KR102571000B1 - 공급 액체 제조 방법 - Google Patents

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가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼
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Abstract

유스 포인트에서 필요로 되는 분만큼 공급 액체를 제조할 수 있는 공급 액체 제조 장치를 제공한다. 공급 액체 제조 장치는, 물과 오존 가스를 혼합하여 오존수를 생성하는 혼합기(113)와, 혼합기(113)에 공급되는 물을 승압하는 승압 펌프(112)와, 혼합기(113)에 의하여 생성된 오존수를, 유스 포인트(119)에 공급되는 오존수와 배기구(125)로부터 배출되는 배출 가스로 기액 분리하는 기액 분리 탱크(114)와, 기액 분리 탱크(114)로부터 유스 포인트(119)에 공급되는 오존수의 유량을 측정하는 유량계(117)와, 유량계(117)로 측정한 오존수의 유량에 따라 승압 펌프(112)를 제어하여, 혼합기(113)에 승압하여 공급하는 물의 압력(유량)을 조정하는 유량 제어부(126)와, 기액 분리 탱크(114) 내의 수위를 일정하게 유지하도록 배출 가스의 배기 압력을 제어하는 배기 압력 제어부(123)를 구비한다.

Description

공급 액체 제조 방법
본 발명은, 제1 원료와 제2 원료를 혼합하여 공급 액체를 제조하는 공급 액체 제조 장치에 관한 것이다.
근년, 반도체 디바이스 공장이나 액정 등의 전자 부품 제조 공장에 있어서의 제품의 세정은, 제조 프로세스의 복잡화, 회로 패턴의 미세화에 수반하여 점점 고도화되고 있다. 예를 들어 기능수(초순수 등)에 고순도 가스, 또는 고순도 가스와 약품을 용해시킨 특수한 액체(세정액이라 칭해짐)를 사용하여, 실리콘 웨이퍼에 부착된 미립자, 금속, 유기물 등을 제거하고 있다.
세정 처리 방식으로서는, 복수의 실리콘 웨이퍼를 동시에 침지 및 세정하는 조작을 반복하는 "뱃치 처리 방식" 외에, 다품종 소량 생산의 제품에 대응하여 1매의 웨이퍼마다 약품 세정 및 초순수 세정을 행하는 "매엽 처리 방식"이 채용된다. 매엽 처리 방식은, 뱃치 처리 방식에 비하여 웨이퍼 1매당 세정 공정 시간(택트 타임)이 길어 세정액의 사용량이 많아지기 때문에 택트 타임의 단축 및 세정액 사용량의 저감이 요구되고 있다. 현재 상황에, 단시간에서의 효과적인 세정 및 세정액 사용량을 저감하기 위하여, 복수의 기능수 및 약품을 단독으로 또는 동시에 사용하여 단시간에 세정 공정을 전환하는 고도의 세정 프로세스가 행해지고 있다.
기능수로서는, 예를 들어 초순수에 오존 가스를 용해시킨 오존수가 사용된다. 초순수에 용해시킨 오존은, 낮은 농도(수 ppm)에서도 산화력이 매우 강하기 때문에 유기물이나 금속의 제거를 행하는 것이 가능하다. 이 오존수는 일반적으로 오존수 제조 장치에서 제조된다. 세정 프로세스의 고도화 및 복잡화에 수반하여 단시간에서의 세정 장치에의 오존수의 공급 및 정지가 요구되지만, 종래의 장치는 일단 오존수의 제조를 정지하면, 다시 요구 오존 농도 및 요구 유량의 오존수 공급이 가능해질 때까지 일정한 시간(기동 시간)을 요한다. 그래서, 세정 장치에의 오존수의 공급 요구에 응하기 위하여, 오존수 제조 장치에서 오존수를 상시 제조하여 세정 장치에 연속적으로 공급하고 있었다. 그 결과, 세정 장치에 과잉량의 오존수가 공급되게 되어, 실리콘 웨이퍼의 세정에 사용되지 않는 미사용 오존수는 배수로서 세정 장치로부터 배출되고 있었다.
그래서 종래, 유스 포인트에 있어서의 오존수의 사용량과 무관하게 일정 농도 및 일정 압력의 오존수를 공급할 수 있고, 또한 미사용 오존수를 재이용할 수 있는 순환식의 오존수 공급 장치가 제안되어 있다(특허문헌 1 참조).
종래의 순환식의 오존수 공급 장치에서는 도 6에 도시한 바와 같이, 물과 오존 가스를 오존 용해조(12)에 공급하여 오존수를 생성하고, 오존수를 오존 용해조(12)로부터 순환조(21)에 공급하고, 순환조(21)로부터 오존수 송수 배관(22)을 통해 유스 포인트에 공급하고, 유스 포인트에서 소비되지 않은 오존수를 오존수 복귀 배관(23)을 통해 순환조(21)로 복귀시켜, 다시 순환조(21)로부터 유스 포인트에 오존수를 공급한다. 그리고 오존 용해조(12)의 조 내 압력, 순환조(21)의 조 내 압력, 오존수 복귀 배관(23)의 관 내 압력이 각각 일정하게 유지되고, 순환조(21)의 조 내 압력이 오존 용해조(12)의 조 내 압력 및 오존수 복귀 배관(23)의 관 내 압력의 각 압력보다도 낮은 압력으로 제어된다.
일본 특허 공개 제2014-117628호 공보
그러나 종래의 오존수 공급 장치에서는, 재이용하는 오존수(미사용 오존수)을 순환시키는 순환식이기 때문에, 오존수(미사용 오존수)의 순환에 의한 오존수의 온도 상승이나 오염 발생에 대책을 강구할 필요가 있었다. 그래서, 유스 포인트에서 필요로 되는 분량만큼 오존수를 제조하는 기술의 개발이 요망되고 있었다.
본 발명은 상기 과제를 감안하여 이루어진 것이며, 순환에 의한 공급 액체(예를 들어 오존수 등)의 온도 상승이나 오염 발생에 대책을 강구할 필요가 없거나 또는 그 필요성을 적어도 저감시키고, 유스 포인트에서 필요로 되는 분만큼 공급 액체를 제조할 수 있는 공급 액체 제조 장치를 제공하는 것을 하나의 목적으로 한다. 더 구체적으로는, 유스 포인트에 일정한 유량 또는 일정한 압력으로, 또한 일정 농도의 공급 액체를 공급할 수 있는 공급 액체 제조 장치를 제공하는 것을 하나의 목적으로 한다.
본 발명의 공급 액체 제조 장치는, 제1 원료와 제2 원료를 혼합하여 혼합 액체를 생성하는 혼합부와, 상기 혼합부에 공급되는 상기 제1 원료의 유량을 변경하는 펌프부와, 상기 혼합부에 의하여 생성된 상기 혼합 액체를, 유스 포인트에 공급되는 공급 액체와 배기구로부터 배출되는 배출 기체로 기액 분리하는 기액 분리 탱크부와, 상기 배출 기체의 배출량을 정하도록 개방도를 조정하는 밸브와, 상기 기액 분리 탱크부로부터 상기 유스 포인트에 공급되는 상기 공급 액체의 유량을 측정하는 유량 측정부와, 상기 유량 측정부에서 측정한 상기 공급 액체의 유량값을 수신하고, 수신한 유량값에 따라 상기 펌프부를 제어하는 제어 신호를 생성하고, 당해 제어 신호를 펌프부에 송신하여 펌프를 제어함으로써, 상기 혼합부에 공급하는 상기 제1 원료의 유량을 조정하는 유량 제어부를 구비한다.
이 구성에 의하면, 유스 포인트에 공급되는 액체(공급 액체)의 유량을 기액 분리를 한 후에 측정하므로, 제1 원료와 제2 원료를 혼합함으로써 발생하는 기체(배출 기체)의 기포의 영향을 실질적으로 받지 않고 공급 액체의 유량을 정확히 측정할 수 있다. 그리고 유량 측정부에서 측정한 상기 공급 액체의 유량값을 수신하고, 수신한 유량값에 따라 상기 펌프부를 제어하는 제어 신호를 생성하고, 당해 제어 신호를 펌프부에 송신하여 펌프를 제어함으로써, 이와 같이 측정한 공급 액체의 유량에 따라 제1 원료의 유량이 조정되므로, 유스 포인트에서 필요로 되는 분만큼 공급 액체(예를 들어 오존수 등)를 제조할 수 있다.
또한 본 발명의 공급 액체 제조 장치는, 상기 혼합부에 공급되는 상기 제1 원료의 유량을 측정하는 제2 유량 측정부를 구비하고, 상기 제2 유량 측정부에서 측정한 상기 제1 원료의 유량이 상기 유량 측정부에서 측정한 상기 공급 액체의 유량과 일치하게 하는 피드백 제어를 상기 유량 제어부에서 행해도 된다.
이 구성에 의하면, 제1 원료의 유량을 모니터링하고 있으며, 원하는 유량으로부터 어긋나게 된 때 유량을 보정시키기 위하여 펌프의 피드백 제어를 행할 수 있다.
또한 본 발명의 공급 액체 제조 장치는, 상기 제2 원료의 유량을 정하는 유량 컨트롤러를 구비하고, 상기 제2 유량 측정부에서 측정한 상기 제1 원료의 유량에 따라 상기 유량 컨트롤러로 제2 원료의 생성량을 조정해도 된다.
이 구성에 의하면, 목표한 농도 공급 액체가 얻어지도록, 제1 원료와 제2 원료의 유량의 관계를 미리 구해 두어 제1 원료의 유량에 따라 제2 원료를 흐르게 할 수 있다.
본 발명의 공급 액체 제조 장치는, 제1 원료와 제2 원료를 혼합하여 혼합 액체를 생성하는 혼합부와, 상기 혼합부에 공급되는 상기 제1 원료를 승압하는 승압 펌프부와, 상기 혼합부에 의하여 생성된 상기 혼합 액체를, 유스 포인트에 공급되는 공급 액체와 배기구로부터 배출되는 배출 기체로 기액 분리하는 기액 분리 탱크부와, 상기 기액 분리 탱크부로부터 상기 유스 포인트에 공급되는 상기 공급 액체의 유량을 측정하는 유량 측정부와, 상기 유량 측정부에서 측정한 상기 공급 액체의 유량에 따라 상기 승압 펌프부를 제어하여, 상기 혼합부에 승압하여 공급하는 상기 제1 원료의 압력을 조정하는 승압 제어부와, 상기 기액 분리 탱크부 내의 액체량을 일정하게 유지하도록 상기 배출 기체의 배기 압력을 제어하는 배기 압력 제어부를 구비하고 있다.
이 구성에 의하면, 유스 포인트에 공급되는 액체(공급 액체)의 유량을 기액 분리를 한 후에 측정하므로, 제1 원료와 제2 원료를 혼합함으로써 발생하는 기체(배출 기체)의 기포의 영향을 실질적으로 받지 않고 공급 액체의 유량을 정확히 측정할 수 있다. 그리고 이와 같이 측정한 공급 액체의 유량에 따라 제1 원료(혼합부에 승압하여 공급됨)의 압력이 조정됨과 함께, 배출 기체의 배기 압력이 제어되어 기액 분리 탱크부 내의 액체량이 일정하게 유지된다. 이것에 의하여, 유스 포인트에서 필요로 되는 분만큼 공급 액체(예를 들어 오존수 등)를 제조할 수 있다.
또한 본 발명의 공급 액체 제조 장치는, 상기 기액 분리 탱크부 내의 액체량을 일정하게 조정하기 위한 액체량 조정부를 구비해도 된다.
이 구성에 의하면, 기액 분리 탱크부 내의 액체량을 일정하게 유지하는 것이 가능해져, 유스 포인트에서 필요로 되는 분만큼 공급 액체(예를 들어 오존수 등)를 제조할 수 있다.
또한 본 발명의 공급 액체 제조 장치에서는, 상기 액체량 조정부는, 상기 기액 분리 탱크부 내의 액체량을 측정하는 액체량 측정부를 포함해도 된다.
이 구성에 의하면, 액체량 측정부에서 기액 분리 탱크부 내의 액체량을 측정하여 기액 분리 탱크부 내의 액체량을 일정하게 유지하는 것이 가능해져, 유스 포인트에서 필요로 되는 분만큼 공급 액체(예를 들어 오존수 등)를 제조할 수 있다.
또한 본 발명의 공급 액체 제조 장치에서는, 상기 액체량 조정부는, 상기 유량 측정부와, 상기 혼합부에 공급되는 액체의 유량을 측정하는 제2 유량 측정부를 포함해도 된다.
이 구성에 의하면, 혼합부에 공급되는 액체의 유량을 측정함과 함께, 기액 분리 탱크부로부터 배출되는(유스 포인트에 공급되는) 액체의 유량을 측정하여, 혼합부에 공급되는 액체의 유량과 기액 분리 탱크로부터 배출되는 액체의 유량을 동일하게 함으로써 기액 분리 탱크부 내의 액체량을 일정하게 유지하는 것이 가능해져, 유스 포인트에서 필요로 되는 분만큼 공급 액체(예를 들어 오존수 등)를 제조할 수 있다.
또한 본 발명의 공급 액체 제조 장치에서는, 상기 제1 원료는 물이고, 상기 제2 원료는 오존 가스 또는 케미컬 원료여도 된다.
이 구성에 의하면, 혼합부에서 물과 오존 가스를 혼합하여 오존수를 제조할 수 있다. 또는 혼합부에서 물과 케미컬 원료(예를 들어 암모니아 등)를 혼합하여 케미컬수(예를 들어 암모니아수 등)를 제조할 수 있다. 이 경우, 승압 펌프부가 혼합부의 전단(혼합부보다 상류측)에 배치되어 있으므로, 승압 펌프부에는 물밖에 통과되지 못한다. 따라서 승압 펌프부가 혼합부의 후단에 마련되는 경우에 비하여 승압 펌프부의 수명이 길어진다.
본 발명의 공급 액체 제조 방법은, 제1 원료를 승압 펌프부에서 승압하여 혼합부에 공급하는 스텝과, 상기 제1 원료와 제2 원료를 상기 혼합부에서 혼합하여 혼합 액체를 생성하는 스텝과, 상기 혼합부에 의하여 생성된 상기 혼합 액체를, 유스 포인트에 공급되는 공급 액체와 배기구로부터 배출되는 배출 기체로 기액 분리 탱크부에서 기액 분리하는 스텝과, 상기 기액 분리 탱크부로부터 상기 유스 포인트에 공급되는 상기 공급 액체의 유량을 측정하는 스텝과, 측정한 상기 공급 액체의 유량에 따라 상기 승압 펌프부를 제어하여, 상기 혼합부에 승압하여 공급하는 상기 제1 원료의 압력을 조정하는 스텝과, 상기 기액 분리 탱크부 내의 액체량을 일정하게 유지하도록 상기 배출 기체의 배기 압력을 제어하는 스텝을 포함하고 있다.
이 제조 방법에 의해서도, 유스 포인트에 공급되는 액체(공급 액체)의 유량을 기액 분리를 한 후에 측정하므로, 제1 원료와 제2 원료를 혼합함으로써 발생하는 기체(배출 기체)의 기포의 영향을 받지 않고 공급 액체의 유량을 정확히 측정할 수 있다. 그리고 이와 같이 측정한 공급 액체의 유량에 따라 제1 원료(혼합부에 승압하여 공급됨)의 압력(내지 유량)이 조정됨과 함께, 배출 기체의 배기 압력이 제어되어 기액 분리 탱크부 내의 액체량(내지 압력)이 일정하게 유지된다. 이것에 의하여, 유스 포인트에서 필요로 되는 분만큼 공급 액체(예를 들어 오존수 등)를 제조할 수 있다.
본 발명의 공급 액체 제조 장치는, 제1 원료와 제2 원료를 혼합하여 혼합 액체를 생성하는 혼합부와, 상기 혼합부에 공급되는 상기 제1 원료의 유량을 변경하는 펌프부와, 상기 혼합부에 의하여 생성된 상기 혼합 액체를, 유스 포인트에 공급되는 공급 액체와 배기구로부터 배출되는 배출 기체로 기액 분리하는 기액 분리 탱크부와, 상기 기액 분리 탱크부로부터 상기 유스 포인트에 공급되는 상기 공급 액체의 유량을 측정하는 제1 유량 측정부와, 상기 배기구로부터 배출되는 상기 배출 기체의 배출량을 조정하는 배기 밸브와, 상기 유스 포인트에 공급되는 상기 공급 액체의 유량을 일정 유량으로 유지하도록, 상기 유량 측정부에서 측정한 상기 공급 액체의 유량에 따라, 상기 배기 밸브를 제어하여 상기 배기구로부터 배출되는 상기 배출 기체의 배출량을 조정하는 배기 제어부를 구비하고, 상기 배기 제어부는, 상기 제1 유량 측정부에서 측정한 상기 공급 액체의 유량이 상기 일정 유량에 대하여 증가한 경우에는 상기 배기구로부터 배출되는 상기 배출 기체의 배출량을 증가시키고, 상기 제1 유량 측정부에서 측정한 상기 공급 액체의 유량이 상기 일정 유량에 대하여 감소한 경우에는 상기 배기구로부터 배출되는 상기 배출 기체의 배출량을 감소시킨다.
이 구성에 의하면, 유스 포인트에 공급되는 공급 액체의 유량이 목표로 되는 일정 유량에 대하여 증가한 경우, 즉, 제1 유량 측정부에서 측정되는 공급 액체의 유량이 목표로 되는 일정 유량에 대하여 증가한 경우에는, 배기구로부터 배출되는 배출 기체의 배출량을 증가시켜 기액 분리 탱크부 내의 압력을 낮춤으로써, 유스 포인트에 공급하는 공급 액체의 유량을 감소시킨다. 한편, 유스 포인트에 공급되는 공급 액체의 유량이 목표로 되는 일정 유량에 대하여 감소한 경우, 즉, 제1 유량 측정부에서 측정되는 공급 액체의 유량이 목표로 되는 일정 유량에 대하여 감소한 경우에는, 배기구로부터 배출되는 배출 기체의 배출량을 감소시켜 기액 분리 탱크부 내의 압력을 높임으로써, 유스 포인트에 공급하는 공급 액체의 유량을 증가시킨다. 이와 같이 하여, 유스 포인트에 공급되는 공급 액체의 유량을 일정하게 유지할 수 있다.
또한 본 발명의 공급 액체 제조 장치는, 상기 제1 유량 측정부에서 측정한 상기 공급 액체의 유량에 따라, 상기 펌프부를 제어하여 상기 혼합부에 공급하는 상기 제1 원료의 유량을 조정하는 유량 제어부를 구비하고, 상기 유량 제어부는, 상기 제1 유량 측정부에서 측정한 상기 공급 액체의 유량과 상기 혼합부에 공급하는 상기 제1 원료의 유량이 동일해지도록 제어해도 된다.
이 구성에 의하면, 제1 유량 측정부에서 측정한 공급 액체의 유량과 혼합부에 공급하는 제1 원료의 유량이 동일해지도록, 혼합부에 공급하는 제1 원료의 유량을 조정하므로, 기액 분리 탱크부 내의 액체량을 일정하게 유지할 수 있다.
또한 본 발명의 공급 액체 제조 장치는, 상기 혼합부에 공급하는 상기 제1 원료의 유량을 측정하는 제2 유량 측정부를 구비해도 된다.
이 구성에 의하면, 제2 유량 측정부에서 측정된 유량이 상기 제1 유량 측정부에서 측정된 유량과 동일해지도록, 상기 혼합부에 공급하는 상기 제1 원료의 유량을 조정할 수 있다.
또한 본 발명의 공급 액체 제조 장치는, 상기 기액 분리 탱크부 내의 액체량을 검지하는 액체량 측정부를 갖고, 상기 승압 제어부는, 상기 액체량 측정부에서 측정한 상기 기액 분리 탱크부 내의 액체량이 소정의 액체량에 대하여 증가한 경우에는 상기 혼합부에 공급하는 상기 제1 원료의 유량을 적게 하고, 상기 액체량 측정부에서 측정한 상기 기액 분리 탱크부 내의 액체량이 소정의 액체량에 대하여 감소한 경우에는 상기 혼합부에 공급하는 상기 제1 원료의 유량을 증가시켜도 된다.
이 구성에 의하면, 상기 혼합부에 공급하는 상기 제1 원료의 유량을 측정하지 않더라도 기액 분리 탱크부 내의 액체량을 검지함으로써, 기액 분리 탱크부 내의 액체량을 일정하게 유지하도록, 상기 혼합부에 공급하는 상기 제1 원료의 유량을 조정할 수 있다.
본 발명의 공급 액체 제조 방법은, 제1 원료와 제2 원료를 혼합부에서 혼합하여 혼합 액체를 생성하는 스텝과, 상기 혼합부에서 생성된 상기 혼합 액체를, 유스 포인트에 공급되는 공급 액체와 배기구로부터 배출되는 배출 기체로 기액 분리 탱크부에서 기액 분리하는 스텝과, 상기 기액 분리 탱크부로부터 상기 유스 포인트에 공급되는 상기 공급 액체의 유량을 제1 유량 측정부에서 측정하는 스텝과, 상기 유스 포인트에 공급되는 상기 공급 액체의 유량을 일정 유량으로 유지하도록, 상기 제1 유량 측정부에서 측정한 상기 공급 액체의 유량에 따라, 상기 배기구로부터 배출되는 상기 배출 기체의 배출량을 배기 밸브로 조정하는 스텝을 포함하고, 상기 배출 기체의 배출량을 조정하는 스텝에서는, 상기 제1 유량 측정부에서 측정한 상기 공급 액체의 유량이 상기 일정 유량에 대하여 증가한 경우에는 상기 배기구로부터 배출되는 상기 배출 기체의 배출량을 증가시키고, 상기 유량 측정부에서 측정한 상기 공급 액체의 유량이 상기 일정 유량에 대하여 감소한 경우에는 상기 배기구로부터 배출되는 상기 배출 기체의 배출량을 감소시킨다.
이 제조 방법에 의해서도, 유스 포인트에 공급되는 공급 액체의 유량이 목표로 되는 일정 유량에 대하여 증가한 경우, 즉, 유량 측정부에서 측정되는 공급 액체의 유량이 목표로 되는 일정 유량에 대하여 증가한 경우에는, 배기구로부터 배출되는 배출 기체의 배출량을 증가시켜 기액 분리 탱크부 내의 압력을 낮춤으로써, 유스 포인트에 공급하는 공급 액체의 유량을 감소시킨다. 한편, 유스 포인트에 공급되는 공급 액체의 유량이 목표로 되는 일정 유량에 대하여 감소한 경우, 즉, 유량 측정부에서 측정되는 공급 액체의 유량이 목표로 되는 일정 유량에 대하여 감소한 경우에는, 배기구로부터 배출되는 배출 기체의 배출량을 감소시켜 기액 분리 탱크부 내의 압력을 높임으로써, 유스 포인트에 공급하는 공급 액체의 유량을 증가시킨다. 이와 같이 하여, 유스 포인트에 공급되는 공급 액체의 유량을 일정하게 유지할 수 있다.
본 발명의 공급 액체 제조 장치는, 제1 원료와 제2 원료를 혼합하여 혼합 액체를 생성하는 혼합부와, 상기 혼합부에 공급되는 상기 제1 원료의 유량을 변경하는 펌프부와, 상기 혼합부에 의하여 생성된 상기 혼합 액체를, 유스 포인트에 공급되는 공급 액체와 배기구로부터 배출되는 배출 기체로 기액 분리하는 기액 분리 탱크부와, 상기 기액 분리 탱크부로부터 상기 유스 포인트에 공급되는 상기 공급 액체의 압력을 측정하는 압력 측정부와, 상기 배기구로부터 배출되는 상기 배출 기체의 배출량을 조정하는 배기 밸브와, 상기 유스 포인트에 공급되는 상기 공급 액체의 압력을 일정 압력으로 유지하도록, 상기 압력 측정부에서 측정한 상기 공급 액체의 압력에 따라, 상기 배기 밸브를 제어하여 상기 배기구로부터 배출되는 상기 배출 기체의 배출량을 조정하는 배기 제어부를 구비하고, 상기 배기 제어부는, 상기 압력 측정부에서 측정한 상기 공급 액체의 압력이 상기 일정 압력에 대하여 증가한 경우에는 상기 배기구로부터 배출되는 상기 배출 기체의 배출량을 증가시키고, 상기 압력 측정부에서 측정한 상기 공급 액체의 압력이 상기 일정 압력에 대하여 감소한 경우에는 상기 배기구로부터 배출되는 상기 배출 기체의 배출량을 감소시킨다.
이 구성에 의하면, 유스 포인트에 공급되는 공급 액체의 압력이 증가한 경우, 즉, 압력 측정부에서 측정되는 공급 액체의 압력이 증가한 경우에는, 배기구로부터 배출되는 배출 기체의 배출량을 증가시켜 기액 분리 탱크부 내의 압력을 낮춤으로써, 유스 포인트에 공급하는 공급 액체의 압력을 감소시킨다. 한편, 유스 포인트에 공급되는 공급 액체의 압력이 감소한 경우, 즉, 압력 측정부에서 측정되는 공급 액체의 압력이 감소한 경우에는, 배기구로부터 배출되는 배출 기체의 배출량을 감소시켜 기액 분리 탱크부 내의 압력을 높임으로써, 유스 포인트에 공급하는 공급 액체의 압력을 증가시킨다. 이와 같이 하여, 유스 포인트에 공급되는 공급 액체의 압력을 일정하게 유지할 수 있다.
또한 본 발명의 공급 액체 제조 장치는, 상기 기액 분리 탱크부로부터 상기 유스 포인트에 공급되는 상기 공급 액체의 유량을 측정하는 제1 유량 측정부와, 상기 제1 유량 측정부에서 측정한 상기 공급 액체의 유량에 따라, 상기 펌프부를 제어하여 상기 혼합부에 공급하는 상기 제1 원료의 유량을 조정하는 유량 제어부를 구비하고, 상기 유량 제어부는, 상기 제1 유량 측정부에서 측정한 상기 공급 액체의 유량과 상기 혼합부에 공급하는 상기 제1 원료의 유량이 동일해지도록 제어해도 된다.
이 구성에 의하면, 제1 유량 측정부에서 측정한 공급 액체의 유량과 혼합부에 공급하는 제1 원료의 유량이 동일해지도록, 혼합부에 공급하는 제1 원료의 유량을 조정하므로, 기액 분리 탱크부 내의 액체량을 일정하게 유지할 수 있다.
또한 본 발명의 공급 액체 제조 장치는, 상기 혼합부에 공급하는 상기 제1 원료의 유량을 측정하는 제2 유량 측정부를 구비해도 된다.
이 구성에 의하면, 제2 유량 측정부에서 측정된 유량이 상기 제1 유량 측정부에서 측정된 유량과 동일해지도록, 상기 혼합부에 공급하는 상기 제1 원료의 유량을 조정할 수 있다.
또한 본 발명의 공급 액체 제조 장치는, 상기 기액 분리 탱크부 내의 액체량을 검지하는 액체량 측정부를 갖고, 상기 유량 제어부는, 상기 액체량 측정부에서 측정한 상기 기액 분리 탱크부 내의 액체량이 소정의 액체량에 대하여 증가한 경우에는 상기 혼합부에 공급하는 상기 제1 원료의 유량을 적게 하고, 상기 액체량 측정부에서 측정한 상기 기액 분리 탱크부 내의 액체량이 소정의 액체량에 대하여 감소한 경우에는 상기 혼합부에 공급하는 상기 제1 원료의 유량을 증가시켜도 된다.
이 구성에 의하면, 상기 혼합부에 공급하는 상기 제1 원료의 유량을 측정하지 않더라도 기액 분리 탱크부 내의 액체량을 검지함으로써, 기액 분리 탱크부 내의 액체량을 일정하게 유지하도록, 상기 혼합부에 공급하는 상기 제1 원료의 유량을 조정할 수 있다.
본 발명의 공급 액체 제조 방법은, 제1 원료와 제2 원료를 혼합하여 혼합부에서 혼합 액체를 생성하는 스텝과, 상기 혼합부에서 생성된 상기 혼합 액체를, 유스 포인트에 공급되는 공급 액체와 배기구로부터 배출되는 배출 기체로 기액 분리 탱크부에서 기액 분리하는 스텝과, 상기 기액 분리 탱크부로부터 상기 유스 포인트에 공급되는 상기 공급 액체의 압력을 압력 측정부에서 측정하는 스텝과, 상기 유스 포인트에 공급되는 상기 공급 액체의 압력을 일정 압력으로 유지하도록, 상기 압력 측정부에서 측정한 상기 공급 액체의 압력에 따라, 상기 배기구로부터 배출되는 상기 배출 기체의 배출량을 배기 밸브로 조정하는 스텝을 포함하고, 상기 배출 기체의 배출량을 조정하는 스텝에서는, 상기 압력 측정부에서 측정한 상기 공급 액체의 압력이 일정 압력에 대하여 증가한 경우에는 상기 배기구로부터 배출되는 상기 배출 기체의 배출량을 증가시키고, 상기 압력 측정부에서 측정한 상기 공급 액체의 압력이 일정 압력에 대하여 감소한 경우에는 상기 배기구로부터 배출되는 상기 배출 기체의 배출량을 감소시킨다.
이 제조 방법에 의해서도, 유스 포인트에 공급되는 공급 액체의 압력이 목표로 되는 일정 압력에 대하여 증가한 경우, 즉, 압력 측정부에서 측정되는 공급 액체의 압력이 목표로 되는 일정 압력에 대하여 증가한 경우에는, 배기구로부터 배출되는 배출 기체의 배출량을 증가시켜 기액 분리 탱크부 내의 압력을 낮춤으로써, 유스 포인트에 공급하는 공급 액체의 압력을 감소시킨다. 한편, 유스 포인트에 공급되는 공급 액체의 압력이 목표로 되는 일정 압력에 대하여 감소한 경우, 즉, 압력 측정부에서 측정되는 공급 액체의 압력이 목표로 되는 일정 압력에 대하여 감소한 경우에는, 배기구로부터 배출되는 배출 기체의 배출량을 감소시켜 기액 분리 탱크부 내의 압력을 높임으로써, 유스 포인트에 공급하는 공급 액체의 압력을 증가시킨다. 이와 같이 하여, 유스 포인트에 공급되는 공급 액체의 압력을 일정하게 유지할 수 있다.
본 발명의 공급 액체 제조 장치는, 제1 원료와 제2 원료를 혼합하여 혼합 액체를 생성하는 혼합부와, 상기 혼합부에 공급되는 상기 제1 원료의 유량을 변경하는 펌프부와, 상기 혼합부에 의하여 생성된 상기 혼합 액체를, 유스 포인트에 공급되는 공급 액체와 배기구로부터 배출되는 배출 기체로 기액 분리하는 기액 분리 탱크부와, 상기 기액 분리 탱크부로부터 상기 유스 포인트에 공급되는 상기 공급 액체의 유량을 측정하는 제1 유량 측정부와, 상기 기액 분리 탱크부로부터 상기 유스 포인트에 공급되는 상기 공급 액체의 압력을 측정하는 압력 측정부와, 상기 배기구로부터 배출되는 상기 배출 기체의 배출량을 조정하는 배기 밸브와, 상기 유스 포인트에 공급되는 상기 공급 액체의 유량을 일정 유량으로 유지하도록, 상기 제1 유량 측정부에서 측정한 상기 공급 액체의 유량에 따라, 상기 배기 밸브를 제어하여 상기 배기구로부터 배출되는 상기 배출 기체의 배출량을 조정하는 유량 일정 제어부와, 상기 유스 포인트에 공급되는 상기 공급 액체의 압력을 일정 압력으로 유지하도록, 상기 압력 측정부에서 측정한 상기 공급 액체의 압력에 따라, 상기 배기 밸브를 제어하여 상기 배기구로부터 배출되는 상기 배출 기체의 배출량을 조정하는 압력 일정 제어부와, 상기 유량 일정 제어부에 의하여 상기 배출 기체의 배출량을 조정하는 유량 일정 제어와, 상기 압력 일정 제어부에 의하여 상기 배출 기체의 배출량을 조정하는 압력 일정 제어 중 어느 한쪽을 선택하는 제어 선택부를 구비하고, 상기 제어 선택부에 의하여 상기 유량 일정 제어가 선택된 경우에는 상기 유량 일정 제어부는, 상기 제1 유량 측정부에서 측정한 상기 공급 액체의 유량이 상기 일정 유량에 대하여 증가한 때 상기 배기구로부터 배출되는 상기 배출 기체의 배출량을 증가시키고, 상기 유량 측정부에서 측정한 상기 공급 액체의 유량이 상기 일정 유량에 대하여 감소한 때 상기 배기구로부터 배출되는 상기 배출 기체의 배출량을 감소시키고, 상기 제어 선택부에 의하여 상기 압력 일정 제어가 선택된 경우에는 상기 압력 일정 제어부는, 상기 압력 측정부에서 측정한 상기 공급 액체의 압력이 상기 일정 압력에 대하여 증가한 때 상기 배기구로부터 배출되는 상기 배출 기체의 배출량을 증가시키고, 상기 압력 측정부에서 측정한 상기 공급 액체의 압력이 상기 일정 압력에 대하여 감소한 때 상기 배기구로부터 배출되는 상기 배출 기체의 배출량을 감소시킨다.
이 구성에 의하면, 유스 포인트에 공급되는 공급 액체의 유량을 일정하게 유지하는 제어(유량 일정 제어)와, 유스 포인트에 공급되는 공급 액체의 압력을 일정하게 유지하는 제어(압력 일정 제어)를 선택할 수 있다.
유량 일정 제어에서는, 유스 포인트에 공급되는 공급 액체의 유량이 목표로 되는 일정 유량에 대하여 증가한 경우, 즉, 유량 측정부에서 측정되는 공급 액체의 유량이 목표로 되는 일정 유량에 대하여 증가한 경우에는, 배기구로부터 배출되는 배출 기체의 배출량을 증가시켜 기액 분리 탱크부 내의 압력을 낮춤으로써, 유스 포인트에 공급하는 공급 액체의 유량을 감소시킨다. 한편, 유스 포인트에 공급되는 공급 액체의 유량이 목표로 되는 일정 유량에 대하여 감소한 경우, 즉, 유량 측정부에서 측정되는 공급 액체의 유량이 목표로 되는 일정 유량에 대하여 감소한 경우에는, 배기구로부터 배출되는 배출 기체의 배출량을 감소시켜 기액 분리 탱크부 내의 압력을 높임으로써, 유스 포인트에 공급하는 공급 액체의 유량을 증가시킨다. 이와 같이 하여, 유스 포인트에 공급되는 공급 액체의 유량을 일정하게 유지할 수 있다.
압력 일정 제어에서는, 유스 포인트에 공급되는 공급 액체의 압력이 목표로 되는 일정 압력에 대하여 증가한 경우, 즉, 압력 측정부에서 측정되는 공급 액체의 압력이 목표로 되는 일정 압력에 대하여 증가한 경우에는, 배기구로부터 배출되는 배출 기체의 배출량을 증가시켜 기액 분리 탱크부 내의 압력을 낮춤으로써, 유스 포인트에 공급하는 공급 액체의 압력을 감소시킨다. 한편, 유스 포인트에 공급되는 공급 액체의 압력이 목표로 되는 일정 압력에 대하여 감소한 경우, 즉, 압력 측정부에서 측정되는 공급 액체의 압력이 목표로 되는 일정 압력에 대하여 감소한 경우에는, 배기구로부터 배출되는 배출 기체의 배출량을 감소시켜 기액 분리 탱크부 내의 압력을 높임으로써, 유스 포인트에 공급하는 공급 액체의 압력을 증가시킨다. 이와 같이 하여, 유스 포인트에 공급되는 공급 액체의 압력을 일정하게 유지할 수 있다.
본 발명의 공급 액체 제조 방법은, 제1 원료와 제2 원료를 혼합부에서 혼합하여 혼합 액체를 생성하는 스텝과, 상기 혼합부에서 생성된 상기 혼합 액체를, 유스 포인트에 공급되는 공급 액체와 배기구로부터 배출되는 배출 기체로 기액 분리 탱크부에서 기액 분리하는 스텝과, 상기 기액 분리 탱크부로부터 상기 유스 포인트에 공급되는 상기 공급 액체의 유량을 유량 측정부에서 측정하는 스텝과, 상기 기액 분리 탱크부로부터 상기 유스 포인트에 공급되는 상기 공급 액체의 압력을 압력 측정부에서 측정하는 스텝과, 상기 유스 포인트에 공급되는 상기 공급 액체의 유량을 일정 유량으로 유지하도록, 상기 유량 측정부에서 측정한 상기 공급 액체의 유량에 따라, 상기 배기 밸브를 제어하여 상기 배기구로부터 배출되는 상기 배출 기체의 배출량을 조정하는 유량 일정 제어와, 상기 유스 포인트에 공급되는 상기 공급 액체의 압력을 일정 압력으로 유지하도록, 상기 압력 측정부에서 측정한 상기 공급 액체의 압력에 따라, 상기 배기 밸브를 제어하여 상기 배기구로부터 배출되는 상기 배출 기체의 배출량을 조정하는 압력 일정 제어 중 어느 한쪽을 선택하는 스텝을 포함하고, 상기 유량 일정 제어가 선택된 경우에는, 상기 유량 측정부에서 측정한 상기 공급 액체의 유량이 상기 일정 유량에 대하여 증가한 때 상기 배기구로부터 배출되는 상기 배출 기체의 배출량을 증가시키고, 상기 유량 측정부에서 측정한 상기 공급 액체의 유량이 상기 일정 유량에 대하여 감소한 때 상기 배기구로부터 배출되는 상기 배출 기체의 배출량을 감소시키고, 상기 압력 일정 제어가 선택된 경우에는, 상기 압력 측정부에서 측정한 상기 공급 액체의 압력이 상기 일정 압력에 대하여 증가한 때 상기 배기구로부터 배출되는 상기 배출 기체의 배출량을 증가시키고, 상기 압력 측정부에서 측정한 상기 공급 액체의 압력이 상기 일정 압력에 대하여 감소한 때 상기 배기구로부터 배출되는 상기 배출 기체의 배출량을 감소시킨다.
이 제조 방법에 의해서도, 유스 포인트에 공급되는 공급 액체의 유량을 일정하게 유지하는 제어(유량 일정 제어)와, 유스 포인트에 공급되는 공급 액체의 압력을 일정하게 유지하는 제어(압력 일정 제어)를 선택할 수 있다.
유량 일정 제어에서는, 유스 포인트에 공급되는 공급 액체의 유량이 목표로 되는 일정 유량에 대하여 증가한 경우, 즉, 유량 측정부에서 측정되는 공급 액체의 유량이 목표로 되는 일정 유량에 대하여 증가한 경우에는, 배기구로부터 배출되는 배출 기체의 배출량을 증가시켜 기액 분리 탱크부 내의 압력을 낮춤으로써, 유스 포인트에 공급하는 공급 액체의 유량을 감소시킨다. 한편, 유스 포인트에 공급되는 공급 액체의 유량이 목표로 되는 일정 유량에 대하여 감소한 경우, 즉, 유량 측정부에서 측정되는 공급 액체의 유량이 목표로 되는 일정 유량에 대하여 감소한 경우에는, 배기구로부터 배출되는 배출 기체의 배출량을 감소시켜 기액 분리 탱크부 내의 압력을 높임으로써, 유스 포인트에 공급하는 공급 액체의 유량을 증가시킨다. 이와 같이 하여, 유스 포인트에 공급되는 공급 액체의 유량을 일정하게 유지할 수 있다.
압력 일정 제어에서는, 유스 포인트에 공급되는 공급 액체의 압력이 목표로 되는 일정 압력에 대하여 증가한 경우, 즉, 압력 측정부에서 측정되는 공급 액체의 압력이 목표로 되는 일정 압력에 대하여 증가한 경우에는, 배기구로부터 배출되는 배출 기체의 배출량을 증가시켜 기액 분리 탱크부 내의 압력을 낮춤으로써, 유스 포인트에 공급하는 공급 액체의 압력을 감소시킨다. 한편, 유스 포인트에 공급되는 공급 액체의 압력이 목표로 되는 일정 압력에 대하여 감소한 경우, 즉, 압력 측정부에서 측정되는 공급 액체의 압력이 목표로 되는 일정 압력에 대하여 감소한 경우에는, 배기구로부터 배출되는 배출 기체의 배출량을 감소시켜 기액 분리 탱크부 내의 압력을 높임으로써, 유스 포인트에 공급하는 공급 액체의 압력을 증가시킨다. 이와 같이 하여, 유스 포인트에 공급되는 공급 액체의 압력을 일정하게 유지할 수 있다.
본 발명에 의하면, 유스 포인트에서 필요로 되는 분만큼 공급 액체(예를 들어 오존수 등)를 제조할 수 있다. 또한 본 발명에 의하면, 오존수와 오존 가스를 공존시킨 기액 혼합 상태에서 유스 포인트까지 오존수(공급 액체)를 적정량 공급시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 제1 실시 형태에 있어서의 공급 액체 제조 장치의 구성을 도시하는 설명도이다.
도 2는 본 발명의 제2 실시 형태에 있어서의 공급 액체 제조 장치의 구성을 도시하는 설명도이다.
도 3은 본 발명의 제3 실시 형태에 있어서의 공급 액체 제조 장치의 구성을 도시하는 설명도이다.
도 4는 본 발명의 제3 실시 형태에 있어서의 유량 일정 제어의 설명도이다.
도 5는 본 발명의 제4 실시 형태에 있어서의 공급 액체 제조 장치의 구성을 도시하는 설명도이다.
도 6은 종래의 오존수 공급 장치의 구성을 도시하는 설명도이다.
이하, 본 발명의 실시 형태 공급 액체 제조 장치에 대하여 도면을 이용하여 설명한다. 본 실시 형태에서는, 반도체 디바이스나 액정 등의 전자 부품의 세정에 사용되는 오존수 등의 제조에 사용되는 공급 액체 제조 장치의 경우를 예시한다.
또한 본 명세서에 있어서 「압력 일정」, 「일정한 압력」이란, 어느 소정 또는 임의의 시간 간격 내에서의 평균 압력값이 일정, 또는 실질적으로 일정한 것을 말한다. 또한 본 명세서에 있어서 「유량 일정」, 「일정한 유량」이란, 어느 소정 또는 임의의 시간 간격 내에서의 평균 유량값이 일정, 또는 실질적으로 일정한 것을 말한다. 또한 본 명세서에 있어서 「농도 일정」, 「일정한 농도」란, 어느 액체 중에 용존해 있는 화학종의, 소정 또는 임의의 시간 간격 내에서의 평균적인 성분 농도의 값이 일정, 또는 실질적으로 일정한 것을 말한다.
(제1 실시 형태)
본 발명의 제1 실시 형태의 공급 액체 제조 장치의 구성을 도면을 참조하여 설명한다. 도 1은, 본 실시 형태의 공급 액체 제조 장치의 구성을 도시하는 설명도이다. 도 1에 도시한 바와 같이 공급 액체 제조 장치(100)는, 원료로 되는 제1 가스(O2 가스)와 제2 가스(CO2 가스, N2 가스, 또는 CO2 가스와 N2 가스의 혼합 기체)의 공급원(101, 102)과, 각각의 가스(제1 가스와 제2 가스)의 유량을 제어하는 유량 컨트롤러(103, 104)를 구비하고 있다. 또한 제2 가스(CO2 가스, N2 가스, 또는 CO2 가스와 N2 가스의 혼합 기체)는 반드시 필수는 아니며, 제1 가스(O2 가스)만을 사용해도 된다. 제1 가스와 제2 가스는 압력 센서(105)에서 압력이 측정된 후 오존 가스 생성부(106)로 보내진다. 오존 가스 생성부(106)에서 생성된 오존 가스는 오존수 생성부(107)로 보내진다.
또한 공급 액체 제조 장치(100)는, 제1 원료인 물(초순수)의 공급원(108)을 구비하고 있다. 이 공급 액체 제조 장치(100)에는, 제1 원료인 물 중의 잉여 가스(산소, 질소, 탄산 가스 등)를 제거하기 위하여 탈기 처리를 하는 탈기 처리부(109)가 구비되어 있다. 또한 탈기 처리는, 예를 들어 탈기 처리막을 통해 진공화를 행하는 등의 공지된 방법을 이용할 수 있다. 또한 공급 액체 제조 장치(100)에는, 제1 원료인 물의 유량을 조정하기 위한 밸브(110)와, 제1 원료인 물의 유량을 측정하기 위한 유량계(111)가 마련되어 있다. 제1 원료인 물은 유량계(111)에서 유량이 측정된 후 승압 펌프(또는 간단히 펌프라고도 함. 이하 동일)(112)로 보내지고, 승압 펌프(112)에서 압력이 조정(승압)된 후 오존수 생성부(107)로 보내진다. 오존수 생성부(107)로 보내지는 물의 압력은, 예를 들어 0.1 내지 1.0㎫로 설정된다. 그리고 펌프(112)의 압력을 변경함으로써, 오존수 생성부(107)로 보내지는 물의 유량이 조정된다.
오존수 생성부(107)는, 물(제1 원료)과 오존 가스(제2 원료)를 혼합하여 오존수(혼합 액체)를 생성하는 혼합기(113)를 구비하고 있다. 혼합기(113)는 벤투리 효과를 이용하여 물과 가스를 혼합하는 것이 바람직하다. 그와 같은 혼합기(113)로서, 예를 들어 아스피레이터나 이젝터 등이 사용된다. 생성된 오존수는 기액 분리 탱크(114)로 보내진다. 기액 분리 탱크(114)에서는, 혼합기(113)에서 생성된 오존수(혼합 액체)가 오존수(공급 액체)와 배기 가스(배출 기체)로 기액 분리된다. 이 기액 분리 탱크(114)에는, 오존수의 수위를 측정하기 위한 수위 센서(115)가 마련되어 있다. 기액 분리된 오존수(공급 액체)는 압력 센서(116)에서 압력이 측정되고 유량계(117)에서 유량이 측정된 후, 밸브(118)를 통해 유스 포인트(119)(예를 들어 다챔버식의 매엽형 세정 장치 등)로 보내진다.
또한 기액 분리된 오존수(공급 액체)는 오존수 농도계(120)에서 농도가 측정된 후 드레인(121)으로부터 배출된다. 한편, 기액 분리된 배기 가스(배출 기체)는 기액 분리 탱크(114)로부터 밸브(122)를 통해 배기 가스 분해 촉매(123)로 보내져 분해 처리된 후, 압력 릴리프 밸브(124)에서 대기압으로 복귀되고 나서 배출구(125)로부터 배출된다. 압력 릴리프 밸브(124)에서는 급격한 압력 변동을 방지하여 압력을 일정하게 유지할 수 있는 점에서, 에어 제어식의 릴리프 밸브를 채용하는 것이 바람직하다. 또한 급격한 압력 변동이 발생할 우려가 없는 경우에는 스프링식의 릴리프 밸브를 채용할 수도 있다. 스프링식의 릴리프 밸브는 에어 제어식의 릴리프 밸브에 비교하여 저렴하여, 저비용화를 도모하는 데 있어 유리하다.
공급 액체 제조 장치(100)는 유량 제어부(즉, 승압 제어부)(126)와 배기 압력 제어부(127)를 구비하고 있다. 유량 제어부(즉, 승압 제어부)(126)는, 유량계(111)에서 측정한 수류량 또는 유량계(117)에서 측정한 오존수의 유량에 따라 승압 펌프(112)를 제어하여, 혼합기(113)에 승압하여 공급하는 물의 압력을 조정한다. 더 구체적으로는, 예를 들어 유량계(117)에서 측정한 오존수의 유량값을 수신하고, 수신한 유량값에 따라 승압 펌프(112)를 제어하는 제어 신호를 생성하고, 이 제어 신호를 승압 펌프(112)에 송신하여, 승압 펌프(112)에 마련된 도시되지 않은 구동부를 제어함으로써 펌프의 회전수를 제어하여, 혼합기(113)에 공급하는 물의 압력(또는 유량)을 조정할 수 있다. 또한 배기 압력 제어부(127)는, 유량계(111)에서 측정한 물의 유량, 유량계(117)에서 측정한 오존수의 유량, 오존수 농도계(120)에서 측정한 오존수의 농도에 따라 압력 릴리프 밸브(124)를 제어하여, 기액 분리 탱크(114) 내의 수위를 일정하게 유지하도록 배기 가스의 배기 압력을 조정한다.
이 공급 액체 제조 장치(100)는 기액 분리 탱크(114)의 수위를 일정하게 조정할 수 있다. 예를 들어 기액 분리 탱크(114) 내의 수위를 수위 센서(115)에서 측정함으로써 기액 분리 탱크(114)의 수위를 일정하게 조정할 수 있다. 또한 유량계(111)에서 측정되는 물의 유량과 유량계(117)에서 측정되는 오존수의 유량이 동일해지도록 유량을 제어함으로써 기액 분리 탱크(114)의 수위를 일정하게 조정할 수 있다.
이상과 같이 구성된 제1 실시 형태의 공급 액체 제조 장치(100)에 대하여 그 동작을 설명한다.
제1 실시 형태의 공급 액체 제조 장치(100)를 사용하여 오존수를 제조하는 경우에는 먼저, 원료로 되는 제1 가스(O2 가스)와 제2 가스(CO2 가스, N2 가스, 또는 CO2 가스와 N2 가스의 혼합 기체)를 공급원(101, 102)으로부터 공급한다. 제1 가스와 제2 가스의 유량은 유량 컨트롤러(103, 104)에 의하여 제어된다. 또한 제1 원료인 물(순수)을 공급원(108)으로부터 공급한다. 물의 유량은 유량계(111)에 의하여 측정된다. 유량 컨트롤러(103, 104)는, 유량계(111)에 의하여 측정되는 물의 유량에 따라 제1 가스와 제2 가스의 유량을 제어한다. 즉, 소정의 농도의 오존수를 생성하기 위하여 물의 유량과 제1 가스와 제2 가스의 유량의 관계를 미리 구해 두어, 유량계(111)에 의하여 측정되는 물의 유량에 따라 제1 가스와 제2 가스의 유량을 제어한다.
제1 가스와 제2 가스는 압력 센서(105)에서 압력을 측정한 후 오존 가스 생성부(106)로 보내진다. 오존 가스 생성부(106)에서는, 방전에 의하여 제1 가스(O2 가스)와 제2 가스(CO2 가스, N2 가스, 또는 CO2 가스와 N2 가스의 혼합 기체)로부터 오존 가스가 생성된다. 생성된 오존 가스(제2 원료)는 오존수 생성부(107)로 보내진다. 한편, 물(제1 원료)은 유량계(111)에서 유량이 측정된 후 승압 펌프(112)로 보내지고, 승압 펌프(112)에서 압력이 조정된 후 오존수 생성부(107)로 보내진다. 승압 펌프(112)는 유량 제어부(126)에 의하여 제어되어, 0.1㎫ 내지 1㎫의 압력 범위 내에서 오존수 생성부(107)로 보내는 물의 압력을 조정한다. 승압 펌프(112)로서는, 예를 들어 원심 펌프 등이 사용된다.
오존수 생성부(107)의 혼합기(113)에서는, 물과 오존 가스를 혼합하여 오존수가 생성되고, 생성된 오존수는 기액 분리 탱크(114)로 보내진다. 기액 분리 탱크(114)에서는, 혼합기(113)에서 생성된 오존수(혼합 액체)가 오존수(공급 액체)와 배기 가스(배출 기체)로 기액 분리된다. 기액 분리된 오존수(공급 액체)는 압력 센서(116)에서 압력이 측정되고 유량계(117)에서 유량이 측정된 후, 밸브(118)를 통해 유스 포인트(119)(예를 들어 다챔버식의 매엽형 세정 장치)로 보내진다. 이 경우, 유량 제어부(126)는, 유량계(111) 또는 유량계(117)에서 측정한 유량에 따라 승압 펌프(112)를 제어한다.
한편, 배기 가스(배출 기체)는 밸브(122)를 통해 배기 가스 분해 촉매(123)로 보내져 분해 처리된 후, 압력 릴리프 밸브(124)에서 대기압으로 복귀되고 나서 배출구(125)로부터 배출된다. 이 경우, 배기 압력 제어부(127)는, 유량계(111)에서 측정한 물의 유량, 유량계(117)에서 측정한 오존수의 유량, 오존수 농도계(120)에서 측정한 오존수의 농도에 따라 압력 릴리프 밸브(124)를 제어하여, 기액 분리 탱크(114) 내의 수위를 일정하게 유지하도록 배기 가스의 배기 압력을 조정한다. 또한 배기 압력 제어부는, 수위 센서(115)에서 측정한 기액 분리 탱크(114) 내의 수위에 따라 압력 릴리프 밸브(124)를 제어하여, 기액 분리 탱크(114) 내의 수위를 일정하게 유지하도록 배기 가스의 배기 압력을 조정한다.
이와 같은 제1 실시 형태의 공급 액체 제조 장치(100)에 의하면, 유스 포인트(119)에 공급되는 공급 액체(오존수)의 유량을 기액 분리를 한 후에 측정하므로, 제1 원료(물)와 제2 원료(오존 가스)를 혼합함으로써 발생하는 기체(배기 가스)의 기포의 영향을 받지 않고 공급 액체(오존수)의 유량을 정확히 측정할 수 있다. 그리고 이와 같이 측정한 공급 액체(오존수)의 유량에 따라 제1 원료인 물(혼합부에 승압하여 공급됨)의 압력이 조정됨과 함께, 배기 가스의 배기 압력이 제어되어 기액 분리 탱크(114) 내의 수위가 일정하게 유지된다. 이것에 의하여, 유스 포인트(119)에서 필요로 되는 분만큼 공급 액체(오존수)를 제조할 수 있다.
또한 본 실시 형태에서는, 기액 분리 탱크(114) 내의 수위를 일정하게 유지할 수 있으므로, 유스 포인트(119)에서 필요로 되는 분만큼 공급 액체(오존수)를 제조할 수 있다. 예를 들어 수위 센서(115)에서 기액 분리 탱크(114) 내의 수위를 측정한다. 이것에 의하여, 기액 분리 탱크(114) 내의 수위를 일정하게 유지하는 것이 가능해져, 유스 포인트(119)에서 필요로 되는 분만큼 공급 액체(오존수)를 제조할 수 있다.
또는 혼합기(113)에 공급되는 물의 유량을 유량계(111)에서 측정함과 함께, 기액 분리 탱크(114)로부터 배출되는(유스 포인트(119)에 공급되는) 오존수의 유량을 측정한다. 그리고 혼합기(113)에 공급되는 물의 유량과 기액 분리 탱크(114)로부터 배출되는 오존수의 유량을 동일하게 함으로써 기액 분리 탱크(114) 내의 액체량을 일정하게 유지하는 것이 가능해져, 유스 포인트(119)에서 필요로 되는 분만큼 공급 액체(오존수)를 제조할 수 있다.
또한 본 실시 형태에서는, 혼합기(113)에서 물과 오존 가스를 혼합하여 오존수를 제조할 수 있다. 이 경우, 승압 펌프(112)가 혼합기(113)의 전단(혼합기(113)보다 상류측)에 배치되어 있으므로, 승압 펌프(112)에는 물밖에 통과되지 못한다(승압 펌프(112)에 오존수는 통과되지 못함). 따라서 승압 펌프(112)가 혼합기(113)의 후단에 마련되는 경우(승압 펌프(112)에 오존수가 통과되는 경우)에 비하여 승압 펌프(112)의 수명이 길어진다.
(제2 실시 형태)
다음으로, 본 발명의 제2 실시 형태의 공급 액체 제조 장치에 대하여 설명한다. 여기서는, 제2 실시 형태의 공급 액체 제조 장치가 제1 실시 형태와 상위한 점을 중심으로 설명한다. 여기서 특별히 언급하지 않는 한, 본 실시 형태의 구성 및 동작은 제1 실시 형태와 마찬가지이다.
도 2는, 본 실시 형태의 공급 액체 제조 장치의 구성을 도시하는 설명도이다. 도 2에 도시한 바와 같이 공급 액체 제조 장치(200)는, 제1 원료인 물(초순수)의 공급원(201)과 제2 원료인 케미컬 원료(예를 들어 암모니아 등)의 공급원(202)을 구비하고 있다. 또한 공급 액체 제조 장치(200)에는, 제1 원료인 물의 유량을 조정하기 위한 밸브(203)와, 제1 원료인 물의 유량을 측정하기 위한 유량계(204)가 마련되어 있다. 제1 원료인 물은 유량계(204)에서 유량이 측정된 후 승압 펌프(205)로 보내지고, 승압 펌프(205)에서 압력이 조정(승압)된 후 혼합기(206)로 보내진다. 제2 원료인 케미컬 원료도 혼합기(206)로 보내진다.
혼합기(206)는 물과 케미컬 원료(암모니아)를 혼합하여 케미컬수(암모니아수)를 생성한다. 생성된 케미컬수(암모니아수)는 기액 분리 탱크(207)로 보내진다. 기액 분리 탱크(207)에서는, 혼합기(206)에서 생성된 케미컬수(혼합 액체)가 케미컬수(공급 액체)와 배기 가스(배출 기체)로 기액 분리된다. 이 기액 분리 탱크(207)에는, 케미컬수의 상한 수위 및 하한 수위를 측정하기 위한 2개의 수위 센서(208, 209)가 마련되어 있다. 기액 분리된 케미컬수(공급 액체)는 압력 센서(210)에서 압력이 측정되고 유량계(211)에서 유량이 측정된 후, 밸브(212)를 통해 유스 포인트(213)(예를 들어 다챔버식의 매엽형 세정 장치 등)로 보내진다.
한편, 기액 분리된 배기 가스(배출 기체)는 기액 분리 탱크(207)로부터 밸브(214)를 통해 압력 릴리프 밸브(215)로 보내지고, 압력 릴리프 밸브(215)에서 대기압으로 복귀되고 나서 배출구(216)로부터 배출된다.
또한 공급 액체 제조 장치(200)는 유량 제어부(즉, 승압 제어부)(217)와 배기 압력 제어부(218)를 구비하고 있다. 유량 제어부(즉, 승압 제어부)(217)는, 유량계(204) 또는 유량계(211)에서 측정한 케미컬수(암모니아수)의 유량에 따라 승압 펌프(205)을 제어하여, 혼합기(206)에 승압하여 공급하는 물의 압력을 조정한다. 더 구체적으로는, 유량계(204) 또는 유량계(211)에서 측정한 유량값을 수신하고, 수신한 유량값에 따라 승압 펌프(205)을 제어하는 제어 신호를 생성하고, 이 제어 신호를 승압 펌프(205)에 송신하여, 승압 펌프(205)에 마련된 도시되지 않은 구동부를 제어함으로써 펌프의 회전수를 제어하여, 혼합기(206)에 공급하는 물의 압력(또는 유량)을 조정할 수 있다. 또한 배기 압력 제어부(218)는, 유량계(204)에서 측정한 물의 유량, 유량계(211)에서 측정한 암모니아수의 유량에 따라 압력 릴리프 밸브(215)을 제어하여, 기액 분리 탱크(207) 내의 수위를 일정하게 유지하도록 배기 가스의 배기 압력을 조정한다.
이 공급 액체 제조 장치(200)는 기액 분리 탱크(207)의 수위를 일정하게 조정할 수 있다. 예를 들어 기액 분리 탱크(207) 내의 상한 수위와 하한 수위를 2개의 수위 센서(208, 209)에서 측정함으로써 기액 분리 탱크(207)의 수위를 일정하게 조정할 수 있다. 또한 유량계(204)에서 측정되는 물의 유량과 유량계(211)에서 측정되는 케미컬수(암모니아수)의 유량이 동일해지도록 유량을 제어함으로써 기액 분리 탱크(207)의 수위를 일정하게 조정할 수 있다.
이와 같은 제2 실시 형태의 공급 액체 제조 장치에 의해서도 제1 실시 형태와 마찬가지의 작용 효과가 발휘된다. 본 실시 형태에서는, 혼합부에서 물과 케미컬 원료(예를 들어 암모니아 등)를 혼합하여 케미컬수(예를 들어 암모니아수 등)를 제조할 수 있다.
(제3 실시 형태)
다음으로, 본 발명의 제3 실시 형태의 공급 액체 제조 장치에 대하여 설명한다. 여기서는, 제3 실시 형태의 공급 액체 제조 장치가 제1 실시 형태와 상위한 점을 중심으로 설명한다. 여기서 특별히 언급하지 않는 한, 본 실시 형태의 구성 및 동작은 제1 실시 형태와 마찬가지이다.
도 3은, 본 실시 형태의 공급 액체 제조 장치의 구성을 도시하는 설명도이다. 도 3에 도시한 바와 같이 공급 액체 제조 장치(300)는, 원료로 되는 제1 가스(O2 가스)와 제2 가스(CO2 가스, N2 가스, 또는 CO2 가스와 N2 가스의 혼합 기체)의 공급원(301, 302)과, 각각의 가스(제1 가스와 제2 가스)의 유량을 제어하는 유량 컨트롤러(303, 304)를 구비하고 있다. 또한 제2 가스(CO2 가스, N2 가스, 또는 CO2 가스와 N2 가스의 혼합 기체)는 반드시 필수는 아니며, 제1 가스(O2 가스)만을 사용해도 된다. 제1 가스와 제2 가스는 압력 센서(305)에서 압력이 측정된 후 오존 가스 생성부(306)로 보내진다. 이 오존 가스 생성부(306)에서는, 무성 방전 방식, 전기 분해 방식, 또는 자외선 램프 방식을 채용하여 오존 가스를 생성하는 구성으로 되어 있다. 오존 가스 생성부(306)에서 생성된 오존 가스는 혼합부(307)로 보내진다. 또한 압력 센서(305)에서 측정된 압력값을 이용하여, 유량 컨트롤러(303, 304)에서 제1 가스와 제2 가스의 유량이 적정 범위 내로 되어 있는지를 감시할 수 있다.
또한 공급 액체 제조 장치(300)는, 제1 원료인 물(초순수)의 공급원(308)을 구비하고 있다. 또한 공급 액체 제조 장치(100)에는, 제1 원료인 물의 공급을 온오프하는 밸브(309)와, 제1 원료인 물의 유량을 측정하기 위한 유량계(310)가 마련되어 있다. 제1 원료인 물은 유량계(310)에서 유량이 측정된 후 펌프(311)로 보내지고, 펌프(311)에서 유량이 조정된 후 혼합부(307)로 보내진다. 여기서, 펌프(311)는, 예를 들어 원심 펌프가 사용된다. 이하에서는, 펌프(311)는 원심 펌프를 예로 들어 설명한다. 또한 유량계(310)가 제2 유량 측정부에 상당한다.
혼합부(307)는 물(제1 원료)과 오존 가스(제2 원료)를 혼합하여 오존수(혼합 액체)를 생성한다. 혼합부(307)는 벤투리 효과를 이용하여 물과 가스를 혼합하는 것이 바람직하며, 예를 들어 아스피레이터나 이젝터 등이 사용된다.
혼합부(307)에서 생성된 오존수는 기액 분리 탱크(312)로 보내진다. 기액 분리 탱크(312)에서는, 혼합부(307)에서 생성된 오존수(혼합 액체)가 오존수(공급 액체)와 배기 가스(배출 기체)로 기액 분리된다. 이 기액 분리 탱크(312)에는, 오존수의 수위를 측정하기 위한 수위 센서(313)가 마련되어 있다. 수위 센서(313)는, 예를 들어 기액 분리 탱크(312) 내의 소정의 높이에 설치되어, 오존수의 액면이 수위 센서(313)의 높이보다도 위인지 아래인지를 검지하는 센서이다. 또는 수위 센서(313)는 기액 분리 탱크(312) 내의 오존수의 수위(액량)를 항시 측정하는 것이어도 된다. 기액 분리된 오존수(공급 액체)는 오존수 농도계(314)에서 농도가 측정되고 유량계(315)에서 유량이 측정되고 압력 센서(316)에서 압력이 측정된 후에 밸브(317)를 통해 유스 포인트(318)(예를 들어 다챔버식의 매엽형 세정 장치 등) 또는 드레인(319)으로 보내진다.
또한 본 장치의 정상 운전 중에 있어서 유스 포인트에서 오존수를 사용하지 않는 타이밍에서는, 밸브(317)를 드레인(319) 측으로 전환하여 최소 유량으로 오존수를 드레인(319)으로 흐르게 하도록 하고 있다. 이는, 오존수의 품질을 일정하게 유지하기 위함이다. 또한 장치의 기동 시나 메인터넌스 시 등에 있어서 불요한 오존수를 드레인(319)으로부터 배출하도록 하고 있다.
한편, 기액 분리된 배기 가스(배출 기체)는 기액 분리 탱크(312)로부터 밸브(320)를 통해 배기 가스 분해 촉매(321)로 보내져 분해 처리된 후, 개방도 조정 밸브(322)를 통해 배기구(323)로부터 배출된다. 여기서는, 유량계(315)가 본 발명의 제1 유량 측정부에 상당하고, 압력 센서(316)가 본 발명의 압력 측정부에 상당한다. 또한 개방도 조정 밸브(322)가 본 발명의 배기 밸브에 상당한다.
(유량 일정 제어)
공급 액체 제조 장치(300)는 배기 제어부(324)와 유량 제어부(325)를 구비하고 있다. 배기 제어부(324)는, 유스 포인트(318)에 공급되는 오존수(공급 액체)의 유량을 일정 유량으로 유지하는 유량 일정 제어를 행하는 기능을 구비하고 있다. 여기서 일정 유량이란, 목표 유량이라고도 달리 말할 수 있다. 일정 유량 또는 목표 유량이란, 공급 액체 제조 장치(300)에 있어서 반드시 고정된 값은 아니며, 유스 포인트에서 필요로 되는 유량으로서 임의로 설정된다.
기액 분리 탱크(312)는 개방도 조정 밸브(322)와 연결되어 있으며, 기액 분리 탱크(312) 내의 오존수 액면의 상부 공간의 압력은 개방도 조정 밸브(322)에 의하여 조정된다. 오존수로부터는 오존 가스가 빠져나가기 때문에, 기액 분리 탱크(322) 내의 오존수 액면의 상부 공간의 압력은 경시적으로 변화된다. 유스 포인트(318)에 공급되는 오존수(공급 액체)의 유량은 펌프(311)의 회전수뿐 아니라 기액 분리 탱크 내의 상부 공간의 압력에 의해서도 영향을 받는다.
유량 일정 제어를 행하는 경우에는 배기 제어부(324)는, 유량계(315)에서 측정한 오존수(공급 액체)의 유량에 따라, 개방도 조정 밸브(322)를 제어하여 배기구(323)로부터 배출되는 배기 가스(배출 기체)의 배출량을 조정한다. 더 구체적으로는 배기 제어부(324)는, 유량계(315)에서 측정한 오존수(공급 액체)의 유량이 목표로 되는 일정 유량에 대하여 증가한 경우에는 배기구(323)로부터 배출되는 배기 가스(배출 기체)의 배출량을 증가시키고, 유량계(315)에서 측정한 오존수(공급 액체)의 유량이 목표로 되는 일정 유량에 대하여 감소한 경우에는 배기구(323)로부터 배출되는 배기 가스(배출 기체)의 배출량을 감소시킨다.
유량 제어부(325)는, 유량계(315)에서 측정한 오존수(공급 액체)의 유량에 따라 펌프(310)의 회전수를 제어하여, 혼합부에 공급하는 제1 원료의 유량을 조정한다.
더 구체적으로는, 유량계(310)에서 측정되는 혼합부에 공급하는 제1 원료의 유량이, 유량계(315)에서 측정되는 오존수(공급 액체)의 유량과 동일해지도록 제어한다. 그 때문에 이 실시예에서는, 유량계(315)에서 측정한 유량값을 수신하고, 수신한 유량값에 따라 펌프(310)의 회전수를 제어하는 제어 신호를 생성하고, 이 제어 신호를 펌프(310)에 송신하여 펌프(310)의 회전수를 제어함으로써, 혼합부에 공급하는 유량을 조정하도록 하고 있다.
또한 유량 제어부(315)는, 수위 센서(313)에서 측정한 기액 분리 탱크(312) 내의 액체량이 소정의 액체량보다도 증가한 경우에는 혼합부에 공급하는 제1 원료의 유량을 감소시키고, 수위 센서(313)에서 측정한 기액 분리 탱크(312) 내의 액체량이 소정의 액체량보다도 감소한 경우에는 혼합부에 공급하는 제1 원료의 유량을 증가시켜도 된다. 더 구체적으로는, 기액 분리 탱크(312) 내의 오존수의 수위가 어느 높이 이상인지의 여부를 검지하는 수위 센서(313)를 사용하여, 오존수의 수위가 수위 센서의 높이를 상회하면, 혼합부에 공급하는 제1 원료의 유량을 낮춘다. 그리고 오존수의 수위가 수위 센서의 높이를 하회하면, 혼합부에 공급하는 제1 원료의 유량을 높인다. 이와 같이 하면 기액 분리 탱크(312) 내의 오존수의 수위(액량)를 일정하게 유지할 수 있다. 물론 2개의 수위 센서를 상이한 높이에 설치하여 오존수의 수위가 일정 범위로 되도록 제어해도 된다. 오존수의 수위를 일정하게 유지할 수 있으면, 기본적으로는 유스 포인트(318)에 공급되는 오존수(공급 액체)의 유량과 혼합부에 공급하는 제1 원료의 유량이 동일해져 있는 것을 의미한다.
수위 센서(313)에서 기액 분리 탱크(312) 내의 오존수의 수위를 검지하는 구성이면, 오존수의 수위를 일정하게 유지하기 위해서는 반드시 유량계(310)가 필요하지는 않다. 그러나 오존 가스의 농도를 일정하게 유지하기 위해서는, 물의 유량을 측정하여 원료 가스의 유량을 제어할 필요가 있으므로, 유량계(310)도 마련하는 것이 바람직하다. 또한 오존수의 수위를 검지하는 수위 센서(313)를 사용하여, 오존수의 수위가 일정해지도록 혼합부에 공급하는 제1 원료의 유량을 컨트롤하는 구성이면, 유량계(315)를 마련하지 않고 유량계(310)만을 마련하도록 해도 된다.
또한 배기 제어부(324)는, 수위 센서(313)에서 측정한 기액 분리 탱크(312) 내의 액체량이 소정의 액체량에 대하여 증가한 경우에는, 배기구(323)로부터 배출되는 배기 가스(배출 기체)의 배출량을 감소시켜 기액 분리 탱크(312) 내의 압력을 높임으로써 기액 분리 탱크(312) 내의 액체량을 감소시켜도 된다. 한편, 수위 센서(313)에서 측정한 기액 분리 탱크(312) 내의 액체량이 소정의 액체량에 대하여 감소한 경우에는, 배기구(323)로부터 배출되는 배기 가스(배출 기체)의 배출량을 증가시켜 기액 분리 탱크(312) 내의 압력을 낮춤으로써 기액 분리 탱크(312) 내의 액체량을 증가시켜도 된다. 이와 같이 하더라도 기액 분리 탱크(312) 내의 액체량을 일정하게 유지할 수 있다.
이와 같은 제3 실시 형태의 공급 액체 제조 장치(300)에 의하면 유량 일정 제어가 가능하다. 따라서 유스 포인트(318)에 공급되는 오존수(공급 액체)의 유량이 목표로 되는 일정 유량에 대하여 증가한 경우, 즉, 유량계(315)에서 측정되는 오존수(공급 액체)의 유량이 목표로 되는 일정 유량에 대하여 증가한 경우에는, 배기구(323)로부터 배출되는 배기 가스(배출 기체)의 배출량을 증가시켜 기액 분리 탱크(312) 내의 압력을 낮춤으로써, 유스 포인트(318)에 공급하는 오존수(공급 액체)의 유량을 감소시킨다. 한편, 유스 포인트(318)에 공급되는 오존수(공급 액체)의 유량이 목표로 되는 일정 유량에 대하여 감소한 경우, 즉, 유량계(315)에서 측정되는 오존수(공급 액체)의 유량이 목표로 되는 일정 유량에 대하여 감소한 경우에는, 배기구(323)로부터 배출되는 배기 가스(배출 기체)의 배출량을 감소시켜 기액 분리 탱크(312) 내의 압력을 높임으로써, 유스 포인트(318)에 공급하는 오존수(공급 액체)의 유량을 증가시킨다. 이와 같이 하여, 유스 포인트(318)에 공급되는 오존수(공급 액체)의 유량을 일정하게 유지할 수 있다. 기액 분리 탱크부 내의 압력을 조정함으로써, 유스 포인트에 공급하는 오존수의 유량을 높은 응답성으로 컨트롤할 수 있다.
(압력 일정 제어)
다른 실시 형태로서, 도 3에 도시한 공급 액체 제조 장치의 구성을 이용하여, 유스 포인트(318)에 공급되는 오존수(공급 액체)의 압력을 일정 압력으로 유지하는 압력 일정 제어를 행할 수도 있다. 여기서 일정 압력이란, 목표 압력이라도고 달리 말할 수 있다. 일정 압력 또는 목표 압력이란, 공급 액체 제조 장치(300)에 있어서 반드시 고정된 값은 아니며, 공급 액체 제조 장치(300)가 공급해야 하는 공급 액체의 압력으로서 임의로 설정된다.
압력 일정 제어를 행하는 경우에는 배기 제어부(324)는, 압력 센서(316)에서 측정한 오존수(공급 액체)의 압력에 따라 개방도 조정 밸브(322)를 제어하여, 배기구(323)로부터 배출되는 배기 가스(배출 기체)의 배출량을 조정한다.
더 구체적으로는, 유스 포인트(318)에 공급되는 오존수(공급 액체)의 압력이 목표로 되는 일정 압력에 대하여 증가한 경우, 즉, 압력 센서(316)에서 측정되는 오존수(공급 액체)의 압력이 목표로 되는 일정 압력에 대하여 증가한 경우에는, 배기구(323)로부터 배출되는 배기 가스(배출 기체)의 배출량을 증가시켜 기액 분리 탱크(312) 내의 압력을 낮춤으로써, 유스 포인트(318)에 공급하는 오존수(공급 액체)의 압력을 감소시킨다. 한편, 유스 포인트(318)에 공급되는 오존수(공급 액체)의 압력이 목표로 되는 일정 압력에 대하여 감소한 경우, 즉, 압력 센서(316)에서 측정되는 오존수(공급 액체)의 압력이 목표로 되는 일정 압력에 대하여 감소한 경우에는, 배기구(323)로부터 배출되는 배기 가스(배출 기체)의 배출량을 감소시켜 기액 분리 탱크(312) 내의 압력을 높임으로써, 유스 포인트(318)에 공급하는 오존수(공급 액체)의 압력을 증가시킨다. 이와 같이 하여, 유스 포인트(318)에 공급되는 오존수(공급 액체)의 압력을 일정하게 유지할 수 있다. 압력 센서(316)에서 측정되어 일정하게 유지되는 압력은, 예를 들어 0.1 내지 1.0㎫로 설정된다.
압력 일정 제어를 행하는 경우에도, 혼합부에 공급하는 제1 원료의 유량을, 유스 포인트로 보내는 오존수의 유량과 동일해지도록 제어한다. 그 구체적 수단은 유량 일정 제어에서 설명한 수단과 동일하다.
또한 본 실시 형태에서도 마찬가지로, 수위 센서(313)에서 측정한 기액 분리 탱크(312) 내의 액체량이 소정의 액체량에 대하여 증감한 경우에, 배기구(323)로부터 배출되는 배기 가스(배출 기체)의 배출량을 조정하여 기액 분리 탱크(312) 내의 액체량을 일정하게 유지하도록 해도 된다.
도 4는, 유스 포인트에 공급하는 오존수의 송수 유량을 변동시키면서 압력 일정 제어한 경우의, 오존수 농도와 오존수 송수 압력을 측정한 그래프이다. 이와 같이 본 실시 형태에 의하면, 유스 포인트에서 필요한 유량이 변동하더라도 오존수의 압력을 일정하게 하고, 또한 오존수의 농도를 일정하게 유지하면서 오존수를 공급할 수 있다.
(제3 실시 형태의 변형예)
도 5에는, 제3 실시 형태의 공급 액체 제조 장치(300)의 변형예가 도시된다. 본 실시 형태의 공급 액체 제조 장치(300)에서는, 유량 일정 제어와 압력 일정 제어를 전환하는 것이 가능하다. 그 때문에 본 실시 형태의 배기 제어부(324)는, 유량 일정 제어를 행하는 유량 일정 제어부(3240)와, 압력 일정 제어를 행하는 압력 일정 제어부(3241)와, 유량 일정 제어와 압력 일정 제어를 전환하는 제어 선택부(3242)를 구비하고 있다.
유량 일정 제어부(3240)는, 유스 포인트(318)에 공급되는 오존수(공급 액체)의 유량을 일정하게 유지하도록, 유량계(315)에서 측정한 오존수(공급 액체)의 유량에 따라 개방도 조정 밸브(322)를 제어하여, 배기구(323)로부터 배출되는 배기 가스(배출 기체)의 배출량을 조정한다.
압력 일정 제어부(3241)는, 유스 포인트(318)에 공급되는 오존수(공급 액체)의 압력을 일정하게 유지하도록, 압력 센서(316)에서 측정한 오존수(공급 액체)의 압력에 따라 개방도 조정 밸브(322)를 제어하여, 배기구(323)로부터 배출되는 배기 가스(배출 기체)의 배출량을 조정한다.
제어 선택부(3242)는, 유량 일정 제어부(3240)에 의하여 배기 가스(배출 기체)의 배출량을 조정하는 유량 일정 제어와, 압력 일정 제어부(3241)에 의하여 배기 가스(배출 기체)의 배출량을 조정하는 압력 일정 제어 중 어느 한쪽을 선택한다. 예를 들어 공급 액체 제조 장치(300)에 마련된 터치 패널(도시되지 않음) 등의 조작에 의하여 유량 일정 제어와 압력 일정 제어의 전환을 행할 수 있다. 또한 유스 포인트(318)로부터의 요구 신호에 기초하여 유량 일정 제어와 압력 일정 제어의 전환이 행해져도 된다.
제어 선택부(3242)에 의하여 유량 일정 제어가 선택된 경우, 유량 일정 제어부(3240)가 유량 일정 제어를 행한다. 더 구체적으로는 유량 일정 제어부(3240)는, 유량계(315)에서 측정한 오존수(공급 액체)의 유량이 목표로 되는 일정 유량에 대하여 증가한 때 배기구(323)로부터 배출되는 배기 가스(배출 기체)의 배출량을 증가시키고, 유량계(315)에서 측정한 오존수(공급 액체)의 유량이 목표로 되는 일정 유량에 대하여 감소한 때 배기구(323)로부터 배출되는 배기 가스(배출 기체)의 배출량을 감소시킨다.
제어 선택부(3242)에 의하여 압력 일정 제어가 선택된 경우, 압력 일정 제어부(3241)가 압력 일정 제어를 행한다. 더 구체적으로는 압력 일정 제어부(3241)는, 압력 센서(316)에서 측정한 오존수(공급 액체)의 압력이 목표로 되는 일정 압력에 대하여 증가한 때 배기구(323)로부터 배출되는 배기 가스(배출 기체)의 배출량을 증가시키고, 압력 센서(316)에서 측정한 오존수(공급 액체)의 압력이 목표로 되는 일정 압력에 대하여 감소한 때 배기구(323)로부터 배출되는 배기 가스(배출 기체)의 배출량을 감소시킨다.
이와 같은 공급 액체 제조 장치(300)의 변형예에 의하면, 유스 포인트(318)에 공급되는 오존수(공급 액체)의 유량을 일정하게 유지하는 제어(유량 일정 제어)와, 유스 포인트(318)에 공급되는 오존수(공급 액체)의 압력을 일정하게 유지하는 제어(압력 일정 제어)를 선택할 수 있다.
유량 일정 제어에서는, 유스 포인트(318)에 공급되는 오존수(공급 액체)의 유량이 목표로 되는 일정 유량에 대하여 증가한 경우, 즉, 유량계(315)에서 측정되는 오존수(공급 액체)의 유량이 목표로 되는 일정 유량에 대하여 증가한 경우에는, 배기구(323)로부터 배출되는 배기 가스(배출 기체)의 배출량을 증가시켜 기액 분리 탱크(312) 내의 압력을 낮춤으로써, 유스 포인트(318)에 공급하는 오존수(공급 액체)의 유량을 감소시킨다. 한편, 유스 포인트(318)에 공급되는 오존수(공급 액체)의 유량이 목표로 되는 일정 유량에 대하여 감소한 경우, 즉, 유량계(315)에서 측정되는 오존수(공급 액체)의 유량이 목표로 되는 일정 유량에 대하여 감소한 경우에는, 배기구(323)로부터 배출되는 배기 가스(배출 기체)의 배출량을 감소시켜 기액 분리 탱크(312) 내의 압력을 높임으로써, 유스 포인트(318)에 공급하는 오존수(공급 액체)의 유량을 증가시킨다. 이와 같이 하여, 유스 포인트(318)에 공급되는 오존수(공급 액체)의 유량을 일정하게 유지할 수 있다.
압력 일정 제어에서는, 유스 포인트(318)에 공급되는 오존수(공급 액체)의 압력이 목표로 되는 일정 압력에 대하여 증가한 경우, 즉, 압력 센서(316)에서 측정되는 오존수(공급 액체)의 압력이 목표로 되는 일정 압력에 대하여 증가한 경우에는, 배기구(323)로부터 배출되는 배기 가스(배출 기체)의 배출량을 증가시켜 기액 분리 탱크(312) 내의 압력을 낮춤으로써, 유스 포인트(318)에 공급하는 오존수(공급 액체)의 압력을 감소시킨다. 한편, 유스 포인트(318)에 공급되는 오존수(공급 액체)의 압력이 목표로 되는 일정 압력에 대하여 감소한 경우, 즉, 압력 센서(316)에서 측정되는 오존수(공급 액체)의 압력이 목표로 되는 일정 압력에 대하여 감소한 경우에는, 배기구(323)로부터 배출되는 배기 가스(배출 기체)의 배출량을 감소시켜 기액 분리 탱크(312) 내의 압력을 높임으로써, 유스 포인트(318)에 공급하는 오존수(공급 액체)의 압력을 증가시킨다. 이와 같이 하여, 유스 포인트(318)에 공급되는 오존수(공급 액체)의 압력을 일정하게 유지할 수 있다.
이상, 본 발명의 실시 형태를 예시에 의하여 설명했지만 본 발명의 범위는 이들에 한정되는 것은 아니며, 청구항에 기재된 범위 내에서 목적에 따라 변경·변형하는 것이 가능하다.
예를 들어 상기 실시 형태에서는, 오존 가스 또는 케미컬 원료(암모니아 등)와 물을 혼합하는 경우에 대하여 예시했지만, 다른 약제(예를 들어 H2CO3(탄산), HF(불산), DHF(희불산), BHF(버퍼드 불산, 즉 NH4F와 HF의 혼합물), HCl(염산, 희염산), H2SO4(황산, 희황산), HNO3(황산, 희황산), 왕수, 또는 이들을 혼합한 산 등)와 물을 혼합하는 것도 가능하다.
이상과 같이 본 발명에 관한 공급 액체 제조 장치는, 유스 포인트에서 필요로 되는 분만큼 공급 액체를 제조할 수 있다는 효과를 가지며, 반도체 디바이스나 액정 등의 전자 부품의 세정 등에 사용되어 유용하다.
100: 공급 액체 제조 장치
106: 오존 가스 생성부
111: 유량계(제2 유량 측정부)
112: 승압 펌프(승압 펌프부 또는 펌프)
113: 혼합기(혼합부)
114: 기액 분리 탱크(기액 분리 탱크부)
115: 수위 센서(액체량 측정부)
117: 유량계(유량 측정부)
119: 유스 포인트
124: 압력 릴리프 밸브
125: 배출구
126: 유량 제어부(승압 제어부)
127: 배기 압력 제어부
200: 공급 액체 제조 장치
211: 유량계(제2 유량 측정부)
205: 승압 펌프(승압 펌프부 또는 펌프)
206: 혼합기(혼합부)
207: 기액 분리 탱크(기액 분리 탱크부)
208: 수위 센서(액체량 측정부)
209: 수위 센서(액체량 측정부)
211: 유량계(유량 측정부)
213: 유스 포인트
215: 압력 릴리프 밸브
216: 배출구
217: 유량 제어부(승압 제어부)
218: 배기 압력 제어부
300: 공급 액체 제조 장치
307: 혼합부
311: 펌프
312: 기액 분리 탱크(기액 분리 탱크부)
313: 수위 센서(액체량 측정부)
315: 유량계(유량 측정부)
316: 압력 센서(압력 측정부)
318: 유스 포인트
322: 개방도 조정 밸브(배기 밸브)
324: 배기 제어부
325: 유량 제어부
3240: 유량 일정 제어부
3241: 압력 일정 제어부
3242: 제어 선택부

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  8. 제1 원료와 제2 원료를 혼합하여 혼합 액체를 생성하는 혼합부와,
    상기 혼합부에 공급되는 상기 제1 원료의 유량을 변경하는 펌프부와,
    상기 혼합부에 의하여 생성된 상기 혼합 액체를, 유스 포인트에 공급되는 공급 액체와 배기구로부터 배출되는 배출 기체로 기액 분리하는 기액 분리 탱크부와,
    상기 기액 분리 탱크부로부터 상기 유스 포인트에 공급되는 상기 공급 액체의 유량을 측정하는 제1 유량 측정부와,
    상기 배기구로부터 배출되는 상기 배출 기체의 배출량을 조정하는 배기 밸브와,
    상기 유스 포인트에 공급되는 상기 공급 액체의 유량을 일정 유량으로 유지하도록, 상기 제1 유량 측정부에서 측정한 상기 공급 액체의 유량에 따라, 상기 배기 밸브를 제어하여 상기 배기구로부터 배출되는 상기 배출 기체의 배출량을 조정하는 배기 제어부를
    구비하고,
    상기 배기 제어부는, 상기 제1 유량 측정부에서 측정한 상기 공급 액체의 유량이 상기 일정 유량에 대하여 증가한 경우에는 상기 배기구로부터 배출되는 상기 배출 기체의 배출량을 증가시키고, 상기 제1 유량 측정부에서 측정한 상기 공급 액체의 유량이 상기 일정 유량에 대하여 감소한 경우에는 상기 배기구로부터 배출되는 상기 배출 기체의 배출량을 감소시키는 것을 특징으로 하는, 공급 액체 제조 장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 제1 유량 측정부에서 측정한 상기 공급 액체의 유량에 따라, 상기 펌프부를 제어하여 상기 혼합부에 공급하는 상기 제1 원료의 유량을 조정하는 유량 제어부를 구비하고,
    상기 유량 제어부는, 상기 제1 유량 측정부에서 측정한 상기 공급 액체의 유량과 상기 혼합부에 공급하는 상기 제1 원료의 유량이 동일해지도록 제어하는, 공급 액체 제조 장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 혼합부에 공급하는 상기 제1 원료의 유량을 측정하는 제2 유량 측정부를 구비하는, 공급 액체 제조 장치.
  11. 제9항에 있어서,
    상기 기액 분리 탱크부 내의 액체량을 검지하는 액체량 측정부를 구비하고,
    상기 유량 제어부는, 상기 액체량 측정부에서 측정한 상기 기액 분리 탱크부 내의 액체량이 소정의 액체량에 대하여 증가한 경우에는 상기 혼합부에 공급하는 상기 제1 원료의 유량을 적게 하고, 상기 액체량 측정부에서 측정한 상기 기액 분리 탱크부 내의 액체량이 소정의 액체량에 대하여 감소한 경우에는 상기 혼합부에 공급하는 상기 제1 원료의 유량을 증가시키는, 공급 액체 제조 장치.
  12. 제1 원료와 제2 원료를 혼합부에서 혼합하여 혼합 액체를 생성하는 스텝과,
    상기 혼합부에서 생성된 상기 혼합 액체를, 유스 포인트에 공급되는 공급 액체와 배기구로부터 배출되는 배출 기체로 기액 분리 탱크부에서 기액 분리하는 스텝과,
    상기 기액 분리 탱크부로부터 상기 유스 포인트에 공급되는 상기 공급 액체의 유량을 제1 유량 측정부에서 측정하는 스텝과,
    상기 유스 포인트에 공급되는 상기 공급 액체의 유량을 일정 유량으로 유지하도록, 상기 제1 유량 측정부에서 측정한 상기 공급 액체의 유량에 따라, 상기 배기구로부터 배출되는 상기 배출 기체의 배출량을 배기 밸브로 조정하는 스텝을
    포함하고,
    상기 배출 기체의 배출량을 조정하는 스텝에서는, 상기 제1 유량 측정부에서 측정한 상기 공급 액체의 유량이 상기 일정 유량에 대하여 증가한 경우에는 상기 배기구로부터 배출되는 상기 배출 기체의 배출량을 증가시키고, 상기 제1 유량 측정부에서 측정한 상기 공급 액체의 유량이 상기 일정 유량에 대하여 감소한 경우에는 상기 배기구로부터 배출되는 상기 배출 기체의 배출량을 감소시키는 것을 특징으로 하는, 공급 액체 제조 방법.
  13. 제1 원료와 제2 원료를 혼합하여 혼합 액체를 생성하는 혼합부와,
    상기 혼합부에 공급되는 상기 제1 원료의 유량을 변경하는 펌프부와,
    상기 혼합부에 의하여 생성된 상기 혼합 액체를, 유스 포인트에 공급되는 공급 액체와 배기구로부터 배출되는 배출 기체로 기액 분리하는 기액 분리 탱크부와,
    상기 기액 분리 탱크부로부터 상기 유스 포인트에 공급되는 상기 공급 액체의 압력을 측정하는 압력 측정부와,
    상기 배기구로부터 배출되는 상기 배출 기체의 배출량을 조정하는 배기 밸브와,
    상기 유스 포인트에 공급되는 상기 공급 액체의 압력을 일정 압력으로 유지하도록, 상기 압력 측정부에서 측정한 상기 공급 액체의 압력에 따라, 상기 배기 밸브를 제어하여 상기 배기구로부터 배출되는 상기 배출 기체의 배출량을 조정하는 배기 제어부를
    구비하고,
    상기 배기 제어부는, 상기 압력 측정부에서 측정한 상기 공급 액체의 압력이 상기 일정 압력에 대하여 증가한 경우에는 상기 배기구로부터 배출되는 상기 배출 기체의 배출량을 증가시키고, 상기 압력 측정부에서 측정한 상기 공급 액체의 압력이 상기 일정 압력에 대하여 감소한 경우에는 상기 배기구로부터 배출되는 상기 배출 기체의 배출량을 감소시키는 것을 특징으로 하는, 공급 액체 제조 장치.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 기액 분리 탱크부로부터 상기 유스 포인트에 공급되는 상기 공급 액체의 유량을 측정하는 제1 유량 측정부와,
    상기 제1 유량 측정부에서 측정한 상기 공급 액체의 유량에 따라, 상기 펌프부를 제어하여 상기 혼합부에 공급하는 상기 제1 원료의 유량을 조정하는 유량 제어부를
    구비하고,
    상기 유량 제어부는, 상기 제1 유량 측정부에서 측정한 상기 공급 액체의 유량과 상기 혼합부에 공급하는 상기 제1 원료의 유량이 동일해지도록 제어하는, 공급 액체 제조 장치.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 혼합부에 공급하는 상기 제1 원료의 유량을 측정하는 제2 유량 측정부를 구비하는, 공급 액체 제조 장치.
  16. 제14항에 있어서,
    상기 기액 분리 탱크부 내의 액체량을 검지하는 액체량 측정부를 구비하고,
    상기 유량 제어부는, 상기 액체량 측정부에서 측정한 상기 기액 분리 탱크부 내의 액체량이 소정의 액체량에 대하여 증가한 경우에는 상기 혼합부에 공급하는 상기 제1 원료의 유량을 적게 하고, 상기 액체량 측정부에서 측정한 상기 기액 분리 탱크부 내의 액체량이 소정의 액체량에 대하여 감소한 경우에는 상기 혼합부에 공급하는 상기 제1 원료의 유량을 증가시키는, 공급 액체 제조 장치.
  17. 제1 원료와 제2 원료를 혼합하여 혼합부에서 혼합 액체를 생성하는 스텝과,
    상기 혼합부에서 생성된 상기 혼합 액체를, 유스 포인트에 공급되는 공급 액체와 배기구로부터 배출되는 배출 기체로 기액 분리 탱크부에서 기액 분리하는 스텝과,
    상기 기액 분리 탱크부로부터 상기 유스 포인트에 공급되는 상기 공급 액체의 압력을 압력 측정부에서 측정하는 스텝과,
    상기 유스 포인트에 공급되는 상기 공급 액체의 압력을 일정 압력으로 유지하도록, 상기 압력 측정부에서 측정한 상기 공급 액체의 압력에 따라, 상기 배기구로부터 배출되는 상기 배출 기체의 배출량을 배기 밸브로 조정하는 스텝을
    포함하고,
    상기 배출 기체의 배출량을 조정하는 스텝에서는, 상기 압력 측정부에서 측정한 상기 공급 액체의 압력이 일정 압력에 대하여 증가한 경우에는 상기 배기구로부터 배출되는 상기 배출 기체의 배출량을 증가시키고, 상기 압력 측정부에서 측정한 상기 공급 액체의 압력이 일정 압력에 대하여 감소한 경우에는 상기 배기구로부터 배출되는 상기 배출 기체의 배출량을 감소시키는 것을 특징으로 하는, 공급 액체 제조 방법.
  18. 제1 원료와 제2 원료를 혼합하여 혼합 액체를 생성하는 혼합부와,
    상기 혼합부에 공급되는 상기 제1 원료의 유량을 변경하는 펌프부와,
    상기 혼합부에 의하여 생성된 상기 혼합 액체를, 유스 포인트에 공급되는 공급 액체와 배기구로부터 배출되는 배출 기체로 기액 분리하는 기액 분리 탱크부와,
    상기 기액 분리 탱크부로부터 상기 유스 포인트에 공급되는 상기 공급 액체의 유량을 측정하는 제1 유량 측정부와,
    상기 기액 분리 탱크부로부터 상기 유스 포인트에 공급되는 상기 공급 액체의 압력을 측정하는 압력 측정부와,
    상기 배기구로부터 배출되는 상기 배출 기체의 배출량을 조정하는 배기 밸브와,
    상기 유스 포인트에 공급되는 상기 공급 액체의 유량을 일정 유량으로 유지하도록, 상기 제1 유량 측정부에서 측정한 상기 공급 액체의 유량에 따라, 상기 배기 밸브를 제어하여 상기 배기구로부터 배출되는 상기 배출 기체의 배출량을 조정하는 유량 일정 제어부와,
    상기 유스 포인트에 공급되는 상기 공급 액체의 압력을 일정 압력으로 유지하도록, 상기 압력 측정부에서 측정한 상기 공급 액체의 압력에 따라, 상기 배기 밸브를 제어하여 상기 배기구로부터 배출되는 상기 배출 기체의 배출량을 조정하는 압력 일정 제어부와,
    상기 유량 일정 제어부에 의하여 상기 배출 기체의 배출량을 조정하는 유량 일정 제어와,
    상기 압력 일정 제어부에 의하여 상기 배출 기체의 배출량을 조정하는 압력 일정 제어 중 어느 한쪽을 선택하는 제어 선택부를
    구비하고,
    상기 제어 선택부에 의하여 상기 유량 일정 제어가 선택된 경우에는 상기 유량 일정 제어부는, 상기 제1 유량 측정부에서 측정한 상기 공급 액체의 유량이 상기 일정 유량에 대하여 증가한 때 상기 배기구로부터 배출되는 상기 배출 기체의 배출량을 증가시키고, 상기 유량 측정부에서 측정한 상기 공급 액체의 유량이 상기 일정 유량에 대하여 감소한 때 상기 배기구로부터 배출되는 상기 배출 기체의 배출량을 감소시키고,
    상기 제어 선택부에 의하여 상기 압력 일정 제어가 선택된 경우에는 상기 압력 일정 제어부는, 상기 압력 측정부에서 측정한 상기 공급 액체의 압력이 상기 일정 압력에 대하여 증가한 때 상기 배기구로부터 배출되는 상기 배출 기체의 배출량을 증가시키고, 상기 압력 측정부에서 측정한 상기 공급 액체의 압력이 상기 일정 압력에 대하여 감소한 때 상기 배기구로부터 배출되는 상기 배출 기체의 배출량을 감소시키는 것을 특징으로 하는, 공급 액체 제조 장치.
  19. 제1 원료와 제2 원료를 혼합부에서 혼합하여 혼합 액체를 생성하는 스텝과,
    상기 혼합부에서 생성된 상기 혼합 액체를, 유스 포인트에 공급되는 공급 액체와 배기구로부터 배출되는 배출 기체로 기액 분리 탱크부에서 기액 분리하는 스텝과,
    상기 기액 분리 탱크부로부터 상기 유스 포인트에 공급되는 상기 공급 액체의 유량을 유량 측정부에서 측정하는 스텝과,
    상기 기액 분리 탱크부로부터 상기 유스 포인트에 공급되는 상기 공급 액체의 압력을 압력 측정부에서 측정하는 스텝과,
    상기 유스 포인트에 공급되는 상기 공급 액체의 유량을 일정 유량으로 유지하도록, 상기 유량 측정부에서 측정한 상기 공급 액체의 유량에 따라, 배기 밸브를 제어하여 상기 배기구로부터 배출되는 상기 배출 기체의 배출량을 조정하는 유량 일정 제어와, 상기 유스 포인트에 공급되는 상기 공급 액체의 압력을 일정 압력으로 유지하도록, 상기 압력 측정부에서 측정한 상기 공급 액체의 압력에 따라, 상기 배기 밸브를 제어하여 상기 배기구로부터 배출되는 상기 배출 기체의 배출량을 조정하는 압력 일정 제어 중 어느 한쪽을 선택하는 스텝을
    포함하고,
    상기 유량 일정 제어가 선택된 경우에는, 상기 유량 측정부에서 측정한 상기 공급 액체의 유량이 상기 일정 유량에 대하여 증가한 때 상기 배기구로부터 배출되는 상기 배출 기체의 배출량을 증가시키고, 상기 유량 측정부에서 측정한 상기 공급 액체의 유량이 상기 일정 유량에 대하여 감소한 때 상기 배기구로부터 배출되는 상기 배출 기체의 배출량을 감소시키고,
    상기 압력 일정 제어가 선택된 경우에는, 상기 압력 측정부에서 측정한 상기 공급 액체의 압력이 상기 일정 압력에 대하여 증가한 때 상기 배기구로부터 배출되는 상기 배출 기체의 배출량을 증가시키고, 상기 압력 측정부에서 측정한 상기 공급 액체의 압력이 상기 일정 압력에 대하여 감소한 때 상기 배기구로부터 배출되는 상기 배출 기체의 배출량을 감소시키는 것을 특징으로 하는, 공급 액체 제조 방법.
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