KR100591567B1 - 기판 대기장치 및 그것을 구비한 기판 처리장치 - Google Patents

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Abstract

한쌍의 기판 대기 암은, 안쪽으로 다단계적으로 진퇴한다. 각 기판 지지부는 피스톤 로드가 상승한 상태에서 피스톤 로드, 푸셔핀 지지부 및 푸셔핀이 기판 대기 암 및 반송롤러에 닿지 않도록 배치되어 있다. 피스톤 로드가 가장 상승한 상태에서는 각 푸셔핀의 선단은 기판 대기암보다도 상방에 위치하고, 피스톤 로드가 가장 하강한 상태에서는 각 푸셔(pusher)핀의 선단(先端)은 복수의 반송롤러보다도 하방에 위치한다.
기판, 대기, 진퇴, 푸셔핀, 지지, 반송롤러, 피스톤 로드, 처리장치

Description

기판 대기장치 및 그것을 구비한 기판 처리장치{Substrate waiting apparatus and substrate processing apparatus using the same}
도 1은 본 발명의 일실시형태에 관한 기판 대기장치의 개략적 평면도이다.
도 2는 도 1의 기판 대기장치의 개략적 정면도이다.
도 3은 도 1의 기판 대기 암의 모식적 평면도이다.
도 4는 도 3의 기판 대기 암의 모식적 정면도이다.
도 5는 도 1의 기판 대기장치의 제어계의 구성을 나타내는 블럭도이다.
도 6은 기판 대기장치의 동작을 나타내는 모식도이다.
도 7은 기판 대기장치의 동작을 나타내는 모식도이다.
도 8은 기판 대기장치의 동작을 나타내는 모식도이다.
도 9는 기판 대기장치의 동작을 나타내는 모식도이다.
도 10은 기판 대기장치의 동작을 나타내는 모식도이다.
도 11은 본 발명의 제2 실시형태에 관한 기판 대기장치의 개략적 평면도이다.
도 12는 본 발명의 제2 실시형태에 관한 기판 대기장치의 개략적 평면도이다.
도 13은 본 발명의 제3 실시형태에 관한 기판 대기장치의 개략적 평면도이 다.
도 14는 본 발명의 제3 실시형태에 관한 기판 대기장치의 개략적 평면도이다.
본 발명은 유리기판을 일시적으로 대기시키는 기판 대기장치 및 그것을 구비한 기판 처리장치에 관한 것이다.
액정 표시장치용 유리기판, 포토마스크용 유리기판, 광디스크용 유리기판 등의 유리기판에 여러가지 처리를 행하기 위해 기판 처리장치가 사용되고 있다. 예컨대, 생산 효율을 높이기 위해, 일련의 처리 각각을 유닛화하고, 복수의 처리 유닛을 통합한 기판 처리장치가 사용되고 있다.
이 기판 처리장치에 있어서는, 각 처리유닛 사이의 유리기판의 받아 넘김에 일시적으로 유리기판을 대기시키는 기판 대기장치가 설치된다(예컨대, 일본특허공개 평10-154652호 공보 및 일본특허공개 평9-199460호 공보 참조).
유리기판은, 기판 반송장치에 따라 기판 처리장치내로 공급된다. 이 경우, 기판 처리장치내의 기판 대기장치는, 유리기판을 받아 들여 일시적으로 기판을 대기시킨 후, 유리기판을 소정의 처리공정으로 이행시킨다.
그렇지만, 근래에는 유리기판이 대구경화(大口徑化)하고 있고, 유리기판을 지지하는 기판 반송장치의 반송암(기판 지지부)이 여러 종류의 다양한 형상을 갖도 록 되어 있다. 이 경우, 기판 반송장치의 반송암의 형상을 변경할 때마다 기판 대기장치를 다시 설계하면 코스트가 든다.
본 발명의 목적은, 임의의 형상을 가지는 기판 지지부에 대해서 유리기판을 받아 넘기는 것이 가능한 기판 대기장치 및 그것을 구비한 기판 처리장치를 제공하는 것이다.
본 발명에 관한 기판 대기장치는, 유리기판을 지지한 상태로 대기위치에 진퇴(進退) 가능한 기판 반송수단에 대해서 상기 대기위치에서 유리기판의 받아 넘김을 행하는 기판 대기장치로서, 기판 반송수단의 진퇴경로의 측방에서 진퇴경로에 교차하는 방향을 따라 대기위치에 대해서 진퇴 가능하게 설치되고, 유리기판의 하면을 지지하는 기판 대기수단과, 대기위치보다도 낮은 위치에서 대기위치보다도 높은 위치까지 상하 이동 가능하게 설치되며, 유리기판의 하면을 지지하는 기판 지지수단과, 기판 반송수단과 기판 대기수단과의 사이에서의 유리기판의 받아 넘김 및 기판 대기수단과 기판 지지수단과의 사이에서의 유리기판의 받아 넘김이 행해지도록 기판 대기수단 및 기판 지지수단을 제어하는 제어수단을 구비한 것이다.
본 발명에 관한 기판 대기장치에서는, 유리기판이 기판 반송수단에 의해 기판 대기위치로 반입 또는 기판 대기위치에서 반출된다. 기판 대기수단은, 기판 반송수단의 진퇴경로의 측방에서 그 진퇴경로에 교차하는 방향을 따라 진퇴한다. 그것에 의해, 기판 대기수단과 기판 반송수단과의 접촉이 회피된다. 그 결과, 기판 대기장치는 임의의 형상을 가지는 기판 반송수단에 대해서 유리기판을 받아 넘기는 것이 가능하다.
또한, 기판 지지수단은, 기판 대기위치보다도 낮은 위치에서 기판 대기위치보다도 높은 위치까지 상승한다. 그것에 의해, 기판 대기수단과 기판 지지수단과의 사이에서 유리기판의 받아 넘김이 행해진다.
기판 지지수단은, 기판 대기수단이 대기위치로 전진한 상태에서 기판 대기수단에 접촉하지 않도록 상하 이동 가능하게 배치되어도 된다.
이 경우, 기판 지지수단이 상하 이동하여도 대기위치로 전진한 기판 대기수단에 접촉하는 것은 아니다. 따라서, 기판 대기수단과 기판 지지수단과의 사이에서 유리기판의 받아 넘김이 행해진다.
기판 대기수단은, 기판 반송수단의 진퇴경로의 측방에 배치된 제1 부재와, 제1 부재에 대해서 대기위치로 향하는 방향에 진퇴 가능하게 설치된 1 또는 복수의 제2 부재와, 1 또는 복수의 제2 부재상에 설치되어, 유리기판의 하면을 지지하는 지지부를 포함하여도 된다.
이 경우, 지지부가 유리기판을 지지하면서, 제1 부재로부터 1 또는 복수의 제2 부재가 대기위치로 향해서 진퇴한다. 따라서, 기판 대기수단과 기판 반송수단과의 사이에서 유리기판의 받아 넘김을 행할 수 있다.
지지부는, 기판 반송수단이 기판을 지지하는 지점중 가장 바깥쪽의 지점보다도 안쪽을 지지하여도 된다. 이 경우, 기판 반송수단이 유리기판을 지지하는 지점중 가장 바깥쪽의 지점보다도 안쪽의 지점이 지지부에 의해 지지된다. 따라서, 지 지부가 유리기판을 지지할 때 유리기판의 휘어짐을 저감할 수 있다.
기판 지지수단은, 대기위치의 유리기판의 하면에 접촉 가능하게 상하 이동 자유롭게 설치된 복수의 접촉부재와, 복수의 접촉부재를 상하 이동시키는 구동수단을 포함하여도 된다. 이 경우, 복수의 접촉부재는 구동수단에 의해 상하 이동한다. 따라서, 기판 지지수단은 기판 대기수단과의 사이에서 유리기판의 받아 넘김을 행할 수 있다.
기판 대기수단보다도 낮은 위치이며 또 기판 지지수단의 최하 위치보다도 높은 위치에 설치되어, 유리기판을 반송하는 반송수단을 더 구비하여도 된다. 이 경우, 기판 지지수단은 반송수단보다 낮은 위치에서 기판 대기위치까지 상하 이동한다.
따라서, 기판 지지수단이 상하 이동하는 것에 의해, 기판 지지수단과 반송수단과의 사이에서 유리기판의 받아 넘김을 행할 수 있다.
유리기판에 처리를 행하기 위한 기판 처리장치로서, 유리기판을 지지한 상태로 대기위치에 진퇴 가능하게 설치된 기판 방송수단과, 기판 반송수단의 진퇴경로의 양 측방으로부터 진퇴경로에 교차하는 방향을 따라 대기위치로 진퇴 가능하게 설치되고, 유리기판의 하면을 지지하는 적어도 한쌍의 기판 대기수단과, 대기위치보다도 낮은 위치에서 대기위치보다도 높은 위치까지 상하 이동 가능하게 설치되며, 유리기판의 하면을 지지하는 기판 지지수단과, 기판 반송수단과 기판 대기수단과의 사이에서의 유리기판의 받아 넘김 및 기판 대기수단과 기판 지지수단과의 사이에서의 유리기판의 받아 넘김이 행해지도록 기판 대기수단 및 기판 지지수단을 제어하는 제어수단을 구비한 것이다.
반송수단은, 진퇴방향과 교차하는 방향으로 연장되는 복수의 롤러와, 복수의 롤러를 회전 가능하게 지지하는 롤러 지지수단과, 복수의 롤러를 회전 구동하는 롤러 구동수단을 포함하여도 된다.
이 경우, 복수의 롤러가 롤러 구동수단에 의해 회전 구동되는 것에 의해 기판이 진퇴방향으로 반송된다.
본 발명에 관한 기판 처리장치에서는, 유리기판이 기판 반송수단에 의해 기판 대기위치로 반입 또는 기판 대기위치에서 반출된다. 기판 대기수단은 기판 반송수단의 진퇴경로의 측방에서 그 진퇴경로에 교차하는 방향을 따라서 진퇴한다. 그것에 의해, 기판 대기수단과 기판 반송수단과의 접촉이 회피된다. 그 결과, 기판 처리장치는 임의의 형상을 가지는 기판 반송수단에 대해서 유리기판을 받아 넘기는것이 가능하다.
또한, 기판 지지수단은 기판 대기위치보다도 낮은 위치에서 기판 대기위치보다도 높은 위치까지 상승한다. 그것에 의해, 기판 대기수단과 기판 지지수단과의 사이에서 유리기판의 받아 넘김이 행해진다. 따라서, 기판 대기위치는 임의의 형상을 가지는 기판 반송수단에 대해서 유리기판을 받아 넘기는 것이 가능하다.
(바람직한 실시예의 설명)
(제1 실시형태)
도 1은 본 발명의 일실시형태에 관한 기판 대기장치(100)의 개략적 평면도이고, 도 2는 도 1의 기판 대기장치(100)의 개략적 정면도이다. 이하, 도 1 및 도 2 를 참조하여 기판 대기장치(100)의 설명을 행한다.
여기서, 서로 직교하는 3방향을 제1 방향(X), 제2 방향(Y) 및 제3 방향(Z)으로 한다. 제3 방향(Z)은 연직 상향을 지시하고 있다. 제1 방향(X) 및 제2 방향(Y)은 수평면을 형성한다.
또한, 유리기판이란 액정표시용 유리기판, PDP(플라즈마 디스플레이 패널)용 유리기판, 포토마스크용 유리기판 등을 말한다. 이하, 유리기판을 기판이라 약기(略記)한다.
도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이, 기판 대기장치(100)는 한쌍의 암 지지판(101), 한쌍의 롤러 지지판(102), 복수의 반송롤러(103), 한쌍의 기판 대기암(110), 복수의 기판 지지부(120) 및 반송롤러 구동부(130)(도 10 참조)를 포함한다.
한쌍의 암 지지판(101)은, 도 2의 저면(底面)부재(105)의 양측에 제2 방향(Y)을 따라서 수직으로 설치되어 있다. 롤러 지지판(102)은, 암 지지판(101)의 내측에서 제2 방향(Y)을 따라서 저면부재(105)에 수직으로 설치되어 있다.
한쌍의 기판 대기암(110)은 한쌍의 암 지지판(101)의 상단부에 각각 설치되어 있다.
한쌍의 기판 대기암(110)은, 안쪽으로 다단계적으로 진퇴하는 복수의 부재로 구성된다. 또한, 각 기판 대기암(110)의 상면에는 복수의 기판 지지핀(111)이 설치되어 있다. 그것에 의해, 복수의 기판 지지핀(111)상에 기판(W)을 올려 놓는 것이 가능하다. 기판 대기암(110)의 구조 및 동작의 상세는 후술한다.
복수의 반송롤러(103)는, 기판 대기암(110)보다도 하방에 제1 방향(X)에서 약간 경사진 방향으로 연장되도록 설치되어 있고, 양단부가 한쌍의 롤러 지지판(102)의 각각에 회전이 자유롭게 설치되어 있다. 후술하는 반송롤러 구동부(130)의 구동에 의해, 각 반송롤러(103)는 일제히 동일 방향으로 회전한다. 그것에 의해, 기판(W)을 반송롤러(103)상에 지지하면서 제2 방향(Y)으로 반송할 수 있다.
각 기판 지지부(120)는 푸셔핀 구동부(121), 피스톤 로드(122), 푸셔핀 지지부(123) 및 복수의 푸셔핀(124)을 구비한다.
피스톤 로드(122)는 푸셔핀 구동부(121)에 제3 방향(Z)으로 신축 가능하게 설치되어 있다. 푸셔핀 지지부(123)는, 제1 방향(X)으로 연장되도록 피스톤 로드(122)의 상단부에 설치되어 있다. 각 푸셔핀(124)은, 푸셔핀 지지부(123)상에 제3 방향(Z)으로 연장되도록 설치되어 있다.
각 기판 지지부(120)는 피스톤 로드(122)가 상승한 상태에서 피스톤 로드(122), 푸셔핀 지지부(123) 및 푸셔핀(124)이 기판 대기암(110) 및 반송롤러(103)에 닿지 않도록 배치되어 있다.
피스톤 로드(122)가 가장 상승한 상태에서는 각 푸셔핀(124)의 선단은 기판 대기암(110)보다도 상방에 위치하고, 피스톤 로드(122)가 가장 하강한 상태에서는 각 푸셔핀(124)의 선단은 복수의 반송롤러(103)보다도 하방에 위치한다.
도 1의 반송암(200)은, 기판 대기장치(100)에 진퇴 가능, 상하이동 가능 및 제3 방향(Z)의 주위로 회전 가능하게 설치되어 있다. 반송암(200)에 의해, 기판 대 기장치(100)에 기판(W)이 반입된다. 반송암(200)은 유지부(201) 및 복수의 봉(棒)모양의 지지부(202)에 의해 구성된다. 복수의 지지부(202)는 서로 평행하게 유지부(201)에 설치되어 있다. 반송암(200)은, 지지부(202)상에 기판(W)을 지지한 상태로 기판 대기장치(100)로 진입하고, 도 2에 나타내는 상태에서 하강하는 것에 의해 기판 지지핀(111)상에 기판(W)을 반입한다.
도 3은 도 1의 기판 대기암(110)의 모식적 평면도이다. 도 4는 도 3의 기판 대기암(110)의 모식적 정면도이다. 이하, 도 3 및 도 4를 참조하여 기판 대기암(110)의 구조 및 동작을 설명한다.
도 3 및 도 4에 나타내는 바와 같이, 기판 대기암(110)은, 복수의 기판 지지핀(111), 암부(112, 113, 114) 및 암용 실린더(115, 116)를 포함한다.
암용 실린더(115)는, 피스톤부(115a) 및 실린더부(115b)를 포함한다. 암용 실린더(116)는, 피스톤부(116a) 및 실린더부(116b)를 포함한다. 피스톤부(115a)는 실린더부(115b)에 제1 방향(X)을 따라 진퇴 자유롭게 설치되어 있다. 피스톤부(116a)는 실린더부(116b)에 제1 방향(X)을 따라 진퇴 자유롭게 설치되어 있다.
암부(114)의 상면에는, 암용 실린더(116)가 제1 방향(X)으로 연장되도록 설치되어 있다. 암용 실린더(116)의 피스톤부(116a)의 선단부는 암부(113)의 하면에 설치되어 있다. 그것에 의해, 피스톤부(116a)와 암부(113)가 일체로 되어 암부(114)에 대해서 상대적으로 진퇴한다.
암부(113)의 상면에는, 암용 실린더(115)가 제1 방향(X)으로 연장되도록 설 치되어 있다. 암용 실린더(115)의 피스톤부(115a)의 선단부는 암부(114)의 하면에 설치되어 있다. 그것에 의해, 피스톤부(115a)와 암부(112)가 일체로 되어 암부(113)에 대해서 상대적으로 진퇴한다.
암부(112)는, 제2 방향(Y)으로 연장되는 프레임(117)과 제1 방향(X)으로 연장되는 복수의 암(118)으로 구성된다. 암부(112)의 암(118)의 양단부의 상면에는, 기판 지지핀(111)이 제3 방향(Z)으로 연장되도록 설치되어 있다.
다음에, 기판 대기암(110)의 동작에 대해서 설명한다.
도 3의 (a) 및 도 4의 (a)는, 기판 대기암(110)의 동작 이전의 상태를 나타낸다.
전진(前進)동작의 경우에는, 제어부로부터 신호를 수신하는 것에 의해, 도 3의 (b) 및 도 4의 (b)에 나타내는 바와 같이, 피스톤부(116a)가 전진한다. 그것에 따라서, 암부(112, 113)가 피스톤부(116a)와 일체로 되어 암부(114)에 대해서 전진한다. 계속해서, 도 3의 (c) 및 도 4의 (c)에 나타내는 바와 같이, 피스톤부(115a)가 전진한다. 그것에 따라서, 암부(112)가 피스톤부(115a)와 일체로 되어 암부(113)에 대해서 전진한다.
후퇴동작의 경우에는, 제어부로부터 신호를 수신하는 것에 의해, 피스톤부(115a)가 후퇴한 후, 피스톤부(116a)가 후퇴한다. 그것에 의해, 기판 대기암(110)은 도 3의 (a) 및 도 4의 (a)에 나타내는 바와 같이 동작 이전의 상태로 되돌아간다.
또, 본 실시형태에 있어서는, 전진동작의 경우에는 피스톤부(116a)가 전진한 후 피스톤부(115a)가 전진하고, 후퇴동작의 경우에는 피스톤부(115a)가 후퇴한 후 피스톤부(116a)가 후퇴하고 있지만, 그것에 한정되는 것은 아니다.
예를 들면, 전진동작의 경우에는 피스톤부(115a)가 전진한 후 피스톤부(116a)가 전진하고, 후퇴동작의 경우에는 피스톤부(116a)가 후퇴한 후 피스톤부(115a)가 후퇴하여도 된다. 또한, 피스톤부(115a, 116a)가 동시에 전진, 후퇴하여도 된다.
도 5는 도 1의 기판 대기장치(100)의 제어계의 구성을 나타내는 블럭도이다. 제어부(300)는 CPU(중앙연산처리장치), 반도체 메모리 등으로 이루어진다. 도 5에 나타내는 바와 같이, 제어부(300)는, 암용 실린더(115, 116), 푸셔핀 구동부(121), 반송롤러 구동부(130) 및 반송암 구동부(203)를 제어한다. 반송롤러 구동부(130)는 도 1 및 도 2의 반송롤러(103)를 회전 구동한다. 또한, 반송암 구동부(203)는 도 1 및 도 2의 반송암(200)을 구동한다. 제어부(300)는 이하에 나타내는 반송암(200)에 의한 기판(W)의 반입에서 반송롤러(103)에 의한 기판(W)의 반출까지의 동작을 제어한다.
도 6~도 10은, 기판 대기장치(100)의 동작을 나타내는 모식도이다. 이하, 도 1 및 도 6~도 10을 참조하여 기판 대기장치(100)의 기판 반입동작을 설명한다.
또, 도 6~도 10에 있어서는, 도 1의 반송롤러(103) 및 기판 지지부(120)는 도시를 생략하고 있다.
우선, 도 1에 나타내는 바와 같이, 기판 대기암(110)이 전진한다(도 3의 (c) 및 도 4의 (c)의 상태). 다음에, 도 6에 나타내는 바와 같이, 기판(W)을 지지하는 반송암(200)이 제2 방향(Y)으로 이동하여 기판 대기장치(100)로 진입하여 정지한다.
이어서, 반송암(200)이 하강한다. 기판 지지핀(111)의 높이는, 지지부(202)의 두께보다도 크다. 그것에 의해, 도 7에 나타내는 바와 같이, 복수의 기판 지지핀(111)에 의해 기판(W)이 지지되면, 기판(W)은 지지부(202)에서 멀어진다. 이때, 복수의 기판 지지핀(111)은, 지지부(202)가 기판을 지지하는 지점중 가장 바깥쪽의 지점의 바깥쪽 및 안쪽을 지지한다. 그것에 의해, 기판(W)의 휘어짐을 방지할 수 있다.
기판 지지핀(111)에 기판(W)이 지지되면, 반송암(200)의 하강동작이 정지한다. 그 후, 반송암(200)은, 제2 방향(Y)과 역방향으로 후퇴한다. 이 상태로 기판(W)은 기판 지지핀(111)상에서 대기한다.
그 후, 도 8에 나타내는 바와 같이, 피스톤 로드(122)가 상승하고, 기판(W)이 복수의 푸셔핀(124)에 의해 지지된다. 그것에 의해, 기판(W)은 기판 지지핀(111)에서 멀어진다.
이어서, 도 9에 나타내는 바와 같이, 기판 대기암(110)이 후퇴한다(도 3의 (a) 및 도 4의 (a)의 상태). 이 상태에서는 피스톤 로드(122)가 하강하여도 기판(W)과 기판 대기암(110)이 접촉하는 일은 없다.
다음에, 도 10에 나타내는 바와 같이, 피스톤 로드(122)가 하강하고, 기판(W)이 복수의 반송롤러(103)에 의해 지지된다. 그것에 의해, 기판(W)은 피스톤 로드(122)에서 멀어진다. 그 후, 기판(W)은 반송롤러(103)에 의해 반송된다.
또, 복수의 기판(W)이 순서대로 반송암(200)에서 기판 대기장치(100)로 공급되는 경우에는, 하나의 기판(W)이 반송롤러(103)로 인도된 후에 다음 기판(W)이 반송암(200)에서 공급되며, 도 6 ~ 도 10의 동작이 반송된다.
이상, 도 6 ~ 도 10에서 설명한 바와 같이, 본 실시형태에 관한 기판 대기장치(100)는 반송암(200)에 의해 공급된 기판을 소정의 처리공정으로 이행시킬수 있다.
또한, 본 실시형태에 관한 기판 대기장치(100)는 기판 대기암(110)이 반송암(200)의 진퇴경로의 측방에 진퇴 가능하게 설치되어 있으므로, 임의의 형상의 지지부(202)를 가지는 반송암(200)에 대해서 기판의 받아 넘김이 가능하다.
또, 본 실시형태에 있어서는, 기판 대기장치(100)는, 반송암(200)에 의해 공급된 기판을 소정의 처리공정으로 이행시켰지만, 그것에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 반송롤러(103)에 의해 반송된 기판을 기판 지지부(120)가 받아 들이고, 기판 지지부(120)의 상승 후에 기판 대기암(110)이 기판을 받아 들이며, 반송암(200)이 그 기판을 받아들여도 된다.
본 실시형태에 있어서는, 반송암(200)이 기판 반송수단에 상당하고, 기판 대기암(110)이 기판 대기수단에 상당하며, 기판 지지부(120)가 기판 지지수단에 상당하고, 제어부(300)가 제어수단에 상당하며, 암부(114)가 제1 부재에 상당하고, 암부(112, 113)가 제2 부재에 상당하며, 기판 지지핀(111)이 지지부에 상당하고, 푸셔핀(124)이 접촉부재에 상당하며, 푸셔핀 구동부(121)가 구동수단에 상당하고, 반송롤러(103) 및 롤러 지지판(102)이 반송수단에 상당한다. 반송롤러(103)가 롤러에 상당하고, 롤러 지지판(102)이 롤러 지지수단에 상당하며, 반송롤러 구동부(130)가 롤러 구동수단에 상당한다.
(제2 실시형태)
도 11 및 도 12는, 본 발명의 제2 실시형태에 관한 기판 대기장치(100a)의 개략적 평면도이다. 이하, 도 11 및 도 12를 참조하여 기판 대기장치(100a)의 설명을 행한다.
또, 도 11 및 도 12에 있어서는, 도 1의 반송롤러(103) 및 기판 지지부(120)의 도시를 생략하고 있다.
도 11 및 도 12의 기판 대기장치(100a)가 도 1의 기판 대기장치(100)와 다른 점은, 기판 대기암(110a)의 암부(112a)의 형상이다. 도 11 및 도 12에 나타내는 바와 같이, 암부(112a)는 제2 방향(Y)으로 연장되는 프레임(117a)과 제1 방향(X)으로 연장되는 2개의 암(118)으로 구성된다. 각 암(118a)은 프레임(117a)의 양단부에서 제1 방향(X)으로 연장되도록 설치되어 있다. 각 암(118a)의 양단부의 상면에는 기판 지지핀(111)이 제3 방향(Z)으로 연장되도록 설치되어 있다.
여기서, 반송암(200a)의 지지부(202a)의 형상이 제2 방향(Y)에 하나의 대각선을 가지는 거의 마름모 형태인 경우를 생각한다. 이 경우, 우선 반송암(200a)이 제2 방향(Y)으로 이동해서 기판 대기장치(100a)로 진입하여 정지한다. 그 후, 도 12에 나타내는 바와 같이, 기판 대기암(110a)이 전진한다.
계속해서, 반송암(200a)이 하강하면, 기판(W)은 기판 지지핀(111)에 지지되어, 지지부(202a)에서 기판(W)이 멀어진다. 기판 지지핀(111)과 지지부(202a)가 동 일 수평면내에 위치할 때는 반송암(200a)이 진퇴하면 지지부(202a)의 일부와 기판 지지핀(111)이 접촉하기 때문에, 반송암(200a)은 기판 대기암(100a)보다도 하방으로 하강한다. 그 후, 반송암(200a)은 제2 방향(Y)과 역방향으로 후퇴한다. 그것에 의해, 반송암(200a)에서 기판 대기위치(100a)로 기판(W)의 받아 넘김이 완료한다.
이때, 기판 지지핀(111)은 지지부(202a)가 기판을 지지하는 지점중 가장 바깥쪽의 지점의 바깥쪽 및 안쪽을 지지한다. 그것에 의해, 기판(W)의 휘어짐을 방지할 수 있다.
이상, 도 11 및 도 12에서 설명한 바와 같이, 본 실시형태에 관한 기판 대기장치(100a)는 기판 대기암(110a)이 반송암(200a)의 진퇴경로의 측방에 진퇴 가능하게 설치되어 있으므로, 임의의 형상의 지지부(202a)를 가지는 반송암(200a)에 대해서 기판의 받아 넘김이 가능하다.
본 실시형태에 있어서는, 기판 대기암(110a)이 기판 대기수단에 상당하고, 암부(112a, 113a)가 제2 부재에 상당한다.
(제3 실시형태)
도 13 및 도 14는, 본 발명의 제3 실시형태에 관한 기판 대기장치(100b)의 개략적 평면도이다. 이하, 도 13 및 도 14를 참조하여 기판 대기장치(100b)의 설명을 행한다.
또, 도 13 및 도 14에 있어서는, 도 1의 반송롤러(103) 및 기판 지지부(120)의 도시를 생략하고 있다.
도 13 및 도 14의 기판 대기장치(100b)가 도 1의 기판 대기장치(100)와 다른 점은 기판 대기암(110b)의 암부(112b)의 형상이다. 도 13 및 도 14에 나타내는 바와 같이, 암부(112b)는 제2 방향(Y)으로 연장되는 프레임(117b)과 제1 방향(X)으로 연장되는 3개의 프레임(118b)으로 구성된다. 각 프레임(118b)은 프레임(117b)의 양단부 및 중앙부에서 제1 방향(X)으로 연장되도록 설치되어 있다. 각 암(118b)의 양단부의 상면에는, 기판 지지핀(111)이 제3 방향(Z)으로 연장되도록 설치되어 있다.
여기서, 반송암(200b)의 지지부(202b)의 형상이 거의 8자형인 경우를 생각한다. 이 경우, 우선 반송암(200b)이 제2 방향(Y)으로 이동하여 기판 대기장치(100b)로 진입한다. 그 후, 도 14에 나타내는 바와 같이, 기판 대기암(110b)이 전진한다.
계속해서, 반송암(200b)이 하강하면, 기판(W)은 기판 지지핀(111)에 지지되고, 지지부(202b)에서 기판(W)은 멀어진다. 기판 지지핀(111)과 지지부(202b)가 동일한 수평면내에 위치할 때는 반송암(200b)이 진퇴하면, 지지부(202b)의 일부와 기판 지지핀(111)이 접촉하기 때문에, 반송암(200b)은 기판 대기암(100b)보다도 하방으로 하강한다. 그 후, 반송암(200b)은 제2 방향(Y)과 역방향으로 후퇴한다. 그것에 의해, 반송암(200b)에서 기판 대기장치(100b)로의 기판(W)의 받아 넘김이 완료한다.
이때, 기판 지지핀(111)은, 지지부(202a)가 기판을 지지하는 지점중 가장 바깥쪽의 지점의 바깥쪽 및 안쪽을 지지한다. 그것에 의해, 기판(W)의 휘어짐을 방지할 수 있다.
이상, 도 13 및 도 14에서 설명한 바와 같이, 본 실시형태에 관한 기판 대기장치(100b)는, 기판 대기암(110b)이 반송암(200b)의 진퇴경로의 측방에 진퇴 가능 하게 설치되어 있으므로, 임의의 형상의 지지부(202b)를 가지는 반송암(200b)에 대해서 기판의 받아 넘김이 가능하다.
본 실시형태에 있어서는, 기판 대기암(110b)이 기판 대기수단에 상당하고, 암부(112b, 113)가 제2 부재에 상당한다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 의하면 기판 지지부가 기판을 지지하는 지점중 가장 바깥쪽의 지점의 바깥쪽 및 안쪽을 지지하는 것에 의해, 기판의 휘어짐을 방지할 수 있다는 효과가 있다.

Claims (14)

  1. 유리기판을 지지한 상태로 대기위치에 진퇴 가능한 기판 반송수단에 대해서 상기 대기위치에서 유리기판의 받아 넘김을 행하는 기판 대기장치로서,
    상기 기판 반송수단의 진퇴경로의 측방에서 상기 진퇴경로에 교차하는 방향을 따라 상기 대기위치에 대해서 진퇴 가능하게 설치되고, 유리기판의 하면을 지지하는 기판 대기수단과,
    상기 대기위치보다도 낮은 위치에서 상기 대기위치보다도 높은 위치까지 상하 이동 가능하게 설치되며, 유리기판의 하면을 지지하는 기판 지지수단과,
    상기 기판 반송수단과 상기 기판 대기수단과의 사이에서의 유리기판의 받아 넘김 및 상기 기판 대기수단과 상기 기판 지지수단과의 사이에서의 유리기판의 받아 넘김이 행해지도록 상기 기판 대기수단 및 상기 기판 지지수단을 제어하는 제어수단을 구비하고,
    상기 기판 대기수단은,
    상기 기판 반송수단의 진퇴경로의 측방에 배치된 제1 부재와,
    상기 제1 부재에 대해서 상기 대기위치로 향하는 방향에 진퇴 가능하게 설치된 1 또는 복수의 제2 부재와,
    상기 1 또는 복수의 제2 부재상에 설치되어, 유리기판의 하면을 지지하는 지지부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 대기장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 기판 대기수단보다도 낮은 위치이며 또 상기 기판 지지수단의 최하 위 치보다도 높은 위치에 설치되어, 유리기판을 반송하는 반송수단을 더 구비한 것을 특징으로 하는 기판 대기장치.
  7. 삭제
  8. 유리기판에 처리를 행하기 위한 기판 처리장치로서,
    유리기판을 지지한 상태로 대기위치에 진퇴 가능하게 설치된 기판 반송수단과,
    상기 기판 반송수단의 진퇴경로의 양 측방으로부터 상기 진퇴경로에 교차하는 방향을 따라 상기 대기위치로 진퇴 가능하게 설치되고, 유리기판의 하면을 지지하는 적어도 한쌍의 기판 대기수단과,
    상기 대기위치보다도 낮은 위치에서 상기 대기위치보다도 높은 위치까지 상하 이동 가능하게 설치되며, 유리기판의 하면을 지지하는 기판 지지수단과,
    상기 기판 반송수단과 상기 기판 대기수단과의 사이에서의 유리기판의 받아 넘김 및 상기 기판 대기수단과 상기 기판 지지수단과의 사이에서의 유리기판의 받아 넘김이 행해지도록 상기 기판 대기수단 및 상기 기판 지지수단을 제어하는 제어수단을 구비하고,
    상기 기판 대기수단은,
    상기 기판 반송수단의 진퇴경로의 측방에 배치된 제1 부재와,
    상기 제1 부재에 대해서 상기 대기위치로 향하는 방향에 진퇴 가능하게 설치된 1 또는 복수의 제2 부재와,
    상기 1 또는 복수의 제2 부재상에 설치되어, 유리기판의 하면을 지지하는 지지부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
  9. 유리기판에 처리를 행하기 위한 기판 처리장치로서,
    유리기판을 지지한 상태로 대기위치에 진퇴 가능하게 설치된 기판 반송수단과,
    상기 기판 반송수단의 진퇴경로의 양 측방으로부터 상기 진퇴경로에 교차하는 방향을 따라 상기 대기위치로 진퇴 가능하게 설치되고, 유리기판의 하면을 지지하는 적어도 한쌍의 기판 대기수단과,
    상기 기판 대기수단보다도 낮은 위치에 설치되어, 유리기판을 반송하는 반송수단과,
    상기 반송수단보다도 낮은 위치에서 상기 대기위치보다도 높은 위치까지 상하 이동 가능하게 설치되며, 유리기판의 하면을 지지하는 기판 지지수단과,
    상기 기판 반송수단과 상기 기판 대기수단과의 사이에서의 유리기판의 받아 넘김, 상기 기판 대기수단과 상기 기판 지지수단과의 사이에서의 유리기판의 받아 넘김 및 상기 기판 지지수단과 상기 반송수단과의 사이에서의 유리기판의 받아 넘김이 행해지도록 상기 기판 대기수단 및 상기 기판 지지수단을 제어하는 제어수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
  10. 유리기판을 지지한 상태로 대기위치에 진퇴 가능한 기판 반송수단에 대해서 상기 대기위치에서 유리기판의 받아 넘김을 행하는 기판 대기장치로서,
    상기 기판 반송수단의 진퇴경로의 측방에서 상기 진퇴경로에 교차하는 방향을 따라 상기 대기위치에 대해서 진퇴 가능하게 설치되고, 유리기판의 하면을 지지하는 기판 대기수단과,
    상기 기판 대기수단보다 낮은 위치에 설치되어, 유리기판을 반송하는 반송수단과,
    상기 반송수단보다도 낮은 위치에서 상기 대기위치보다도 높은 위치까지 상하 이동 가능하게 설치되며, 유리기판의 하면을 지지하는 기판 지지수단과,
    상기 기판 반송수단과 상기 기판 대기수단과의 사이에서의 유리기판의 받아 넘김, 상기 기판 대기수단과 상기 기판 지지수단과의 사이에서의 유리기판의 받아 넘김 및 상기 기판 지지수단과 상기 반송수단과의 사이에서의 유리기판의 받아넘김이 행해지도록 상기 기판 대기수단 및 상기 기판 지지수단을 제어하는 제어수단을 구비하고,
    상기 기판 대기수단은, 유리기판의 하면을 지지하는 지지부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 대기장치.
  11. 제 1 항 또는 제 10 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 기판 지지수단은, 상기 기판 대기수단이 상기 대기위치로 전진한 상태에서 상기 기판 대기수단에 접촉하지 않도록 상하 이동 가능하게 배치된 것을 특징으로 하는 기판 대기장치.
  12. 제 1 항 또는 제 10 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 지지부는, 상기 기판 반송수단이 상기 기판을 지지하는 지점중 가장 바깥쪽의 지점보다도 안쪽을 지지하는 것을 특징으로 하는 기판 대기장치.
  13. 제 1 항 또는 제 10 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 기판 지지수단은,
    상기 대기위치의 유리기판의 하면에 접촉 가능하게 상하 이동 자유롭게 설치된 복수의 접촉부재와,
    상기 복수의 접촉부재를 상하 이동시키는 구동수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 대기장치.
  14. 제 6 항 또는 제 10 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 반송수단은,
    상기 진퇴방향과 교차하는 방향으로 연장되는 복수의 롤러와,
    상기 복수의 롤러를 회전 가능하게 지지하는 롤러 지지수단과,
    상기 복수의 롤러를 회전 구동하는 롤러 구동수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 대기장치.
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