의 표면(475a)을 평탄화하기 위하여, 하지층(평탄화층(4751)의 일부)를 도면에서 (1)의 레벨까지 형성한다. 그 후, 광 실드부(4752)에 사용하는 Au를 도면에서 (3)의 레벨까지 증착한다. 이 Au의 막두께는 100㎚이다. 이어서, 증착한 Au의 표면을, 포토리소그래피 기술(레지스트와 에칭을 사용하는 프로세스)에 의해, 도면에서 (2)의 레벨까지 패터닝 형성한다. 그 위에, 광 개구부(4724)에 대응하는 부분과 그 밖의 불필요한 부분을 레지스트로 마스크하여, Au를 다시한번 도면에서 (3)의 레벨까지 증착한다. 그 후, 리프트 오프법 등에 의해 레지스트를 제거하여 광 개구부(4724)와 광 실드부(4752)를 형성한다. 이와 같이 하여 형성한 광 개구부(4724)의 크기는 도면 중의 폭방향이 100㎚, 높이 방향이 60㎚이고, 광 실드부(4752)의 두께는 50㎚이다.
계속하여, 광 실드부(4752)상에 알루미나를 스퍼터링법에 의해 형성하고, 평탄하게 되도록 연마하여 평탄화층(4751)을 형성한다. 또한, 평탄화층(4751)상에 두께 200㎚의 파마로이(제1 실드층(4754))를 형성한 후, 포토리소그래피 기술에 의해 패터닝하면서 자속을 검출하는 소자로서의 자기 저항 소자(4754)를 형성한다. 그 위에 200㎚의 FeCo(제2 실드층(4755))을 형성한다. 다음으로, 1㎛의 레지스트 를 형성하고, 다시 그 위에 기록용 코일(473) 및 기록용 자극(480)을 형성한다. 기록용 자극(480)의 사이즈는 폭=100㎚, 높이=50㎚으로 하였다. 기록용 코일(473) 및 기록용 자극(480)은 기록 매체에 자계를 인가하는 소자가 된다.
이와 같이 하여 일체형 헤드(471)는 1장의 웨이퍼상에 복수개 형성되고, 웨이퍼로부터 절단되어, 슬라이더(470)를 구성하는 부재가 된다.
도 23(C)에는, 도 23(B)에서는 나타내기 어려웠던 기록용 코일(473)이 도시되어 있다. 여기에서, 제2 실드층(4755)과 기록용 자극(480)은 상하 방향((B)방향)에서의 상하 방향. (C)에서는 지면 전방으로부터 지면 배면측 방향)으로 FeCo로 연결되어 있으며, 자로에 공극은 없다. 레이저 다이오드(4721)로부터의 레이저광은 광 도입구(4722)로부터 도파로(4723)에 도입되고, 광 개구부(4724)로부터 기록 매체에 광을 조사(인가)할 수 있다.
이와 같은 일체형 헤드(471)로 기록/재생 특성을 조사한 결과를 도 24에 도시한다.
도 24는 도 23에 도시한 광자기 기록 매체의, 기록 전류에 대한 CNR의 변화의 일례를 나타내는 그래프이다.
이 도 24의 그래프의 횡축은 기록 전류(㎃)를 나타내고, 종축은 CNR(㏈)를 나타낸다. 측정한 마크 길이는 50㎚이다. 도면 중의 실선은 비자성막을 갖는 도 19에 도시한 광자기 기록 매체의 CNR 특성을 나타내고, 점선은 연자성막을 갖는 광자기 기록 매체의 CNR 특성을 나타낸다. 도 24에 나타내는 그래프로부터 알 수 있는 바와 같이, 연자성막을 사용하는 편이 적은 기록 전류에 의해 높은 CNR 특성을 갖는다. 연자성막을 갖는 광자기 기록 매체에서는, 기록용 자극(480)에서 나온 자속이 연자성막을 통하여 제2 실드층(4755)으로 돌아가기 때문에, 기록하고자 하는 자구에 대한 자계가 커진다.
연자성막을 갖는 광자기 기록 매체에 따르면, 낮은 레이저 기록 전력에서도 기록 가능해지고, 기록시의 기록 전류 Iw(기록용 코일에 흐르는 전류)는 20㎃로 충분하다. 또한, 자기 저항 소자(177)에 흐르는 센스 전류 Is는 3㎃로 하였다. 이들은 통상의 자기 기록에 이용되는 값 정도이다.

Claims (9)

  1. 기판과,
    상기 기판상에 형성되고, 제1 열전도율을 갖는 제1 방열층과,
    상기 제1 방열층상에 형성되고, 상기 제1 열전도율보다 낮은 제2 열전도율을 갖는 분단층과,
    상기 분단층상에 형성되고, 상기 제2 열전도율보다는 높고 또한 상기 제1 열전도율보다는 낮은 제3 열전도율을 갖는 제2 방열층과,
    상기 방열층상에 형성되고, 기록용 광의 조사 및 자장의 공급을 받아서 데이터를 기록하는 기록층을 포함하는 것을 특징으로 하는 광자기 기록 매체.
  2. 기판과, 상기 기판상에 형성되고, 제1 열전도율을 갖는 제1 방열층과, 상기 제1 방열층상에 형성되고, 상기 제1 열전도율보다 낮은 제2 열전도율을 갖는 분단층과, 상기 분단층상에 형성되고, 상기 제2 열전도율보다는 높고 또한 상기 제1 열전도율보다는 낮은 제3 열전도율을 갖는 제2 방열층과, 상기 방열층상에 형성되고, 기록용 광의 조사 및 자장의 공급을 받아서 데이터를 기록하는 기록층을 포함하는 광자기 기록 매체에, 기록용의 광의 조사 및 자장의 공급을 행하여 정보의 기록을 행하는 기록 단계, 및
    상기 기판과는 반대측의 상기 기록층측으로부터, 상기 기록층의 자속을 검출하여 정보의 자기 재생을 행하는 재생 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 정보 기록/재생 방법.
  3. 기판과, 상기 기판상에 형성되고, 제1 열전도율을 갖는 제1 방열층과, 상기 제1 방열층상에 형성되고, 상기 제1 열전도율보다 낮은 제2 열전도율을 갖는 분단층과, 상기 분단층상에 형성되고, 상기 제2 열전도율보다는 높고 또한 상기 제1 열전도율보다는 낮은 제3 열전도율을 갖는 제2 방열층과, 상기 방열층상에 형성되고, 기록용 광의 조사 및 자장의 공급을 받아서 데이터를 기록하는 기록층을 포함하는 광자기 기록 매체에, 기록용 광의 조사 및 자장의 공급을 행하여 정보의 기록을 행하는 광자기 기록부, 및
    상기 기판과는 반대측의 상기 기록층측으로부터, 상기 기록층의 자속을 검출하여 정보의 자기 재생을 행하는 자기 재생부를 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 기록 장치.
  4. 기판과, 상기 기판상에 형성되고, 제1 열전도율을 갖는 제1 방열층과, 상기 제1 방열층상에 형성되고, 상기 제1 열전도율보다 낮은 제2 열전도율을 갖는 분단층과, 상기 분단층상에 형성되고, 상기 제2 열전도율보다는 높고 또한 상기 제1 열전도율보다는 낮은 제3 열전도율을 갖는 제2 방열층과, 상기 방열층상에 형성되고, 기록용 광의 조사 및 자장의 공급을 받아서 데이터를 기록하는 기록층을 포함하는 광자기 기록 매체에, 광을 조사하여 상기 기록층을 가열하는 광조사 소자, 상기 기록층에 자장을 공급하는 자장 공급 소자, 및 상기 기록층의 자속을 검출하는 자속 검출 소자가 탑재된 하나의 슬라이더를 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 기록 장치.
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