KR20020026078A

KR20020026078A - 박막 부착장치

Info

Publication number: KR20020026078A
Application number: KR1020000057693A
Authority: KR
Inventors: 하마무라후미오; 후쿠다이치오
Original assignee: 추후제출; 소마루 가부시키가이샤
Priority date: 2000-09-30
Filing date: 2000-09-30
Publication date: 2002-04-06

Abstract

연속된 박막을 소정의 치수로 절단하며, 이 절단된 박막을 기판에 부착시키는 박막 부착장치로서, 상기 연속된 박막을 기판에 공급하는 박막 공급부재와, 그 박막 공급부재로 공급되는 공급방향의 박막의 선단부를 기판에 가부착시키는 가부착부재를, 기판에 근접 및 이반(離反)하는 지지부재를 통해서 장치본체에 설치하며, 상기 연속된 박막을 소정치수로 절단하는 절단장치를, 상기 가부착부재와 기판과의 사이의 박막 공급경로의 근방의 장치본체에 고정시킨 것을 특징으로 한다.

Description

박막 부착장치{FILM ATTACHING APPARATUS}

본 발명은 연속된 박막을 소정의 치수로 절단하여 기판에 부착시키는 박막 부착장치에 관한 것이다.

컴퓨터 등의 전자기기에 사용되는 프린트 배선판은 동(銅)등의 소정 패턴의 배선이 절연성 기판의 편면 또는 양면에 형성된 것이다.

이와 같은 종류의 프린트 배선판은 다음과 같은 제조공정에 의해 제조할 수 있다.

먼저, 절연성 기판 위에 설치된 도전층상에, 감광성수지(포토레지스트)층과 그것을 보호하는 투광성 수지필름(보호막)으로 이루어지는 적층체를 열압착 적층시킨다. 이 열압착 적층은 박막 부착장치, 즉 래미네이터에 의해 양산적(量産的)으로 행하여진다. 그 후, 상기 적층체에 배선패턴 필름을 중첩시키고, 이 배선 패턴필름 및 투광성 수지필름을 통해서, 감광성 수지층을 소정시간 노광시킨다. 그리고, 투광성 수지필름을 박리장치에서 박리시킨 후, 노광된 감광성 수지층을 현상하여 에칭마스크패턴을 형성한다. 그 후, 상기 도전층의 불필요한 부분을 에칭에 의해 제거하며, 다시 잔존하는 감광성 수지층을 제거하여, 소정의 배선패턴을 갖는 프린트 배선판을 형성한다.

상기의 프린트 배선판의 제조공정에 있어서는 절연성기판의 도전층상에, 박막 부착장치에 의해 자동적으로 적층체를 열압착 적층시키는 공정을 필요로 하고 있다. 이 열압착 적층 공정의 개요는 다음과 같다.

먼저, 박막 부착장치의 공급롤러에 연속적으로 감겨져 있는 적층체를, 메인 진공플레이트로 기판에 공급한다. 메인 진공플레이트는 적층체 공급면의 복수의 흡착구멍이 설치되어 있으며, 이 흡착구멍에 적층체를 흡착하여 공급하도록 구성되어 있다. 기판에 공급되는 적층체의 선단부는 메인 진공플레이트의 선단부에 설치된 가부착부로 절연성기판의 도전층상에 가부착(가(假)열압착)된다. 메인 진공플레이트는 적층체의 공급 및 가부착동작이 실행되도록, 기판에 대하여 근접 및 이반하는 지지부재를 통해서 장치본체에 고정되어 있다.

이어서, 선단부가 가부착된 적층체는 열압착롤러로 기판에 열압착 적층된다. 적층체가 일정량 열압착 적층되면, 절단장치에 의해 기판에 대응한 소정의 치수로 적층체가 절단된다. 절단장치는 메인 진공플레이트와 함께, 상기 지지부재에 설치되어 있다.

그러나, 이와 같은 종류의 박막 부착장치에서는 중량이 있는 메인 진공플레이트와 절단장치를 동일한 지지부재에 설치하고 있기 때문에, 지지부재를 이동시키는 구동원(예를 들면, 에어실린더)에 큰 구동능력(용량)이 필요하게 된다는 문제가 있었다.

도 1은 본 발명의 1실시예인 박막 부착장치의 개략 구성도.

도 2는 상기 도 1의 요부를 확대한 구성도.

도 3은 도 1에 나타내는 메인 진공플레이트의 부분단면 사시도.

도 4는 상기 도 2에 있어서의 화살표 Ⅳ방향에서 본 개략평면도.

도 5는 상기 도 4의 V-V선으로 끊은 요부단면도.

도 6은 상기 도 1 및 도 2에 나타내는 열압착롤러 및 기판 가이드부재의 요부사시도.

도 7은 상기 도 1 및 도 2에 나타내는 박막 교정장치 및 박막 돌출장치의 요부사시도.

(도면의 주요부분에 대한 부호의 설명)

1, 1B ; 적층체 1A ; 투과성 수지필름

2 ; 공급롤러 3 ; 박리롤러

4 ; 권취롤러 5 ; 텐션롤러

6 ; 메인 진공플레이트 7 ; 지지부재

7A ; 구동원 7B ; 지지부

8 ; 장치본체 9 ; 서브 진공플레이트

10 ; 절단장치 11 ; 열압착롤러

12 ; 절연성 기판 13 ; 회전 진공플레이트

14 ; 전단 반송장치 15 ; 후단 반송장치

16 ; 박막 교정장치 17 ; 박막 돌출장치

18 ; 기판 가이드부재

본 발명은 연속된 박막을 소정의 치수로 절단하며, 이 절단된 박막을 기판에 부착시키는 박막 부착장치에 있어서, 상기 연속된 박막을 기판에 공급하는 박막 공급부재와, 그 박막 공급부재에 의해 공급되는 공급방향의 박막의 선단부를 기판에 가부착시키는 가부착부재를, 기판에 근접 및 이반(離反)하는 지지부재를 통해서 장치본체에 설치하며, 상기 연속된 박막을 소정치수로 절단하는 절단장치를, 상기 가부착부재와 기판과의 사이의 박막 공급경로의 근방의 장치본체에 고정시킨 것을 특징으로 한 것이다.

(실시예)

이하에, 프린트배선용 기판에 감광성 수지층과 투광성 수지필름으로 이루어지는 적층체를 열압착 적층하는 박막 부착장치에 적용시킨 본 발명의 1실시예에 대하여, 도면을 참조하면서 구체적으로 설명한다.

실시예를 설명하기 위한 전체도면에 있어서, 동일한 기능을 갖는 것은 동일한 부호를 붙이고, 그 기능의 반복설명은 생략한다.

본 발명의 1실시예인 박막 부착장치를 도 1(개략구성도) 및 도 2(도 1의 요부 확대구성도)로 나타낸다.

상기 도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이, 투광성 수지필름, 감광성 수지층 및 투광성 수지필름의 3층구조로 이루어지는 적층체(1)는 공급롤러(2)에 연속적으로 감겨져 있다. 공급롤러(2)의 적층체(1)는 박리롤러(3)에서, 투광성 수지필름(보호막)(1A)과, 한면(접착면)이 노출된 감광성 수지층 및 투광성 수지필름으로 이루어지는 적층체(1B)로 분리된다. 분리된 투광성 수지필름(1A)은 권취롤러(4)에 의해 감겨지도록 구성되어 있다.

상기 분리된 적층체(1B)의 공급방향의 선단부는 텐션롤러(5)를 통해서 메인 진공플레이트(6)에 흡착되도록 구성되어 있다.

텐션롤러(5)는 공급롤러(2)와 메인 진공플레이트(6)와의 사이의 적층체(1B)에 적당한 텐션을 주도록 구성되어 있다. 즉, 텐션롤러(5)는 적층체(1B)에 주름 등이 발생하지 않도록 구성되어 있다.

메인 진공플레이트(박막 공급부재)(6)는 적층체(1B)를 공급롤러(2)로부터 절연성 기판(12)의 도전층상에 공급하도록 구성되어 있다. 메인 진공플레이트(6)는 절연성 기판(12)에 접근하고 또한 이반하는(화살표 A방향으로 이동한다) 지지부재(7)를 통해서, 장치본체(박막 부착장치의 상자체)(8)에 지지되어 있다. 지지부재(7)는 메인 진공플레이트(6)를 이동시키는, 예를 들면 에어실린더로 이루어지는 구동원(7A)과, 구동원(7A)을 장치본체(8)에 지지하는 지지부(7B)로 구성되어 있다.

구동원(7A)은 에어실린더로 한정되지 않으며, 예를 들면, 유압실린더 또는 전자실린더, 혹은 스텝모터 및 그 변위를 메인 진공플레이트(6)에 전달하는 전달기구 등으로 구성할 수 있다.

메인 진공플레이트(6)에는 도 3(부분단면 사시도)에서 나타내는 바와 같이,적층체(1B)의 공급방향과 거의 직교하는 공급 폭방향으로 연장되어 있는 홈부(6A)의 길이(적층체(1B)의 공급 폭방향의 길이)는 공급 폭방향의 적층체(1B)의 치수와 거의 동일한 치수로 구성되며, 홈부(6A)를 적층체(1B)가 덮도록 구성되어 있다. 홈부(6A)의 저부에는 적층체(1B)를 흡착시키기 위한 흡착구멍(6B)이 복수로 설치되어 있다. 도시는 생략하고 있으나, 흡착구멍(6B)은 배기관을 통해서, 진공펌프 등의 진공원(眞空源)에 접속되어 있다. 홈부(6A)의 단부(6C)는 메인 진공플레이트(6)의 단부로부터 중앙부로 파내린 테이퍼형상으로 구성되어 있다. 이 단부(6C)(테이퍼부)에는 메인 진공플레이트(6)에 흡착되는 적층체(1B)의 단부가 위치하도록 되어 있다.

이 테이퍼 형상으로 구성된 단부(6C)는 홈부(6A)와 적층체(1B)와의 흡착면적을 최대한으로 확보하여 흡착효과를 높임과 동시에, 적층체(1B)의 흡착 시에, 홈부(6A)와 적층체(1B)와의 흡착위치에 약간의 어긋남이 발생하여도, 홈부(6A)에 비해서 얕기 때문에, 적층체(1B)의 단부와 단부(6C)와의 흡착성을 양호하게 하며, 홈부(6A)와 적층체(1B)와의 흡착효과를 더욱 양호하게 할 수 있다.

적층체(1B)의 공급방향에 있어서의 메인 진공플레이트(6)의 선단부에는 적층체(1B)의 흡착면이 원호형상으로 형성된 가부착부재(6D)가 설치되어 있다. 가부착부재(6D)는 메인 진공플레이트(6)와 일체로 구성되어 있다. 가부착부재(6D)의 내부에는 도 1 및 도 2에서 나타내는 바와 같이, 원호형상 부분을 가열하는 히터(6E)가 설치되어 있다. 가부착부재(6D)는 메인 진공플레이트(6)로 공급되는 적층체(1B)의 선단부를, 기판(12)에 가부착하도록 구성되어 있다.

상기 가부착부재(6D)에 근접한 위치, 즉, 가부착부재(6D)와 기판(12)과의 감김의 적층체(1B) 공급경로의 근방에 있는 장치본체(8)에는 서브 진공플레이트(9)가 설치되어 있다. 서브 진공플레이트(9)는 흡입구멍을 도시하고 있지 않으나, 상부 흡착부(9a)와 하부 흡착부(9b)로 ㄷ자 형상으로 구성되어 있다. 서브 진공플레이트(9)의 상부 흡착부(9a)는, 주로 공급방향의 적층체(1B)의 선단부를 흡착하여, 가부착부재(6D)에 흡착(유지)시키도록 구성되어 있다. 서브 진공플레이트(9)는 적층체(1B)의 선단부를 가부착부재(6D)에 흡착이 가능하도록, 적층체(1B)의 공급경로에 대하여 근접과 이반(화살표 B방향으로 이동)을 하는, 예를 들면 에어실린더로 이루어지는 구동원(9A)을 통해서, 장치본체(8)에 고착되어 있다.

또, 서브 진공플레이트(9)의 하부 흡착부(9b)는 연속된 적층체(1B)를 절단장치(10)로 절단하며, 이 절단된 적층체(1B)의 후단부를 흡착하도록 구성되어 있다.

상기 하부 흡착부(9b)는 열압착 적층을 개시한 후, 회전 진공플레이트(13)와의 사이에 있어서, 적층체(1B)에 이완(늘어짐)을 형성(이완을 갖게 한 적층체(1B')를 형성한다)하도록 구성되어 있다. 이 이완을 갖게 한 적층체(1B')는 메인 진공플레이트(6)의 적층체(1B)의 공급속도에 대하여, 열압착롤러(11)의 주속도(周速度)(열압착 적층속도)를 느리게 제어하는 것에 의하여 형성할 수 있다. 예를 들면, 열압착롤러(11)의 주속도를 일정하게 한 경우에는 메인 진공플레이트(6)에서 적층체(1B)를 공급하는 속도를 상기 주속도보다 빨라지게 되도록 설정한다. 양자의 제어는 도시하고 있지 않으나, 시퀀스제어 회로에 의해서 행하여지도록 되어 있다.

상기 가부착부재(6D)와 기판(12)과의 사이의 적층체(1B)의 공급경로 근방의 장치본체(8)(또는 전단 반송장치(14))에는 절단장치(10)가 설치되어 있다. 상세하게 설명하면, 절단장치(10)는 적층체(1B)를 개재시키고 서브 진공플레이트(9)와 대향하는 위치에 구성되어 있다. 절단장치(10)는 메인 진공플레이트(6)로 연속적으로 공급되는 적층체(1B)를 기판(12)의 치수에 대응하여 소정의 길이가 되도록 절단하도록 구성되어 있다.

이 절단장치(10)의 구체적인 구성을 도 4(도 2의 화살표 Ⅳ방향에서 본 개략평면도) 및 도 5(도 4의 V-V선으로 끊은 단면도)로 나타낸다.

절단장치(10)는 도 4 및 도 5에 나타내는 바와 같이, 주로 가이드부재(10A)와, 이동부재(10B)와, 원판상의 커터(10C)로 구성되어 있다.

가이드부재(10A)는 적층체(1B)의 공급 폭방향으로 연장되어 있으며, 그 양단부(또는 1단부)가 장치본체(8)에 고정되어 있다. 이 고정은 나사, 볼트, 너트, 비스, 접착제 등의 고정수단으로 고정된다. 가이드부재(10A)에는 적층체(1B)의 공급 폭방향(도 4에 나타내는 화살표 C방향)에 있어서, 이동부재(10B)를 정확하게 이동시킬 수 있도록, 이동부재(10B)의 볼록부(또는 오목부)(10a)와 끼워 결합하는 오목부(또는 볼록부)(10b)가 설치되어 있다.

이동부재(10B)는 가이드부재(10A)를 따라서(적층체(1B)의 공급 폭방향으로)이동하도록 구성되어 있다. 이동부재(10B)는 가이드부재(10A)를 따라서 연장되어 있으며, 또한 양단부가 장치본체(8)에 지지된 중공관(10D)내를, 화살표 C´방향으로 이동하는 중공관내 이동부재(10E)와 접속되어 있다. 중공관내 이동부재(10E)의이동은 중공관(10D)의 각각의 단부로부터 공기(air)등의 유체를 취입하는(혹은 흡인하는)것에 의하여 실행된다. 즉, 중공관내 이동부재(10E)는 도 4에 있어서, 중공관(10D)의 좌측으로부터 유체를 취입하면, 좌측으로부터 우측으로 이동하며, 중공관(10D)의 우측으로부터 유체를 취입하면, 우측으로부터 좌측으로 이동하도록 구성되어 있다. 중공관내 이동부재(10E)는 이동부재(10B)를 이동시키도록 구성되어 있다. 중공관(10D)내로 취입하는 유체로서는 공기를 사용한다.

원판형 커터(10C)는 이동부재(10B)의 이동에 따라서 회전하며, 적어도 그 원주부에 적층체(1B)를 절단하는 날(刀)부가 설치되어 있다. 원판형 커터(10C)의 회전은 회전축(10F)에 설치된 기어(피니언)(10G)를 개재시키고, 회전축(10H)에 설치된 기어(10I)와 래크(10J)와의 결합에 의하여 주어진다. 래크(10J)는 양단부(또는 1단부)가 장치본체(8)에 고정되어 있다. 래크(10J)와 기어(10I)와의 결합은 이동부재(10B)에 설치된 유지롤러(10L)에 의해 안정적으로 유지된다.

원판형 커터(10C)는, 예를 들면 고속도 공구강 등의 금속재료로 구성되어 있으며, 적어도 날부의 표면에는 폴리테트라플루올로에틸렌이 도포되어 있다. 폴리테트라플루올로에틸렌은 화학약품에 대한 불활성, 열적 안정성에 우수하며, 마찰계수가 작으며, 또, 다른 재료에 잘 부착되지 않는 특징이 있다. 특히, 박막 부착장치에 있어서는 적층체(1B)의 절단에 의해 발생하는 미세하고 여러가지 화학약품을 함유하는 절삭부스러기가 날부에 부착하며, 원판형 커터(10C)의 날의 효능을 열화 시키기 쉽기 때문에, 폴리테트라플루올로에틸렌의 도포는 유효하다.

원판형 커터(10C) 근방의 이동부재(10B)에는 주로, 작업자의 안전을 확보하기 위하여, 원판형 커터(10C)를 덮는 보호커버(10K)가 설치되어 있다.

이 절단장치(10)는 이동부재(10B)가 가이드부재(10A)를 1방향으로 이동시키는 것에 의하여, 이 이동에서 주어지는 원판형 커터(10C)의 회전으로, 절연성 기판(12)의 길이에 대응하는 치수로 적층체(1B)를 절단할 수 있다. 또, 원판형 커터(10C)는 1방향의 이동에 의해 적층체(1B)를 절단할 수 있기 때문에, 적층체(1B)의 절단시간을 단축시킬 수 있다.

이와 같이 구성되는 박막 부착장치에 있어서, 메인 진공플레이트(6)와 가부착부재(6D)를, 기판(12)에 근접 및 이반하는 지지부재(7)를 통해서 장치본체(8)에 설치하며, 적층체(1B)를 절단하는 절단장치(10)를, 상기 가부착부재(6D)와 기판(12)과의 사이의 적층체(1B)의 공급경로 근방의 장치본체(8)에 고정시키는 것에 의하여, 상기 지지부재(7)로 지지하는 부재의 중량을 경량화하였기 때문에, 구동능력(용량)이 작은 구동원(7A)으로 지지부재(7)를 구동시킬 수 있다.

또, 지지부재(7)에 지지되는 부품의 점수를 저감시킬 수 있기 때문에, 지지부재(7) 및 그 주변의 구성을 간략화하여, 박막 부착장치를 소형화할 수 있다.

또, 구동원(7A)등을 소형화할 수 있으므로, 박막 부착장치의 제조상의 코스트를 저감시킬 수 있다.

절단장치(10)는 한꺼번에 적층체(1B)를 절단할 수 있다.

상기 메인 진공플레이트(6)의 가부착부재(6D)로 절연성 기판(12)의 도전층상에 선단부가 가부착되는 적층체(1B)는 열압착롤러(11)로 그 전체가 열압착 적층되도록 구성되어 있다. 열압착롤러(11)는 적층체(1B)의 선단부를 가부착부재(6D)로가부착시키는 가부착동작 시에는 도 1에 부호(11′)를 붙인 점선으로 나타내는 위치에 배치되어 회전하고 있다. 열압착롤러(11)는 가부착동작 시에, 가부착부재(6D)와 접촉하지 않도록 구성되어 있다. 가부착동작 후의 열압착롤러(11)는 부호(11′)를 나타내는 점선으로 나타낸 위치로부터 실험에서 나타내는 위치, 즉, 적층체(1B)를 개재시키고 기판(12)을 끼워 지지하는 위치로 이동하도록 구성되어 있다. 적층체(1B)를 개재시키고 기판(12)을 끼워 지지한 열압착롤러(11)는 도 2에 나타내는 화살표 D방향으로 회전하며, 적층체(1B)를 절연성 기판(12)의 도전층상에 열압착 적층 시킴과 동시에, 이 기판(12)을 반송하도록 구성되어 있다. 열압착 적층공정의 진행중에 있어서는 메인 진공플레이트(6) 및 서브 진공플레이트(9)의 적층체(1B)의 흡착동작은 정지하고 있다. 즉, 열압착롤러(11)에는 그 회전력과, 기판(12)과의 협지력(挾持力)으로, 적층체(1B)가 공급롤러(2)로부터 자동적으로 공급되도록 구성되어 있다.

상기 절단장치(10)로 절단된 적층체(1B)의 후단부는 3각형상의 회전 진공플레이트(13)로 주름이 생기지 않도록 가이드되어, 열압착롤러(11)로 열압착 적층되도록 구성되어 있다. 회전 진공플레이트(13)는 도 6(요부사시도)에 나타내는 바와 같이, 열압착롤러(11)와 동일한 축으로 지지되며 또한 그것을 중심으로 회전하도록 구성되어 있으며, 적층체(1B)와 대향하는 흡착면에는 복수의 흡입구멍(13A)이 설치되어 있다. 상기 흡착구멍(13A)이 배설된 흡착면의 구조는 도 3에 나타내는 메인 진공플레이트(6)의 흡착면과 동일한 구조로 되어 있다. 도시하지 않으나, 회전 진공플레이트(13)의 상면에도 흡인구멍을 설치하여도 좋고, 이와 같이 구성함으로써,이완(1B')을 도2에 나타내는 바와 같은 상태로 할 수 있다.

상기 기판(12)은 반송롤러(하단)(14A)와 반송롤러(상단)(14B)로 구성되는 전단 반송장치(14)에 의해, 박막 부착장치의 적층체(1B)의 가부착 위치까지 반송된다.

또, 반송롤러(하단)(15A)와 반송롤러(상단)(15B)로 구성되는 후단 반송장치(15)는 박막 부착장치의 열압착롤러(11)로 적층체(1B)가 열압착 적층된 기판(12)을 배선패턴을 형성하는 노광장치까지 반송하도록 구성되어 있다.

상기 메인 진공플레이트(6)의 가부착부재(6D)의 이동경로(박막공급경로)근방의 장치본체(8)(또는 전단반송장치(14), 혹은 지지부재(7))에는 박막 교정장치(16)가 설치되어 있다. 박막 교정장치(16)는 가부착부재(6D)에 밀착시키는 방향으로 적층체(1B)의 공급방향의 선단부를 교정하도록 구성되어 있다. 박막 교정장치(16)의 구체적인 구성은 도 2 및 도 7(요부사시도)에 나타내는 바와 같이, 적층체(1B)의 공급 폭방향으로 연장시켜 설치된 유체반송관(16A)과 이 유체반송관(16A)에 복수로 설치된 유체취입구멍(16B)으로 구성되어 있다.

유체반송관(16A)은 내부가 중공(中空)으로 구성되어 있으며, 통상압력보다 고압력의 유체가 흐를 수 있도록 구성되어 있다.

유체취입구멍(16B)은 적층체(1B)를 교정하는 방향(도 2 및 도 7에 나타내는 화살표 E방향)으로 유체를 불도록 설치되어 있다.

박막 교정장치(16)에서 사용하는 유체로서는 공기를 사용한다.

이와 같이, 박막 부착장치에 있어서, 가부착부재(6D)에 밀착시키는 방향으로공급방향의 적층체(1B)의 선단부를 교정하는 박막 교정장치(16)를, 상기 가부착부재(6D)의 이동경로 근방의 장치본체(8)(또는 지지부재(7), 혹은 전단반송장치(14))에 설치하는 것에 의하여, 적층체(1B)의 선단부를 확실하게 가부착부재(6D)에 밀착시킬 수 있기 때문에, 절연성 기판(12)의 도전층상에 확실하게 적층체(1B)의 선단부를 가부착시킬 수 있다.

또한, 서브 진공플레이트(9)의 하부 흡착부(9b)와 회전 진공플레이트(13)와의 사이에 공급되는 적층체(1B)(1B')에 근접한 장치본체(8)(또는 전단반송장치(14), 혹은 지지부재(7))에는 박막 돌출장치(17)가 설치되어 있다. 즉, 박막 돌출장치(17)는 열압착롤러(11)에 밀착시키는 방향으로 상기한 이완상태를 갖게 한 적층체(1B')를 돌출시키도록 구성되어 있다. 박막 돌출장치(17)의 구체적인 구성은 도 2 및 도 7에 나타내는 바와 같이, 적층체(1B)의 공급 폭방향으로 연장하여 설치된 유체반송관(17A)과, 이 유체반송관(17A)에 복수로 설치된 유체 취입구멍(17B)으로 구성되어 있다.

유체반송관(17A)은 내부가 중공으로 구성되어 있으며, 통상압력보다 고압력의 유체가 흐를 수 있도록 구성되어 있다. 유체반송관(17A)의 단면형상은 본 실시예에서는 거의 원형상태로 구성되어 있다.

유체취입구멍(17B)은 적층체(1B')의 상기 이완상태를 상기한 바와 같이 돌출 시키는 방향(도 2 및 도 7에 나타내는 화살표 F방향)으로 유체를 불어주도록 설치되어 있다.

박막 돌출장치(17)에서 사용하는 유체로서는 박막 교정장치(16)와 동일하게,공기를 사용한다.

이와 같이, 박막 부착장치에 있어서, 열 압착롤러(11)에 밀착시키는 방향으로 상기 이완상태를 갖게 한 적층체(1B')를 교정하는 박막 돌출장치(17)를, 적층체(1B')의 근방의 장치본체(8)(또는 지지부제(7), 혹은 전단반송장치(14))에 설치하는 것에 의하여, 적층체(1B')를 확실하게 열압착롤러(11)에 밀착시키는 방향으로 상기 이완상태를 갖게 할 수 있기 때문에, 특히, 회전 진공플레이트(13)에 적층체(1B)의 후단부를 확실하게 흡착시킬 수 있다. 따라서, 주름 등이 발생하지 않고, 절연성 기판(12)의 도전층상에 확실하게 적층체(1B)의 후단부를 열압착 적층시킬 수 있다.

상기 열압착롤러(11)와 후단 반송장치(15)의 반송롤러(15A)와의 사이의 장치본체(8)(또는 후단 반송장치(15))에는 기판 가이드부재(18)가 설치되어 있다. 기판 가이드부재(18)는 적층체(1B)가 열압착 적층된 기판(12)을, 열압착 적층위치로부터 반송롤러(15A) 및 (15B)의 위치까지 가이드 하도록 구성되어 있다. 기판 가이드부재(18)는, 특히, 도 6에 나타내는 바와 같이, 기판(12)의 반송방향으로 연장되어 있는 막대형상부(봉 형상부)를 그 반송 폭방향으로 복수로 배치한 꼬치형 형상으로 구성한 것이다. 상기 꼬치형 형상으로 구성된 기판 가이드부재(18)는 기판(12)의 반송에 있어서, 기판(12)과의 접촉면적을 작게 하여 마찰저항을 작게 할 수 있으므로, 원활하게 기판(12)을 가이드 할 수 있다.

이와 같이, 상기 열압착롤러(11)와 후단 반송장치(15)의 반송롤러(15A)와의 사이에 기판 가이드부재(18)를 설치하는 것에 의하여, 특히, 얇은 기판(12)에 있어서는 열압착 적층 후의 반송방향의 선단부의 늘어짐(垂下)을 방지하며, 반송롤러(15A) 및 (15B)를 확실하게 안내, 반송할 수 있기 때문에, 후단 반송장치(15)(기판(12)의 반송경로)에 있어서의 트러블을 방지할 수 있다. 특히, 본 실시예의 박막 부착장치의 반송장치에 있어서는 가부착을 행하기 때문에, 열압착롤러(11)가 부호(11')를 붙인 점선으로 나타내는 위치로부터 실선으로 나타내는 위치까지 이동하는 공간이 필요하게 되어, 열압착롤러(11)와 반송롤러(15A)와의 사이에 상당한 공간이 형성되기 때문에, 기판 가이드부재(18)는 유효하다.

다음에, 본 실시예의 박막 부착장치에 의한 적층체(1B)의 열압착 적층방법에 대하여 간단하게 설명한다.

먼저 최초에, 수동작업에 의해, 박리롤러(3)에서 분리된 적층체(1B)의 공급방향의 선단부를, 서브 진공플레이트(9)와 절단장치(10)의 사이에 배치한다.

다음에, 전단 반송장치(14)의 반송롤러(14A) 및 (14B)로 반송되는 기판(12)의 반송방향의 선단부가 가부착위치에 반송되면, 서브 진공플레이트(9)로 적층체(1B)의 선단부를 흡착한다. 적층체(1B)의 흡착 후, 구동원(9A)으로 적층체(1B)의 공급경로로부터 이반하는 위치로 서브 진공플레이트(9)를 이동시켜, 가부착부재(6D)에 적층체(1B)의 선단부를 흡착시킨다. 이때, 메인 진공플레이트(6) 및 가부착부재(6D)의 흡착동작이 행하여짐과 동시에, 박막 교정장치(16)로 적층체(1B)를 교정할 수 있으므로, 가부착부재(6D)에 적층체(1B)의 선단부를 확실하게 흡착시킬 수 있다. 또한, 연속동작이 실행되고 있을 때는 절단장치(10)로 절단된 적층체(1B)의 선단부가 가부착부재(6D)에 흡착된다.

그 후, 구동원(7A)에 의해, 메인 진공플레이트(6)를 기판(12)에 근접하는 방향으로 이동시킨다. 이 이동에 의해, 가부착부재(6D)에 흡착된 적층체(1B)의 선단부가 절연성 기판(12)의 도전층상에 가부착된다.

적층체(1B)의 가부착 후, 메인 진공플레이트(6) 및 가부착부재(6D)의 흡착동작을 정지하고, 구동원(7A)에 의해, 메인 진공플레이트(6) 및 가부착부재(6D)를 가부착 위치로부터 이반(離反)시킨다. 이 구동원(7A)은 상기한 바와 같이, 절단장치(10)를 장치본체(8)에 고정시키고 있기 때문에, 소형으로 구성 혹은 구동능력을 높여서 고속동작을 할 수 있도록 구성되어 있다.

그 후, 부호(11')을 붙여서 점선으로 나타내는 위치로부터 실선으로 나타내는 가부착위치에 열압착롤러(11)를 근접시킨다. 그리고, 이 열압착롤러(11)로 적층체(1B)의 선단부가 가부착된 절연성 기판(12)을 끼워 지지하고 회전하는 것에 의하여, 절연성 기판(12)의 도전층상에 적층체(1B)를 열압착 적층한다. 이때, 메인 진공플레이트(6), 가부착부제(6D), 서브 진공플레이트(9)의 각각의 흡착동작은 정지하고 있기 때문에, 열압착롤러(11)에는 그 회전력과, 기판(12)과의 끼워 지지하는 힘으로, 적층체(1B)가 공급롤러(2)로부터 자동적으로 공급되도록 되어 있다.

적층체(1B)의 일정량이 열압착 적층되면, 메인 진공플레이트(6), 회전 진공플레이트(13)의 각각의 흡착동작이 개시되며, 구동원(7A)에 의해, 메인 진공플레이트(6)로 적층체(1B)를 기판(12)으로 공급한다. 이 공급속도에서는 열압착롤러(11)에 의한 열압착 적층속도(열압착롤러(11)의 주속도)보다 빠르게 설정되어 있다.

적층체(1B)의 공급 후, 메인 진공플레이트(6)의 흡착동작을 정지시키고, 구동원(7A)에 의해, 메인 진공플레이트(6)를 이반시킨다. 이 이반동작과 함께, 서브 진공플레이트(9)의 흡착동작을 개시함과 동시에, 적층체(1B)의 공급경로에 근접시켜, 적층체(1B)의 후단부(절단부분)를 흡착유지한다. 이 흡착에 의하여, 서브 진공플레이트(9)와 회전 진공플레이트(13)와의 사이에 이완상태를 갖게 한 적층체(1B')를 형성할 수 있다. 이 이완상태를 갖게 한 적층체(1B')의 공급방향의 양단부는 박막 교정장치(17)의 교정에 의해, 서브 진공플레이트(9)의 하부 흡착부(9b), 회전 진공플레이트(13)의 각각에 확실하게 흡착시킬 수 있다.

상기 서브 진공플레이트(9)에서 적층체(1B)의 후단부가 흡착 유지되면, 절단장치(10)에 의해, 기판(12)의 치수에 대응하는 소정의 치수로 적층체(1B)의 후단부가 절단된다.

그 다음에, 절단장치(10)에서 절단된 적층체(1B)의 후단부가 회전 진공플레이트(13)에 흡착되면, 열압착롤러(11)의 회전속도보다 약간 느린 속도로 회전 진공플레이트(13)가 회전하며, 열압착롤러(11)에 의해 박막부착부와 박막의 후단의 사이의 박막에 적당한 장력을 주게 되므로, 적층체(1B)에 주름 등이 발생하지 않고, 절연성 기판(12)의 도전층상에 적층체(1B)의 후단부를 열압착 적층시킬 수 있다.

적층체(1B)가 열압착 적층된 기판(12)은 열압착롤러(11)의 회전력에 의해, 기판 가이드부재(18)를 통해서, 문제없이 후단 반송장치(15)의 반송롤러(15A) 및 (15B)로 반송된다. 후단 반송장치(15)에 반송된 기판(12)은 노광장치로 반송된다.

본 발명에 의하면, 연속된 박막을 소정의 치수로 절단하며, 이 절단된 박막을 기판에 부착시키는 박막 부착장치에 있어서, 상기 연속된 박막을 기판에 공급하는 박막 공급부재와, 그 박막 공급부재로 공급되는 공급방향의 박막의 선단부를 기판에 가부착시키는 가부착부재를, 기판에 근접 및 이반하는 지지부재를 통해서 장치본체에 설치하며, 상기 연속된 박막을 소정치수로 절단하는 절단장치를, 상기 가부착부재와 기판과의 사이의 박막 공급경로의 근방의 장치본체에 고정시킨 것에 의하여, 상기 지지부재의 중량을 경감시키기 때문에, 구동능력이 작은 구동원으로 지지부재를 구동시킬 수 있다.

Claims

연속된 박막을 소정의 치수로 절단하며, 이 절단된 박막을 기판에 부착시키는 박막 부착장치에 있어서,

상기 연속된 박막을 기판에 공급하는 박막 공급부재와, 그 박막 공급부재로 공급되는 공급방향의 박막의 선단부를 기판에 가부착시키는 가부착부재를, 기판에 근접 및 이반하는 지지부재를 통해서 장치본체에 설치하며,

상기 연속된 박막을 소정치수로 절단하는 절단장치를, 상기 가부착부재와 기판과의 사이의 박막 공급경로의 근방의 장치본체에 고정시킨 것을 특징으로 하는 박막 부착장치.