JP5020784B2 - オゾン水の製造装置及び製造方法 - Google Patents
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Description
また、それ以前に用いられていた溶解膜を用いる方法では、オゾンガスの流量は大きくでき高濃度のオゾン水を製造することができるが、溶解膜が非常に高価であるため製造装置が高価なものになってしまい、結局オゾン水の製造コストが増大してしまうという問題があった。
以下、本発明の第1の実施形態について説明する。
図1は、本発明の一実施形態であるオゾン水の製造装置を示すものであり、このオゾン水の製造装置1は、純水配管2に純水を供給する純水供給手段3と、オゾンガス配管4にオゾンガスを供給するオゾンガス供給手段5と、純水とオゾンガスとを吸引して混合しオゾン混合水とする混合ポンプ6と、オゾン混合水を収容するオゾン水貯留槽7と、オゾン水貯留槽7の内圧を制御する圧力制御手段8と、オゾン水貯留槽7のオゾン水を一旦外部に排出し、これをオゾン水貯留槽7に循環させる循環配管9と、循環配管9において、オゾン水とオゾン混合水とを吸引して混合する循環ポンプ10と、から構成されているものである。
まず、純水配管2に純水供給手段3から純水を供給し、一方では、オゾンガス配管4にオゾンガス供給手段5からオゾンガスを供給する。
図1で説明した構成を有するオゾン水の製造装置を用い、供給するオゾンガス流量を変動させたときの実施例を以下に示す。
純水供給手段3である超純水製造装置から水温24.5℃、抵抗率18MΩ・cm以上の水質の超純水を5L/分供給した。供給圧は、0.2MPaであった。この超純水には炭酸ガスを300mL/分で供給してpH4.5程度となるようにした。
また、オゾンガス供給手段5であるオゾナイザよりオゾンガスをオゾンガス配管4を通じて供給した。オゾナイザは、住友精密工業株式会社製(型式:GR−RG)のものを用いて、酸素ガスを供給してオゾンガスを製造するものである。オゾンガスは、供給する酸素ガスから製造するため、体積は若干減少するものの酸素ガス流量とオゾンガス流量はほぼ等しいものである。
このときの酸素ガスの供給流量は、1L/分、6L/分及び9L/分の3条件で行った。
図1で説明した構成を有するオゾン水の製造装置を用い、供給する酸素ガス濃度を変動させた実施例を以下に示す。
実施例1と同様に、超純水製造装置から水温24.5℃、抵抗率18MΩ・cm以上の水質の超純水を5L/分供給した。超純水の供給圧は、0.2MPaとした。炭酸ガスは、超純水に300mL/分で供給した。
図1で説明した構成を有するオゾン水の製造装置を用い、循環流量を変動させた実施例を以下に示す。
実施例1と同様に、超純水製造装置から水温24.5℃、抵抗率18MΩ・cm以上の水質の超純水を5L/分供給した。超純水の供給圧は、0.2MPaとした。炭酸ガスは、超純水に300mL/分で供給した。
Claims (8)
- 純水を純水配管に流通させる純水供給手段と、
オゾンガスをオゾンガス配管に流通させるオゾンガス供給手段と、
前記純水配管及び前記オゾンガス配管が吸引側に配設され、純水とオゾンガスとを吸引、混合してオゾン混合水として吐出する、ダイヤフラムポンプ又はベローズポンプからなる混合ポンプと、
前記混合ポンプから吐出された前記オゾン混合水を収容するオゾン水貯留槽と、
前記オゾン水貯留槽の内圧を一定にする圧力制御手段と、
前記オゾン水貯留槽内のオゾン水を、一旦排出して、前記混合ポンプにより吐出されたオゾン混合水と混合して前記オゾン水貯留槽へ循環させる循環配管と、
前記循環配管において、前記循環するオゾン水と前記混合ポンプより吐出されたオゾン混合水とを吸引、混合する、ダイヤフラムポンプ又はベローズポンプからなる循環ポンプと、
を有することを特徴とするオゾン水の製造装置。 - 前記純水配管内又は前記オゾン水貯留槽内に、炭酸ガスを添加することができる炭酸ガス添加手段を設けたことを特徴とする請求項1記載のオゾン水の製造装置。
- 純水配管に純水を流通させる純水供給工程と、
オゾンガス配管にオゾンガスを流通させるオゾンガス供給工程と、
前記純水及び前記オゾンガスを、ダイヤフラムポンプ又はベローズポンプからなる混合ポンプにより吸引し、純水とオゾンガスとを混合してオゾン混合水として吐出するオゾン混合工程と、
前記オゾン混合水をオゾン水貯留槽に収容するオゾン水貯留工程と、
前記オゾン水貯留槽の内圧を一定にする圧力制御工程と、
前記オゾン水貯留槽内のオゾン水を、一旦排出させ、前記オゾン混合工程で吐出されたオゾン混合水と、ダイヤフラムポンプ又はベローズポンプからなる循環ポンプにより吸引して混合し、前記オゾン水貯留槽へ循環させる循環工程と、
を有することを特徴とするオゾン水の製造方法。 - 前記純水配管内又は前記オゾン水貯留槽内に炭酸ガスを添加する炭酸ガス添加工程を有することを特徴とする請求項3記載のオゾン水の製造方法。
- 前記オゾンガス濃度が、150〜300g/m3であり、前記純水と前記オゾンガスとの供給流量が、1:0.5〜1:2の割合であることを特徴とする請求項3又は4記載のオゾン水の製造方法。
- 前記循環工程におけるオゾン水の循環流量が、前記純水供給工程において供給される純水の流量に対して1.5〜6倍であることを特徴とする請求項3乃至5のいずれか1項記載のオゾン水の製造方法。
- 前記オゾン水貯留槽の内圧を0.15〜0.5MPaとすることを特徴とする請求項3乃至6のいずれか1項記載のオゾン水の製造方法。
- 製造されるオゾン水濃度が、120〜200mg/Lであることを特徴とする請求項3乃至7のいずれか1項記載のオゾン水の製造方法。
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