JP5412135B2 - オゾン水供給装置 - Google Patents
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Description
しかし、この方法では、オゾン水タンク内が常圧であるため、長時間貯留するとオゾン水表面からオゾンガスが放出されてオゾン水中のオゾン濃度が低くなってしまうという問題があった。
また、さらに、オゾン水供給装置に使用される送水ポンプは、オゾン水と接する部分をフッ素系樹脂で形成又は被覆した高価なものとなるという問題もあった。
本発明のオゾン水供給装置には、計量槽のオゾン水の水位を検知するレベルセンサと、このレベルセンサの信号により前記オゾン水供給配管の自動弁を開閉して計量槽の水位を所定の範囲に維持する水位制御手段を設けることもできる。
なお、オゾンガス流入口とオゾン水流入口は、両者を兼ねた共通の流入口とすることもできる。
放圧手段の排気口は計量槽の上部に設けられた一定の内圧で作動する放圧弁と、活性炭などの処理剤を充填した処理装置と、放圧弁から放出されたオゾンガスを処理装置に導く配管から構成されている。放圧弁から放出されたオゾンガスは、処理装置により分解されて大気に放出される。
この放圧手段は、計量槽の内圧が所定の圧力を越えると作動して、計量槽内のガス圧が過大にならないように内圧を制御する。
計量槽中のオゾン水は、相当時間給水を停止すると上下でオゾン濃度が不均一になる可能性があるが、この循環管路で計量槽内のオゾン水の上下を循環させることにより、濃度の均一性を保つことができる。
したがって、オゾン水を供給して計量槽内のオゾン水の水位が下がり、許容下限に達すると、オゾン水供給配管の自動弁が開放してオゾン水が計量槽内に注入され、水位が上昇して許容上限に達するとオゾン水供給配管の自動弁が閉じてオゾン水の供給が停止する。
マイクロバブルは、超純水中に直径数μmのオゾンガスの超微粒バブルを形成させるもので、高濃度のオゾン水を形成することができる。
また、オゾナイザーで発生させたオゾンガスを、一旦オゾンガス貯留槽に溜め、ベローズポンプ(接ガス部材質PTFE)で、例えば吐出圧0.4MPa、流量5L/minに加圧してオゾン水供給装置に供給することもできる。
オゾン水としては、オゾン濃度が20〜250ppm程度のオゾン水を使用することが好ましい。
本実施形態では、計量槽のオゾンガス流入口に、オゾナイザーで製造されたオゾンガスを供給するオゾンガス供給配管が直接接続されて、オゾナイザーのガス圧が計量槽内のオゾン水に直接加えられ、したがって、計量槽内に供給されたオゾン水は計量槽内でオゾン濃度がさらに上昇する。
オゾン水の製造に用いるオゾナイザーと計量槽に直接オゾンガスを供給するオゾナイザーは同一のものを使用すれば装置構成を簡略化できるが、容量を大きくしたい場合には、オゾン水の製造と計量槽の加圧は別のオゾナイザーを使用するようにしてもよい。
本発明に使用するオゾン水は、pHが7以下であることが好ましい。
オゾン水のpHを一定に保つため、計量槽の出口配管にpH計を設けるとともに、オゾン水流入管に、CO2注入装置やHCl注入装置のようなpH調整装置を設け、オゾン水のpHが所定の値よりも高くならないように制御することもできる。
また、本発明に使用するオゾン水または純水に、たとえば、薬液を添加し酸化還元電位を調整したオゾン水を製造することも可能である。
本実施形態によれば、計量槽内のオゾン水に、このガス圧が直接加えられるので、送水ポンプを使用せずに、20mの高さのユースポイントまで給水可能であり、ユースポイントがほぼ同レベルにあるときは、オゾン水を0.2MPaの圧力で吐出させることが可能である。
また、計量槽内に直接オゾンガス供給手段のガス圧が加えられて液面からオゾンガスが溶解するため、液面からの蒸散によるオゾン濃度の低下がなく、高いオゾン濃度を維持することができ、常に一定した濃度のオゾン水を供給することができる。
さらに、オゾン水の供給に給水ポンプを使用しないので設備費用を低減することも可能である。
図1は、本発明の一実施例を模式的に示す図である。
図1に示すように、この実施例のオゾン水供給装置1は、オゾナイザー2、超純水供給装置3、継手4、計量槽5、及びオゾン水供給管6から主として構成されている。
計量槽のレベルは、Hレベルが下部から200mm上、Lレベルが下部から250mmとされ(有効量10L)、この範囲でオゾン水のレベルが調節されている。
V−3は超純水配管3aの開閉弁である。このオゾン水はオゾン水配管4aを介して計量槽5のオゾン水流入口から計量槽5に注入される。V−4は、オゾン水配管に設けた自動弁である。
図2は、計量槽5の内圧を変えてオゾン水濃度の変化を見た結果を示すグラフである。
図2から明らかなように、計量槽5の内圧とオゾン水の濃度はよく対応がとれており、本発明によれば計量槽の内圧を管理することにより、一定濃度のオゾン水を安定して供給可能なことがわかる。
また、計量槽5内に直接オゾンガス供給手段のガス圧が加えられて液面からオゾンガスが溶解するため、内圧を管理することにより、一定濃度のオゾン水を供給することができる。
さらに、計量槽5の下部と上部間にはポンプ7でオゾン水を下部から上部に循環させる循環配管8を設け、さらに熱交換器9を付設することにより、オゾン水の濃度は一層均一になり、必要に応じてオゾン水の温度を所望の温度に調節することができる。
またさらに、計量槽5が所定の内圧に到達すると作動する放圧弁V−5を備えているので、安全上の課題も解消される。
なお、以上の実施形態では、オゾン水を断続的に供給する例について説明したが、本発明はかかる実施例に限定されるものではなく、オゾン水を連続的に供給することも可能である。
2……オゾナイザー
2a…オゾンガス供給配管
3……超純水供給装置
4……継手
5……計量槽
6……オゾン水供給管
8……循環配管
9……熱交換器
10……放圧配管
Claims (6)
- オゾン水流入口、オゾンガス流入口、オゾンガス排出口及びオゾン水排出口を備えた計量槽と;
前記計量槽のオゾン水流入口へ、オゾン水供給配管を介してオゾン水を供給するオゾン水供給手段と;
前記計量槽のオゾンガス流入口へ、オゾンガス供給配管を介して少なくとも大気圧以上の一定圧でオゾンガスを供給するオゾンガス供給手段と;
前記計量槽のオゾンガス排出口からオゾンガスを放出して、前記計量槽の内圧を前記オゾンガス供給圧より低い所定の圧力に保つオゾンガス放出手段と;
前記計量槽からオゾン水を排出するオゾン水排出手段とを有することを特徴とするオゾン水供給装置。 - 前記オゾンガス流入口と前記オゾン水流入口は、前記オゾンガス流入口と前記オゾン水流入口を兼ねた共通の流入口であることを特徴とする請求項1記載のオゾン水供給装置。
- 前記計量槽は、収容するオゾン水の上層部と下層部を管路を介して循環させるオゾン水循環手段を有することを特徴とする請求項1乃至2のいずれか1項記載のオゾン水供給装置。
- 前記計量槽は、オゾン水を温度調節する温度調節装置を有することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項記載のオゾン水供給装置。
- pH調整手段を有することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項記載のオゾン水供給装置。
- 酸化還元電位調整する手段を有することを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項記載のオゾン水供給装置。
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