KR20020018973A

KR20020018973A - 도포장치의 세정방법

Info

Publication number: KR20020018973A
Application number: KR1020010054066A
Authority: KR
Inventors: 나가사와코이치; 테라모토카즈마
Original assignee: 나카네 히사시; 도쿄 오카 고교 가부시키가이샤
Priority date: 2000-09-04
Filing date: 2001-09-04
Publication date: 2002-03-09
Also published as: KR100799691B1; TW503469B; JP4577964B2; JP2002066487A

Abstract

세정후에 새로운 도포액을 공급하는 경우 그 도포액의 농도가 남아 있는 세정액으로 희석되지 않도록 하는 도포장치의 세정방법을 제공한다. 도포 노즐(N)에 도포액을 공급하는 공급배관(1)과, 도포 노즐(N)로부터 공기를 빼기 위한 노즐내 공기빼기 배관(2), 또는 펌프내 공기빼기 배관(3)의 중도에 설치되는 제1 밸브(V1)∼제4 밸브(V4)를 개방, 폐쇄, 또는 개폐동작시키는 것으로 배관 내부 등을 세정한다.

Description

도포장치의 세정방법{A cleaning method for a coating apparatus}

본 발명은 도포장치의 세정방법에 관한 것이다.

유리 기판이나 반도체 웨이퍼 표면에 레지스트 등의 도포액을 도포하는 도포장치에 있어서, 도포액의 종류를 바꿀 때나 장시간 장치를 정지시킬 때에는, 배관, 필터, 밸브, 펌프 및 도포 노즐을 포함한 경로내에 남아 있는 도포액을 배출시켜 내부를 세정할 필요가 있다.

종래의 세정방법은 배관 등에 남아 있는 도포액을 공기나 질소에 의한 가압송액(送液) 또는 펌프를 구동시키는 것 등으로 배출하고, 이어서 세정액을 배출관 등으로 이송하고, 밸브를 온/오프시킴으로써 배관 내부 등을 세정하도록 하고 있다.

종래의 세정에 있어서는, 세정액으로서 도포액 용매 혹은 도포액 용매를 함유하는 혼합 용제 등을 사용하고 있다. 도포액 용매 혹은 도포액 용매를 함유하는 혼합 용제 등은 세정 능력은 높지만 일반적으로는 잘 건조되지 않아, 새로운 도포액을 공급한 때 도포액이 희석되어 농도변화가 일어나게 된다.

한편, 휘발성이 높은 세정액을 사용하면 쉽게 건조시킬 수는 있으나, 휘발성이 높은 세정액은 세정 능력이 떨어지는 문제가 있다.

도 1은 세정의 제1 공정을 나타내는 도면,

도 2는 세정의 제2 공정을 나타내는 도면,

도 3은 세정의 제3 공정을 나타내는 도면이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1: 공급배관 2: 노즐내 공기빼기 배관

3: 펌프내 공기빼기 배관 F1, F2: 필터

N: 도포 노즐 V1∼V4: 제1 밸브∼제4 밸브

상기 과제를 해결하기 위해 본 발명에 따른 도포장치의 세정 방법은, 잘 휘발되지 않지만 세정력이 뛰어난 저휘발성 세정액으로 경로 내부 등을 세정한 후, 세정력은 떨어지지만 휘발성이 높은 세정액을 이용하여 다시 경로 내부 등을 세정하도록 하였다.

고휘발성 세정액을 경로 내부 등에 충전하는 것으로, 그 내부에 남아 있는 저휘발성 세정액이 제거되고, 새로운 도포액을 공급할 때에는 경로 내부 등은 완전히 건조된 상태이므로, 농도가 변화하는 일이 없다.

상기 저휘발성 세정액, 즉, 도포액 용매 혹은 도포액 용매를 함유하는 혼합 용제로서는, 프로필렌 글리콜 모노에틸에테르 아세테이트, 에틸렌 글리콜 모노에틸에테르 아세테이트, 시클로헥사논, 에틸에톡시 프로피오네이트, 메틸아밀 케톤, 에틸락테이트 등을 들 수 있고, 상기 고휘발성 세정액으로서는, 초산 에틸, 초산 프로필, 메틸 에틸 케톤, 초산 이소프로필, 아세톤 등을 들 수 있고, 그 고휘발성 세정액의 25℃에서의 증기압은 4×10³Pa∼35×10³Pa 범위이다. 특히, 초산 에틸, 초산 프로필, 메틸 에틸 케톤은 컬러 필터용 레지스트에 대하여, 아세톤은 반도체용 레지스트에 대하여 이물(異物)을 생성시키지 않고 용해성도 높아 효과적이다.

이하, 본 발명의 실시형태를 설명한다. 도 1 내지 도 3은 도포장치의 개략도로서, 각 도면은 제1∼제3 세정공정을 나타낸다.

우선, 도포장치는 도포 노즐(N)과, 이 도포 노즐(N)에 도포액을 공급하는 공급배관(1)과, 도포 노즐(N)내의 공기를 빼기 위한 노즐내 공기빼기 배관(2)을 구비하고, 도포액 공급배관(1)에는 필터(F1), 제1 밸브(V1) 및 펌프(P), 제2 밸브(V2) 및 필터(F2)가 설치되고, 노즐내 공기빼기 배관(2)에는 제3 밸브(V3)가 설치되고, 또한 본 실시예에서는, 펌프(P)로부터 펌프내 공기빼기 배관(3)이 도출되어 있으며, 이 펌프내 공기빼기 배관(3)에는 제4 밸브(V4)가 설치되어 있다.

상기 도포장치를 세정하기 위해서는, 우선 제1 밸브(V1) 내지 제4 밸브(V4)를 모두 열고, 각 배관, 필터, 밸브 및 펌프의 내부에 남아 있는 도포액을 배출시킨다. 이 도포액 배출에는, 공기나 질소에 의한 가압 송액(送液)으로 배출하거나 펌프를 구동시킨다.

이어서, 저휘발성 세정액을 이용한 세정을 행한다. 이 세정을 본 실시예에서는 3개의 공정으로 나누어 행한다. 각 공정에서의 제1 내지 제4 밸브(V1∼V4)의 상태를 하기 표 1에 나타낸다.

[표 1]

	밸브①	밸브②	밸브③	밸브④
제1공정	세정액 통으로부터 필터(F1)→밸브(V1)→펌프(P)→밸브(V4)→배출까지의 경로를 세정	개폐동작	폐쇄	폐쇄	개방
제2공정	세정액통으로부터 필터(F1)→밸브(V1)→펌프(P)→밸브(V2)→필터(F2)→노즐(N)까지의 경로를 세정	개방	개폐동작	폐쇄	폐쇄
제3공정	세정액통으로부터 필터(F1)→밸브(V1)→펌프(P)→밸브(V2)→필터(F2)→노즐(N)→밸브(V3)→배출까지의 경로를 세정	개방	개방	개폐동작	폐쇄

상기 표 1에 나타낸 바와 같이, 제1 공정에서는, 제2 밸브(V2)와 제 3 밸브(V3)를 폐쇄하고, 제4 밸브(V4)를 개방하고, 이 상태에서 공기나 질소에 의한 가압 송액을 행하는 동시에, 제1 밸브(V1)에 개폐동작을 실시한다. 이 경우, 공기나 질소에 의한 가압 송액이 펌프(P)에 의한 송액으로 대체되어도 좋다.

이 제1 공정에서는, 도 1에 나타낸 바와 같이, 도포액 공급배관(1)중 펌프(P)까지의 부분과 펌프내 공기빼기 배관(3), 그리고 이들 배관에 설치된 필터(F1), 제1 밸브(V1), 펌프(P) 및 제4 밸브(V4)가 세정된다. 또한, 제1 밸브(V1)가 개폐동작을 행하는 것으로 맥동(脈動)이 발생하여, 효과적으로 세정이 행해진다.

이어서, 제2 공정을 행한다. 이 제2 공정에서는, 제1 밸브(V1)를 개방하고, 제3 벨브(V3)와 제4 밸브(V4)를 폐쇄하고, 이 상태에서 펌프(P)를 구동시킴과 동시에 제2 밸브(V2)에 개폐동작을 실시한다.

이 제2 공정에서는, 도 2에 나타낸 바와 같이, 도포액 공급배관(1), 노즐(N), 그리고 필터(F1), 제1 밸브(V1), 펌프(P), 제2 밸브(V2) 및 필터(F2)가 세정된다.

이어서, 제3 공정을 행한다. 이 제3 공정에서는, 제1 밸브(V1) 및 제2 밸브(V2)를 개방하고, 제4 밸브(V4)를 폐쇄하고, 이 상태에서 펌프(P)를 구동시킴과 동시에 제3 밸브(V3)에 개폐동작을 실시한다.

이 제3 공정에서는, 도 3에 나타낸 바와 같이, 도포액 공급배관(1), 노즐내 공기빼기 배관(2), 노즐(N), 그리고 필터(F1), 제1 밸브(V1), 펌프(P), 제2 밸브(V2), 필터(F2) 및 제3 밸브(V3)가 세정된다.

이상과 같은 저휘발성 세정액을 이용한 제1 내지 제3 공정으로 이루어진 전(前)세정이 종료되면, 고휘발성 세정액을 이용한 후(後)세정을 실시한다. 이 후세정도 상기 저휘발성 세정액에 의한 경우와 마찬가지로 표 1에 나타낸 제1 내지 제3 공정으로 행한다.

그러나, 세정하는 제1 내지 제3 공정은 상기 순서에 한정되지 않고, 필요에 따라 변경될 수도 있다. 또한, 제1 내지 제3 공정의 전(前)세정이 모두 종료된 후 후(後)세정을 실시하는 것이 아니고, 제1 세정의 전(前)세정이 끝나면 바로 후(後)세정을 행하도록 각 공정마다 전세정과 후세정을 행하여도 좋다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 도포장치의 세정방법에 의하면, 휘발성은 좋지 않지만 세정력이 우수한 저휘발성 세정액으로 경로 내부 등을 세정한후, 세정력은 떨어지지만 휘발성이 높은 세정액을 사용하여 다시 배관 내부 등을 세정하도록 하였기 때문에, 세정후에 도포장치 내부가 단시간내에 건조되어, 새로운 도포액을 공급할 때 농도가 변화하는 일이 없게 된다.

Claims

도포 노즐과, 이 도포 노즐에의 도포액 공급배관과, 도포 노즐로부터의 도포액 복귀배관을 구비하고, 상기 도포액 공급배관에는 필터, 밸브 및 펌프가 설치되고, 상기 도포액 복귀배관에는 밸브가 설치된 도포장치의 세정방법에 있어서, 배관, 필터, 밸브, 펌프 및 도포 노즐을 포함한 경로내의 도포액을 배출시킨 후, 저휘발성 세정액으로 상기 경로내를 세정하고, 그 후, 고휘발성 세정액으로 상기 경로내를 세정하는 것을 특징으로 하는 도포장치의 세정방법.
제 1 항에 있어서, 상기 저휘발성 세정액은 도포액 용매 혹은 도포액 용매를 함유하는 혼합 용제이고, 상기 고휘발성 세정액은 증기압이 4×10³Pa∼35×10³Pa (25℃)인 고휘발성 유기용제인 것을 특징으로 하는 도포장치의 세정방법.