JP2012024719A - 微細バブル含有液供給装置 - Google Patents

Abstract

【課題】微細バブル含有液が供給される機器側の要因で、気体溶存液の圧力開放によってその微細バブル含有液を生成して供給するバブル発生器からの当該微細バブル含有液の出力圧が変動しても、安定した微細バブルの発生に基づいた微細バブル含有液の供給が可能となる微細バブル含有液供給装置を提供することである。
【解決手段】バブル発生器２０の下流側で該バブル発生器２０からの微細バブル含有液の出力圧を下流側圧力として検出する下流側圧力検出手段２１ｂと、該下流側圧力検出手段２１ｂにて得られる下流側圧力に基づいて、バブル発生器２０に入る前記気体溶存液の入力圧が前記下流側圧力に追従して変化するように、バブル発生器２０に対する前記加圧状態の気体溶存液の供給流量を制御する制御手段３１を有する構成となる。
【選択図】図１

Description

本発明は、マイクロバブル、マイクロナノバブル、ナノバブル等の微細バブルを含有する液体を噴出ノズル等の所定機器に供給する微細バブル含有液供給装置に関する。

従来、液中に微細バブルを発生させて得られる微細バブル含有液を他の機器に供給する装置が提案されている（特許文献１参照）。この装置では、空気溶解装置によって液中に空気を加圧溶解させて生成される気体溶存液がベンチュリ管（バブル発生器）に供給され、該気体溶存液がベンチュリ管を通過するときに圧力開放がなされて微細バブルが発生し、その微細バブルを含有する液体が浴槽内に設けられた吐出口（ノズル）に供給される。そして、その微細バブル含有液が吐出口から浴槽内に吐出する。

特開２００８−３０７５１4号公報

上記のような微細バブル含有液をノズル等に供給する装置では、ノズルのつまり等によってベンチュリ管（バブル発生器）の下流側の圧力（背圧）が変動する（例えば、上昇する）と、ベンチュリ管の上流側の圧力と下流側の圧力との差が変動し（例えば、減少し）、その結果、安定した微細バブルの発生に基づいた微細バブル含有液の供給ができなくなる。

また、例えば、微細バブル含有液を二流体ノズルに供給する場合には、コンプレッサ等の設備の能力変動によって二流体ノズルに供給されて微細バブル含有液に混ぜられる高圧気体（エア）の流量が変動すると、気体溶存液の圧力開放によってバブルを発生させるバブル発生器の下流側の圧力（背圧）が変動し、その結果、前述したものと同様に安定した微細バブルの発生に基づいた微細バブル含有液の供給ができなくなる。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、微細バブル含有液が供給される機器側の要因で、気体溶存液の圧力開放によってその微細バブル含有液を生成して供給するバブル発生器からの当該微細バブル含有液の出力圧が変動しても、安定した微細バブルの発生に基づいた微細バブル含有液の供給が可能となる微細バブル含有液供給装置を提供するものである。

本発明に係るバブル含有液体生成装置は、加圧状態の気体溶存液の供給を受けて該気体溶存液を圧力開放させて微細バブルを発生させるバブル発生器を有し、該バブル発生器から排出される微細バブル含有液を所定機器に供給する微細バブル含有液供給装置であって、前記バブル発生器の下流側で該バブル発生器からの微細バブル含有液の排出圧を下流側圧力として検出する下流側圧力検出手段と、該下流側圧力検出手段にて得られる下流側圧力に基づいて、前記バブル発生器に供給される前記気体溶存液の供給圧が前記下流側圧力に追従して変化するように、前記バブル発生器に対する前記加圧状態の気体溶存液の供給流量を制御する制御手段を有する構成となる。

このような構成により、所定機器に供給される微細バブル含有液のバブル発生器からの排出圧（下流側圧力）が当該所定機器側の要因によって変動しても、下流側圧力検出手段にて得られる前記バブル発生器からの微細バブル含有液の排出圧（下流側圧力）に追従してそのバブル発生器に供給される気体溶存液の供給圧が変動するように前記バブル発生器に対する加圧状態の気体溶存液の供給流量が制御されるので、バブル発生器に供給される気体溶存液の供給圧とバブル発生器から排出される微細バブル含有液の排出圧との差分の変動をより小さくすることができる。

本発明に係る微細バブル含有液供給装置において、前記所定機器は二流体ノズルであり、前記バブル発生器から排出される微細バブル含有液を前記二流体ノズルに供給する構成とすることができる。

このような構成により、二流体ノズルに供給される微細バブル含有液のバブル発生器からの排出圧（下流側圧力）が当該二流体ノズルに供給される高圧気体の流量の変動によって変動しても、下流側圧力検出手段にて得られる前記バブル発生器からの微細バブル含有液の排出圧（下流側圧力）に追従してそのバブル発生器に供給される気体溶存液の供給圧が変動するように前記バブル発生器に対する加圧状態の気体溶存液の供給流量が制御されるので、バブル発生器に供給される気体溶存液の供給圧とバブル発生器から排出される微細バブル含有液の排出圧との差分の変動をより小さくすることができる。

また、本発明に係る微細バブル含有液供給装置において、前記バブル発生器の上流側で当該バブル発生器に供給される気体溶存液の供給圧を上流側圧力として検出する上流側圧力検出手段を有し、前記制御手段は、前記下流側圧力検出手段にて得られる下流側圧力と前記上流側圧力検出手段にて得られる上流側圧力とに基づいて前記バブル発生器に対する前記加圧状態の気体溶存液の供給流量を制御する構成とすることができる。

このような構成により、下流側圧力検出手段にて得られるバブル発生器からの微細バブル含有液の排出圧（下流側圧力）と上流側圧力検出手段にて得られる当該バブル発生器に供給される気体溶存液の供給圧（上流側圧力）とに基づいて、前記バブル発生器からの微細バブル含有液の排出圧（下流側圧力）に追従してそのバブル発生器に供給される気体溶存液の供給圧（上流側圧力）が変動するように前記バブル発生器に対する加圧状態の気体溶存液の供給流量が制御される。

また、本発明に係る微細バブル含有液供給装置において、前記制御手段は、前記上流側圧力と前記下流側圧力との差分を演算する差分演算手段を有し、該差分演算手段にて得られる前記差分に基づいて前記バブル発生器に対する前記加圧状態の気体溶存液の供給流量を制御する構成とすることができる。

このような構成により、下流側圧力検出手段にて得られるバブル発生器からの微細バブル含有液の排出圧（下流側圧力）と上流側圧力検出手段にて得られる当該バブル発生器に供給される気体溶存液の供給圧（上流側圧力）との差分に基づいて、前記バブル発生器からの微細バブル含有液の排出圧（下流側圧力）に追従してそのバブル発生器に供給される気体溶存液の供給圧（上流側圧力）が変動するように前記バブル発生器に対する加圧状態の気体溶存液の供給流量が制御される。

更に、本発明に係る微細バブル含有液供給装置において、前記制御手段は、前記差分が所定範囲内に維持されるように前記バブル発生器に対する前記加圧状態の気体溶存液の供給流量を制御するように構成することができる。

このような構成により、所定機器に供給される微細バブル含有液のバブル発生器からの排出圧（下流側圧力）が当該所定機器側の要因によって変動しても、下流側圧力検出手段にて得られるバブル発生器からの微細バブル含有液の排出圧（下流側圧力）と上流側圧力検出手段にて得られる当該バブル発生器に供給される気体溶存液の供給圧（上流側圧力）との差分が所定範囲に維持されるようになるので、バブル発生器に供給される気体溶存液の供給圧とバブル発生器から排出される微細バブル含有液の排出圧との差分の変動をより小さくすることができる。

また、本発明に係る微細バブル含有液供給装置において、前記制御手段は、前記下流側圧力に基づいて、更に、前記バブル発生器に供給される前記加圧状態の気体溶存液の加圧の程度を制御する構成とすることができる。

このような構成により、下流側圧力検出手段にて得られる前記バブル発生器からの微細バブル含有液の排出圧（下流側圧力）に追従してそのバブル発生器に供給される気体溶存液の供給圧が変動するように前記バブル発生器に対する加圧状態の気体溶存液の供給流量が制御されるとともに、前記下流側圧力検出手段にて得られる前記バブル発生器からの微細バブル含有液の排出圧（下流側圧力）に基づいて前記バブル発生器に供給される前記加圧状態の気体溶存液の加圧の程度が制御されるので、前記バブル発生器での微細バブルの発生をより安定化させることができるようになる。

本発明に係る微細バブル含有液供給装置は、加圧状態の気体溶存液の供給を受けて該気体溶存液を圧力開放させて微細バブルを発生させるバブル発生器を有し、該バブル発生器から排出される微細バブル含有液を所定機器に供給する微細バブル含有液供給装置であって、前記バブル発生器の下流側で該バブル発生器からの微細バブル含有液の排出圧を下流側圧力として検出する下流側圧力検出手段と、該下流側圧力検出手段にて得られる下流側圧力に基づいて前記バブル発生器に供給される前記加圧状態の気体溶存液の加圧の程度を制御する制御手段を有する構成とすることができる。

このような構成により、下流側圧力検出手段にて得られるバブル発生器からの微細バブル含有液の排出圧（下流側圧力）に基づいて前記バブル発生器に供給される前記加圧状態の気体溶存液の加圧の程度が制御されるので、所定機器に供給される微細バブル含有液のバブル発生器からの排出圧（下流側圧力）が当該所定機器側の要因によって変動しても、その加圧の程度が制御される気体溶存液から当該バブル発生器での圧力開放によって微細バブルをより安定化させて発生させることができるようになる。

本発明に係る微細バブル含有液供給装置によれば、所定機器に供給される微細バブル含有液のバブル発生器からの排出圧（下流側圧力）が当該所定機器側の要因によって変動しても、バブル発生器に供給される気体溶存液の供給圧とバブル発生器から排出される微細バブル含有液の排出圧との差分の変動をより小さくすることができるので、微細バブル含有液が供給される機器側の要因で前記バブル発生器からの当該微細バブル含有液の排出圧が変動しても、安定した微細バブルの発生に基づいた微細バブル含有液の供給が可能となる。

本発明の実施の形態に係る微細バブル含有液供給装置を示す図である。 図１に示す微細バブル含有液体生成装置の制御系の基本構成を示すブロック図である。 二流体ノズルに微細バブル含有液を供給するバブル発生器の上流側圧力と下流側圧力の差分及び微細バブルの発生効率を表すボイド率と、二流体ノズルに供給されるエアの流量との関係の一例を示す図である。

以下、本発明の実施の形態について図面を用いて説明する。

本発明の実施の形態に係る微細バブル含有液供給装置１００は、図１に示すように構成される。

図１に示す微細バブル含有液供給装置１００は、貯液槽１１、ガス供給部１３、ポンプ１４、加圧槽１６及びバブル発生器２０を有している。液体、例えば、純水を貯留する貯液槽１１と加圧槽１６とが送通管１２にて連結され、この送通管１２にポンプ１４が設けられている。そして、貯液槽１１からの液体が通る送通管１２の貯液槽１１とポンプ１４との間に、ガス供給部１３からの気体（例えば、窒素ガス、酸素ガス等）が開閉弁１５を介して供給されるようになっている。

ガス供給部１３からの気体が混在した液体（以下、適宜、気体含有液体という）が、ポンプ１４により送通管１２を通って加圧槽１６に圧送され、その気体含有液体が加圧槽１６に一時的に溜められる。加圧槽１６では、貯留される気体含有液体が加圧され、気体含有液体内の気体が液中に溶解して、液中の気体濃度が上昇し、過飽和あるいはそれに近い状態となった気体溶存液が生成される。この加圧槽１６で気体含有液体に作用する圧力は圧力調整器１７によって調整することができる。

加圧槽１６とバブル発生器２０とが送通管１９ａによって連結されている。加圧槽１６内で生成される気体溶存液は、ポンプ１４による送圧作用によって送通管１９ａを通ってバブル発生器２０にその加圧状態を維持しつつ供給される。なお、送通管１９ａには流量計１８が設けられており、送通管１９ａを通る加圧状態の気体溶存液の流量をモニタすることができる。バブル発生器２０は、内部の流路中に複数のオリフィスが形成された構造となっており、加圧状態の気体溶存液がその流路を通って前記複数のオリフィスを通過する際に圧力開放がなされて液中に微細バブルが発生するようになっている。そして、バブル発生器２０からはその微細バブルを含む液体が排出される。

バブル発生器２０と二流体ノズル２２とが送通管１９ｂによって連結されている。バブル発生器２０から排出される微細バブル含有液は、送通管１９ｂを通って二流体ノズル２２に供給される。二流体ノズル２２には、前記微細バブル含有液の他、エア供給部２３から高圧エアが供給されており、微細バブル含有液が高圧エアと混合して霧状（微細粒子）となって二流体ノズル２２から噴出する。この二流体ノズル２２は、例えば、ガラス基板や半導体ウェーハ等の洗浄に利用され、二流体ノズル２２から霧状に噴出する微細バブル含有液がガラス基板等に吹き付けられて、そのガラス基板等の表面が微細バブル含有液によって洗浄される。

加圧槽１６とバブル発生器２０とを連結する送通管１９ａのバブル発生器２０に近い部位に加圧槽１６からバブル発生器２０に供給される気体溶存液の供給圧を検出する圧力検出器（上流側圧力検出器という）２１ａが設けられている。また、バブル発生器２０と二流体ノズル２２とを連結する送通管１９ｂのバブル発生器２０に近い部位にバブル発生器２０から排出される微細バブル含有液の排出圧を検出する圧力検出器（下流側圧力検出器という）２１ｂが設けられている。

前述したように二流体ノズル２２に微細バブル含有液を供給する微細バブル含有液供給装置１００の制御系は、例えば、図２に示すように構成されている。

図２において、上流側圧力検出器２１ａ及び下流側圧力検出器２１ｂが制御手段を構成する処理ユニット３１に接続されている。また、貯液槽１１と加圧槽１６とを連結する送通管１２に設けられたポンプ１４を駆動するポンプ駆動回路３２及び加圧槽１６の圧力調整を行う圧力調整器１７を動作させる圧力調整器駆動回路３３が処理ユニット３１に接続されている。処理ユニット３１は、上流側圧力検出器２１ａにて検出される加圧槽１６から送通管１９ａを通ってバブル発生器２０に供給される気体溶存液の供給圧（上流側圧力）と、下流側圧力検出器２１ｂにて検出されるバブル発生器２０から送通管１９ｂに排出される微細バブル含有液の排出圧（下流側圧力）とに基づいて、ポンプ１４を駆動させるポンプ駆動回路３２及び圧力調整器１７を動作させる圧力調整器駆動回路３３を制御することができるようになっている。

ところで、バブル発生器２０から微細バブル含有液の供給を受けている二流体ノズル２２に対してエア供給部２３より供給される高圧エアの単位時間当たりの流量（投入エア流量）が増加すると、図３に示すように、バブル発生器２０におけるオリフィスの上流側及び下流側の圧力差（差圧）が減少する。これは、二流体ノズル２２における微細バブル含有液の流路に流入する高圧エアの流量が増加することで、微細バブル含有液の流路の圧力、即ち、オリフィスの下流側圧力（背圧）が上昇することに起因するものと考えられる。そして、当該圧力差の減少に伴って、バブル発生器２０（複数のオリフィス）で生成される微細バブルの生成効率を表すボイド率（ここでは単位液量に占める微細バブルの体積の割合をいう。）が、図３に示すように、低下する。一方、二流体ノズル２２に供給される高圧エアの流量が減少すると、上記とは逆に、バブル発生器２０におけるオリフィスの上流側及び下流側の圧力差が増加し、それに伴ってバブル発生器２０におけるボイド率が上昇する。

このように、二流体ノズル２２に供給される高圧エアの流量が、例えば、設備（エア供給部２３等）の能力変動によって変動すると、前述したようにバブル発生器２０におけるオリフィスの上流側及び下流側の圧力差が変動し、それに伴ってバブル発生器２０におけるボイド率が変動する。その結果、安定した微細バブルの発生に基づいた微細バブル含有液の二流体ノズル２２への供給が損なわれる。

そこで、前述した微細バブル含有液供給装置１００では、二流体ノズル２２に供給される高圧エアの流量の変動によって変動するバブル発生器２０からの微細バブル含有液の排出圧（バブル発生器２０のオリフィスの下流側の圧力）が下流側圧力検出器２１ｂにて検出され、その検出値にバブル発生器２０に供給される気体溶存液の供給圧が追従するように、バブル発生器２０に供給される気体溶存液の流量が制御される。即ち、バブル発生器２０からの微細バブル含有液の排出圧（検出値）が増えれば、バブル発生器２０に供給される気体溶存液の供給圧が増加され、バブル発生器２０からの微細バブル含有液の排出圧（検出値）が減れば、バブル発生器２０に供給される気体溶存液の供給圧が減るように、バブル発生器２０に供給される気体溶存液の流量が制御される。

具体的には、処理ユニット３１（図２参照）が、下流側圧力検出器２１ｂにて検出されるバブル発生器２０からの微細バブル含有液の排出圧と上流側圧力検出器２１ａにて検出されるバブル発生器２０に供給される気体溶存液の供給圧との差分を演算する差分演算手段を有し、この差分演算手段にて演算された差分が所定範囲内に維持されるように、ポンプ１４を駆動させるポンプ駆動回路３２を制御して、ポンプ１４の送圧作用により加圧槽１６から押し出されてバブル発生器２０に供給される気体溶存液単位時間当たりのの流量を制御する。例えば、バブル発生器２０からの微細バブル含有液の排出圧（下流側圧力検出器２１ｂでの検出値）が増えて、その排出圧と上流側圧力検出器２１ａにて検出されるバブル発生器２０に供給される気体溶存液の供給圧との差分が減って所定範囲内でなくなると、バブル発生器２０に供給される気体溶存液の供給圧を増やして前記差分が所定範囲内に維持されるように、バブル発生器２０に供給される気体溶存液の流量が増大される。一方、バブル発生器２０からの微細バブル含有液の排出圧（下流側圧力検出器２１ｂでの検出値）が減って、その排出圧と上流側圧力検出器２１ａにて検出されるバブル発生器２０に供給される気体溶存液の供給圧との差分が増えて所定範囲内でなくなると、バブル発生器２０に供給される気体溶存液の供給圧を減らして前記差分が所定範囲内に維持されるように、バブル発生器２０に供給される気体溶存液の流量が減らされる。

前述したような微細バブル含有液供給装置１００によれば、二流体ノズル２２に供給される微細バブル含有液のバブル発生器２０からの排出圧（下流側圧力）が二流体ノズル２２側の要因（例えば、供給エアの圧力や流量の変動）によって変動しても、下流側圧力検出器２１ｂにて検出されるバブル発生器２０からの微細バブル含有液の排出圧（下流側圧力）と上流側圧力検出器２１ａにて検出されるバブル発生器２０に供給される気体溶存液の供給圧（上流側圧力）との差分に基づいて、バブル発生器２０からの微細バブル含有液の排出圧（下流側圧力）に追従してそのバブル発生器２０に供給される気体溶存液の供給圧（上流側圧力）が変動するようにバブル発生器２０に供給される気体溶存液の流量が制御されて、前記圧力の差分が所定範囲内に維持されるようになるので、バブル発生器２０における気体溶存液の開放される圧力が安定するようになる。その結果、二流体ノズル２２に対して安定した微細バブルの発生に基づいた微細バブル含有液の供給が可能となる。

前述した微細バブル含有液供給装置１００において、バブル発生器２０に供給される気体溶存液の流量の制御とともに、加圧槽１６にて加圧状態となる気体溶存液の加圧の程度を制御することも可能である。具体的には、処理ユニット３１は、下流側圧力検出器２１ｂにて検出されるバブル発生器２０からの微細バブル含有液の排出圧と上流側圧力検出器２１ａにて検出されるバブル発生器２０に供給される気体溶存液の供給圧との差分が所定範囲内に維持されるように、ポンプ１４を駆動させるポンプ駆動回路３２及び加圧槽１６の圧力を調整する圧力調整器１７を制御して、ポンプ１４の送圧作用により加圧槽１６から押し出されてバブル発生器２０に供給される気体溶存液の流量を制御するとともに、加圧槽１６にて加圧状態となる気体溶存液の加圧の程度を制御する。例えば、バブル発生器２０からの微細バブル含有液の排出圧（下流側圧力検出器２１ｂでの検出値）が増えて、その排出圧と上流側圧力検出器２１ａにて検出されるバブル発生器２０に供給される気体溶存液の供給圧との差分が減って所定範囲内でなくなると、バブル発生器２０に供給される気体溶存液の供給圧を増やして前記差分が所定範囲内に維持されるように、バブル発生器２０に供給される気体溶存液の流量が増大されるとともに加圧槽１６にて加圧状態となる気体溶存液の加圧の程度が大きくさせられる。一方、バブル発生器２０からの微細バブル含有液の排出圧（下流側圧力検出器２１ｂでの検出値）が減って、その排出圧と上流側圧力検出器２１ａにて検出されるバブル発生器２０に供給される気体溶存液の供給圧との差分が増えて所定範囲内でなくなると、バブル発生器２０に供給される気体溶存液の供給圧を減らして前記差分が所定範囲内に維持されるように、バブル発生器２０に供給される気体溶存液の流量が減らされるとともに加圧槽１６にて加圧状態となる気体溶存液の加圧の程度が小さくさせられる。

また、バブル発生器２０からの微細バブル含有液の排出圧とバブル発生器２０に供給される気体溶存液の供給圧との差分が減って、バブル発生器２０が微細バブルの発生し難い環境となったときに、バブル発生器２０に供給される気体溶存液の圧力が大きくなるように制御されるので、その気体溶存液中に比較的多くの気体が溶存するようになり、より微細バブルが発生し易い状態になる。一方、バブル発生器２０からの微細バブル含有液の排出圧とバブル発生器２０に供給される気体溶存液の供給圧との差分が増えて、バブル発生器２０が微細バブルの発生し易い環境となったときに、バブル発生器２０に供給される気体溶存液の圧力が小さくなるように制御されるので、その気体溶存液中に溶存する気体が減って、比較的微細バブルが発生し難い状態になる。この点からも、二流体ノズル２２に供給される微細バブル含有液のバブル発生器２０からの排出圧（下流側圧力）が二流体ノズル２２側の要因（例えば、供給エアの圧力や流量の変動）によって変動しても、バブル発生器２０において微細バブルをより安定的に発生させることができるようになる。

なお、バブル発生器２０に供給される気体溶存液の流量の制御を行うことなく、加圧槽１６にて加圧状態となる気体溶存液の加圧の程度を制御することを単独で行うようにしてもよい。

前述した微細バブル含有液供給装置１００においては、処理ユニット３１は、下流側圧力検出器２１ｂにて検出されるバブル発生器２０からの微細バブル含有液の排出圧と、上流側圧力検出器２１ａにて検出されるバブル発生器２０に供給される気体溶存液の供給圧とに基づいてポンプ１４（ポンプ駆動回路２２）及び／又は圧力調整器１７（圧力調整器駆動回路３３）を制御しているが、バブル発生器２０に供給される気体溶存液の供給圧と、バブル発生器２０に供給される気体溶存液の流量あるいはその気体溶存液の加圧の程度との相関がある程度とれていれば、上流側圧力検出器２１ａを省くことができる。この場合、下流側検出器１２ｂにて検出されるバブル発生器２０からの微細バブル含有液の排出圧に基づいて、前記相関から想定される微細バブル発生器２０に対する気体溶存液の供給圧がその微細バブル含有液の排出圧に追従するように、バブル発生器２０に供給される気体溶存液の流量及び／又はその気体溶存液の加圧の程度が制御される。

なお上述した実施の形態では、微細バブル含有液が二流体ノズル２２に供給されるものとしたが、本発明の適用に際しては、所定機器としては二流体ノズルに限られるものではなく、単なるノズルにそのまま供給されるものであっても、またバブル発生器からの微細バブル含有液が配管を介して貯留槽に貯留されるものであってもよい。

１１ 貯留槽
１２、１９ 送通管
１３ ガス供給部
１４ ポンプ
１５ 開閉弁
１６ 加圧槽
１７ 圧力圧調整器
１８ 流量計
２０ バブル発生器（オリフィス）
２１ａ 上流側圧力検出器
２１ｂ 下流側圧力検出器
２２ 二流体ノズル
２３ エア供給部
３１ 処理ユニット
３２ ポンプ駆動回路
３３ 圧力調整器駆動回路
１００ 微細バブル含有液供給装置

Claims (7)

1. 加圧状態の気体溶存液の供給を受けて該気体溶存液を圧力開放させて微細バブルを発生させるバブル発生器を有し、該バブル発生器から排出される微細バブル含有液を所定機器に供給する微細バブル含有液供給装置であって、
   前記バブル発生器の下流側で該バブル発生器からの微細バブル含有液の排出圧を下流側圧力として検出する下流側圧力検出手段と、
   該下流側圧力検出手段にて得られる下流側圧力に基づいて、前記バブル発生器に供給される前記気体溶存液の供給圧が前記下流側圧力に追従して変化するように、前記バブル発生器に対する前記加圧状態の気体溶存液の供給流量を制御する制御手段を有する微細バブル含有液供給装置。
2. 前記所定機器は二流体ノズルであり、前記バブル発生器から排出される微細バブル含有液を前記二流体ノズルに供給する請求項１記載の微細バブル含有液供給装置。
3. 前記バブル発生器の上流側で当該バブル発生器に供給される気体溶存液の供給圧を上流側圧力として検出する上流側圧力検出手段を有し、
   前記制御手段は、前記下流側圧力検出手段にて得られる下流側圧力と前記上流側圧力検出手段にて得られる上流側圧力とに基づいて前記バブル発生器に対する前記加圧状態の気体溶存液の供給流量を制御する請求項１または２記載の微細バブル含有液供給装置。
4. 前記制御手段は、前記上流側圧力と前記下流側圧力との差分を演算する差分演算手段を有し、該差分演算手段にて得られる前記差分に基づいて前記バブル発生器に対する前記加圧状態の気体溶存液の供給流量を制御する請求項３記載の微細バブル含有液供給装置。
5. 前記制御手段は、前記差分が所定範囲内に維持されるように前記バブル発生器に対する前記加圧状態の気体溶存液の供給流量を制御する請求項４記載の微細バブル含有液供給装置。
6. 前記制御手段は、前記下流側圧力に基づいて、更に、前記バブル発生器に供給される前記加圧状態の気体溶存液の加圧の程度を制御する請求項１乃至５のいずれかに記載の微細バブル含有液居旧装置。
7. 加圧状態の気体溶存液の供給を受けて該気体溶存液を圧力開放させて微細バブルを発生させるバブル発生器を有し、該バブル発生器から排出される微細バブル含有液を所定機器に供給する微細バブル含有液供給装置であって、
   前記バブル発生器の下流側で該バブル発生器からの微細バブル含有液の排出圧を下流側圧力として検出する下流側圧力検出手段と、
   該下流側圧力検出手段にて得られる下流側圧力に基づいて前記バブル発生器に供給される前記加圧状態の気体溶存液の加圧の程度を制御する制御手段を有する微細バブル含有液供給装置。

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