JPH11333387A - 高圧ジェット式スピン洗浄装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】ワークにキズを付けることなく短時間で良好に
ワークを洗浄することができる高圧ジェット式スピン洗
浄装置の提供。 【解決手段】ノズル４２から回転するウェーハＷに向け
て高圧の洗浄液を霧化させた状態で吹き付ける。これに
より、洗浄液がウェーハＷに当たる力が強くなり、ウェ
ーハＷから汚れが容易に剥離する。また、剥離した汚れ
は、ウェーハＷの回転による遠心力で洗浄液とともにウ
ェーハＷの外周に吹き飛ばされ、ウェーハ上から迅速に
除去される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は高圧ジェット式スピ
ン洗浄装置に係り、特に回転するワークに高圧の洗浄液
を吹き付けて洗浄する高圧ジェット式スピン洗浄装置に
関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体ワークの処理工程でワークに付着
した汚れを洗浄除去する装置には、回転するブラシに洗
浄液をかけながらワークの表面に押し当てて汚れを擦り
洗いするスクラブ洗浄装置や、ワークを回転させながら
洗浄液をかけて洗浄するスピン洗浄装置などがある。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、スクラ
ブ洗浄装置は、ブラシで擦り洗いするものなのでワーク
の表面に傷が付きやすいという欠点があり、また、スピ
ン洗浄装置は、洗浄液をそのまま供給して洗浄するもの
なので、洗浄に時間がかかるとともに洗浄液を大量に必
要とするという欠点があった。

【０００４】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たもので、ワークにキズを付けることなく短時間で良好
にワークを洗浄することができる高圧ジェット式スピン
洗浄装置を提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成するために、ワークを回転させながら洗浄液をかけて
洗浄する高圧ジェット式スピン洗浄装置において、前記
回転するワークに向けて高圧力を加えた洗浄液をノズル
から霧化させた状態で吹き付ける噴射手段を備えたこと
を特徴とする。

【０００６】本発明によれば、回転するワークに向けて
高圧の洗浄液を噴射することにより、洗浄液がワークに
当たる力が強くなり、ワークから汚れが容易に剥離す
る。また、剥離した汚れは、ワークの回転による遠心力
で洗浄液とともにワークから吹き飛ばされ、ワーク上か
ら迅速に除去される。このように、高圧の洗浄液を吹き
付けることと、ワークを回転させることによる相乗効果
でワークの汚れを短時間で良好に洗浄することができ
る。

【０００７】

【発明の実施の形態】以下、添付図面に従って本発明に
係る高圧ジェット式スピン洗浄装置の好ましい実施の形
態について詳説する。図１は、本発明に係る高圧ジェッ
ト式スピン洗浄装置の第１の実施の形態の全体構成図で
あり、図２は、その要部の構成を示す平面図。

【０００８】同図に示すように、本実施の形態の高圧ジ
ェット式スピン洗浄装置１０は、洗浄対象のウェーハＷ
を保持して回転させるウェーハ回転装置１２と、そのウ
ェーハ回転装置１２によって回転させられたウェーハＷ
に高圧の洗浄液を吹き付ける高圧ジェット噴射装置３０
とから構成されている。まず、ウェーハ回転装置１２の
構成について説明する。架台１４上に設置された洗浄槽
１６の内部には、円盤状に形成されたターンテーブル１
８が配設されている。ターンテーブル１８の上部には真
空チャック２０が設けられており、この真空チャック２
０上にウェーハＷが吸着保持される。ターンテーブル１
８の下部にはスピンドル２２が連結されており、該スピ
ンドル２２の下端部にはターンテーブル駆動モータ２４
の出力軸が連結されている。ターンテーブル１８は、こ
のターンテーブル駆動モータ２４を駆動することにより
回転する。

【０００９】次に、高圧ジェット噴射装置３０の構成に
ついて説明する。高圧ジェット噴射装置３０の圧力源を
構成するジェットポンプ３２の入力側には、パイプ３４
を介して洗浄液タンク３６が接続されている。一方、ジ
ェットポンプ３２の出力側には、パイプ３８を介してガ
ン４０が接続されている。ガン４０の先端部にはノズル
４２が設けられており、このノズル４２から高圧の洗浄
液がウェーハＷに向けて吹き付けられる。

【００１０】ここで、このガン４０は図１及び図２に示
すように、前記洗浄槽１６内に配設されたアーム４４の
先端に支持されており、該アーム４４の基端部は、モー
タ４６の出力軸に固着されている。モータ４６は前記洗
浄槽１６の内壁面にブラケット４８を介して支持されて
おり、このモータ４６を駆動することにより、アーム４
４が揺動してガン４４がウェーハＷの上方を水平に移動
する。

【００１１】以上の構成の高圧ジェット噴射装置３０で
は、ジェットポンプ３２が駆動されると、洗浄液タンク
３６内の洗浄液（純水）がジェットポンプ３２内に吸引
され、高圧力を加えられた状態でガン４０に供給され
る。そして、ガン４０に供給された洗浄液は、ノズル４
２の噴射口から霧化された状態で噴射される。ノズル４
２から吹き出された洗浄液はウェーハＷを洗浄したの
ち、洗浄槽１６内に落下し、該洗浄槽１６内に設置され
たリブ２６を通じて排水口２８に導かれる。そして、そ
の排水口２８に連結されたパイプ５０を介して洗浄液タ
ンク３６に戻される。

【００１２】前記のごとく構成された第１の実施の形態
の高圧ジェット式スピン洗浄装置１０の作用は次の通り
である。まず、図示しない搬送ロボットに搬送されたウ
ェーハＷが真空チャック２０上に載置される。そして、
その真空チャック２０によってウェーハＷが吸着保持さ
れる。

【００１３】次に、ターンテーブル駆動モータ２４が駆
動されてターンテーブル１８が回転し、ウェーハＷが回
転を開始する。これと同時に、モータ４６が駆動され、
アーム４４が所定の待機位置（図２中において二点破線
で示す位置）から所定の洗浄開始位置（図２中において
実線で示す位置）に旋回して移動する。そして、所定の
角度範囲で水平に揺動を開始する。この結果、アーム４
４の先端に設けられたガン４０がウェーハＷの上方で水
平に往復移動を開始する。

【００１４】次に、ジェットポンプ３２が駆動され、洗
浄液タンク３６内の洗浄液がジェットポンプ３２内に吸
引される。ジェットポンプ３２内に吸引された洗浄液
は、高圧力を加えられた状態でガン４０に供給され、ガ
ン４０のノズル４２からウェーハＷに向けて霧化された
状態で噴射される。ノズル４２から噴射された洗浄液
は、ターンテーブル１８上で回転するウェーハＷに当た
り、そのウェーハＷの表面に付着している汚れをウェー
ハＷから剥離する（高圧ジェット洗浄）。剥離した汚れ
は、高圧で吹き付けられた洗浄液によってウェーハＷ上
から吹き飛ばされると同時に、回転するウェーハＷの遠
心力によって洗浄液とともに吹き飛ばされる。

【００１５】ウェーハＷから吹き飛ばされた洗浄液は、
洗浄槽１６内に落下し、リブ２６によって排水口２８に
導かれる。そして、その排水口２８からパイプ５０を介
して洗浄液タンク３６に戻され、再び洗浄に供される。
すなわち、洗浄液は循環して使用されている。洗浄液の
噴射は所定時間継続して行われ、所定時間経過後ジェッ
トポンプ３２の駆動が停止される。そして、この後アー
ム４４が所定の待機位置に復帰してモータ４６の駆動が
停止される。

【００１６】一方、この洗浄液の噴射終了後もターンテ
ーブル１８の回転は継続して行われ、このターンテーブ
ル１８の回転による遠心力でウェーハＷ上に残留した洗
浄液が振り切られる。そして、これによりウェーハＷが
スピン乾燥される。このウェーハＷのスピン乾燥も所定
時間継続して行われ、所定時間経過後、ターンテーブル
駆動モータ２４の駆動が停止される。そして、ターンテ
ーブル１８の回転停止後、真空チャック２０によるチャ
ックが解除され、この後、図示しない搬送ロボットによ
って真空チャック２０上のウェーハＷが次の処理工程に
搬送されてゆく。

【００１７】このように、本実施の形態の高圧ジェット
式スピン洗浄装置１０によれば、高圧の洗浄液を吹き付
けるジェット洗浄と、ウェーハＷを回転させるスピン洗
浄の相乗効果によってウェーハＷを効率的に洗浄するこ
とができる。また、これにより、短時間で良好にウェー
ハを洗浄することができるようになり、洗浄液の使用量
も少量で済むようになる。

【００１８】また、本実施の形態の高圧ジェット式スピ
ン洗浄装置１０では、圧力を加えた洗浄液を霧化させた
状態でウェーハＷに噴射しているため、ウェーハＷに付
着した多様な粒子径の汚れを効率よく剥離することがで
きる。すなわち、圧力を加えた洗浄液を霧化させた状態
で噴射すると、噴射される洗浄液の粒子径の分布幅が大
きくなり（多様な粒子径を持つ粒子が混在するようにな
る）、洗浄する汚れの多様な粒子径に対応できるように
なる。この結果、多様な粒子径の汚れを効率よく剥離す
ることができるようになり、洗浄性が一層向上する。

【００１９】また、本実施の形態の高圧ジェット式スピ
ン洗浄装置１０によれば、洗浄液をウェーハＷに吹き付
けて洗浄するようしにしているので、従来のスクラブ洗
浄と異なり、ウェーハＷの表面にキズを付けることもな
い。なお、本実施の形態では、ノズル４２から噴射する
洗浄液の噴射圧力については特に言及していないが、３
ＭＰａ未満では洗浄水の噴射による物理的な洗浄作用を
十分に得ることができず、また、素子へのダメージを考
慮すると５０ＭＰａ以下が好ましい。したがって、噴射
する圧力は３ＭＰａ〜５０ＭＰａの範囲内で設定するの
が好ましい。

【００２０】また、使用する洗浄液については、純水に
限らず、薬品が混合されたものを使用してもよい。さら
に、ジェットポンプ３２の入力側に種類の異なる洗浄液
が貯留された複数のタンクを接続し、バルブの開閉操作
によってウェーハＷに噴射する洗浄液の種類を変えるこ
とができるように構成してもよい。

【００２１】また、本実施の形態では、洗浄液を噴射す
るノズル４２は１つのみであるが、複数のノズルから洗
浄液を噴射してウェーハＷに吹き付けるように構成して
もよい。この場合、複数のノズルは、同心円上に等間隔
に配置してもよいし、また、図３に示すように、同一直
線上に配置してもよい。また、本実施の形態では、アー
ム４４を所定の角度範囲で揺動させることにより、ノズ
ル４２を水平に移動させるように構成しているが、図３
に示すように、アーム４４を往復移動させることによ
り、ノズル４２を移動させるようにしてもよい。

【００２２】図４は、本発明に係る高圧ジェット式スピ
ン洗浄装置の第２の実施の形態の全体構成図である。同
図に示すように、第２の実施の形態の高圧ジェット式ス
ピン洗浄装置１００は、ウェーハ回転装置１０２、第１
高圧ジェット噴射装置１０４Ａ、第２高圧ジェット噴射
装置１０４Ｂ及び低圧噴射装置１０４Ｃとから構成され
ている。

【００２３】まず、ウェーハ回転装置１０２の構成につ
いて説明する。架台１１０上には洗浄槽１１２が設置さ
れている。洗浄槽１１２は矩形の箱型に形成されてお
り、その内部を第１リブ１１４Ａ、第２リブ１１４Ｂ及
び第３リブ１１４Ｃによって３つの洗浄室１１６Ａ、１
１６Ｂ、１１６Ｃに仕切られている（以下、この３つの
洗浄室を上から順に第１洗浄室１１６Ａ、第２洗浄室１
１６Ｂ、第３洗浄室１１６Ｃという。）。各リブ１１４
Ａ〜１１４Ｃは環状に形成されており、このうち第１リ
ブ１１４Ａと第２リブ１１４Ｂは、その中央開口部にシ
ャッタ機構１１８Ａ、１１８Ｂが設けられている。この
シャッタ機構１１８Ａ、１１８Ｂは図示しない駆動手段
に駆動されることにより、第１リブ１１４Ａと第２リブ
１１４Ｂの中央開口部の径を拡縮して、中央開口部を開
閉する。

【００２４】洗浄槽１１２の内部には、円盤状に形成さ
れたターンテーブル１２０が配設されている。ターンテ
ーブル１２０の上部には真空チャック１２２が設けられ
ており、この真空チャック１２２上にウェーハＷが吸着
保持される。一方、ターンテーブル１２０の下部にはス
ピンドル１２４が連結されており、該スピンドル１２４
の下端部にはターンテーブル駆動モータ１２６の出力軸
が連結されている。ターンテーブル１２０は、このター
ンテーブル駆動モータ１２６を駆動することにより回転
する。

【００２５】また、前記ターンテーブル駆動モータ１２
６は、昇降テーブル１２８上に設置されている。この昇
降テーブル１２８は昇降装置１３０に駆動されることに
より垂直に上下動する。そして、この昇降テーブル１２
８が上下動することにより、ターンテーブル１２０が洗
浄槽１１２内を垂直に上下動し、各洗浄室１１６Ａ〜１
１６Ｃの間を移動する。

【００２６】なお、ターンテーブル１２０は、各リブ１
１４Ａ〜１１４Ｃの中央開口部を通って各洗浄室１１６
Ａ〜１１６Ｃの間を移動し、この際、前記第１リブ１１
４Ａと第２リブ１１４Ｂに設けられたシャッタ機構１１
８Ａ、１１８Ｂが開閉する。次に、第１高圧ジェット噴
射装置１０４Ａの構成について説明する。図４に示すよ
うに、圧力源である第１ジェットポンプ１３２Ａの入力
側には、パイプ１３４Ａを介して第１タンク１３６Ａが
接続されている。この第１タンク１３６Ａには、薬液が
混入された洗浄液が貯留されている。一方、第１ジェッ
トポンプ１３２Ａの出力側には、パイプ１３８Ａを介し
て第１ガン１４０Ａが接続されている。この第１ガン１
４０Ａは前記第１洗浄室１１６Ａ内に配設された第１ア
ーム１４４Ａの先端部に支持されており、該第１アーム
１４４Ａの基端部は第１モータ１４６Ａの出力軸に固着
されている。第１モータ１４６Ａは前記第１洗浄室１１
６Ａの壁面にブラケット１４８Ａを介して支持されてお
り、この第１モータ１４６Ａを駆動することにより、第
１アーム１４４Ａが水平に揺動する。そして、これによ
り第１ガン１４０Ａが水平に移動する。

【００２７】以上の構成の第１高圧ジェット噴射装置１
０４Ａでは、第１ジェットポンプ１３２Ａを駆動する
と、第１タンク１３６Ａ内の洗浄液が第１ジェットポン
プ１３２Ａ内に吸引され、高圧力を加えられた状態で第
１ガン１４０Ａに供給される。第１ガン１４０Ａに供給
された洗浄液は、その第１ガン１４０Ａの先端に設置さ
れたノズル１４２Ａから霧化された状態で噴射される。
噴射された洗浄液はウェーハＷを洗浄したのち、第１リ
ブ１１４Ａを通じて第１排水口１５０Ａに導かれ、パイ
プ１５２Ａを介して第１タンク１３６Ａに戻される。そ
して、再び洗浄に供される。

【００２８】次に、第２高圧ジェット噴射装置１０４Ｂ
の構成について説明する。圧力源である第２ジェットポ
ンプ１３２Ｂの入力側には、パイプ１３４Ｂを介して第
２タンク１３６Ｂが接続されている。この第２タンク１
３６Ｂには、純水が貯留されている。一方、第２ジェッ
トポンプ１３２Ｂの出力側には、パイプ１３８Ｂを介し
て第２ガン１４０Ｂが接続されている。この第２ガン１
４０Ｂは前記第２洗浄室１１６Ｂ内に配設された第２ア
ーム１４４Ｂの先端部に支持されており、該第２アーム
１４４Ｂの基端部は第２モータ１４６Ｂの出力軸に固着
されている。第２モータ１４６Ｂは前記第２洗浄室１１
６Ｂの壁面にブラケット１４８Ｂを介して支持されてお
り、この第２モータ１４６Ｂを駆動することにより、第
２アーム１４４Ｂが水平に揺動する。そして、これによ
り第２ガン１４０Ｂが水平に移動する。

【００２９】以上の構成の第２高圧ジェット噴射装置１
０４Ｂでは、第２ジェットポンプ１３２Ｂを駆動する
と、第２タンク１３６Ｂ内の純水が第２ジェットポンプ
１３２Ｂ内に吸引され、高圧力を加えられた状態で第２
ガン１４０Ｂに供給される。第２ガン１４０Ｂに供給さ
れた純水は、その第２ガン１４０Ｂの先端に設置された
ノズル１４２Ｂから霧化された状態で噴射される。噴射
された純水はウェーハＷを洗浄したのち、第２リブ１１
４Ｂを通じて第２排水口１５０Ｂに導かれ、パイプ１５
２Ｂを介して第２タンク１３６Ｂに戻される。そして、
再び洗浄に供される。

【００３０】なお、第２ガン１４０Ｂのノズル１４２Ｂ
から噴射される純水の噴射圧力は、第１ガン１４０Ａの
ノズル１４２Ａから噴射される洗浄液の噴射圧力と略同
じ圧に設定されている。次に、低圧噴射装置１０４Ｃの
構成について説明する。圧力源である低圧ポンプ１３２
Ｃの入力側には、パイプ１３４Ｃを介して図示しない純
水供給装置が連結されている。一方、低圧ポンプ１３２
Ｃの出力側には、パイプ１３８Ｃを介して第３ガン１４
０Ｃが接続されている。この第３ガン１４０Ｃは前記第
３洗浄室１１６Ｃ内に配設された第３アーム１４４Ｃの
先端部に支持されており、該第３アーム１４４Ｃの基端
部は第３モータ１４６Ｃの出力軸に固着されている。第
３モータ１４６Ｃは前記第３洗浄室１１６Ｃの壁面にブ
ラケット１４８Ｃを介して支持されており、この第３モ
ータ１４６Ｃを駆動することにより、第３アーム１４４
Ｃが水平に揺動する。そして、これにより第３ガン１４
０Ｃが水平に移動する。

【００３１】以上の構成の低圧噴射装置１０４Ｃでは、
低圧ポンプ１３２Ｃを駆動すると、図示しない純水供給
装置から純水が低圧ポンプ１３２Ｃ内に吸引され、圧力
を加えられた状態で第３ガン１４０Ｃに供給される。第
３ガン１４０Ｃに供給された純水は、その第３ガン１４
０Ｃの先端に設置されたノズル１４２Ｃから霧化された
状態で噴射される。噴射された純水はウェーハＷを洗浄
したのち、第３リブ１１４Ｃを通じて第３排水口１５０
Ｃに導かれ、パイプ１５２Ｃを介して図示しない廃水槽
に排水される。

【００３２】なお、第３ガン１４０Ｂのノズル１４２Ｃ
から噴射される純水の噴射圧力は、第１ガン１４０Ａの
ノズル１４２Ａから噴射される洗浄液の噴射圧力よりも
低圧に設定されている。前記のごとく構成された第２の
実施の形態の高圧ジェット式スピン洗浄装置１００の作
用は次の通りである。

【００３３】図４に示すように、初期状態において、タ
ーンテーブル１２０は第１洗浄室１１６Ａの所定の洗浄
位置（図４に実線で示した位置）に位置している。ま
た、前記第１リブ１１４Ａと第２リブ１１４Ｂに設けら
れたシャッタ機構１１８Ａ、１１８Ｂは閉められた状
態、すなわち、縮径した状態にある。まず、図示しない
搬送ロボットに搬送されたウェーハＷが第１洗浄室１１
６Ａに位置したターンテーブル１２０の真空チャック１
２２上に載置される。そして、その真空チャック１２２
によってウェーハＷが吸着保持される。

【００３４】次に、ターンテーブル駆動モータ１２６が
駆動されてターンテーブル１２０が回転し、ウェーハＷ
が回転を開始する。これと同時に、第１モータ１４６Ａ
が駆動され、第１アーム１４４Ａが所定の待機位置から
所定の洗浄開始位置に旋回移動する（図２参照）。そし
て、所定の角度範囲で水平に揺動を開始する。この結
果、第１アーム１４４Ａの先端に設けられた第１ガン１
４０ＡがウェーハＷの上方で水平に往復移動を開始す
る。

【００３５】次に、第１ジェットポンプ１３２Ａが駆動
され、第１タンク１３６Ａ内の洗浄液（薬液が混入され
た洗浄液）が第１ジェットポンプ１３２Ａ内に吸引され
る。第１ジェットポンプ１３２Ａ内に吸引された洗浄液
は、高圧力を加えられた状態で第１ガン１４０Ａに供給
され、第１ガン１４０Ａのノズル１４２Ａからウェーハ
Ｗに向けて霧化された状態で噴射される。

【００３６】ノズル１４２Ａから噴射された洗浄液は、
ターンテーブル１２０上で回転するウェーハＷに当た
り、そのウェーハＷの表面に付着している汚れをウェー
ハＷから剥離する（高圧ジェット洗浄）。剥離した汚れ
は、高圧で吹き付けられた洗浄液によってウェーハＷ上
から吹き飛ばされると同時に、回転するウェーハＷの遠
心力によって洗浄液とともに吹き飛ばされる。

【００３７】ウェーハＷから吹き飛ばされた洗浄液は、
第１洗浄室１１６Ａ内に落下し、第１リブ１１４Ａによ
って第１排水口１５０Ａに導かれる。そして、その第１
排水口１５０Ａからパイプ１５２Ａを介して第１タンク
１３６Ａに戻され、再び洗浄に供される。洗浄液の噴射
は所定時間継続して行われ、所定時間経過後第１ジェッ
トポンプ１３２Ａの駆動が停止される。そして、この後
第１アーム１４４Ａが所定の待機位置に復帰して、第１
モータ１４６Ａの駆動が停止される。

【００３８】一方、この洗浄液の噴射終了後もターンテ
ーブル１２０の回転は継続して行われ、このターンテー
ブル１２０の回転による遠心力でウェーハＷ上に残留し
た洗浄液が振り切られる。そして、所定時間経過後、タ
ーンテーブル駆動モータ１２６の駆動が停止される。次
に、シャッタ機構１１８Ａが図示しない駆動装置に駆動
されて開き、第１リブ１１４Ａの中央開口部が拡径す
る。次いで、昇降装置１３０が駆動され、昇降テーブル
１２８が所定量下降する。この結果、ターンテーブル１
２０が第１リブ１１４Ａの中央開口部を通って、第２洗
浄室１１６Ｂの所定の洗浄位置（図４に二点破線で示す
位置）に位置する。

【００３９】ターンテーブル１２０が第２洗浄室１１６
の所定の洗浄位置に移動すると、再びシャッタ機構１１
８Ａが図示しない駆動装置に駆動されて閉じ、第１リブ
１１４Ａの中央開口部が縮径する。次いで、再びターン
テーブル駆動モータ１２６が駆動され、ターンテーブル
１２０が回転する。これと同時に、第２モータ１４６Ｂ
が駆動され、第２アーム１４４Ｂが所定の待機位置（図
４の実線で示す位置）から所定の洗浄開始位置（図４の
二点破線で示す位置）に旋回移動する（図２参照）。そ
して、所定の角度範囲で水平に揺動を開始する。この結
果、第２アーム１４４Ｂの先端に設けられた第２ガン１
４０ＢがウェーハＷの上方で水平に往復移動を開始す
る。

【００４０】次に、第２ジェットポンプ１３２Ｂが駆動
され、第２タンク１３６Ｂ内の純水が第２ジェットポン
プ１３２Ｂ内に吸引される。第２ジェットポンプ１３２
Ｂ内に吸引された純水は、高圧力を加えられた状態で第
２ガン１４０Ｂに供給され、第２ガン１４０Ｂのノズル
１４２ＢからウェーハＷに向けて霧化された状態で噴射
される。

【００４１】ノズル１４２Ｂから噴射された純水は、タ
ーンテーブル１２０上で回転するウェーハＷに当たり、
そのウェーハＷの表面に付着している汚れ及び洗浄液を
ウェーハＷから剥離する（高圧ジェット洗浄）。剥離し
た汚れは、高圧で吹き付けられた純水によってウェーハ
Ｗ上から吹き飛ばされると同時に、回転するウェーハＷ
の遠心力によって純水とともに吹き飛ばされる。

【００４２】ウェーハＷから吹き飛ばされた純水は、第
２洗浄室１１６Ｂ内に落下し、第２リブ１１４Ｂによっ
て第２排水口１５０Ｂに導かれる。そして、その第２排
水口１５０Ｂからパイプ１５２Ｂを介して第２タンク１
３６Ｂに戻され、再び洗浄に供される。純水の噴射は所
定時間継続して行われ、所定時間経過後第２ジェットポ
ンプ１３２Ｂの駆動が停止される。そして、この後第２
アーム１４４Ｂが所定の待機位置に復帰して、第２モー
タ１４６Ｂの駆動が停止される。

【００４３】一方、この純水の噴射終了後もターンテー
ブル１２０の回転は継続して行われ、このターンテーブ
ル１２０の回転による遠心力でウェーハＷ上に残留した
純水が振り切られる。そして、所定時間経過後、ターン
テーブル駆動モータ１２６の駆動が停止される。次に、
シャッタ機構１１８Ｂが図示しない駆動装置に駆動され
て開き、第２リブ１１４Ｂの中央開口部が拡径する。次
いで、昇降装置１３０が駆動され、昇降テーブル１２８
が所定量下降する。この結果、ターンテーブル１２０が
第２リブ１１４Ｂの中央開口部を通って、第３洗浄室１
１６Ｃの所定の洗浄位置（図４に二点破線で示す位置）
に位置する。

【００４４】ターンテーブル１２０が第３洗浄室１１６
Ｃの所定の洗浄位置に移動すると、再びシャッタ機構１
１８Ｂが図示しない駆動装置に駆動されて閉じ、第２リ
ブ１１４Ｂの中央開口部が縮径する。次いで、再びター
ンテーブル駆動モータ１２６が駆動され、ターンテーブ
ル１２０が回転する。これと同時に、第３モータ１４６
Ｃが駆動され、第３アーム１４４Ｃが所定の待機位置
（図４に実線で示す位置）から所定の洗浄開始位置（図
４に二点破線で示す位置）に旋回移動する（図２参
照）。そして、所定の角度範囲で水平に揺動を開始す
る。この結果、第３アーム１４４Ｃの先端に設けられた
第３ガン１４０ＣがウェーハＷの上方で水平に往復移動
を開始する。

【００４５】次に、低圧ポンプ１３２Ｃが駆動され、図
示しない純水供給装置から純水が低圧ポンプ１３２Ｃ内
に吸引される。低圧ポンプ１３２Ｃ内に吸引された純水
は、圧力を加えられた状態で第３ガン１４０Ｃに供給さ
れ、第３ガン１４０Ｃのノズル１４２ＣからウェーハＷ
に向けて霧化された状態で噴射される。ノズル１４２Ｃ
から噴射された純水は、ターンテーブル１２０上で回転
するウェーハＷに当たり、そのウェーハＷの表面に付着
している汚れとともに、回転するウェーハＷの遠心力に
よって吹き飛ばされる（リンス洗浄）。

【００４６】ウェーハＷから吹き飛ばされた純水は、第
３洗浄室１１６Ｃ内に落下し、第３リブ１１４Ｃによっ
て第３排水口１５０Ｃに導かれる。そして、その第３排
水口１５０Ｃからパイプ１５２Ｃを介して図示しない廃
水タンクに廃水される。純水の噴射は所定時間継続して
行われ、所定時間経過後、低圧ポンプ１３２Ｃの駆動が
停止される。そして、この後、第３アーム１４４Ｃが所
定の待機位置に復帰して、第３モータ１４６Ｃの駆動が
停止される。

【００４７】一方、この純水の噴射終了後もターンテー
ブル１２０の回転は継続して行われ、このターンテーブ
ル１２０の回転による遠心力でウェーハＷ上に残留した
純水が振り切られる。そして、所定時間経過後、ターン
テーブル駆動モータ１２６の駆動が停止される。次に、
シャッタ機構１１８Ａ、１１８Ｂが図示しない駆動装置
に駆動されて開き、第１リブ１１４Ａと第２リブ１１４
Ｂの中央開口部が拡径する。次いで、昇降装置１３０が
駆動され、昇降テーブル１２８が所定量上昇する。この
結果、ターンテーブル１２０が第２リブ１１４Ｂ及び第
１リブ１１４Ａの中央開口部を通って、第１洗浄室１１
６Ａの所定の洗浄位置（図４に実線で示す位置）に位置
する。

【００４８】以上一連の工程でウェーハＷの洗浄が終了
する。この後、真空チャック１２２によるチャックが解
除され、図示しない搬送ロボットによって真空チャック
１２２上のウェーハＷが次の処理工程に搬送されてゆ
く。このように、本実施の形態の高圧ジェット式スピン
洗浄装置１００では、高圧の洗浄液によるジェット洗浄
を行った後、高圧の純水によるジェット洗浄を行い、さ
らに低圧の純水によるリンス洗浄を行うようにしてい
る。このように段階的に洗浄を行うようにすることによ
り、１回のジェット洗浄のみの場合に比べて、より一層
洗浄効果が向上する。

【００４９】なお、本実施の形態では、高圧の洗浄液
（薬液を含む洗浄液）によるジェット洗浄→高圧の純
水によるジェット洗浄→低圧の純水によるリンス洗浄
というフローに従って洗浄を実施しているが、洗浄のフ
ローはこれに限定されるものではない。この他、例え
ば、高圧の洗浄液（薬液を含む洗浄液）によるジェッ
ト洗浄→高圧の洗浄液（第１回目の洗浄と種類の異な
る薬液を含む洗浄液）によるジェット洗浄→高圧の純
水によるジェット洗浄というフローに従って洗浄を実施
してもよいし、また、例えば、高圧の洗浄液（薬液を
含む洗浄液）によるジェット洗浄→高圧の洗浄液（第
１回目の洗浄と種類の異なる薬液を含む洗浄液）による
ジェット洗浄→低圧の純水によるリンス洗浄というフ
ローに従って洗浄を実施してもよい。

【００５０】また、本実施の形態では、洗浄を３段階に
分けて行っているが、多段で洗浄を行う方式であれば、
これに限定されるものではなく、例えば２段階あるいは
４段階に分けて洗浄を行うようにしてもよい。この場
合、洗浄を２段階に分けて行う場合は、例えば、高圧
の洗浄液（薬液を含む洗浄液）によるジェット洗浄の
後、高圧の純水によるジェット洗浄を行うようにして
もよいし、また、高圧の洗浄液（薬液を含む洗浄液）
によるジェット洗浄の後、低圧の純水によるリンス洗
浄を行うようにしてもよい。

【００５１】また、洗浄を４段階に分けて行う場合は、
例えば、高圧の洗浄液（薬液を含む洗浄液）によるジ
ェット洗浄の後、更に高圧の洗浄液（第１回目の洗浄
と種類の異なる薬液を含む洗浄液）によるジェット洗浄
を行い、この後、高圧の純水によるジェット洗浄を行
った後、低圧の純水によるリンス洗浄を行うようにし
てもよい。

【００５２】また、本実施の形態では、各ノズル１４２
Ａ〜１４２Ｃから噴射する洗浄液又は純水の圧力につい
ては特に言及していないが、上述した第１の実施の形態
と同様の理由から３ＭＰａ〜５０ＭＰａの範囲内で設定
するのが好ましい。また、本実施の形態においても、上
述した第１の実施の形態と同様に、各アーム１４４Ａ〜
１４４Ｃに複数のノズルを設け、この複数のノズルから
ウェーハＷに向けて洗浄液又は純水を噴射するようにし
てもよい。

【００５３】また、ワークＷとしてウェーハを例示した
が、高圧ジェット式スピン洗浄装置で洗浄できるもので
あれば、そのワークの形態は問わない。

【００５４】

【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る高圧
ジェット式スピン洗浄装置によれば、回転するワークに
向けて高圧の洗浄液を吹き付けることにより、洗浄液が
ワークに当たる力が強くなり、ワークから汚れが容易に
剥離する。また、剥離した汚れは、ワークの回転による
遠心力で洗浄液とともにワークの外周に吹き飛ばされ、
ワーク上から迅速に除去される。このように、高圧の洗
浄液を吹き付けることと、ワークを回転させることによ
る相乗効果でワークの汚れを短時間で良好に洗浄するこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１の実施の形態の高圧ジェット式スピン洗浄
装置の全体構成図

【図２】第１の実施の形態の高圧ジェット式スピン洗浄
装置の要部の構成を示す平面図

【図３】高圧ジェット式スピン洗浄装置の他の実施の形
態の構成図を示す斜視図

【図４】第２の実施の形態の高圧ジェット式スピン洗浄
装置の全体構成図

【符号の説明】

１０、１００…高圧ジェット式スピン洗浄装置 １６、１１２…洗浄槽 １８、１２０…ターンテーブル ３２…ジェットポンプ ３６…洗浄液タンク ４０…ガン ４２…ノズル １３２Ａ…第１ジェットポンプ １３２Ｂ…第２ジェットポンプ １３２Ｃ…低圧ポンプ １３６Ａ…第１タンク １３６Ｂ…第２タンク １４０Ａ〜１４０Ｃ…第１〜第３ガン １４２Ａ〜１４２Ｃ…ノズル Ｗ…ウェーハ

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ワークを回転させながら洗浄液をかけて
   洗浄する高圧ジェット式スピン洗浄装置において、 前記回転するワークに向けて高圧力を加えた洗浄液をノ
   ズルから霧化させた状態で吹き付ける噴射手段を備えた
   ことを特徴とする高圧ジェット式スピン洗浄装置。
2. 【請求項２】 前記噴射手段のノズルは前記ワークの面
   に沿って移動自在に設けられていることを特徴とする請
   求項１記載の高圧ジェット式スピン洗浄装置。
3. 【請求項３】 前記噴射手段のノズルから噴射する洗浄
   液の噴射圧力は３ＭＰａ〜５０ＭＰａの間に設定されて
   いることを特徴とする請求項１又は２記載の高圧ジェッ
   ト式スピン洗浄装置。
4. 【請求項４】 ノズルから噴射する洗浄液の種類及び／
   又は噴射圧力が異なる前記噴射手段が複数備えられてい
   ることを特徴とする請求項１記載の高圧ジェット式スピ
   ン洗浄装置。