JPH04219644A - 光磁気記録媒体 - Google Patents

光磁気記録媒体

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JPH04219644A
JPH04219644A JP7043591A JP7043591A JPH04219644A JP H04219644 A JPH04219644 A JP H04219644A JP 7043591 A JP7043591 A JP 7043591A JP 7043591 A JP7043591 A JP 7043591A JP H04219644 A JPH04219644 A JP H04219644A
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JP
Japan
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reflective layer
magneto
optical recording
recording medium
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Pending
Application number
JP7043591A
Other languages
English (en)
Inventor
Yujiro Kaneko
裕治郎 金子
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ricoh Co Ltd
Original Assignee
Ricoh Co Ltd
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Publication date
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Publication of JPH04219644A publication Critical patent/JPH04219644A/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、レ―ザ―を用いて情報
の記録、再生、消去を行う光磁気記録媒体に関する。
【0002】
【従来の技術】光磁気ディスクはレ―ザ―光を用いて情
報の記録及び再生を行うため、記憶容量が大きくしかも
記録膜に磁性体を用いているため書換えが可能である。 又非接触で記録再生出来、塵埃の影響を受けないことか
ら安定性にも優れている。この光磁気記録層(以下記録
層)に用いる材料としては、TbFeCo、NdDyF
eCo、TbDyFeCo等の希土類遷移金属非晶質合
金(以下RE−TM)が知られており、粒界ノイズが無
くスパッタリングを等を用いることによって容易に垂直
磁化膜が得られることから盛んに開発が行なわれており
、現在商品化段階を迎えるまでに至っている。
【0003】この光磁気記録媒体の構成として、レ―ザ
―光の記録再生効率を向上させるために記録層を200
〜300Åの厚さまで薄くし、その上に反射層を設ける
方式が提案されている。(特公昭62−27458)。 この構成はカ―効果とファラデ―効果の両方が利用出来
るためC/Nやジッタ―マ―ジンが大きくとれるという
点で優れている。反射層としてAu,Ag,Al,Cu
等のような記録再生光であるレ―ザ―光に対して反射率
の高い材料を用いた場合、C/N特にキャリアレベルが
大きくなるが、Au,Ag,Cuのような熱伝導率が大
きい材料は記録時に反射層において熱が拡散してしまい
反射層を用いない構成の媒体に比べて記録感度が大幅に
低下してしまうといった欠点を有している。よってこれ
らの中でも比較的熱伝導率が小さく、かつ反射率の高い
Al又はAl合金(AlTi,AlCr,AlSi等)
が現在一般に用いられている。しかし反射層がAl等の
単層膜の場合、膜厚が厚い(600Å以上)とC/Nの
立上がり記録パワ―が大きくなってしまい記録感度の悪
い媒体になってしまう。
【0004】一方、膜厚が薄い(400Å程度)と高感
度となるが逆に高パワ―(8mW以上)でC/Nが低下
する。この原因としては、膜厚が薄いと、高パワ―時に
反射層で広がった熱が磁性層に伝導し、ビット形状が不
均一になるためであると考えられる。高パワ―でC/N
が低下すると記録パワ―マ―ジンが少なくなってしまい
レ―ザ―パワ―のバラツキに対して十分対応がとれない
媒体になってしまう。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、記録感度が
高く、高パワ―でもC/Nやジッタ―マ―ジンの低下が
ない光磁気記録媒体を提供しようとするものである。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、上述の欠
点を克服すべく鋭意検討した結果、特定の材料で反射層
を2層構造にすることによって、記録感度が高く、高パ
ワ―でもC/Nやジッタ―マ―ジンの低下しない、パワ
―マ―ジンの大きな光磁気記録媒体が得られることを見
出した。それに基づいた本発明の構成は、特許請求の範
囲に記載の通りの光磁気記録媒体である。図1を参照し
て本発明の一例を具体的に説明すると、本発明の光磁気
記録媒体は透明な基板上1に干渉層2、光磁気記録層3
および反射層が順次積層されてなり、その反射層は2層
構成となっており、記録再生光が入射する側の第1反射
層4は反射率が高くかつ熱伝導率が小さく、又第2反射
層5は熱伝導率が大きく比熱が小さいことを特徴とする
ものである。以下、本発明を詳細に説明する。
【0007】本発明に用いる透明基板としてはポリカ―
ボネ―ト(PC)、ポリメチルメタクリレ―ト(PMM
A)、アモルファスポリオレフィン(APO)等の樹脂
からなるプラスチック基板、又はアルミノ珪酸、バリウ
ム硼珪酸等のガラス上に溝つき樹脂を形成した基板等が
挙げられる。これらの基板はディスク形状をしており、
厚みは1.2mm程度である。記録層としてはTbFe
Co、NdDyFeCo、TbDyFeCo等の希土類
と遷移金属の非晶質合金薄膜、BaFe12O19、C
oFe2O4、(Bi,Y)3Fe5O12等の酸化物
薄膜、MnBi、CoPt等の多結晶合金薄膜が挙げら
れ、これらはいずれも膜面に垂直な方向に磁化容易軸を
有している。厚みは合金薄膜の場合100〜600Åで
好ましくは200〜300Å。酸化物薄膜の場合、多く
は記録再生光に対して透光性が大きいので特に厚みに制
約はないが1000〜5000Åが好ましい。又記録層
は単層膜に限らず多層膜でも良い。
【0008】本発明においては、上記基板と記録層との
間に干渉層を設けている。この層には屈折率の高い(1
.8以上)透明膜を用い、光の多重効果によってキャリ
アレベルを上げ、又、反射率をおさえることでノイズレ
ベルを低下させ、全体でC/Nを向上させることを目的
としている。又、記録層が希土類と遷移金属とからなる
非晶質合金薄膜のように酸化等の腐食を起こしやすい材
料の場合、この干渉層は記録層の酸化を防止する保護膜
としての役割も兼ね備えていなければならない。それに
は空気中や基板からの水や酸素の侵入を防ぎ、それ自身
の耐食性が高く、記録層との反応性が小さいことが必要
である。具体的な材料としては、SiO、SiO2、A
l2O3、Ta2O5等の金属酸化物、Si、Al、Z
r、Ge等との金属窒化物、B4C,SiC等の無機炭
化物、ZnS等の金属硫化物が挙げられ、これらは複合
していたり(例、SiAlON、SiZrN)、多層膜
であったりしても良い。屈折率によって膜厚の最適値は
異なるが、通常500〜2000Å好ましくは800〜
1200Åである。
【0009】本発明においては、記録層上に2層膜から
なる反射層を設けている。記録再生光が入射する側の第
1反射層は反射率が高く熱伝導率が小さいことが条件で
ある。具体的には、 ・反射率:記録再生光に対して70%以上・熱伝導率:
0.4(cal/cm・S・℃)以下・材料:Al又は
下記の一般式で表されるAl合金RXAl1−X、 0.1≦X≦0.5 R:Ti,Ta,Si,Ge,Zrから選ばれる1つ以
上の元素 ・膜厚:200〜500(Å) 第2反射層は第1反射層に比較して熱伝導が大きく比熱
が小さいことが条件である。具体的には、
【0010】
・熱伝導率0.4(cal/cm・S・℃)以上 ・比熱:0.3(cal/g・℃)以下・材料:Au,
Cu,Ag,の単体又はそれらを主成分とする合金、あ
るいは、Al又は下記の一般式で表されるAl合金 RXAl1−X、 O<X<0.1 R:Ti,Ta,Si,Ge,Zrから選ばれる1つ以
上の元素 ・膜厚:50〜200(Å) 基板上に干渉層、記録層及び反射層を形成する手段とし
ては、スパッタリング、イオンプレ―ティング等の物理
蒸着法、プラズマCVDのような化学蒸着法等が用いら
れる。又、層構成は図1に示した構成以外に、記録層3
と第1反射層4との間にさらに第2の干渉層6を設けた
り(図2)、第2反射層5の上に保護層を設けたり、又
それらの膜面どうしを接着剤によって貼り合わせた構成
でも本発明の効果はそこなわれない。
【0011】
【実施例】以下に実施例を挙げて本発明をさらに詳細に
説明する。 実施例1 直径130mm、厚さ1.2mmのプリグル―ブ付ポリ
カ―ボネ―ト基板をスパッタリング装置の真空槽内にセ
ットし、4×10−7Torr以下になるまで真空排気
する。まずArとN2との混合ガスを真空槽内に導入し
、圧力を1×10−2Torrに調整し、Siをタ―ゲ
ットとして放電電力2kw(4W/cm2)で高周波ス
パッタリングを行ない干渉層として、SiN膜を100
0Å堆積した。続いて記録層として、Tb12Dy12
Fe68Co8合金(添数字は組成(原紙%)を示す)
をタ―ゲットとしてスパッタリングによってTbDyF
eCo膜を200Å設けた。更に同様な方法によって第
1反射層としてAl膜を400Å第2反射層としてAu
膜又はCu膜を200Å形成した。(表1参照)
【0012】
【表1】   ┏━━━━━━┳━━━━━━━━━━━━━━━
━━┓  ┃            ┃      
    反    射    層          
┃  ┃            ┣━━━━━━━━
┳━━━━━━━━┫  ┃            
┃  第1反射層    ┃  第2反射層    ┃
  ┣━━━━━━╋━━━━━━━━╋━━━━━━
━━┫  ┃実施例I−1┃Al(400Å)┃Au(
200Å)┃  ┣━━━━━━╋━━━━━━━━╋
━━━━━━━━┫  ┃  〃  I−2┃Al(4
00Å)┃Cu(200Å)┃  ┣━━━━━━╋━
━━━━━━━┻━━━━━━━━┫  ┃比較例I−
1┃        Al(400Å)       
   ┃  ┣━━━━━━╋━━━━━━━━━━━
━━━━━━┫  ┃  〃  I−2┃      
  Al(600Å)          ┃  ┗━
━━━━━┻━━━━━━━━━━━━━━━━━┛

0013】これらの記録媒体の記録パワ―とC/Nとの
関係を図3に示す。記録再生条件は以下の通り。 (記録条件):CAV1800rpm、半径30mm位
置、記録周波数3.7MHz、duty比22%(再生
条件):CAV1800rpm、再生パワ―1mw 図3より反射層を本発明のごとく特定の材料で二層構造
にした実施例I−1、2は比較例I−1、2に比べて比
較的低パワ―でC/Nが立上がり、かつ高パワ―でもC
/Nが低下しない。これは、第1反射層の熱伝導率が小
さく第2反射層の比熱が小さいため低パワ―でもビット
が書け、又、第2反射層の熱伝導率が大きいため高パワ
―において、第2反射層で熱が逃げ磁性層に悪影響を与
えずビットが均一に保たれるためである。
【0014】実施例II 直径130mm、厚さ1.2mmのプリグル―プ付ポリ
カ―ボネ―ト基板をスパッタリング装置の真空槽内にセ
ットし、5×10−7Torr以下になるまで真空排気
する。まずArとN2との混合ガスを真空槽内に導入し
、圧力を5×10−3Torrに調整し、Siをタ―ゲ
ットとして放電電力2kw(4W/cm2)で高周波ス
パッタリングを行ない干渉層として、SiN膜を100
0Å堆積した。続いて記録層として、Tb12Dy12
Fe68Co8合金(添数字は組成(原子%)を示す)
をタ―ゲットとしてスパッタリングによってTbDyF
eCo膜を200Å設けた。更に同様な方法によって第
1反射層および第2反射層を各種材料及び各種膜厚で形
成した。(表2参照)
【0015】
【表2】   ┏━━━━━━┳━━━━━━━━━━━━━━━
━━━━┓  ┃            ┃    
        反    射    層      
      ┃  ┃            ┣━━
━━━━━━━┳━━━━━━━━━┫  ┃    
        ┃    第1反射層    ┃  
  第2反射層    ┃  ┣━━━━━━╋━━━
━━━━━━╋━━━━━━━━━┫  ┃実施例II
−1┃Ti0.2 Al0.8 (400)┃  Al
(200)  ┃  ┣━━━━━━╋━━━━━━━
━━╋━━━━━━━━━┫  ┃  〃  II−2
┃Ti0.5 Al0.5 (300)┃  Al(1
00)  ┃  ┣━━━━━━╋━━━━━━━━━
╋━━━━━━━━━┫  ┃  〃  II−3┃T
i0.2 Al0.8 (400)┃Ti0.05Al
0.95(200)┃  ┣━━━━━━╋━━━━━
━━━━╋━━━━━━━━━┫  ┃  〃  II
−4┃Ti0.5 Al0.5 (300)┃Ti0.
05Al0.95(100)┃  ┣━━━━━━╋━
━━━━━━━━╋━━━━━━━━━┫  ┃  〃
  II−5┃Ta0.2 Al0.8 (400)┃
  Al(200)  ┃  ┣━━━━━━╋━━━
━━━━━━╋━━━━━━━━━┫  ┃  〃  
II−6┃Ta0.5 Al0.5 (300)┃Ti
0.05Al0.95(100)┃  ┣━━━━━━
╋━━━━━━━━━╋━━━━━━━━━┫  ┃ 
 〃  II−7┃Si0.2 Al0.8 (400
)┃  Al(200)  ┃  ┣━━━━━━╋━
━━━━━━━━╋━━━━━━━━━┫  ┃  〃
  II−8┃Si0.5 Al0.5 (300)┃
Si0.05Al0.95(100)┃  ┣━━━━
━━╋━━━━━━━━━╋━━━━━━━━━┫  
┃  〃  II−9┃Ge0.2 Al0.8 (4
00)┃  Al(200)  ┃  ┣━━━━━━
╋━━━━━━━━━╋━━━━━━━━━┫  ┃ 
 〃  II−10┃Ge0.5 Al0.5 (30
0)┃Ge0.05Al0.95(100)┃  ┣━
━━━━━╋━━━━━━━━━╋━━━━━━━━━
┫  ┃  〃  II−11┃Zr0.2 Al0.
8 (400)┃  Al(200)  ┃  ┣━━
━━━━╋━━━━━━━━━╋━━━━━━━━━┫
  ┃  〃  II−12┃Zr0.5 Al0.5
 (300)┃Zr0.05Al0.95(100)┃
  ┗━━━━━━┻━━━━━━━━━┻━━━━━
━━━━┛  (  )内は膜厚を示す  単位:Å

0016】これらの記録媒体の記録パワ―とC/Nとの
関係を図4に示す。記録再生条件は以下の通り。 (記録条件):CAV1800rpm、半径30mm位
置、記録周波数3.7MHz、duty比22%(再生
条件):CAV1800rpm、再生パワ―1mw 図4より、反射層を本発明のごとく特定の材料で二層構
造にした実施例II−1は比較的低パワ―でC/Nが立
上がり、かつ高パワ―でもC/Nが低下しない。他の実
施例II−2〜II−12についても同様な結果が得ら
れた。これは、第1反射層の熱伝導率が小さく、かつ、
第2反射層の比熱が小さいため、低い記録パワ―でもビ
ットが書け、又、高パワ―において、熱伝導率の大きい
第2反射層で熱が拡散し磁性層に悪影響を与えずビット
が均一に保たれるためである。又、記録再生光が直接入
射する側の第1反射層の反射率が70%以上と十分高い
ため、適正な記録パワ―でのC/Nも十分確保出来る。 よって本発明のように反射層を特定の材料で2層構成に
することによって高感度でかつC/Nに対する記録パワ
―マ―ジンの大きな光磁気記録媒体が実現できる。
【0017】
【発明の効果】以上説明したように、本発明により反射
層を特定の材料で2層構造とすることによって、高感度
でかつC/Nに対する記録パワ―マ―ジンの大きな記録
媒体が実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】
【図2】本発明の光磁気記録媒体の層構成を説明する図
【図3】実施例I−1、2および比較例I−1、2の各
記録媒体の記録パワ―とC/Nとの関係を示す図、
【図
4】実施例II−1の記録媒体の記録パワ―とC/Nと
の関係を示す図である。
【符号の説明】
1  基板 2  干渉層 3  光磁気記録層 4  第1反射層 5  第2反射層 6  第2の干渉層

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  透明な基板上に干渉層、光磁気記録層
    および反射層が順次積層されてなる光磁気記録媒体にお
    いて、反射層が2層構成をなしており記録再生光が入射
    する側の第1反射層は反射率が高くかつ熱伝導率が小さ
    く、又第2反射層は熱伝導率が大きく比熱が小さいこと
    を特徴とする光磁気記録媒体。
  2. 【請求項2】  第1反射層の反射率が記録再生光に対
    して70%以上、熱電導率が0.4(cal/cm・s
    ・℃)以下であり、第2反射層の熱電導率が0.4(c
    al/cm・s・℃)以上、比熱が0.3(cal/g
    ・℃)以下であることを特徴とする請求項1記載の光磁
    気記録媒体。
  3. 【請求項3】  第1反射層及び第2反射層が、共に以
    下に示すような組成のAl合金から成ることを特徴とす
    る請求項1記載の光磁気記録媒体。   ○第1の反射層  RXAl1−X  0.1≦X
    ≦0.5  ○第2の反射層  RXAl1−X  O
    <X<0.1                  R
    :Ti,Ta,Si,Ge,Zrから選ばれる1つ以上
    の                  元素
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JP2-182710 1990-07-12
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2004038716A1 (ja) * 2002-10-25 2004-05-06 Fujitsu Limited 光磁気記録媒体

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2004038716A1 (ja) * 2002-10-25 2004-05-06 Fujitsu Limited 光磁気記録媒体
WO2004038715A1 (ja) * 2002-10-25 2004-05-06 Fujitsu Limited 光磁気記録媒体、情報記録/再生方法、および磁気記録装置

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