TWI245738B - Substrate waiting apparatus and substrate processing apparatus using the same - Google Patents
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Description
1245738 玖、發明說明: 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一種使玻璃基板暫時性待機之基板待機裝 置及具備其之基板處理裝置。 【先前技術】 為於液晶顯示裝置用玻璃基板、光罩用玻璃基板、光碟 用玻璃基板等之玻璃基板上進行各種之處理而使用基板處 理裝置。例如,為提高生產效率,使用有將一系列之處理 分別單元化,並將複數個處理單元進行合併之基板處理裝 置。 於該基板處理裝置中,設置有於各處理單元間之玻璃基 板之交接時,使玻璃基板暫時性待機之基板待機裝置(例 如’參照曰本專利特開平10—154652號公報以及特開平 9-199460 號公報)。 玻璃基板藉由基板搬送裝置供給至基板處理裝置内。此 情形時,基板處理裝置内之基板待機裝置接收玻璃基板, 使基板暫時性待機後,將玻璃基板轉移至特定之處理步驟。 但是,近年來玻璃基板正在推進大徑化,支持玻璃基板 之基板搬送衣置之搬送臂(基板支持部)亦發展為具有各種 之形狀。此情形時,若每當基板搬送裝置之搬送臂之形狀 發生變更時就重新設計基板待機裝置,則耗費成本。 【發明内容】 本發明之目的係提供一種基板待機裝置及具備其之基板 處理裝置,該基板待機裝置對於具有任意形狀之基板支持 90920.doc 1245738 部,可將玻璃基板進行交接。 本發明之基板待機裝置係對於於支持玻璃基板之狀態, 向待機位置可進可退之基板搬送機構,於上述待機位置進 行玻璃基板之交接的基板待機裝置,並具有如下之機構 者·基板#機機構,其设為自基板搬送機構之進退路線之 側,順沿與進退路線交叉之方向,對於待機位置可進可退, 並支持玻璃基板之下面;基板支持機構,其設為自低於待 機位置之位置至高於待機位置之位置可上下可動,並支持 玻璃基板之下面;以及控制機構,其控制基板待機機構以 及基板支持機構,以可進行基板搬送機構與基板待機機構 之間之玻璃基板之交接及基板待機機構與基板支持機構之 間之玻璃基板之交接。 本發明之基板待機裝置中,玻璃基板藉由基板搬送機構 搬入至基板待機位置或自基板待機位置搬出。基板待機機 構自基板搬送機構之進退路線之侧,順沿與其進退路線交 又之方向進行進退。藉此,可避免基板待機機構與基板搬 送機構之間的接觸。結果,基板待機裝置對於具有任意形 狀之基板搬送機構,可將玻璃基板進行交接。 又’基板支持機構自低於基板待機位置之位置上升至高 於基板待機位置之位置。藉此,基板待機機構與基板支持 機構之間可進行玻璃基板之交接。 基板支持機構,亦可於基板待機機構向待機位置前進之 狀悲中’以不接觸到基板待機機構之方式而配置成可上下 動0 90920.doc 1245738 此情形時,即便基板支持機構上下動,亦不會接觸到向 待機位置前進之基板待機機構。因此,基板待機機構與基 板支持機構之間可進行玻璃基板之交接。 基板待機機構亦可包含··配置於基板搬送機構之進退路 線之側之第1構件;對於第1構件於朝向待機位置之方向, 設置為可進可退之i假或複數個第2構件;以及設置於1個或 複數個第2構件上,並支持玻璃基板之下面之支持部。 此清形日守’支持部支持玻璃基板,並且1個或複數個第2 構件自第1構件向待機位置進退。因此,基板待機機構與基 板搬送機構之間可進行玻璃基板之交接。 支持部亦可支持基板搬送機構支持玻璃基板之支點中最 外側之支點的内側。此情形時,可藉由支持部支持基板搬 送機構支持玻璃基板之支點中最外側之支點的内側之點。 因此,支持部支持玻璃基板時,可減低玻璃基板之彎曲。 基板支持機構亦可包含:上下動自如地設置為可與待機 位置之玻璃基板之下面抵接之複數個抵接構件;以及使複 數個抵接構件可上下動之驅動機構。此情形時,複數個抵 接構件藉由驅動機構進行上下動。因此,基板支持機構與 基板待機機構之間可進行玻璃基板之交接。 進而亦可具有設置於低於基板待機機構之位置且高於基 板支持機構之最下位置之位置,並搬送玻璃基板之搬送機 構。此情形時,基板支持機構自低於搬送機構之位置至基 板待機位置進行上下運動。 因此,藉由基板支持機構進行上下運動,基板支持機構 90920.doc 1245738 與搬送機構之間可進行玻璃基板之交接。 用以對玻璃基板進行處理之基板處理裝置,其係具有如 下之機構者··基板搬送機構,其設置為於支持玻璃基板之 狀態,對於待機位置可進可退;1少一對基板待機機構, 其設置為自基板搬送機構之進退路線之兩側,順沿與進退 路線交又之方向,對於待機位置可進可退,並支持玻璃基 板之下面;基板支持機構,其自低於待機位置之位置至高 於待機位置之位置設置為上下可動,並支持玻璃基板之下 面,以及控制機構,其控制基板待機機構以及基板支持機 構,以可進行基板搬送機構與基板待機機構之間之玻璃基 板之交接及基板待機機構與基板支持機構之間之玻璃基板 之交接。 搬送機構亦可包含:於與進退方向交又之方向上延伸之 複數個滾筒;可旋轉支持複數個滾筒之滾筒支持機構;以 及旋轉驅動複數個滾筒之滾筒驅動機構。 此情形時,藉由複數個滚筒由滾筒驅動機構進行旋轉驅 動’於進退方向上搬送基板。 本發明之基板處理裝置中,玻璃基板藉由基板搬送機構 搬入至基板待機位£或自I板待機位置搬出。基板待機機 構自基板搬送機構之進退路線之側,順沿與其進退路線交 又之方向進退。藉此,可避免基板待機機構與基板搬送機 構之接觸。結I ’基板處理裝置可對於具妹意形狀之基 板搬送機構將玻璃基板進行交接。 土 又,基板支持機構自低於基板待機位置之位置上升至高 90920.doc 1245738 於基板待機位置之位置。藉此,基板待機機構與基板支持 機構之間可進行玻璃基板之交接。因此,基板待機裝置可 對於具有任意形狀之基板搬送機構,將玻璃基板進行交接。 【實施方式】 (弟1實施形態) 圖1係本發明之一實施形態之基板待機裝置1〇〇之概要性 平面圖,圖2係圖1之基板待機裝置1〇〇之概要性正面圖。以 下,參照圖1以及圖2進行基板待機裝置100之說明。 此處,將相互正交之3個方向分別設定為第丨方向χ、第二 方向Υ以及第3方向Ζ。第3方向Ζ指示垂直向上方向。第工方 向X以及第2方向Υ形成水平面。 又,所謂玻璃基板係指液晶顯示用玻璃基板、pDp(電漿 顯示面板)用玻璃基板、以及光罩用玻璃基板等。以下,將 玻璃基板略稱為基板。 如圖1以及圖2所示,基板待機裝置100包含一對臂支持板 1 〇1、一對滾筒支持板102、複數個搬送滾筒丨〇3、一對基板 待機臂110、.複數個基板支持部12〇以及搬送滾筒驅動部 130(參照圖10)。 於圖2之底面構件1〇5之兩側,順沿第2方向γ,垂直安裝 有對I支持板1 0 1。於臂支持板10 1之内側,順沿第2方向 γ,於底面構件105垂直安裝有滾筒支持板1〇2。 於一對臂支持板101之上端部分別安裝有一對基板待機 臂 11 0 〇 對基板待機臂110包含向内側多段性進行進退之複數 90920.doc -10- 1245738 個構件。又,各基板待機臂i丨〇之上面設置有複數個基板支 持銷111。藉此,於複數個基板支持銷i i丨上可裝載基板w。 基板待機臂110之構造以及動作之詳細情形如後所述。 複數個搬送滾筒103設置為低於基板待機臂u 〇之下方 處’延伸於自第1方向X稍稍傾斜之方向,並於一對滾筒支 持板102處分別可旋轉自如地安裝有兩端部。藉由如後所述 之搬送滾筒驅動部130之驅動,各搬送滾筒1〇3一齊向同一 方向方疋轉。藉此’可將基板W支持於搬送滾筒1 〇3上,並且 順沿弟2方向Y進行搬送。 各基板支持部120具有推桿銷驅動部丨2丨、活塞桿丨22、推 桿銷支持部123以及複數個推桿銷124。 於推桿銷驅動部121處,順沿第3方向z可伸可縮地設置有 活塞桿122。於活塞桿122之上端部,以延伸於第丨方向又之 方式设置有推桿銷支持部123。於推桿銷支持部123上,以 延伸於第3方向Z之方式安裝有各推桿銷124。 處於活塞桿122上升之狀態中,為使活塞桿122、推桿銷 支持部123以.及推桿銷124不會觸及基板待機臂i丨〇以及搬 送滾筒103而配置有各基板支持部12〇。 處於活塞桿122上升最高之狀態中,各推桿銷ι24之前端 位於基板待機臂110之更上方位置;處於活塞桿122下降最 低之狀悲中,各推桿鎖124之前端位於複數個搬送滾筒! 〇3 之更下方位置。 圖1之搬送臂200設置為於基板待機裝置中可進可 退、上下可動以及可旋轉於第3方向Z之周圍。藉由搬送臂 90920.doc -11 - 1245738 200,基板w被搬入至基板待機裝置loo。搬送臂200包含保 持部20 1以及複數個棒狀之支持部202。複數個支持部202相 互平行設置於保持部201上。搬送臂200以將基板W支持於 支持部202上之狀態進入基板待機裝置1〇〇中,藉由自如圖2 所示之狀態開始下降而將基板W搬入基板支持銷111上。 圖3係圖1之基板待機臂110之模型平面圖,圖4係圖3之基 板待機臂110之模型正面圖。以下,參照圖3以及圖4,說明 基板待機臂110之構造以及動作。 如圖3以及圖4所示,基板待機臂11 〇包含複數個基板支持 銷111,臂部112、113、114以及臂用圓筒115、116。 臂用圓筒115包含活塞部11 5a以及圓筒部115b。臂用圓筒 116包含活塞部116a以及圓筒部116b。於圓筒部1151)處,順 沿第1方向X進退自如地設置有活塞部11 5a。於圓筒部116b 處,順沿第1方向X進退自如地設置有活塞部丨16a。 於臂部114之上面以延伸於第1方向X之方式安裝有臂用 圓琦116。臂用圓筒116之活塞部116a之前端部安裝於臂部 Π3之下面。藉此,活塞部116a與臂部113成為一體,並對 於臂部114相對地進退。 於臂部113之上面以延伸於第1方向X之方式安裝有臂用 圓筒115。臂用圓筒115之活塞部115a之前端部安裝於臂部 114之下面。藉此,活塞部115&與臂部112成為一體,並對 於臂部113相對地進退。 臂部112包含延伸於第2方向Y之機架117以及延伸於第^ 方向X之複數個臂118。於臂部112之臂118之兩端部之上 90920.doc -12- 1245738 面,以延伸於第3方向Z之方式設置有基板支持銷ul。 其次’關於基板待機臂110之動作進行說明。 圖3 (a)以及圖4(a)表示基板待機臂n 〇之動作前之狀態。 IT進動作之情形時,藉由接收控制部發出之訊號,如圖 3(b)以及圖4(b)所示,活塞部i16a前進。由此,臂部112、 113與活塞部116a成為一體,對於臂部114進行前進。繼而, 如圖3(c)以及圖4(c)所示,活塞部115a前進。由此,臂部112 與活塞部115a成為一體,對於臂部113進行前進。 後退動作之情形時,藉由接收控制部發出之訊號,活塞 部115a後退後,活塞部ii6a後退。藉此,基板待機臂11〇如 圖3(a)以及圖4(a)所示,返回動作前之狀態。 再者,本實施形態中,前進動作之情形時,活塞部丨16a 前進後活塞部115a前進;後退動作之情形時,活塞部115& 後退後活塞部116a後退,但不僅限於此。 例如,亦可:前進動作之情形時,活塞部丨丨5a前進後活 基部116a前進;後退動作之情形時,活塞部116a後退後活 塞部115a後退。又,活塞部115a、116a亦可同時前進後退。 圖5係表示圖1之基板待機裝置1 〇〇之控制系之構成之方 塊圖。控制部300包含CPU(中央演算處理裝置)以及半導體 記憶體等。如圖5所示,控制部300控制臂用圓筒115、116, 推桿銷驅動部121,搬送滾筒驅動部丨3 〇以及搬送臂驅動部 203。搬送滾筒驅動部130旋轉驅動圖i以及圖2之搬送滾筒 103。又,搬送臂驅動部203驅動圖1以及圖2之搬送臂2〇〇。 控制部300控制以下所示之自藉由搬送臂2〇〇之基板w之搬 90920.doc -13- 1245738 入,至藉由搬送滾筒103之基板W之搬出的動作。 圖6至圖10係表示基板待機裝置100之動作之模型圖。以 下,參照圖1以及圖6至圖10說明基板待機裝置1〇〇之基板交 接動作。 再者,圖6至圖10中,圖1之搬送滾筒1〇3以及基板支持部 120省略圖示。 首先,如圖1所示,基板待機臂110前進(圖3(c)以及圖4(c) 之狀悲)。其次’如圖6所示,支持基板w之搬送臂2〇〇順沿 第2方向Y移動並進入基板待機裝置1〇〇後停止。 其次,搬送臂200下降。基板支持銷^丨丨之高度亦大於支 持部202之厚度。藉此,如圖7所示,若藉由複數個基板支 持銷111支持基板W,則基板W脫離支持部202。此時,複數 個基板支持銷111支捭支持部2〇2支撐基板之支點中最外側 之支點的外側以及内侧。藉此,可防止基板W之彎曲。 若由基板支持銷1 Π支持基板W,則搬送臂2 0 0之下降動 作停止。此後,搬送臂200順沿與第2方向Y相反方向後退。 該狀態中,基板W於基板支持銷111上待機。 此後,如圖8所示’活塞桿122上升,藉由複數個推桿銷 124支持基板w。藉此,基板W脫離基板支持銷111。 繼而,如圖9所示,基板待機臂11〇後退(圖3(a)以及圖4(a) 之狀態)。該狀態中,即便活塞桿122下降,基板W亦不會接 觸到基板待機臂11 〇。 其次’如圖1 〇所示,活塞桿122下降,藉由複數個搬送滾 筒支持基板W。藉此,基板w脫離活塞桿122。此後,藉 90920.doc -14- 1245738 由搬送滾筒103搬送基板W。 再者,複數個基板W自搬送臂200順次供給至基板待機裝 置100之情形時,一基板W交接至搬送滾筒103後,自搬送 臂200供給下一基板w,並反複進行圖6至圖10之動作。 以上,如以圖6至圖10所說明,本實施形態之基板待機裝 置1 〇〇可將藉由搬送臂200供給之基板轉移至特定之處理步 驟。 又,本實施形態之基板待機裝置100於搬送臂200之進退 路線之側可進可退地設置有基板待機臂丨10,因此對於具有 任意形狀之支持部202之搬送臂200,可進行基板之交接。 再者,本實施形態中,基板待機裝置1〇〇將藉由搬送臂2〇〇 供給之基板轉移至特定之處理步驟,但不僅限於此。例如, 亦可基板支持部120接收藉由搬送滾筒1〇3搬送之基板,基 板支持部120上升後,基板待機臂110接收基板,搬送臂2〇〇 接收該基板。 本實施形態中,搬送臂200相當於基板搬送機構,基板待 機臂11〇相當於基板待機機構,基板支持部12〇相當於基板 支持機構,控制部300相當於控制機構,臂部114相當於第丄 構件,臂部112、113相當於第2構件,基板支持銷^相當 於支持部,推桿銷124相當於抵接構件,推桿銷驅動部i2i 相當於驅動機構’搬送滾筒1〇3以及滾筒支持板1〇2相當於 搬送機構。搬送滚筒1G3相當於滾筒,滾筒支持板i〇J目當 於滾筒支持機構,搬送滾筒驅動部13〇相當於滾筒驅動機 90920.doc -15- 1245738 (第2實施形態) 圖11以及圖12係本發明之第2實施形態之基板待機裝置 l〇〇a之概要性平面圖。以下,參照圖丨丨以及圖12進行基板 待機裝置100a之說明。 再者,圖11以及圖12中,省略圖1之搬送滾筒1 〇3以及基 板支持部120之圖示。 圖11以及圖12之基板待機裝置i〇〇a與圖1之基板待機裝 置1〇〇之不同點係基板待機臂11(^之臂部112a之形狀。如圖 11以及圖12所示,臂部112a包含延伸於第2方向γ之機架 117&以及延伸於第1方向又之2根臂118&。自機架117&之兩端 部,以延伸於第1方向X之方式設置有各臂U8a。於各臂n8a 之兩端部之上面,以延伸於第3方向Z之方式設置有基板支 持銷111。 此處,考慮搬送臂200a之支持部202a之形狀係於第2方向 Y上具有一對角線之大致菱形的情形。此情形時,首先搬送 臂200a順沿第2方向Y移動,進入基板待機裝置1〇〇a後停 止。此後,如圖12所示,基板待機臂110a前進。 繼而,若搬送臂200a下降時,則基板W由基板支持銷lu 支持,基板W脫離支持部202a。基板支持銷in與支持部2〇2a 位於同一水平面内時,若搬送臂2〇〇a進退時,為使支持部 202a之一部分與基板支持銷1U相接觸,則搬送臂2〇〇a下降 至低於基板待機臂100a之下方處。此後,搬送臂2〇如順沿 與第2方向Y相反方向進行後退。藉此,完成自搬送臂⑼⑽ 向基板待機裝置100a之基板W之交接。 90920.doc -16- 1245738 此時,基板支持銷1 1 1支持支持部202a支撐基板之支點中 最外側之支點的外側以及内側。藉此,可防止基板w之彎 曲。 以上,如以圖11以及圖12所說明,本實施形態之基板待 機裝置100a於搬送臂200a之進退路線之側,可進可退地設 置有基板待機臂11 〇a,因此對於具有任意形狀之支持部 2〇2a之搬送臂200a可進行基板之交接。 本實施形態中,基板待機臂1 l〇a相當於基板待機機構, 臂部112a、113相當於第2構件。 (第3之實施形態) 圖13以及圖14係本發明之第3實施形態之基板待機裝置 100b之概要性平面圖。以下,參照圖13以及圖14進行基板 待機裝置100b之說明。 再者,圖13以及圖14中,省略圖1之搬送滾筒1〇3以及基 板支持部120之圖示。 圖13以及圖14之基板待機裝置l〇〇b與圖1之基板待機裝 置100之不同點係基板待機臂110b之臂部112b之形狀。如圖 1 3以及圖14所示,臂部112b包含延伸於第2方向Y之機架 117b以及延伸於第i方向X之3根臂118b。自機架117b之兩端 部以及中央部,以延伸於第1方向X之方式設置有各臂 118b。於各臂H8b之兩端部之上面,以延伸於第3方向z之 方式設置有基板支持鎖111。 此處,考慮搬送臂200b之支持部202b之形狀係大致8字狀 的情形。此情形時,首先搬送臂200b順沿第2方向Y移動並 90920.doc -17- 1245738 進入基板待機裝置1 〇〇b。此後,如圖1 4所示,基板待機臂 1 l〇b前進。 繼而,若搬送臂200b下降時,則基板W由基板支持銷U1 支持,基板W脫離支持部202b。基板支持銷lu與支持部 202b位於同一水平面内時,因搬送臂2〇〇b進退支持部2〇孔 之一部分會與基板支持銷111相接觸,故而搬送臂2〇〇b下降 至低於基板待機臂i〇〇b之下方處。此後,搬送臂2〇〇13順沿 與第2方向Y相反方向進行後退。藉此,完成自搬送臂2〇仙 向基板待機裝置100b之基板W之交接。 此時,基板支持銷111支持支持部202a支撐基板之支點中 最外側之支點的外側以及内侧。藉此,可防止基板w之彎 曲。 以上,如以圖13以及圖14所說明,本實施形態之基板待 機裝置100b於搬送臂200b之進退路線之側,可進可退地設 置有基板待機臂11 〇b,因此對於具有任意形狀之支持部 202b之搬送臂200b可進行基板之交接。 本實施形態中,基板待機臂11 〇b相當於基板待機機構, 臂部112b、113相當於第2構件。 【圖式簡單說明】 圖1係本發明之一實施形態之基板待機裝置的概要性平 面圖。 圖2係圖1之基板待機裝置之概要性正面圖。 圖3(a)-(c)係圖1之基板待機臂之模型平面圖。 圖4(a)-(c)係圖3之基板待機臂之模型正面圖。 90920.doc -18 - 1245738 圖5係表示圖1之基板待機裝置之控制系之構成的方塊 圖。 圖6係表示基板待機裝置之動作之模型圖。 圖7係表示基板待機裝置之動作之模型圖。 圖8係表示基板待機裝置之動作之模型圖。 圖9係表示基板待機裝置之動作之模型圖。 圖1 〇係表示基板待機裝置之動作之模型圖。 圖Π係本發明之第2實施形態之基板待機裝置的概要性 平面圖。 圖12係本發明之第2實施形態之基板待機裝置的概要性 平面圖。 圖13係本發明之第3實施形態之基板待機裝置的概要性 平面圖。 圖14係本發明之第3貫施形恶之基板待機裝置的概要性 平面圖。 【圖式代表符號說明】 X 第1方向 Y 第2方向 Z 第3方向 W 基板 100 , 100a , 100b 基板待機裝置 101 臂支持板 102 滾筒支持板 103 搬送滾筒 90920.doc -19- 1245738 105 底面構件 110,110a,110b 基板待機臂 111 基板支持銷 112,112a,112b,113,114 臂部 115 , 116 115a , 116a 115b , 116b 117 , 117a , 117b 118 , 118a , 118b 120 121 122 123 124 130 200 , 200a , 200b 201,201a·,201b 202 , 202a , 202b 203 300 臂用圓筒 活塞部 圓筒部 機架 臂 基板支持部 推桿銷驅動部 活塞桿 推桿銷支持部 推桿銷 搬送滾筒驅動部 搬送臂 保持部 支持部 搬送臂驅動部 控制部 90920.doc -20-
Claims (1)
1245738 拾、申請專利範園: 1. 一種基板待機裝置,其特徵為對於於支持玻璃基板之狀 態中向待機位置可進可退之基板搬送機構,於上述待機 位置進行玻璃基板之交接;且具有: 基板待機機構,其設置為自上述基板搬送機構之進退 路線之側,順沿與上述進退路線交叉之方向,對於上述 待機位置可進可退,並支持玻璃基板之下面; 基板支持機構,其設置為自低於上述待機位置之位置 至南於上述待機位置之位置上下可動,並支持玻璃基板 之下面;以及 控制機構’其控制上述基板待機機構以及上述基板支 持機構,以可進行上述基板搬送機構與上述基板待機機 構之間之玻璃基板之交接及上述基板待機機構與上述基 板支持機構之間之玻璃基板之交接。 2·如申請專利範圍第1項之基板待機裝置,其中上述基板支 持機構於上述基板待機機構向上述待機位置前進之狀 態,以不接觸上述基板待機機構之方式配置成上下可動。 3·如申請專利範圍第1項之基板待機裝置,其中上述基板待 機機構包含: 配置於上述基板搬送機構之進退路線之侧之第丨構件; 設置為對於上述第丨構件順沿朝向上述待機位置之方 向可進可退之1個或複數個第2構件;以及 設置於上述1個或複數個第2構件上,並支持玻璃基板 之下面之支持部。 90920.doc 1245738 4 ·如申晴專利範圍弟3項之基板待機裝置,其中上述支持部 支持上述基板搬送機構支持上述基板之支點中最外側之 支點的内側。 5.如申請專利範圍第1項之基板待機裝置,其中上述基板支 持機構包含: 上下動自如地設置為可與上述待機位置之玻璃基板之 下面抵接之複數個抵接構件;以及 使上述複數個抵接構件上下動之驅動機構。 6·如申請專利範圍第1項之基板待機裝置,其中進一步具有 設置於低於上述基板待機機構之位置且高於上述基板支 持機構之最下位置之位置,並搬送玻璃基板之搬送機構。 7·如申請專利範圍第6項之基板待機裝置,其中上述搬送機 構包含: 於與上述進退方向交叉之方向上延伸之複數個滾筒; 可旋轉支持上述複數個滾筒之滾筒支持機構;以及 旋轉驅動上述複數個滾筒之滾筒驅動機構。 S· —種基板處理裝置,其特徵為用以對玻璃基板進行處 理;且具有·· 基板搬运機構,其於支持玻璃基板之狀態,對於待機 位置設置為可進可退; 至少7對基板待機機構,其設置為自上述基板搬送機 構之進退路線之兩側,順沿與上述進退路線交又之方 向對於上述待機位置可進可退,並支持玻璃基板之 面; 90920.doc 1245738 基板支持機構,其設置為自低於上述待機位置之位置 至高於上述待機位置之位置上下可動,並支持玻璃基板 之下面;以及 控制機構,其控制上述基板待機機構以及上述基板支 持機構,以可進行上述基板搬送機構與上述基板待機機 構之間之玻璃基板之交接及上述基板待機機構與上述基 板支持機構之間之玻璃基板之交接。 90920.doc
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