KR100559714B1 - 낸드 플래시 메모리 소자 및 이의 프로그램 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
상기 X 디코더부(200a)의 상기 스트링 전송 트랜지스터(210)는 스트링 전압의 글로벌 스트링 선택 신호(GDSL)를 상기 셀 블록(100a)의 로컬 스트링 선택 라인에 로컬 스트링 선택 신호(DSL)로서 공급한다. 상기 X 디코더부(200a)의 상기 소스 전송 트랜지스터(230)는 접지 전압의 글로벌 소스 선택 신호(GSSL)를 상기 셀 블록(100a)의 소스 선택 라인에 로컬 소스 선택 신호(SSL)로서 공급한다. 또, 상기 X 디코더부(200a)의 다수의 워드라인 전송 트랜지스터(220)는 접지 전압의 다수의 글로벌 워드 라인 신호들(GWL0∼GWLn)을 상기 셀 블록(100a) 다수의 로컬 워드 라인들에 접지 전압의 다수의 로컬 워드 라인 신호들(WL0∼WLn)로서 각각 공급한다. 또, 소스라인 선택부(300)의 제1 소스라인 트랜지스터(310)는 상기 셀 블록(100a)에 연결된 소스 라인(SL)에 전원 전압의 글로벌 공통 소스 라인 신호(GSL)를 공급한다. 이때, 상기 제2 소스라인 트랜지스터(320)가 턴 오프된 상태이므로, 상기 셀 블록(100b)은 상기 셀 블록(100a)에 연결된 상기 소스 라인(SL)으로부터 분리된다.
또, 상기 셀 블록(100a)에 연결된 다수의 비트 라인들(BL0∼BLn) 중 선택된 비트 라인(들)에 상기 접지 전압(BL : "0" Program)의 비트 라인 신호(들)이 공급되고, 선택되지 않은 비트 라인(들)에 패스 전압(V1)(BL : "1" Program)의 비트 라인 신호(들)이 공급된다. 설정된 시간 이 후, 상기 다수의 글로벌 워드 라인 신호들(GWL0∼GWLn) 중 선택된 워드 라인(Sel WL)에 대응하는 일부가 프로그램 전압 레벨로 변경되고, 선택되지 않은 워드 라인(Unsel WL)에 대응하는 나머지가 바이패스 전압 레벨로 변경된다. 그 결과, 상기 X 디코더부(200a)의 상기 다수의 워드라인 전송 트랜지스터(220) 중 일부는 상기 다수의 로컬 워드 라인들(WL0∼WLn) 중 선택된 워드 라인(들)(Sel WL)에 상기 프로그램 전압의 글로벌 워드 라인 신호들(GWL0∼GWLn 중 일부)을 로컬 워드 라인 신호들(WL0∼WLn 중 일부)로서 각각 공급한다. 또, 상기 X 디코더부(200a)의 상기 다수의 워드라인 전송 트랜지스터(220) 중 나머지는 상기 다수의 로컬 워드 라인들(WL0∼WLn) 중 선택되지 않은 워드 라인(Unsel WL)에 바이패스 전압의 글로벌 워드 라인 신호들(GWL0∼GWLn 중 일부)을 로컬 워드 라인 신호들(WL0∼WLn 중 일부)로서 각각 공급한다. 결국, 상기 셀 블록(100a)에서 상기 선택된 워드 라인(들)(Sel WL)과 상기 선택된 비트 라인(들)(BL0∼BLn 중 일부)에 연결된 플래시 셀들이 프로그램된다.
상기 X 디코더부(200a)의 상기 스트링 전송 트랜지스터(210)는 접지 전압의 글로벌 스트링 선택 신호(GDSL)를 상기 셀 블록(100a)의 로컬 스트링 선택 라인에 로컬 스트링 선택 신호(DSL)로서 공급한다. 상기 X 디코더부(200a)의 상기 소스 전송 트랜지스터(230)는 펌핑 전압의 글로벌 소스 선택 신호(GSSL)를 상기 셀 블록(100a)의 소스 선택 라인에 로컬 소스 선택 신호(SSL)로서 공급한다. 또, 소스라인 선택부(300)의 제1 소스라인 트랜지스터(310)는 상기 셀 블록(100a)에 연결된 소스 라인(SL)에 프리차지 전압의 글로벌 공통 소스 라인 신호(GSL)를 공급한다. 이때, 상기 제2 소스라인 트랜지스터(320)가 턴 오프된 상태이므로, 상기 셀 블록(100b)은 상기 셀 블록(100a)에 연결된 상기 소스 라인(SL)으로부터 분리된다. 또, 상기 X 디코더부(200a)의 상기 다수의 워드라인 전송 트랜지스터(220) 중 일부는 상기 다수의 로컬 워드 라인들(WL0∼WLn) 중 선택된 워드 라인(들)(Sel WL)에 상기 프로그램 전압의 글로벌 워드 라인 신호들(GWL0∼GWLn 중 일부)을 로컬 워드 라인 신호들(WL0∼WLn 중 일부)로서 각각 공급한다. 또, 상기 X 디코더부(200a)의 상기 다수의 워드라인 전송 트랜지스터(220) 중 나머지는 상기 다수의 로컬 워드 라인들(WL0∼WLn) 중 선택되지 않은 워드 라인(Unsel WL)에 바이패스 전압의 글로벌 워드 라인 신호들(GWL0∼GWLn 중 일부)을 로컬 워드 라인 신호들(WL0∼WLn 중 일부)로서 각각 공급한다. 또, 상기 셀 블록(100a)에 연결된 다수의 비트 라인들(BL0∼BLn) 중 선택된 비트 라인(들)에 상기 접지 전압(BL : "0" Program)의 비트 라인 신호(들)이 공급되고, 선택되지 않은 비트 라인(들)에 패스 전압(V1)(BL : "1" Program)의 비트 라인 신호(들)이 공급된다. 설정된 시간 이 후, 상기 글로벌 스트링 선택 신호(GDSL)가 패스 전압(V1) 레벨로 변경되고, 상기 글로벌 소스 선택 신호(GSSL)가 접지 전압 레벨로 변경된다. 그 결과, 상기 X 디코더부(200a)의 상기 스트링 전송 트랜지스터(210)는 상기 패스 전압(V1)의 글로벌 스트링 선택 신호(GDSL)를 상기 셀 블록(100a)의 로컬 스트링 선택 라인에 로컬 스트링 선택 신호(DSL)로서 공급한다. 또, 상기 X 디코더부(200a)의 상기 소스 전송 트랜지스터(230)는 상기 접지 전압의 글로벌 소스 선택 신호(GSSL)를 상기 셀 블록(100a)의 소스 선택 라인에 로컬 소스 선택 신호(SSL)로서 공급한다. 결국, 상기 셀 블록(100a)에서 상기 선택된 워드 라인(들)(Sel WL)과 상기 선택된 비트 라인(들)(BL0∼BLn 중 일부)에 연결된 플래시 셀들이 프로그램된다.
상기 X 디코더부(200a)의 상기 스트링 전송 트랜지스터(210)는 접지 전압의 글로벌 스트링 선택 신호(GDSL)를 상기 셀 블록(100a)의 로컬 스트링 선택 라인에 로컬 스트링 선택 신호(DSL)로서 공급한다. 상기 X 디코더부(200a)의 상기 소스 전송 트랜지스터(230)는 펌핑 전압의 글로벌 소스 선택 신호(GSSL)를 상기 셀 블록(100a)의 소스 선택 라인에 로컬 소스 선택 신호(SSL)로서 공급한다. 또, 상기 X 디코더부(200a)의 다수의 워드라인 전송 트랜지스터(220)는 접지 전압의 다수의 글로벌 워드 라인 신호들(GWL0∼GWLn)을 상기 셀 블록(100a) 다수의 로컬 워드 라인들에 접지 전압의 다수의 로컬 워드 라인 신호들(WL0∼WLn)로서 각각 공급한다. 또, 소스라인 선택부(300)의 제1 소스라인 트랜지스터(310)는 상기 셀 블록(100a)에 연결된 소스 라인(SL)에 프리차지 전압의 글로벌 공통 소스 라인 신호(GSL)를 공급한다. 이때, 상기 제2 소스라인 트랜지스터(320)가 턴 오프된 상태이므로, 상기 셀 블록(100b)은 상기 셀 블록(100a)에 연결된 상기 소스 라인(SL)으로부터 분리된다. 또, 상기 셀 블록(100a)에 연결된 다수의 비트 라인들(BL0∼BLn) 중 선택된 비트 라인(들)에 상기 접지 전압(BL : "0" Program)의 비트 라인 신호(들)이 공급되고, 선택되지 않은 비트 라인(들)에 패스 전압(V1)(BL : "1" Program)의 비트 라인 신호(들)이 공급된다. 제1 설정 시간 이 후, 상기 다수의 글로벌 워드 라인 신호들(GWL0∼GWLn) 중 선택된 워드 라인(Sel WL)에 대응하는 일부가 프로그램 전압 레벨로 변경되고, 선택되지 않은 워드 라인(Unsel WL)에 대응하는 나머지가 바이패스 전압 레벨로 변경된다. 그 결과, 상기 X 디코더부(200a)의 상기 다수의 워드라인 전송 트랜지스터(220) 중 일부는 상기 다수의 로컬 워드 라인들(WL0∼WLn) 중 선택된 워드 라인(들)(Sel WL)에 상기 프로그램 전압의 글로벌 워드 라인 신호들(GWL0∼GWLn 중 일부)을 로컬 워드 라인 신호들(WL0∼WLn 중 일부)로서 각각 공급한다. 또, 상기 X 디코더부(200a)의 상기 다수의 워드라인 전송 트랜지스터(220) 중 나머지는 상기 다수의 로컬 워드 라인들(WL0∼WLn) 중 선택되지 않은 워드 라인(Unsel WL)에 바이패스 전압의 글로벌 워드 라인 신호들(GWL0∼GWLn 중 일부)을 로컬 워드 라인 신호들(WL0∼WLn 중 일부)로서 각각 공급한다. 상기 제1 설정 시간 보다 긴 제2 설정 시간 이 후, 상기 글로벌 스트링 선택 신호(GDSL)가 패스 전압(V1) 레벨로 변경되고, 상기 글로벌 소스 선택 신호(GSSL)가 접지 전압 레벨로 변경된다. 그 결과, 상기 X 디코더부(200a)의 상기 스트링 전송 트랜지스터(210)는 상기 패스 전압(V1)의 글로벌 스트링 선택 신호(GDSL)를 상기 셀 블록(100a)의 로컬 스트링 선택 라인에 로컬 스트링 선택 신호(DSL)로서 공급한다. 또, 상기 X 디코더부(200a)의 상기 소스 전송 트랜지스터(230)는 상기 접지 전압의 글로벌 소스 선택 신호(GSSL)를 상기 셀 블록(100a)의 소스 선택 라인에 로컬 소스 선택 신호(SSL)로서 공급한다. 결국, 상기 셀 블록(100a)에서 상기 선택된 워드 라인(들)(Sel WL)과 상기 선택된 비트 라인(들)(BL0∼BLn 중 일부)에 연결된 플래시 셀들을 프로그램된다.
Claims (13)
- 각각이, 스트링 선택부, 다수의 셀 스트링들, 및 소스 선택부를 포함하는 다수의 셀 블록들;상기 다수의 셀 블록들 중 한 쌍의 셀 블록들마다 하나씩, 상기 한 쌍의 셀 블록들 사이에 각각 배치되는 다수의 소스 라인들; 및각각이, 다수의 동작 전압들 중에서 한 쌍의 동작 전압들 중 어느 하나에 응답하여 동작하고, 글로벌 공통 소스 라인으로부터 수신되는 고전압 또는 접지전압의 글로벌 공통 소스 라인 신호를, 상기 다수의 소스 라인들에 각각 선택적으로 공급하는 다수의 소스 라인 선택부들을 포함하고,상기 다수의 셀 스트링들 각각은, 직렬 접속된 다수의 플래시 셀들을 포함하고, 프로그램 동작시, 상기 다수의 플래시 셀들 각각에 소정 정보가 프로그램되고, 소거 동작시, 상기 다수의 플래시 셀들 각각에 저장된 정보가 소거되고, 독출 동작시, 상기 다수의 플래시 셀들 각각에 저장된 정보가 독출되는 낸드 플래시 메모리 소자.
- 제 1 항에 있어서,클럭 신호와, 다수의 제어 신호들에 각각 응답하여, 상기 다수의 동작 전압들을 각각 생성하는 다수의 동작 전압 생성부들; 및상기 다수의 셀 블록들 각각에 하나씩 대응하게 배치되고, 각각이, 글로벌 스트링 선택 신호, 글로벌 소스 선택 신호, 및 다수의 글로벌 워드 라인 신호들을 수신하고, 상기 다수의 동작 전압들 중 하나에 응답하여, 자신과 대응하는 셀 블록에 로컬 스트링 선택 신호, 다수의 로컬 워드 라인 신호들, 및 로컬 소스 선택 신호를 공급하는 다수의 X 디코더부들을 더 포함하는 낸드 플래시 메모리 소자.
- 제 2 항에 있어서, 상기 다수의 X 디코더부들 각각은,상기 다수의 동작 전압들 중 하나에 응답하여, 상기 글로벌 스트링 선택신호를 상기 로컬 스트링 선택 신호로서 출력하는 스트링 전송 트랜지스터;상기 다수의 동작 전압들 중 하나에 응답하여, 상기 글로벌 소스 선택 신호를 상기 로컬 소스 선택 신호로서 출력하는 소스 전송 트랜지스터; 및상기 다수의 동작 전압들 중 하나에 응답하여, 상기 다수의 글로벌 워드 라인 신호들을 상기 다수의 로컬 워드 라인 신호들로서 각각 출력하는 다수의 워드 라인 전송 트랜지스터들을 포함하는 낸드 플래시 메모리 소자.
- 제 2 항에 있어서,상기 다수의 셀 블록들 각각에 하나씩 대응하게 배치되고, 각각이, 제어 신호에 응답하여, 자신과 대응하는 셀 블록에 상기 로컬 스트링 선택 신호 및 상기 로컬 소스 선택 신호를 공급하는 다수의 스위치부들 더 포함하고,상기 다수의 스위치부들 각각은,상기 제어 신호에 응답하여, 가상 접지 신호를 상기 로컬 스트링 선택 신호로서 출력하는 스트링 디스차지 트랜지스터; 및상기 제어 신호에 응답하여, 상기 가상 접지 신호를 상기 로컬 소스 선택 신호로서 출력하는 소스 디스차지 트랜지스터를 포함하는 낸드 플래시 메모리 소자.
- 제 1 항에 있어서, 상기 다수의 소스 라인 선택부들 각각은,상기 한 쌍의 동작 전압들 중 하나에 응답하여, 상기 글로벌 공통 소스 라인 신호를 상기 다수의 소스 라인들 중 자신과 대응하는 하나에 선택적으로 공급하는 제1 소스 라인 트랜지스터; 및상기 한 쌍의 동작 전압들 중 나머지 하나에 응답하여, 상기 글로벌 공통 소스 라인 신호를 상기 다수의 소스 라인들 중 자신과 대응하는 하나에 선택적으로 공급하는 제2 소스 라인 트랜지스터를 포함하는 낸드 플래시 메모리 소자.
- 제 2 항에 있어서,상기 다수의 소스 라인 선택부들 각각에 인가되는 상기 한 쌍의 동작 전압들은, 상기 다수의 X 디코더들 중 상기 한 쌍의 셀 블록들에 각각 대응하게 배치되는 한 쌍의 X 디코더부들에 각각 인가되는 동작 전압들이고,상기 한 쌍의 셀 블록들은 그들 사이에 배치되는 하나의 소스 라인을 공유하는 낸드 플래시 메모리 소자.
- 제 2 항에 있어서,상기 다수의 셀 블록들 각각의 상기 스트링 선택부는, 다수의 비트 라인들에 각각 접속되고, 상기 로컬 스트링 선택 신호에 각각 응답하여, 상기 다수의 비트 라인들로부터 수신되는 다수의 비트 라인 신호들을 상기 다수의 셀 스트링들에 각각 전송하는 다수의 스트링 선택 트랜지스터들을 포함하고,상기 다수의 셀 블록들 각각의 상기 소스 선택부는, 상기 다수의 소스 라인들 중 자신과 대응하게 배치된 하나의 소스 라인에 각각 접속되고, 상기 로컬 소스 선택 신호에 각각 응답하여, 상기 하나의 소스 라인으로부터 수신되는 상기 글로벌 공통 소스 라인 신호를 상기 다수의 셀 스트링들에 각각 전송하는 다수의 소스 선택 트랜지스터들을 포함하고,상기 다수의 셀 스트링들 각각의 상기 다수의 플래시 셀들의 게이트들에는 상기 다수의 로컬 워드 라인 신호들이 각각 입력되고, 상기 다수의 셀 스트링들 각각의 상기 다수의 플래시 셀들 각각은, 상기 다수의 비트 라인 신호들 중 하나, 상기 글로벌 공통 소스 라인 신호, 및 상기 다수의 로컬 워드 라인 신호들 중 하나에 응답하여, 상기 프로그램 동작, 상기 소거 동작, 및 상기 독출 동작 중 하나를 실행하는 낸드 플래시 메모리 소자.
- 낸드 플래시 메모리 소자의 프로그램 방법에 있어서,클럭 신호와, 다수의 제어 신호들에 응답하여, 다수의 동작 전압들 중 하나 또는 일부를 생성하는 단계;상기 생성된 동작 전압(들)에 응답하여, 다수의 셀 블록들 중 하나 또는 일부를 선택하고, 그 선택된 셀 블록(들)의, 로컬 스트링 선택 라인(들)에 스트링 전압의 로컬 스트링 선택 신호를, 소스 선택 라인(들)에 접지 전압의 로컬 소스 선택 신호를, 및 다수의 로컬 워드 라인들에 접지 전압의 다수의 로컬 워드 라인 신호들을 각각 공급하는 단계;상기 다수의 셀 블록들 중 한 쌍의 셀 블록들마다 하나씩, 상기 한 쌍의 셀 블록들 사이에 각각 배치되는 다수의 소스 라인들 중에서, 상기 선택된 셀 블록(들)에 연결된 소스 라인(들)에, 상기 생성된 동작 전압(들)에 응답하여, 전원전압의 글로벌 공통 소스 라인 신호를 선택적으로 공급하는 단계;선택된 셀 블록(들)에 연결된 다수의 비트 라인들 중 선택된 비트 라인(들)에 상기 접지 전압의 비트 라인 신호(들)를 공급하고, 선택되지 않은 비트 라인(들)에 패스 전압의 비트 라인 신호(들)을 공급하는 단계; 및설정된 시간 이 후, 상기 다수의 로컬 워드 라인들 중 선택된 워드 라인(들)에 프로그램 전압의 상기 로컬 워드 라인 신호(들)를 공급하고, 선택되지 않은 워드 라인에 바이패스 전압의 상기 로컬 워드 라인 신호(들)를 공급함으로써, 상기 선택된 워드 라인(들)과 상기 선택된 비트 라인(들)에 연결된 플래시 셀들을 프로그램하는 단계를 포함하는 낸드 플래시 메모리 소자의 프로그램 방법.
- 제 8 항에 있어서,상기 다수의 소스 라인들 중 선택되지 않은 셀 블록(들)에 연결된 상기 소스 라인(들)에 상기 글로벌 공통 소스 라인 신호의 공급을 정지하는 단계를 더 포함하고,상기 전원전압은 3.0V 내지 1.6V의 범위에 포함되고, 상기 스트링 전압 및 상기 패스전압은 각각 상기 전원전압이고, 상기 프로그램 전압은 17V 내지 19V의 범위에 포함되고, 상기 바이패스 전압은 9V 내지 11V의 범위에 포함되는 낸드 플래시 메모리 소자의 프로그램 방법.
- 낸드 플래시 메모리 소자의 프로그램 방법에 있어서,클럭 신호와, 다수의 제어 신호들에 응답하여, 다수의 동작 전압들 중 하나 또는 일부를 생성하는 단계;상기 생성된 동작 전압(들)에 응답하여, 다수의 셀 블록들 중 하나 또는 일부를 선택하고, 그 선택된 셀 블록(들)의, 로컬 스트링 선택 라인(들)에 접지 전압의 로컬 스트링 선택 신호를, 및 소스 선택 라인(들)에 펌핑 전압의 로컬 소스 선택 신호를 각각 공급하는 단계;상기 다수의 셀 블록들 중 한 쌍의 셀 블록들마다 하나씩, 상기 한 쌍의 셀 블록들 사이에 각각 배치되는 다수의 소스 라인들 중에서, 상기 선택된 셀 블록(들)에 연결된 소스 라인(들)에, 상기 생성된 동작 전압(들)에 응답하여, 프리차지 전압의 글로벌 공통 소스 라인 신호를 선택적으로 공급하는 단계;상기 선택된 셀 블록(들)의 다수의 로컬 워드 라인들 중 선택된 워드 라인(들)에 프로그램 전압의 상기 로컬 워드 라인 신호(들)를 공급하고, 선택되지 않은 워드 라인에 바이패스 전압의 상기 로컬 워드 라인 신호(들)를 공급하는 단계;상기 선택된 셀 블록(들)에 연결된 다수의 비트 라인들 중 선택된 비트 라인(들)에 상기 접지 전압의 비트 라인 신호(들)를 공급하고, 선택되지 않은 비트 라인(들)에 패스 전압의 비트 라인 신호(들)을 공급하는 단계; 및설정된 시간 이 후, 상기 선택된 셀 블록(들)의, 상기 로컬 스트링 선택 라인(들)에 패스 전압의 로컬 스트링 선택 신호를, 및 상기 소스 선택 라인(들)에 접지 전압의 상기 로컬 소스 선택 신호를 각각 공급함으로써, 상기 선택된 워드 라인(들)과 상기 선택된 비트 라인(들)에 연결된 플래시 셀들을 프로그램하는 단계를 포함하는 낸드 플래시 메모리 소자의 프로그램 방법.
- 제 10 항에 있어서,상기 다수의 소스 라인들 중 선택되지 않은 셀 블록(들)에 연결된 상기 소스 라인(들)에 상기 글로벌 공통 소스 라인 신호의 공급을 정지하는 단계를 더 포함하고,상기 펌핑 전압 및 상기 프리차지 전압은 각각 9V 내지 13V의 범위에 포함되고, 상기 프로그램 전압은 17V 내지 19V의 범위에 포함되고, 상기 바이패스 전압은 9V 내지 11V의 범위에 포함되고,상기 패스전압은, 상기 생성된 동작 전압(들)에 응답하여, 상기 선택된 셀 블록(들)의 상기 로컬 스트링 선택 라인(들)에 상기 로컬 스트링 선택 신호를 공급하는 스트링 선택 트랜지스터(들)의 문턱 전압보다 크고, 상기 전원 전압보다 낮거나 동일한 낸드 플래시 메모리 소자의 프로그램 방법.
- 낸드 플래시 메모리 소자의 프로그램 방법에 있어서,클럭 신호와, 다수의 제어 신호들에 응답하여, 다수의 동작 전압들 중 하나 또는 일부를 생성하는 단계;상기 생성된 동작 전압(들)에 응답하여, 다수의 셀 블록들 중 하나 또는 일부를 선택하고, 그 선택된 셀 블록(들)의, 로컬 스트링 선택 라인(들)에 접지 전압의 로컬 스트링 선택 신호를, 소스 선택 라인(들)에 펌핑 전압의 로컬 소스 선택 신호를, 및 다수의 로컬 워드 라인들에 접지 전압의 다수의 로컬 워드 라인 신호들을 각각 공급하는 단계;상기 다수의 셀 블록들 중 한 쌍의 셀 블록들마다 하나씩, 상기 한 쌍의 셀 블록들 사이에 각각 배치되는 다수의 소스 라인들 중에서, 상기 선택된 셀 블록(들)에 연결된 소스 라인(들)에, 상기 생성된 동작 전압(들)에 응답하여, 프리차지 전압의 글로벌 공통 소스 라인 신호를 선택적으로 공급하는 단계;상기 선택된 셀 블록(들)에 연결된 다수의 비트 라인들 중 선택된 비트 라인(들)에 상기 접지 전압의 비트 라인 신호(들)를 공급하고, 선택되지 않은 비트 라인(들)에 패스 전압의 비트 라인 신호(들)을 공급하는 단계;제1 설정 시간 이 후, 상기 선택된 셀 블록(들)의 다수의 로컬 워드 라인들 중 선택된 워드 라인(들)에 프로그램 전압의 상기 로컬 워드 라인 신호(들)를 공급하고, 선택되지 않은 워드 라인에 바이패스 전압의 상기 로컬 워드 라인 신호(들)를 공급하는 단계; 및제2 설정 시간 이 후, 상기 선택된 셀 블록(들)의, 상기 로컬 스트링 선택 라인(들)에 패스 전압의 로컬 스트링 선택 신호를, 및 상기 소스 선택 라인(들)에 접지 전압의 상기 로컬 소스 선택 신호를 각각 공급함으로써, 상기 선택된 워드 라인(들)과 상기 선택된 비트 라인(들)에 연결된 플래시 셀들을 프로그램하는 단계를 포함하는 낸드 플래시 메모리 소자의 프로그램 방법.
- 제 12 항에 있어서,상기 다수의 소스 라인들 중 선택되지 않은 셀 블록(들)에 연결된 상기 소스 라인(들)에 상기 글로벌 공통 소스 라인 신호의 공급을 정지하는 단계를 더 포함하고,상기 펌핑 전압 및 상기 프리차지 전압은 3V 내지 6V의 범위에 포함되고, 상기 프로그램 전압은 17V 내지 19V의 범위에 포함되고, 상기 바이패스 전압은 9V 내지 11V의 범위에 포함되고, 상기 전원 전압은 1.6V 내지 3.0V의 범위에 포함되고,상기 패스 전압은, 상기 생성된 동작 전압(들)에 응답하여, 상기 선택된 셀 블록(들)의 상기 로컬 스트링 선택 라인(들)에 상기 로컬 스트링 선택 신호를 공급하는 스트링 선택 트랜지스터(들)의 문턱 전압보다 크고, 상기 전원 전압보다 낮거나 동일한 낸드 플래시 메모리 소자의 프로그램 방법.
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