KR100501782B1 - 코팅막 제거장치 - Google Patents

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KR100501782B1
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하시모또요시아끼
사또야스유끼
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엔이씨 엘씨디 테크놀로지스, 엘티디.
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Abstract

송풍 가스 (1) 를 분사하는 슬릿형 송풍 노즐 (14), 및 린스액 (2) 을 분사하는 슬릿형 약액 린스 노즐 (12) 이 형성되어, 송풍 가스가 유리 기판의 단부 표면으로부터 약액 린스에 의해 용해되는 코팅막을 제거하도록 한다.

Description

코팅막 제거장치{APPARATUS FOR REMOVING A COATING FILM}
본 발명은 기판상에 형성된 포토레지스트와 같은 코팅막을 제거하는 장치에 관한 것이다. 특히, 디스플레이 패널 기판의 단부 표면 주변의 코팅막을 제거하는 장치에 관한 것이다.
기판의 단부 표면 주변부의 포토레지스트막을 제거하는 장치로서, 반도체 제조 공정에서의 반도체 웨이퍼상의 코팅막을 제거하는 장치가 공지되어 있다. 예를 들어, 일본 특개평1-253923호 공보에는, 유체를 분사하는 2 개의 노즐을 사용하는 EBR (Edge Bead Remover;에지 비드 제거기) 헤드가 사용되고 있다.
이 공보에서, 핀형 약액 린스 노즐 근처에 1 mm 이하의 노즐 직경을 가짐으로써 약액 및 N2 가스를 동시에 분사하는 핀형 송풍 노즐을 구비한 EBR 헤드가 제공되어 있다. 이 EBR 헤드를 사용하는 것은 코팅막을 제거하기 위해 경계면에서 코팅막이 확장되는 것을 방지할 수 있어, 품질의 저하를 경감한다.
도 10a 및 10b 에 도시되어 있는 종래예 1 는 액정 디스플레이 패널의 제조에 사용하기 위해 상술한 구조를 각형 유리에 사용한다. 레지스트막 (9) 으로 유리 기판 (8) 의 주변부를 따라 평행하게 EBR 헤드 (10) 를 이동하는 구동수단이 구비되어 있고, 핀형 약액 린스 노즐 (17) 및 핀형 송풍 노즐 (19) 을 결합시킨 EBR 헤드 (10) 를 가짐으로써, 처리 시간을 감소시킬 수 있다. 이는, 통상 박형이고 포지티브 포토레지스트막을 제거하는데 주로 사용되는 것과 같이, 린스액으로서 유기 용제만을 사용하는 장치의 종래예이다.
도 11 에 도시되어 있는 종래예 2 는 약액 린스 및 순수(純水) 린스를 사용하여 네거티브 포토레지스트막을 주로 연속적으로 처리하는 장치의 예이고, 종래예 1 의 구조에 핀형 순수 린스 노즐 (18) 을 추가한다. 유기 알칼리성 약액은 린스액에 자주 사용된다. 종래예 1 및 2 가 선택되는지는 제거되어야 하는 코팅막과 린스액의 양립성에 따라 결정된다.
종래예 1 및 2 중 하나에서, 핀형 노즐을 사용하는 것은 고압에서 약액을 분사할 수 없게 한다. 이는 고압에서의 약액의 분사가 기판의 안쪽 방향으로의 작용력을 증가시킴으로써, 핀형 송풍 노즐이 전체 영역을 담당하기 어렵기 때문이다. 약액 분사 압력을 낮추는 것은 기판 표면에 대한 물리적 힘을 약화시켜, 제거 효율을 감소시킨다.
레지스트막을 완전히 제거하기 위해서, EBR 헤드 자체를 수차례 왕복시키거나 또는 레지스트막을 저속으로 공정처리하는 것이 필요하다. 따라서, 처리 시간은 더 길어지고 약액 또는 가스의 양이 증가한다. 또한, 송풍 노즐만이 제거된 부분 경계면의 확장을 억제하고, 기판의 주변부상에 작용하는 약액의 힘은 배기 능력에 따라 크게 달라진다. 기판의 단부 표면상에 잔류하는 경향이 있음으로써, 약액내에 용해된 코팅막 성분이 기판상에 잔류하게 되어, 다음 공정에 악영향을 미친다.
도 12 에 도시되어 있는 종래예 3 및 도 13 에 도시되어 있는 종래예 4 는 핀형 약액 린스 노즐 대신에, 코팅막을 제거하는 수단으로서, 유리 기판 (8) 의 단부가 딥형 약액 린스부 (20) 의 린스액 (2) 에 위치하는 딥형을 사용하는 장치이다. 이 방법에서, 경계면을 직선상에 균일하게 제거할 수 있는 새로운 장점이 발생한다. 그런데, 종래예 1 및 2 와 같은 방법에서, 물리적 작용의 부재 때문에 장시간의 처리가 요구되고, 용해가 등방적으로 진행하기 때문에 에지가 상승할 수가 있다.
상술한 바와 같이, 종래예 1 및 2 에서, 처리 시간이 더 길어지고 약액 또는 가스의 양이 증가한다. 또한, 종래예 3 및 4 에서, 종래예 1 및 2 에서와 같은 방법으로, 물리적 작용의 부재 때문에 더 장시간의 처리가 요구되고, 용해가 등방적으로 진행하기 때문에 에지가 상승할 수가 있다.
이러한 문제점들은 사용된 약액, 처리 시간, EBR 의 동작, 순서, 배기 조건 등을 조정함으로써 사용가능한 레벨로 감소시킬 수 있지만, 제조 마진이 더욱 작아지는 문제점이 있다.
본 발명의 목적은 코팅막을 균일하고 신속하게 제거할 수 있는 코팅막 제거장치를 제공하는데 있다.
상술한 목적 이외에도, 본 발명의 다른 목적은 사용된 약액의 양이 작고, 처리후에 액체가 잔류하지 않고, 제조 마진이 큰 코팅막 제거장치를 제공하는데 있다.
본 발명에 따르면, 코팅막으로 형성된 기판의 단부 표면의 주변부에 코팅막을 용해하는 약액을 분사시키는 개구부를 구비한 약액 린스 노즐, 및 기판으로부터 약액에 의해 용해되는 코팅막을 제거하도록 가스를 기판으로 분사하는 슬릿형 개구부를 구비한 슬릿형 송풍 노즐을 포함하는 코팅막 제거장치가 제공된다.
약액 린스 노즐은 슬릿 형태의 개구부를 구비한 슬릿형 약액 린스 노즐을 포함한다. 슬릿형 약액 린스 노즐을 구비한 코팅막 제거장치에서, 슬릿형 약액 린스 노즐이 슬릿형 송풍 노즐과 기판의 단부 사이에 형성되어 있다.
이러한 코팅막 제거장치에서, 슬릿형 송풍 노즐 및 슬릿형 약액 린스 노즐이 기판의 일 변을 따라 연장하는 슬릿형 개구부를 각각 구비하고, 각각의 개구부의 길이는 기판의 일 변보다 길다.
슬릿형 약액 린스 노즐 및 슬릿형 송풍 노즐이 일체화된 노즐 구조일 수도 있고, 일체화된 노즐 구조의 개구부가 하나일 수도 있다.
또한, 코팅막 제거장치는 슬릿형 송풍 노즐과 슬릿형 린스 노즐 사이에 순수를 분사하는 슬릿형 개구부를 구비한 슬릿형 순수 린스 노즐을 포함한다. 슬릿형 순수 린스 노즐과 슬릿형 송풍 노즐의 일체화는 가스와 순수의 혼합물을 분사하는 슬릿형 개구부를 포함한다.
본 발명에 따른 코팅막 제거장치는 슬릿형 약액 린스 노즐 및 슬릿형 송풍 노즐의 결합에 의해 이루어진 제 1 노즐장치, 슬릿형 약액 린스 노즐에 인접하여 설치되고 순수를 분사하는 슬릿형 개구부를 구비한 슬릿형 순수 린스 노즐과 슬릿형 송풍 노즐에 인접하여 설치되고 가스를 분사하는 슬릿형 개구부를 구비한 제 2 슬릿형 송풍 노즐의 결합에 의해 이루어진 제 2 노즐장치, 및 제 1 노즐장치로부터 제 2 노즐장치로 기판을 운반하는 운반수단을 포함하고, 제 1 노즐장치 및 제 2 노즐장치는 기판의 일 변을 따라 서로 인접하여 설치된다.
이러한 코팅막 제거장치는 제 1 노즐장치 및 제 2 노즐장치와 동일한 구조를 갖는 제 3 노즐장치 및 제 4 노즐장치를 더 포함하고, 제 1 및 제 3 노즐장치는 기판의 일 변을 개재(介在)하도록 설치되고, 제 2 및 제 4 노즐장치는 기판의 일 변을 개재하도록 설치된다.
공통의 칸막이부에 의해 분리되어 슬릿형 약액 린스 노즐 및 슬릿형 송풍 노즐의 일체화는 가스 및 약액을 독립적으로 분사하는 슬릿형 개구부를 구비한 슬릿형 약액 린스 및 송풍 노즐을 포함한다.
공통의 칸막이부에 의해 분리되어 슬릿형 순수 린스 노즐 및 슬릿형 송풍 노즐의 일체화는 가스 및 순수를 독립적으로 분사하는 슬릿형 개구부를 구비한 슬릿형 증류수 린스 및 송풍 노즐을 포함한다.
슬릿형 약액 린스 및 송풍 노즐과, 슬릿형 순수 린스 및 송풍 노즐을 포함하는 노즐장치가 운반되는 기판의 일 변을 개재하도록 설치된다.
바람직한 실시예의 상세한 설명
도 1a 및 1b 를 참조하면, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 EBR 헤드 (10) 는 배기구 (7) 를 갖는 후방부 및 한 쌍의 노즐을 갖는 전방부의 상부 및 하부를 구비하고 있다. 배기구 (7) 에 근접한 노즐은 슬릿 형태로 레지스트막 (9) 으로 코팅된 유리 기판 (8) 상으로 균일하게 린스액 (2) 을 분사하는 슬릿형 약액 린스 노즐 (12) 이다. 배기구 (7) 와는 좀 떨어진 노즐은 슬릿 형태로 유리 기판 (8) 상으로 균일하게 또한 슬릿형 약액 린스 노즐 (12) 의 분사 유효폭보다 넓게 송풍 가스 (1) 를 분사하는 슬릿형 송풍 노즐 (14) 이다.
도 2 에 도시되어 있는 바와 같이, 슬릿형 린스 노즐 (도 1a 및 도 1b 의 12) 은 펌프에 의해 고압하에서 린스액 (도 1a 및 도 1b 의 2) 을 공급하거나 또는 약액을 공급하고 중단하는 자동 밸브 (26) 를 통해 가스를 공급하는 약액 공급구 (5) 를 구비하고 있다. 슬릿형 분사 노즐 (도 1a 및 도 1b 의 14) 은 보조 공급장치로부터 가스를 공급하고 중단하는 자동 밸브 (25) 를 통해 고압 송풍 가스 (도 1a 및 도 1b 의 1) 를 공급하는 가스 공급구 (4) 를 구비하고 있다. 이 노즐들로부터 분사된 린스액 (도 1a 및 도 1b 의 2) 및 송풍 가스 (도 1a 및 도 1b 의 1) 는 배기구 (7) 로부터 배기된다. 배기구 (7) 는 배기구를 개폐하는 배기 댐퍼 (23) 를 통해 배기수단 (231) 에 연결되어 있다.
슬릿형 송풍 노즐 (도 1a 및 도 1b 의 14) 또는 EBR 헤드 (10) 의 측면은 분위기 및 미스트가 누설되는 것을 방지하기 위해 배기 개방영역을 최소화하도록 EBR 측판 (11) 을 구비하고 있다. 유리 기판 (8) 을 장착하는 테이블 (21) 은 진공수단 (241) 이 자동 밸브 (24) 를 통해 연결되어 있는 복수의 흡착홀 (22) 을 구비하고 있고, 유리 기판을 흡착하여 유지한다. 도시하지는 않았지만, 기판 (8) 의 변을 따라 평행하게 EBR 헤드 (10) 를 이동시키는 구동수단을 구비하고 있다.
슬릿형 노즐의 슬릿형 개구부의 폭은 사용되는 유체의 점성에 따라 달라지지만, 바람직하게는 희석제와 같은 용제 또는 알칼리성 현상액과 같은 약액에 대해 약 0.3 mm 이하이고, 바람직하게는 질소 가스와 같은 가스에 대해서는 0.2 mm 이하이다.
상술한 실시예에서, 슬릿형 개구부를 갖는 약액 린스 노즐 (도 1a 및 도 1b 의 12) 이 설명되어 있다. 송풍 노즐 (도 1a 및 도 1b 의 14) 은 슬릿형이고, 핀형 약액 린스 노즐이 슬릿형 약액 린스 노즐 (도 1a 및 도 1b 의 12) 대신에 사용될 수도 있다. 일본 특개평11-260702호 공보에는, 슬릿형 노즐이 액정 표시장치의 기판상으로 코팅된 박막을 용해하는 용해제를 분사하는 노즐로서 사용될 수 있다는 것이 개시되어 있다. 이 공보에는 고압 가스를 분사하는 송풍 노즐을 개시하지도 않고 송풍 노즐이 슬릿형이라는 것을 제안하지도 않는다.
다음, 도 2 및 도 3 을 참조하여, 실시예의 동작을 설명한다. EBR 헤드 (10) 가 대기 상태에 있고 스핀형 코팅장치에 의해 레지스트막 (9) 으로 코팅된 유리 기판 (8) 이 기판 운반수단에 의해 테이블 (21) 로 운반될 때, 기판을 흡착하는 자동 밸브 (24) 가 개방되어 있고 유리 기판 (8) 이 흡착되어 흡착홀 (22) 을 통해 테이블 (21) 로 유지된다. 도 3 에 도시되어 있는 바와 같이, 4 개의 EBR 헤드 (10) 는 단부 표면을 세정하는 과정을 시작하는 위치로 이동되고, 그 후, 배기수단 (231) 에 연결된 배기 댐퍼 (23) 가 개방되고, 배기구 (7) 를 통해 EBR 헤드 (10) 의 배기를 시작한다. 동시에, 송풍 가스 (도 1a 및 도 1b 의 1) 가 가스 공급구 (4) 를 통해 슬릿형 송풍 노즐 (14) 로 공급되도록 고압 가스 공급수단 (261) 에 연결되어 가스를 공급하는 자동 밸브 (26) 가 개방됨으로써, 가스 분사를 시작한다. 동시에, 고압 린스 약액 공급수단 (251) 에 연결된 약액을 공급하는 자동 밸브 (25) 가 개방되고, 린스액 (도 1a 및 도 1b 의 2) 이 약액 공급구 (5) 를 통해 슬릿형 약액 린스 노즐 (도 1a 및 도 1b 의 12) 로 공급됨으로써, 약액의 분사를 시작하고, 그 후, 기판의 단부 표면을 세정하는 공정을 수행하는 동안 EBR 헤드 (10) 가 유리 기판 (8) 의 주변부를 따라 평행하게 이동된다.
공정을 제어하기 위해서, 각각의 처리장치에 대한 처리 순서 및 제어 파라미터 (온도, 압력, 가스형, 가스 흐름의 속도 및 시간과 같은 제어 목표값) 에 관한 각각의 장치에 대한 프로그램에 있는 처리법으로 EBR 헤드는 임의로 설정된 속도로 이동된다.
도 3 에 도시된 바와 같이, 이와 같은 처리법으로 임의적으로 설정된 수많은 반복 횟수만큼 공정을 실행한다.
이의 종료시, 약액을 공급하는 자동 밸브 (25) 가 닫힘으로써, 약액 공급구 (5) 를 통해 슬릿형 약액 린스 노즐 (12) 로 린스액 (2) 의 공급을 중단시킨다.
그 후, 가스를 공급하는 자동 밸브 (26) 는 가스 공급구 (4) 를 통해 슬릿형 송풍 노즐 (14) 로 송풍 가스의 공급을 중단시키도록 닫힌다. 배기 댐퍼 (23) 는 배기구 (7) 를 통해 EBR 헤드 (10) 에서 배기를 중단하도록 닫히고, 그 후, EBR 헤드 (10) 는 대기 위치로 이동된다. 기판을 흡착하는 자동 밸브 (24) 는 테이블 (21) 에 흡착되는 유리 기판 (8) 의 유지가 해제되도록 닫히고, 유리 기판 (8) 은 운반수단에 의해 후속 공정으로 운반된다.
제 1 실시예에서, 린스 노즐보다 넓은 범위를 담당하는 슬릿형 송풍 노즐이 고압에서 송풍하는데 사용된다. 슬릿형 노즐이 고압에서 약액을 분사할 때라도, 기판의 안쪽에는 미스트가 비산되지 않고, 코팅막상의 물리적 작용은 효율을 향상시키도록 한다. 사용되는 액체의 양이 감소되고, 처리 시간이 단축된다.
도 4 는 본 발명의 제 2 실시예를 설명하기 위한 EBR 헤드의 단면도이다.
EBR 헤드 (10) 는 슬릿형 약액 린스 노즐 및 슬릿형 송풍 노즐을 일체화함으로써 이루어진다. 달리 설명하면, EBR 헤드 (10) 는 둘다 노즐의 공통부를 갖는 슬릿형 약액 린스 및 송풍 노즐 (15) 을 구비하고 있다.
제 2 실시예는 제 1 실시예와 동일한 효과를 갖고, EBR 헤드를 소형화할 수 있고 부품의 수를 감소시킬 수 있다.
도 5 는 본 발명의 제 3 실시예를 설명하기 위한 EBR 헤드의 단면도이다. EBR 헤드는 가스와 순수의 혼합물을 분사하는 2 유체 구조이다. 달리 설명하면, EBR 헤드는 공통의 슬릿형 개구부를 갖는 단일 개구부를 구비한 슬릿형 약액 린스 및 송풍 노즐 (15) 을 구비하고 있다.
통상, 고압에서 액체를 분사하기 위해서, 고가의 압력 펌프가 필요하다. 가스가 통상 약 0.5 내지 0.8 ㎫ 로 가스 보조장치부로부터 공급되는 실시예에서, 레지스트막 형태 및 다른 조건에 따라, 고압에서 액체 공급없이 고압 가스를 분사하는 압력하에서 액체를 비산함으로써 목적을 달성할 수 있다. 따라서, 제 1 실시예의 효과 이외에도, 장치의 비용이 감소될 수 있다.
도 6 은 본 발명의 제 4 실시예를 설명하기 위한 EBR 헤드의 정면도이다.
제 4 실시예에서, 슬릿형 약액 린스 노즐 (12) 및 슬릿형 송풍 노즐 (14) 을 포함하는 제 1 EBR 장치와, 슬릿형 순수 린스 노즐 (13) 및 슬릿형 송풍 노즐 (14) 을 포함하는 제 2 EBR 장치가 운반될 유리 기판의 일 변을 개재하도록 서로 인접하여 설치되어 있다.
네거티브 레지스트막을 제거하는 경우에서, 유기 알칼리성 약액 또는 유기 알칼리성 약액 용제의 혼합물이 약액 린스로서 통상 사용된다. 그 과정은 약액 린스 세정후의 순수 린스 세정을 필요로 한다. 제 4 실시예는 그 경우를 상정한 EBR 헤드 (10) 의 구조이다. 포지티브 레지스트막을 제거하는 방법은 약액 린스로서 유기 용제를 사용하고 약액 린스 세정 후의 순수 린스 세정을 실행하지 않는다. 제 1 내지 제 3 실시예는 포지티브 레지스트막을 제거하는데 사용된다.
도 7 은 본 발명의 제 5 실시예를 설명하기 위한 EBR 헤드의 정면도이다. 슬릿형 송풍 노즐 (14) 및 슬릿형 약액 린스 노즐 (12) 의 폭이 유리 기판 (8) 의 일 변보다 길다.
제 5 실시예에서, 도 8a 에 도시된 바와 같이, 유기 기판 (8) 의 대향 단부 표면부의 코팅막이 제거되고, 도 8b 에 도시된 바와 같이, 유리 기판 (8) 이 90°회전되고, 그 후, 도 8c 에 도시된 바와 같이, 유리 기판 (8) 의 다른 대향 단부 표면부의 코팅막이 제거된다. 따라서, 포지티브 레지스트막을 제거하는 처리 시간을 제 1 내지 제 3 실시예에서와 비교하여 주로 감소될 수 있고, 특히, 점점 커지는 액정 표시장치의 각형 기판의 택트 시간을 감소시키는 중요한 효과가 있다.
도 9a 및 9b 는 본 발명의 제 6 실시예를 설명하기 위한 평면도 및 단면도이다. 슬릿형 약액 린스 및 송풍 노즐 (15) 과, 슬릿형 순수 린스 및 송풍 노즐 (16) 을 포함하는 EBR 장치가 운반될 유리 기판 (8) 의 일 변을 개재하도록 서로 인접하여 설치된다. 특히, 제 5 실시예에서와 같이, 각각의 노즐의 폭은 유리 기판 (8) 의 일 변의 폭보다 크다.
제 5 및 제 6 실시예에서, 각각의 노즐의 폭, 즉, 슬릿형 개구부의 개구 길이는 바람직하게는 기판의 양변중의 일 변의 폭보다 약 10 mm 이상 더 길다. 따라서, 개구부의 전체 길이는 바람직하게는 기판 폭보다 약 20 mm 이상 더 길다.
제 5 실시예의 경우에서와 같이, 제 6 실시예는 주로 네거티브 레지스트막을 제거하는 처리 시간을 단축시키는 이점을 갖는다.
상술한 바와 같이, 본 발명에서, 슬릿형 린스 노즐보다 넓은 범위를 담당하는 슬릿형 송풍 노즐은 고압에서 송풍하는데 사용된다. 슬릿형 송풍 노즐이 고압에서 약액을 분사할 때라도, 기판의 안쪽으로 미스트가 비산되지 않고, 코팅막상의 물리적 작용이 제거 효율을 향상시키도록 한다. 사용되는 액체의 양이 감소되고, 처리 시간이 단축된다.
코팅막을 선형으로 균일하게 제거하도록 슬릿형 린스 노즐은 고압에서 약액을 분사하고 코팅막의 제거된 부분은 거의 이방성 형태이다. 공정의 최종에서, 단부 표면의 액체가 송풍되고 액체가 그 위에 잔류하지 않도록 슬릿형 송풍 노즐이 고압 가스를 송풍하는데 사용된다.
유리 기판을 예로 들어 실시예를 설명하였다. 그러나, 디스플레이 패널의 기판용 재료는 유리에 한정되지 않고, 말할 필요도 없이, 플라스틱과 같은 절연 투명 기판이 사용될 수 있다.
도 1a 는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 EBR 헤드의 정면도,
도 1b 는 도 1a 의 선 (A-A) 을 따라 절단된 단면도,
도 2 는 본 발명에 따른 코팅막 제거장치의 동작을 설명하는 블록도,
도 3 은 본 발명의 일 실시예의 동작을 설명하는 사시도,
도 4 는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 EBR 헤드의 단면도,
도 5 는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 EBR 헤드의 단면도,
도 6 는 본 발명의 제 4 실시예에 따른 EBR 헤드의 정면도,
도 7 는 본 발명의 제 5 실시예에 따른 EBR 헤드의 정면도,
도 8a 내지 8c 는 본 발명의 다른 실시예에 따른 동작을 설명하는 사시도,
도 9a 는 본 발명의 제 6 실시예에 따른 EBR 헤드의 평면도,
도 9b 는 도 9a 의 선 (B-B) 을 따라 절단된 단면도,
도 10a 는 종래예 1 에 따른 EBR 헤드의 정면도,
도 10b 는 도 10a 의 선 (C-C) 을 따라 절단된 단면도,
도 11 은 종래예 2 에 따른 EBR 헤드의 단면도,
도 12 는 종래예 3 에 따른 EBR 헤드의 단면도, 및
도 13 은 종래예 4 에 따른 EBR 헤드의 단면도이다.
※ 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
1 : 송풍 가스 2 : 린스액
3 : 린스 순수 4 : 가스 공급구
5 : 약액 공급구 6 : 순수 공급구
7 : 배기구 8 : 유리 기판
9 : 레지스트막 10 : EBR 헤드
11 : EBR 측판 12 : 슬릿형 약액 린스 노즐
13 : 슬릿형 순수 린스 노즐 14 : 슬릿형 송풍 노즐
15 : 슬릿형 약액 린스 및 송풍 노즐
16 : 슬릿형 순수 린스 및 송풍 노즐
17 : 핀형 약액 린스 노즐 18 : 핀형 순수 린스 노즐
19 : 핀형 송풍 노즐 20 : 딥형 약액 린스부
21 : 테이블 22 : 흡착홀
23 : 배기 댐퍼 24, 25, 26 : 자동 밸브

Claims (13)

  1. 코팅막이 형성된 기판의 단부 표면의 주변부에 상기 코팅막을 용해시키는 약액을 분사하는 개구부를 구비한 약액 린스 노즐; 및
    상기 기판에서 상기 약액에 의해 용해된 상기 코팅막이 제거되도록 상기 기판으로 가스를 분사하는 슬릿형 개구부를 갖는 슬릿형 송풍 노즐을 구비하고,
    상기 슬릿형 송풍 노즐의 폭이 상기 약액 린스 노즐의 폭보다 넓고,
    상기 약액 린스 노즐은 슬릿 형태로 개구부를 구비한 슬릿형 약액 린스 노즐을 포함하며,
    상기 슬릿형 약액 린스 노즐이 상기 슬릿형 송풍 노즐과 상기 기판의 단부 사이에 형성되는 것을 특징으로 하는 코팅막 제거장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 슬릿형 송풍 노즐 및 상기 슬릿형 약액 린스 노즐은 상기 기판의 일 변을 따라 연장하는 슬릿형 개구부를 각각 구비하고, 각각의 개구부의 길이는 상기 기판의 일 변보다 긴 것을 특징으로 하는 코팅막 제거장치.
  5. 코팅막이 형성된 기판의 단부 표면의 주변부에 상기 코팅막을 용해시키는 약액을 분사하는 슬릿 형태의 개구부를 구비한 슬릿형 약액 린스 노즐; 및
    상기 기판에서 상기 약액에 의해 용해된 상기 코팅막이 제거되도록 상기 기판으로 가스를 분사하는 슬릿형 개구부를 갖는 슬릿형 송풍 노즐을 구비하고,
    상기 슬릿형 송풍 노즐의 폭이 상기 약액 린스 노즐의 폭보다 넓고,
    상기 슬릿형 약액 린스 노즐이 상기 슬릿형 송풍 노즐과 상기 기판의 단부 사이에 형성되고,
    상기 슬릿형 약액 린스 노즐 및 슬릿형 송풍 노즐이 일체화된 노즐인 것을 특징으로 하는 코팅막 제거장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 일체화된 노즐의 개구부가 하나인 것을 특징으로 하는 코팅막 제거장치.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 슬릿형 송풍 노즐과 상기 슬릿형 약액 린스 노즐 사이에서, 순수를 분사하는 슬릿형 개구부를 구비한 슬릿형 순수 린스 노즐을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 코팅막 제거장치.
  8. 코팅막이 형성된 기판의 단부 표면의 주변부에 상기 코팅막을 용해시키는 약액을 분사하는 슬릿 형태의 개구부를 구비한 슬릿형 약액 린스 노즐;
    상기 기판에서 상기 약액에 의해 용해된 상기 코팅막이 제거되도록 상기 기판으로 가스를 분사하는 슬릿형 개구부를 갖는 슬릿형 송풍 노즐; 및
    상기 슬릿형 송풍 노즐과 상기 슬릿형 약액 린스 노즐 사이에, 순수를 분사하는 슬릿형 개구부를 구비한 슬릿형 순수 린스 노즐을 구비하고,
    상기 슬릿형 송풍 노즐의 폭이 상기 약액 린스 노즐의 폭보다 넓고,
    상기 슬릿형 약액 린스 노즐이 상기 슬릿형 송풍 노즐과 상기 기판의 단부 사이에 형성되며,
    상기 슬릿형 순수 린스 노즐과 상기 슬릿형 송풍 노즐이 일체화된 노즐이고, 상기 일체화된 노즐은 상기 가스와 상기 순수의 혼합물을 분사하는 슬릿형 개구부를 포함하는 것을 특징으로 하는 코팅막 제거장치.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 슬릿형 약액 린스 노즐과 상기 슬릿형 송풍 노즐의 결합에 의해 제 1 노즐장치가 이루어지고,
    상기 슬릿형 약액 린스 노즐에 인접하여 설치되고 순수를 분사하는 슬릿형 개구부를 구비한 슬릿형 순수 린스 노즐과, 상기 슬릿형 송풍 노즐이 인접하여 설치되고 가스를 분사하는 슬릿형 개구부를 구비한 제 2 슬릿형 송풍 노즐의 결합에 의해 이루어지는 제 2 노즐장치를 더 포함하고,
    상기 제 1 노즐장치 및 상기 제 2 노즐장치는 상기 기판의 일 변을 따라 서로 인접하여 설치되는 것을 특징으로 하는 코팅막 제거장치.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 제 1 및 제 2 노즐장치와 동일한 구조를 갖는 제 3 및 제 4 노즐장치를 더 포함하고, 상기 제 1 및 제 3 노즐장치는 상기 기판의 일 변을 개재하도록 설치되고, 상기 제 2 및 제 4 노즐장치는 상기 기판의 일 변을 개재하도록 설치되는 것을 특징으로 하는 코팅막 제거장치.
  11. 제 5 항에 있어서,
    상기 일체화된 노즐은 공통의 칸막이부에 의해 분리되어 있으며, 상기 가스 및 상기 약액을 독립적으로 분사하는 슬릿형 개구부를 구비하는 것을 특징으로 하는 코팅막 제거장치.
  12. 코팅막이 형성된 기판의 단부 표면의 주변부에 상기 코팅막을 용해시키는 약액을 분사하는 슬릿 형태의 개구부를 구비한 슬릿형 약액 린스 노즐;
    상기 기판에서 상기 약액에 의해 용해된 상기 코팅막이 제거되도록 상기 기판으로 가스를 분사하는 슬릿형 개구부를 갖는 슬릿형 송풍 노즐; 및
    상기 슬릿형 송풍 노즐과 상기 슬릿형 약액 린스 노즐 사이에, 순수를 분사하는 슬릿형 개구부를 구비한 슬릿형 순수 린스 노즐을 구비하고,
    상기 슬릿형 송풍 노즐의 폭이 상기 약액 린스 노즐의 폭보다 넓고,
    상기 슬릿형 약액 린스 노즐이 상기 슬릿형 송풍 노즐과 상기 기판의 단부 사이에 형성되며,
    상기 슬릿형 순수 린스 노즐과 상기 슬릿형 송풍 노즐이 일체화된 노즐이고, 상기 일체화된 노즐은 공통의 칸막이부에 의해 분리되어 있으며,
    상기 가스 및 상기 순수를 독립적으로 분사하는 슬릿형 개구부를 구비하는 것을 특징으로 하는 코팅막 제거장치.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 슬릿형 약액 린스 및 송풍 노즐과, 상기 슬릿형 순수 린스 및 송풍 노즐을 포함하는 노즐장치가 운반되는 기판의 일 변을 개재하도록 설치되는 것을 특징으로 하는 코팅막 제거장치.
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