JPH03273544A - 光磁気記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はレーザー光を用いて情報の記録、再生、消去を
行う光磁気記録媒体に関するものである。

〔従来の技術〕

光磁気ディスクはレーザー光を用いて情報の記録、再生
及び消去を行うため記憶容量が大きく、しかも記録膜に
磁性体を用いているため書換えが可能である。又非接触
で記録、再生が出来、塵埃の影響を受けないことから安
定性にも優れている。

この光磁気記録層（以下記録層と記す）に用いる材料と
してはＴｂＦｅＣｏ、　ＮｄＤｙＦｅＣｏ、ＴｂＤｙＦ
ｅＣｏ等の希土類−遷移金属（ＲＥ−丁Ｍ）非晶質合金
が知られており、これらの非晶質合金は５粒界ノイズが
無く。

スパッタリング等を用いることによって容易に垂直磁化
膜が得られることから盛んに開発が行われており、現在
一部では商品化の段階に至っている。

この光磁気記録媒体の構成として、レーザー光の記録再
生効率を向上させるために記録層を２００〜３００Ａの
厚さまで薄くし、その上に反射層を設ける方式が提案さ
れている（特公昭６２−２７４５８号公報等）。この場
合、反射層は反射率が高いことが望ましく、そのような
構成材料としてはＡＱ、　Ａｇ、　Ａｕ、Ｃｕ等の金属
が挙げられる。上記方式はカー効果とファラデー効果の
両方が利用できるためＣ／Ｎやジッダマージンが大きく
とれるという点で優れている。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかしながら、上記従来技術には以下のような問題点が
あった。

反射層の材料としてＡｕ、　Ａｇ、Ａ！ｉ、Ｃｕ等のよ
うな、記録再生光であるレーザー光に対して反射率の高
い材料を用いた場合、Ｃ／Ｎ　＋特にキャリアレベルが
大きくなるが、Ａｕ−Ａｇ、　Ｃｕのように熱伝導率も
高い材料は、記録時に反射層においてレーザー光照射に
よる熱が拡散してしまい、反射層を用いない構成の媒体
に比べて記録感度が大幅に低下してしまうといった欠点
を有している。このため、反射率の高い上記の材料の中
でも比較的熱伝導率が小さい脚が現在一般に用いられて
いる。ところが、光磁気記録媒体の高速化に対応した記
録用レーザーパワーを考慮するとＡＱ反射層では感度上
十分とは言えない。又、肝反射層の場合、高温高湿度な
環境条件下において、酸化によって反射率が変化し、Ｃ
／Ｎが低下したり、孔食の発生によってエラーレートが
増加したりしてしまうといった欠点がある。

本発明は以上のような従来技術の問題点を解決するため
になされたもので、記録感度及び再生Ｃ／Ｎが高く、か
つ経時安定性に優れた反射層タイプの光磁気記録媒体を
提供することを目的とする。

〔課題を解決するための手段及び作用〕本発明者は上記
目的を達成すべく鋭意検討を重ねた結果、反射層をＮｉ
Ｃｒ合金薄膜で構成することによって、記録感度が高く
かつキャリアレベルが高く、シかも経時安定性に優れた
光磁気記録媒体が得られることを見出し５本発明を完成
するに至った。

即ち、本発明によれば、透明な基板上に少なくとも干渉
層、光磁気記録層および反射層が順次積層されてなる光
磁気記録媒体において、前記反射層がＮｉＣｒ合金薄膜
からなることを特徴とする光磁気記録媒体が提供される
。

以下本発明を図面に基づき詳細に説明する。

第１図は本発明による反射層タイプの光磁気記録媒体の
一構成例を示す断面図である。この媒体はプリグループ
付の透明な基板１上に干渉層２、記録層３及び反射層４
を順次積層して構成されている。

本発明の光磁気記録媒体の構成上の特徴は、反射層４を
ＮｉＣｒ合金薄膜で構成した点にある。

本発明の光磁気記録媒体を構成する材料及び各層の必要
特性について説明すると、先ず、透明基板１としてはポ
リカーボネート（ｐｃ）、ポリメチルメタクリレート（
ＰＭＭＡ）、アモルファスポリオレフィン（ＡＰＯ）等
の樹脂からなるプラスチック基板、又はアルミノ珪酸、
バリウム硼珪酸等のガラス上に溝付き樹脂を形成した基
板等が挙げられる。これらの基板は、ディスク形状をな
し、厚みが１．２＠ｍ程度のものが一般に使用される。

記録層３としてはＴｂＦｅＣｏ、　ＮｄＤｙＦｅＣｏ、
　ＴｂＤｙＦｅＣ。

等の希土類金属と遷移金属との非晶質合金薄膜。

ＢａＦＪｚＯｘｓ、ＣｏＦｅ２Ｏ４，（Ｂｉ、Ｙ）、Ｆ
ｅ５０□２等の酸化物薄膜、ＭｎＢ１、ＣｏＰｔ等の多
結晶合金薄膜が挙げられ、これらはいずれも膜面に垂直
な方向に磁化容易軸を有している、膜厚は合金薄膜の場
合、１００〜１０００人、好ましくは２００〜４００λ
である。酸化物薄膜の場合、多くは記録再生光に対して
透光性が大きいので特に膜厚に制約はないが＋　１００
０〜５０００λが適当である。又記録層３は単層膜に限
らず多層膜でも良い。

干渉層３は基板１と記録層３との間に設けられる。

干渉層３は、この層に屈折率の高い（１，８以上）透明
膜を用い、光の干渉効果によって磁気光学効果をエンハ
ンスメントさせ、又反射率を落とすことでノイズを低下
させ、Ｃ／Ｎを向上させることを目的として設けられる
。又、記録層３が希土類金属と遷移金属とからなる非晶
質合金薄膜により構成される場合には、酸化等の腐食を
防止する機能も兼ね備えていなければならない。即ち、
空気中や基板１からの水分や酸素の侵入を防ぎ、それ自
身の耐食性が高く、記録層３との反応性が小さいことが
必要であり、具体的な材料としては、５ｉＯ１Ｓｉｎ２
、Ａｆｆ２０３、Ｔａ２Ｏ，等の金属酸化物、８４Ｃ，
ＳｉＣ等の無機炭化物、ＺｒＳ等の金属硫化物が挙げら
れる。

これらの材料は複合して用いても良く（例えば、５ｉＡ
ＱＯＮ、　５ｉＺｒＮ等）、また単層膜に限らず多ＮＷ
Ａであっても良い。膜厚は屈折率によって最適値が異な
るが、通常３００〜１５００Å、好ましくは８００−１
２００人である。

反射層４は本発明の特徴となるもので、前述したように
、ＮｉＣｒ合金が構成材料として使用される。

ＮｉとＣｒの組成比は３０ニア０〜８５：１５程度が適
当である。

上記範囲外であると耐食性が著しく悪化したり、反射率
が低下するといった不都合が生じる６本発明のＮｉＣｒ
反射層４は記録再生光（波長：８３０ｎｍ）に対する反
射率が６５−８０％、熱伝導率がＯ，１５−０，３ｃａ
Ｌ’ｃｍ・ｓｅｃ・℃であるため、みかけ上のカー回転
角を増大させ再生信号を大きくするとともに、記録時に
おけるレーザー光照射による熱の拡散を小さくシ記録感
度を向上させるように作用する。Ｎｊ　Ｃｒ合全中には
さらに耐食性等の特性改善のため他の元素（阿ｎ−Ｆｅ
等）を小量含有させても良い。反射層４の膜厚は２００
〜１０００Ａが好ましく、３００〜８００Ａが特に好ま
しい。膜厚が薄すぎた場合にはＣ／Ｎが低下し、厚すぎ
た場合には記録感度が低下する６基板１上に干渉層２．
記録層３及び反射層４を形成する手段としては、スパッ
タリング、イオンブレーティング等の物理蒸着法、プラ
ズマＣｖＤのような化学蒸着法等が用いられる。又層構
成は第１図に示した構成以外に、記録Ｎ３と反射Ｎ４と
の間にさらに第２の干渉層５を設けたり（第２図）、反
射層４の上に保護層を設けたり、又それらの膜面どうし
を接着剤によって貼り合わせた両面記録タイプの構成で
も本発明の効果はそこなわれない。

〔実施例〕

次に実施例をあげて本発明をさらに詳細に説明するが、
本発明はここに例示の実施例に限定されるものではない
。

（実施例１〜３） 直径１３０ｍ＋＋＋、厚さ１、２ｍｍのプリグループ付
ポリカーボネート基板をスパッタリング装置の真空槽内
にセットし、５　Ｘ　１０−’　Ｔｏｒｒ以下になるま
で真空排気した。次にＡｒとＮ２との混合ガスを真空槽
内に導入し、圧力を５　Ｘ　ＩＦ３Ｔｏｒｒに調整し、
　Ｓｉをターゲットとして放電電力２ｋＷ　（４ｔｌ／
ｃｍ２）で高周波スパッタリングを行い、基板上に干渉
層としてＳｉＮ膜を１０００Ａ堆積した。続いて記録層
としてＴｂｘ□ＤｙｘｚＦｅｂｅＣＯｅ合金（添数字は
組成（原子％）を示す）をターゲットとし、て同様にス
パッタリングによってＴｂＤｙＦｅＣｏ膜を２５ＯＡ設
けた。更にＣｒチップを配置した〜１ターゲットをスパ
ッタリングし５００　Ａ厚のＮｉＣｒ合金からなる反射
層を形成し、実施例１〜３の記録媒体とした。なお、反
射層中のＣｒの量はＮｉターゲッ１〜上のＣｒチップの
数をかえてｍ節し、表−１に示す反射膜組成とした。

（比較例） 上記実施例と同様にして記録層までの形成を行い、その
上に反射層としてＡＱ膜をスパッタリングによって５０
０人形威し、比較例の記録媒体とした。

以上のようにして作製した各記録媒体のＣハ及び記録感
度を測定した。その結果を表−１に示す。

記録感度は２次歪みが最小になるときの記録パワーとし
た。なお、記録再生条件は以下の通りとした。

記録条件：　ＣＡＶ　１８００ｒｐｍ、半径３０ｍｍの
ｉｉｌ！録位置。

記録周波数３．７ＭＨｚ 再生条件：　ＣＡＶ　１８００ｒｐｍ、再生パワー１ｍ
Ｗ表−１ 表−１より、ＮｉＣｒ合金を反射層に用いた実施例の記
録媒体の場合、ＮｉＣｒはＡＱに比べて熱伝導率が小さ
いため、肝を反射層に用いた比較例の記録媒体に比へ、
いずれも記録感度が向上していることがわかる。又、実
施例１と比較例の媒体の膜面どうしを接着剤によって貼
り合わせて、両面記録タイプの記録媒体を作成し、この
記録媒体について８０℃、８５％ＲＨの環境条件下で寿
命の加速試験を行った。その結果を第３図に示す、この
試験の結果、比較例の記録媒体方は１０００時間でビッ
トエラーレート（ＢＥＲ）が約１桁増加したにもかかわ
らず、実施例１の記録媒体の方は２０００時間経過した
後もピットエラーレートに大きな変化は認められなかっ
た。

つまり本発明のように反射層にＮｉＣｒ合金を用いた場
合、記録感度が向上するだけでなく経時安定性も改良さ
れることが確認された。

〔発明の効果〕

以上詳細に説明したように、本発明によれば、反射率が
高く熱伝導率の小さいＮｉＣｒ合金を用いて反射層を構
成したので、記録感度及び再生Ｃ／Ｎが高く、かつ経時
安定性に優れた光磁気記録媒体の提供が可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による光磁気記録媒体の層構成例を示す
断面図、第２図は本発明による光磁気記録媒体の別の層
構成例を示す断面図、第３図は実施例１及び比較例の記
録媒体の加速試験結果を示すグラフである。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）透明な基板上に少なくとも干渉層、光磁気記録層
   および反射層が順次積層されてなる光磁気記録媒体にお
   いて、前記反射層がＮｉＣｒ合金薄膜からなることを特
   徴とする光磁気記録媒体。