JPS63117487A

JPS63117487A - 薄膜張付装置

Info

Publication number: JPS63117487A
Application number: JP26423586A
Authority: JP
Inventors: 住　成夫; 濱村　文雄; 沢田　範泰
Original assignee: Somar Corp
Current assignee: Somar Corp
Priority date: 1986-11-06
Filing date: 1986-11-06
Publication date: 1988-05-21
Also published as: JPH049656B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、薄膜を基板に張付ける技術に関し、特に、基
板に薄膜の先端を仮付けする薄膜張付装置用薄膜仮付部
材に適用して有効な技術に関するものである。

〔従来技術〕

コンピュータ等の電子機器に使用されるプリント配線板
は、銅等の所定パターンの配線が絶縁性基板の片面又は
両面に形成されたものである。

この種のプリント配線板は、次の製造工程により製造す
ることができる。

まず、絶縁性基板上に設けられた導電層上に、感光性樹
脂（フォトレジスト）層とそれを保護する透光性樹脂フ
ィルム（保護膜）とからなる積層体を熱圧着ラミネート
する。この熱圧着ラミネートは、薄膜張付装置所謂ラミ
ネータにより量産的に行われる。この後、前記積層体に
配線パターンフィルムを重ね、この配線パターンフィル
ム及び透光性樹脂フィルムを通して、感光性樹脂層を所
定時間露光する。そして、透光性樹脂フィルムを剥離装
置で剥離した後、露光された感光性樹脂層を現像してエ
ツチングマスクパターンを形成する。この後、前記導電
層の不必要部分をエツチングにより除去し、さらに残存
する感光性樹脂層を除去し。

所定の配線パターンを有するプリント配線板を形成する
。

前述のプリント配線板の製造工程においては、絶縁性基
板の導電層上に、薄膜張付装置で自動的に積層体を熱圧
着ラミネートする工程が必要とされている。この熱圧着
ラミネート工程の概要は次のとおりである。

まず、薄膜張付装置の供給ローラに連続的に巻回されて
いる積層体を、メインバキュームプレートで基板に供給
する。メインバキュームプレートは、積層体供給面に複
数の吸着孔が設けられており、この吸着孔に積層体を吸
着し供給するように構成されている。基板に供給される
積層体の先端部は、メインバキュームプレートの供給方
向先端側に設けられた円孤形状の仮付部で絶縁性基板の
導電層上に仮り付け（仮熱圧着）される。積層体の先端
部は、積層体の供給経路に近接又は離反するサブバキュ
ームプレートにより、仮付部に吸着させることができる
。メインバキュームプレート及びサブバキュームプレー
トは、積層体の供給及び仮付動作が行えるように、基板
に対して近接及び離反する支持部材を介して装置本体に
取り付けられている。

次に、先端部が仮り付けされた積層体は、熱圧着ローラ
で基板に熱圧着ラミネートされる。積層体が一定量熱圧
着ラミネートされると、切断装置により基板に対応した
所定寸法に積層体が切断される。切断装置は、メインバ
キュームプレート及びサブバキュームプレートと共に、
前記支持部材に設けられている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかしながら、この種の薄膜張付装置では、メインバキ
ュームプレートの供給方向先端側に設けられだ円孤形状
の仮付部が破損した場合、メインバキュームプレート全
体を取り換えなければならないという問題があった。

また、メインバキュームプレートの供給方向先端側に設
けられた円孤形状の仮付部で絶縁性基板の導電層上に薄
膜の先端が仮付け（仮熱圧着）される際、仮付は部分以
外の部分も加熱されるので。

感光性樹脂（フォトレジスト）層がべとついて、熱圧着
ラミネートされた薄膜に気泡等が発生して接着不良を発
生するという問題があった。

本発明の目的は、薄膜張付装置において、メインバキュ
ームプレート供給方向先端側に設けられた円孤形状の仮
付部が破損しても、その破損した仮付部のみを取り換え
ることができる技術を提供することにある。

本発明の他の目的は、薄膜張付装置用薄膜仮付部材の基
板に薄膜を押圧して仮付けするための薄膜仮付用先端部
材のみを加熱することができる技術を提供することにあ
る。

本発明の他の目的は、薄膜張付装置において、基板に張
り付けられた薄膜における気泡等による接着不良を防止
することができる技術を提供することにある。

本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本
明細書の記述及び添付図面によって明らかになるであろ
う。

〔問題点を解決するための手段〕

本願において開示される発明のうち、代表的なものの概
要を簡単に説明すれば、次のとおりである。

本発明は、薄膜を基板に張り付けるための薄膜張付装置
であって、前記基板に張り付けられる薄膜を押圧して仮
付けするための薄膜仮付部材を薄膜供給部材の薄膜供給
方向の先端部に断熱材を介在させて着脱自在に取り付け
たことを特徴とするものである。

また、前記薄膜仮付部材をその本体と基板に張り付けら
れる薄膜を押圧して仮付けするための薄膜仮付用先端部
材とに分割し、前記薄膜仮付部材本体を薄膜供給部材の
薄膜供給方向の先端部に断熱材を介在させて着脱自在に
取り付け、前記薄膜仮付用先端部材を薄膜仮付部材本体
に着脱自在に断熱材を介在させて取り付けたことを特徴
とするものである。

また、前記薄膜仮付部材本体に加熱源設定用凹部を設け
、基板に張り付けられる薄膜を押圧して仮付けする薄膜
仮付用先端部材の前記加熱源設定用凹部に対応する位置
に加熱源を装着し、前記薄膜仮付部材本体を薄膜供給部
材の薄膜供給方向の先端部に断熱材を介在させて着脱自
在に取り付け、前記薄膜仮付用先端部材を薄膜仮付部材
本体に着脱自在に断熱材を介在させて取り付けたことを
特徴とするものである。

〔作用〕

上述した手段によれば、薄膜仮部材の先端部又は薄膜仮
付用先端部材の基板に張り付けられる薄膜を抑圧して仮
付けする部分が破損しても、薄膜仮付用先端部材を薄膜
仮付は部材本体から取り外して交換することができるの
で、メインバキュームプレート全体を交換する必要がな
い。

また、前記基板に張り付けられる薄膜を押圧して薄膜を
仮付けする薄膜仮部材又は薄膜仮付用先端部材を、薄膜
供給部材又は薄膜仮付部材本体に着脱自在に断熱材を介
在させて取り付けたことにより、薄膜仮付用先端部材の
みを加熱し、その熱が他の部分に伝導していくのを断熱
材により防止することができるので、感光性樹脂（フォ
トレジスト）層をべとつかせることなく、薄膜の仮付を
行う部分のみが熱圧着され、熱圧着ラミネートされた薄
膜に気泡等が発生して接着不良を発生するのを防止する
ことができる。

また、前記薄膜仮付部材本体に加熱源設定用凹部を設け
、薄膜仮付用先端部材の前記加熱源設定用凹部に対応す
る位置に加熱源を装着し、該薄膜仮付用先端部材を前記
薄膜仮付部材本体に着脱自在に断熱材を介在させて取り
付けたことにより、薄膜仮付部材をコンパクトに構成す
ることができる。

〔発明の実施例〕

以下、プリント配線用基板に感光性樹脂層と透光性樹脂
フィルムとからなる積層体を熱圧着ラミネートする薄膜
張付装置に適用した本発明の一実施例について、図面を
用いて具体的に説明する。

なお、実施例を説明するための全回において。

同一機能を有するものは同一符号を付け、その繰り返し
の説明は省略する。

本発明の一実施例に係る薄膜張付装置を第１図（概略構
成図）で示す。

第１図に示すように、透光性樹脂フィルム、感光性樹脂
層及び透光性樹脂フィルムの３層構造からなる積層体１
は、供給ローラ２に連続的に巻回されている。供給ロー
ラ２に巻回された積層体１は、薄膜分離ローラ３で、透
光性樹脂フィルム（保護膜）ＩＡと、−面（接着面）が
露出された感光性樹脂層及び透光性樹脂フィルムからな
る積層体ＩＢとに分離される０分離され−た透光性樹脂
フィルムＩＡは、巻取ローラ４により巻き取られるよう
に構成されている。

供給ローラ２は、第２図（要部斜視図）に示すように、
その軸部２Ａと円孤状凹部５Ａとを嵌合させ、ローラ仮
支持部材５に支持されるようになっている。ローラ仮支
持部材５は、装置本体７のフレームの内側に１例えばネ
ジ等の接続部材（又は接着剤）によって取り付けられて
いる。

巻取ローラ４は、その軸部４ＡとＵ字状凹部６Ａとを嵌
合させ、ローラ支持部材６に支持されている。ローラ支
持部材６は、装置本体７のフレームの内側に、ローラ支
持部材５と同様に取り付けられている。

ローラ仮支持部材５は、左側（作業者に近い側）に供給
ローラ２の仮置場としての円孤状凹部５Ａ。

５Ｂが設けられている。一方、ローラ支持部材６は、右
側（作業者に遠い側）に巻取ローラ４の仮置場としての
円孤状凹部６Ｂ、６Ｃが設けられている。

ローラ支持部材５，６の夫々に設けられた仮置場として
の円孤状凹部５Ａ、５Ｂ、６Ｂ、６Ｃの夫々は１例えば
、次のように使用される。積層体１がなくなり、供給ロ
ーラ２を交換する場合、巻取ローラ４の軸部４ＡをＵ字
状凹部６Ａから仮置場としての円孤状凹部６Ｂ又は６Ｃ
に嵌合させる。

この状態において、エアーシリンダのエアーを開放し、
棒状部材２Ｂを供給ローラ２の軸部２Ａから外し、この
軸部２Ａを一旦仮置場としての円弧状凹部５Ａにおき、
ついで円弧状凹部５Ｂに一旦嵌合させ、この後、ローラ
支持部材５から取り外す１次に、新しい供給ローラ２を
仮置場としての円孤状凹部５Ｂに一旦嵌合させ、この後
、円弧状凹部５Ａに移動して嵌合させ、ついでエアーシ
リンダを作動させ、棒状部材２Ｂを軸部２Ａに嵌合させ
る。そして、ローラ支持部材６の円孤状凹部６Ｂ又は６
Ｃに嵌合させてあった巻取ローラ４の軸部４ＡをＵ字状
凹部６Ａに嵌合させる。

このように、ローラ支持部材５に設けられた仮置場とし
ての円孤状凹部５Ａ又は５Ｂ、ローラ支持部材６に設け
られた仮置場としての円孤状凹部６Ｂ又は６Ｃの夫々は
、かなりの重量がある供給ローラ２や巻取ローラ４を完
全に取り外す必要がなく、少し移動するだけで夫々の取
り付け、取り外し作業を行うことができる。つまり、薄
膜張付装置において１作業能率を向上することができ、
又１作業上の安全性を向上することができる。

前記薄膜分離ローラ８の一端部には、第２図及び第３図
（要部拡大斜視図）に示すように、薄膜供給検出装置８
が設けられている。薄膜分離ローラ３は、積層体１の供
給経路内に設けられており、薄膜供給検出装置８は、積
層体１及びＩＢの供給経路（供給ローラ２から基板まで
の経路）内に設けられている。薄膜供給検出装置１８は
、薄膜分離ローラ３の回転で矢印Ａ方向に回転し、その
円周部にスリット部８Ａを有する回転板８Ｂと、前記ス
リット部８Ａを検出する検出部８Ｃとを有するエンコー
ダで構成されている。つまり、薄膜供給検出装置８は、
薄膜分離ローラ３の回転数に対応して所定の信号を出力
するように構成されている。

回転板８Ｂは１例えば、樹脂材料、軽金属材料。

合金材料等で構成されている。検出部８Ｃは、例えば、
光、超音波等でスリット部８Ａが存在するか否かを検出
できるように構成されている。薄膜供給検出装置！８は
、積層体１及びＩＢの供給に際し、邪魔にならないよう
に、その供給経路以外の装置本体７のフレームの外部に
取り付けられている。

このように、積層体１及びＩＢの供給経路に薄膜供給検
出装置８を設けることにより、積層体１及びＩＢの供給
時の供給状態を検出することができる。つまり、薄膜供
給検出装置８は、後述する仮熱圧着動作時、熱圧着うミ
ネート動作時、積層体ＩＢの切断動作時等、積層体１又
はＩＢが供給される時に、その供給が正確に行われてい
るか否かを検出することができる。積層体１又はＩＢの
供給が正確に行われていない場合は、検出部８Ｃの出力
信号でアラーム等の異常警報装置（図示していない）を
動作させ、作業者に知らせることができる。また、自動
的に、薄膜張付装置を停止させることができる。すなわ
ち、薄膜供給検出装置８は、プリント配線板の製造上の
歩留りを向上することができる。

なお、薄膜供給検出装置８は、積層体１及びＩＢの供給
経路内のどの場所に設けてもよいが、薄膜分離ローラ３
に設けることが有利である。つまり、薄膜分離ローラ３
は、複雑な構成を必要とせず、又１回転以外の可動を必
要としないので、簡単に薄膜供給検出装置８を取り付け
ることができる。

前記薄膜分離ローラ３で分離された積層体ＩＢの供給方
向の先端部は、第１図及び第２図に示すテンションロー
ラ９を通してメインバキュームプレート１０に吸着され
るように構成されている。

テンションローラ９は、供給ローラ２とメインバキュー
ムプレート１０又は熱圧着ローラ１６との間の積層体Ｉ
Ｂに適度なテンションを与えるように構成されている。

つまり、テンションローラ９は、供給される積層体ＩＢ
にしわ等を生じないように構成されている。

メインバキュームプレート（薄膜供給部材）１０は、積
層体ＩＢを供給ローラ２から絶縁性基板１１の導電層（
例えば、Ｃｕ層）上に供給するように構成されている。

メインバキュームプレート１０は、第１図及び第４図（
要部拡大構成図）で示すように、絶縁性基板１１に近接
しかつ離反する（矢印Ｂ方向に移動する）支持部材１２
に設けられている。支持部材１２は、ガイド部材７Ａを
矢印Ｂ方向に摺動可能なように、装置本体（薄膜張付装
置の筐体）７に設けられている。支持部材１２は、絶縁
性基板１１の搬送経路を中心に、上下、一対に設けられ
ている。

上部の支持部材１２と下部の支持部材１２とは、ラック
アンドビニオン機構により連動的に動作する（両者が同
時に近接又は離反する）ように構成されている。つまり
、上下、一対の支持部材１２は、夫々に設けられたラッ
ク１２Ａと、このラック１２Ａと嵌合するビニオン１２
Ｂとで連動的に動作する。

この支持部材１２の動作は、下部の支持部材１２に設け
られた駆動源１２Ｃで行われる。駆動源１２Ｃは、例え
ば、エアーシリンダで構成する。また、駆動源１２Ｇは
、油圧シリンダ又は電磁シリンダ、或はステップモータ
及びその変位を支持部材１２に伝達する伝達機構響で構
成することができる。

前記メインバキュームプレート１０は、絶縁性基板１１
に近接しかつ離反する（矢印Ｃ方向に移動する）ように
、支持部材１２に設けられている。メインバキュームプ
レート１０は、支持部材１２に設けられた駆動源１２Ｄ
と、ラックアンドビニオン機構とで動作するように構成
されている。このラックアンドビニオン機構は、駆動源
１２Ｄに設けられたピニオン１２Ｅ、支持部材１２に設
けられたラック１２Ｆ。

メインバキュームプレート１０に設けられたラック１０
Ａで構成されている。駆動源１２０は、駆動源１２Ｃと
同様のもので構成する。

メインバキュームプレート１０には、第５図（部分断面
斜視図）で示すように、積層体ＩＢの供給方向と略直交
する供給幅方向に延在する溝部１０Ｂが搬送方向に複数
設けられている。溝部１０Ｂの長さく積層体ＩＢの供給
幅方向と同一方向の長さ）は。

適用する積層体の内で、最も巾寸法が大である積層体Ｉ
Ｂよりもやや大きい寸法で構成されている。

溝部１０Ｂの底部には、積層体ＩＢを吸着させるための
吸着孔１０Ｇが複数設けられている。図示していないが
、吸着孔１０Ｃは、排気管を通して、真空ポンプ等の真
空源に接続されている。溝部１０Ｂの端部１０Ｄは、メ
インバキュームプレート１０の端部から中央部に掘り下
げたテーバ形状に構成されている。

積層体ＩＢの供給方向におけるメインバキュームプレー
ト１０の先端部には、第６図（要部断面図）に示すよう
に、積層体ＩＢを吸着する面が円孤形状に形成された仮
付部材３０が、フェノール樹脂等のプラスチック等から
なる断熱材３１を介在して止めねじ３２で着脱自在に取
り付けられている。この薄膜仮付部材３０は、仮付部材
本体３３と仮付用先端部材３４とからなっており、仮付
用先端部材３４は、仮付部材本体３３にプラスチック等
の断熱材３１を介在して止めねじ３２で着脱自在に取り
付けられている。絶縁性基板１１に積層体ＩＢを仮付け
するための仮付用先端部材３４の先端部３４Ａは、例え
ば、１゜５■の幅の細い帯状になっている。そして、仮
付用先端部材３４の仮付部材本体３３側に、先端部３４
Ａを加熱するヒータ３５が設けられている。このヒータ
３５が設けられることによって突出した部分の薄膜仮付
部材本体３３側には断熱材３１が設けられている。

また、薄膜仮付部材３０の、絶縁性基板１１に積層体Ｉ
Ｂを仮付けする部分の構造は、第６図及び第７図に示す
ように、薄膜仮付部材本体３３の断熱材３１との境界面
に、薄膜吸着用溝３６が複数本設けられている。これら
の薄膜吸着用溝３６と連絡した薄膜吸着用溝３７を断熱
材３１の露出部分に設け、この薄膜吸着用溝３７と連絡
し、断熱材３１の薄膜仮付用先端部材３４に沿った露出
部分には薄膜吸着手段３８が設けられている。

また、前記薄膜仮付部材本体３３には、薄膜吸着用溝３
９及び薄膜吸着用孔４０が設けられている。そして、前
記薄膜吸着用溝３６と薄膜吸着用孔４０は、同一系統の
薄膜吸着手段（図示していない）によって吸引され、前
述のメインバキュームプレート１０の薄膜の吸着手段と
は独立制御になっている。

このように薄膜吸着用溝３６〜３９及び薄膜吸着用孔４
０を設けることにより、前記積層体ＩＢの仮付部を先端
部３４Ａの位置に正確に設定することができる。

ここで、第８図に示すように、前記薄膜吸着用溝３６を
省略して、前記薄膜吸着用溝３７を延長した薄膜吸着用
溝４１を薄膜仮付部材本体３３の絶縁性基板１１側の露
出面に設け、この薄膜吸着用溝４１を薄膜仮付部材本体
３３に設けられている薄膜吸着用溝３９に連絡するよう
に構成しても同様の効果が得られる。

次に、薄膜仮付部材本体３３の構成を、第９図（要部の
斜視図）、第１０図（第９図の矢印Ｍ方向から見た平面
図）、第１１図（第９図の矢印Ｎ方向から見た平面図）
、第１２図（第１０図に示すＡ−Ａ切断線で切った断面
図）、第１３図（第１０図に示すＢ−Ｂ切断線で切った
断面図）及び第１４図（第１１図に示すＣ−Ｃ切断線で
切った断面図）に示す。

前記薄膜仮付部材本体３３の断熱材３１との境界面には
、第７図、第９図及び第１１図に示すように、薄膜吸着
用溝３６が絶縁性基板１１から内側に向けて複数本設け
られ、これらの薄膜吸着用溝３６と連絡された空気溜め
用第１キヤビテイ４２が設けられている。そして、第１
３図及び第１４図にも示すように、この空気溜め用第１
キヤビテイ４２と連絡され、この空気溜め用第１キヤビ
テイ４２よりも深く切り込まれた空気溜め用第２キヤビ
テイ４３が設けられている。この空気溜め用第２キヤビ
テイ４３と連絡され、メインバキュームプレート１０側
に貫通する通気孔４４が設けられている。この通気孔４
４は、メインバキュームプレート１０側の表面部に設け
られている空気溜め用第３キヤビテイ４５と連絡されて
いる。一方、前記通気孔４０が薄膜仮付部材本体３３の
中央部に、絶縁性基板１１側からメインバキュームプレ
ート１０側に向けて貫通して設けられ、この通気孔４０
は、メインバキュームプレート１ｏ側の表面部に設けら
れている空気溜め用第３キヤビテイ４５と連絡されてい
る。

このような積層体ＩＢを吸引する薄膜吸着機構部は、薄
膜仮付部材本体３３に複数個所膜けられ、積層体ＩＢの
幅に応じて、それらを選択して独立的に駆動させること
により、前記積層体ＩＢを薄膜仮付部材本体３３により
強く吸引させ、その仮付部を先端部３４Ａの位置に正確
に設定するようになっている。

また、薄膜仮付部材本体３３の薄膜仮付用先端部材３４
側の中央ライン部には、第９図及び第１１図乃至第１３
図に示すように、所定の深さのヒータ設定用溝４６が設
けられており、このヒータ設定用溝４６には、前記薄膜
仮付用先端部材３４に設けられているヒータ３５の部分
が嵌め込まれるようになっている。

前述のように薄膜仮付部材３０を構成することにより、
薄膜仮付用先端部材３４の、絶縁性基板１１に張り付け
られる積層体ＩＢを押圧して薄膜を仮付けする部分が破
損しても、薄膜仮付用先端部材３４を薄膜仮付部材本体
３３から取り外して交換することができるので、メイン
バキュームプレート１ｏ全体を交換する必要がない。

また、前記絶縁性基板１１に張り付けられる薄膜を押圧
して薄膜を仮付けする薄膜仮付用先端部材３４を、薄膜
仮付部材本体３３に着脱自在に断熱材３１を介在させて
取り付けたことにより、薄膜仮付用先端部材３４のみを
加熱し、その熱が他の部分に伝導していくのを断熱材３
１により防止することができるので、感光性樹脂（フォ
トレジスト）層をべとつかせることなく、薄膜の仮付け
を行う部分のみが熱圧着され、熱圧着ラミネートされた
薄膜に気泡等が発生して接着不良を発生するのを防止す
ることができる。

前記薄膜仮付部材３０に近接した位置、つまり、薄膜仮
付部材３０と絶縁性基板１１との間の積層体ＩＢの供給
経路の近傍には、サブバキュームプレート（薄膜保持部
材）１３が設けられている。サブバキュームプレート１
３は、薄膜吸着用孔を図示していないが、第４図に示す
ように、上部吸着部１３ａと下部吸着部１３ｂとを有し
、コの字形状に構成されている（このコの掌部分は積層
体ＩＢの切断位置に相当する）、サブバキュームプレー
ト１３の上部吸着部１３ａは、主に、供給方向の積層体
ＩＢの先端部を吸着し、仮付部１０Ｅに吸着（保持）さ
せるように構成されている。サブバキュームプレート１
哩よ、積層体ＩＢの先端部を仮付部１０Ｈに吸着可能な
ように、積層体ＩＢの供給経路に対して近接及び離反（
矢印り方向に移動）する例えばエアーシリンダからなる
駆動源１３Ａを介して、支持部材１２に取り付けられて
いる。

また、サブバキュームプレート１３の下部吸着部１３ｂ
は、連続した積層体ＩＢを切断装置１４で切断し、この
切断された積層体ＩＢの後端部を吸着し、積層体ＩＢの
供給経路内に保持するように構成されている。下部吸着
部１３ｂは、熱圧着ラミネート開始後、回転バキューム
プレート１５との間において、第４図に示すように、積
層体ＩＢにたるみを形成する（たるみを持たせた積層体
ＩＢ’　を形成する）ように構成されている。このたる
みを持たせた積層体ＩＢ’は、熱圧着ローラ１６の周速
度（熱圧着ラミネート速度）に対して、メインバキュー
ムプレート１０の積層体ＩＢの供給速度を速く制御する
ことにより形成することができる０両者の制御は、図示
していないが、シーケンス制御回路により行われるよう
になっている。

なお、サブバキュームプレート１３の駆動源１３Ａとし
ては、エアーシリンダの他に前記駆動源１２Ｇと同様に
油圧シリンダ等で構成することができる。

前記仮付部１０Ｅと絶縁性基板１１との間（実際には、
仮付部１０Ｅと回転バキュームプレート１５との間）の
積層体ＩＢの供給経路の近傍の装置本体７には、切断装
置１４が設けられている。詳述すれば、切断装置１１４
は、積層体ＩＢの後端部を切断位置まで供給した時のサ
ブバキュームプレート１３に対向した位置に構成されて
いる。切断装置１４は、絶縁性基板１１を搬送する前段
搬送装置１７側に構成されている（又はこの前段搬送装
置１７に構成してもよい）。切断装置１４は、メインバ
キュームプレート１０で連続的に供給される積層体ＩＢ
を絶縁性基板１１の寸法に対応して所定の長さに切断す
るように構成されている。

この切断装置１４の具体的な構成を第１５図（第４図の
矢印■方向から見た概略平面図）及び第１６図（第１５
図の■−■線で切った断面図）で示す。

切断装置１４は、第１５図及び第１６図に示すように、
主に、ガイド部材１４Ａと、移動部材１４Ｂと。

円板状カッター１４Ｃとで構成されている。

ガイド部材１４Ａは、積層体ＩＢの供給幅方向に延在し
、その両端部（又は一端部）が装置本体７に固定されて
いる。この固定は、ねじ、ボルト、ナツト、ビス、接着
剤等の固定手段で行われる。

ガイド部材１４Ａには、積層体ＩＢの供給幅方向（第１
５図に示す矢印Ｅ方向）において、移動部材１４Ｂを正
確に移動できるように、移動部材１４Ｂの凸部（又は凹
部）１４ｂと嵌合する凹部（又は凸部）１４ａが設けら
れている。

移動部材１４Ｂは、ガイド部材１４Ａに沿って矢印Ｅ方
向に移動するように構成されている。移動部材１４Ｂは
、ガイド部材１４Ａに沿って延在しかつ両端部が装置本
体７に支持された中空管１４Ｄ内を。

矢印Ｅ′力方向移動する中空管内移動部材１４Ｅと接続
されている。中空管内移動部材１４Ｅの移動は、中空管
１４Ｄの夫々の端部がら空気（ａｉｒ）等の流体を吹き
込む（又は吸引する）ことにより行われる。

つまり、中空管内移動部材１４Ｅは、第１５図において
、中空管１４Ｄの左側から流体を吹き込むと左側から右
側に移動し、中空管１４Ｄの右側から流体を吹き込むと
右側から左側に移動するように構成されている。中空管
内移動部材１４Ｅは、移動部材１４Ｂを移動させるよう
に構成されている。中空管１４Ｄ内に吹き込む流体とし
ては、空気の他に、不活性ガス等の気体、水、油等の液
体を用いてもよい、また、移動部材１４Ｂは、エアーシ
リンダ、油圧シリンダ、モータ等で移動するように構成
してもよい。

円板状カッター１４Ｃは、移動部材１４Ｂの移動に従っ
て回転し、少なくともその円周部に積層体ＩＢを切断す
る刃部が設けられている１円板状カッター１４Ｃの回転
は、回転軸１４Ｆに設けられた歯車（ビニオン）１４Ｇ
を介在し、回転軸１４）１に設けられた歯車１４Ｉとラ
ック１４Ｊとの嵌合により与えられる。ラック１４Ｊは
１両端部（又は一端部）が装置本体７に固定されている
。ラック１４Ｊと歯車１４Ｉとの嵌合は、移動部材１４
Ｂに設けられた保持ローラ１４Ｌにより安定に保持され
る。

円板状カッター１４Ｃは例えば高速度工具鋼等の金属材
料で構成されており、少なくとも刃部の表面にはポリテ
トラフルオロエチレンが塗布されている。ポリテトラフ
ルオロエチレンは、化学薬品に対する不活性、熱的安定
性に優れており、摩擦係数が小さく、又、他の材料へ付
着しずらい特徴がある。特に、薄膜張付装置においては
、積層体ＩＢの切断により生じる微小で種々の化学薬品
を含有する切り屑が刃部に付着し、円板状カッター１４
Ｇの切れ味じを劣化し易いので、ポリテトラフルオロエ
チレンの塗布は有効である。

円板状カッター１４Ｇの近傍の移動部材１４Ｂには、主
に、作業者の安全を確保するために１円板状カッター１
４Ｇを覆う保護カバー１４Ｋが設けられている。

この切断部Ｗ１１４は、移動部材１４Ｂがガイド部材１
４Ａを一方向に移動することにより、この移動で与えら
れる円板状カッター１４Ｃの回転で、絶縁性基板１１の
長さに対応した寸法に積層体ＩＢを切断することができ
る。また１円板状カッター１４Ｇは、往復の移動により
積層体ＩＢを２個所切断することができるので、積層体
ＩＢの切断時間を短縮することができる。

このように構成される薄膜張付装置において、メインバ
キュームプレート１０とサブバキュームプレート１３と
を支持部材１２に設け、この支持部材１２を絶縁性基板
１１に近接及び離反するように装置本体７に設け、積層
体ＩＢを切断する切断装置１４を仮付部１０Ｅと絶縁性
基板１１との間の積層体ＩＢの供給経路の近傍の装置本
体７に固定したことにより、前記支持部材７で支持する
部材の重量を軽くしたので、駆動能力（容量）の小さな
駆動源１２Ｃで支持部材１２を駆動することができる。

また、支持部材１２に支持される部品点数を低減するこ
とができるので、支持部材１２及びその周辺の構成を簡
単化し、薄膜張付装置を小型化することができる。

また、駆動源１２Ｃ等を小型化することができるので、
薄膜張付装置の製造上のコストを低減することができる
。

また、切断装置１４は、円板状カッター１４Ｃを移動さ
せる構成に代えて、超音波、レーザビーム等を使用した
ビームカッタで構成してもよい。さらに、切断装置１４
は、積層体ＩＢの供給幅方向に。

積層体ＩＢの供給幅寸法と略同等又はそれよりも大きな
寸法の刃部を有するカッター、例えばギロチンカッター
、帯状カッター、加熱もしくは非加熱ワイヤー状カッタ
ー、ナイフ状カッター等で構成してもよい、これらの切
断装置！１４は、−度の動作で、略瞬時に、積層体ＩＢ
の切断部分の全域を切断することができる。

前記メインバキュームプレート１０の仮付部１０Ｅで絶
縁性基板１１の導電層上に先端部が仮り付け（偏熱圧着
）される積層体ＩＢは、熱圧着ローラ１６でその全体が
熱圧着ラミネートされるように構成されている。熱圧着
ローラ１６は、積層体ＩＢの先端部を仮付部１０Ｅで仮
り付けする仮付動作時は、第１図に符号１６′　を符し
た点線で示す位置に配置されかつ回転している。熱圧着
ローラ１６は、仮付動作時に、仮付部１０Ｅと接触しな
いように構成されている。仮付動作後の熱圧着ローラ１
６は、符号１６′　を示す点線で示した位置から実線で
示す位置、つまり、積層体ＩＢを介在して絶縁性基板１
１を挟持する位置に移動するように構成されている。積
層体ＩＢを介在して絶縁性基板１１を挟持した熱圧着ロ
ーラ１６は、第４図に示す矢印Ｆ方向に回転し、積層体
ＩＢを絶縁性基板１１の導電層上に熱圧着ラミネートす
ると共に、この絶縁性基板１１を搬送するように構成さ
れている。熱圧着ラミネート工程中においては、メイン
バキュームプレート１０及びサブバキュームプレート１
３の積層体ＩＢの吸着動作は停止している。すなわち、
熱圧着ローラ１６には、その回転力と、絶縁性基板１１
どの挟持力とで。

積層体ＩＢが供給ローラ２から自動的に供給されるよう
に構成されている。

前記切断装置１４で切断された積層体ＩＢの後端部は、
三角形状の回転バキュームプレート１５でしわ等を生じ
ないようにガイドされ、熱圧着ローラ１６で熱圧着ラミ
ネートされるように構成されている０回転バキュームプ
レート１５は、熱圧着ローラ１６と同一軸に支持されか
つそれを中心に回転するように構成されており１図示し
ていないが、積層体ＩＢと対向する吸着面には、複数の
吸引孔１５Ａが設けられている。前記吸着孔１５Ａが配
設された吸着面の構造は、第５図に示すメインバキュー
ムプレート１０の吸着面と同様の構造になっている。

図示しないが、回転バキュームプレート１５の上面にも
吸引孔を設けてもよく、このように構成することにより
、第４図に示すように、たるみを持たせた積層体ＩＢ’
　をより形成し易くすることができる。

前記絶縁性基板１１は、搬送ローラ（下段）１７Ａと搬
送ローラ（上段）１７Ｂとで構成される前段搬送装置１
７により、薄膜張付装置の積層体ＩＢの仮付位置まで搬
送される。また、搬送ローラ（下段）１８Ａと搬送ロー
ラ（上段）１８Ｂとで構成される後段搬送装置！１８は
、薄膜張付装置の熱圧着ローラ１６で積層体ＩＢが熱圧
着ラミネートされた絶縁性基板１１を配線パターンを形
成する露光装置まで搬送するように構成されている。

前記メインバキュームプレート１０の仮付部１０Ｅの移
動経路（薄膜供給経路）近傍の装置本体７（又は前段搬
送装置１７、或は支持部材１２）には、第１図及び第４
図に示すように、薄膜矯正装置１９が設けられている。

薄膜矯正装置！１９は、仮付部１０Ｈに密着させる方向
に積層体ＩＢの供給方向の先端部を矯正するように構成
されている。薄膜矯正装置１９は、積層体ＩＢの供給幅
方向に延在して設けられた流体搬送管１９Ａと、この流
体搬送管１９Ａに複数設けられた流体吹付孔１９Ｂとで
構成されている。

流体搬送管１９Ａは、内部が中空に構成されており、常
圧よりも高圧力の流体を流すように構成されている。流
体搬送管１９Ａの断面形状は、本実施例では略円形状に
構成されているが、これに限定されず、方形状又は楕円
形状に構成してもよい。

流体吹付孔１９Ｂは、積層体ＩＢを矯正する方向（第４
図に示す矢印Ｇ方向）に流体を吹き付けるように設けら
れている。

薄膜矯正装置１９で使用する流体としては、空気を使用
する。また、不活性ガス等を用いてもよい。

このように、薄膜張付装置において、仮付部１０Ｅに密
着させる方向に供給方向の積層体ＩＢの先端部を矯正す
る薄膜矯正装置１９を、前記仮付部１０Ｅの移動経路の
近傍の装置本体７（又は支持部材１２或は前段搬送装置
１１？）に設けたことにより、積層体ＩＢの先端部を確
実に仮付部１０Ｅに密着させることができるので、絶縁
性基板１１の導電層上に確実に積層体ＩＢの先端部を仮
り付け（偏熱圧着）することができる。

さらに、サブバキュームプレート１３の下部吸着部１３
ｂと回転バキュームプレート１５との間に供給される積
層体Ｉ　Ｂ（Ｉ　Ｂ’　）に近接した装置本体７（又は
前段搬送袋Ｗ１１７．或は支持部材１２）には、第１図
及び第４図に示すように、薄膜突出装置２０が設けられ
ている。つまり、薄膜突出装置２０は、熱圧着ローラ１
Ｂに密着させる方向に前記たるみを持たせた積層体ＩＢ
’　を形成するように構成されている。薄膜突出装置２
０は、積層体ＩＢの供給幅方向に延在して設けられた流
体搬送管２０Ａと、この流体搬送管２ＯＡに複数設けら
れた流体吹付孔２ＯＢとで構成されている。

流体搬送管２ＯＡは、内部が中空に構成されており、常
圧よりも高圧力の流体を流すように構成されている。流
体搬送管２ＯＡの断面形状は１本実施例では略円形状に
構成されているが、流体搬送管１９Ａと同様に、これに
限定されず、方形状又は楕円形状に構成してもよい。

流体吹付孔２ＯＢは、積層体ＩＢ’の前記たるみを前述
のように突出させる方向（第４図に示す矢印Ｈ方向）に
流体を吹き付けるように設けられている。

薄膜突出装置２０で使用する流体としては、薄膜矯正装
置１９と同様に、空気を使用する。また、不活性ガス等
を用いてもよい。

このように、薄膜張付装置において、熱圧着ローラ１６
の側に倒れかけさせる方向に前記たるみを持たせた積層
体ＩＢ’　を矯正する薄膜突出装！！２０を、積層体Ｉ
Ｂ’の近傍の装置本体７（又は支持部材１２或は前段搬
送袋Ｗ１７）に設けたことにより、積層体ＩＢ’　を確
実に熱圧着ローラ１６に密着させる方向にたるみを持た
せることができるので、特に、回転バキュームプレート
１５に積層体ＩＢの後端部を確実に吸着させることがで
きる。従って、しわ等を生じることなく、絶縁性基板１
１の導電層上に確実に積層体ＩＢの後端部を熱圧着ラミ
ネートすることができる。

なお、本発明は、薄膜矯正装置１９又は薄膜突出装置２
０を、積層体ＩＢの供給幅方向に複数設けられた、積層
体ＩＢを前述の如く適正な方向に矯正又は突出させるよ
うに流体を吹き付ける流体吹付ノズルで構成してもよい
。

また、本発明は、薄膜矯正装置１９又は薄膜突出装置２
０を、積層体ＩＢの供給幅方向に延在して設けられた吸
引管と、この吸引管に複数設けられた、積層体ＩＢを前
述の如く適正な方向に矯正又は突出させる方向に吸引す
る吸引孔とで構成してもよい。

また、本発明は、薄膜矯正装置１９又は薄膜突出装置２
０を、積層体ＩＢを前述の如く適正な方向に矯正又は突
出させる突状部材で構成してもよい。

また、本発明は、薄膜矯正袋！Ｗ１９を薄膜突出装［２
０で、若しくは薄膜突出装置２０を薄膜矯正装置１９で
兼用することも可能である。

前記熱圧着ローラ１６と後段搬送装置１８の搬送ローラ
１８Ａとの間の装置本体７（又は後段搬送装置１８）に
は、第１図及び第４図に示すように、基板ガイド部材２
１が設けられている。基板ガイド部材２１は、積層体Ｉ
Ｂが熱圧着ラミネートされた絶縁性基板１１を、熱圧着
ネミネート位置から搬送ローラ１１Ａ及び１８Ｂの位置
までガイドするように構成されている。基板ガイド部材
２１は、例えば、絶縁性基板１１の搬送方向に延在する
棒状部をその搬送幅方向に複数配置したクシ型形状で構
成する。クシ型形状に構成された基板ガイド部材２１は
、絶縁性基板１１の搬送に際して、絶縁性基板１１との
接触面積を小さくし摩擦抵抗を小さくできるので、スム
ーズに絶縁性基板１１をガイドすることができる。

このように、前記熱圧着ローラ１６と後段搬送装置１８
の搬送ローラ１８Ａとの間に基板ガイド部材２１を設け
ることにより、特に、薄い絶縁性基板１１においては、
熱圧着ラミネート後の搬送方向の先端部の垂れ下りを防
止し、搬送ローラ１８Ａ及び１８Ｂに確実に導びき、搬
送することができるので、後段搬送装置１８（絶縁性基
板１１の搬送経路）におけるトラブルを防止することが
できる。特に、本実施例の薄膜張付装置の搬送装置にお
いては、仮付動作を行うために、熱圧着ローラ１６が符
号１６′　を付けた点線で示す位置から実線で示す位置
まで移動する空間が必要となり、熱圧着ローラ１６と搬
送ローラ１８Ａとの間にかなりの空間（搬送距離）が形
成されるので、基板ガイド部材２１は有効である。

なお、本発明は、基板ガイド部材２１を網状構造で構成
してもよい。

また、本発明は、基板ガイド部材２１を板状構造で構成
してもよい。

次に１本実施例の薄膜張付装置による積層体ＩＢの熱圧
着ラミネート方法について、前記第１図、第４図、第１
７図乃至第１９図（各工程毎の要部拡大構成図）を用い
て簡単に説明する。

まず最初に１手作業により、供給ローラ２から繰出した
積層体薄膜を薄膜分離ローラ３を介して保護膜と分離し
、分離された積層体ＩＢの供給方向の先端部を、サブバ
キュームプレート１３と切断装置１４との間に配置し、
真空源を作動させて積層体ＩＢをメインバキュームプレ
ート１０及びサブバキュームプレート１３に吸着保持さ
せた後切断装置１４を働かせて積層体ＩＢを切断し、不
要部分の積層体を取り除いておく。

次に、前段搬送装置１７の搬送ローラ１７Ａ及び１７Ｂ
で搬送される絶縁性基板１１の搬送方向の先端部が仮付
位置に搬送されると、駆動源１３Ａで積層体ＩＢの供給
経路から離反する位置にサブバキュームプレート１３を
移動させ、第１７図に示すように、仮付部１０Ｈに積層
体ＩＢの先端部を吸着させる。

この時、メインバキュームプレート１０及び仮付部１０
Ｅの吸着動作が行われていると共に、薄膜矯正装置１９
で積層体ＩＢを矯正できるので、仮付部１０Ｅに積層体
ＩＢの先端部を確実に吸着させることができる。

この後、駆動源１２Ｄで支持部材１２に対してメインバ
キュームプレート１０を絶縁性基板１１に近接する方向
に移動させ、第１８図に示すように、仮付部１０Ｅに吸
着された積層体ＩＢの先端一部を絶縁性基板１１の導電
層上に仮り付け（偏熱圧着）する。

積層体ＩＢの仮り付は後、メインバキュームプレート１
０及び仮付部１０Ｅの吸着動作を停止し、第１９図に示
すように、駆動源１２Ｃ及び１２Ｄでメインバキューム
プレート１０、仮付部１０Ｅ及びザブバキュームプレー
ト１３を仮付位置から離反させる。

この離反は、前記第１７図に示す積層体ＩＢを仮付部１
０Ｅへ吸着する工程における位置に比べてさらに離反す
る位置に、駆動ｉ！１２Ｇでメインバキュームプレート
１０及びサブバキュームプレート１３を移動させる。こ
の移動量は、積層体ＩＢ’に持たせるたるみ量に比例す
る。このとき、支持部材１２の駆動源１２Ｃは、前述し
たように、切断装置１４を装置本体７に固定しているの
で、小型化或は駆動能力を高めて動作速度の高速化を図
ることができる。

この後、符号１６′　を付けて点線で示す位置から実線
で示す仮付位置に熱圧着ローラ１６を近接させる。そし
て、この熱圧着ローラ１６で積層体ＩＢの先端部が仮り
付けされた絶縁性基板１１を挟持し回転することにより
、絶縁性基板１１の導電層上に積層体ＩＢを熱圧着ラミ
ネートする。この時、メインバキュームプレート１０、
仮付部１０Ｅ、サブバキュームプレート１３の夫々の吸
着動作は停止しているので、熱圧着ローラ１６には、そ
の回転力と、絶縁性基板１１との挟持力とで、積層体Ｉ
Ｂが供給ローラ２から自動的に供給されるようになって
いる。

積層体ＩＢが、一定量、熱圧着ラミネートされると、メ
インバキュームプレート１０、サブバキュームプレート
１３１回転バキュームプレート１５の夫々の吸着動作が
実質的に同時に開始される。そして、第１９図に示す状
態から、駆動源１２Ｃで支持部材工２を移動させ、メイ
ンバキュームプレート１０で積層体ＩＢを絶縁性基板１
１に供給すると共に。

前記第４図に示すように、サブバキュームプレート１３
の下部吸着部１３ｂで積層体ＩＢの後端部（切断位置）
を切断袋ｆ！！１４の切断位置に一致させる。

積層体ＩＢの供給速度（支持部材１２の移動速度）は、
熱圧着ローラ１６による熱圧着ラミネート速度（熱圧着
ローラ１６の周速度）よりも速く設定されている。

このように、メインバキュームプレート１０とサブバキ
ュームプレート１３とを支持部材１２に設け、この支持
部材１２を絶縁性基板１１に近接及び離反するように装
置本体７に設けたことにより、メインバキュームプレー
ト１０の吸着動作と実質的に同時に、積層体ＩＢの後端
部（切断位＠）をサブバキュームプレート１３で吸着し
、メインバキュームプレート１０とサブバキュームプレ
ート１３とを支持部材１２で移動させて、切断装置１４
の切断位置に積層体ＩＢの切断位置を一致させることが
できるので、メインバキュームプレート１０とサブバキ
ュームプレート１３との間の積層体ＩＢに不必要なたる
みを生じることがなくなる。つまり、第１９図に示す、
メインバキュームプレート１０とサブバキュームプレー
ト１３の円板状カッタ１４Ｃが作用する位置（コの字形
状部）との距離Ｉは、第４図に示す積層体ＩＢの切断位
置と切断装置１４の切断位置とを一致させた状態におい
ても変化することがない。したがって、積層体ＩＢの切
断位置と切断装置１４の切断位置とを正確に一致させる
ことができるので。

絶縁性基板１１の寸法に対して正確な寸法に積層体ＩＢ
を切断し、熱圧着ラミネートすることができ、製造上の
歩留りを向上することができる。しかも、前述のように
、メインバキュームプレート１０及びサブバキュームプ
レート１３を設けた支持部材１２は。

切断装置１４を装置本体７に固定しているので、小さな
駆動能力の駆動源１２Ｃで駆動させることができる。

前記積層体ＩＢの供給後及び積層体ＩＢの切断位置を切
断装置１４の切断位置に一致させると、サブバキューム
プレート１３と回転バキュームプレート１５との間にた
るみを持たせた積層体ＩＢ’　を形成することができる
。このたるみを持たせた積層体ＩＢ’の供給方向の両端
部は、薄膜矯正装置２０の矯正により、サブバキューム
プレート１３の下部吸着部１３ｂ、回転バキュームプレ
ート１５の夫々に確実に吸着させることができる。

この状態において、切断装置１４により、積層体ＩＢの
後端部（切断位Ｉりが絶縁性基板１１の寸法に対応した
所定寸法に切断される。

この後、切断装置１４で切断された積層体ＩＢのたるみ
部分が回転バキュームプレートＩＳに吸引されながら摺
動して進み、後端部が回転バキュームプレート１５に適
宜近づいた時点で１回転バキュームプレート１５の旋廻
を開始し回転バキュームプレート１５の吸着面が絶縁性
基板１１の面に近づくように回転しながら、絶縁性基板
１１の導電層上に積層体ＩＢの後端部を熱圧着ラミネー
トすることができる０回転バキュームプレート１５は、
熱圧着ローラ１６の回転速度より若干遅い速度で回転す
るのと、積層体ＩＢが回転バキュームプレート１５の吸
着面上でのすベリ摩擦力により熱圧着ローラ１６との間
の積層体ＩＢに適度なテンションを与えることができる
ので、積層体ＩＢにしわ等を生じることがない。

積層体ＩＢが熱圧着ラミネートされた絶縁性基板１１は
、熱圧着ローラ１６の回転力により、基板ガイド部材２
１を通して、トラブルを生じることなく。

後段搬送装！！１８の搬送ローラＨＩＡ及び１８Ｂに搬
送される。後段搬送装置１８に搬送された絶縁性基板１
１は、露光装置に搬送される。

以上、本発明者によってなされた発明を、前記実施例に
基づき具体的に説明したが、本発明は、前記実施例に限
定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲にお
いて、種々変形し得ることは勿論である。

例えば１本発明は、前記サブバキュームプレート１３を
、仮付部１０Ｈに積層体ＩＢの供給方向の先端部を吸着
させるサブバキュームプレートと、前記切断装置１４の
受は部材として使用されるサブバキュームプレートとで
構成し、夫々を独立に制御してもよい。

また、本発明は、前記実施例の絶縁性基板１１を予熱し
た後、この絶縁性基板１１に積層体ＩＢを非加熱圧着ロ
ーラで熱圧着ラミネートする薄膜張付装置に適用するこ
とができる。

また、本発明は、基板に圧着する前に剥す保護膜のない
積層体ＩＢをラミネートする薄膜張付装置にも適用でき
る。

また、本発明は、建築材として使用される化粧板に保護
膜を張り付ける薄膜張付装置に適用することができる。

［発明の効果］以上説明したように１本発明によれば、仮付部材又は薄
膜仮付部材本体をメインバキュームプレート本体に着脱
自在に取り付ける構造にしたことにより、薄膜仮付部材
の先端部の薄膜を押圧して仮付けする部分が破損しても
、薄膜仮付部材又は薄膜仮付部材本体をメインバキュー
ムプレートから取り外して交換することができるので、
メインバキュームプレート全体を交換しなくてもよい。

これにより、装置の寿命を向上することができる。

また、前記薄膜仮付部材又は薄膜仮付用先端部材をメイ
ンバキュームプレート又は薄膜仮付部材本体に断熱材を
介在して着脱自在に取り付けたことにより、薄膜仮付部
材のみを加熱し、その熱が他の部分に伝導していくのを
断熱材により防止することができるので、感光性樹脂（
フォトレジスト）層をべとつかせることなく、薄膜の仮
付を行う部分のみが熱圧着され、熱圧着ラミネートされ
た薄膜に気泡等を発生するのを防止することができる。

また、前記薄膜仮付部材本体に加熱設定凹部を設け、薄
膜仮付用先端部材の前記加熱源設定用凹部に対応する位
置に加熱源を装着し、該薄膜仮付用先端部材を薄膜仮付
部材本体に着脱自在に断熱材を介在させて取り付けたこ
とにより、コンパクトな構成で薄膜仮付用先端部材のみ
を加熱し、その熱が他の部分に伝導していくのを断熱材
により防止することができるので、感光性樹脂（フォト
レジスト）層をべとつかせることなく、薄膜の仮付を行
なう部分のみを熱圧着することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は１本発明の一実施例に係る薄膜張付装置の概略
構成図、第２図は、第１図の要部斜視図、第３図は、第２図に示す薄膜供給検出装置の要部拡大斜
視図、第４図は、第１図の要部拡大構成図。第５図は、第１図及び第４図に示すメインバキュームプ
レートの部分断面斜視図。第６図は、第１図及び第４図に示すメインバキュームプ
レートの仮付部分の断面図。第７図及び第８図は、第１図及び第４図に示すメインバ
キュームプレートの仮付部分の先端部分の構造を示す要
部斜視図。第９図は、第６図に示す薄膜仮付部材本体の構成を示す
要部斜視図、第１０図は、第９図の矢印Ｍ方向から見た平面図、第１１図は、第９図の矢印Ｎ方向から見た平面図、第１２図は、第１０図に示すＡ−Ａ切断線で切った断面
図、第１３図は、第１０図に示すＢ−Ｂ切断線で切った断面
図。第１４図は、第１１図に示すＣ−Ｃ切断線で切った断面
図。第１５図は、前記第４図における矢印■方向から見た概
略平面図、第１６図は、前記第１５図の■−■線で切った要部断面
図。第１７図乃至第１９図は、熱圧着ラミネート方法を説明
するために、各工程毎に示す前記第１図の要部拡大構成
図である。図中、ＩＢ・・・積層体（薄膜）、２・・・供給ローラ
、３・・・薄膜分離ローラ、４・・・巻取ローラ、７・
・・装置本体、８・・・薄膜供給検出装置、１０・・・
メインバキュームプレート（薄膜供給部材）、１１・・
・絶縁性基板、１２・・・支持部材、　１２Ｇ　、　１
２Ｄ　、　１３Ａ・・・駆動源、１３・・・サブバキュ
ームプレート（薄膜保持部材）、１４・・・切断装置、
１４Ａ・・・ガイド部材、１４Ｂ・・・移動部材、１４
Ｃ・・・円板状カッター、１５・・・回転バキュームプ
レート（回転吸着部材）、１６・・・熱圧着ローラ、１
７．１８・・・搬送装置、１７Ａ、１７Ｂ、１８Ａ、１
８Ｂ・・・搬送ローラ、１９・・・薄膜矯正装置、２０
・・・薄膜突出装置、２１・・・基板ガイド部材、３０
・・・薄膜仮付部材、３１・・・断熱材、３２・・・止
めねじ、３３・・・薄膜仮付部材本体、３４・・・薄膜
仮付用先端部材、３４Ａ・・・先端部、３５・・・ヒー
タ、３６〜３９．４１・・・吸着溝、４０．４４・・・
通気孔、４２・・・第１キヤビテイ、４３・・・第２キ
ヤビテイ、４５・・・第３キヤビテイ、４６・・・ヒー
タ設定用溝である。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）薄膜を基板に張り付けるための薄膜張付装置であ
って、前記基板に張り付けられる薄膜を押圧して仮付け
するための薄膜仮付部材を薄膜供給部材の薄膜供給方向
の先端部に断熱材を介在させて着脱自在に取り付けたこ
とを特徴とする薄膜張付装置。
（２）薄膜を基板に張り付けるための薄膜張付装置であ
って、薄膜仮付部材をその本体と基板に張り付けられる
薄膜を押圧して仮付けするための薄膜仮付用先端部材と
に分割し、前記薄膜仮付部材本体を薄膜供給部材の薄膜
供給方向の先端部に断熱材を介在させて着脱自在に取り
付け、前記薄膜仮付用先端部材を薄膜仮付部材本体に着
脱自在に断熱材を介在させて取り付けたことを特徴とす
る薄膜張付装置。
（３）薄膜を基板に張り付けるための薄膜張付装置であ
って、薄膜仮付部材をその本体と基板に張り付けられる
薄膜を押圧して仮付けするための薄膜仮付用先端部材と
に分割し、前記薄膜仮付部材本体に加熱源設定用凹部を
設け、基板に張り付けられる薄膜を押圧して仮付けする
薄膜仮付先端部材の前記加熱源設定用凹部に対応する位
置に加熱源を装着し、首記薄膜仮付部材本体を薄膜供給
部材の薄膜供給方向の先端部に断熱材を介在させて着脱
自在に取り付け、前記薄膜仮付用先端部材を薄膜仮付部
材本体に着脱自在に断熱材を介在させて取り付けたこと
を特徴とする薄膜張付装置。
（４）前記薄膜仮付用先端部材の薄膜仮付部分の幅は、
微細なラインとなるように構成され、例えば１．５ｍｍ
であることを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の
薄膜張付装置。