KR100395081B1 - 오존수제조방법및장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 방전형 오존발생기로 발생시킨 가압상태의 오존가스를 다공질 중공 사막을 개재하여 피처리수에 용해하는 오존수 제조장치에 있어서, 그 중공사막의 상류에 중공사 내측의 수압을 그 오존가스압보다 높게 유지시키고, 그 수압 및 유량을 제어하는 무단계 가변속 제어방식의 펌프를 설치함과 동시에, 처리수중의 오존농도를 오존가스 농도에 의거하여 제어하는 제어기구를 설치하여, 처리수중에 미세기포 및 불순물을 함유하지 않고, 농도 및 유량, 압력을 일정한 수준으로 제어하는 고순도 오존수의 제조장치 및 방법을 제공한다.

Description

오존수 제조방법 및 장치{METHOD OF AND APPARATUS FOR PRODUCING OZONIZED WATER}
본 발명은 오존수의 제조에 관한 것으로, 특히 정밀기계, 전자공업, 의약·식품공업등에 사용되는 고순도의 오존수를 제조하기 위한 방법과 장치에 관한 것이다.
종래, 수중에 오존을 용해시킨 오존수의 제조기술은 식품·의약품 공업 혹은의료분야 등에서 주로 살균수의 제조에 사용되었다. 제조장치에서는 오존발생기로 방전형, 수전해형의 것을 사용하여, 발생시킨 오존가스를 ①폭기법, ②라인믹서 혹은 이젝터를 사용하는 혼합용해법, ③다공질 유리 혹은 티탄 단섬유 소결체로 만든 필터나 친수성 처리된 테프론막을 사용하는 산기필터법 등에 의하여 용해시키는 것이 알려져 있다. 또한, 수전해형 오존발생기 전해조의 양극실에, 피처리수를 직접 공급하여 오존과 접촉시켜 오존수를 제조하는 방법이나, 중공사 모듈형상의 산기필터를 이젝터로서 사용하는 방법도 제시되어 있다.
그러나, 종래기술은 모두 식품 등의 살균수로서의 오존수의 용도를 중시한 것으로, 오존수중의 불순물의 양을 감소한다기보다, 오히려 처리수중 오존농도를 증가시키는 것을 주안으로 하고 있다. 종래기술의 폭기법, 이젝터법등으로 고농도 오존수를 제조하는 경우, 피처리수중에 기포로서 가스를 산기시키기 위하여, 수압 보다 가스압을 높게하는 것을 특징으로 하는 것이 많다. 또, 산기막으로서 사용하고 있는 막의 공극 직경은 가스확산효율을 중시하기 때문에, 수㎛∼10㎛로 공극 직경이 큰 것을 사용하고 있다.
종래기술에서는 고농도의 오존수는 얻어지지만, 방전형 오존발생기를 사용한 경우, 방전체 주변의 부재로부터 중금속 등의 미립자가 발생하여, 미립자를 함유하는 상기 가스가 직접 피처리수에 산기하게 되어 수중의 불순물 농도가 증가하게 된다. 또 상기의 종래기술에서는 처리수중에 미세기포가 잔존하여, 전자공업, 정밀 기계 가공분야 등에서 오존수를 사용하는 경우에는, 오존수 처리 표면상에 요철이 생기는 원인으로 되기 쉬워 바람직하지 않다. 이와 같은 미세기포가 처리수중에 혼입되지 않게 하기 위해서는, 수압, 유량을 일정 수준으로 제어할 필요가 있다.
또, 유스 포인트(use point)까지 배관으로 송수하는 경우나, 전자공업 분야에서 사용되는 RCA세정조에 급수하여, 다른 화학약품과 혼합하여 사용하는 경우, 압력, 유량을 일정 수준으로 유지시키는 것이 필수이다. 종래의 폭기법이나 이젝터 법에서는, 가스압보다 수압을 낮추어 이용하기 때문에, 물의 유량, 압력을 제어하는 것이 어려우므로, 제조한 오존수를 펌프를 개재하여 송수할 필요가 있었다. 이 때문에, 펌프 자체의 내구성, 오존에 의한 부재로부터의 불순물 용출 등의 문제를 일으켜, 정밀세정 혹은 전자공업용으로 사용하는 것이 곤란하다.
상기한 상황을 감안하여, 본 발명의 목적은 상기와 같은 문제점을 해결하고, 처리수중에 미세기포 및 불순물을 함유하지 않고, 또 처리수의 농도 및 유량, 압력을 일정 수준으로 용이하게 제어한 고순도의 오존수 제조방법 및 장치를 제공하는데 있다.
상기 과제를 해결하기 위하여, 본 발명에서는 방전형 오존발생기로 발생시킨 가압상태의 오존가스를 중공사막을 개재하여 피처리수에 용해하는 오존수 제조방법에 있어서, 중공사막 내측의 수압을 중공사막 외측에 공급된 오존가스압보다 높게 유지시켜, 피처리수로의 미세기포 및 불순물의 혼입을 방지함과 동시에, 처리수중의 오존농도를 오존가스농도에 의거하여 제어하는 것을 특징으로 하는 오존수 제조 방법을 제공한다.
또, 본 발명은 방전형 오존발생기로 발생시킨 가압상태의 오존가스를 중공사막을 개재하여 피처리수에 용해하는 오존수 제조장치에 있어서, 중공사막 내측의수압을 중공사막 외측에 공급된 오존가스압보다 높게 유지시키고, 그 수압 및 유량을 제어하기 위해 상기 중공사막의 상류에 설치된 무단계 가변속 제어방식의 펌프와, 처리수중의 오존농도를 오존가스 농도에 의거하여 제어하는 제어기구를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 오존수 제조장치를 제공한다.
본 발명에 있어서, 수압을 오존가스압보다 전적으로 높게 유지하기 위하여 중공사막 내부의 수압은, 오존가스압보다 0.1kg·f/㎠이상 높게 하여 유지시키는 것이 바람직하다.
상기 장치에 있어서 중공사막 상류에 유량계 및 압력계를 설치하고, 이들로부터의 출력신호치를 연산회로에서 처리하여 상기 무단계 가변속 제어방식의 펌프를 제어하는 제어기구를 설치하는 것이 바람직하다. 또 상기 오존농도 제어기구는 중공사막 하류에 설치한 오존수 농도계와, 그 농도계에서의 측정치를 처리하는 연산 회로와, 처리된 값에 의거하여 방전형 오존발생기의 방전전압을 변화시키는 전압 가변장치로 구성하는 것이 바람직하다.
이와 같이 본 발명에서는 방전형 오존발생기로 발생시킨 가압상태의 오존가스를 중공사막을 개재하여 피처리수에 용해할 때, 중공사막 내측의 수압을 오존가스 압보다 높게 유지시키고, 그 수압 및 유량을 중공사막 상류에 설치한, 무단계 가변속 제어방식의 펌프로 제어함으로써, 피처리수로의 미세기포 및 불순물의 혼입이 방지되고, 수압 및 유량이 일정 수준으로 유지된다. 또 처리수중 오존농도를 중공사막 하류에 설치한, 바람직하게는 오존수 농도계를 포함하는, 오존가스 농도기구로 측정하여, 그 값에 의거하여 가스 농도를 변화시켜, 처리수중 오존농도를 일정 수준으로 유지시킨다.
본 발명의 상기 및 기타의 목적, 특징 및 잇점은 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 상세한 설명으로부터 더욱 명백하게 알 수 있을 것이다.
이하에 본 발명을 상세하게 설명한다.
제 1도 및 제 2도는 본 발명의 실시형태에 따른 오존수 제조장치를 도시한 것이다.
이 오존수 제조장치에 사용하는 가스용해막은, 본 출원인이 이미 제안한 바 있는, 산소, 질소 등의 가스는 투과하나, 물은 투과하지 않는 폴리테트라플루오로 에틸렌계의 다공질 소수막이고, 그 공극 직경의 분포가 0.01∼1.0㎛를 중심으로 하는 막을 사용한다(일본국 특개평 3-188988). 또, 막의 구조는 중공사이고, 제 1도의 그 막 구조의 개략도로 도시한 바와 같이, 중공사의 내측에 물이 흐르고, 외측에 가스가 흐르는 것이다.
제 2도는 본 발명의 일 실시예에 따른 고순도 오존수 제조장치의 플로우챠트이다.
제 2도에 있어서, 피처리수(1)는 펌프(3), 유량계(4), 압력계(5)를 거쳐 중공 사막(6)에 하향류로 공급하고, 중공사막 출구측에서 처리수를 분기하여 오존수 농도계(7)에 도입하여 처리수중 오존농도를 측정한다. 가스는 원료가스인, 산소가스(9), 질소가스(13)를 별도로, 혹은 산소 및 질소의 혼합가스를 방전형 오존발생기(22)에 도입하여, 오존가스(10)를 발생시켜, 중공사막(6) 외측에 상향류로 통기하고, 배기가스(14)는 중공사막(6) 하류에 설치한, 오존가스 분해탑(19)에서 처리하는 구성으로 이루어지는 것이다.
상기와 펌프(3)는 무단계 가변속 제어방식으로, 동압 베어링을 사용하여 기계적 접촉이 전혀 없이, 펌프내부로부터의 미립자 발생을 억제하고, 또 액체접촉부의 재질로서 고순도 세라믹스 및 테트라플루오라이드 수지를 사용하여 금속이온의 용출을 방지하는 것을 사용하는 것이 바람직하다. 이 펌프(3)의 가변속 제어는 펌프(3)와 중공사막(6) 입구간에 설치한, 발신기가 있는 유량계(4) 및 발신기가 있는 압력계(5)로부터의 출력신호치를 시켄서 등의 연산회로(21)에서 처리하여, 펌프(3)의 회전속도를 변화시키는, PDI제어를 행하여, 수압을 중공사막(6) 출구에서의 가스 압력보다 0.1kg·f/㎠이상 높게 유지시켜, 중공사막(6)을 개재하여 가스가 물에 녹을 때, 가스가 기포로서 물에 혼입하는 것을 방지한다. 중공사막(6)에 걸친 압력 구배가 공지이므로, 중공사막(6)의 상류에 설치된 압력계(5)로 중공사막(6)의 출구에서 수압을 측정할 수 있다.
다음에 오존발생기(22)는 연면방전방식, 무성방전방식중의 어느 것이나 사용할 수 있는데, 바람직하게는 방전부분을 트렌치형 구조로 하고 세라믹스코팅의 전극과 유전체로 사파이어를 채용한 무성방전과 연면방전의 복합방전식 발생기를 사용하는 것이 바람직하다. 또한 오존발생기(22)는 발생하는 가스중에 미립자나 금속 불순물 등을 함유하지 않고, 10용적%이상의 고농도 오존가스를 안정하게 발생시킬 수 있는 것이 바람직하다. 또한 오존발생기(22)는 후술하는 시켄서 등의 연산 회로(21)로부터의 외부신호에 의거하여 방전전압을 제어하여 가스농도를 변화시킬 수 있는 것이 바람직하다.
이 오존발생기(22)에 원료가스인 O2가스(9), N2가스(13)를 99:1의 조성비로 1.0kg·f/㎠이상, 바람직하게는 약 1.5kg·f/㎠의 압력하에서 공급하여, 오존가스(10)를 발생시킨다. 이 오존가스(10)는 중공사막(6) 외측에 통기하고 상기 막(6)을 개재하여 가스를 피처리수측에 확산, 용해시킨다.
제 1도에 나타낸 바와 같이, 중공사막(6) 외측의 가스 통기방향은 물의 흐름에 대하여 순류, 향류 중 어떠한 것이어도 좋은데, 오존수와 오존가스 사이의 농도 구배를 효과적으로 이용하기 위하여는 향류방식으로 가스를 공급하는 것이 바람직하다. 따라서 중공사막(6) 하부로부터 상향류로 통기하여 가스를 물에 용해시킨다.
제 3도는 오존가스 농도와 처리수중 오존농도의 관계를 나타낸 것이다. 처리 수중 오존농도는 오존가스농도에 대하여 직선적으로 정비례하여, 처리수중 오존농도를 제어하는 파라미터로서 오존가스농도는 가장 바람직한 것이다. 실제의 처리 수중 오존농도 제어는 중공사막(6) 출구에서 분기된 오존수중의 일부를 자외선 흡수방식 농도계 등의 오존수 농도계에 공급하여 오존농도를 측정하고, 그 측정값을 시켄서 등의 연산회로(21)에서 처리한다. 그후, 필요에 따라 오존발생기(22)의 방전전압을 변경하여, 오존가스 농도를 변화시켜 처리수중 오존농도를 제어한다.
다음에 중공사막(6)을 나온 배기가스는 다음 단계의 배기가스 분해탑(19)에 공급되어, 여기서 오존이 산소가스로 분해된 후, 이 가스는 가스압 조정밸브(20)를 거쳐 시스템 외부로 배출된다.
또, 장치를 정지시키고 있는 사이에는, 배기가스 분해탑(19) 하류에 설치한,가스압 조절밸브(20)를 개방하여, 가스측 압력을 대기압으로 하거나, 혹은 가압상태에서 가스 퍼지밸브(17) 또는 (17') 및 퍼지가스 유량조절기(18) 또는 (18')를 거쳐 N2, O2가스등 드라이가스를 퍼지가스로서 오존발생기 입구로부터 공급하고, 오존발생기(22) 방전부의 열화 및 계내부로의 불순물 혼입을 방지하여, 가스측에서의 불순물 증가를 제어한다. 이 퍼지 가스량은 0.1∼0.5NL/분이상이 되어야 한다.
상기한 오존수 제조장치에 의하면, 막을 개재하여 가스를 처리할 물에 용해할 때, 피처리수의 수압을 펌프에 의하여 일정한 유량, 일정한 압력으로 제어하여 가스압보다 높게 유지시켜 수중에 기포로서의 가스 혼입을 억제하고, 가스로부터의 불순물이 물에 들어가는 것을 방지하고, 또 처리수중 오존농도를 오존수 농도계 측정치에 의거하여 오존가스 농도를 일정 수준으로 유지시킴으로써 일정유량 및 일정 압력에서 일정농도의 고순도 오존수를 제조할 수가 있다.
실시예
이하, 본 발명을 실시예에 의하여 구체적으로 설명한다. 그러나, 본 발명이 이들 실시예에만 한정되는 것은 아니다.
실시예 1
이 실시예에서는 제 2도의 플로우 챠트에 따른 장치를 사용하였다.
가스용해막 또는 중공사막(6)으로서, 100개의 폴리테트라플루오로에틸렌계의 중공사막으로 구성되고, 막 면적이 1.0㎡인 모듈을 사용하였다.
오존발생기(22)로는 연면-무성의 복합방전형 오존발생기를 사용하고, 원료가스로는 산소가스(9), 질소가스(13)를 99:1의 비율로 혼합한 것을 1.5kg·f/㎠의 압력으로 유량조절기(11), (12), (15), (16)를 개재하여 2.0NL/분의 유량으로 오존발생기에 공급하여, 약 260mg/NL(W/V)의 오존가스를 발생시켜 이 오존가스를 중공사막(6)에 통기하였다.
송수펌프(3)로는, 동압 베어링형의 무단계 가변속 제어방식 펌프로 토출량 30L/분, 전양정 22m의 것을 사용하였다.
오존수 농도계(7)로는 자외선 흡수방식 농도계를 사용하였다.
피처리수 및 가스의 흐름은 제 2도를 참조하여 설명한다. 먼저, 피처리수(1)인 초순수를 펌프(3), 발신기가 부착되어 있는 유량계(4) 및 발신기가 부착되어 있는 압력계(5)를 개재하여 중공사막(6)의 내측에 공급한다. 그 때, 피처리수(1)의 흐름 방향은 가스의 흐름에 대하여 향류로 되기 때문에, 피처리수(1)는 중공사막(6) 상부로부터 들어가 하부로 향하는 하향류로 공급되며, 한편 가스는 오존발생기(22)로 발생시킨 오존가스(10)를 중공사막(6)의 외측에 상향류로 통기하고, 막(6)을 개재하여 오존을 피처리수(1)에 용해시켰다. 제조한 오존수(2)는 다시 수압조정밸브(8)를 개재하여 유스 포인트에 송수하였다. 그 때, 피처리수의 유량은 1.0㎥/시간±1%의 오차로, 수압은 2.00± 0.05kg·f/㎠로 되도록 펌프(3)의 회전속도 및 수압조정밸브(8)를 사용하여 제어하였다. 펌프(3)는 유량계(4) 및 압력계(5)로부터의 출력신호치를 시켄서 또는 연산회로(21)로 처리한 후, 펌프회전속도를 변화시키는 방식을 채용하였다.
처리수중 오존농도제어는 중공사막(6) 출구로부터 오존수를 일부 분기하여오존수 농도계(7)에 공급하고, 측정치를 연산회로(21)로 연산처리한 후, 연산회로(21)에서 처리된 그 값에 의거하여 오존발생기(22)의 방전전압을 변화시켜, 오존 가스농도를 변화시킴으로써 처리수중 오존농도를 제어하는 방식을 채용하였다. 장치 운전시의 처리수중 목표 오존농도는 7mg/L (O3로서)로 설정하였다. 제 3도의 오존가스농도와 처리수중 오존농도의 관계식으로부터 초기 오존 가스 농도를 245mg/NL(W/V)로 설정하고, 오존수 제조개시로부터 5분간격으로 처리수중 오존농도 측정치에 의거하여 상술한 농도 제어를 행하였다.
제 4도는 원수로 사용한 초순수의 장치 입구 수압의 변동과 장치 출구측 오존 수의 수압, 유량의 변동, 나아가 처리수중 오존농도의 경시변화를 나타낸 것이다. 제 4도에서 보는 바와 같이 장치입구 수압은 1.7kg·f/㎠로부터 2.1kg·f/㎠까지 변동하고 있는 반면, 장치출구 수압은 목표치 2.0kg·f/㎠에 대하여 오차 약 0.05kg·f/㎠이다. 유량은 목표치 1.0㎥/시간에 대하여, 오차 약 0.005㎥/시간이다. 따라서 상대오차는 1% 이내이다. 처리수중 오존농도도 제조개시 3분후에는 대략 목표치 7mg/L(O3로서)에 달하고, 제조개시 5분후에는 7.25mg/L(O3로서)이 되고, 그 값에 의거하여 농도제어를 실시한 후의 처리수중 오존농도는 대략 7mg/L (O3로서)를 유지하였다. 따라서 일정압력, 일정유량에서 일정농도의 오존수를 얻을 수 있었다.
표 1에 원수로 사용한 초순수, 제조한 오존수의 분석 결과를 나타냈다.
표 1
표 1에 있어서, 오존수중 Na, Mg 등의 금속류의 함량은 원수에서와 같고, 모두 검출한계 미만이다. 또, 오존수중 TOC, 미립자도 원수로 사용한 초순수와 동등한 수준의 수치를 나타내고, 불순물함량의 증가는 나타나지 않는다. 음이온에 있어서는, F-및 NO3 -이온이 약간 증가하고 있으나, F-이온은 테프론배관 또는 다른 부재로부터 용출된 것이고, 또 NO3 -이온은 원료가스로부터 유도된 것이다. 즉 원료 가스가 질소가스를 함유하기 때문에, 오존발생시의 방전에 의하여 질소산화물로 되고 그 일부가 피처리수중에 녹아 NO3 -이온으로 된 것이다. 이들 음이온 함량은 모두 수 ppb정도이고, 불순물량으로서는 극히 미량인 것이다.
실시예 2
다음에 본 발명의 오존수 제조장치의 출구 유스포인트에 반도체 웨이퍼 세정 장치를 접속한 경우를 제 5도의 플로우챠트를 참조하여 설명한다.
제 5도에 있어서, 오존수 제조장치(23)를 나온 오존수는 이 제조장치(23)의 하류에 설치한, 웨이퍼 세정장치(25)에 공급된다. 이 웨이퍼 세정장치(25)는 오존수에 의해 세정되는 웨이퍼(26)가 있는 석영제 세정조(27), 이 세정조(27) 입구밸브(28), 오존수에 첨가되는 화학약품함유 탱크(29 및 32), 화학약품 공급펌프(30 및 33), 화학약품 공급밸브(31 및 34)로 이루어져 있다. 최종적으로 오존수는 석영제 세정조(27)의 하부로부터 세정장치 입구드레인밸브(24) 및 세정조 입구밸브(28)를 개재하여 유입되고 상부로부터 오버플로우하면서 웨이퍼 세정을 행한다. 또한, 오존수 제조장치(23)의 개시 및 웨이퍼 세정장치(25)로의 오존수 공급은, 세정장치측으로부터의 개시신호를 오존수 제조장치(23)에서 받아 자동운전에 의해 행하였다.
제 6도는 원수로 사용한 초순수의 장치입구 수압의 변동과 장치 출구측 오존 수의 압력, 유량 및 처리수중 오존농도의 경시변화 및 운전시켄스를 나타낸 것이다. 제 6도에서 보는 바와 같이 장치입구 즉, 펌프입구 수압은 1.7kg·f/㎠ 내지 2.15kg·f/㎠로 변동하고 있으나, 운전시의 장치출구 수압은 2.2kg·f/㎠를 중심으로 0.05kg·f/㎠의 오차범위에 있고, 유량은 목표치인 1.0㎥/시간에 대하여 변동범위는 0.005㎥/시간정도로 상대오차 1%이내이다. 운전시, 장치출구 수압이 2.2kg·f/㎠를 중심으로 하고 있는 것은, 세정조 및 세정장치측의 배관 및 밸브류의 구멍에서 배압이 약 0.2kg·f/㎠전후이기 때문이다.
또, 처리수중 오존농도 경시변화를 보면 농도제어 조작을 2분마다 설정하고 있기 때문에, 제 1회째에서는 운전개시로부터 4분후에, 제 3회째의 운전에서는 2분 후 및 4분후에 제어조작이 행해지게 되어, 대략 7mg/L (O3로서)의 오존수를 제조하여 공급할 수 있다는 것을 알 수 있다.
이상 상술한 바와 같이, 본 발명의 오존수 제조장치는 다음과 같은 잇점을 제공한다. 방전형 오존발생기로 발생시킨 가압상태의 오존가스를 중공사막을 개재하여 피처리수에 용해할 때, 중공사막 내측의 수압을 오존가스압보다 높게 유지함으로써, 또 그 수압을 이와 같은 방법으로 유지하는 수단으로서 중공사막 상류에 무 단계 가변속 제어방식의 펌프를 제공하고, 또 처리수중 오존농도를 중공사막 하류에 설치한, 오존수 농도계를 개재하여 제어함으로써 처리수중에 미세기포 및 불순물이 함유하는 것을 방지하고, 또 일정한 농도의 오존수를 일정압력, 일정수량으로 공급할 수 있다. 본 발명의 오존수 제조방법도 이와 유사한 잇점을 제공한다.
본 발명은 고순도의 수질을 요구하는 전자공업, 의약품공업 등에 사용되는 프로세스용수, 살균수, 세정용수에 적용할 수 있다.
제 1도는 본 발명의 오존수 제조장치에 사용하는 중공사막 구조의 개략도,
제 2도는 본 발명의 실시예에 따른 오존수 제조장치를 설명하기 위한 플로우챠트,
제 3도는 오존가스 농도와 장치에 의한 처리수중 오존농도의 관계를 나타낸 그래프,
제 4도는 본 발명의 오존수 제조장치를 단독 사용할 때의 장치입·출구의 수압, 유량 및 처리수중 오존농도의 경시변화를 나타낸 그래프,
제 5도는 오존수 제조장치 출구측에 반도체 웨이퍼 세정장치를 접속하여 사용한 실시예의 플로우챠트,
제 6도는 제 5도의 플로우에서 사용한 경우의 오존수 제조장치 입·출구의 수압, 유량 및 처리수중 오존농도의 경시변화를 운전시켄스와 병기한 그래프이다.
※ 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1: 원수(피처리수) 2: 오존수
3: 펌프 4: 유량계
5: 압력계 6: 중공사막
7: 오존수 농도계 8: 수압조정밸브
9: O2가스 10: 오존가스
11, 12: O2가스 유량조절기 13: N2가스
14: 배기가스 15, 16: N2가스 유량조절기
17: 가스퍼지밴브 18: 퍼지가스 유량조절기
19: 배기가스 분해탑 20: 가스압 조정밸브
21: 연산회로 22: 오존발생기
23: 오존수 제조장치 24: 세정장치 입구·드레인밸브
25: 웨이퍼세정장치 26: 웨이퍼
27: 석영세정조 28: 석영세정조 입구밸브
29, 32: 화학약품함유 탱크 30, 33: 화학약품 공급펌프
31, 34: 화학약품 공급밸브

Claims (13)

  1. 방전형 오존발생기로 발생시킨 가압상태의 오존가스를 중공사막을 개재하여 피처리수에 용해하는 오존수 제조방법에 있어서,
    정밀세정 또는 전자공업용으로 사용하는 오존수 제조방법으로서, 중공사막 내측의 수압을 중공사막 외측에 공급된 오존가스압보다 높게 유지시켜, 피처리수로의 미세기포 및 불순물의 혼입을 방지함과 동시에, 처리수중의 오존농도를 오존가스 농도에 의거하여 제어하는 것을 특징으로 하는 오존수 제조방법.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 수압은 오존가스압보다 0.1kg·f/㎠이상 높은 것을 특징으로 하는 오존수 제조방법.
  3. 제 1항에 있어서, 상기 중공사막 내측의 수압은 상기 중공사막에 물을 공급하기 위해 설치된 무단계 가변속 제어방식 펌프의 회전속도의 제어에 의해 제어되는 것을 특징으로 하는 오존수 제조방법.
  4. 제 3항에 있어서, 상기 무단계 가변속 제어방식 펌프의 회전속도는 상기 펌프에 의해 상기 중공사막에 공급되는 수압 및 유량에 의거하여 제어되는 것을 특징으로 하는 오존수 제조방법.
  5. 제 4항에 있어서, 상기한 펌프의 회전속도는 상기 장치의 출구측 수압 및 유량이 일정한 수준으로 유지될 수 있도록 제어되는 것을 특징으로 하는 오존수 제조방법.
  6. 제 1항에 있어서, 상기한 오존가스 농도는 상기한 방전형 오존발생기의 방전전압을 변경하여 제어하는 것을 특징으로 하는 오존수 제조방법.
  7. 제 1항 내지 제 6항중의 어느 한 항에 있어서, 오존수 비제조시에는 상기 오존 발생기 입구로부터 상기 중공사막 출구에 이르는 가스 배관을 드라이 가스로 퍼지하는 것을 특징으로 하는 오존수 제조방법.
  8. 제 7항에 있어서, 상기 드라이가스가, 오존수를 제조할 때 상기 오존발생기에 공급되는 산소가스 및/또는 질소가스인 것임을 특징으로 하는 오존수 제조방법.
  9. 방전형 오존발생기로 발생시킨 가압상태의 오존가스를 중공사막을 개재하여 피처리수에 용해하는 오존수 제조장치에 있어서,
    정밀세정 또는 전자공업용으로 사용하는 오존수 제조장치로서, 상기 중공사막 내측의 수압을 상기 중공사막 외측에 공급된 오존가스압보다 높게 유지시키고, 그 수압 및 유량을 제어하기 위해 상기 중공사막의 상류에 설치된 무단계 가변속 제어 방식의 펌프와; 처리수중의 오존농도를 오존가스 농도에 의거하여 제어하기위한 제어기구를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 오존수 제조장치.
  10. 제 9항에 있어서, 상기 중공사막 상류에는 유량계 및 압력계가 설치되고, 상기 장치는 상기 유량계 및 압력계로부터의 출력신호치를 연산회로에서 처리하여 상기 무단계 가변속 제어방식의 펌프를 제어하는 제어기구를 포함하는 것을 특징으로 하는 오존수 제조장치.
  11. 제 9항에 있어서, 상기 오존농도 제어기구는 중공사막 하류에 설치한 오존수 농도계와; 상기 농도계에서의 측정치를 처리하는 연산회로와; 처리된 값에 의거하여 방전형 오존발생기의 방전전압을 변화시키는 전압가변 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 오존수 제조장치.
  12. 제 9항 내지 제 11항중의 어느 한 항에 있어서, 상기 중공사막이 산소, 질소 등의 가스를 투과하고, 물은 투과하지 않는 폴리테트라플루오로에틸렌계의 다공질 소수막이고, 상기 막의 공극 직경 분포가 0.01∼1㎛를 중심으로 하는 것을 특징으로 하는 오존수 제조장치.
  13. 제 9항 내지 11항중의 어느 한 항에 있어서, 오존수를 비제조시에는, 상기 오존발생기 입구로부터 상기 중공사막 출구에 이르는 가스배관을 드라이가스로 퍼지하는 수단을 더욱 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 오존수 제조장치.
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