KR100307174B1

KR100307174B1 - 액정패널의제조방법및제조장치

Info

Publication number: KR100307174B1
Application number: KR1019980038616A
Authority: KR
Inventors: 마코토 요코제키
Original assignee: 모리시타 요이찌; 마쯔시다덴기산교 가부시키가이샤
Priority date: 1997-09-19
Filing date: 1998-09-18
Publication date: 2002-07-18
Also published as: TW384411B; KR19990029922A; JPH1195230A; CN1212380A; US6128066A

Abstract

본 발명은 액정패널의 제조방법 및 제조장치에 관한 것으로서, 특히 1쌍의 기판을 밀봉부재를 개재해서 소정의 갭을 형성해서 맞붙이고, 밀봉부재를 경화시키는 방법 및 장치를 제공하는 것을 목적으로 한 것이며, 그 구성에 있어서, 1쌍의 기판(1),(2)을 밀봉부재(3)를 개재해서 맞붙여서 이루어진 셀(4)을 대략 박스형상의 하우징유닛(housing unit)(30)내의 베이스에 재치하고, 반대쪽으로부터 탄성평판(41)에 공기압을 가해서 가압평판(43)에 의해 셀(4)을 끼워유지하면서 가압하고, 이 가압상태인 채로, 밀봉부재(3)의 개구부로부터 진공화하고, 이 상태를 유지하면서 하우징유닛전체면을 항온조내에서 점차적으로 가열해서 밀봉부재를 경화시키고 기판의 변형이나, 밀봉부재의 찌그러짐이나 박리, 기판사이의 갭 어긋남이나 얼라이먼트위치어긋남을 발생하지 않도록 하는 것을 특징으로 한 것이다.

Description

액정패널의 제조방법 및 제조장치{MANUFACTURING METHOD & EQUIPMENT OF LIQUID CRYSTAL DISPLAY PANEL}

본 발명은 액정패널의 제조방법 및 제조장치, 특히 1쌍의 기판을 밀봉부재를 개재해서 소정의 갭을 형성해서 맞붙이고, 밀봉부재를 경화시키는 방법 및 장치에관한 것이다.

도 6에 표시한 바와 같이, 액정패널은, 쌍으로 되는 2매의 기판(어레이칩이 형성된 유리기판과, 이것과 대향하는 컬러필터가 형성된 유리기판)(1),(2)를 각각 배향인쇄해서 러빙처리한 후, 얼라이먼트처리하고, 이들기판(1),(2)를 밀봉부재(3)를 개재해서 맞붙여서 셀(4)을 형성하고, 액정을 밀봉부재의 개구부(5)로부터 기판(1),(2)의 사이에 주입하여 봉하여 막음으로써 제작된다. 또한, 도 6에 있어서 (6)은 기판(1),(2)를 임시고정하는 임시고정부재이다.

기판(1),(2)사이의 갭을 설계치수에 들어 맞게 하면서의 종래의 밀봉제경화방법으로서는, 진공팩을 사용한 진공팩법, 가열한 열판으로 프레스하는 열판프레스법, 진공가압법 등이 있다.

진공팩법은, 도 7에 표시한 바와 같이, 각 기판(1),(2)를 얼라이먼트해서, 밀봉부재(3)를 개재해서 맞붙여서 이루어진 셀(4)을 진공팩용의 주머니(7)에 삽입하고, 주머니채로 진공체임버에 넣어서 진공화하고, 그리고, 목표의 진공압에 도달한 단계에서, 주머니(7)의 개구(7a)(도 7의 1점쇄선부분)를 가열용착해서 밀폐하고, 대기압으로 되돌려서 가압상태로하여,주머니(7)채로 가열로에 투입해서 셀(4)전체를 서서히 가열해서 밀봉부재(3)를 경화시킴으로써 행하여진다.

또, 열판프레스법은, 도 8이나 도 9에 표시한 바와 같이, 상하에 슬라이드자재한 다층의 열판(11)의 사이에 기판(1),(2)를 얼라이먼트해서 밀봉부재(3)를 개재해서 맞붙인 셀(4)를 삽입하고, 이 셀(4)를 열판(11)에 의해 사이에 끼워 유지시킨상태에서 도시생략의 프레스장치에 의해서 가압하는 동시에, 열판(11)에 붙인 히터판(도시생략)에 의해 열판(11)을 개재해서 셀(4)를 승온시켜서 밀봉부재(3)를 경화시킴으로써 행한다.

또, 진공가압법은, 도 10에 표시한 바와 같이, 중앙부가 벌어진 대략 4각형의 1쌍의 외부프레임(15)의 중앙부에 금속막(16)을 용착해서 이루어진 상하 1쌍의 수용프레임(17),(18)을 O링(19)를 개재해서 상하로부터 밀착시키고, 금속막(16)의사이에 셀(4)를 삽입한 상태에서, 수용프레임(17),(18)의 금속막(16)사이의 공간부를 진공화해서 금속막(16)의 사이에 끼워 유지시킨 상태에서 승온하여, 밀봉부재(3)를 경화시킴으로써 행한다. 또한, 승온시킬 때에는, 금속막(16)에 구김살이 발생해서 셀(4)의 가열이 불균일하게 되는 것을 방지하기 위해, 외부프레임(15)의 온도가 금속막(16)의 온도 보다도 높아지도록 설정해서, 금속막(16)에 대해서 장력이 걸리도록 한다. 또, 도 10에 있어서의 (20)은 외부프레임(15)에 내장되어 있는 히터, (21)은 금속막(16)의 외면에 배설되어 있는 히터이다.

그러나, 종래의 액정패널의 제조방법에 의하면, 각각 이하와 같은 과제가 발생하고 있었다.

진공팩법에 있어서는, 셀(4)의 밀봉부재 개구부(5)의 개구단면적이 극히 작기(예를 들면 5μ×5㎜) 때문에, 진공화를 행할때, 주머니(7)의 내부에 있어서의 셀(4)의 외부의 압력은 신속히 진공쪽으로 저하하기만하고, 셀(4)의 기판(1),(2)사이의 공기가 신속히는 배출되지 않기 때문에 압력의 저하가 외부보다도 지연되고, 셀(4)의 내압이 셀(4)의 외부보다도 높게 되어서, 도 11에 표시한 바와 같이,셀(4)의 기판(1),(2)이 부풀어오르는 것 같이 변형한다. 또, 셀(4)내에서 발생하는 휘발성분도 셀(4)내에 괴기 쉽고, 이에 의해서도, 셀(4)의 기판(1),(2)이 부풀어 오르는 것 같이 변형하고 있다.

그 결과, 이 기판(1),(2)사이의 용적이 증가해서, 진공화를 더욱 지연 하도록 작용한다. 또, 상기와 같은 기판(1),(2)의 변형에 의해 기판(1),(2)이 밀봉부재 (3)나 임시고정재(6)를 변형하거나, 박리하거나, 기판(1),(2)사이의 갭어긋남이나 얼라이먼트위치어긋남을 발생하거나 하는 일이 있었다. 또, 주머니(7)를 개방해서 대기압으로 되돌릴 때에 셀(4)이 구속되어 있지 않기 때문에, 기판(1),(2)의 구성의 차이에 의한 탄성율의 차이나, 기판(1),(2)에 작용하는 압력의 차이 등에 의해, 기판(1),(2)이 변형해서 마찬가지인 문제를 발생하는 일이 있었다.

또, 밀봉부재(3)의 경화온도가 주머니(7)의 내열온도에 가깝기 때문에, 온도를 밀봉부재(3)의 경화에 충분한 높은 온도까지 올릴 수 없고, 밀봉부재(3)의 경화가 불충분하거나, 임시고정부재(6)가 연화해서 얼라이먼트 정밀도가 나빠지는 일이 있었다.

또, 셀(4)내에서 발생하는 휘발성분에 의해 셀(4)의 내압이 상승해서 기판(1),(2)사이의 갭을 양호한 상태로 유지할 수 없다고 하는 과제도 있었다.

열판프레스법에 있어서는, 열판(11)의 온도분포의 정밀도를 양호하게 유지하는 것이, 곤란하기 때문에, 각 기판(1),(2)에 있어서 각각 열팽창얼룩이 생기고, 그 결과, 얼라이먼트정밀도가 악화하는 일이 있었다. 또, 각 기판(1),(2)을 열판(11)에 끼운 상태에서 프레스장치에 의해 프레스하는 구성이기 때문에, 장치전체가 큰 규모가 되는 것에 비해, 처리능력이 낮다고 하는 과제도 있었다.

진공가압법에 있어서는, 히터(20)에 의해 금속막(16)을 개재해서 셀(4)을 가열하겠지만, 금속막(16)은 얇아서 열전도율이 높기 때문에, 히터(20)에 의해 셀(4)을 직접 가열하는 경우와 거의 마찬가지로 되고, 히터(20)에 의한 가열온도 불균일의 영향을 받아서, 열판프레스법의 경우와 마찬가지로, 각 기판(1),(2)에 있어서 각각 열팽창얼룩을 생기게 하고, 그 결과, 얼라이먼트정밀도가 악화하는 일이 있었다. 또, 금속막(16)이 장력이 걸리면서 비례한계까지 펴게하므로, 금속막(16)을외부프레임(15)에 용착하는 용접부분이 피로하고, 이 개소에서 금속막(16)이 파손해서 가압할 수 없게 되는 일이 있었다. 또, 금속막(16)이 바깥면쪽부터, 대기압에 의해 셀(4)쪽으로 압압되나, 이 때에 셀(4)의 모서리에서 금속막(16)이 상처가나서 파손하는 일이 있기 때문에, 이와 같은 것을 방지하기 위하여 셀(4)의 외형치수나 두께에 맞추어진 금속프레임을 제작해서 셀(4)에 덮게하는 것을 요하며, 작업성이 나쁘다. 또, 히터(20),(21)를 제어하기 위한 열전쌍도 결합하지 않으면 안되어, 이들 히터(20),(21)나 열전쌍을 진공화용 배관 등과 함께 배선, 배관접속을 하지 않으면 안되기 때문에, 복수의 수용프레임(17),(18)의 유닛을 배설하는 경우에는 이들 배선, 배관접속이 곤란하게 되는 동시에, 설비비가 고액으로 된다고 하는 과제도 있었다.

본 발명은 상기 과제를 해결하는 것으로서, 기판의 변형이나, 밀봉부재의 찌그러짐이나 박리, 기판간의 갭 어긋남이나 얼라이먼트위치어긋남을 발생시키는 일없이, 밀봉부재를 양호하게 경화시킬 수 있고, 장치가 그다지 대규모로 되는 일이 없으며, 설비비도 그다지 고액으로 되는 일이 없는 액정패널의 제조방법 및 제조장치를 제공하는 것을 목적으로 하는 것이다.

도 1은 본 발명의 실시형태에 관한 액정패널의 제조장치의 하우징유닛을 표시한 종단면도,

도 2는 동하우징유닛의 가압공정을 표시한 종단면도,

도 3은 동액정패널의 제조장치의 부분절개사시도,

도 4(a), 도 4(b)는 각각 액정패널의 제조방법의 공정을 설명하기 위한 하우징유닛의 측면도,

도 5는 본 발명의 다른 실시형태에 관한 액정패널의 제조장치의 하우징유닛을 표시한 종단면도,

도 6은 셀의 사시도,

도 7은 종래의 밀봉제경화방법의 하나인 진공팩법을 설명하기 위한 사시도,

도 8은 종래의 밀봉제경화방법의 하나인 열판프레스법을 설명하기 위한 사시도,

도 9는 종래의 밀봉제경화방법의 하나인 다른 열판프레스법을 설명하기 위한 사시도,

도 10은 종래의 밀봉제경화방법의 하나인 진공가압법을 설명하기 위한 단면사시도,

도 11은 종래의 밀봉제경화방법의 문제를 설명하기 위한 단면도.

도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명

1, 2 : 기판3 : 밀봉부재

4 : 셀5: 개구부

30 : 하우징유닛31 : 상부덮개부

31a : 가압실32 : 유닛본체

32a : 베니스34 : 0링(시일부)

35 : 수납실36 : 배기통로

37 : 탄성밀봉재41 : 탄성평판

43 : 가압평판46 : 공기공급통로

50 : 항온조51 : 선반

상기 과제를 해결하기 위하여 본 발명은, 1쌍의 기판을 밀봉부재를 개재해서 맞붙여서 셀을 형성하고, 액정을 밀봉부재의 개구부로부터 기판의 사이에 주입함으로써 액정패널을 제작하는 액정패널의 제조방법으로서 밀봉부재를 개재해서 맞붙인 기판을 양쪽으로부터 끼워유지해서 가압하고, 이 가압상태인 채로, 기판사이의 밀봉부재의 개구부로부터 진공화 하고, 이 상태를 유지하면서 하우징유닛전체를 항온조내에서 가열해서 밀봉부재를 경화시키는 것이며, 이에 의해, 기판의 변형이나, 밀봉부재의 찌그러짐이나 박리, 기판간의 갭어긋남이나 얼라이먼트 위치어긋남을 발생하는 일이 없고, 밀봉부재를 양호하게 경화시킬 수 있고, 장치가 그다지 큰 규모로 되는 일이 없이, 설비비도 지나치게 고액으로 되는 일 없는 액정패널의 제조방법을 얻을 수 있다.

본 발명의 액정패널의 제조장치는, 대략 박스형상이며 상부 덮개부분이 개폐자재한 하우징유닛에, 하우징유닛내부를 밀폐하는 밀봉부와, 기판사이에 밀봉부재를 개재해서 맞붙여서 이루어진 셀을 재치하기 위한 베이스와, 베이스에 대향하도록 배치되어서 공기압이 걸리게 하여 팽창하는 힘에 의해 베이스과의 사이에서 셀을 사이에 끼워유지하면서 가압하는 탄성유지부와, 하우징유닛내부로 연통되어서, 외부의 진공화장치에 접속된 진공화통로로 접속되는 배기통로가 형성되어서 이루어진 것이며, 이에 의해, 밀봉부재를 양호하게 경화시킬 수 있다.

청구항 1에 기재의 본 발명은, 1쌍의 기판을 밀봉부재를 개재해서 맞붙여서 셀을 형성하고, 액정을 밀봉부재의 개구부로부터 기판사이에 주입함으로써 액정패널을 제작하는 액정패널의 제조방법으로서, 1쌍의 기판을 밀봉부재를 개재해서 대향하는 각각의 상면 및 하면의 주변에서 한쌍의 기판을 맞붙임에 있어서, 이를 기판을 양쪽에서 끼워유지해서 가압하고, 이 가압상태인 채로, 기판사이의 밀봉부재의 개구부로부터 진공화하고, 이 상태를 유지하면서 셀전체를 항온조내에서 서서히 가열해서 밀봉부재를 경화시키는 것이다.

상기 방법에 의해, 기판을 양쪽에서 끼워 유지해서 가압한 상태에서 기판사이의 밀봉부재의 개구부로부터 진공화하기 때문에, 기판의 변형이나, 밀봉부재의 찌그러짐이나 박리, 기판사이의 갭어긋남이나 얼라이먼트위치어긋남을 발생하거나 하는 일없이, 기판사이의 공기나 휘발성분이 셀의 외부로 신속히 배출되고, 밀봉부재를 양호하게 경화시킬 수 있다. 또, 가열시에, 셀전체를 항온조에 넣어서 서서히 승온함으로, 셀전체를 안정된 상태에서 가열할 수 있어서, 기판에 있어서 열팽창얼룩을 발생하거나, 얼라이먼트정밀도가 악화하거나 하는 일을 방지할 수 있다.

청구항 2에 기재의 본 발명에 관한 액정패널의 제조장치는, 대략 박스형상으로 상부 덮개부가 개폐자재한 하우징유닛에, 하우징유닛내부를 밀폐하는 밀봉부와, 1쌍의 기판을 밀봉부재를 개재해서 맞붙여서 이루어진 셀을 재치하는 베이스와, 이베이스와 대향하도록 배치되어서 공기압이 가해져서 팽창하는 힘에 의해 베이스와의 사이에서 셀을 끼워 유지하면서 가압하는 탄성유지부와, 하우징유닛내부에 연통되어서, 외부의 진공화장치에 접속된 진공화 통로에 접속되는 배기통로를 구비한 것이다. 이 구성에 의해, 비교적 값싼 설비비에 의해, 밀봉부재를 양호하게 경화시킬 수 있다.

청구항 3에 기재의 본 발명은, 상기 청구항 2에 기재의 액정패널의 제조장치에 있어서, 탄성유지부가 가압평판을 개재해서 패널면을 압압하도록 한 것이다.

이 구성에 의해 탄성유지부도 올바른 평면으로 규제유지할 수 있다.

청구항 4에 기재의 본 발명은, 하우징유닛을 서서히 승온, 강온시키는 항온조를 구비한 것으로서, 이에 의해, 하우징유닛전체를 균일하게 가열, 냉각할 수 있고, 베이스나 가압평판 등에 휘어짐이나 변형을 발생시키는 일없이 올바른 평면을얻을 수 있다.

청구항 5에 기재의 본 발명은, 항온조내에 다단의 선반을 설치하고, 동시에 많은 하우징유닛을 수납할 수 있도록 했다. 이 구성에 의해, 항온조내에 다수의 하우징유닛을 수납해서 균일하게 경화를 행할 수 있어, 생산성을 향상시킬 수 있다.

이하, 본 발명의 실시형태에 대해서, 도 1∼도 5를 사용해서 설명한다. 도 1은 본 발명의 실시형태에 관한 액정패널의 제조장치의 하우징유닛을 표시한 종단면도, 도 2는 동하우징유닛의 가압공정을 표시한 종단면도, 도 3은 동액정패널의 제조장치의 부분절개사시도, 도 4의 (a),(b)는 각각 액정패널의 제조방법의 공정을설명하기 위한 하우징유닛의 측면도이다. 또한, 액정패널(셀)자체의 구조는 종래와 마찬가지이기 때문에, 동일 기능의 것에는 동일부호를 부여해서, 그 설명은 생략한다.

도 1∼도 4에 있어서, (30)은 대략 박스형상으로 상부덮개부(31)가 유닛본체(32)에 대해서 부래킷(33)(도 4참조)을 개재해서 개폐자재한 하우징유닛이다. 이 하우징유닛(30)에 있어서의 유닛본체(32)와 상부덮개부(31)의 접합면 바깥둘레 접근개소에는, 하우징유닛(30)내부를 밀폐하는 밀봉부로서의 O링(34)이 배설되어 있다. 또, 하우징유닛(30)내부에는, 기판(1),(2)끼리를 밀봉부재(3)를 개재해서 맞붙여서 이루어진 셀(4)을 수납하는 수납실(35)이 형성되고, 유닛본체(32)의 중앙부 윗면에는, 셀(4)을 재치하기 위한 베이스(32a)가 형성되어 있다. 또, 유닛본체(32)에는 외부와 연통하는 배기통로(36)가 가로방향으로 관통해서 형성되고, 이 배기통로(36)의 외부면부분에는 탄성밀봉재(37)가 고착되어서, 이 탄성밀봉재(37)에, 선단부에 진공패드(38a)가 형성되어 있는 진공화통로(38)(도 3참조)가 압압되어서 배기통로(36)를 개재해서 수납실(35)에 연통할 수 있도록 되어 있다.

상부 덮개부(31)의 하부면에는 탄성을 가진 평판형상의 탄성평판(41)이 배설되고, 이 탄성평판(41)의 둘레부분이 볼트(42)에 의해 상부덮개부(31)의 하부면에 장착되어 있다. 또, 탄성평판(41)의 하부면에는, 비교적 경질이며 평판형상의 가압평판(43)이 볼트(44)에 의해 장착되어 있다. 또, 상부덮개부(31)의 하부면에 있어서의 탄성평판(41)을 향하는 개소에는 가압용 압축공기가 공급되는 가압실(31a)이 형성되고, 이 가압실(31a)에는 개폐밸브(45)부착의공기공급통로(46)가 외부로부터 접속되어 있다.

또, 도 3에 있어서의 (50)은 이 하우징유닛(30)을 수용하는 항온조이고, 내부에 복수단 배설된 선반(51)에 하우징유닛(30)을 각각 수용할 수 있도록 되어 있다.

상기 구성에 있어서, 1쌍의 기판(1),(2)을 밀봉부재(3)를 개재해서 맞붙여서 이루어진 셀(4)은, 도 4의 (a),(b)에 표시한 바와 같이, 하우징유닛(30)내부에 수납되어서 유닛본체(32)의 베이스(32a)에 얹어 재치된다. 그리고, 도 1에 표시한바와 같이, 상부 덮개부(31)가 폐쇄되어서 하우징유닛(30)의 내부의 수납실(35)이 O링(34)에 의해 밀폐된다. 이 상태의 하우징유닛(30)이 항온조(50)의 선반(51)에 수납되고, 각 하우징유닛(30)에 공기 공급통로(46)나 진공화통로(38)가 접속된다.

그리고, 먼저, 진공화를 행하지 않는 상태에서, 공기공급통로(46)를 통해서 가압실(31a)내에 압축공기가 밀어 넣어진다. 이에 의해, 도 2에 표시한 바와 같이, 탄성평판(41)이 아래쪽으로 팽창하고, 탄성평판(41)에 장착된 가압평판(43)에 의해 셀(4)이 베이스(32a)와의 사이에서 기판(1),(2)의 양쪽에서 끼워유지된 자세로 압압된다.

다음에, 이 가압상태인채로, 진공화통로(38)를 통해서 수납실(35)내가 진공화되고, 이에 따라서, 기판(1),(2)사이의 밀봉부재(3)에 의해 둘러싸인 공간의 공기도 개구부(5)(도 6참조)로부터 흡인되어서 배기된다. 이 진공화할 때, 기판(1),(2)이 끼워유지되어 가압되고 있고, 소정자세로 유지되어 있기 때문에, 종래 발생하고 있었던 것과 같은 기판(1),(2)의 변형이나, 밀봉부재(3)의 찌그러짐이나 박리, 기판(1),(2)사이의 갭어긋남이나 얼라이먼트위치어긋남을 발생하거나 하는 일없이, 기판(1),(2)사이의 공기나 휘발성분은 셀(4)의 외부로 양호하게 배출된다.

진공화가 종료하면, 이 가압진공상태를 유지하면서, 항온조(50)내를 서서히 승온시킨다. 이에 의해, 셀(4)전체가 소정의 안정된 자세로 유지되고, 또한 항온조(50)내의 균일한 온도분포를 유지하면서, 밀봉부재(3)가 양호하게 경화되게 되며, 기판(1),(2)에 있어서 각각 팽창얼룩을 발생하거나, 얼라이먼트정밀도가 악화하거나 하는 일은 없다. 또, 밀봉부재(3)나 임시고정재(6)(도 6참조)가 확실하게 경화하는 온도까지, 지장없이 승온시킬 수 있기 때문에, 밀봉부재(3)의 경화가 불충분하거나, 임시고정재(6)가 연화한 채로 있거나 하는 일은 없다.

밀봉부재(3)가 경화하는 온도로 소정시간 유지되어서, 밀봉부재(3)의 경화가 종료하면, 항온조(50)내의 온도를 서서히 실내온도까지 내리고, 그후, 진공화를 중지해서 대기압으로 되돌린다. 이때, 압압판(43)에 의해서 셀(4)은 기판(1),(2)의 양면에서 끼워유지되어 가압된 상태로 구속되어 있다. 따라서, 온도가 내려지거나, 대기압으로 되돌려지거나 할 때에도,기판(1),(2)의 구성의 차이에 의한 탄성율의 차이나 기판(1),(2)에 작용하는 압력차 등에 의한 기판(1),(2)의 변형은 발생하는 일은 없고, 기판(1),(2)사이의 갭어긋남이나 얼라이먼트위치어긋남도 발생하지 않는다.

그리고, 마지막으로, 가압실(31a)내에 밀어 넣어져 있던 압축공기가 서서히 빠지고, 가압상태가 해제되어서 종료된다. 이 경우에도, 기판(1),(2)의 평면부전체면이 압압된 상태에서 서서히 그 압압력이 감소되기 때문에, 기판(1),(2)의 일부에 무리한 힘이 작용하는 일은 없고, 이에 의해서도, 기판(1),(2)의 변형이나 갭어긋남이나 얼라이먼트위치어긋남은 방지된다.

또, 상기와 같이, 항온조(50)내에 복수개의 셀(4)을 수납해서 안정적으로 밀봉부재(3)를 경화시킬 수 있기 때문에, 종래와 같은 프레스장치 등을 설치하거나 하는 일이 없이, 비교적 소규모인 장치에 의해 값싼 설비비로 해결되면서, 복수개의 셀(4)을 한꺼번에 처리할 수 있어서 처리능력을 높이고, 생산성이 향상한다.

또한, 상기 실시형태에 있어서는, 상부덮개부(31)의 하부면에, 탄성을 가진 평판형상의 탄성평판(41)을 배설하는 동시에, 이 탄성평판(41)의 하부면에 가압평판(43)을 장착하고, 이들의 탄성평판(41) 및 가압평판(43)에 의해, 셀(4)을 가압하는 탄성유지부를 구성했으나, 이에 한정되는 것이 아니고, 도 5에 표시한 바와 같이, 가압평판(43)을 설치하지 않고, 탄성평판(41)에 의해 셀(4)을 직접 가압하도록 구성해도 된다.

이상과 같이 본 발명에 의하면, 1쌍의 기판을 밀봉부재를 개재해서 맞붙임에 있어서, 이들 기판을 양면에서 끼워 유지해서 가압하고, 이 가압상태인 채로, 기판사이의 밀봉부재의 개구부로부터 진공화하고, 이 상태를 유지하면서 셀전체를 가열해서 밀봉부재를 경화시킴으로써, 기판을 양면으로부터 끼워유지해서 가압한 상태에서 기판사이의 밀봉부재의 개구부로부터 진공화하기 때문에, 기판의 변형이나 밀봉부재의 찌그러짐이나 박리, 기판사이의 갭 어긋남이나 얼라이먼트위치어긋남을 발생시키거나 하는 일없고, 기판사이의 공기나 휘발성분이 셀의 외부로 재빠르게 배출되어, 밀봉부재를 양호하게 경화시킬 수 있다.

또, 가열시에, 셀전체를 항온조에 넣어서 서서히 승온함으로써, 셀전체를 안정된 상태에서 가열할 수 있어서, 기판에 있어서 각각 열팽창얼룩을 생기게 하거나, 얼라이먼트정밀도가 악화하거나 하는 것을 더욱더 확실하게 방지할 수 있다.

또, 대략 박스형상의 하우징유닛에 셀을 얹어 놓고, 공기압이 가해져서 팽창하는 탄성 유지부에 의해 셀을 끼워유지하면서 가압하고, 하우징유닛내부에 배기통로를 통해서 진공화통로에 접속함으로써, 비교적 소규모인 장치에 의해 값싼 설비비로 해결하면서, 밀봉부재를 양호하게 경화시킬 수 있다.

또, 하우징유닛을 항온조의 선반에 다단으로 수납자재하게 함으로써, 복수개의 셀을 한꺼번에 처리할 수 있어서 처리능력을 높이고, 생산성이 향상한다.

Claims

개구부를 지닌 말봉부재를 설치하는 단계와;

셀을 형성하기 위하여 기판사이에 상기 밀봉부재를 개재하여 각각의 대향하는 상면 및 하면의 주변에서 한쌍의 기판을 맞붙이는 단계와;

밀폐 가능한 하우징유닛내에 상기 셀을 유지하기 위하여 상기 셀의 상면 및 하면의 적어도 하나를 가압하는 단계와;

가압하는 단계와 거의 동시에 상기 밀봉부재에 있는 개구부를 통해서 상기 셀을 진공화하는 단계와;

가압상태를 유지하면서 셀을 유지하는 하우징유닛을 항온조에 위치시키는 단계 및

항온조내에서 상기 밀폐 가능한 하우징 유닛을 가열함으로써 상기 밀봉부재를 경화시키는 단계와

를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정패널제조방법.
밀폐 가능한 유닛본체에 배기통로를 지닌 박스형상의 하우징유닛과;

상기 박스형상의 하우징유닛의 상부를 밀폐하는 이동가능한 상부덮개부와,

상기 박스형상의 하우징유닛의 일부에 위치하고, 또한 셀을 재치하기 위한 베이스를 지닌 밀폐가능한 유닛본체와,

상기 셀을 가압하기 위한 탄성평판 및 평탄한 가압평판을 구비한 탄성유지부의 하면과 베이스의 상면사이에 셀을 유지하기 위해 상기 밀폐가능한 유닛본체의 베이스에 대향하여 위치하는 탄성유지부와,

상기 탄성유지부의 하면과 상기 밀폐가능한 유닛본체의 베이스의 상면사이에 셀을 유지시키기 위하여 상기 탄성유지부의 상면상에서 하부방향으로 힘을 가하는 가압수단과,

셀내의 가스를 진공화시키기 위하여 진공화통로의 일단을 상기 배기통로와 연통시키고 진공화통로의 타단을 외부진공화수단과 연통시키는 진공화통로와

를 구비한 것을 특징으로 하는 액정패널제조장치.
제 2 항에 있어서,

상기 박스형상의 하우징을 점차적으로 승온 및 강온 시키기 위한 항온조를 부가하여 포함하는 것을 특징으로 하는 액정패널제조장치.
제 3 항에 있어서,

상기 항온조는 복수의 박스형상의 하우징유닛을 유지하는 복수의 선반을 지니는 것을 특징으로 하는 액정패널제조장치.
제 1 항에 있어서,

하우징유닛은 하우징유닛의 상부개구부를 밀폐하기 위한 이동가능한 상부덮개부를 지니는 박스형상의 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정패널제조방법.