KR0151936B1

KR0151936B1 - 필름부착방법 및 장치

Info

Publication number: KR0151936B1
Application number: KR1019950028750A
Authority: KR
Inventors: 히로시 다구치; 요지 와시자키
Original assignee: 요코테 겐쇼; 소마루 코퍼레이션
Priority date: 1995-05-23
Filing date: 1995-08-31
Publication date: 1998-10-15
Also published as: EP0744286A2; TW304321B; DE69530579D1; JP3061354B2; IN186223B; EP0744286B1; KR960040651A; DE69530579T2; CN1128703A; MY113183A; JPH08309855A; EP0744286A3; US5685943A; CN1060114C

Abstract

본 발명은 인쇄회로기판 등의 기판 표면에 필름을 부착하기 위한 방법 및 그 장치에 관한 것으로서, 감광성 수지층을 포함하는 필름을 인쇄회로기판에 부착하기 위한 필름부착장치는 필름 선단을 감기위한 필름지지부재 및 회전칼 지지부재는 필름 통과면에 대하여 동시에 이동하기 위해 전, 후방이동 가이드 레일상에 지지되며; 상기 필름지지부재는 필름반송면 Ⅰ-Ⅰ 에 수직 방향으로 이동시키는 유동 기구에 의해 유동적으로 지지되어 있으며, 또한 필름지지부재는 고정칼 지지부재로 부터 일정한 거리로 띄어진 위치와 접촉하는 위치사이로 이동시키는 누름기구를 통하여 임시부착부재에 의해 구동되는 것을 특징으로 한다.

Description

필름부착방법 및 장치

제1도는 본 발명에 따른 필름부착장치의 실시예를 도시하는 개략 단면도.

제2도는 동일한 실시예의 임시부착부재와 그 구동기구를 도시하는 일부 단면사시도.

제3도는 동일한 실시예의 필름의 선단을 감기위한 필름지지부재 및 임시부착부재의 관계를 도시하는 정면도.

제4도는 동일한 실시예의 임시부착부재의 이동과정을 도시하는 단면도.

제5도는 제4도의 V-V선을 따라 취한 단면도.

제6도는 제4도의 Ⅵ-Ⅵ선을 따라 취한 확대단면도.

제7도는 동일한 실시예의 유동기구를 도시하는 분해사시도.

제8도는 동일한 실시예의 장치에 대한 로터리 커터의 회전칼 및 그 이동기구를 도시하는 정면도.

제9도는 제8도의 Ⅸ-Ⅸ선을 따라 취한 단면도.

제10도는 동일한 실시예의 장치에 대한 작용의 최초 단계를 도시하는 단면도.

제11도는 동일한 실시예의 장치에 대한 작용의 중간 단계를 도시하는 단면도.

제12도는 동일한 실시예의 장치에 대한 작용의 최종 단계를 도시하는 단면도.

제13도는 필름절단시의 임시부착부재와 필름지지부재의 동작을 도시하는 흐름도이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

10 : 필름부착장치 12 : 필름

12A : 필름 통과면 14 : 공급 롤

20 : 임시부착부재 22 : 주 진공흡착판

26 : 기판 32 : 주 진공흡착판용 유지판

34 : 상하이동 가이드 레일 35 : 서보모터

36 : 지지 베이스 38 : 전, 후방이동 가이드 레일

38A : 고정칼 지지용 이동블럭 40 : 유동기구

40A : 가이드 레일 40B : 가이드 프레임

40C : 유동 샤프트 40D : 압축코일스프링

42 : 필름지지부재 44 : 공기압실린더

48 : 누름기구 48A : 레일부재

48B : 압축롤러 52 : 고정칼 지지부재

54 : 로터리 커터 56 : 회전칼 지지부재

58 : 회전칼 위치고정기구 58A : 손잡이

58B, 58C : 로킹 구멍 58D : 잠금스프링

58E : 유지판 60A : 공기취부관

62 : 라미네이션 롤러 70 : 진공 바

본 발명은 인쇄회로기판 등의 기판 표면에 필름을 부착하기 위한 방법 및 그 장치에 관한 것이다. 종래의 컴퓨터 등의 전자기기에 사용되는 인쇄회로기판의 제조과정에서는 투광성 지지 필름(일반적으로 폴리에스테르 수지 필름으로 대표되는 베이스 필름), 감광성 수지층, 및 커버필름으로 구성된 적층체 필름이 상기 커버필름을 분리 또는 제거한 후 인쇄회로기판의 전도성 표면층에 부착된다. 그리고, 이후 회로패턴필름은 적층체 필름에 중첩되고 회로 패턴필름 및 투광성 지지 필름을 통하여 감광성 수지층을 소정 시간동안 노출시킨다. 그 후에 투광성 필름은 제거되고, 노출된 감광성 수지층을 현상하여 에칭마스크패턴을 형성하고 이후 상기 감광성 수지층의 불필요한 부분을 에칭에 의해 제거하여 이것에 의해 소정의 회로패턴을 가지는 인쇄회로기판이 형성된다.

상기 적층제 필름을 부착하기 위해 사용되는 장치는 필름공급롤에 감기는 연속 적층체 필름을 반송수단에 의해 반송되어지는 기판의 선단에 감광성 수지층이 이 기판측상에 위치되고, 기판으로 부터 근접 및 떨어지는 이동이 가능한 임시부착부재에 의해 이 기판의 선단에 부착 또는 임시로 부착된 후 라미네이션 롤에 의해 필름을 기판에 압착하면서 기판을 반송하는 것으로 되어 있다. 기판에의 필름 압착부착은 필름의 부착길이가 기판길이와 대체로 같도록 이루어지고, 그 길이에 공급된 필름은 필름임시부착부재의 근방에 배치된 필름절단수단에 의해 소정의 부착길이로 절단 또는 제공된다. 커버필름은 필름 임시부착수단의 전방 또는 후방에서 분리 또는 제거된다.

이 필름 임시부착수단은 예를들면 일본국 특개소 제63 - 117487호 공보에 개시되어 있는 바와 같이, 흡착에 의해 전방 표면상에 필름을 흡착하기 위한 복수의 흡착구멍(홈)이 설치되는 전방 표면을 갖는 주 진공흡착판과, 이 주 진공흡착판의 필름공급방향 선단측에 설치된 단면이 원호형상 또는 3각형상의 필름임시부착부재로 구성되어 있다. 이 필름 임시부착수단은 전체적으로 필름의 공급 및 부착 작동이 행해지는 것에 의해 기판으로 부터 근접 및 떨어지는 이동을 하게된다.

또, 상기 필름 임시부착수단의 기판측에 인접한 위치에는 예를 들면 일본국 특허공보평 제 7- 35101호에 개시되어 있는 선단에 필름흡착구멍(홈)이 형성된 필름지지부재가 설치된다. 필름선단을 이 필름지지부재에 흡착한 상태에서 필름통과면으로 부터 후퇴시켜 필름선단부가 흡착에 의해 상기 필름 임시부착수단의 선단에 측면이 원호형상 또는 3각형상의 필름결합부재에 감기어 접착되는 것이다.

이 필름지지부재는 필름이 절단 또는 제공될 때. 상기 임시부착부재의 이동과 동시에 기판쪽으로 이동되어 소정의 필름절단부 근방위치를 흡착에 의해 유지하여 필름이 절단시에 필름 후단측에 장력을 부여한다.

필름 임시부착수단은 필름의 공급 및 부착 동작을 행할 때에는 상기 임시부착부재의 전방 표면에 필름을 흡착한 상태로 기판쪽으로 이동한다. 필름의 공급 및 부착 동작이 완료하면 필름 임시부착수단의 필름의 흡착을 해제하고 기판쪽에서 떨어지는 방향으로 이동한다. 이 필름의 흡착이 해제되면 필름은 필름 임시부착수단의 근방 표면으로 부터 일정한 거리로 띄어진 상태가 된다.

부착한 후 라미네이션 롤에 의해 필름을 기판에 압착 또는 부착하고 기판은 반송되어진다. 그 라미네이션 롤에 의한 필름 압착동작 중에는 필름은 필름 임시부착수단의 전방 표면에서 떨어지는 상태가 된다.

상기 반송되어온 각 기판에 필름을 부착하는 경우 기판마다 필름의 공급 및 부착 동작과 압착동작을 하는 양 동작을 반복한다.

상기 필름임시부착부재의 선단에는 히터가 설치되어 있어서 이것에 의해 필름임시부착부재의 선단을 가열하여 기판의 선단에 필름의 결합을 확실하게 한다.

상기 일본국 특개소 제 63-117487호 공보에 개시된 바와 같이, 일반적인 필름부착장치에서는 커버필름은 필름부착장치의 임시부착부재 전방부에서 분리 또는 제거된다.

상기 일본국 특허공보 평 7-35101호에 개시된 박막부착장치에서는 필름절단수단이 고정칼과 회전칼로 구성된 로터리 커터를 구비하고 있다. 고정칼은 필름 통과면에 대하여 직교하는 방향으로 전진, 후퇴가능하다. 필름지지부재는 이 고정칼과 함께 전진, 후퇴되고 또한 고정칼에 대하여 필름 이동방향으로 이동가능하다.

이와같은 이동을 이루기 위해서는, 고정칼 지지부재로 부터 필름 통과면과 평행하게 위쪽으로 뻗어지는 연결 바를 구비하는 기구가 제공된다. 상기 필름지지부재는 이 연결바에 따라서 이동가능하게 결합된다.

상기 고정칼 지지부재는 장치본체상에 지지 레일을 통하여 필름 통과면에 대하여 직교하는 방향으로 공기압실린더에 의해 전진-후퇴가능하게 장착되어 있다.

또, 상기 로터리 커터의 일부 구성하는 회전칼은 필름공급롤을 설정할 때에는 회전 및 고정칼사이의 공간을 통과하여 필름의 선단의 통과를 허용하도록 고정칼로 부터 떨어져서 변위되어야 한다. 따라서, 상기 일본국 특허공보 평 7-35101호의 박막부착장치에서는 장치본체에 대하여 고정칼을 지지하는 미끄럼 부재를 미끄럼가능하게 더 배치하고, 또 미끄럼 부재를 고정하는 잠금손잡이에 의해 로터리 커터의 절단위치 또는 절단위치로 부터 멀리 떨어진 대기위치에 고정되도록 하고 있다.

상기 일본국 특허공보 평 7-35101호의 박막부착장치에서는 필름지지부재가 고정칼 지지부재로 부터 연결 바를 통하여 필름 통과면에 대하여 직교하는 방향으로 구동되기 때문에, 이 연결 바에 굽힘력 또는 전단력이 발생하여 이 연결바를 굽혀 필름지지부재를 동작불능으로 만들고, 가끔 연결 바가 파단되는 문제점이 있다.

또한, 상기 로터리 커터의 회전칼을 필름 교환시에 필름 통과면으로 부터 멀리 떨어지게 하는 조작을 할 때, 이 멀리 떨어진 위치로 부터 절단 위치로 조작을 할 때 어느 경우에나 회전칼을 본체장치측에 고정하는 잠금손잡이를 끌어당겨 잠금해제를 하지 않으면 안되고, 이 잠금손잡이를 끌어당기는 동작은 장치외부에서 작업자가 손을 뻗어 손가락으로 잠금손잡이를 잡아서 끌어당기는 상태이기 때문에 비상시에 조작이 곤란한 문제점이 있다.

또, 상기 임시부착부재는 필름흡착위치, 필름부착위치 및 필름절단위치에 정확하게 정지시키지 않으면 안된다. 이를 위해 서보모터에 의해 그 회전수를 펄스수에 의해 검출하고, 그 검출값에 의해 서보모터를 제어하여 임시부착부재를 구동하는 것이 고안되어 있지만, 필름을 부착하는 기판의 두께가 종류에 따라 변할 때 마다 제어장치의 설정 펄스수를 변경해야만 하는 번거러움이 있다.

또한, 제어장치의 제어정밀도를 높여 임시부착부재를 부착위치에 정지시키더라도, 서보모터의 토크에서는 압축력이 부족하여 필름 부착이 불충분하게 되는 문제점이 있다.

또, 기판의 양면에 필름을 부착하는 경우, 상기 2개의 임시부착부재는 상부 및 하부에서 동시에 기판을 움켜쥐도록 작동된다. 이 경우, 기판반송롤러상의 기판이 기판위치로 부터 위쪽으로 어긋나고, 하측의 기판은 부재의 압축력이 부족하여 부착이 불충분하게 되는 문제점이 있다.

본 발명의 목적은 상기 종래의 문제점을 감안하여, 필름지지부재가 동작불능이 되고, 이 부재를 필름과 평행으로 안내하는 부재가 파손되는 것 없이 필름지지부재의 동작을 확실하게 하는 것이 가능한 필름부착방법 및 그 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 다른 목적은 기판상에 필름을 임시로 부착하거나 또는 부착하는 것을 확실하게 하는 것이 가능한 필름부착방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 또 다른 목적은 로터리 커터의 회전칼을 고정칼로 부터 전방 및 후방으로의 충분한 이동을 위해 그 잠금해제를 용이하게한 필름부착장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명은 전술한 문제점을 해결하기 위하여, 투광성 지지필름위에 감광성 수지층 및 커버필름이 적층된 연속 필름을 필름 공급 롤로 부터 인출하고, 상기 커버필름이 분리된 후 상기 연속 필름은 반송수단에 의해 반송된 기판의 선단근방에 안내되어, 감광성 수지층이 기판측에 위치되도록 하여 이 기판에 대하여 근접 및 떨어지는 방향으로 이동가능한 임시부착부재 및 이 임시부착부재의 기판측에 인접하여 위치된 필름지지부재에 흡착하여 유도된 후, 이 필름지지부재를 후퇴시켜서 필름 선단을 상기 임시부착부재 선단에 감아서 상기 기판의 선단에 상시 임시부착부재에 의해 부착한 후 라미네이션 롤에 의해 필름을 기판에 압착하면서 기판을 반송하고, 상기 압착이 개시되면 상기 임시부착부재가 필름 통과면을 따라서 기판으로부터 일정간격으로 떨어지며, 상기 필름절단전에 상기 임시부착부재를 필름과 동시에 기판방향으로 이동시켜서 필름의 절단예정부위의 상류측 부분에서 상기 필름을 이 임시부착부재에 의해 흡착하고, 그후에 필름 통과면까지 전진하여 대기하고 있는 상기 필름지지 부재를 상기 임시부착부재의 이동과 동시에 이동시키면서 이 필름지지부재에 의해 상기 필름의 상기 절단예정부위의 상류측에 인접한 부위를 흡착하고, 이들 임시부착부재 및 필름지지부재를 기판방향으로 이동시키면서 필름 통과면에 평행하게 연장하는 회전축을 중심으로 회전가능한 회전칼과 이 회전칼로 부터 근접 및 떨어지는 방향으로 이동가능한 고정칼로 구성된 로터리 커터에 의해 상기 필름이 절단되며, 상기 임시부착부재 및 필름지지부재는 이 필름지지부재가 상기 로터리 커터의 고정칼에 접촉하기 전에 정지시키는 필름부착방법으로 되어 있다.

또한. 본 발명의 필름부착방법에 있어서 필름지지부재는 필름 통과면을 따라 이동가능하게 지지되어 있고 기판 반송면으로 부터 떨어지는 방향으로 힘이 가해지며, 필름이 절단하기 직전에 상기 임시부착부재가 기판방향으로 필름과 동시예 이동할 때 필름지지부재가 이 임시부착 부재에 접촉한 다음 기판방향으로 이동하는 임시부착부재에 의하여 임시부착부재의 이동과 동시에 눌려진다.

또한, 본 발명의 필름부착방법에 있어서, 상기 필름공급 롤, 임시부착부재, 필름지지부재 및 라미네이션 롤을 기판 반송면에 대하여 상하 각한쌍으로 배치하여 기판의 양면에 필름을 부착하며, 필름을 기판에 부착시 한쪽의 임시부착부재의 선단에 의해 필름을 기판의 한쪽면에 접촉시킨 상태에서 이 한쪽의 임시부착부재를 정지시키고, 이 상태에서 다른 필름을 다른쪽이 임시부착부재의 선단에 의해 기판의 다른 면에 눌려지도록 2개의 필름이 2개의 임시부착부재의 선단 사이에 단단히 물려진 기판의 양면에 눌려진다.

또한, 본 발명의 필름부착방법에 있어서, 상기 기판을 수평으로 배치한 반송수단상에 반송시켜 상기 한쪽의 임시부착부재를 반송수단상의 기판의 하부 면에 필름을 통하여 접촉한 상태로 대기시기고, 또 상기 다른쪽의 임시부착부재를 상기 기판의 상부 면에 필름을 통하여 접촉시킨다.

또한, 본 발명의 필름부착방법에 있어서, 상기 임시부착부재의 선단에 의해 상기 기판의 선단에 필름이 임시 부착될 때, 이 임시부착부재가 기판 반송면으로 부터 멀리 떨어진 위치의 원점으로 부터 상기 기판 반송면으로 접근하는 공정에서, 상기 원점으로 부터 기판 반송면 근방위치까지의 사이에서는 모터에 검출된 회전수에 따라 상기 임시부착부재를 위치제어하여 구동하고, 상기 기판 반송면 근방위치로 부터 상기 임시부착부재가 상기 기판에 필름을 통하여 접촉할 때까지의 사이에서는 상기 임시부착부재를 실린더 장치에 의해 구동하고, 상기 임시부착부재가 상기원점으로 복귀하는 공정에서는 상기 기판에 접촉하는 위치로 부터 상기원점 근방까지의 사이에서는 모터의 검출된 회전수에 따라 상기 임시부착부재를 위치제어하여 구동하고, 상기 원점 근방위치로 부터 원점까지의 사이에서는 상기 임시부착부재를 실린더 장치에 의해 구동된다.

또한, 본 발명의 필름부착방법에 있어서 상기 원점으로의 복귀공정에서, 상기 기판접촉위치로 부터 원점 근방까지의 사이에서는 상기 임시부착부재를 모터와 실린더 장치에 의해 구동된다.

또한, 본 발명의 필름부착방법에 있어서, 상기 기판 반송면에 근접하는 공정에서, 상시 임시부착부재는 기판 반송면에 인접한 위치에서 정지되고, 상기 기판이 임시 부착위치로 이송된 후 상기 임시부착부재가 상기기판상에 필름선단을 임시 부착하기 위해 실린더 장치에 의해 구동된다.

본 발명은 전술한 문제점을 해결하기 위하여, 투광성 지지필름위에 감광성 수지층 및 커버필름이 적층된 연속필름을 필름공급 롤로 부터 인출하고, 상기 커버필름이 분리된 후 상기 연속 필름은 반송수단에 의해 반송된 기판의 선단근방에 안내되어, 감광성 수지층이 기판측에 위치되도록 하여 이 기판에 대하여 근접 및 떨어지는 방향으로 이동가능한 임시부착부재 및 이 임시부착부재의 기판측에 인접하여 위치된 필름지지부재에 흡착하여 유도된 후, 이 필름지지부재를 후퇴시켜서 필름 선단을 상기 임시부착부재 선단에 감아서 상기 기판의 선단에 상기 임시부착부재에 의해 부착한 후 라미네이션 롤에 의해 필름을 기판에 압착하면서 기판을 반송하고, 상기 압착이 개시되면 상기 임시부착부재가 필름 통과면을 따라서 기판으로 부터 일정간격으로 떨어지며, 또한 필름 통과면에 평행한 회전축을 중심으로 회전가능한 회전칼과 이 회전칼에 대하여 근접 및 떨어지는 방향으로 이동가능한 고정칼로 구성된 로터리 커터에 의해 상기 필름이 상기 필름지지부재에 인접한 위치에서 절단되며, 또한 필름절단시에는 상기 필름지지부재가 필름 통과면 까지 전진하여 상기 임시부착부재와 함께 필름을 흡착하는 필름부착장치에 있어서 상기 장치는 필름이송방향과 평행하게 이동가능하고 상기 고정칼의 필름 폭방향의 양단 외측위치에서 상기 장치 본체에 부착된 한쌍의 지지 베이스, 상기 지지 베이스에 상기 필름 통과면과 직교하는 방향으로 배치된 한쌍의 전, 후방향이동 가이드 레일, 상기 전, 후방향이동 가이드 레일의 한쌍의 이동 블록에 의해 지지된 한쌍의 고정칼 지지부재 및 한쌍의 필름지지부재 지지기구를 더 구비하며, 상기 고정칼 지지부재는 상기 고정칼의 양단을 지지하고 상기 필름 지지부재 지지기구가 상기 필름지지부재의 양단을 지지하며, 상기 필름 지지부재 지지기구가 상기 필름지지부재를 상기 필름 통과면에 따라 일정범위내에서 이동가능하게 지지하고 기판 반송면으로 부터 떨어지는 방향으로 필름지지부재에 힘을 가하는 한쌍의 스프링을 구비하고 있으며, 상기 임시부착부재가 일정거리를 지나서 상기 필름지지부재에 접근했을 때 상기 필름지지부재를 상기 스프링에 대항하여 누르고, 또한 상기 필름지지부재가 필름으로 부터 일정거리로 떨어질 때 상기 필름지지부재를 지나서 상기 기판 방향으로 이동하는 것을 허용하는 누름기구를 상기 필름지지부재와 상기 필름지지부재 지지기구 사이에 설치한 필름부착장치로 이루어져 있다.

또, 본 발명의 필름부착장치에 있어서, 상기 누름기구는 상기 필름지지부재의 기판측 선단근방의 측방으로 부터 기판방향으로 돌출한 위치에 배치되고 상기 임시부착부재가 기판 방향으로 일정거리 이상 이동할 때 상기 필름지지부재에 맞물려 눌려지는 누름부재를 각각 구비한다.

또한, 본 발명의 필름부착장치에 있어서, 상기 누름부재는 회전중심축이 상기 필름의 폭방향과 평행한 롤러를 구비하고 있고, 상기 누름기구는 상기 롤러와 상기 필름지지부재 지지기구의 상기 롤러가 맞물리는 부위에 상기 필름 통과면과 직교하는 방향으로 배치되어 상기 롤러와 접촉한 상태에서의 이동을 허용하는 레일로 구성되며, 상기 레일이 상기 필름지지부재와 상기 임시부착부재가 필름이송방향으로 서로 간섭하는 범위로 설치되어 있다.

또한, 본 발명의 필름부착장치에 있어서, 상기 장치가 상기 회전칼의 양단을 상기 전,후방향이동 가이드 레일에 따라 이동가능하게 지지하고 상기 회전칼을 상기 필름 통과면의 위치에 있는 상기 고정칼과 협동하여 필름을 절단하는 절단위치 및 상기 필름 통과면으로 부터 떨어진 후퇴위치에 고정가능한 회전칼 지지기구를 더 구비한다.

또한, 본 발명의 필름부착장치에 있어서, 상기 회전칼 지지기구가 상기 절단위치 및 후퇴 위치에서 상기 각각의 전,후방향이동 가이드 레일의 고정 레일측에 형성된 오목한 부분에 결합가능한 결합 돌기부 및 상기결합 돌기부를 돌출방향으로 힘을 가하는 스프링을 구비한다.

또한, 본 발명의 필름부착장치에 있어서, 상기 결합 돌기부가 상기 고정 레일에 대하여 필름 폭방향의 내측 위치에서 필름 폭방향으로 전진,후퇴가능하게 배치되고, 또한 이 기단부에 손잡이가 설치되며, 상기 회전칼 지지기구는 상기 손잡이의 필름 폭방향 내측에 대향하는 위치에 두 번째및 세 번째 손가락으로 상기 손잡이를 움겨쥘 때 첫 번째 손가락이 걸리는 것이 가능한 유지판을 더 구비한다.

또한 본 발명의 필름부착장치에 있어서, 상기 결합 돌기부, 손잡이 및 유지판은 상기 회전칼에 대하여 필름 폭방향의 좌우에 한쌍으로 설치되며, 상기 좌우의 유지판은 상기 회전칼과 평행하고 상기 필름 통과면에 근접하여 배치되며 상기 필름 압축공기를 불어넣는 공기취부관에 의해 필름 폭방향으로 함께 연결되어 있다.

본 발명에 따른 필름부착방법은 필름지지부재를 필름이 기판상에 부착될 때 임시부착부재의 간섭이 없는 위치에 대기시켜, 필름이 절단 또는 제공될 때 상기 임시부착부재와 함께 필름을 흡착하며, 임시부착부재의 이동과 동시에 이동시키면서 필름을 절단하는 것이다.

따라서, 필름절단시에 로터리 커터에 근접한 위치로 필름을 유지하여 필름의 절단을 신속하게 할 수 있고 필름에 느슨함이 생기지 않고 정확하게 절단하는 것이 가능하며, 또한 부착부재를 소형 및 경량으로 구성 할 수 있다. 필름 절단시에 임시부착부재와 동시에 필름지지부재를 이동시키기 위해 임시부착부재는 필름지지부재에 힘을 가한다. 따라서, 필름지지부재는 분리구동장치 없이 구동될 수 있다.

본 발명에 따른 필름부착장치에서는 회전칼 및 고정칼이 회전칼 지지부재상에 지지되어 있고, 필름지지부재 지지기구가 필름 통과면에 수직 방향으로 이동하는 가이드 레일에 각각 지지되어 있다. 필름지지부재는 필름의 이송방향에 평행한 방향의 고정칼 지지부재에 대하여 이동가능하게 지지되어 있고, 또한 스프링에 의해 회전칼 지지부재로 부터 떨어지는 방향으로 밀려진다. 또한, 필름의 면에 수직방향으로 작용하는 구동력은 회전칼 지지부재에 직접 전달되고, 이 필름지지부재는 동력전달시스템에 가해지는 굽힘력 또는 전단력의 발생에 의한 굽힘이나 또는 파손되는 동력전달시스템의 간섭이 생기지 않는다.

이하 본 발명의 바람직한 실시예를 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

본 발명의 실시예에 따른 필름부착장치(10)의 개략적인 구성을 제1도를 참조하여 설명한다.

필름부착장치(10)에 의해 절단하여 부착되는 필름(12)은 투광성 지지필름상에 감광성 수지층 및 커버필름이 적층된 3층 구조이며, 공급 롤(14)에 연속적으로 감긴다.

공급 롤 (14)로 부터 풀려지거나 또는 회수된 필름(12)은 필름분리부재(16)에 의해 커버필름이 분리되어, 감광성 수지층의 접착면이 노출된 상태로 인장 롤(18)을 거쳐 부착(tacking)부재(20)의 일부를 구성하는 주진공흡착판(22)에 공급된다. 적층필름(12)으로 부터 분리된 커버 필름은 당겨감기 롤러(24)에 의해 당겨 감겨진다.

상기 공급롤 (14), 필름분리부재(16), 인장 롤(18), 임시부착부재(20) 및 당겨감기 롤(24)등은 수평의 기판 반송면 Ⅰ-Ⅰ를 중심으로 상하대칭으로 한쌍으로 설치되어 있어서 필름(12)이 기판(26)의 상면 및 하면에 동시에 부착될 수 있다.

제2도에 도시된 바와 같이 상기 주 진공흡착판(22)은 다수의 흡인홈(22A) 및 흡인구멍(22B)이 표면에 설치되어 필름을 흡착하도록 되어있다. 수직 가이드 레일(28)에 미끄럼 가능하게 지지되어 한쌍의 공기압실린더(30) 및 주 진공흡착판 구동용 서보모터(35)의 작용에 의해 가이드레일(28)을 따라서 상,하동시에 필름 부착위치에 근접하고, 또 떨어지는 방향, 즉 기판 반송면 Ⅰ-Ⅰ에 대하여 근접, 떨어지는 것이 가능하도록 되어 있다.

상기 주 진공흡착판(22)의 기판 반송면 Ⅰ-Ⅰ 측 선단에는 상기 주 진공 흡착판(22)의 표면으로 부터 연속적으로 만곡되고, 또 정면에 필름흡착홈(21B)이 형성된 필름 임시부착부재 본체(21)가 연결되어 있다. 이 필름임시부착부재 본체(21)의 필름 이송방향의 선단부(21A)를 가열하도록 되어있다.

상기 가이드 레일(28)은 장치 본체의 마운팅 프레임(도시되지 않음)에 고정된 주 진공흡착판용 유지판(32)이 부착되어 있다.

상기 공기압실린더(30)는 필름 폭방향의 좌우에 한쌍으로 설치되어 그 실린더측의 단부가 상부의 주 진공흡착판(22)에, 또 로드측의 단부가 하부의 주 진공흡착판(22)에 각각 아암(30A)을 통하여 고착되어 상부 및 하부의 아암(30A, 30B)이 랙(34A), 피니언(34B), 랙(34C)을 통하여 동시에 상부 및 하부의 주 진공흡착판(22)이 구동되도록 되어 있다. 상기 피니언(34B)은 주 진공흡착판용 유지판(32)에 회전가능하게 지지되어 있다.

또한, 상기 좌우의 피니언(34B)은 상부측의 좌우의 아암(30A)사이에 수평으로 배치된 좌,우가 동시에 작동하는 커플링 샤프트(34D)에 동축적으로 고착된다. 이 좌우동시동작의 커플링 샤프트(34D)의 일단부(제2도의 오른쪽 단부)에는 주 진공흡착판 구동용의 서보모터(35)에 의해 구동되도록 되어 있다. 이 서보모터(35)는 서보모터 지지부재(35A)를 통하여 상기 주 진공흡착판용 유지판(32)에 부착되어 있다.

상기 임시부착부재(20)는 상기 공기압실린더(30) 및 서보모터(35)에 의해 아래에 기술된 방법으로 구동된다.

제3도에 도시된 바와 같이, 임시부착부재(20)는 기판 반송면 Ⅰ-Ⅰ 에서 가장 멀리 떨어진 원점(22A)으로 부터 수동절단위치(22B), 자동절단위치(22C), 부착대기위치(22D)의 각 정지위치를 통하여 부착압착위치(22E)까지 순차적으로 접근하지만, 원점 (22A)으로 부터 부착대기위치(22D)까지는 서보모터(35)에 의해 구동되며, 또 각 정지위치는 서보모터(35)의 회전에 따라서 발생하는 회전 인코우더(도시되지 않음)에서의 펄스수를 계수하는 것에 의해 결정된다.

부착대기위치(22D) 기판 반송면 Ⅰ-Ⅰ로 부터 20mm의 거리로 위쪽으로 띄어져 있다. 이 대기 위치(22D)로 부터 상기 임시부착부재(20)는 공기압실린더(30)에 의해 구동되며, 공기압에 의해 필름(12)을 통하여 기판(26)에 눌려지도록 되어있다.

상기 임시부착부재(20)가 기판(26)으로 부터 떨어져 이동될 때, 공기압실린더(30)와 서보모터(35)에 의해 원점(22A)에 접근하고, 예를 들면 원점(22A)으로 부터 수 mm의 전환위치 (22F)까지 구동되어 이 전환위치(22F)로 부터 원점 (22A)까지는 공기압실린더(35)에 의해서만 구동된다. 공기압실린더(30)와 서보모터(35)를 함께 사용하는 경우, 임시부착부재(20)의 부착압착위치(22D)로 부터 전환위치(22F)까지의 이동량은 전술한 것과 동일한 방법으로 펄스수의 계수에 의해 검출된다.

상기 부착대기위치(22D)로 부터 부착압착위치(22E)까지, 및 전화위치(22F)로 부터 원점(22A)까지의 거리는 서보모터(35)에 의해 구동되는 거리를 일정값으로 하면 기판(26)의 두께가 달라지지만, 이것은 공기압실린더(30)의 피스톤의 이동에 의해 흡수된다. 따라서, 서보모터(35)의 회전에 따라 발생하는 펄스수의 설정값을 기판(26)의 두께에 따라서 변경하는 것이 필요없다.

제4도 내지 제 6도에 도시된 바와 같이, 한쌍의 주 진공흡착판용 유지판(32)에는 상기 주 진공흡착판(22)의 폭방향 양단 외측위치에는 수직 가이드부재(33)을 통하여 지지 베이스(36)가 상,하로 이동가능하게 배치되어 있다.

상기 수직 가이드 부재(33)는 주 진공압착판용 유지판(32)측의 가이드레일(33A)과 지지베이스(36)측에 설치된 가이드 레인(33A)에 의해 미끄럼가능하게 지지되는 슬라이드 부재(33B)로 구성되어 있다.

제8도에 도시된 바와 같이 , 상기 좌우의 지지베이스(36)는 그 상단이 필름 통과면 (12A)와 평행하고 수평의 지지핀(36A)를 통하여 연결부재(36B)에 연결되어 있다. 제8도에 있어서, 좌측의 연결부재(36B)는 브라켓(32A)에 부착된 공기압실린더로 구성된 로터리 커터 각도조정기(37)에 의해 상하방향으로 구동되도록 지지되어 있다. 또, 우측의 연결부재(36B)는 너트(36C)에 의해 상,하방향으로 위치조정이 가능하도록 브라켓(32A)에 지지되어 있다. 상기 브라켓(32A)은 상기 주 진공흡착판용 유지판(32)에 고정되어 있다.

각 지지핀(36A)이 관통하는 지지 베이스(36)의 구멍(36D)의 내경은 이지지핀 (36A)의 외경보다 크다.

상기 로터리 커터 각도조정기(37)은 좌측의 지지 베이스(36)만을 상하방향으로 구동하는 것에 의해 후술되는 로터리 커터(54)의 고정칼(54A)과, 회전칼(54B)을 필름 통과면(12A)과 평행한 내면으로 경사지도록 이동시켜 이 고정칼(54A) 및 회전칼(54B)의 중심축선이 수평으로 부터 소정의 각도범위( 0°∼ 5° )에서 임의로 경사지도록 되어있다.

상기 지지 베이스(36)에는 필름 통과면(12A)에 대하여 직교하는 방향으로 배치된 전,후방이동 가이드 레일(38)이 설치되어 있다. 이 전,후방이동 가이드 레일(38)은 지지 베이스(36)에 고정된 고정 레일(38B)과, 이 고정 레일(38B)에 미끄럼가능하게 지지된 슬라이드 블록(38A) 으로 구성되어 있다. 이 슬라이드 블록(38A)은 서로 독립적이로 미끄러가능한 고정칼 지지용 슬라이드 블럭(36A)과 회전칼 지지용 슬라이드 블럭(39B)으로 구성되어 있다.

상기 고정칼 지지용 이동 블럭 (39A)은 유동기구(40)를 통하여 필름지지부재(42)의 양단이 유동하도록 지지한다. 유동기구(40)는 수직 가이드레일(40A), 가이드 프레임(40B), 길고 가느다란 유동 샤프트(40C), 압축스프링(40D), 이동 블록 (40E) 및 정지판(40F)등으로 구성되어 있다.

더욱 상세하게 설명하면, 제6도 및 제7도에 도시된 바와 같이, 상기 고정칼 지지용 이동 블록(39A)에는 가이드 레일(40)이 상하방향으로 부착되며, 또 이 가이드 레일(40A)에 상하로 자유롭게 이동가능한 이동 블럭(40E)이 설치된다. 이 이동 블럭(40E)에는 이것을 미끄럼가능하게 지지하여 둘러싸는 짧은 사각원통형상의 가이드 프레임(40B)이 지지되어 있다. 이 가이드 프레임(40B)에는 상기 기판 반송면 Ⅰ-Ⅰ 방향으로 연장하는 길고 가느다란 유동 샤프트(40C)가 설치되며, 이 유동 샤프트(40C)의 선단과 정지판(40F)과의 사이에는 압축 코일스프링(40D)이 배치되며, 가이드 프레임(40B)이 가이드 레일(40A)에 대하여 기판 반송면 Ⅰ-Ⅰ로 부터 떨어지는 방향으로 유동적으로 지지되어 있다. 정지판(40F)은 상기 고정칼 지지용 이동 블럭(39A)과 완전하게 후술되는 고정칼 자지부재(52)에 부착되어 있다.

상기 가이드 프레임(40B)은 상기 주 진공흡착판(22)의 폭방향 양측, 또 기판 반송면 Ⅰ-Ⅰ 측 선단에 인접한 위치에서 필름지지부재(42)의 폭방향 양단을 지지하고 있다. 따라서, 필름지지부재(42)는 가이드 레일(40A)에 대하여 상하방향으로 유동적으로 지지되며, 또 전, 후방이동 가이드레일(38)에 의해 필름 통과면(12A)에 대하여 전진 후퇴가능하며, 지지베이스(36)과 함께 상하방향으로 일정 범위로 구동하도록 되어 있다.

상기 필름지지부재(42)에는 필름 통과면(12A)측의 단면에 부가되는 압력이 인가되는 흡인홈(42A)과 흡인구멍(42B)이 설치되어 있어서 흡착에 의해 이 단면에 필름(12)이 흡착된다.

도면부호 44는 상기 가이드 레일(40A)이 부착된 전, 후방이동 가이드레일(38)의 고정칼 지지용 이동 블럭(39A)을 구동하기 위한 공기압실린더를 표시한다.

제4도 내지 제7도에 도시된 바와 같이, 상기 가이드 프레임(40B)은 단면이 L자형상이고, 또한 필름 통과면(12A)에 대하여 직교하는 방향으로 일정한 길이를 가진 레일부재(48A)를 통하여 필름지지부재(42)의 양단을 지지하고 있다.

이것에 대하여, 상기 주 진공흡착판(22)의 기판 반송편 Ⅰ- Ⅰ측 선단의 폭방향 양단측에는 상기 레일부재(48A)에 기판 반송면 Ⅰ-Ⅰ와 반대방향으로 접촉하고, 또 레일 부재(48A)에 접촉되면서 레일부재 (48A)가 필름 통과면(12A)과 직교하는 방향으로 이동하면서 회전되는 압축 롤러(48B)가 회전가능하게 지지되어 있다. 이 압축 롤러 (48B)와 상기 레일부재(48A)는 누름기구(48)를 구성하고 있다.

제7도 및 제9도에 도시된 바와 같이, 상기 전,후방이동 가이드 레일(38)의 고정칼 지지용 이동 블록(39A)에는 고정칼 지지부재(52)가 부착되어있다. 이 고정칼 지지부재(52)는 지지 베이스(36)에 고정된 공기 압실린더 지지부재(45)에 부착된 공기압실린더(44)의 피스톤 로드의 선단이 접속되어 있어서, 이 공기압실린더(44)의 동작에 의해 로터리 커터(54)의 고정칼(54)이 필름 통과면(12a)에 대하여 직교하는 방향으로 전진-후퇴한다.

이 고정칼 지지부재(52)는 상기 고정칼(54a)을 상기 필름지지부재(42)가 주 진공흡착판(22)에 의해 기판 반송면 Ⅰ-Ⅰ 방향으로 압축되었을 때, 이 필름지지부재(42)의 기판 반송면 Ⅰ-Ⅰ 측에 인접하여 그 고정칼(54A)의 선단이 위치되도록 상기 고정칼(54A)을 지지하고 있다.

상기 로터리 커터(54)는 상기 고정칼(54A)과, 이 고정칼(54A)에 대하여 회전하는 것에 의하여 고정 및 회전칼(54A,54B)사이에 필름을 절단 또는 제공하는 회전칼(54B)로 구성되어 있다. 이 회전칼(54B)은 그 양단이 상기 전,후방이동 가이드 레임(38)의 회전칼 지지용 이동 블록(39B)에 부착된 회전칼 지지부재(56)에 의해 필름 통과면(12A)으로 부터 전진-후퇴가능하게 이동될 수 있다. 도면부호 54C는 회전칼(54B)를 회전구동하기 위한 서보모터를 표시한다.

상기 회전칼 지지부재(56)는 회전칼(54B)과 고정칼(54A)이 고정칼(54A)이 필름(12)을 절단 또는 제공하도록 서로 접촉하여 필름을 절단위치 및 회전칼(54B)이 고정칼(54A)로 부터 떨어지는 위치로 필름 통과면(12A)부터 후퇴되는 후퇴위치에 각각 위치고정 되도록 한쌍의 회전칼 위치 고정기구(58)를 구비하고 있다.

이 회전칼 위치고정기구(58)는 회전칼 지지부재(56)를 관통하여 형성된 끼원맞춤구멍에 선단이 통과되는 잠금손잡이(58A)와, 이 잠금손잡이 (58A)의 선단이 상기 절단위치 및 후퇴위치에서 각각 결합되도록 지지베이스(36)에 형성된 2개의 로킹구멍(58B, 58C)과, 잠금손잡이(58A)를 그 돌출방향, 즉 지지 베이스(36) 방향으로 힘을 더하기 위한 잠금 스프링(58D)으로 구성되어 있다.

상기 잠금손잡이(58A)의 필름 폭방향 내측의 위치와 이것과 대향하는 위치에는 상기 회전 지지부재(56)로 부터 외부 및 내부로 연장된 유지판(58E)이 설치되어 있다. 이 유지판(58E)은 잠금손잡이(58A)의 중심축과 직교하도록, 또 이 잠금손잡이(58A)를 사람의 인지와 중지로 움켜쥐었을 때 엄지를 걸친 형상과 거리로 배치되어 있다.

상기 회전칼 지지부재(56)의 상,하부에는 각각 필름(12)쪽으로 압축된 공기를 불기 위한 공기취부관(60A, 60B, 60C)이 설치되어 있다. 이들 공기 취부관(60A, 60B, 60C)에는 상기 필름(12)에 대향하는 축에 공기취출구멍(도시되지 않음)이 각 관의 길이 방향을 따라서, 예를 들면 20mm정도로 다수 형성되어 있다. 또 상기 회전칼 지지부재(56)의 하부측에 한쌍의 공기취부(60B, 60C)이 배치되어, 상부의 공기취부관(60B)은 필름 절단시에 있어서 상기 임시부착부재(20)의 선단부(21A)로 향하여 공기 흐름을 형성할 수 있도록 되어 있으며, 하부의 공기취부관(60C)은 후술되는 진공흡착 바(70)와 가이드 롤(76) 사이에 공기흐름을 형성하도록 되어 있다.

상기 유지판(58E)은 좌우한쌍이며, 이들은 상기 상부측의 공기취부관(60A)에 의해 필름 폭방향에 일체적으로 연결되어 있다.

도면부호 62는 라미네이션 롤, 64는 상기 기판반송기구의 구동용 롤러, 66은 동일한 메카니즘의 구동용 롤러, 68은 기판누름부재 70은 필름(12)의 절단 후의 필름 후단을 흡착 유지하기 위한 진공흡착바, 72는 기판선단 위치검출 광센서, 74는 기판후단 위치검출 광센서를 각각 표시한다. 또 도면 부호 76은 필름 절단시에 있어서 진공홉착 바 (70)와 고정칼(54A)의 사이에 배치되며 이 고정칼(54A)의 위치에서 필름을 상,하방향으로 안내하기 위한 가이드 롤을 표시한다.

상기 진공홉착 바(70)는 라미네이션 롤(62)의 근방에 회전가능하게 설치되며, 이 라미네이션 롤(62)의 회전주변속도와 같거나 약간 늦은 속도로 절단된 필름(12)의 후단 또는 그 근방을 홉착유지하면서 기판(26)상의 필름(12)과 라미네이션 롤(62)과의 접촉면 근방위치까지 이동시키는 것이다.

상기 기판누름부재(68)는 기판압축롤러(68A)와 이것을 상하 이동시키는 기판압축롤러 구동용 공기압실린더(68B)로 구성되어 있다. 상기 라미네이션 롤러(62)와 기판압축부재(68)의 관계는 다음과 같다.

기판 반송면 Ⅰ-Ⅰ의 근방에 설치된 기판선단 위치검출 광센서(72)로 기판(26)의 선단이 검출되며, 소정시간후에 필름 부착위치까지 기판(26)이 반송되고, 구동용 롤러 (64)의 회전이 정지된다. 이것과 동시에 상기 기판누름부재(68)에 의해 기판(26)을 누르도록 기판압축롤러 구동용 공기압실린더(68B)에 의해 기판압축롤러(68)가 구동된다.

상기 기판압축롤러(68)에 의해 기판(26)의 이동이 확실하게 정지된다. 또한 임시부착부재(20)의 선단 부인 필름임시부착부재 본체(21)가 기판(26)에 접촉하여도 이 기판(26)이 이동하여 필름(12)의 부착이 확실하게 행해진다.

상기 기판압축롤러(68A)에 의한 기판(26)의 압축은 라미네이션 롤러(62)가 기판(26)에 접촉할 때까지 행해지고 라미네이션 롤러(62)의 접촉 타이밍과 동시에 기판압축롤러 구동용 공기압실린더(68)가 해제작동된다.

제10도 내지 제12도를 참조하여 상기 실시예에 관한 필름부착장치의 작용에 대하여 설명한다.

첫째로, 공기압실린더(44)에 의해 고정칼 지지용 이동 블럭(39A)을 필름 통과면(12A)방향으로 전진시켜 이것에 의해 필름지지부재(42)와 고정칼(54A)이 각각 상하부에 인접한 상태로 필름 통과면(12A)의 위치와 인접하도록 위치한다.

임시부착부재(20)는 서보모터(35)에 의해 원점(22A)으로 부터 기판 반송면 Ⅰ-Ⅰ 방향으로 구동하고 상기 압축롤러(48B)에 따라 레일 부재(48A)를 통하여 상기 필름지지부재(42)가 고정칼(54A)과 인접하는 상태(수동절단위치(22B), 제10a도 참조)까지 이것을 압하한다.

한편, 회전칼 지지부재(56)는 잠금손잡이(58A)를 인출하여 필름 통과면 (12A)으로 부터 떨어지는 방향으로 끌어당겨 후퇴위치에서 잠금손잡이(58A)를 로킹 구멍(58C)에 결합시켜 이 후퇴상태로 고정한다.

따라서, 회전칼(54B)과 고정칼(54A) 사이에는 간격이 생겨 이곳에 필름을 공급 롤(14)로 부터 인출하고, 또 커버 필름이 박리된 필름(12)을 수동으로 끌어당겨 필름(12)의 선단이 고정칼(54A)을 통과한 상태로 주 진공흡착판(22), 필름임시부착부재 본체(21) 및 상기 필름 지지부재(42)에 부가되는 압력을 인가하여 필름(12) 흡착한다.

그리고, 로터리 커터 각도조정기(37)에 의해 제8도에 있어서 좌측의 지지 베이스(36)를 상하로 이동시켜 이것에 지지되는 고정칼(54A) 및 회전칼(54B)을 고정칼(54A)의 절단칼 및 회전칼(54B)의 중심축선이 필름 폭방향과 평행하도록 위치한다.

그이후, 잠금손잡이(58A)를 끌어당겨 후퇴상태로 부터 회전칼 지지부재(56)를 해제하여 회전칼 지지부재(56)를 필름 통과면(12A) 방향으로 구동하고, 잠금손잡이(58A)를 필름 통과면(12A) 방향으로 구동하고, 잠금손잡이(58A)를 로킹구멍(58B)에 결합하여 절단위치에 고정하여 회전칼(54B)을 구동하고, 고정칼(54A)과의 사이에는 고정칼(54A)로 부터 나온 필름(12)의 선단은 직각으로 절단된다.

로킹구멍 58B 또는 58C로 부터 해제된 상기 회전칼 위치고정장치(58)의 잠금손잡이(58A)는 잠금 스프링(58D)에 대항하여 인장하기 때문에, 이 잠금손잡이(58A)의 필름 내측에 대향하여 배치된 상기 유지판(58E)에 엄지를 걸치고 잠금손잡이(58A)를 인지 및 중지로 움켜쥐어 이것을 끌어당기는 것에 의해 해제된다. 따라서, 손잡이(58A)에 의한 잠금을 무리한 힘을 가하지 않고 작업성이 양호한 해제를 하는 것이 가능하다.

그리고, 공기압실린더(44)에 의해 고정칼 지지용 이동 블록(38)을 구동하여 필름 지지부재(42)와 고정칼 지지부재(52)를 필름 통과면(12A)으로 부터 떨어지도록 구동한다.

이때, 필름(12)의 선단은 필름 지지부재(42)에 흡착되기 때문에 이 필름의 선단은 제10(b)도에 도시된 바와 같이 임시부착부재(20)의 주 진공흡착판(22)쪽으로 부터 끌어당겨지고, 또 필름임시부착부재 본체(21)의 만곡면의 따라서 이것에 압착되도록 인장된다. 따라서, 필름지지부재(42)로 부터 분리되어 필름임시부착부재 본체(21)에 흡착된다.

필름지지부재(42) 및 고정칼 지지부재(52)가 필름 통과면(12A)으로 부터 일정거리 이상 떨어져 있고, 필름 지지부재(42)의 임시부착 부재측면에 형성된 레일부재(48A)가 압축 롤러(48B)로 부터 빠져나온다.

따라서, 압축코일스프링(40D)이 압축력으로 부터 해압되어 신장하기 때문에 필름 지지부재(42) 및 이를 지지하는 가이드 프레임(40B), 유동 샤프트(40C)가 제10(c)도에 도시된 위치의 고정칼(54A)로 부터 떨어지는 방향으로 구동된다.

필름지지부재(42) 및 고정칼(54A)의 후퇴에 의해 임시부착부재(20)는 이들과 간섭하지 않고 기판(26)쪽으로 이동히 가능하며, 임시부착부재(20)는 제11(a)에 2점쇄선으로 도시된 바와 같이 부착대기위치(22D)까지 서보모터(35)에 의해 구동되며 이어서 정지된다.

또, 기판선단위치검출 광센서(70)에 의해 기판(26)의 선단이 검출된 후에, 소정의 타이밍으로 임시부착부재(20)는 공기압실린더(30)에 의해 기판(26)방향으로 구동되며, 제11(a)에 실선으로 도시된 바와 같이 필름임시부착부재 본제(21)에 감겨지는 필름(12)의 선단이 이 선단부(21A)의 히터에 의해 기판(26)의 선단에 압축, 부착된다.

이때, 기판(26)에 대한 필름(12) 접촉공정을 공기압실린더(30)에 의해 행하고, 기판(26)의 두께의 차이 등을 공기압에 의해 흡수시키는 것과 함께 충분한 압축력을 얻어 부착을 확실하게 행할 수 있다.

필름(12)의 선단의 부착이 개시되면 임시부착부재(20)는 그 압축이 해제되며 설정시간의 경과후에 제11(B)에 도시된 바와 같이 기판(26)으로부터 떨어지는 방향으로 전환위치(22F)까지 상기 공기 압실린더(30) 및 서보모터(35)에 의해 구동된다. 부착압착위치(22E)로 부터 상기 전환위치(22F)까지의 거리는 일정값으로 설정되어 있지만, 상시 임시부착부재(20)는 전화위치(22F)로 부터 원점(22A)까지는 공기압실린더(30)에 의해서만 구동되기 때문에 기판(26)의 두께의 변화에 의한 전환위치(22F)로 부터 원점(22A)까지의 거리의 변동이 공기압에 의해 흡수된다.

임시부착부재(20)가 기판(26)으로 부터 떨어지는 도중에 라미네이션 롤(62)이 기판(26)의 선단위치로 구동되며, 기판(26)이 구동용롤러(64)에 의해 반송하는 것에 의해 라미네이션 롤(62)에 의한 필름(12)의 기판(26)의 열압착이 개시된다.

이 열압착 개시직전에 상기 필름 지지부재(42) 및 고정칼(54A)은 상기 공기압실린더(44)에 의해 고정칼 지지용 이동 블록(39A)을 통하여 필름 통과면(12a)의 위치까지 전진된다. 이때, 고정칼(54A)에 대하여 필름지지부재(42)는 제12(a)도에 도시된 바와 같이 임시부착부재(20)측에서 일정거리로 떨어진 상태로 되어있다. 또, 라미네이션 롤(62)과 동시에 작동하여 상기 진공흡착 바(770)도 필름 통과면 (12a)의 위치로 구동된다.

또, 고정칼(54A)및 회전칼(54B)은 로터리 커터 각도조정기(37)에 의해 그 절단칼 및 중심축선이 회전칼(54B)의 절단칼의 비스듬한 각과 반대방향으로 5°정도 경사져 있다. 필름(12)을 이동중에 절단하더라도 그 선단가장 자리의 기울기가 최소로 된다.

필름(12)이 반송되어 부착되는 기판(26)의 후단이 근접하면 기판후단위 치검출 광센서(72)가 기판후단을 검출하고(제13도의 S101 참조), 임시부착부재 동작타이밍 카운터가 ON 또는 작동되며(S102), 소정시간후에 임시 부착부재(20)가 가이드 레일(28)에 따라서 서보모터(35)에 의해 필름(12)과 동시에 작동하여 기판(26)방향으로 구동된다(S103, S104). 이때, 이 임시부착 부재(20)에 부착된 상기 압축 롤러(48B)가 필름 지지부재(42)에 접촉하여 이를 압축하기 때문에 필름 지지부재(42)는 압축 코일스프링(40D)에 대항하여 고정칼(54A)에 인접하는 위치로까지 필름(12)과 동시에 작동하여 기판(26) 방향으로 압축된다(S105).

상기 임시부착부재 동작 타이밍 카운터가 ON신호를 검출하는 것과 동시에 진공 타이밍 카운터에 이 ON 신호가 입력된다(S106).

진공 타이밍 카운터는 소정시간후에 ON신호를 검출하고, 상기 임시부착부재(20) 및 필름지지부재(42)에 순차적으로 부가되는 진공흡착을 인가시킨다(S107, S108). 또한, 진공흡착 바(70)에도 진공흡착이 인가되어 상기 임시부착부재(20), 필름지지부재(42)와 함께 필름(12)이 이들에 흡착되는 상태로 된다. 이 부가되는 진공흡착 인가의 타이밍은 임시부착부재(20)의 기판(26)방향에로의 이동이 필름(12)과 동시에 일어나기 때문에 이 임시부착부재(20)에 진공흡착이 실행되고(진공ON), 또한 임시부착부재(20)가 필름지지부재(42)를 압축하여 이것과 동시에 일어나기 때문에 이 필름지지부재(42)에 진공흡착이 실행된다(진공ON).

또한, 상기 진공 타이밍 카운터로 부터의 ON 신호는 커터 스타트 타이밍 카운터(S109), 소정시간 후에 서보모터(54C)에 의해 회전칼(54B)이 구동되면(S110) 회전칼 (54B)과 고정칼(54A)의 사이에서 필름(12)이 절단된다(S111). 필름절단중 상기 임시부착부재(20), 필름지지부재(42) 및 필름(12)은 기판(26)방향으로 이동되며, 필름절단 종료후에 상기 필름지지부재(42)가 고정칼(54A)에 인접하는 위치까지 도달하여 정지된다(S112). 또한, 필름 절단시에 대해 회전칼(54B)의 절단칼의 회전속도를 필름(12)의 이동속도의 2배이상으로 하며 필름(12)의 이동중에도 필름을 인장하거나 또는 휘감는 것 없이 양호하게 절단할 수 있다.

필름(12)의 후단은 이곳에 상기 공기 취부관(60B, 60C)으로 부터 공기가 취부되기 때문에 제12(B)에 도시된 바와 같이 가이드 롤러(72)에 감기도록 불려진다.

필름(12)의 후단은 라미네이션 롤(62)에 의한 압착이 진행중이기 때문에 기판(26)방향으로 이동하지만, 이 후단이 가이드 롤러(72)를 통과할 때 전환밸브(도시되지 않음)에 의해 압력공기공급을 공기취부관(60B ∼ 60C)으로 전환한다.

따라서, 필름(12)의 후단은 제12(b)도에 2점쇄선으로 도시된 바와 같이 진공흡착 바(70)에 감겨지도록 불려진다. 이곳에서 상기 공기취부관(60B)으로 부터의 공기흐흠이 임시부착부재(20)의 선단부(21)로 향하여 분출하는 사이에 제10(a)도에서 제10(b)도에 이르는 공정이 진행하고, 필름(12)의 선단이 이 공기흐름에 의해 임시부착부채 본체(21)의 만곡한 흡착면 및 필름지지부재(42)의 선단흡착면에 불려지며 이것으로 부터의 필름(12)의 탈락이 방지된다.

진공흡착 바(70)에 감겨진 필름(12)의 후단은 이것에 흡착되며, 이 흡착에 의해 필름(12)의 후단에 인장력을 가하는 라미네이션 롤(62)에 의해 필름(12)을 기판(26)에 열압착하여 1회의 필름 부착공정을 종료한다.

기판(26A)에 필름(12)의 열압착이 종료한 후에는 제10(a)도에 도시된 최초의 상태(원점(22A)의 위치)로 되돌아가고, 다음의 기판(26)에 전술 한 것과 동일한 방법의 제10(a)도 ∼ 제10(b)도에 도시되는 과정으로 반복하여 열압착시킨다.

또, 상기 실시예는 공기압실린더를 각소에 이용하고 있지만 이것은 유체에 의해 작동되는 실린더 장치인 유압실린더, 수압실린더, 가스실린더등이라도 좋다.

상기 실시예에 따르면, 기판에 인접한 위치에 도달할 때까지 임시부착 부재는 모터에 의해 구동되며 임시부착부재의 위치는 모터의 회전수에 따라 제어되며, 압착하는 동안에는 실린더 장치에 의해 구동된다. 기판 두께의 차이는 실린더 장치의 공기압에 의해 해소되거나 또는 흡수될 수 있어, 필름은 기판의 양면에 확실하게 부착된다.

또한, 실린더 장치에 의해 짧은 시간으로 원점에 임시부착부재를 되돌리는 동안 임시부착부재의 위치는 모터의 회전수에 따라 제어된다.

또한, 기판 반송면에 근접하는 대기 위치에 유지하는 동안 임시부착부재는 기판이 이송되자 마자 필름부착작용을 신속하게 형성할 수 있어 필름부착시간을 감소할 수 있다.

또한, 한쪽의 임시부착부재가 기판의 한쪽 표면에 접촉하는 연속작용에 의해 기판의 양 표면에 2개의 필름을 일정하게 또는 확실하게 흡착할 수 있으며, 다른쪽 임시부착부재는 동일한 기판의 다른쪽 표면에 흡착된다.

또한, 필름지지부재와 고정칼 지지부재의 양방향이 서로 독립하여 전, 후방이동 가이드 레일의 이동 레일에 지지되어 있어서, 이들을 필름 통과면으로 부터 전,후방으로 이동시킬 때 굽힘력이나 또는 전단력이 발생하는 것이 없이 확실하게 구동할 수 있다. 따라서, 종래기술에 반하여 본 발명은 필름지지부재의 동작불량이 생기지 않는다.

또한, 임시부착부재에 의해 누름기구를 통하여 필름지지부재를 고정칼방향으로 압축하고, 압축상태에서 필름지지부재가 임시부착부재와 비결합의 위치까지 후퇴할 수 있어, 필름지지부재의 구동을 위한 복잡한 제어기구를 설치하지 않고 확실하게 그 위치결정을 할 수 있다.

상기 누름기구의 장점에 의해 필름지지부재가 필름으로 부터 일정거리로 띄어질 때, 임시부착부재는 기판상에 필름을 부착하도록 필름지지부재를 지나서 기판 방향으로 이동할 수 있다.

누름기구는 상기 기판방향으로 필름지지부재를 압착하기 위한 롤러와, 상기 필름지지부재상에 제공되고 필름 통과면에 수직방향인 상기 롤러에 대하여 이동가능한 레일로 구성되어 있는 압축부재를 각각 구비하고 있다. 임시부착부재에 압착하는 동안 필름지지부재는 상기 롤러와 간섭없이 후퇴위치 방향으로 필름통과면에 수직방향으로 변위될 수 있다.

가이드 레일을 따라서 이동가능한 회전칼 지지부재에 의해 지지되는 회전칼은 분리안내기구를 요구하지 않고 고정칼에 대하여 작동위치를 유지하면서 변위될 수 있다.

유지판은 서로간에 접촉하는 회전 또는 고정칼의 절단위치와, 분리되는 회전 또는 고정칼의 후퇴위치에 가이드 레일 측면부재에 대하여 회전칼지지기구를 고정하기 위해 사용되는 2개의 대향한 손잡이 중 하나에 대치하여 제공된다. 두 번째와 세 번째 손가락으로 손잡이를 움껴쥐고 첫 번째 손가락을 유지판에 거는 손잡이 조작에 의해 작압자는 작업상태에서 어렵지 않게 가이드 레일측으로 부터 회전칼 지지부재를 해제할 수 있다.

필름의 폭방향으로 좌우한쌍으로 배치된 유지판은 공기취부관에 의해 필름 폭방향으로 서로 연결되어, 공기취부관 및 유지판의 단단함이 상당히 증가될 수 있다.

Claims

투광성 지지필름위에 감광성 수지층 및 커버필름이 적층된 연속 필름을 필름공급 롤로 부터 인출하고, 상기 커버필름이 분리된 후 상기 연속 필름은 반송수단에 의해 반송된 기판의 선단근방에 안내되어, 감광성 수지층이 기판측에 위치되도록 하여 이 기판에 대하여 근접 및 떨어지는 방향으로 이동가능한 임시부착부재 및 이 임시부착부재의 기판측에 인접하여 위치된 필름지지부재에 흡착하여 유도된 후, 이 필름지지부재를 후퇴시켜서 필름 선단을 상기 임시부착부재 선단에 감아서 상기 기판의 선단에 상기 임시부착부재에 의해 부착한 후 라미네이션 롤에 의해 필름을 기판에 압착하면서 기판을 반송하고, 상기 압착이 개시되면 상기 임시부착부재가 필름 통과면을 따라서 기판으로 부터 일정간격으로 떨어지며, 상기 필름절단전에 상기 임시부착부재를 필름과 동시에 기판방향으로 이동시켜서 필름의 절단예정부위의 상류측 부분에서 상기 필름을 이 임시부착부재에 의해 흡착하고, 그후에 필름 통과면까지 전진하여 대기하고 있는 상기 필름지지부재를 상기 임시부착부재의 이동과 동시에 이동시키면서 이 필름지지부재에 의해 상기 필름의 상기 절단예정부위의 상류측에 인접한 부위를 흡착하고, 이들 임시부착부재 및 필름지지부재를 기판방향으로 이동시키면서 필름 통과면에 평행하게 연장하는 회전축을 중심으로 회전가능한 회전칼과 이 회전칼로 부터 근접 및 떨어지는 방향으로 이동가능한 고정칼로 구성된 로터리 커터에 의해 상기 필름이 절단되며, 상기 임시부착부재 및 필름지지부재는 이 필름지지부재가 상기 로터리 커터의 고정칼에 접촉하기 전에 정지되는 것을 특징으로 하는 필름 부착방법.
제1항에 있어서, 상기 필름지지부재는 필름 통과면을 따라 이동가능하게 지지되어 있고 기판 반송면으로 부터 떨어지는 방향으로 힘이 가해지며, 필름을 절단하기 직전에 상기 임시부착부재가 기판방향으로 필름과 동시에 이동할 때 필름지지부재가 이 임시부착부재에 접촉한 다음 기판방향으로 이동하는 임시부착부재에 의하여 임시부착부재의 이동과 동시에 눌려지는 것을 특징으로 하는 필름부착방법.
제1항에 있어서, 상기 필름공급 롤, 임시부착부재, 필름지지부재 및 라미네이션 롤을 기판 반송면에 대하여 상하 각 한쌍으로 배치하여 기판의 양면에 필름을 부착하며, 필름을 기판에 부착시 한쪽의 임시부착부재의 선단에 의해 필름을 기판의 한쪽면에 접촉시킨 상태에서 이 한쪽의 임시부착부재를 정지시키고, 이 상태에서 다른 필름을 다른쪽이 임시부착부재의 선단에 의해 기판의 다른 면에 눌려지도록 2개의 필름이 2개의 임시부착부재의 선단 사이에 단단히 물려진 기판의 양면에 눌려지는 것을 특징으로 하는 필름부착방법.
제3항에 있어서, 상기 기판을 수평으로 배치한 반송수단상에 반송시켜 상기 한쪽의 임시부착부재를 반송수단상의 기판의 하부 면에 필름을 통하여 접촉한 상태로 대기시기고, 또 상기 다른쪽의 임시부착부재를 상기 기판의 상부 면에 필름을 통하여 접촉시키는 것을 특징으로 하는 필름부착방법.
제1항에 있어서, 상기 임시부착부재의 선단에 의해 상기 기판의 선단에 필름이 임시 부착될 때, 이 임시부착부재가 기판 반송면으로 부터 멀리 떨어진 위치의 원점으로 부터 상기 기판 반송면으로 접근하는 공정에서, 상기 원점으로 부터 기판 반송면 근방위치까지의 사이에서는 모터에 검출된 회전수에 따라 상기 임시부착부재를 위치제어하여 구동하고, 상기 기판 반송면 근방위치로 부터 상기 임시부착부재가 상기 기판에 필름을 통하여 접촉할 때까지의 사이에서는 상기 임시부착부재를 실린더 장치에 의해 구동하고, 상기 임시부착부재가 상기 원점으로 복귀하는 공정에서는 상기 기판에 접촉하는 위치로 부터 상기 원점 근방까지의 사이에서는 모터의 검출된 회전수에 따라 상기 임시부착부재를 위치제어하여 구동하고, 상기 원점 근방위치로 부터 원점까지의 사이에서는 상기 임시부착부재를 실린더 장치에 의해 구동하는 것을 특징으로 하는 필름부착방법.
제5항에 있어서, 상기 필름공급 롤, 임시부착부재, 필름지지부재 및 라미네이션 롤을 기판 반송면에 대하여 상하 각 한쌍으로 배치하여 기판의 양면에 필름을 부착하며, 필름을 기판에 부착시 한쪽의 임시부착부재의 선단에 의해 필름을 기판의 한쪽면에 접촉시킨 상태에서 이 한쪽의 임시부착부재를 정지시키고, 이 상태에서 다른 필름이 다른쪽의 임시부착부재의 선단에 의해 기판의 다른 면에 눌려지도록하여 2개의 필름이 2개의 임시부착부재의 선단 사이에 단단히 물려진 기판의 양면에 눌려지는 것을 특징으로 하는 필름부착방법.
제6항에 있어서, 상기 기판을 수평으로 배치한 반송수단상에 반송시켜 상기 한쪽의 임시부착부재를 반송수단상의 기판의 하부 면에 필름을 통하여 접 촉한 상태로 대기시기고, 또 상기 다른쪽의 임시부착부재를 상기 기판의 상부 면에 필름을 통하여 접촉시키는 것을 특징으로 하는 필름부착방법.
제5항에 있어서, 상기 원점으로의 복귀 공정에서, 상기 기판접촉 위치로 부터 원점 근방까지의 사이에서는 상기 임시부착부재를 모터와 실린더 장치에 의해 구동하는 것을 특징으로 하는 필름부착방법.
제5항에 있어서, 상기 기판 반송면에 근접하는 공정에서, 상기 임시부착부재는 기판 반송면에 인접한 위치에서 정지되고, 상기 기판이 임시 부착위치로 이송된 후 상기 임시부착부재가 상기 기판상에 필름선단을 임시 부착하기 위해 실린더 장치에 구동되는 것을 특징으로 하는 필름부착방법.
제9항에 있어서, 상기 필름공급 롤, 임시부착부재, 필름지지부재 및 라미네이션 롤을 기판 반송면에 대하여 상하 각 한쌍으로 배치하여 기판의 양면에 필름을 부착하며, 필름을 기판에 부착시 한쪽의 임시부착부재의 선단에 의해 필름을 기판의 한쪽면에 접촉시킨 상태에서 이 한쪽의 임시 부착부재를 정지시키고, 이 상태에서 다른 필름이 다른쪽의 임시부착부재의 선단에 의해 기판의 다른 면에 눌려지도록 하여 2개의 필름이 2개의 임시부착부재의 선단 사이에 단단히 물려진 기판의 양면에 눌려지는 것을 특징으로 하는 필름부착방법.
제10항에 있어서, 상기 기판을 수평으로 배치한 반송수단상에 반송시켜 상기 한쪽의 임시부착부재를 반송수단상의 기판의 하부 면에 필름을 통하여 접촉한 상태로 대기시기고, 또 상기 다른쪽의 임시부착부재를 상기 기판의 상부 면에 필름을 통하여 접촉시키는 것을 특징으로 하는 필름부착방법.
투광성 지지필름위에 감광성 수지층 및 커버필름이 적층된 연속 필름을 필름공급 롤로 부터 인출하고, 상기 커버필름이 분리된 후 상기 연속 필름은 반송수단에 의해 반송된 기판의 선단근방에 안내되어, 감광성 수지층이 기판측에 위치되도록 하여 이 기판에 대하여 근접 및 떨어지는 방향으로 이동가능한 임시부착부재 및 이 임시부착부재의 기판측에 인접하여 위치된 필름지지부재에 흡착하여 유도된 후, 이 필름지지부재를 후퇴시켜서 필름 선단을 상기 임시부착부재 선단에 감아서 상기 기판의 선단에 상기 임시부착부재에 의해 부착한 후 라미네이션 롤에 의해 필름을 기판에 압착하면서 기판을 반송하고, 상기 압착이 개시되면 상기 임시부착부재가 필름 통과면을 따라서 기판으로 부터 일정간격으로 떨어지며, 또한 필름 통과면에 평행한 회전축을 중심으로 회전가능한 회전칼과 이 회전칼에 대하여 근접 및 떨어지는 방향으로 이동가능한 고정칼로 구성된 로터리 커터에 의해 상기 필름이 상기 필름지지부재에 인접한 위치에서 절단되며, 또한 필름절단시에는 상기 필름지지부재가 필름 통과면까지 전진하여 상기 임시부착부재와 함께 필름을 흡착하는 필름부착장치에 있어서; 상기 장치는 필름이송방향과 평행하게 이동가능하고 상기 고정칼의 필름 폭방향의 양단 외측위치에서 상기 장치 본체에 부착된 한쌍의 지지 베이스, 상기 지지 베이스에 상기 필름 통과면과 직교하는 방향으로 배치된 한쌍의 전,후방향이동 가이드 레일, 상기 전,후 방향 이동 가이드 레일의 한쌍의 이동 블록에 의해 지지된 한쌍의 고정칼 지지부재 및 한쌍의 필름지지부재 지지기구를 더 구비하며, 상기 고정칼 지지부재는 상기 고정칼의 양단을 지지하고 상기 필름 지지부재 지지기구가 상기 필름지지부재의 양단을 지지하며, 상기 필름지지부재 지지기구가 상기 필름지지부재를 상기 필름 통과면에 따라 일정범위내에서 이동가능하게 지지하고 기판 반송면으로 부터 떨어지는 방향으로 필름지지부재에 힘을 가하는 한쌍의 스프링을 구비하고 있으며, 상기 임시부착부재가 일정거리를 지나서 상기 필름지지부재에 접근했을 때 상기 필름지지부재를 상기 스프링에 대항하여 누르고, 또한 상기 필름지지부재가 필름으로부터 일정거리로 떨어질 때 상기 필름지지부재를 지나서 상기 기판 방향으로 이동하는 것을 허용하는 누름기구를 상기 필름지지부재와 상기 필름지지부재 지지기구 사이에 설치한 것을 특징으로 하는 필름부착장치.
제12항에 있어서, 상기 누름기구는 상기 필름지지부재의 기판측 선단근방의 측방으로 부터 기판방향으로 돌출한 위치에 배치되고 상기 임시부착부재가 기판방향으로 일정거리 이상 이동할 때 상기 필름지지부재에 맞물려 눌려지는 누름부재를 각각 구비하는 것을 특징으로 하는 필름부착장치.
제13항에 있어서 상기 누름부재는 회전중심축이 상기 필름의 폭방향과 평행한 롤러를 구비하고 있고, 상기 누름기구는 상기 롤러와 상기 필름지지부재 지지기구의 상기 롤러가 맞물리는 부위에 상기 필름 통과면과 직교하는 방향으로 배치되어 상기 롤러와 접촉한 상태에서의 이동을 허용하는 레일로 구성되며, 상기 레일이 상기 필름지지부재와 상기 임시부착부재가 필름이송방향으로 서로 간섭하는 범위로 설치된 것을 특징으로 하는 필름부착장치.
제12항에 있어서, 상기 장치가 상기 회전칼의 양단을 상기 전,후방향이동 가이드 레일에 따라 이동가능하게 지지하고 상기 회전칼을 상기 필름 통과면의 위치에 있는 상기 고정칼과 협동하여 필름을 절단하는 절단위치 및 상기 필름 통과면으로 부터 떨어진 후퇴 위치에 고정가능한 회전칼지지기구를 더 구비한 것을 특징으로 하는 필름부착장치.
제15항에 있어서, 상기 회전칼 지지기구가 상기 절단위치 및 후퇴 위치에서 상기 각각의 전,후방향이동 가이드 레일의 고정 레일측에 형성된 오목한 부분에 결합가능한 결합 돌기부 및 상기 결합 돌기부를 돌출방향으로 힘을 가하는 스프링을 구비하는 것을 특징으로 하는 필름부착장디.
제16항에 있어서, 상기 결합 돌기부가 상기 고정 레일에 대하여 필름 폭방향의 내측 위치에서 필름 폭방향으로 전진, 후퇴가능하게 배치되고, 또한 이 기단부에 손잡이가 설치되며, 상기 회전칼 지지기구는 상기 손잡이의 필름 폭방향 내측에 대향하는 위치에 두 번째 및 세 번째 손가락으로 상기 손잡이를 움켜쥘 때 첫 번째 손가락이 걸리는 것이 가능한 유지판을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 필름부착장치.
제17항에 있어서, 상기 결합 돌기부, 손잡이 및 유지판은 상기 회전칼에 대하여 필름 폭방향의 좌우에 한쌍으로 설치되며, 상기 좌우의 유지판은 상기 회전칼과 평행하고 상기 필름 통과면에 근접하여 배치되며 상기 필름에 압축공기를 불어넣는 공기취부관에 의해 필름 폭방향으로 함께 연결되는 것을 특징으로 하는 필름부착장치.