JP6826437B2 - 供給液体製造装置および供給液体製造方法 - Google Patents

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Description

本発明は、第１原料と第２原料を混合して供給液体を製造する供給液体製造装置に関す
る。
近年、半導体デバイス工場や液晶などの電子部品製造工場における製品の洗浄は、製造プロセスの複雑化、回路パターンの微細化に伴なってますます高度化している。例えば、機能水（超純水など）に高純度ガスまたは高純度ガスと薬品を溶解した特殊な液体（洗浄液と呼ばれる）を使用して、シリコンウエハに付着した微粒子、金属、有機物などを除去している。
洗浄処理方式としては、複数のシリコンウエハを同時に浸漬及び洗浄する操作を繰り返す“バッチ処理方式”のほかに、多品種少量生産の製品に対応して１枚のウエハごとに薬品洗浄及び超純水洗浄を行う“枚葉処理方式”が採用される。枚葉処理方式は、バッチ処理方式と比べて、ウエハ１枚当たりの洗浄工程時間（タクトタイム）が長く、洗浄液の使用量が多くなるために、タクトタイムの短縮及び洗浄液使用量の低減が求められている。現状、短時間での効果的な洗浄及び洗浄液使用量を低減するために、複数の機能水及び薬品を単独でまたは同時に使用して、短時間で洗浄工程を切り替える高度な洗浄プロセスが行われている。
機能水としては、例えば、超純水にオゾンガスを溶解したオゾン水が用いられる。超純水に溶解させたオゾンは、低い濃度（数ｐｐｍ）でも酸化力が非常に強いため、有機物や金属の除去を行うことが可能である。このオゾン水は、一般的にオゾン水製造装置で製造される。洗浄プロセスの高度化及び複雑化に伴ない、短時間での洗浄装置へのオゾン水の供給及び停止が要求されるが、従来の装置は、一旦オゾン水の製造を停止すると、再度、要求オゾン濃度及び要求流量のオゾン水の供給が可能となるまでに一定の時間（立ち上がり時間）を要する。そこで、洗浄装置へのオゾン水の供給要求に応じるために、オゾン水製造装置でオゾン水を常時製造し、洗浄装置に連続的に供給していた。その結果、洗浄装置に過剰量のオゾン水が供給されることになり、シリコンウエハの洗浄に使用されない未使用のオゾン水は排水として洗浄装置から排出されていた。
そこで、従来、ユースポイントにおけるオゾン水の使用量に関わらず、一定濃度及び一定圧力のオゾン水を供給でき、かつ、未使用のオゾン水を再利用できる循環式のオゾン水供給装置が提案されている（特許文献１参照）。
従来の循環式のオゾン水供給装置では、図６に示すように、水とオゾンガスをオゾン溶解槽１２に供給してオゾン水を生成し、オゾン水をオゾン溶解槽１２から循環槽２１に供給し、循環槽２１からオゾン水送水配管２２を介してユースポイントに供給し、ユースポイントにて消費されなかったオゾン水をオゾン水戻り配管２３を介して循環槽２１に戻し、再び、循環槽２１からユースポイントにオゾン水を供給する。そして、オゾン溶解槽１２の槽内圧力、循環槽２１の槽内圧力、オゾン水戻り配管２３の管内圧力がそれぞれ一定に維持され、循環槽２１の槽内圧力が、オゾン溶解槽１２の槽内圧力及びオゾン水戻り配管２３の管内圧力の各圧力よりも低い圧力に制御される。
特開２０１４−１１７６２８号公報
しかしながら、従来のオゾン水供給装置では、再利用するオゾン水（未使用のオゾン水）を循環させる循環式であるため、オゾン水（未使用のオゾン水）の循環によるオゾン水の温度上昇や汚れ発生に対策を講じる必要があった。そこで、ユースポイントで必要とされる分量だけオゾン水を製造する技術の開発が望まれていた。
本発明は、上記の課題に鑑みてなされたもので、循環による供給液体（例えばオゾン水など）の温度上昇や汚れ発生に対策を講じる必要がなく、あるいはその必要性を少なくとも低減させ、ユースポイントで必要とされる分だけ供給液体を製造することのできる供給液体製造装置を提供することを１つの目的とする。より具体的には、ユースポイントに一定の流量あるいは一定の圧力で、かつ一定濃度の供給液体を供給できる供給液体製造装置を提供することを１つの目的とする。
本発明の供給液体製造装置は、第１原料と第２原料を混合して混合液体を生成する混合部と、前記混合部に供給される前記第１原料の流量を変更するポンプ部と、前記混合部により生成された前記混合液体を、ユースポイントに供給される供給液体と、排気口から排出される排出気体とに気液分離する気液分離タンク部と、前記排出気体の排出量を定めるように開度を調整するバルブと、前記気液分離タンク部から前記ユースポイントに供給される前記供給液体の流量を測定する流量測定部と、前記流量測定部で測定した前記供給液体の流量値を受信し、受信した流量値に応じて前記ポンプ部を制御する制御信号を生成し、当該制御信号をポンプ部に送信してポンプを制御することにより、前記混合部に供給する前記第１原料の流量を調整する流量制御部と、を備える。
この構成によれば、ユースポイントに供給される液体（供給液体）の流量を、気液分離をした後に測定するので、第１原料と第２原料を混合することにより発生する気体（排出気体）の気泡の影響を実質的に受けることなく、供給液体の流量を正確に測定することができる。そして、流量測定部で測定した前記供給液体の流量値を受信し、受信した流量値に応じて前記ポンプ部を制御する制御信号を生成し、当該制御信号をポンプ部に送信してポンプを制御することにより、このように測定した供給液体の流量に応じて第１の原料の流量が調整されるので、ユースポイントで必要とされる分だけ供給液体（例えばオゾン水など）を製造することができる。
また、本発明の供給液体製造装置は、前記混合部に供給される前記第１原料の流量を測定する第２の流量測定部を備え、前記第２の流量測定部にて測定した前記第１原料の流量が前記流量測定部で測定した前記供給液体の流量と一致させるようなフィードバック制御を前記流量制御部にて行ってもよい。
この構成によれば、第1原料の流量をモニタリングしており、所望の流量からずれてきたときに流量を補正させるために、ポンプのフィードバック制御を行うことができる。
また、本発明の供給液体製造装置は、前記第２原料の流量を定める流量コントローラを備え、前記第２の流量測定部にて測定した前記第１原料の流量に応じて、前記流量コントローラにて第２原料の生成量を調整してもよい。
この構成によれば、目標の濃度の供給液体が得られるように、第１原料と第２原料の流量の関係を予め求めておき、第１原料の流量に応じて第２原料を流すことができる。
本発明の供給液体製造装置は、第１原料と第２原料を混合して混合液体を生成する混合部と、前記混合部に供給される前記第１原料を昇圧する昇圧ポンプ部と、前記混合部により生成された前記混合液体を、ユースポイントに供給される供給液体と、排気口から排出される排出気体とに気液分離する気液分離タンク部と、前記気液分離タンク部から前記ユースポイントに供給される前記供給液体の流量を測定する流量測定部と、前記流量測定部で測定した前記供給液体の流量に応じて、前記昇圧ポンプ部を制御して、前記混合部に昇圧して供給する前記第１原料の圧力を調整する昇圧制御部と、前記気液分離タンク部内の液体量を一定に保つように、前記排出気体の排気圧力を制御する排気圧力制御部と、を備えている。
この構成によれば、ユースポイントに供給される液体（供給液体）の流量を、気液分離をした後に測定するので、第１原料と第２原料を混合することにより発生する気体（排出気体）の気泡の影響を実質的に受けることなく、供給液体の流量を正確に測定することができる。そして、このように測定した供給液体の流量に応じて第１の原料（混合部に昇圧して供給される）の圧力が調整されるとともに、排出気体の排気圧力が制御されて気液分離タンク部内の液体量が一定に保たれる。これにより、ユースポイントで必要とされる分だけ供給液体（例えばオゾン水など）を製造することができる。
また、本発明の供給液体製造装置は、前記気液分離タンク部内の液体量を一定に調整するための液体量調整部を備えてもよい。
この構成によれば、気液分離タンク部内の液体量を一定に保つことが可能になり、ユースポイントで必要とされる分だけ供給液体（例えばオゾン水など）を製造することができる。
また、本発明の供給液体製造装置では、前記液体量調整部は、前記気液分離タンク部内の液体量を測定する液体量測定部を含んでもよい。
この構成によれば、液体量測定部で気液分離タンク部内の液体量を測定して、気液分離タンク部内の液体量を一定に保つことが可能になり、ユースポイントで必要とされる分だけ供給液体（例えばオゾン水など）を製造することができる。
また、本発明の供給液体製造装置では、前記液体量調整部は、前記流量測定部と、前記混合部に供給される液体の流量を測定する第２の流量測定部とを含んでもよい。
この構成によれば、混合部に供給される液体の流量を測定するとともに、気液分離タンク部から排出される（ユースポイントに供給される）液体の流量を測定して、混合部に供給される液体の流量と気液分離タンクから排出される液体の流量を同じにすることにより、気液分離タンク部内の液体量を一定に保つことが可能になり、ユースポイントで必要とされる分だけ供給液体（例えばオゾン水など）を製造することができる。
また、本発明の供給液体製造装置では、前記第１原料は水であり、前記第２原料はオゾンガスまたはケミカル原料であってもよい。
この構成によれば、混合部で水とオゾンガスを混合してオゾン水を製造することができる。または、混合部で水とケミカル原料（例えばアンモニアなど）を混合してケミカル水（例えばアンモニア水など）を製造することができる。この場合、昇圧ポンプ部が混合部の前段（混合部より上流側）に配置されているので、昇圧ポンプ部には水しか通されない。したがって、昇圧ポンプ部が混合部の後段に設けられる場合に比べて、昇圧ポンプ部の寿命が長くなる。
本発明の供給液体製造方法は、第１原料を昇圧ポンプ部で昇圧して混合部に供給するステップと、前記第１原料と第２原料を前記混合部で混合して混合液体を生成するステップと、前記混合部により生成された前記混合液体を、ユースポイントに供給される供給液体と、排気口から排出される排出気体とに気液分離タンク部で気液分離するステップと、前記気液分離タンク部から前記ユースポイントに供給される前記供給液体の流量を測定するステップと、測定した前記供給液体の流量に応じて、前記昇圧ポンプ部を制御して、前記混合部に昇圧して供給する前記第１原料の圧力を調整するステップと、前記気液分離タンク部内の液体量を一定に保つように、前記排出気体の排気圧力を制御するステップと、を含んでいる。
この製造方法によっても、ユースポイントに供給される液体（供給液体）の流量を、気液分離をした後に測定するので、第１原料と第２原料を混合することにより発生する気体（排出気体）の気泡の影響を受けることなく、供給液体の流量を正確に測定することができる。そして、このように測定した供給液体の流量に応じて第１の原料（混合部に昇圧して供給される）の圧力（ないし流量）が調整されるとともに、排出気体の排気圧力が制御されて気液分離タンク部内の液体量（ないし圧力）が一定に保たれる。これにより、ユースポイントで必要とされる分だけ供給液体（例えばオゾン水など）を製造することができる。
本発明の供給液体製造装置は、第１原料と第２原料を混合して混合液体を生成する混合部と、前記混合部に供給される前記第１原料の流量を変更するポンプ部と、前記混合部により生成された前記混合液体を、ユースポイントに供給される供給液体と、排気口から排出される排出気体とに気液分離する気液分離タンク部と、前記気液分離タンク部から前記ユースポイントに供給される前記供給液体の流量を測定する第１流量測定部と、前記排気口から排出される前記排出気体の排出量を調整する排気バルブと、前記ユースポイントに供給される前記供給液体の流量を一定流量に保つように、前記流量測定部で測定した前記供給液体の流量に応じて、前記排気バルブを制御して前記排気口から排出される前記排出気体の排出量を調整する排気制御部と、を備え、前記排気制御部は、前記第１流量測定部で測定した前記供給液体の流量が前記一定流量に対して増加した場合には前記排気口から排出される前記排出気体の排出量を増加させ、前記第１流量測定部で測定した前記供給液体の流量が前記一定流量に対して減少した場合には前記排気口から排出される前記排出気体の排出量を減少させる。
この構成によれば、ユースポイントに供給される供給液体の流量が目標となる一定流量に対して増加した場合、すなわち、第１流量測定部で測定される供給液体の流量が目標となる一定流量に対して増加した場合には、排気口から排出される排出気体の排出量を増加させて、気液分離タンク部内の圧力を下げることにより、ユースポイントに供給する供給液体の流量を減少させる。一方、ユースポイントに供給される供給液体の流量が目標となる一定流量に対して減少した場合、すなわち、第１流量測定部で測定される供給液体の流量が目標となる一定流量に対して減少した場合には、排気口から排出される排出気体の排出量を減少させて、気液分離タンク部内の圧力を上げることにより、ユースポイントに供給する供給液体の流量を増加させる。このようにして、ユースポイントに供給される供給液体の流量を一定に保つことができる。
また、本発明の供給液体製造装置は、前記第１流量測定部で測定した前記供給液体の流量に応じて、前記ポンプ部を制御して前記混合部に供給する前記第１原料の流量を調整する流量制御部、を備え、前記流量制御部は、前記第１流量測定部で測定した前記供給液体の流量と前記混合部に供給する前記第１原料の流量が同じになるように制御してよい。
この構成によれば、第１流量測定部で測定した供給液体の流量と混合部に供給する第１原料の流量が同じになるように、混合部に供給する第１原料の流量を調整するので、気液分離タンク部内の液体量を一定に保つことができる。
また、本発明の供給液体製造装置は、前記混合部に供給する前記第１原料の流量を測定する第２流量測定部を備えてよい。
この構成によれば、第２流量測定部で測定された流量が前記第１流量測定部で測定された流量と同じになるように、前記混合部に供給する前記第１原料の流量を調整することができる。
また、本発明の供給液体製造装置は、前記気液分離タンク部内の液体量を検知する液体量測定部を有し、前記昇圧制御部は、前記液体量測定部で測定した前記気液分離タンク部内の液体量が所定の液体量に対して増加した場合には前記混合部に供給する前記第１原料の流量を少なくし、前記液体量測定部で測定した前記気液分離タンク部内の液体量が所定の液体量に対して減少した場合には前記混合部に供給する前記第１原料の流量を増やしてよい。
この構成によれば、前記混合部に供給する前記第１原料の流量を測定しなくても、気液分離タンク部内の液体量を検知することで、気液分離タンク部内の液体量を一定に保つように前記混合部に供給する前記第１原料の流量を調整することができる。
本発明の供給液体製造方法は、第１原料と第２原料を混合部で混合して混合液体を生成するステップと、前記混合部で生成された前記混合液体を、ユースポイントに供給される供給液体と、排気口から排出される排出気体とに気液分離タンク部で気液分離するステップと、前記気液分離タンク部から前記ユースポイントに供給される前記供給液体の流量を第１流量測定部で測定するステップと、前記ユースポイントに供給される前記供給液体の流量を一定流量に保つように、前記第１流量測定部で測定した前記供給液体の流量に応じて、前記排気口から排出される前記排出気体の排出量を排気バルブで調整するステップと、を含み、前記排出気体の排出量を調整するステップでは、前記第１流量測定部で測定した前記供給液体の流量が前記一定流量に対して増加した場合には前記排気口から排出される前記排出気体の排出量を増加させ、前記流量測定部で測定した前記供給液体の流量が前記一定流量に対して減少した場合には前記排気口から排出される前記排出気体の排出量を減少させる。
この製造方法によっても、ユースポイントに供給される供給液体の流量が目標となる一定流量に対して増加した場合、すなわち、流量測定部で測定される供給液体の流量が目標となる一定流量に対して増加した場合には、排気口から排出される排出気体の排出量を増加させて、気液分離タンク部内の圧力を下げることにより、ユースポイントに供給する供給液体の流量を減少させる。一方、ユースポイントに供給される供給液体の流量が目標となる一定流量に対して減少した場合、すなわち、流量測定部で測定される供給液体の流量が目標となる一定流量に対して減少した場合には、排気口から排出される排出気体の排出量を減少させて、気液分離タンク部内の圧力を上げることにより、ユースポイントに供給する供給液体の流量を増加させる。このようにして、ユースポイントに供給される供給液体の流量を一定に保つことができる。
本発明の供給液体製造装置は、第１原料と第２原料を混合して混合液体を生成する混合部と、前記混合部に供給される前記第１原料の流量を変更するポンプ部と、前記混合部により生成された前記混合液体を、ユースポイントに供給される供給液体と、排気口から排出される排出気体とに気液分離する気液分離タンク部と、前記気液分離タンク部から前記ユースポイントに供給される前記供給液体の圧力を測定する圧力測定部と、前記排気口から排出される前記排出気体の排出量を調整する排気バルブと、前記ユースポイントに供給される前記供給液体の圧力を一定圧力に保つように、前記圧力測定部で測定した前記供給液体の圧力に応じて、前記排気バルブを制御して前記排気口から排出される前記排出気体の排出量を調整する排気制御部と、を備え、前記排気制御部は、前記圧力測定部で測定した前記供給液体の圧力が前記一定圧力に対して増加した場合には前記排気口から排出される前記排出気体の排出量を増加させ、前記圧力測定部で測定した前記供給液体の圧力が前記一定圧力に対して減少した場合には前記排気口から排出される前記排出気体の排出量を減少させる。
この構成によれば、ユースポイントに供給される供給液体の圧力が増加した場合、すなわち、圧力測定部で測定される供給液体の圧力が増加した場合には、排気口から排出される排出気体の排出量を増加させて、気液分離タンク部内の圧力を下げることにより、ユースポイントに供給する供給液体の圧力を減少させる。一方、ユースポイントに供給される供給液体の圧力が減少した場合、すなわち、圧力測定部で測定される供給液体の圧力が減少した場合には、排気口から排出される排出気体の排出量を減少させて、気液分離タンク部内の圧力を上げることにより、ユースポイントに供給する供給液体の圧力を増加させる。このようにして、ユースポイントに供給される供給液体の圧力を一定に保つことができる。
また、本発明の供給液体製造装置は、前記気液分離タンク部から前記ユースポイントに供給される前記供給液体の流量を測定する第１流量測定部と、前記第１流量測定部で測定した前記供給液体の流量に応じて、前記ポンプ部を制御して前記混合部に供給する前記第１原料の流量を調整する流量制御部と、を備え、前記流量制御部は、前記第１流量測定部で測定した前記供給液体の流量と前記混合部に供給する前記第１原料の流量が同じになるように制御してよい。
この構成によれば、第１流量測定部で測定した供給液体の流量と混合部に供給する第１原料の流量が同じになるように、混合部に供給する第１原料の流量を調整するので、気液分離タンク部内の液体量を一定に保つことができる。
また、本発明の供給液体製造装置は、前記混合部に供給する前記第１原料の流量を測定する第２流量測定部を備えてよい。
この構成によれば、第２流量測定部で測定された流量が前記第１流量測定部で測定された流量と同じになるように、前記混合部に供給する前記第１原料の流量を調整することができる。
また、本発明の供給液体製造装置は、前記気液分離タンク部内の液体量を検知する液体量測定部を有し、前記流量制御部は、前記液体量測定部で測定した前記気液分離タンク部内の液体量が所定の液体量に対して増加した場合には前記混合部に供給する前記第１原料の流量を少なくし、前記液体量測定部で測定した前記気液分離タンク部内の液体量が所定の液体量に対して減少した場合には前記混合部に供給する前記第１原料の流量を増やしてもよい。
この構成によれば、前記混合部に供給する前記第１原料の流量を測定しなくても、気液分離タンク部内の液体量を検知することで、気液分離タンク部内の液体量を一定に保つように前記混合部に供給する前記第１原料の流量を調整することができる。
本発明の供給液体製造方法は、第１原料と第２原料を混合して混合部で混合液体を生成するステップと、前記混合部で生成された前記混合液体を、ユースポイントに供給される供給液体と、排気口から排出される排出気体とに気液分離タンク部で気液分離するステップと、前記気液分離タンク部から前記ユースポイントに供給される前記供給液体の圧力を圧力測定部で測定するステップと、前記ユースポイントに供給される前記供給液体の圧力を一定圧力に保つように、前記圧力測定部で測定した前記供給液体の圧力に応じて、前記排気口から排出される前記排出気体の排出量を排気バルブで調整するステップと、を含み、前記排出気体の排出量を調整するステップでは、前記圧力測定部で測定した前記供給液体の圧力が一定圧力に対して増加した場合には前記排気口から排出される前記排出気体の排出量を増加させ、前記圧力測定部で測定した前記供給液体の圧力が一定圧力に対して減少した場合には前記排気口から排出される前記排出気体の排出量を減少させる。
この製造方法によっても、ユースポイントに供給される供給液体の圧力が目標となる一定圧力に対して増加した場合、すなわち、圧力測定部で測定される供給液体の圧力が目標となる一定圧力に対して増加した場合には、排気口から排出される排出気体の排出量を増加させて、気液分離タンク部内の圧力を下げることにより、ユースポイントに供給する供給液体の圧力を減少させる。一方、ユースポイントに供給される供給液体の圧力が目標となる一定圧力に対して減少した場合、すなわち、圧力測定部で測定される供給液体の圧力が目標となる一定圧力に対して減少した場合には、排気口から排出される排出気体の排出量を減少させて、気液分離タンク部内の圧力を上げることにより、ユースポイントに供給する供給液体の圧力を増加させる。このようにして、ユースポイントに供給される供給液体の圧力を一定に保つことができる。
本発明の供給液体製造装置は、第１原料と第２原料を混合して混合液体を生成する混合部と、前記混合部に供給される前記第１原料の流量を変更するポンプ部と、前記混合部により生成された前記混合液体を、ユースポイントに供給される供給液体と、排気口から排出される排出気体とに気液分離する気液分離タンク部と、前記気液分離タンク部から前記ユースポイントに供給される前記供給液体の流量を測定する第１流量測定部と、前記気液分離タンク部から前記ユースポイントに供給される前記供給液体の圧力を測定する圧力測定部と、前記排気口から排出される前記排出気体の排出量を調整する排気バルブと、前記ユースポイントに供給される前記供給液体の流量を一定流量に保つように、前記第１流量測定部で測定した前記供給液体の流量に応じて、前記排気バルブを制御して前記排気口から排出される前記排出気体の排出量を調整する流量一定制御部と、前記ユースポイントに供給される前記供給液体の圧力を一定圧力に保つように、前記圧力測定部で測定した前記供給液体の圧力に応じて、前記排気バルブを制御して前記排気口から排出される前記排出気体の排出量を調整する圧力一定制御部と、前記流量一定制御部により前記排出気体の排出量を調整する流量一定制御と、前記圧力一定制御部により前記排出気体の排出量を調整する圧力一定制御のいずれか一方を選択する制御選択部と、を備え、前記制御選択部により前記流量一定制御が選択された場合には、前記流量一定制御部は、前記第１流量測定部で測定した前記供給液体の流量が前記一定流量に対して増加したときに前記排気口から排出される前記排出気体の排出量を増加させ、前記流量測定部で測定した前記供給液体の流量が前記一定流量に対して減少したときに前記排気口から排出される前記排出気体の排出量を減少させ、前記制御選択部により前記圧力一定制御が選択された場合には、前記圧力一定制御部は、前記圧力測定部で測定した前記供給液体の圧力が前記一定圧力に対して増加したときに前記排気口から排出される前記排出気体の排出量を増加させ、前記圧力測定部で測定した前記供給液体の圧力が前記一定圧力に対して減少したときに前記排気口から排出される前記排出気体の排出量を減少させる。
この構成によれば、ユースポイントに供給される供給液体の流量を一定に保つ制御（流量一定制御）と、ユースポイントに供給される供給液体の圧力を一定に保つ制御（圧力一定制御）を選択することができる。
流量一定制御では、ユースポイントに供給される供給液体の流量が目標となる一定流量に対して増加した場合、すなわち、流量測定部で測定される供給液体の流量が目標となる一定流量に対して増加した場合には、排気口から排出される排出気体の排出量を増加させて、気液分離タンク部内の圧力を下げることにより、ユースポイントに供給する供給液体の流量を減少させる。一方、ユースポイントに供給される供給液体の流量が目標となる一定流量に対して減少した場合、すなわち、流量測定部で測定される供給液体の流量が目標となる一定流量に対して減少した場合には、排気口から排出される排出気体の排出量を減少させて、気液分離タンク部内の圧力を上げることにより、ユースポイントに供給する供給液体の流量を増加させる。このようにして、ユースポイントに供給される供給液体の流量を一定に保つことができる。
圧力一定制御では、ユースポイントに供給される供給液体の圧力が目標となる一定圧力に対して増加した場合、すなわち、圧力測定部で測定される供給液体の圧力が目標となる一定圧力に対して増加した場合には、排気口から排出される排出気体の排出量を増加させて、気液分離タンク部内の圧力を下げることにより、ユースポイントに供給する供給液体の圧力を減少させる。一方、ユースポイントに供給される供給液体の圧力が目標となる一定圧力に対して減少した場合、すなわち、圧力測定部で測定される供給液体の圧力が目標となる一定圧力に対して減少した場合には、排気口から排出される排出気体の排出量を減少させて、気液分離タンク部内の圧力を上げることにより、ユースポイントに供給する供給液体の圧力を増加させる。このようにして、ユースポイントに供給される供給液体の圧力を一定に保つことができる。
本発明の供給液体製造方法は、第１原料と第２原料を混合部で混合して混合液体を生成するステップと、前記混合部で生成された前記混合液体を、ユースポイントに供給される供給液体と、排気口から排出される排出気体とに気液分離タンク部で気液分離するステップと、前記気液分離タンク部から前記ユースポイントに供給される前記供給液体の流量を流量測定部で測定するステップと、前記気液分離タンク部から前記ユースポイントに供給される前記供給液体の圧力を圧力測定部で測定するステップと、前記ユースポイントに供給される前記供給液体の流量を一定流量に保つように、前記流量測定部で測定した前記供給液体の流量に応じて、前記排気バルブを制御して前記排気口から排出される前記排出気体の排出量を調整する流量一定制御と、前記ユースポイントに供給される前記供給液体の圧力を一定圧力に保つように、前記圧力測定部で測定した前記供給液体の圧力に応じて、前記排気バルブを制御して前記排気口から排出される前記排出気体の排出量を調整する圧力一定制御と、のいずれか一方を選択するステップと、を含み、前記流量一定制御が選択された場合には、前記流量測定部で測定した前記供給液体の流量が前記一定流量に対して増加したときに前記排気口から排出される前記排出気体の排出量を増加させ、前記流量測定部で測定した前記供給液体の流量が前記一定流量に対して減少したときに前記排気口から排出される前記排出気体の排出量を減少させ、前記圧力一定制御が選択された場合には、前記圧力測定部で測定した前記供給液体の圧力が前記一定圧力に対して増加したときに前記排気口から排出される前記排出気体の排出量を増加させ、前記圧力測定部で測定した前記供給液体の圧力が前記一定圧力に対して減少したときに前記排気口から排出される前記排出気体の排出量を減少させる。
この製造方法によっても、ユースポイントに供給される供給液体の流量を一定に保つ制御（流量一定制御）と、ユースポイントに供給される供給液体の圧力を一定に保つ制御（圧力一定制御）を選択することができる。
流量一定制御では、ユースポイントに供給される供給液体の流量が目標となる一定流量に対して増加した場合、すなわち、流量測定部で測定される供給液体の流量が目標となる一定流量に対して増加した場合には、排気口から排出される排出気体の排出量を増加させて、気液分離タンク部内の圧力を下げることにより、ユースポイントに供給する供給液体の流量を減少させる。一方、ユースポイントに供給される供給液体の流量が目標となる一定流量に対して減少した場合、すなわち、流量測定部で測定される供給液体の流量が目標となる一定流量に対して減少した場合には、排気口から排出される排出気体の排出量を減少させて、気液分離タンク部内の圧力を上げることにより、ユースポイントに供給する供給液体の流量を増加させる。このようにして、ユースポイントに供給される供給液体の流量を一定に保つことができる。
圧力一定制御では、ユースポイントに供給される供給液体の圧力が目標となる一定圧力に対して増加した場合、すなわち、圧力測定部で測定される供給液体の圧力が目標となる一定圧力に対して増加した場合には、排気口から排出される排出気体の排出量を増加させて、気液分離タンク部内の圧力を下げることにより、ユースポイントに供給する供給液体の圧力を減少させる。一方、ユースポイントに供給される供給液体の圧力が目標となる一定圧力に対して減少した場合、すなわち、圧力測定部で測定される供給液体の圧力が目標となる一定圧力に対して減少した場合には、排気口から排出される排出気体の排出量を減少させて、気液分離タンク部内の圧力を上げることにより、ユースポイントに供給する供給液体の圧力を増加させる。このようにして、ユースポイントに供給される供給液体の圧力を一定に保つことができる。
本発明によれば、ユースポイントで必要とされる分だけ供給液体（例えばオゾン水など）を製造することができる。さらに、本発明によれば、オゾン水とオゾンガスとを共存させた気液混合状態で、ユースポイントまで、オゾン水（供給液体）を適正量供給させることができる。
本発明の第１の実施の形態における供給液体製造装置の構成を示す説明図である。 本発明の第２の実施の形態における供給液体製造装置の構成を示す説明図である。 本発明の第３の実施の形態における供給液体製造装置の構成を示す説明図である。 本発明の第３の実施の形態における流量一定制御の説明図である。 本発明の第４の実施の形態における供給液体製造装置の構成を示す説明図である。 従来のオゾン水供給装置の構成を示す説明図である。
以下、本発明の実施の形態の供給液体製造装置について、図面を用いて説明する。本実施の形態では、半導体デバイスや液晶などの電子部品の洗浄に用いられるオゾン水などの製造に用いられる供給液体製造装置の場合を例示する。
なお、本明細書において「圧力一定」、「一定の圧力」とは、ある所定または任意の時間間隔内における平均圧力値が一定、あるいは実質的に一定であることをいう。また、本明細書において「流量一定」、「一定の流量」とは、ある所定または任意の時間間隔内における平均流量値が一定、あるいは実質的に一定であることをいう。さらにまた、本明細書において「濃度一定」、「一定の濃度」とは、ある液体中に溶存している化学種の、所定または任意の時間間隔内における平均的な成分濃度の値が一定、あるいは実質的に一定であることをいう。
（第１の実施の形態）
本発明の第１の実施の形態の供給液体製造装置の構成を、図面を参照して説明する。図１は、本実施の形態の供給液体製造装置の構成を示す説明図である。図１に示すように、供給液体製造装置１００は、原料となる第１ガス（Ｏ2ガス）と第２ガス（ＣＯ2ガス、Ｎ2ガス、またはＣＯ2ガスとＮ2ガスの混合気体）の供給源１０１、１０２と、それぞれのガス（第１ガスと第２ガス）の流量を制御する流量コントローラ１０３、１０４を備えている。なお、第２ガス（ＣＯ2ガス、Ｎ2ガス、またはＣＯ2ガスとＮ2ガスの混合気体）は必ずしも必須ではなく、第１ガス（Ｏ2ガス）のみを用いてもよい。第１ガスと第２ガスは、圧力センサ１０５で圧力を測定された後、オゾンガス生成部１０６へ送られる。オゾンガス生成部１０６で生成されたオゾンガスは、オゾン水生成部１０７へ送られる。
また、供給液体製造装置１００は、第１原料である水（超純水）の供給源１０８を備えている。この供給液体製造装置１００には、第１原料である水の中の余剰ガス（酸素、窒素、炭酸ガスなど）を除去するために、脱気処理をする脱気処理部１０９が備えられている。なお、脱気処理は、例えば脱気処理膜を介して真空引きを行うなどの公知の方法を利用することができる。また、供給液体製造装置１００には、第１原料である水の流量を調整するためのバルブ１１０と、第１原料である水の流量を測定するための流量計１１１が設けられている。第１原料である水は、流量計１１１で流量が測定された後、昇圧ポンプ（あるいは単にポンプともいう。以下、同じ。）１１２へ送られ、昇圧ポンプ１１２で圧力を調整（昇圧）された後、オゾン水生成部１０７へ送られる。オゾン水生成部１０７へ送られる水の圧力は、例えば、０．１〜１．０ＭＰａに設定される。そして、ポンプ１１２の圧力を変更することにより、オゾン水生成部１０７へ送られる水の流量が調整される。
オゾン水生成部１０７は、水（第１原料）とオゾンガス（第２原料）を混合してオゾン水（混合液体）を生成する混合器１１３を備えている。混合器１１３は、ベンチュリー効果を利用して水とガスを混合するものが望ましい。そのような混合器１１３として、例えば、アスピレータやエジェクターなどが用いられる。生成されたオゾン水は、気液分離タンク１１４に送られる。気液分離タンク１１４では、混合器１１３で生成されたオゾン水（混合液体）が、オゾン水（供給液体）と排ガス（排出気体）に気液分離される。この気液分離タンク１１４には、オゾン水の水位を測定するための水位センサ１１５が設けられている。気液分離されたオゾン水（供給液体）は、圧力センサ１１６で圧力が測定され、流量計１１７で流量が測定された後、バルブ１１８を介してユースポイント１１９（例えば、多チャンバー式の枚葉型洗浄装置など）に送られる。
また、気液分離されたオゾン水（供給液体）は、オゾン水濃度計１２０で濃度が測定された後、ドレン１２１から排出される。一方、気液分離された排ガス（排出気体）は、気液分離タンク１１４からバルブ１２２を介して排ガス分解触媒１２３へ送られて分解処理された後、圧力リリーフバルブ１２４で大気圧に戻されてから、排出口１２５から排出される。圧力リリーフバルブ１２４では、急激な圧力変動を防いで圧力を一定に保つことができる点で、エアー制御式のリリーフ弁を採用することが望ましい。なお、急激な圧力変動が発生するおそれがない場合には、バネ式のリリーフ弁を採用することもできる。バネ式のリリーフ弁は、エアー制御式のリリーフ弁に比べて安価であり、低コスト化を図るうえで有利である。
供給液体製造装置１００は、流量制御部（すなわち、昇圧制御部）１２６と排気圧力制御部１２７を備えている。流量制御部（すなわち、昇圧制御部）１２６は、流量計１１１で測定した水流量、または、流量計１１７で測定したオゾン水の流量に応じて、昇圧ポンプ１１２を制御して、混合器１１３に昇圧して供給する水の圧力を調整する。より具体的には、例えば、流量計１１７で測定したオゾン水の流量値を受信し、受信した流量値に応じて昇圧ポンプ１１２を制御する制御信号を生成し、この制御信号を昇圧ポンプ１１２に送信して、昇圧ポンプ１１２に設けられた図示しない駆動部を制御することによりポンプの回転数を制御し、混合器１１３に供給する水の圧力（あるいは流量）を調整することができる。また、排気圧力制御部１２７は、流量計１１１で測定した水の流量、流量計１１７で測定したオゾン水の流量、オゾン水濃度計１２０で測定したオゾン水の濃度に応じて、圧力リリーフバルブ１２４を制御して、気液分離タンク１１４内の水位を一定に保つように排ガスの排気圧力を調整する。
この供給液体製造装置１００は、気液分離タンク１１４の水位を一定に調整することができる。例えば、気液分離タンク１１４内の水位を水位センサ１１５で測定することにより、気液分離タンク１１４の水位を一定に調整することができる。また、流量計１１１で測定される水の流量と流量計１１７で測定されるオゾン水の流量が同じになるように流量を制御することにより、気液分離タンク１１４の水位を一定に調整することができる。
以上のように構成された第１の実施の形態の供給液体製造装置１００について、その動作を説明する。
第１の実施の形態の供給液体製造装置１００を用いてオゾン水を製造する場合には、まず、原料となる第１ガス（Ｏ2ガス）と第２ガス（ＣＯ2ガス、Ｎ2ガス、またはＣＯ2ガスとＮ2ガスの混合気体）を供給源１０１、１０２から供給する。第１ガスと第２ガスの流量は、流量コントローラ１０３、１０４によって制御される。また、第１原料である水（純水）を供給源１０８から供給する。水の流量は、流量計１１１によって測定される。流量コントローラ１０３、１０４は、流量計１１１により測定される水の流量に応じて、第１ガスと第２ガスの流量を制御する。すなわち、所定の濃度のオゾン水を生成するために、水の流量と第１ガスと第２ガスの流量の関係を予め求めておき、流量計１１１により測定される水の流量に応じて、第１ガスと第２ガスの流量を制御する。
第１ガスと第２ガスは、圧力センサ１０５で圧力を測定した後、オゾンガス生成部１０６へ送られる。オゾンガス生成部１０６では、放電によって、第１ガス（Ｏ2ガス）と第２ガス（ＣＯ2ガス、Ｎ2ガス、またはＣＯ2ガスとＮ2ガスの混合気体）からオゾンガスが生成される。生成されたオゾンガス（第２原料）は、オゾン水生成部１０７へ送られる。一方、水（第１原料）は、流量計１１１で流量が測定された後、昇圧ポンプ１１２へ送られ、昇圧ポンプ１１２で圧力を調整された後、オゾン水生成部１０７へ送られる。昇圧ポンプ１１２は、流量制御部１２６によって制御され、０．１ＭＰａ〜１ＭＰａの圧力範囲内でオゾン水生成部１０７へ送る水の圧力を調整する。昇圧ポンプ１１２としては、例えば遠心ポンプなどが用いられる。
オゾン水生成部１０７の混合器１１３では、水とオゾンガスを混合してオゾン水が生成され、生成されたオゾン水は、気液分離タンク１１４へ送られる。気液分離タンク１１４では、混合器１１３で生成されたオゾン水（混合液体）が、オゾン水（供給液体）と排ガス（排出気体）に気液分離される。気液分離されたオゾン水（供給液体）は、圧力センサ１１６で圧力が測定され、流量計１１７で流量が測定された後、バルブ１１８を介してユースポイント１１９（例えば、多チャンバー式の枚葉型洗浄装置）に送られる。この場合、流量制御部１２６は、流量計１１１または流量計１１７で測定した流量に応じて昇圧ポンプ１１２を制御する。
一方、排ガス（排出気体）は、バルブ１２２を介して排ガス分解触媒１２３へ送られて分解処理された後、圧力リリーフバルブ１２４で大気圧に戻されてから、排出口１２５から排出される。この場合、排気圧力制御部１２７は、流量計１１１で測定した水の流量、流量計１１７で測定したオゾン水の流量、オゾン水濃度計１２０で測定したオゾン水の濃度に応じて、圧力リリーフバルブ１２４を制御して、気液分離タンク１１４内の水位を一定に保つように排ガスの排気圧力を調整する。また、排気圧力制御部は、水位センサ１１５で測定した気液分離タンク１１４内の水位に応じて、圧力リリーフバルブ１２４を制御して、気液分離タンク１１４内の水位を一定に保つように排ガスの排気圧力を調整する。
このような第１の実施の形態の供給液体製造装置１００によれば、ユースポイント１１９に供給される供給液体（オゾン水）の流量を、気液分離をした後に測定するので、第１原料（水）と第２原料（オゾンガス）を混合することにより発生する気体（排ガス）の気泡の影響を受けることなく、供給液体（オゾン水）の流量を正確に測定することができる。そして、このように測定した供給液体（オゾン水）の流量に応じて第１の原料である水（混合部に昇圧して供給される）の圧力が調整されるとともに、排ガスの排気圧力が制御されて気液分離タンク１１４内の水位が一定に保たれる。これにより、ユースポイント１１９で必要とされる分だけ供給液体（オゾン水）を製造することができる。
また、本実施の形態では、気液分離タンク１１４内の水位を一定に保つことができるので、ユースポイント１１９で必要とされる分だけ供給液体（オゾン水）を製造することができる。例えば、水位センサ１１５で気液分離タンク１１４内の水位を測定する。これにより、気液分離タンク１１４内の水位を一定に保つことが可能になり、ユースポイント１１９で必要とされる分だけ供給液体（オゾン水）を製造することができる。
あるいは、混合器１１３に供給される水の流量を流量計１１１で測定するとともに、気液分離タンク１１４から排出される（ユースポイント１１９に供給される）オゾン水の流量を測定する。そして、混合器１１３に供給される水の流量と気液分離タンク１１４から排出されるオゾン水の流量を同じにすることにより、気液分離タンク１１４内の液体量を一定に保つことが可能になり、ユースポイント１１９で必要とされる分だけ供給液体（オゾン水）を製造することができる。
また、本実施の形態では、混合器１１３で水とオゾンガスを混合してオゾン水を製造することができる。この場合、昇圧ポンプ１１２が混合器１１３の前段（混合器１１３より上流側）に配置されているので、昇圧ポンプ１１２には水しか通されない（昇圧ポンプ１１２にオゾン水は通されない）。したがって、昇圧ポンプ１１２が混合器１１３の後段に設けられる場合（昇圧ポンプ１１２にオゾン水が通される場合）に比べて、昇圧ポンプ１１２の寿命が長くなる。
（第２の実施の形態）
次に、本発明の第２の実施の形態の供給液体製造装置について説明する。ここでは、第２の実施の形態の供給液体製造装置が、第１の実施の形態と相違する点を中心に説明する。ここで特に言及しない限り、本実施の形態の構成および動作は、第１の実施の形態と同様である。
図２は、本実施の形態の供給液体製造装置の構成を示す説明図である。図２に示すように、供給液体製造装置２００は、第１原料である水（超純水）の供給源２０１と第２原料であるケミカル原料（例えばアンモニアなど）の供給源２０２を備えている。また、供給液体製造装置２００には、第１原料である水の流量を調整するためのバルブ２０３と、第１原料である水の流量を測定するための流量計２０４が設けられている。第１原料である水は、流量計２０４で流量が測定された後、昇圧ポンプ２０５へ送られ、昇圧ポンプ２０５で圧力を調整（昇圧）された後、混合器２０６へ送られる。第２原料であるケミカル原料も、混合器２０６へ送られる。
混合器２０６は、水とケミカル原料（アンモニア）を混合して、ケミカル水（アンモニア水）を生成する。生成されたケミカル水（アンモニア水）は、気液分離タンク２０７に送られる。気液分離タンク２０７では、混合器２０６で生成されたケミカル水（混合液体）が、ケミカル水（供給液体）と排ガス（排出気体）に気液分離される。この気液分離タンク２０７には、ケミカル水の上限水位および下限水位を測定するための２つの水位センサ２０８、２０９が設けられている。気液分離されたケミカル水（供給液体）は、圧力センサ２１０で圧力が測定され、流量計２１１で流量が測定された後、バルブ２１２を介してユースポイント２１３（例えば、多チャンバー式の枚葉型洗浄装置など）に送られる。
一方、気液分離された排ガス（排出気体）は、気液分離タンク２０７からバルブ２１４を介して圧力リリーフバルブ２１５へ送られて、圧力リリーフバルブ２１５で大気圧に戻されてから、排出口２１６から排出される。
また、供給液体製造装置２００は、流量制御部（すなわち、昇圧制御部）２１７と排気圧力制御部２１８を備えている。流量制御部（すなわち、昇圧制御部）２１７は、流量計２０４または流量計２１１で測定したケミカル水（アンモニア水）の流量に応じて、昇圧ポンプ２０５を制御して、混合器２０６に昇圧して供給する水の圧力を調整する。より具体的には、流量計２０４または流量計２１１で測定した流量値を受信し、受信した流量値に応じて昇圧ポンプ２０５を制御する制御信号を生成し、この制御信号を昇圧ポンプ２０５に送信して、昇圧ポンプ２０５に設けられた図示しない駆動部を制御することによりポンプの回転数を制御し、混合器２０６に供給する水の圧力（あるいは流量）を調整することができる。また、排気圧力制御部２１８は、流量計２０４で測定した水の流量、流量計２１１で測定したアンモニア水の流量に応じて、圧力リリーフバルブ２１５を制御して、気液分離タンク２０７内の水位を一定に保つように排ガスの排気圧力を調整する。
この供給液体製造装置２００は、気液分離タンク２０７の水位を一定に調整することができる。例えば、気液分離タンク２０７内の上限水位と下限水位を２つの水位センサ２０８、２０９で測定することにより、気液分離タンク２０７の水位を一定に調整することができる。また、流量計２０４で測定される水の流量と流量計２１１で測定されるケミカル水（アンモニア水）の流量が同じになるように流量を制御することにより、気液分離タンク２０７の水位を一定に調整することができる。
このような第２の実施の形態の供給液体製造装置によっても、第１の実施の形態と同様の作用効果が奏される。本実施の形態では、混合部で水とケミカル原料（例えばアンモニアなど）を混合してケミカル水（例えばアンモニア水など）を製造することができる。
（第３の実施の形態）
次に、本発明の第３の実施の形態の供給液体製造装置について説明する。ここでは、第３の実施の形態の供給液体製造装置が、第１の実施の形態と相違する点を中心に説明する。ここで特に言及しない限り、本実施の形態の構成および動作は、第１の実施の形態と同様である。
図３は、本実施の形態の供給液体製造装置の構成を示す説明図である。図３に示すように、供給液体製造装置３００は、原料となる第１ガス（Ｏ2ガス）と第２ガス（ＣＯ2ガス、Ｎ2ガス、またはＣＯ2ガスとＮ2ガスの混合気体）の供給源３０１、３０２と、それぞれのガス（第１ガスと第２ガス）の流量を制御する流量コントローラ３０３、３０４を備えている。なお、第２ガス（ＣＯ2ガス、Ｎ2ガス、またはＣＯ2ガスとＮ2ガスの混合気体）は必ずしも必須ではなく、第１ガス（Ｏ2ガス）のみを用いてもよい。第１ガスと第２ガスは、圧力センサ３０５で圧力を測定された後、オゾンガス生成部３０６へ送られる。このオゾンガス生成部３０６では、無声放電方式、電気分解方式、あるいは紫外線ランプ方式を採用して、オゾンガスを生成する構成とされている。オゾンガス生成部３０６で生成されたオゾンガスは、混合部３０７へ送られる。なお、圧力センサ３０５で測定された圧力値を用いて、流量コントローラ３０３、３０４にて第１ガスと第２ガスの流量が適正範囲内となっているかを監視することができる。
また、供給液体製造装置３００は、第１原料である水（超純水）の供給源３０８を備えている。また、供給液体製造装置１００には、第１原料である水の供給をオンオフするバルブ３０９と、第１原料である水の流量を測定するための流量計３１０が設けられている。第１原料である水は、流量計３１０で流量が測定された後、ポンプ３１１へ送られ、ポンプ３１１で流量を調整された後、混合部３０７へ送られる。ここで、ポンプ３１１は、例えば遠心ポンプが用いられる。以下では、ポンプ３１１は遠心ポンプを例として説明する。なお、流量計３１０が第２流量測定部に相当する。
混合部３０７は、水（第１原料）とオゾンガス（第２原料）を混合してオゾン水（混合液体）を生成する。混合部３０７は、ベンチュリー効果を利用して水とガスを混合するものが望ましく、例えばアスピレータやエジェクターなどが用いられる。
混合部３０７で生成されたオゾン水は、気液分離タンク３１２に送られる。気液分離タンク３１２では、混合部３０７で生成されたオゾン水（混合液体）が、オゾン水（供給液体）と排ガス（排出気体）に気液分離される。この気液分離タンク３１２には、オゾン水の水位を測定するための水位センサ３１３が設けられている。水位センサ３１３は、例えば気液分離タンク３１２内の所定の高さに設置され、オゾン水の液面が水位センサ３１３の高さよりも上であるか下であるかを検知するセンサである。あるいは、水位センサ３１３は気液分離タンク３１２内のオゾン水の水位（液量）を常に測定するものであってもよい。気液分離されたオゾン水（供給液体）は、オゾン水濃度計３１４で濃度が測定され、流量計３１５で流量が測定され、圧力センサ３１６で圧力が測定された後に、バルブ３１７を介してユースポイント３１８（例えば、多チャンバー式の枚葉型洗浄装置など）またはドレン３１９に送られる。
なお、本装置の定常運転中においてユースポイントでオゾン水を使用しないタイミングでは、バルブ３１７をドレン３１９側に切り替えて最小流量でオゾン水をドレン３１９に流すようにしている。これは、オゾン水の品質を一定に保つためである。また、装置の立ち上げ時やメンテナンス時などにおいて不要なオゾン水をドレン３１９から排出するようにしている。
一方、気液分離された排ガス（排出気体）は、気液分離タンク３１２からバルブ３２０を介して排ガス分解触媒３２１へ送られて分解処理された後、開度調整バルブ３２２を介して排気口３２３から排出される。ここでは、流量計３１５が本発明の第１流量測定部に相当し、圧力センサ３１６が本発明の圧力測定部に相当する。また、開度調整バルブ３２２が本発明の排気バルブに相当する。
（流量一定制御）
供給液体製造装置３００は、排気制御部３２４と流量制御部３２５を備えている。排気制御部３２４は、ユースポイント３１８に供給されるオゾン水（供給液体）の流量を一定流量に保つ流量一定制御を行う機能を備えている。ここで、一定流量とは、目標流量とも言い換えられる。一定流量あるいは目標流量とは、供給液体製造装置３００において必ずしも固定された値ではなく、ユースポイントで必要とされる流量として任意に設定される。
気液分離タンク３１２は開度調整バルブ３２２とつながっており、気液分離タンク３１２内のオゾン水液面の上部空間の圧力は開度調整バルブ３２２によって調整される。オゾン水からはオゾンガスが抜けていくため、気液分離タンク３２２内のオゾン水液面の上部空間の圧力は、経時的に変化する。ユースポイント３１８に供給されるオゾン水（供給液体）の流量は、ポンプ３１１の回転数だけでなく、気液分離タンク内の上部空間の圧力によっても影響を受ける。
流量一定制御を行う場合には、排気制御部３２４は、流量計３１５で測定したオゾン水（供給液体）の流量に応じて、開度調整バルブ３２２を制御して排気口３２３から排出される排ガス（排出気体）の排出量を調整する。より具体的には、排気制御部３２４は、流量計３１５で測定したオゾン水（供給液体）の流量が目標となる一定流量に対して増加した場合には排気口３２３から排出される排ガス（排出気体）の排出量を増加させ、流量計３１５で測定したオゾン水（供給液体）の流量が目標となる一定流量に対して減少した場合には排気口３２３から排出される排ガス（排出気体）の排出量を減少させる。
流量制御部３２５は、流量計３１５で測定したオゾン水（供給液体）の流量に応じて、ポンプ３１０の回転数を制御して混合部に供給する第１原料の流量を調整する。
より具体的には、流量計３１０で測定される混合部に供給する第１原料の流量が、流量計３１５で測定されるオゾン水（供給液体）の流量と同じになるように制御する。そのため、この実施例では、流量計３１５で測定した流量値を受信し、受信した流量値に応じてポンプ３１０の回転数を制御する制御信号を生成し、この制御信号をポンプ３１０に送信して、ポンプ３１０の回転数を制御することにより、混合部に供給する流量を調整するようにしている。
また、流量制御部３１５は、水位センサ３１３で測定した気液分離タンク３１２内の液体量が所定の液量よりも増加した場合には混合部に供給する第１原料の流量を減少させ、水位センサ３１３で測定した気液分離タンク３１２内の液体量が所定の液量よりも減少した場合には混合部に供給する第１原料の流量を増加させてもよい。より具体的には、気液分離タンク３１２内のオゾン水の水位がある高さ以上であるか否かを検知する水位センサ３１３を用いて、オゾン水の水位が水位センサの高さを上回ったら混合部に供給する第１原料の流量を下げる。そして、オゾン水の水位が水位センサの高さを下回ったら混合部に供給する第１原料の流量を上げる。このようにすれば、気液分離タンク３１２内のオゾン水の水位（液量）を一定に保つことができる。もちろん、２つの水位センサを異なる高さに設置して、オゾン水の水位が一定範囲になるように制御しても良い。オゾン水の水位を一定に保つことが出来れば、基本的にはユースポイント３１８に供給されるオゾン水（供給液体）の流量と混合部に供給する第１原料の流量が同じになっていることを意味する。
水位センサ３１３で気液分離タンク３１２内のオゾン水の水位を検知する構成であれば、オゾン水の水位を一定に保つためには必ずしも流量計３１０は必要ない。しかし、オゾンガスの濃度を一定に維持するためには水の流量を測定して原料ガスの流量を制御する必要があるので、流量計３１０も設けることが望ましい。またオゾン水の水位を検知する水位センサ３１３を用いてオゾン水の水位が一定になるように混合部に供給する第１原料の流量をコントロールする構成であれば、流量計３１５を設けずに、流量計３１０のみを設けるようにしても良い。
また、排気制御部３２４は、水位センサ３１３で測定した気液分離タンク３１２内の液体量が所定の液量に対して増加した場合には排気口３２３から排出される排ガス（排出気体）の排出量を減少させ、気液分離タンク３１２内の圧力を上げることにより、気液分離タンク３１２内の液体量を減少させてもよい。一方、水位センサ３１３で測定した気液分離タンク３１２内の液体量が所定の液量に対して減少した場合には排気口３２３から排出される排ガス（排出気体）の排出量を増加させて、気液分離タンク３１２内の圧力を下げることにより、気液分離タンク３１２内の液体量を増加させてもよい。このようにしても、気液分離タンク３１２内の液体量を一定に保つことができる。
このような第３の実施の形態の供給液体製造装置３００によれば、流量一定制御が可能である。したがって、ユースポイント３１８に供給されるオゾン水（供給液体）の流量が目標となる一定流量に対して増加した場合、すなわち、流量計３１５で測定されるオゾン水（供給液体）の流量が目標となる一定流量に対して増加した場合には、排気口３２３から排出される排ガス（排出気体）の排出量を増加させて、気液分離タンク３１２内の圧力を下げることにより、ユースポイント３１８に供給するオゾン水（供給液体）の流量を減少させる。一方、ユースポイント３１８に供給されるオゾン水（供給液体）の流量が目標となる一定流量に対して減少した場合、すなわち、流量計３１５で測定されるオゾン水（供給液体）の流量が目標となる一定流量に対して減少した場合には、排気口３２３から排出される排ガス（排出気体）の排出量を減少させて、気液分離タンク３１２内の圧力を上げることにより、ユースポイント３１８に供給するオゾン水（供給液体）の流量を増加させる。このようにして、ユースポイント３１８に供給されるオゾン水（供給液体）の流量を一定に保つことができる。気液分離タンク部内の圧力を調整することにより、ユースポイントに供給するオゾン水の流量を応答性よくコントロールすることができる。
（圧力一定制御）
他の実施の形態として、図３に示した供給液体製造装置の構成を用いて、ユースポイント３１８に供給されるオゾン水（供給液体）の圧力を一定圧力に保つ圧力一定制御を行うこともできる。ここで、一定圧力とは、目標圧力とも言い換えられる。一定圧力あるいは目標圧力とは、供給液体製造装置３００において必ずしも固定された値ではなく、供給液体製造装置３００が供給するべき供給液体の圧力として任意に設定される。
圧力一定制御を行う場合には、排気制御部３２４は、圧力センサ３１６で測定したオゾン水（供給液体）の圧力に応じて、開度調整バルブ３２２を制御して排気口３２３から排出される排ガス（排出気体）の排出量を調整する。
より具体的には、ユースポイント３１８に供給されるオゾン水（供給液体）の圧力が目標となる一定圧力に対して増加した場合、すなわち、圧力センサ３１６で測定されるオゾン水（供給液体）の圧力が目標となる一定圧力に対して増加した場合には、排気口３２３から排出される排ガス（排出気体）の排出量を増加させて、気液分離タンク３１２内の圧力を下げることにより、ユースポイント３１８に供給するオゾン水（供給液体）の圧力を減少させる。一方、ユースポイント３１８に供給されるオゾン水（供給液体）の圧力が目標となる一定圧力に対して減少した場合、すなわち、圧力センサ３１６で測定されるオゾン水（供給液体）の圧力が目標となる一定圧力に対して減少した場合には、排気口３２３から排出される排ガス（排出気体）の排出量を減少させて、気液分離タンク３１２内の圧力を上げることにより、ユースポイント３１８に供給するオゾン水（供給液体）の圧力を増加させる。このようにして、ユースポイント３１８に供給されるオゾン水（供給液体）の圧力を一定に保つことができる。圧力センサ３１６で測定され、一定に維持される圧力は、例えば、０．１〜１．０ＭＰａに設定される。
圧力一定制御を行う場合も、混合部に供給する第１原料の流量を、ユースポイントに送るオゾン水の流量と同じになるように制御する。その具体的手段は、流量一定制御で述べた手段と同じである。
また、本実施の形態でも同様に、水位センサ３１３で測定した気液分離タンク３１２内の液体量が所定の液量に対して増減した場合に、排気口３２３から排出される排ガス（排出気体）の排出量を調整して、気液分離タンク３１２内の液体量を一定に保つようにしてもよい。
図４は、ユースポイントに供給するオゾン水の送水流量を変動させながら圧力一定制御した場合の、オゾン水濃度とオゾン水送水圧力を測定したグラフである。このように本実施の形態によれば、ユースポイントで必要な流量が変動しても、オゾン水の圧力を一定にし、且つオゾン水の濃度を一定に維持しながらオゾン水を供給することができる。
（第３の実施の形態の変形例）
図５には、第３の実施の形態の供給液体製造装置３００の変形例が示される。本実施の形態の供給液体製造装置３００では、流量一定制御と圧力一定制御を切り替えることが可能である。そのため、本実施の形態の排気制御部３２４は、流量一定制御を行う流量一定制御部３２４０と、圧力一定制御を行う圧力一定制御部３２４１と、流量一定制御と圧力一定制御を切り替える制御選択部３２４２を備えている。
流量一定制御部３２４０は、ユースポイント３１８に供給されるオゾン水（供給液体）の流量を一定に保つように、流量計３１５で測定したオゾン水（供給液体）の流量に応じて、開度調整バルブ３２２を制御して排気口３２３から排出される排ガス（排出気体）の排出量を調整する。
圧力一定制御部３２４１は、ユースポイント３１８に供給されるオゾン水（供給液体）の圧力を一定に保つように、圧力センサ３１６で測定したオゾン水（供給液体）の圧力に応じて、開度調整バルブ３２２を制御して排気口３２３から排出される排ガス（排出気体）の排出量を調整する。
制御選択部３２４２は、流量一定制御部３２４０により排ガス（排出気体）の排出量を調整する流量一定制御と、圧力一定制御部３２４１により排ガス（排出気体）の排出量を調整する圧力一定制御のいずれか一方を選択する。例えば、供給液体製造装置３００に設けられたタッチパネル（図示せず）などの操作によって、流量一定制御と圧力一定制御の切り替えを行うことができる。また、ユースポイント３１８からの要求信号に基づいて、流量一定制御と圧力一定制御の切り替えが行われてもよい。
制御選択部３２４２により流量一定制御が選択された場合、流量一定制御部３２４０が流量一定制御を行う。より具体的には、流量一定制御部３２４０は、流量計３１５で測定したオゾン水（供給液体）の流量が目標となる一定流量に対して増加したときに排気口３２３から排出される排ガス（排出気体）の排出量を増加させ、流量計３１５で測定したオゾン水（供給液体）の流量が目標となる一定流量に対して減少したときに排気口３２３から排出される排ガス（排出気体）の排出量を減少させる。
制御選択部３２４２により圧力一定制御が選択された場合、圧力一定制御部３２４１が圧力一定制御を行う。より具体的には、圧力一定制御部３２４１は、圧力センサ３１６で測定したオゾン水（供給液体）の圧力が目標となる一定圧力に対して増加したときに排気口３２３から排出される排ガス（排出気体）の排出量を増加させ、圧力センサ３１６で測定したオゾン水（供給液体）の圧力が目標となる一定圧力に対して減少したときに排気口３２３から排出される排ガス（排出気体）の排出量を減少させる。
このような供給液体製造装置３００の変形例によれば、ユースポイント３１８に供給されるオゾン水（供給液体）の流量を一定に保つ制御（流量一定制御）と、ユースポイント３１８に供給されるオゾン水（供給液体）の圧力を一定に保つ制御（圧力一定制御）を選択することができる。
流量一定制御では、ユースポイント３１８に供給されるオゾン水（供給液体）の流量が目標となる一定流量に対して増加した場合、すなわち、流量計３１５で測定されるオゾン水（供給液体）の流量が目標となる一定流量に対して増加した場合には、排気口３２３から排出される排ガス（排出気体）の排出量を増加させて、気液分離タンク３１２内の圧力を下げることにより、ユースポイント３１８に供給するオゾン水（供給液体）の流量を減少させる。一方、ユースポイント３１８に供給されるオゾン水（供給液体）の流量が目標となる一定流量に対して減少した場合、すなわち、流量計３１５で測定されるオゾン水（供給液体）の流量が目標となる一定流量に対して減少した場合には、排気口３２３から排出される排ガス（排出気体）の排出量を減少させて、気液分離タンク３１２内の圧力を上げることにより、ユースポイント３１８に供給するオゾン水（供給液体）の流量を増加させる。このようにして、ユースポイント３１８に供給されるオゾン水（供給液体）の流量を一定に保つことができる。
圧力一定制御では、ユースポイント３１８に供給されるオゾン水（供給液体）の圧力が目標となる一定圧力に対して増加した場合、すなわち、圧力センサ３１６で測定されるオゾン水（供給液体）の圧力が目標となる一定圧力に対して増加した場合には、排気口３２３から排出される排ガス（排出気体）の排出量を増加させて、気液分離タンク３１２内の圧力を下げることにより、ユースポイント３１８に供給するオゾン水（供給液体）の圧力を減少させる。一方、ユースポイント３１８に供給されるオゾン水（供給液体）の圧力が目標となる一定圧力に対して減少した場合、すなわち、圧力センサ３１６で測定されるオゾン水（供給液体）の圧力が目標となる一定圧力に対して減少した場合には、排気口３２３から排出される排ガス（排出気体）の排出量を減少させて、気液分離タンク３１２内の圧力を上げることにより、ユースポイント３１８に供給するオゾン水（供給液体）の圧力を増加させる。このようにして、ユースポイント３１８に供給されるオゾン水（供給液体）の圧力を一定に保つことができる。
以上、本発明の実施の形態を例示により説明したが、本発明の範囲はこれらに限定されるものではなく、請求項に記載された範囲内において目的に応じて変更・変形することが可能である。
例えば、上記の実施の形態では、オゾンガスまたはケミカル原料（アンモニアなど）と水を混合する場合について例示したが、他の薬剤（例えば、Ｈ2ＣＯ3（炭酸）、ＨＦ（フッ酸）、ＤＨＦ（希フッ酸）、ＢＨＦ（バッファードフッ酸、すなわちＮＨ4ＦとＨＦとの混合物）、ＨＣｌ(塩酸、希塩酸）、Ｈ2ＳＯ4（硫酸、希硫酸）、ＨＮＯ3（硫酸、希硫酸）、王水、又は、これらを混合した酸など）と水を混合することも可能である。
以上のように、本発明にかかる供給液体製造装置は、ユースポイントで必要とされる分だけ供給液体を製造することができるという効果を有し、半導体デバイスや液晶などの電子部品の洗浄等に用いられ、有用である。
１００ 供給液体製造装置
１０６ オゾンガス生成部
１１１ 流量計（第２の流量測定部）
１１２ 昇圧ポンプ（昇圧ポンプ部、又はポンプ）
１１３ 混合器（混合部）
１１４ 気液分離タンク（気液分離タンク部）
１１５ 水位センサ（液体量測定部）
１１７ 流量計（流量測定部）
１１９ ユースポイント
１２４ 圧力リリーフバルブ
１２５ 排出口
１２６ 流量制御部（昇圧制御部）
１２７ 排気圧力制御部
２００ 供給液体製造装置
２１１ 流量計（第２の流量測定部）
２０５ 昇圧ポンプ（昇圧ポンプ部又はポンプ）
２０６ 混合器（混合部）
２０７ 気液分離タンク（気液分離タンク部）
２０８ 水位センサ（液体量測定部）
２０９ 水位センサ（液体量測定部）
２１１ 流量計（流量測定部）
２１３ ユースポイント
２１５ 圧力リリーフバルブ
２１６ 排出口
２１７ 流量制御部（昇圧制御部）
２１８ 排気圧力制御部
３００ 供給液体製造装置
３０７ 混合部
３１１ ポンプ
３１２ 気液分離タンク（気液分離タンク部）
３１３ 水位センサ（液体量測定部）
３１５ 流量計（流量測定部）
３１６ 圧力センサ（圧力測定部）
３１８ ユースポイント
３２２ 開度調整バルブ（排気バルブ）
３２４ 排気制御部
３２５ 流量制御部
３２４０ 流量一定制御部
３２４１ 圧力一定制御部
３２４２ 制御選択部

Claims (12)

  1. 第１原料と第２原料を混合して混合液体を生成する混合部と、
    前記混合部に供給される前記第１原料の流量を変更するポンプ部と、
    前記混合部により生成された前記混合液体を、ユースポイントに供給される供給液体と、排気口から排出される排出気体とに気液分離する気液分離タンク部と、
    前記気液分離タンク部から前記ユースポイントに供給される前記供給液体の流量を測定する第１流量測定部と、
    前記排気口から排出される前記排出気体の排出量を調整する排気バルブと、
    前記ユースポイントに供給される前記供給液体の流量を一定流量に保つように、前記流量測定部で測定した前記供給液体の流量に応じて、前記排気バルブを制御して前記排気口から排出される前記排出気体の排出量を調整する排気制御部と、
    を備え、
    前記排気制御部は、前記第１流量測定部で測定した前記供給液体の流量が前記一定流量に対して増加した場合には前記排気口から排出される前記排出気体の排出量を増加させ、前記第１流量測定部で測定した前記供給液体の流量が前記一定流量に対して減少した場合には前記排気口から排出される前記排出気体の排出量を減少させることを特徴とする供給液体製造装置。
  2. 前記第１流量測定部で測定した前記供給液体の流量に応じて、前記ポンプ部を制御して前記混合部に供給する前記第１原料の流量を調整する流量制御部を備え、
    前記流量制御部は、前記第１流量測定部で測定した前記供給液体の流量と前記混合部に供給する前記第１原料の流量が同じになるように制御する、請求項１に記載の供給液体製造装置。
  3. 前記混合部に供給する前記第１原料の流量を測定する第２流量測定部を備える、請求項２に記載の供給液体製造装置。
  4. 前記気液分離タンク部内の液体量を検知する液体量測定部を備え、
    前記昇圧制御部は、前記液体量測定部で測定した前記気液分離タンク部内の液体量が所定の液体量に対して増加した場合には前記混合部に供給する前記第１原料の流量を少なくし、前記液体量測定部で測定した前記気液分離タンク部内の液体量が所定の液体量に対して減少した場合には前記混合部に供給する前記第１原料の流量を増やす、請求項２に記載の供給液体製造装置。
  5. 第１原料と第２原料を混合部で混合して混合液体を生成するステップと、
    前記混合部で生成された前記混合液体を、ユースポイントに供給される供給液体と、排気口から排出される排出気体とに気液分離タンク部で気液分離するステップと、
    前記気液分離タンク部から前記ユースポイントに供給される前記供給液体の流量を第１流量測定部で測定するステップと、
    前記ユースポイントに供給される前記供給液体の流量を一定流量に保つように、前記第１流量測定部で測定した前記供給液体の流量に応じて、前記排気口から排出される前記排出気体の排出量を排気バルブで調整するステップと、
    を含み、
    前記排出気体の排出量を調整するステップでは、前記第１流量測定部で測定した前記供給液体の流量が前記一定流量に対して増加した場合には前記排気口から排出される前記排出気体の排出量を増加させ、前記流量測定部で測定した前記供給液体の流量が前記一定流量に対して減少した場合には前記排気口から排出される前記排出気体の排出量を減少させることを特徴とする供給液体製造方法。
  6. 第１原料と第２原料を混合して混合液体を生成する混合部と、
    前記混合部に供給される前記第１原料の流量を変更するポンプ部と、
    前記混合部により生成された前記混合液体を、ユースポイントに供給される供給液体と、排気口から排出される排出気体とに気液分離する気液分離タンク部と、
    前記気液分離タンク部から前記ユースポイントに供給される前記供給液体の圧力を測定する圧力測定部と、前記排気口から排出される前記排出気体の排出量を調整する排気バルブと、
    前記ユースポイントに供給される前記供給液体の圧力を一定圧力に保つように、前記圧力測定部で測定した前記供給液体の圧力に応じて、前記排気バルブを制御して前記排気口から排出される前記排出気体の排出量を調整する排気制御部と、
    を備え、
    前記排気制御部は、前記圧力測定部で測定した前記供給液体の圧力が前記一定圧力に対して増加した場合には前記排気口から排出される前記排出気体の排出量を増加させ、前記圧力測定部で測定した前記供給液体の圧力が前記一定圧力に対して減少した場合には前記排気口から排出される前記排出気体の排出量を減少させることを特徴とする供給液体製造装置。
  7. 前記気液分離タンク部から前記ユースポイントに供給される前記供給液体の流量を測定する第１流量測定部と、
    前記第１流量測定部で測定した前記供給液体の流量に応じて、前記ポンプ部を制御して前記混合部に供給する前記第１原料の流量を調整する流量制御部と、
    を備え、
    前記流量制御部は、前記第１流量測定部で測定した前記供給液体の流量と前記混合部に供給する前記第１原料の流量が同じになるように制御する、請求項６に記載の供給液体製造装置。
  8. 前記混合部に供給する前記第１原料の流量を測定する第２流量測定部を備える、請求項７に記載の供給液体製造装置。
  9. 前記気液分離タンク部内の液体量を検知する液体量測定部を備え、
    前記流量制御部は、前記液体量測定部で測定した前記気液分離タンク部内の液体量が所定の液体量に対して増加した場合には前記混合部に供給する前記第１原料の流量を少なくし、前記液体量測定部で測定した前記気液分離タンク部内の液体量が所定の液体量に対して減少した場合には前記混合部に供給する前記第１原料の流量を増やす、請求項７に記載の供給液体製造装置。
  10. 第１原料と第２原料を混合して混合部で混合液体を生成するステップと、
    前記混合部で生成された前記混合液体を、ユースポイントに供給される供給液体と、排気口から排出される排出気体とに気液分離タンク部で気液分離するステップと、
    前記気液分離タンク部から前記ユースポイントに供給される前記供給液体の圧力を圧力測定部で測定するステップと、
    前記ユースポイントに供給される前記供給液体の圧力を一定圧力に保つように、前記圧力測定部で測定した前記供給液体の圧力に応じて、前記排気口から排出される前記排出気体の排出量を排気バルブで調整するステップと、
    を含み、
    前記排出気体の排出量を調整するステップでは、前記圧力測定部で測定した前記供給液体の圧力が一定圧力に対して増加した場合には前記排気口から排出される前記排出気体の排出量を増加させ、前記圧力測定部で測定した前記供給液体の圧力が一定圧力に対して減少した場合には前記排気口から排出される前記排出気体の排出量を減少させることを特徴とする供給液体製造方法。
  11. 第１原料と第２原料を混合して混合液体を生成する混合部と、
    前記混合部に供給される前記第１原料の流量を変更するポンプ部と、
    前記混合部により生成された前記混合液体を、ユースポイントに供給される供給液体と、排気口から排出される排出気体とに気液分離する気液分離タンク部と、
    前記気液分離タンク部から前記ユースポイントに供給される前記供給液体の流量を測定する第１流量測定部と、
    前記気液分離タンク部から前記ユースポイントに供給される前記供給液体の圧力を測定する圧力測定部と、
    前記排気口から排出される前記排出気体の排出量を調整する排気バルブと、
    前記ユースポイントに供給される前記供給液体の流量を一定流量に保つように、前記第１流量測定部で測定した前記供給液体の流量に応じて、前記排気バルブを制御して前記排気口から排出される前記排出気体の排出量を調整する流量一定制御部と、
    前記ユースポイントに供給される前記供給液体の圧力を一定圧力に保つように、前記圧力測定部で測定した前記供給液体の圧力に応じて、前記排気バルブを制御して前記排気口から排出される前記排出気体の排出量を調整する圧力一定制御部と、
    前記流量一定制御部により前記排出気体の排出量を調整する流量一定制御と、
    前記圧力一定制御部により前記排出気体の排出量を調整する圧力一定制御のいずれか一方を選択する制御選択部と、
    を備え、
    前記制御選択部により前記流量一定制御が選択された場合には、前記流量一定制御部は、前記第１流量測定部で測定した前記供給液体の流量が前記一定流量に対して増加したときに前記排気口から排出される前記排出気体の排出量を増加させ、前記流量測定部で測定した前記供給液体の流量が前記一定流量に対して減少したときに前記排気口から排出される前記排出気体の排出量を減少させ、
    前記制御選択部により前記圧力一定制御が選択された場合には、前記圧力一定制御部は、前記圧力測定部で測定した前記供給液体の圧力が前記一定圧力に対して増加したときに前記排気口から排出される前記排出気体の排出量を増加させ、前記圧力測定部で測定した前記供給液体の圧力が前記一定圧力に対して減少したときに前記排気口から排出される前記排出気体の排出量を減少させることを特徴とする供給液体製造装置。
  12. 第１原料と第２原料を混合部で混合して混合液体を生成するステップと、
    前記混合部で生成された前記混合液体を、ユースポイントに供給される供給液体と、排気口から排出される排出気体とに気液分離タンク部で気液分離するステップと、
    前記気液分離タンク部から前記ユースポイントに供給される前記供給液体の流量を流量測定部で測定するステップと、
    前記気液分離タンク部から前記ユースポイントに供給される前記供給液体の圧力を圧力測定部で測定するステップと、
    前記ユースポイントに供給される前記供給液体の流量を一定流量に保つように、前記流量測定部で測定した前記供給液体の流量に応じて、前記排気バルブを制御して前記排気口から排出される前記排出気体の排出量を調整する流量一定制御と、前記ユースポイントに供給される前記供給液体の圧力を一定圧力に保つように、前記圧力測定部で測定した前記供給液体の圧力に応じて、前記排気バルブを制御して前記排気口から排出される前記排出気体の排出量を調整する圧力一定制御と、のいずれか一方を選択するステップと、
    を含み、
    前記流量一定制御が選択された場合には、前記流量測定部で測定した前記供給液体の流量が前記一定流量に対して増加したときに前記排気口から排出される前記排出気体の排出量を増加させ、前記流量測定部で測定した前記供給液体の流量が前記一定流量に対して減少したときに前記排気口から排出される前記排出気体の排出量を減少させ、
    前記圧力一定制御が選択された場合には、前記圧力測定部で測定した前記供給液体の圧力が前記一定圧力に対して増加したときに前記排気口から排出される前記排出気体の排出量を増加させ、前記圧力測定部で測定した前記供給液体の圧力が前記一定圧力に対して減少したときに前記排気口から排出される前記排出気体の排出量を減少させることを特徴とする供給液体製造方法。
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