JP2001216686A - 光学記録媒体 - Google Patents

光学記録媒体

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JP2001216686A
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Japan
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film
recording medium
optical recording
recording
substrate
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Takeshi Miki
剛 三木
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Sony Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 熱特性を改善できるとともにディスクノイズ
を低減することができる光学記録媒体を提供する。 【解決手段】 光学記録媒体10は、基板2とは反対側
からの光照射によって、情報の記録または再生がなされ
る。この光学記録媒体10においては、基板2の上に反
射膜6が形成される。この反射膜6は、AgPdCu合
金薄膜またはAgPdCuAl合金薄膜からなる。ま
た、この反射膜6の表面粗さRaは0.75nm以下で
ある。この反射膜6の上に誘電体膜3が形成され、この
誘電体膜3の上に熱制御膜1が形成される。この熱制御
膜1は、AgPdCu合金薄膜からなる。この熱制御膜
1の表面粗さRaは0.75nm以下である。また、こ
の熱制御膜1の上に記録膜4、誘電体膜5、および有機
物保護膜7が形成されている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、光学記録媒体に関
する。
【0002】
【従来の技術】近年、光学記録媒体は、高密度な記録媒
体として注目されている。従来の光学記録媒体のうち、
例えば光磁気記録媒体は、ポリカーボネート等からなる
透明な基板の上に、誘電体膜、磁性膜からなる記録膜、
誘電体膜、および金属からなる反射膜が順次積層されて
なり、透明な基板側からレーザ光を照射して信号の記録
・再生を行うようにしている。
【0003】この光学記録媒体において、その記録密度
を上げるには、レーザ光として短波長レーザ(青色レー
ザ)を用いたり、高い開口数(NA)の光学系を用い
て、レーザ光スポット径の縮小化がなされるが、この場
合、記録膜におけるレーザ光スポットのエネルギー密度
が非常に高くなり、再生時のカー回転角θkが減少し信
号特性が劣化するという問題があった。これは、高密度
レーザ光の照射によって高温になることにより、カー回
転角θkが減少し、またさらに高温になると記録膜の磁
気記録が消失することから、信号特性が劣化するもので
ある。
【0004】これに対して、記録膜の、基板とは反対側
の面に、AgやAl等からなる熱制御膜を直接形成する
ことにより、記録膜の温度上昇を抑制して上述の問題を
解決することができたとの報告がされている(特願平1
1−26521号)。
【0005】この場合、基板側からレーザ光を照射し記
録・再生する通常の光磁気記録媒体では、膜構成は例え
ば、基板、誘電体膜(SiN等)、記録膜(TbFeC
o等)、熱制御膜(Ag,Al等)、誘電体膜(SiN
等)、金属反射膜(Al等)の順に積層される。すなわ
ち、熱制御膜は記録膜が形成された後にその上に積層さ
れるので、熱制御膜は記録膜下地に影響を与えない。
【0006】一方、さらなる高密度記録のために開発さ
れたのが以下に述べる光磁気記録媒体である。これは、
例えば基板上に、反射膜、誘電体膜、記録膜、誘電体
膜、および有機物保護膜が順次積層されてなり、基板と
は反対側の有機物保護膜側からレンズ系を通じてレーザ
光を集光照射して信号の記録・再生を行うようにして、
レンズ系と記録膜との間隔の縮小化を図るようにした、
いわゆる表面読み光磁気記録媒体である。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この表
面読み光磁気記録媒体において熱制御膜を形成しようと
すると、図3に示すように、膜構成が例えば、基板2、
反射膜6(Ag合金等)、誘電体膜3(SiN等)、熱
制御膜1(Ag,Al等)、記録膜4(TbFeCo
等)、誘電体膜5(SiN)の順に積層することにな
る。したがって、熱制御膜1は記録膜4の下地膜とな
り、その表面粗さがディスクノイズに影響を与える。こ
こで、Ag,Al等の熱制御膜1を形成した後に、逆ス
パッタによりその表面の平滑化を図っても限界があり、
満足する平滑面を得ることができない。
【0008】このように、記録膜4の2つの面にうち基
板2側の面に熱制御膜1を形成すると、熱制御膜1を形
成した後にこの上に記録膜4を積層することになるの
で、熱制御膜1は記録膜6の下地となる。このため、熱
制御膜4の材質としてAg,Al等を用いるとその表面
粗さのため消去ノイズ等のディスクノイズが増大すると
いう問題がある。
【0009】なお、消去ノイズとは、外部から一方向に
磁界を印加し記録層の磁化の向きを一方向に揃えてから
再生したときのノイズ、または外部からの印加磁界の向
きを記録時と逆向きにしてレーザ光を収束・照射した後
に再生したときのノイズ、または外部からの印加磁界の
向きを記録時と逆向きにしてレーザ光を収束・照射して
記録信号を消去した後に再生したときのノイズをいう。
【0010】本発明は、このような課題に鑑みてなされ
たものであり、熱特性を改善できるとともにディスクノ
イズを低減することができる光学記録媒体を提供するこ
とを目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】本発明の光学記録媒体
は、少なくとも1つの基板の上に反射膜が形成され、反
射膜の上に誘電体膜が形成され、誘電体膜の上に熱制御
膜が形成され、熱制御膜の上に直接記録膜が形成され、
上記基板とは反対側からの光照射によって、情報の記録
または再生の少なくとも一方がなされる光学記録媒体で
あって、上記熱制御膜がAgPdCu合金薄膜からなる
ものである。
【0012】また、本発明の光学記録媒体は、上述した
熱制御膜の表面粗さRaを0.75nm以下に選定し
た。また、本発明の光学記録媒体は、上述した熱制御膜
の表面粗さRaを0.75nm以下とし、さらに反射膜
の表面粗さRaを0.75nm以下とする。また、本発
明の光学記録媒体は、その反射膜をAgPdCu合金薄
膜によって構成する。あるいは、反射膜をAgPdCu
Al合金薄膜によって構成する。
【0013】上述した本発明の光学記録媒体によれば、
熱制御膜の上に直接記録膜が形成され、基板とは反対側
からの光照射によって、情報の記録または再生がなされ
る光学記録媒体であって、熱制御膜としてAgPdCu
合金薄膜を用いることにより、高い熱伝導性とともに滑
らかな表面性を有する熱制御膜を得るものである。
【0014】
【発明の実施の形態】以下、光学記録媒体に係る発明の
実施の形態について、図1および図2を参照しながら説
明する。図1は、本発明に係る光学記録媒体の1例を示
す断面図である。図1において、光学記録媒体10は、
表面読み光磁気記録媒体からなるMOメディアである。
また、図1からわかるように、光学記録媒体10は、基
板2、反射膜6、誘電体膜3、熱制御膜1、記録膜4、
誘電体膜5、および有機物保護膜7より構成されてい
る。
【0015】基板2は、0.1〜1.2mmの厚さの円
盤状のものである。この基板2は、ガラス、ポリカーボ
ネート、アクリル樹脂(例えば、ポリメタクリル酸メチ
ル(PMMA))、およびエポキシ樹脂などの透明な材
料からなるものである。ただし、透明な材料に限定され
るわけではなく、不透明な材料であってもかまわない。
また、基板2は、この上に積層される種々の薄膜を支持
する機能を有するものである。
【0016】基板2の上には、反射膜6が形成されてい
る。反射膜6は30〜100nmの範囲の厚さを持つ薄
膜である。この反射膜6の材質としては、AgPdC
u、AgPdCuAl等のAg合金等が用いられる。な
お、反射膜6の材質は、これらのAgPdCu、AgP
dCuAl等のAg合金等に限定されるわけではない。
その他、高い反射率、高い熱伝導性、および滑らかな表
面性を有するものであればいかなるものも採用すること
ができる。また、反射膜6は、金属または合金の単一層
膜または2以上の積層膜からなっている。この反射膜6
は、記録膜(後述する)を通過してきたレーザ光を反射
させて再び記録膜を通過させる機能を有している。
【0017】反射膜6の上には、誘電体膜3が形成され
ている。この誘電体膜3は、150nm以下の厚さを有
している。また、誘電体膜3は、SiO2 、Tb添加S
iO 2 、SiN、AlNx、Y2 3 、Al2 3 、Z
nSなどからなっている。この誘電体膜3は、錆びやす
い記録膜の酸化を防止する機能を有し、また多重反射と
干渉の効果により見かけのカー回転角θkを増強(エン
ハンス)する機能を有している。なお、誘電体膜3は、
単一層膜からなるものばかりでなく、2層以上の積層膜
からなるものであることはかまわない。
【0018】誘電体膜3の上には、熱制御膜1が形成さ
れている。この熱制御膜1は、AgPdCu等のAg合
金等の薄膜からなる。このAgPdCu合金は熱伝導性
が高く、表面粗さの小さいという特徴を有している。こ
の熱制御膜1は、6〜20nmの範囲の厚さを有してい
ることが好ましい。熱制御膜の厚さが6nmより薄くな
ると、均一な膜の形成が困難でありかつ熱の拡散が充分
でなくなるからである。また、熱制御膜を厚くすれば熱
の拡散を大きくすることができるが、厚さが20nmよ
りも厚くなると、熱の拡散が大きくなりすぎ記録が満足
にできなくなるおそれがあるからである。
【0019】熱制御膜1の上には記録膜4が直接形成さ
れている。この記録膜4は5〜30nmの範囲の厚さを
有している。また、記録膜4は、TbFeCo、GdF
eCoなどのアモルファス希土類−遷移金属合金などか
らなっている。記録膜4は、磁化方向が膜面に垂直方向
に向いている膜(以下、「垂直磁化膜」という)におい
て、記録したい部分をレーザ光で局部的に加熱するとと
もに、逆方向の磁界を与えられることにより、その部分
の磁化が反転して、ビットが記録される。なお、記録膜
4は、単一層膜からなるものばかりでなく、2層以上の
積層膜からなるものであることはかまわない。
【0020】記録膜4の上には誘電体膜5が形成されて
いる。この誘電体膜5は、上述した誘電体膜3と同様の
厚さ、材質、および機能を有するものである。
【0021】誘電体膜5の上には、有機物保護膜7が形
成されている。この有機物保護膜7は、100μm以下
の厚さを有している。また、有機物保護膜7は、紫外線
硬化型樹脂からなっている。有機物保護膜7は、この膜
の下にある誘電体膜5、記録膜4、熱制御膜1、誘電体
膜3、および反射膜6を酸素・湿気などの外部環境にさ
らされるのを防止するとともに、誘電体膜5へのごみ・
ほこりなどが付着するのを防止し、さらにこれらの積層
膜が他の物体と接触することにより傷つくのを防止する
などの機能を有している。なお、有機物保護膜7を形成
しない場合であっても、本発明の目的は達成できる。
【0022】つぎに、本発明に係る光学記録媒体を用い
た場合の、記録・再生の方法について説明する。図1の
光学記録媒体10では、基板2とは反対側からレーザ光
9を照射している。このレーザ光9の吸収熱により、記
録膜4がキュリー温度以上に加熱される。キュリー温度
を超えた温度にまで記録膜4が加熱されると、それまで
磁化されていたその記録膜4の保磁力がきわめて低下す
る。この現象を利用して、保磁力の磁化の向きを正逆2
進法として記録膜4に記録する。
【0023】キュリー温度以上への加熱をもたらすレー
ザ光9と同時に、それ以前に記録膜4全体におよんでい
たa方向の磁化方向とは反対の向きの磁界を印加する。
レーザ光9が遮断されると、記録膜4は高温から常温に
戻るが、記録膜4にアモルファス希土類−遷移金属合金
などを用いていると、キュリー温度のときの印加磁界方
向を記録したまま冷える。したがって、レーザ光9と外
部反転磁界とを同時に印加された部分だけが保磁力の磁
化の向きが反転し、情報の記録が行われる。外部からの
印加磁界の向きをa方向にして再びレーザ光を収束・照
射すれば、記録した信号を消去することができる。
【0024】記録した信号を再生するときには、記録並
びに消去の場合と異なり、レーザ光9の波としての性質
を利用する。半導体レーザから射出するレーザ光は、一
般によい直線偏波光となっているが、さらに直線偏波性
を良くするためには、偏光板を経て、光学記録媒体の記
録膜に照射させることも行われている。記録膜4から反
射されるレーザ光の偏波面、すなわち光の振動方向が記
録膜4の磁化の向きによって互いに反対方向に回転する
ので、回転の向きを検出することにより情報の再生が行
われる。この記録情報再生の際の光波と磁界との相互作
用、すなわち磁気光学効果には反射光の場合の磁気カー
効果と透過光の場合のファラデー効果とが利用される。
なお、本発明に係る光学記録媒体にあっては、情報の記
録または再生の少なくとも一方をすることができる。
【0025】図1に示した光学記録媒体10は、上述し
たように、表面読み光磁気記録媒体である。この表面読
み光磁気記録媒体によれば高密度記録が可能となる。こ
のように高密度記録が可能となる理由は、有機物保護膜
の厚さを基板の厚さよりも薄くすることにより、レンズ
の開口数(NA)を大きくすることができるので、レン
ズの焦点におけるビームスポットサイズを小さくするこ
とができるからである。
【0026】ここで、上述したように、レーザ光として
短波長レーザを用いたり、高い開口数(NA)の光学系
を用いたりすると、記録膜4におけるレーザ光のエネル
ギー密度が非常に高くなり、再生時のカー回転角θkが
減少し信号特性が劣化するという問題があった。これに
対して、記録膜4の2つの面のうち基板2側に熱制御膜
1を直接形成することにより、レーザ光9が集光してで
きた記録膜上の温度の高いスポットから、熱が熱制御膜
1を通じて拡散させることができる。これにより、記録
膜4上のスポットの温度を適当な値まで下げることがで
きる。また、熱の拡散は、誘電体膜3を通じて反射膜6
によってもなされる。したがって、熱制御膜1の材質お
よび厚さ、誘電体膜3の材質および厚さ、並びに、反射
膜6の材質および厚さを適切に選ぶことにより、記録膜
4上のスポットの温度を最適な範囲とすることができ
る。
【0027】つぎに、本発明に係る光学記録媒体の製造
方法について説明する。この製造方法においては、最初
に、基板2上に反射膜6を、スパッタ法により形成す
る。スパッタの際のターゲットとしては、AgPdCu
合金とAl金属の2つを同時に用いる。このスパッタに
より、反射膜6はAgPdCuAl合金となる。この反
射膜6における、Alの含有量は50重量%である。ま
た、この反射膜6のスパッタ条件は以下に示すとおりで
ある。 Ar雰囲気中で ガス圧:0.18Pa パワー AgPdCu:0.2kW Al :0.6kW
【0028】なお、このAgPdCuAl合金からなる
反射膜6は、AgPdCu合金(後述する)に比較し
て、熱伝導性は多少悪くなるが、表面平滑性は向上す
る。また、この反射膜6の表面粗さRaは0.75nm
以下であることが好ましい。また、AgPdCuAl合
金中に含まれるAlの含有量は20〜80重量%の範囲
内にあることが好ましい。AgPdCu合金ターゲット
の組成、およびこのAgPdCu合金中に含まれるPd
およびCuの含有量の最適範囲については後述する。
【0029】また、反射膜6としては、AgPdCu合
金単体を用いることもできる。反射膜としてAgPdC
u合金を用いた場合は、スパッタの際に1つのターゲッ
トのみを用いればよいという利点がある。このAgPd
Cu合金ターゲットの組成、このAgPdCu合金中に
含まれるPdとCuの含有量の最適範囲、スパッタ条
件、および、熱伝導性と表面性の特徴については後述す
る。
【0030】つぎに、反射膜6上に誘電体膜3をスパッ
タ法により形成する。この誘電体膜3は、必要により2
層以上の積層膜としても良い。ここで、誘電体膜3のス
パッタ条件は以下に示すとおりである。 ArとN2 の混合雰囲気中で ガス圧:0.3〜0.4Pa パワー:1.0〜1.5kW
【0031】つぎに、誘電体膜3の上に熱制御膜1をス
パッタ法により形成する。このスパッタに用いたターゲ
ットはAgPdCu合金であり、この合金に含まれるP
dは0.92重量%で、Cuは1.0重量%である。ま
た、この熱制御膜1のスパッタ条件は以下に示すとおり
である。 Ar雰囲気中で ガス圧:0.18Pa パワー:0.5kW
【0032】このAgPdCu合金からなる金属薄膜
は、熱伝導性が良く、表面平滑性も優れている。また、
このほか、密着性および耐食性にも優れている。なお、
熱制御膜の表面粗さRaは0.75nm以下であること
が好ましい。また、AgPdCu合金の組成は、Pdが
0.5〜1.5重量%、Cuが0.5〜1.5重量%の
範囲にあることが好ましい。
【0033】つぎに、熱制御膜1の上に記録膜4をスパ
ッタ法により形成する。この記録膜4は、必要により2
層以上の積層膜としても良い。ここで、記録膜4のスパ
ッタ条件は以下に示すとおりである。 Arガス圧:0.2〜0.3Pa TbFeCoとGdFeCoの2層膜
【0034】つぎに、記録膜4上に誘電体膜5をスパッ
タ法により形成する。この誘電体膜5は、必要により2
層以上の積層膜としても良い。誘電体膜5の形成方法
は、誘電体膜3について述べた方法と同様である。
【0035】つぎに、誘電体膜5の上に有機物保護膜7
を形成する。この有機物保護膜7は、スピンコート法に
より形成する。
【0036】つぎに、本発明に係る光学記録媒体につい
てその効果を確認すべくMOメディアとしての評価を行
った。用いた光学記録媒体は、膜構成を、基板2、合金
反射膜6(Ag合金等)、誘電体膜3(SiN等)、熱
制御膜1(AgPdCu等)、記録膜4(TbFeCo
等)、誘電体膜5(SiN)の順に積層するものを用い
る。具体的には、基板、AgPdCuAl(50n
m)、SiN(20nm)、熱制御膜AgPdCu(8
nm)、TbFeCo(12nm)、GdFeCo(5
nm)、SiN(60nm)を形成したものを用いた。
なお、基板としては1.2mm厚のポリカーボネート製
でトラックピッチ0.39μmのものを用いた。
【0037】上述のように、熱制御膜としてAgPdC
uを用いたもの(サンプル1)とその特性を比較するた
めに、2つのサンプルを作製した。すなわち、その1つ
は、熱制御膜としてAl金属を用いたもの(サンプル
2)であり、他の1つは、熱制御膜を設けなかったもの
(サンプル3)である。ここで、サンプル2および3に
おいて、他の積層膜の形成等の条件はサンプル1と同様
である。
【0038】ここで、開口数(NA)=0.85の光学
系を用い、線速度は5.6m/sとした。また、これら
のデータは、ランドグルーブ基板のグルーブ部で測定し
た。また、再生パワーPrは、熱制御膜がAgPdCu
のときPr=0.85mW、AlのときPr=0.7m
W、熱制御膜を用いないときPr=1.0mWとし、す
べてその戻り光量(Pull−in Level)が一
定になるようにした。
【0039】ここで、戻り光量を一定にした理由を説明
する。レーザ光に対する光磁気記録媒体の反射率が異な
ると、発生するノイズの大きさも変化する。例えば、反
射率が高くなると、キャリアが増大するとともにノイズ
も増大する。したがって、反射率の異なる光磁気記録媒
体について、それぞれのノイズレベルを比較しても、相
対的に比較しづらく、そこで簡単のため、戻り光量を一
定にすることにより、反射率の異なる光磁気記録媒体の
ノイズレベルを相対的に比較できるようにしたのであ
る。
【0040】評価項目としては、消去ノイズと表面粗さ
Raを測定した。消去ノイズレベルは、測定装置(商品
名:R3261A SPECTRUM ANALIZE
R、アドバンテスト社製)を用いた。ここで、一方向に
DCイレーズした後にノイズレベルを測定した。
【0041】表面粗さRaは、中心線平均粗さと呼ばれ
るものであり、粗さ曲線からその中心線の方向に測定長
さLの部分を抜き取り、この抜き取り部分の中心線をX
軸、縦倍率の方向をY軸、粗さ曲線をy=f(x)で表
したとき、粗さ曲線の絶対値を積分し、その積分値を測
定長さLで割った値と定義される。
【0042】表面粗さRaの測定は、原子間力顕微鏡A
FM(Atomic ForceMicroscop
y)(商品名:SPM NANOSCOPE III、デ
ジタルインスツルメンツ社製)を用いた。
【0043】上述のサンプル1〜3についての消去ノイ
ズレベルの測定結果は図2に示すとおりである。図2
は、熱制御膜がAgPdCuの場合(A)、熱制御膜が
Alの場合(B)、並びに熱制御膜がない場合(C)
の、消去ノイズレベルと周波数の関係を示した図であ
る。図2においては、周波数10MHz以下の範囲にお
いて消去ノイズレベルの高さを比較することにより、光
磁気記録媒体間の相対的な比較をすることができる。
【0044】図2からわかるように、熱制御膜にAlを
用いたときはノイズレベルが高くなるが、それに比べて
AgPdCuを用いたときは熱制御膜が無いものと比べ
てほとんどノイズは増加していない。また、サンプル1
および2について、表面粗さRaを測定すると、Alの
場合はRa=2.0nmと表面粗さRaが大きいのに対
して、AgPdCuの場合はRa=0.56nmと非常
に小さいものであった。
【0045】このように表面読み光磁気記録媒体におい
て、記録膜(MO膜;TbFeCo,GdFeCo)の
下地となる熱制御膜によりノイズレベルが変化するの
は、反射膜のときと同様に熱制御膜材料の表面粗さによ
るものであることがわかる。このように、表面読み光磁
気記録媒体において熱制御膜としてAdPdCuを用い
ることで、ディスクノイズを低減することができる。
【0046】以上のことから、本発明の実施の形態によ
れば、熱制御膜の上に直接記録膜が形成され、基板とは
反対側からの光照射によって、情報の記録または再生が
なされる光学記録媒体において、熱制御膜としてAgP
dCu合金薄膜を用いることにより、高い熱伝導性とと
もに滑らかな表面性を有する熱制御膜を得ることができ
る。これにより、熱特性を改善できるとともにディスク
ノイズを低減することができる。
【0047】すなわち、表面読み光磁気記録媒体におい
て、レーザ光として短波長レーザを用いたり、高い開口
数(NA)の光学系を用いたりしても、再生時のカー回
転角θkの劣化を防ぎ、キャリアの減少を避けることが
できる。また、同メディアにおいて反射率が低い場合も
大きな再生パワーを投入して、MO信号を再生すること
ができる。すなわち、熱制御膜の形成により熱の拡散が
容易になるので、結果としてレーザ光のエネルギー密度
を大きくすることができる。したがって、反射率が低い
場合でも十分に対応することができる。
【0048】なお、上述した発明の実施の形態において
は、いわゆる円盤状の光磁気ディスクについて説明した
が、本発明はこのような光磁気ディスクや形状に限られ
るものではなく、2層以上の情報層を有する光磁気ディ
スク、単層または2層以上の情報層を有する相変化型光
ディスク、その他カード状またはシート状の記録媒体
等、情報層に金属薄膜を有する各種の光学記録媒体に適
用することができる。
【0049】また、例えば2枚の透明基板上にそれぞれ
2層以上の情報層を形成し、これら透明基板の面をつき
合わせ接合して形成し、透明基板と反対側から光照射を
行うようにした構成とすることもできるなど種々の構造
とすることができる。
【0050】また、本発明は上述の実施の形態に限らず
本発明の要旨を逸脱することなくその他種々の構成を採
り得ることはもちろんである。
【0051】
【発明の効果】本発明は、以下に記載されるような効果
を奏する。熱制御膜の上に直接記録膜が形成され、基板
とは反対側からの光照射によって、情報の記録または再
生がなされる光学記録媒体において、熱制御膜としてA
gPdCu合金薄膜を用いることにより、熱特性を改善
できるとともにディスクノイズを低減することができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る光学記録媒体の1例を示す断面図
である。
【図2】熱制御膜がAgPdCuまたはAlの場合、並
びに熱制御膜がない場合の、消去ノイズレベルと周波数
の関係を示した図である。
【図3】光磁気記録媒体の従来例を示す断面図である。
【符号の説明】
1‥‥熱制御膜、2‥‥基板、3‥‥誘電体膜、4‥‥
記録膜、5‥‥誘電体膜、6‥‥反射膜、7‥‥有機物
保護膜、8‥‥対物レンズ、9‥‥レーザ光10‥‥光
学記録媒体

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 少なくとも1つの基板の上に反射膜が形
    成され、 上記反射膜の上に誘電体膜が形成され、 上記誘電体膜の上に熱制御膜が形成され、 上記熱制御膜の上に直接記録膜が形成され、 上記基板とは反対側からの光照射によって、情報の記録
    または再生の少なくとも一方がなされる光学記録媒体で
    あって、 上記熱制御膜は、AgPdCu合金薄膜からなることを
    特徴とする光学記録媒体。
  2. 【請求項2】 熱制御膜の表面粗さRaは0.75nm
    以下であることを特徴とする請求項1記載の光学記録媒
    体。
  3. 【請求項3】 熱制御膜の表面粗さRaは0.75nm
    以下であり、 反射膜の表面粗さRaは0.75nm以下であることを
    特徴とする請求項1記載の光学記録媒体。
  4. 【請求項4】 反射膜は、AgPdCu合金薄膜からな
    ることを特徴とする請求項1記載の光学記録媒体。
  5. 【請求項5】 反射膜は、AgPdCu合金薄膜からな
    ることを特徴とする請求項2記載の光学記録媒体。
  6. 【請求項6】 反射膜は、AgPdCu合金薄膜からな
    ることを特徴とする請求項3記載の光学記録媒体。
  7. 【請求項7】 反射膜は、AgPdCuAl合金薄膜か
    らなることを特徴とする請求項1記載の光学記録媒体。
  8. 【請求項8】 反射膜は、AgPdCuAl合金薄膜か
    らなることを特徴とする請求項2記載の光学記録媒体。
  9. 【請求項9】 反射膜は、AgPdCuAl合金薄膜か
    らなることを特徴とする請求項3記載の光学記録媒体。
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