JPH0737071B2 - フィルム張付方法及び装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、フィルム張付方法及び
装置に係り、特に、基板を搬送させ、基板の表面及び裏
面に対向して設けた第１及び第２のフィルム供給部材
で、フィルム先端側を吸着し、且つ、フィルム張付位置
に搬送された基板の表面及び裏面の搬送方向先端部に近
接して、当該先端部表面にフィルムの先端側を仮付け
し、仮付けされたフィルムを基板の表面及び裏面に圧着
ローラにより圧着させることにより、基板の表面及び裏
面のフィルム張付面に基板の長さに応じたフィルムを張
付けるフィルム張付方法及び装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】コンピュータ等の電子機器に使用される
プリント配線板は、銅等からなる所定パターンの配線が
絶縁基板の片面又は両面に形成されたものである。

【０００３】この種のプリント配線板は次の製造工程に
より製造することができる。

【０００４】先ず、絶縁性基板上に設けられた導電層
（銅薄膜）上に、感光性樹脂（フォトレジスト）層とそ
れを保護する透光性樹脂フィルム（保護膜）とからなる
積層体フィルムを熱圧着（熱圧着ラミネートとも称され
る）する。この熱圧着は、フィルム張付装置（薄膜張付
装置とも称される）、いわゆるラミネータによる量産工
程において行われる。この後、前記積層体フィルムに配
線パターンフィルムを重ねてこの配線パータンフィルム
及び透光性樹脂フィルムを通して、感光性樹脂層を所定
時間露光する。次いで、前記透光性樹脂フィルムを剥離
装置で剥離した後、露光された感光性樹脂層を現像して
エッチングマクスパターンを形成する。その後、前記導
電層の不必要な部分をエッチングにより除去し、更に残
存する感光性樹脂層を除去し、所定の配線パターンを有
する配線板を形成する。

【０００５】前記のフィルム張付装置に関して、従来か
ら種々の技術が提案されている（例えば、出願人が既に
特開昭６３−２０８０３７号公報、特開平３−７３４４
号公報で提案したものがある）がある。

【０００６】図１２は、前記のような従来のフィルム張
付装置の構成例を示すものである。なお、図１２には、
絶縁性基板（以下単に基板という）の搬送経路を中心に
上・下の構成機器が略同様なため、当該経路から上部側
の構成のみを示している。

【０００７】薄膜張付装置においては、透光性樹脂フィ
ルム、感光性樹脂層及び透光性樹脂フィルムの３層構造
からなる積層体フィルム（以下、３層積層体フィルムと
いう）が、供給ローラ２に連続的に巻き回されている。
該３層積層体フィルム１は、前記供給ローラ２から巻き
出され、その後、薄膜分離ローラ３で、透光性樹脂フィ
ルム１Ａと、１面（接着面となる）が露出された感光性
樹脂層及び透光性樹脂フィルムからなる積層体フィルム
１Ｂとに分離される。分離された積層体フィルム１Ｂ
は、テンションローラ９を経由してメインバキュームプ
レート（フィルム供給部材）５の表面上に供給される。
その後、積層体フィルム１Ｂの供給経路にはサブバキュ
ームプレート１３とカッタ１４とが設けられ、その先に
バキュームバー１５及び圧着ロール１６が設けられてい
る。

【０００８】前記メインバキュームプレート５は、前記
積層体フィルム１Ｂを吸着して保持しながら、前記供給
ローラ２から基板６の導電層上に仮付けするためのもの
である。前記メインバキュームプレート５は、図１２に
示されるように、前記基板６に近接し且つ離反する（矢
印Ｂ方向に移動する）支持部材７に進退動可能に設けら
れている。

【０００９】前記この支持部材７は、ガイド部材８に摺
動して矢印Ｂ方向に移動可能なように装置本体（フィル
ム張付装置のフレーム部材）９に設けられる。又、支持
部材７は、前記基板６の搬送経路を中心に、上下、一対
に設けられており、上部の支持部材７と下部の支持部材
７とは、ラックアンドピニオン機構により連動的に動作
する。つまり、上下、一対の支持部材７には、各々にラ
ック７Ａが設けられており、この各々のラック７Ａと噛
合うピニオン７Ｂ（このピニオン７Ｂは前記装置本体９
に固定されている）が設けられて、図示しない駆動源の
駆動力が与えらることにより、連動的に動作する。

【００１０】又、前記メインバキュームプレート５は、
前記支持部材７の移動とは独立的に基板６に近接し且つ
離反する（矢印Ｃ方向に移動する）動作をするように、
支持部材７に設けられている。即ち、メインバキューム
プレート５は、支持部材１２に設けられたシリンダ等か
らなるラックアンドピニオン機構により前記のような動
作をする。このラックアンドピニオン機構は、支持部材
７に固着された第１のラック１２Ａと、第２の駆動源１
１により前記ラック１２Ａに沿い前後動し、且つ当該ラ
ック１２Ａと噛合うピニオン１２Ｂと、前記ラック１２
Ａと平行に移動し、且つ、前記ピニオン１２Ｂと噛合う
第２のラック１２Ｃとからなる。

【００１１】なお、前記メインバキュームプレート５の
先端には仮付部５Ａが設けられている。この仮付け部５
Ａはその内部に発熱体５Ｂが設けられている。メインバ
キュームプレート５で積層体フィルム１Ｂを基板に仮付
けするときには、前記仮付け部５Ａが積層体フィルム１
Ｂを巻き付けた状態で基板６に近接（あるいは当接）す
る。この際、前記仮付部５Ａは、前記発熱体５Ｂの発熱
により加熱されており、これにより積層体フィルム１Ｂ
の先端部を熱圧着により仮付けする。

【００１２】前記サブバキュームプレートは、前記積層
体１Ｂの供給方向の先端部を吸着し、前記仮付け部５Ａ
に当該先端部を吸着（保持）させるように動作する。こ
のサブバキュームプレート１３の動作は、支持部材７に
取付けられた、例えばエアシリンダからなる駆動源１３
Ａで、積層体１Ｂの供給経路に対して近接及び離反（矢
印Ｄ方向に移動）することにより行われる。又、この動
作は、メインバキュームプレート５が積層体フィルム１
３を基板６に仮付けする際も行われる。

【００１３】前記カッタ１４は、積層体フィルム１Ｂを
基板６の寸法に応じた長さ分に切断するものである。前
記カッタ１４は、前記サブバキュームプレート１３に前
記供給経路を挟んで、対向して設けれられる。

【００１４】前記圧着ローラ１６は、基板搬送経路の上
・下に設けられており、上・下の圧着ロール１６は、積
層体フィルム１Ｂが仮付された基板６を所定圧力で挟
み、且つ、熱を加えることにより、該積層体フィルム１
Ｂを基板６に熱圧着する。

【００１５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記従
来のフィルム張付装置においては、メインバキュームプ
レート５を移動させるのに、支持部材７を移動させるほ
か、支持部材７上に設けられた第２の駆動源１１やラッ
クアンドピニオン機構をも合せて移動させる必要があっ
た。

【００１６】従って、前記フィルム張付装置は、支持部
材７の駆動源から見て質量が大きく、メインバキューム
プレート（フィルム供給部材）の迅速な作動に欠ける恐
れがある。このためフィルム張付装置の高速な運転、更
には、処理能力の拡大の障害となるという問題点があっ
た。

【００１７】又、前記支持部材に設けた第２の駆動手段
及びラックアンドピニオン機構等のように、支持部材７
やその駆動源に他に種々の構成機器を必要としなければ
メインバキュームプレート５を移動させることができな
いため、装置構成が複雑となっており、構成の簡易化が
要請されていた。

【００１８】又、従来のフィルムの張付装置において
は、上・下側のフィルム供給部材が各々独立に設けられ
たシリンダにより動作されるようになっている。このこ
とから、同じ圧力の空気を前記各エアシリンダ内に供給
した場合、重力が影響して上・下方向のフィルム供給部
材は下がる方向に力が加わるため、上・下側のフィルム
供給部材の同調した動作は困難であり、又、どうしても
上側のフィルム供給部材の仮付け時の圧着力が強くなっ
てしまう。このため、上・下のエアシリンダへの供給空
気圧の調整により、前記同調動作を行わせていたが、適
切な調整は困難であった。そこで、従来は、下側のフィ
ルム供給部材を上昇させるに際して、ある一定の位置で
ストッパ等により停止させるようにし、それと共に、下
側のフィルム供給部材のシリンダの圧力をある程度高め
ていた。

【００１９】しかしながら、このようにした場合、下側
のフィルム供給部材の仮付けする際の圧着力が強くな
り、上・下両側で圧着力のバランスを良好にすることは
困難であるという問題点があった。

【００２０】本発明は、前記従来の問題点を解消するべ
くなされたもので、フィルム供給部材が固着されて一体
となって移動する部材の構成を簡単化させて軽量化し迅
速な動作、引いては高速な運転や処理能力の拡大を図る
と共に、基板の表面及び裏面側のフィルム供給部材の同
調動作及び基板の表面及び裏面への仮付けの圧着力のバ
ランスを確実に図ることが可能なフィルム張付方法及び
装置を提供することを課題とする。

【００２１】

【課題を解決するための手段】本発明は、基板を搬送さ
せ、基板の表面及び裏面に対向して設けた第１及び第２
のフィルム供給部材で、フィルム先端側を吸着し、且
つ、フィルム張付位置に搬送された基板の表面及び裏面
の搬送方向先端部に近接して、当該表面及び裏面にそれ
ぞれフィルムの先端側を仮付けし、仮付けされたフィル
ムを圧着ローラにより基板の表面及び裏面に圧着させる
ことにより、基板の表面及び裏面のフィルム張付面に基
板の長さに応じたフィルムを張付けるフィルム張付方法
において、フィルム張付装置の本体フレームに摺動自在
に設けられた、第１及び第２の取付部材に、第１及び第
２のフィルム供給部材を固着し、前記第１及び第２の取
付部材をラックアンドピニオン機構を介して駆動するモ
ータと、第１及び第２の取付部材を同時に駆動させるシ
リンダ部材とを設け、前記モータの駆動により、第１及
び第２のフィルム供給部材を、基板から所定距離となる
位置まで、基板方向に近接させ、その後、前記シリンダ
の駆動により、第１及び第２の供給部材を前記所定距離
から更に基板方向に近接させて基板にフィルムを仮付け
し、次いで、前記シリンダの駆動により、第１及び第２
の供給部材を、前記仮付けした位置から離隔させること
により、前記課題を解決するものである。

【００２２】又、本発明は、基板を搬送させるための手
段と、フィルム先端側を吸着し、且つ、フィルム張付位
置に搬送された基板の表面及び裏面の搬送方向先端部に
近接して、当該表面及び裏面にそれぞれフィルムの先端
側を仮付けするための第１及び第２のフィルム供給部材
と、仮付けされたフィルムを基板の表面及び裏面に圧着
させるための圧着ローラとを有して、基板の表面及び裏
面のフィルム張付面に基板の長さに応じたフィルムを張
付けるためのフィルム張付装置において、フィルム張付
装置の本体フレームに摺動自在に支持され、第１及び第
２のフィルム供給部材をそれぞれ固着して、各供給部材
を基板方向に前後移動させるための第１及び第２取付部
材と、前記第１及び第２の取付部材に同時に駆動力を加
えて、前記各供給部材を同時に移動させるためのシリン
ダ部材と、第１及び第２の取付部材に取付けられた第１
及び第２のラックギヤ、並びに、各ラックギヤに噛み合
うピニオンギヤを有して前記第１及び第２の取付部材の
移動を同調して行わせるための手段と、前記ピニオンギ
ヤを駆動させて前記各供給部材を移動させるためのモー
タと、を備えたことにより、前記課題を解決するもので
ある。

【００２３】又、本発明においては、前記シリンダ部材
を第１及び第２のフィルム供給部材のフィルムの幅方向
に沿う両側に一対設けることができる。

【００２４】又、本発明において、前記フィルム供給部
材の吸着する面側にフィルムの幅方向に沿ってゴム部材
が設けたものとすることができる。

【００２５】又、本発明において、更に、カッタ及び圧
着ローラ間のフィルム供給経路上に、前記フィルム供給
部材の吸着面上のフィルム供給経路と同一平面に接する
ように構成されたローラからなるサポートローラを備え
たものとすることができる。

【００２６】

【作用】本発明においては、フィルム張付方法におい
て、フィルム張付装置の本体フレームに摺動自在に設け
られた第１及び第２の取付部材に第１及び第２のフィル
ム供給部材を固着する。又、前記第１及び第２の取付部
材をラックアンドピニオン機構を介してモータ駆動する
と共に、第１及び第２の取付部材をシリンダ部材で同時
に駆動する。

【００２７】この場合、前記モータ駆動により、第１及
び第２のフィルム供給部材を、基板から所定距離となる
位置まで、基板方向に近接させる。

【００２８】従って、ラックアンドピニオン機構を介し
てモータ駆動するため、前記供給部材の所定位置の位置
決め精度が高くなる。

【００２９】その後、前記シリンダ部材の駆動により、
第１及び第２の供給部材を前記所定距離から更に基板方
向に近接させて当該基板にフィルムを仮付けする。

【００３０】モータ駆動により第１及び第２のフィルム
供給部材を仮付けさせた場合、位置決め精度が高くはな
るが、押圧力によりモータが過負荷となり、モータ寿命
が著しく低下する。更に、基板の位置ずれが生じたと
き、それに対応して基板の表面及び裏面で同じ押圧力に
より仮付けすることが困難になってしまう。これに対し
て、シリンダ駆動によれば、過負荷の問題が無くなり、
更に、基板の位置ずれが生じても、シリンダ部材は、空
気等の流体圧力で作動するもののため、それに対応して
基板の表面及び裏面で同じ押圧力により仮付けすること
ができる。

【００３１】又、仮付け後シリンダ部材の駆動により第
１及び第２の供給部材を仮付け位置から離隔させる。

【００３２】従って、シリンダ部材で駆動するため、比
較的強い駆動力を発生でき、モータ駆動よりも高速に離
隔させることができる。従って、圧着作業時間の短縮化
に寄与できる。

【００３３】更に又、本発明においては、フィルム張付
装置において、第１及び第２のフィルム供給部材をフィ
ルム張付装置の本体フレームに摺動自在に支持され、且
つ、移動させるための第１及び第２取付部材に固着し、
シリンダ部材により、これら第１及び第２の取付部材に
同時に駆動力を加えて、第１及び第２のフィルム供給部
材を同時に移動させるようにしている。

【００３４】従って、第１及び第２の取付部材に駆動力
を加えるのみでフィルム供給部材の移動及びそれによる
仮付けができる構成となっている。従って、従来のフィ
ルム張付装置に設けられていたフィルム供給部材の移動
をさせるための構成としての支持部材やそれと共に当該
支持部材上でフィルム供給部材を移動させるための駆動
手段等が本発明では必要なくなり、この支持部材や、そ
の支持部材上に設けられた駆動手段を省略することがで
きる。よって、移動させるべき取付部材の重量が少なく
なり、迅速な動作が可能となる。これにより、高速運転
ができるようになり、処理能力の拡大の要請に応え得
る。又、前記支持部材等を必要としないため、構成が簡
易なものになる。

【００３５】又、基板の表面及び裏面側に設けられた第
１及び第２の取付部材にシリンダ部材から同時に駆動力
を加える。又、第１及び第２の取付部材にラックギヤが
取付けられ、当該ラックギヤにピニオンギヤを噛み合わ
せて、第１及び第２の取付部材の移動を同調させてい
る。又、前記ピニオンギヤにモータから駆動力を加えて
いる。従って、シリンダ部材及びモータのいずれからの
駆動力によっても、第１及び第２のフィルム供給部材を
同調して移動させ得る。従って、従来のような、上・下
のフィルム取付部材毎に、シリンダの気体（例えば空
気）圧力を調整することなく、仮付け時においての表面
及び裏面のフィルム押圧力を簡単に同一とすることがで
きる。

【００３６】又、前記駆動手段は、前記第１及び第２の
フィルム供給部材のフィルム幅方向両側に一対設けるこ
とができる。このようにすれば、前記フィルム供給部材
の幅方向の駆動力及び押圧力に不揃いが生じることを防
止することができる。

【００３７】又、前記フィルム供給部材の吸着する面側
にゴム部材を設けることができる。

【００３８】このようにすれば、フィルム供給部材でフ
ィルムを吸着保持する際に、このゴム部材とフィルム間
に大きな摩擦力が生じるため、確実にフィルムをフィル
ム供給部材で保持することができる。

【００３９】又、前記カッタ及び圧着ロール間のフィル
ム供給経路上に、前記フィルム供給部材の吸着面上のフ
ィルム供給経路と同一平面に接するように構成されたロ
ーラからなるサポートを備えることができる。このよう
にすれば、圧着ロールの外径の相違に拘らず、カッタ切
断後のフィルムを先端巻付フィルム保持部材の表面やカ
ッタでこすることなく確実に当該圧着ロールに導くこと
ができる。

【００４０】

【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細
に説明する。

【００４１】この実施例は、基板（絶縁性基板）６のフ
ィルム張付面に基板の長さに応じた積層体フィルム１Ｂ
を張付けるためのフィルム張付装置に本発明を実施した
ものである。

【００４２】図１は、実施例に係るフィルム張付装置の
全体的な構成を示すものである。

【００４３】又、図２は、前記張付装置の基板搬送路か
ら上方向の構成を中心に示したものである。

【００４４】図１及び図２に示されるように、前記フィ
ルム張付装置は、主に、基板６を仮付け及び圧着位置に
近接させて搬入するための搬入部２０と、前記積層体フ
ィルム１Ｂが圧着された基板６を搬出するための搬出部
２２と、透光性樹脂フィルム、感光性樹脂層及び透光性
樹脂フィルムの３層構造からなる３層積層体フィルム１
を蓄積し、一面（接着面）が露出された感光性樹脂層及
び透光性樹脂フィルムからなる積層体フィルム１Ｂを供
給するための積層体フィルム蓄積部２４と、供給された
積層体フィルム１Ｂを吸着し、基板６のフィルム張付面
に積層体フィルム１の先端側を仮止めするための仮止め
部２６と、前記フィルム１Ｂが仮止めされた基板６に当
該フィルム１Ｂを圧着ローラ２８で熱圧着（熱圧着ラミ
ネート）させるための圧着部３０とを有する。

【００４５】即ち、図１及び図２に示されるように、前
記積層体フィルム蓄積部２４においては、前記３層積層
体フィルム１が、供給ローラ２に連続的に巻き回されて
蓄積されている。巻き回された積層体フィルム１は、巻
き出されて、ガイドローラ３２を介してフィルム分離ロ
ーラ（フィルムの分離部材）３に至る。このフィルム分
離ローラ３は、前記積層体フィルムを、透光性樹脂フィ
ルム（保護膜）１Ａと、前記一面（接着面）が露出され
た感光性樹脂層及び透光性樹脂フィルムからなる積層体
フィルム１Ｂとに分離するものである。分離された透光
性樹脂フィルム１Ａは、ガイドローラ３４を介して前記
巻き回されて積層体フィルム１上を移動し、巻取ローラ
４に巻取られるようになっている。なお、巻き回されて
積層体フィルム１の側面側には、フィルムの蓄積されて
いる量を、フィルム巻径から検出する巻径検出センサ、
即ち、フィルム巻径用が所定に大きいことを検出する大
径用フィルム巻径検出センサ３６Ａと、フィルム巻径が
所定に小さいことを検出する小径用フィルム巻径検出セ
ンサ３６Ｂが設けられる。

【００４６】前記搬入部２０には、基板６に駆動力を与
えて搬送するための駆動ローラ３８が、搬入経路に沿っ
て、適宜の間隔で複数設けられている。この駆動ローラ
３８は、図示されないモータ等の駆動手段から駆動力が
与えられて駆動する。又、この駆動ローラ３８の（又
は、適宜の駆動ローラ３８）のものの搬送経路を挟んで
対向する位置には、駆動ローラ３８の例えば一つおきに
回動自在な従動ローラ４０が設けられている。この従動
ローラ４０は、駆動ローラ３８と共に基板６を挟んで、
基板６に確実に駆動力を付与するものである。

【００４７】又、前記搬送経路に沿い、且つ、駆動ロー
ラ３８間の適宜の箇所には、前記基板６の幅方向位置を
合せるための幅寄せ器４２が設けられている。

【００４８】又、前記駆動ローラ３８のうち、圧着部３
０側終端のものの搬送経路を挟んで対向する側には、回
動自在な基板押えローラ４６が設けられている。例えば
この基板押えローラ４６はエアシリンダからなる基板押
え部材４４により上昇及び下降する。この基板押えロー
ラ４６は、基板押え部材４４により下降したときに、当
該駆動ローラ３８と共に基板６を挟持して、積層体フィ
ルム１Ｂが仮付け又は熱圧着される際の基板６の上下方
向の揺動を制止するものである。

【００４９】又、前記終端の駆動ローラ３８の搬送方向
下流側には、熱圧着される積層体フィルム１Ｂと基板６
との間に気泡（空泡）が生じるのを防止するため、水等
の空泡防止剤を付着させるウェットローラ４８が設けら
れている。

【００５０】なお、前記基板６の搬送経路の近傍には、
基板６を検出する各センサＳ１〜Ｓ３が設けられる。搬
送経路の上流側に設けられたセンサＳ１は、前記搬入部
２０中に送られてきた基板６の例えば先端位置を検出し
て、その検出信号により、前記幅寄せ器４２を作動させ
るための幅寄せ開始センサＳ１である。又、この幅寄せ
開始センサＳ１の下流側に設けられたセンサＳ２は、基
板６の後端部を検出するための基板後端検出センサＳ２
である。又、前記圧着部３０入側に設けられたセンサＳ
３は、基板６の先端部を検出するための基板先端検出セ
ンサＳ３である。

【００５１】前記搬出部２２には、基板６の搬送方向に
図示されない駆動モータで駆動させる出側駆動ローラ５
０が複数設けられる。その駆動ローラ５０の適宜のもの
には、搬送経路を挟んでに対向する位置に、回動自在な
従動ローラ５２が設けられる。この従動ローラ５２は、
前記駆動ローラと共に基板６を挟んで、基板６に確実に
駆動力を付与するためのものである。又、この搬出部２
２の圧着部３０出側近傍には、基板６の通過したことを
検出するための基板通過検出センサＳ４が設けられる。

【００５２】前記仮付部２６には、前記積層体フィルム
蓄積部２４から供給された積層体フィルム１Ｂが、テン
ションローラ５４を介して搬送されるようになってい
る。なお、このテンションローラ５４は、前記供給ロー
ラ２とメインバキュームプレート（フィルム供給部材に
相当）５６との間の積層体フィルム１Ｂに適度な張力を
与えるものである。この適度な張力により前記メインバ
キュームプレート５６に供給する積層体フィルム１Ｂに
はしわ等が生じない。

【００５３】又、前記テンションローラ５４出側からメ
インバキュームプレート５６迄の積層体フィルム１Ｂ供
給経路上には、当該積層体フィルム１Ｂの静電気を除去
する静電気除去器５８が設けられている。

【００５４】又、メインバキュームプレート５６と前記
圧着部３０間の積層体フィルム搬送路上には、先端巻き
付けフィルム保持部材６０と、カッタ６２と、サポート
ローラ６４が設けられている。

【００５５】前記メインバキュームプレート５６は、前
記供給ローラ２から送られてきた積層体フィルム１Ｂの
先端側を吸着し、且つ、搬送された基板６の搬送方向先
端部に近接して、当該基板６先端部表面（上・下の両表
面）に積層体フィルム１Ｂの先端側を仮付けするよう作
動されるものである。なお、このメインバキュームプレ
ート５６は取付け部材６６に固着されて当該取付部材６
６と一体的に作動し、且つ、上・下のメインバキューム
プレート５６が同調して動作し、基板６に同時に接近し
て仮付けするようになっている。このメインバキューム
プレート５６及び前記取付部材６６の構成の詳細は後述
する。

【００５６】前記先端巻き付けフィルム保持部材６０
は、前記積層体フィルム１Ｂの先端側を負圧により吸引
し、基板搬送方向（図１中に、矢印Ａの方向）に後退す
ることによりメインバキュームプレート５６の先端側フ
ィルム仮付け部５６Ａに当該積層体フィルム１Ｂを吸着
されるものである。なお、この先端巻き付けフィルム保
持部材６０の構成の詳細は後述する。

【００５７】前記カッタ６２は、円筒部材の外周面にや
や螺旋を描くように切断刃が設けられた回転刃６２Ａと
直線状の切断刃からなる固定刃６２Ｂを有するものであ
る。固定刃６２Ｂ上を搬送される積層体フィルム１Ｂ
を、前記回転刃６２Ａの回転によりフィルム１Ｂをその
搬送方向に直角に切断するものである。カッタ６２は回
転刃６２Ａが回転することにより、回転刃６２Ａ及び固
定刃６２Ｂ同士を接近させて積層体フィルム１Ｂを基板
６の寸法に応じた所定の長さに切断するものである。こ
のカッタ６２は積層体フィルム１Ｂを供給する方向に直
角に切断するため、積層体フィルム１Ｂ供給中に回転刃
６２Ａ及び固定刃６２Ｂの長手方向片側を供給方向に移
動させ、カッタ６２の切断点が供給方向に移動する速度
を前記フィルム１Ｂの供給速度と同調するようになって
いる。

【００５８】前記サポートローラ６４は、カッタ６２及
び圧着ローラ２８間のフィルム供給経路上に前記メイン
バキュームプレート５６の吸着面上のフィルム供給経路
と同一平面に接するように設けられたローラからなるも
のである。

【００５９】前記サポートローラ６４は、圧着ローラ２
８に送られる積層体フィルム１Ｂが、前記カッタ６２で
切断された後の、しわ等が寄らないように当該ロール２
８に円滑に送るため導くものである。

【００６０】即ち、実施例に係る先端巻き付けフィルム
保持部材６０は、従来のもの例えば、（図１２に示した
サブバキュームプレート）と異なり、取付部材６６等に
取付けられていない等のことから、メインバキュームプ
レート５６との間が比較的開いている。このため、メイ
ンバキュームプレート５６からカッタ６２までの積層体
フィルム１Ｂが長くなり、このフィルム１Ｂを吸着する
ためメインバキュームプレート５６の取付け部５６Ａは
基板搬送方向に伸びた形状となる。従って、仮付位置及
び圧着位置は前記搬送方向に寄ったものとなる。この場
合、圧着ローラ２８の外径が大きければ当該ローラ２８
の接線が、メインバキュームプレート５６上の前記フィ
ルム供給経路の同一平面と同一又はさほど離れることは
なく、問題が生じないが、圧着ローラ２８の外径が小さ
ければ、前記同一平面から離れてしまい、積層体フィル
ム１Ｂがカッタ６２の固定刃６２Ｂに触れながら圧着ロ
ーラ２８方向に供給されてしまう恐れがある。これは、
前記フィルム１Ｂに皺等が発生する原因となり易い。そ
こで、本実施例ではこのような積層体フィルム１Ｂが固
定刃６２Ｂに触れることを防止するべく前記サポートロ
ーラ６４を設けている。

【００６１】前記メインバキュームプレート５６が固着
される取付部材６６は、図１に示すように、上と下で同
様の構成を有し、これら取付部材６６には、同調して基
板方向に移動させるため、各取付部材６６にはラックギ
ヤ６８が設けられると共に、当該ラックギヤの双方に噛
合うピニオンギヤ７０が設けられる。

【００６２】又、前記取付部材６６は、ガイドレール７
２上を摺動して移動し、このガイドレール７２に従った
取付け部材６６の移動方向がメインバキュームプレート
５６の移動方向となるようになってる。この取付部材６
０の構成の詳細は後述する。

【００６３】前記圧着部３０には、前記積層体フィルム
１Ｂを基板上に熱圧着するための圧着ローラ２８と共
に、当該圧着ローラ２８が軸支され、当該圧着ローラ２
８を前後動させるように保持する圧着ローラ保持部材７
４と、当該圧着ローラ２８の周囲を、前記積層体フィル
ム１Ｂを吸着しながら回動するバキュームバー７６と、
前記圧着ローラ２８に付着した水分等を付き取るための
圧着ローラ拭き取りローラ７８と、圧着後の基板の表面
の溝を拭き取るための基板拭き取りローラ８０と、上・
下に対称となる圧着ローラ保持部材７８を揺動させて、
圧着ローラ２８で積層体フィルム１Ｂを基板６上に圧着
させるための圧着ローラ上下移動用エアシリンダ８２を
有する。

【００６４】この圧着部３０の構成の詳細は後述する。

【００６５】次に、実施例に係るフィルム張付装置の前
記仮付部２６及び圧着部３０の更に詳細な構成を説明す
る。

【００６６】図３及び図４は、実施例に係るフィルム張
付装置を、基板搬入側から見た、右側要部正面図及び左
側要部正面図である。

【００６７】又、図５は、前記フィルム張付装置を上部
方向から見た平面図である。

【００６８】又、図６は、前記メインバキュームプレー
ト５６の取付けられた取付部材６６及びその駆動機構を
詳細に示す斜視図である。

【００６９】又、図７は、前記バキュームプレート５６
の上・下のものが基板６に接近して仮付けしている状態
を示す要部側面図である。

【００７０】又、図８は前記圧着ローラ２８が前記仮付
けされた積層体フィルムを熱圧着する状態を要部側面図
である。

【００７１】図３及び図４に示すように、メインバキュ
ームプレート５６の上側のものと下側のものとは、基板
搬送経路を境にして対称となるように配設される。この
メインバキュームプレート６６の表面には、積層体フィ
ルム１Ｂ幅方向に沿って溝が何本か刻まれており、その
溝に適宜の間隔で孔が開いている。この孔は図示されな
い空気吸引手段（例えば排気ポンプ）に連通しており、
その吸引手段の吸引により近接した積層体フィルム１Ｂ
を吸着させるようになっている。

【００７２】又、前記メインバキュームプレート５６に
おいて、積層体フィルム１Ｂの供給方向における先端部
には、積層体フィルム１Ｂを吸着する面が略円弧形状に
形成された仮付け部５６Ａが設けられている。この仮付
け部５６Ａは、メインバキュームプレート５６と別体に
又は一体的に構成されている。この仮付け部５６Ａの内
部には、図示しないが、当該仮付け部５６を加熱するヒ
ータが設けられており、このヒータによる仮付け部５６
Ａの加熱により、メインバキュームプレート１０で供給
される積層体フィルム１Ｂの先端部を、前記基板６の導
電層上に仮付け（仮熱圧着）するように構成されてい
る。

【００７３】なお、前記メインバキュームプレート５６
及び仮付け部５６Ａの表面は、実施例では、比較的滑か
な材質のものとなっている。しかしながら、これは一例
であり、例えば図９に示すように、これらメインバキュ
ームプレート５６及び仮付け部５６Ａの表面に、積層体
フィルム１Ｂの幅方向（メインバキュームプレート５６
の幅方向と同方向とする）に沿ってゴム等の樹脂（天然
ゴム、合成ゴム等）からなるゴム部材５６Ｂを固着し
て、メインバキュームプレート５６表面の摩擦係数を増
大させることができる。このようにゴム部材５６Ｂを固
着すれば、吸着された積層体フィルム１Ｂはメインバキ
ュームプレート５６表面に確実に係止されるため、ずれ
を生じることなく当該フィルム１Ｂを供給することがで
きる。

【００７４】前記メインバキュームプレート５６の幅方
向端部は、取付部材６６に例えばねじ止めにより固着さ
れる。この取付部材６６は、メインバキュームプレート
５６で仮付けする際に、ガイドレール７２上を揺動して
当該メインバキュームプレート５６と一体的に上・下動
するものである。この取付部材６６は、図３及び図４更
には図５及び図６に示すように、メインバキュームプレ
ート５６の幅方向外側に向って第１の腕部６６Ａが伸び
ると共に、基板６の搬送方向に沿って第２の腕部６６Ｂ
が伸びる。

【００７５】前記第１の腕部６６Ａの先端部側には、上
・下の取付部材６６、更には上・下のメインバキューム
プレート５６に対してそれらを同時に上下動させるため
の駆動力を発生するメインバキュームプレート駆動用ア
エシリンダ８４が設けられる。

【００７６】前記エアシリンダ８４には、シリンダ管体
８４Ａとピストンロッド８４Ｂとからなり、ピストンロ
ッド８４Ｂが前記シリンダ管体８４Ａ内から前後動する
ようになっている。前記シリンダ管体８４Ａの底部が上
の第１の腕部６６Ａの端部にピンジョイントで取付けら
れ、ピストンロッド８４Ｂの先端部は下の第１の腕部６
６Ａにナックルジョイントで取付けられる。

【００７７】前記第２の腕部６６Ｂの基板搬送方向端部
には、取付部材６８Ａを介してラックギヤ６８が設けら
れる。このラックギヤ６８は、ピニオンギヤ７０に噛合
うことにより上・下のメインバキュームプレート５６が
移動する際に同調して移動させるようになっている。
又、左右ピニオンギヤ７０間には、左右のラックギヤ６
８が同調して作動するように左右のピニオンギヤ７０を
連結する左右同調シャフト８６が設けられる。即ち、前
記ピニオンギヤ７０は、図５及び図６に詳細に示される
ように、前記左右同調シャフト８６の長手方向の両端部
に当該シャフト８６と共に回転するように固着される。

【００７８】前記左右同調シャフト８６は、その長手方
向両端部がベアリング（図示省略）を介して同調シャフ
ト受部材８６Ａに回転可能に支持されており、該受部材
８６Ａは、フレーム１００に取付けられる。又、該同調
シャフト受部材８６Ａには、前記ラックギヤ６８が前記
ピニオンギヤ７０と確実に噛合いを行うように、ラック
ギヤ６８を前記ピニオンギヤ７０の半径方向外側から押
える押えローラ８６Ｂが設けられている。

【００７９】前記左右同調シャフト８６の基板搬入方向
から見て右側方向の延長上には、ピニオンギヤ７０を駆
動させて、ラックギヤ６８、メインバキュームプレート
取付部材６６を介してメインバキュームプレート５６を
駆動させるためのメインバキュームプレート駆動用サー
ボモータ８８が設けられる。このサーボモータ８８の駆
動軸８８Ａと、前記左右同調シャフト８６のサーボモー
タ８８側とは、カップリング８８Ｂで連結され、このカ
ップリグ８８Ｂ及び左右同調シャフト８６を介して該サ
ーボモータ８８の駆動力が左右のピニオンギヤ７０に伝
達されるようになっている。前記サーボモータ８８は、
サーボモータ取付部材８８Ｃによりフレーム１００に取
付けられており、このサーボモータ取付部材８８Ｃと、
前記同調シャフト受部材８６Ａとが取付けられている位
置は、同一フレーム１００の互いに反対側面となる。な
お、前記サーボモータ８８には、駆動軸８８Ａとモータ
８８本体との駆動力の伝達を断続するためのクラッチ例
えば電磁クラッチが設けられている。

【００８０】前記メインバキュームプレート取付部材６
６のメインバキュームプレート５６が取付られている箇
所の基板方向先端側には、所定の取付部材９０Ａによ
り、カムフォロア９０が設けられる。このカムフォロア
９０は、メインバキュームプレート５６が基板方向に移
動して所定位置まできたとき前記先端巻き付けフィルム
保持部材６０の取付金具６０Ａに当接して当該先端巻き
付けフィルム保持部材６０を基板６方向に移動させるた
めのものである。

【００８１】前記先端巻き付けフィルム保持部材６０は
取付金具６０Ａによりスライドブロック６０Ｂに取付け
られる。このスライドブロック６０Ｂは、ガイドレール
６０Ｃ上を上下動可能に摺動するものである。前記取付
金具６０Ａには、又、ばね部材６０Ｄが設けられてお
り、このばね部材６０Ｄで前記取付金具６０Ａには、メ
インバキュームプレート５６方向への付勢力が与えられ
る。従って、前記カムフォロア９０が前記取付金具６０
Ａに当接して押したとき、前記ばね部材６０Ｄは屈縮さ
れる。これにより、前記先端巻き付けフィルム保持部材
６０は、メインバキュームプレート５６の基板方向への
動きと同調する動きをする。なお、このような同調する
動きは、メインバキュームプレート５６の仮付け部５６
Ａに積層体フィルム１Ｂの先端側を巻き付けるための所
定位置までである。

【００８２】前記のように、取付金具６０Ａは、スライ
ドブロック６０Ｂがガイドレール６０Ｃ上を摺動するこ
とにより上下動するが、このガイドレール６０Ｃ自体
は、基板６の搬送方向に沿うガイドレール９２Ａ上を前
後動する移動部材９２に固着して設けられる。この移動
部材９２には、又、前記カッタの固定刃６２Ｂ及びサポ
ートローラ６４のフィルム幅方向端部が支持される。こ
の移動部材９２は、図示されないシリンダ部材の駆動力
によりガイドレール９２Ａ上を基板搬送方向に沿って前
後動するようになっている。この移動部材９２の前後動
により、前記先端巻き付けフィルム保持部材６０と共に
カッタの固定刃６２Ｂ及びサポートローラ６４が基板搬
送方向に前後動するようになっている。

【００８３】メインバキュームプレート５６が先端巻付
けフィルム保持部材６０と共に基板６方向に所定位置ま
で近接すると（このとき、既に前記プレート５６及びフ
ィルム保持部６０は積層体フィルム１Ｂを吸着してい
る）、前記保持部材６０は基板搬送方向に移動して、積
層体フィルム１Ｂの先端部を仮付け部５６に巻き付ける
ようになっている。この巻き付けが終了すると移動部材
９２は、そこで停止し、メインバキュームプレート５６
が仮付けのため基板方向に近接して仮付けするようにな
っている。

【００８４】図７は、前記のように上・下のバキューム
プレート５６が基板６（図示省略）方向に近接して仮付
部５６Ａ同士が近接した状態を示しており、この近接に
際して、前記移動部材９２は当該メインバキュームプレ
ート６０の移動の邪魔にならない位置に停止している。

【００８５】又、図８は、圧着ローラ２８で基板６（図
示省略）に積層体フィルム１Ｂを熱圧着している状態を
示している。このとき、移動部材９２は近接し、このた
め、先端巻き付けフィルム保持部材６０、カッタの固定
刃６２Ｂ、サポートローラ６４は、積層体フィルム１Ｂ
の搬送経路上の元の位置に戻るようになっている。

【００８６】前記熱圧着ローラ２８の周辺の構成につい
て詳細に説明する。

【００８７】前記圧着ローラ２８は、積層体フィルム１
Ｂの仮付け時においては、図１及び図２の実線で示す状
態であると共に、図７の状態に退避している。又、熱圧
着時においては、圧着ローラは、図１及び図２の破線で
示す部分に、及び図８で示すように仮付け位置まで近接
し、熱圧着を行うようになっている。

【００８８】ここで、前記圧着ロール２８は、図３及び
図４に示すように、積層体フィルム１Ｂの幅方向に沿う
ように圧着ローラ２８の軸が設けられ、その軸の両端部
が、圧着ローラ保持部材７４に回動自在に支持される。

【００８９】この保持部材７４は、上・下に対向する各
圧着ローラ２８の軸方向端部にそれぞれ設けられていお
り、それら、上・下の保持部材７４は、それぞれ前記軸
方向両端部で共通した圧着ローラ支持部材９４に回動可
能に軸支される。

【００９０】従って、この圧着ローラ支持部材９４は、
圧着ローラ２８の軸方向両端部、即ち、積層体フィルム
１Ｂの幅方向両側に設けられる。

【００９１】又、これら左右の圧着ローラ支持部材９４
は、下方向に伸び、その下方向に伸びた途中の箇所で、
左右連結部材９６により互いに固定される。又、当該左
右連結部材９６の設けられた箇所の更に下方向に伸びた
圧着ローラ支持部材９４には、スライドブロック９４Ａ
が設けられ、このスライドブロック９４Ａが、基板搬送
方向に沿って設けられたスライド９４Ｂ上を摺動可能に
されている。

【００９２】従って、左・右の圧着ローラ支持部材９４
が基板搬送方向に前後動するとき、左右連結部材９６で
互いに固定されているため、左右の圧着ローラ支持部材
９４間の位置にずれが生じることなく移動できるように
なっている。このため、圧着ローラ２８は搬送方向に前
後動するとき、基板搬送方向に対して一定の角度（実施
例では直角）を保つことができるようになっている。

【００９３】前記圧着ローラ保持部材７４の回動する中
心軸には、圧着ローラ２８に駆動力を伝達するための第
１のギヤ９８Ａが回動可能に設けられている。前記右側
の圧着ローラ支持部材９４の上部には、圧着ローラ駆動
用のモータ１０２が設けられ、このモータ１０２の駆動
軸に設けられたギヤ１０２Ｂと、前記第１ギヤ９８Ａが
噛合うようになっている。又、圧着ローラ２８の軸方向
端部には、当該ローラ２８と共に回転する圧着ローラ回
転ギヤ２８Ａが設けられている。この回転ギヤ２８Ａと
前記第１のギヤ９８の双方に噛合う第２のギヤ９８Ｂが
圧着ローラ保持部材７４に設けられている。従って、前
記圧着ローラ駆動用モータ１０２の駆動力が、モータ軸
のギヤ１０２Ｂから第１のギヤ９８Ａ、第２のギヤ９８
Ｂを介して、前記回転ギヤ２８Ａ、更には圧着ローラ２
８に伝達されるようになっている。なお実施例ではこれ
ら駆動用のモータ１０２や各ギヤ１０２、９８Ａ、９８
Ｂ、２８Ａ等は図３及び図４に示すように基板搬入方向
から見て右側のみに設けられているが、その他、両側に
設けることができる。

【００９４】又、前記上・下の圧着ローラ保持部材７４
の第１のギア９８Ａ同士は噛合うようになっており、一
つの圧着ローラ駆動用モータ１０２からの駆動力で上・
下の圧着ローラ２８が回転駆動されるようになってい
る。なお、前記圧着ローラ駆動用モータ１０２には、当
該モータ１００の回転数から圧着ローラ２８の回転数
（回転速度）を検出するためのロータリーエンコーダ１
０２Ａが設けられている。

【００９５】前記圧着ローラ取付部材７４の基板搬送方
向に沿う後端部には、上・下の圧着ローラ２８を近接さ
せ、所定の力で圧着されると共に、離反させるための圧
着ローラ移動用エアシリンダ８２が設けられている。

【００９６】又、前記圧着ローラ２８の軸と同軸に、回
動するバキュームバー７６が設けられている。このバキ
ュームバー７６は、圧着ローラ２８による熱圧着に際し
て、積層体フィルム１Ｂを吸着し、圧着ローラ２８が回
動している際に、積層体フィルム１Ｂの後端側を吸着保
持し、圧着ローラ２８に同調して回動するものである。
これにより、積層体フィルム１Ｂの熱圧着に際して当該
フィルム１Ｂにしわが寄るのを防止するようになってい
る。

【００９７】又、圧着ローラ２８の圧着側以外の適宜の
箇所には、圧着ローラ拭き取りローラ７８が設けられ
る。この圧着ローラ拭き取りローラ７８は、積層体フィ
ルム１Ｂを基板６に熱圧着するに際して、残余の水（空
泡防止剤：ウェットローラ４８で付着される）が圧着ロ
ーラ２８に付着したものを除去するローラである。この
圧着ローラ拭き取りローラ７８は、自重、あるいは、ば
ね部材付勢力により、圧着ローラ２８にある程度の力で
接して従動するように、圧着ローラ保持部材７４に回動
自在に設けられている。

【００９８】又、圧着ローラ保持部材７４の基板６搬出
側には前記基板６に付着した残余の水を拭き取るための
基板拭き取りローラ８０が回動自在に設けられている。

【００９９】なお、前記圧着ローラ上下移動用エアシリ
ンダ８２は、左右で上下に対になっている圧着ローラ保
持部材７４に対して一つづつ設けられている。

【０１００】前記回転刃６２Ａ、固定刃６２Ｂからなる
カッタ６２は、積層体フィルム１Ｂが停止状態及び搬送
状態のいずれでも搬送方向直角に当該フィルム１Ｂを切
断可能になっている。

【０１０１】即ち、積層体フィルム１Ｂの静止状態にお
いては、カッタ６２の回転刃６２Ａ及び固定刃６２Ｂ
は、供給方向に直角に切断するよう水平に設けられる。
又、積層体フィルム１Ｂの供給状態においては、回転刃
６２Ａ及び固定刃６２Ｂを、切断を開始する側を搬送方
向とは逆方向に移動させることにより傾斜させて設け、
カッタ６２の切断点が斜めに移動するようにしている。
この場合、このカッタ６２の切断点の移動（移動ベクト
ル）においての積層体フィルム１Ｂの供給方向成分が当
該フィルム１Ｂの供給速度と一致する適切な傾斜角にカ
ッタ６２は傾斜される。この傾斜は例えばエアシリンダ
でカッタ６２を駆動させることにより、行うことができ
る。このように切断点が斜めに移動するようになってい
るため、積層体フィルム１Ｂが切断開始から切断終了ま
での間に供給方向に移動したとしても、その移動と共に
切断点も供給方向に移動するため、結局切断点は前記フ
ィルム１Ｂに対して供給方向へは移動していない。従っ
て、当該積層体フィルム１Ｂの切断は、供給方向に直角
に切断可能となる。

【０１０２】前記のように、実施例では、メインバキュ
ームプレート５６は、メインバキュームプレート駆動用
サーボモータ８８とメインバキュームプレート移動用エ
アシリンダ８４との駆動力により基板方向に前後動する
ようになっているが、該モータ８８及び該シリンダ８４
が駆動力を発生するのは、メインバキュームプレート５
６の移動工程においてそれぞれ分担がある。

【０１０３】即ち、前記メインバキュームプレート駆動
用サーボモータ８８は、メインバキュームプレート５６
を基板６表面からある程度の距離の所定位置まで接近さ
せるのに駆動力を発生する。又、前記エアシリンダ８４
は、前記接近後メインバキュームプレート５６の先端の
仮付け部５６Ｅを近接させて積層体フィルム１Ｂを熱圧
着により仮付けさせるために駆動力を発生する。それと
共に、前記エアシリンダ８４はこの仮付け後、メインバ
キュームプレート５６を基板６から迅速に離す（メイン
バキュームプレート同士が迅速に開く）ための駆動力を
発生する。

【０１０４】従って、前記サーブモータ８８駆動でメイ
ンバキュームプレート５６を基板６方向に比較的迅速な
加速で送り、前記所定位置からは前記サーブモータ８８
のクラッチを切って前記エアシリンダ８４でメインバキ
ュームプレート５６（仮付け部５６Ｅ）の熱圧着による
仮止めを行わせるようになっている。これにより、積層
体フィルム１Ｂの仮止めに際して、圧着力が上下方向で
等しいものとなり、従来のように上下方向のメインバキ
ュームプレートへの駆動力を調整するような繁雑な操作
が必要がなくなる。

【０１０５】又、基板６の位置が各フィルム供給部材の
目標とする近接位置と僅かにずれていたとしても、基板
６に上・下から調和した圧着力を加えることができる。
即ち、この近接動作をサーボモータで行った場合、位置
決め精度は高くなるが、基板の位置が僅かにずれた場
合、そのずれに応じて基板６の上・下に異なる圧着力を
加えてしまうことになり、そのずれを直すべく位置決め
箇所を変えるのは極めて困難である。これに対して、シ
リンダは、例えば空気等のガス体圧力で作動するため、
僅かの位置のずれが生じてもずれた位置で基板の上・下
面に対して同じ圧着力を加えてフィルム１Ｂの先端側を
仮付けすることができる。

【０１０６】又、メインバキュームプレート５６を基板
６から退避させるに際しては、前記サーボモータ８８の
クラッチは切っておき、前記エアシリンダ８４の大きな
駆動力により、迅速にメインバキュームプレート５６を
退避させることができる。このため、仮付け後、熱圧着
を開始するまでの時間を少なくすることができ、積層体
フィルム１Ｂの熱圧着作業の迅速化を図ることができ
る。

【０１０７】前記実施例のフィルム張付け装置の制御系
の信号経路を図１０に示す。図１０に示すように、この
制御系においては、各センサＳ１〜Ｓ４と共に、各シリ
ンダ前・後端の検出センサ（図示省略）やフィルム巻径
の各センサ３６Ａと３６Ｂの検出信号に従って、中央制
御ユニット１１０が各シリンダ用ソレノイド及び各モー
タの制御信号を出力するようになっている。カウンタや
タイマの機能も有している。この中央制御ユニット１１
０は、図１１に示す手順に従って前記フィルム張付装置
を制御するように構成されている。この中央制御ユニッ
ト１１０は、例えばプログラマブルコントローラやリレ
ーシーケンス回路により構成することができる。

【０１０８】次に、実施例の作用を説明する。

【０１０９】実施例に係るフィルム張付装置は、主に図
１１の手順に従って作動する。

【０１１０】先ず、積層体フィルム１Ｂの張付け開始準
備状態に手動により設定する（ステップ１）。即ち、十
分な三層積層体フィルム１が巻き回された供給ローラ２
をこのフィルム張付装置に設置する。次いで、前記三層
積層体フィルム１をガイドローラ３２からフィルム分離
部材３に通過させて、透光性樹脂フィルム１Ａ、積層体
フィルム１Ｂに分離する。フィルム分離部材３で分離さ
れた積層体フィルム１Ｂをメインバキュームプレート５
６からカッタ６２の先まで送る。この場合、カッタ６２
の回転刃６２Ａは、手動により固定刃６２Ｂと離すこと
ができ、その間に前記積層体フィルム１Ｂを通す。

【０１１１】次いで積層体フィルム１Ｂをカッタ６２で
切断する（ステップ２）。即ち、回転刃６２Ａ及び固定
刃６２Ｂを傾斜させない状態で手動により回転刃を回転
させてフィルム１Ｂを切断する。

【０１１２】次いで、メインバキュームプレート５６、
圧着ローラ２８等を原位置とする（ステップ３）。この
場合、メインバキュームプレート５６は、上昇端からあ
る程度下がり、カムフォロア９０で先端巻き付けフィル
ム部材の取付金具６０Ａを押すと共に、メインバキュー
ムプレート５６と先端巻き付けフィルム保持部材６０の
フィルム搬送面側は一致する状態とする。

【０１１３】次いで、自動運転を開始する（ステップ
４）。自動運転が開始すると、前記フィルム保持部材６
０が積層体フィルム１Ｂを吸着しながら基板搬送方向に
移動する。これにより、積層体フィルム１Ｂは、メイン
バキュームプレート５６の先端の仮付け部５６Ａに巻き
付けられる。なお、前記フィルム保持部材６０は移動部
材９２の移動により移動するため、この移動部材に取付
けられたカッタの固定刃６２Ｂ及びサポートローラ６４
が後退する。

【０１１４】一方、基板の搬入部２０においては、基板
６が搬送されてきて、幅寄せ開始位置センサＳ１で当該
基板６が検出されると幅寄せ装置４２で幅寄せされ、所
定の幅方向位置になる。

【０１１５】次いで、幅寄せされた基板６を搬送方向に
進行させ、当該基板の先端を基板先端検出センサＳ３で
検出すると、その検出信号に従って、中央制御ユニット
１１０がカウンタのカウントを始める。このカウント
は、予め設定された所定時間をカウントして、基板６の
搬送方向先端部を仮付け位置に停止させる。又、前記基
板先端検出センサＳ３の信号により、前記中央制御ユニ
ット１１０の他のカウンタがカウントを開始する。該カ
ウンタが所定時間カウントすると、前記先端巻き付けフ
ィルム保持部材６０が基板搬送方向出側に後退して、メ
インバキュームプレート５６の仮付部５６Ａに積層体フ
ィルム１Ｂを巻付ける。

【０１１６】なお、前記メインバキュームプレート５６
が近接して仮付けするまでに、基板押えローラ４６は、
基板押え部材４４の駆動により基板６方向に下降し、駆
動ローラ３８と共に基板６を挟み付ける。

【０１１７】次いで、メインバキュームプレート５６の
近接により、積層体フィルム１Ｂを基板６に仮付けする
（ステップ７）。即ち、前記他のカウンタが作動しなが
ら、上・下のメインバキュームプレート５６はラックギ
ヤ６８及びピニオンギヤ７０により同調しながらメイン
バキュームプレート駆動用サーボモータ８８の駆動によ
り、基板６の上・下面に向かって近接してくる。この場
合、基板６の上・下面表面上の例えば２cm手前の位置
で、メインバキュームプレート駆動用サーボモータ８８
の駆動を停止する。その後、メインバキュームプレート
駆動用エアシリンダ８４の駆動力で上下のメインバキュ
ームプレート５６を近接させ、仮付部５６Ａを基板６上
・下表面に接近させる。この際、図３及び図４に示すよ
うに、メインバキュームプレート幅方向（積層体フィル
ム１Ｂ幅方向に沿う）両端に設けられた一対のエアシリ
ンダ８４で仮付けの押圧力を与える。このため、基板６
の両面には、同じ力で積層体フィルム１Ｂを仮付けする
ことができる。なお、この際、前記サーボモータ８８の
駆動力は、その電磁クラッチが解放されるため、ピニオ
ンギヤ７０へは伝達されないようになっている。

【０１１８】次いで、メインバキュームプレート５６を
基板６から離す方向へ後退させ、圧着ローラ２８は、前
記メインバキュームプレート５６の仮止め部５６Ａと干
渉し合わないように近接させて、当該圧着ローラ２８で
前記仮止めされた積層体フィルム１Ｂの圧着を開始する
（ステップ８）。圧着している圧着ローラ２８の状態は
図８に詳細に示されるようになる（但し、図８では基板
６が省略されている）。

【０１１９】次いで、積層体フィルム１Ｂの圧着ローラ
２８による圧着が進行していき、基板６に張付けるべき
積層体フィルム１Ｂの後端がカッタの位置まできたと
き、メインバキュームプレート５６による積層体フィル
ム１Ｂの吸着、及びカッタ６２による当該フィルム１Ｂ
の切断を行う（ステップ９）即ち、カッタ６２の切断点
が積層体フィルム１Ｂの供給速度と応じた積層体フィル
ムを供給方向に直接に切断可能な傾斜をカッタ６２に与
えて、カッタ６２で切断を開始させる。この切断によ
り、積層体フィルム１Ｂは搬送方向に直角に切断され
る。

【０１２０】なお、切断中及び切断後、積層体フィルム
１Ｂはサポートローラ６４で誘導される。このため、圧
着ローラ２８の径が小さいものであっても、積層体フィ
ルム１Ｂは固定刃６２Ｂに摺動することなく送られる。
又、圧着中及び切断後にバキュームバー７６の吸引が開
始されており、このバキュームバー７６は、積層体フィ
ルム１Ｂを吸着しながらその外周面上を滑らせて、熱圧
着させる。熱圧着するべき積層体フィルム１Ｂの後端部
に近くなったならば、バキュームバー７６は、基板６に
接近するように圧着ローラ２８の周囲を旋回動し、熱圧
着が終了する直前まで吸着動作を行う。これにより、積
層体フィルム１Ｂに適度な張力を与え、積層体フィルム
１Ｂにしわ等が発生することを防止している（ステップ
９）。なお、前記積層体フィルム１Ｂをカッタ６２で切
断した後は、メインバキュームプレート５６及び先端巻
き付けフィルム保持部材６０は吸着動作を行い、積層体
フィルム１Ｂを吸着して保持する。

【０１２１】次いで、積層体フィルム１Ｂの熱圧着動作
を続行するか否かを判断する。続行するならば、ステッ
プ５から再び度圧着作業を続行する。又、続行しないな
らば、この作業を終了する。

【０１２２】

【発明の効果】以上説明したとおり、本発明によれば、
第１及び第２の取付部材が支持部材や、フィルム供給部
材を支持部材とは別に駆動するシリンダ等を有していな
いため、部品点数が少なく、従って、重量が軽くなり、
位置決めが容易となるため、迅速な圧着作業、更には処
理能力が拡大する。又、前記シリンダや支持部材がない
ため、構成が簡単である。

【０１２３】又、第１及び第２の取付部材に同時に駆動
力を加えるシリンダ部材を有するため、第１及び第２の
フィルム供給部材の仮止め時の力が正確に調和する。従
って、第１及び第２のフィルム供給材の駆動力を従来の
ように別個に調整する必要がないため作業の繁雑さが回
避され、作業効率が向上する等の優れた効果が得られ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、本発明の実施例に係るフィルム張付装
置の全体構成を示す直面図である。

【図２】図２は、前記フィルム張付装置の基板搬送路か
ら上側の構成を詳細に示す側面図である。

【図３】図３は、前記フィルム張付装置を基板搬送方向
から見た左側の要部正面図である。

【図４】図４は、同じく右側の要部正面図である。

【図５】図５は、前記装置を上側から見た平面図であ
る。

【図６】図６は、前記装置におけるメインバキュームプ
レート（フィルム供給部材）とその取付部材の取付け状
況及び駆動手段との機構を詳細に示す斜視図である。

【図７】図７は、前記装置において、ベースプレートが
仮止めしている状態を詳細に示す側面図である。

【図８】図８は、前記装置における圧着ロールが圧着し
ている状態を詳細に示す側面図である。

【図９】図９は、前記装置のベースプレートの変形例を
示す要部斜視図である。

【図１０】図１０は、前記装置の電気的な信号入出力の
構成を示すブロック図である。

【図１１】図１１は、前記実施例の作用を説明するため
の前記装置における圧着手順を示す流れ図である。

【図１２】図１２は、従来のフィルム張付装置の構成例
を示す側面図である。

【符号の説明】

１Ｂ…積層体、 ２…供給ローラ、 ３…分離ローラ、 ２０…搬入部、 ２２…搬出部、 ２４…積層体フィルム蓄積部、 ２６…仮付け部、 ２８…圧着ローラ、 ３０…圧着部、 ３８…駆動ローラ、 ４０…従動ローラ、 ４２…幅寄せ器、 ４４…基板押え部材（エアシリンダ）、 ４６…基板押えローラ、 ４８…ウェットローラ、 ５０…搬出部の駆動ローラ、 ５２…搬出部の従動ローラ、 ５４…テンションローラ、 ５６…メインバキュームプレート、 ６０…先端巻付フィルム保持部材、 ６２…カッタ、 ６２Ａ…回転刃、 ６２Ｂ…固定刃、 ６４…サポートローラ、 ６６…取付部、 ６８…ラックギヤ、 ７０…ピニオンギヤ、 ７４…圧着ローラ保持部材、 ７６…バキュームバー、 ７８…圧着ローラ拭取ローラ、 ８０…基板拭取ローラ、 ８２…圧着ローラ上下移動用シリンダ、 ８４…メインバキュームプレート駆動用エアシリンダ、 ８４Ａ…シリンダ管体、 ８４Ｂ…ピストンロッド、 ８６…左右同調シャフト、 ８８…メインバキュームプレート駆動用サーボモータ、 ９０…カムフォロア、 ９２…移動部材、 ９４…圧着ローラ支持部材、 ９６…左右連結部材、 ９８Ａ、９８Ｂ…ギヤ、 １００…フレーム、 １０２…圧着ローラ駆動用モータ、 Ｓ１…幅寄せ開始位置センサ、 Ｓ２…基板後端検出センサ、 Ｓ３…基板先端検出センサ、 Ｓ４…基板通過検出センサ。

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】基板を搬送させ、基板の表面及び裏面に対
   向して設けた第１及び第２のフィルム供給部材で、フィ
   ルム先端側を吸着し、且つ、フィルム張付位置に搬送さ
   れた基板の表面及び裏面の搬送方向先端部に近接して、
   当該表面及び裏面にそれぞれフィルムの先端側を仮付け
   し、仮付けされたフィルムを圧着ローラにより基板の表
   面及び裏面に圧着させることにより、基板の表面及び裏
   面のフィルム張付面に基板の長さに応じたフィルムを張
   付けるフィルム張付方法において、 フィルム張付装置の本体フレームに摺動自在に設けられ
   た、第１及び第２の取付部材に、第１及び第２のフィル
   ム供給部材を固着し、 前記第１及び第２の取付部材をラックアンドピニオン機
   構を介して駆動するモータと、第１及び第２の取付部材
   を同時に駆動させるシリンダ部材とを設け、 前記モータの駆動により、第１及び第２のフィルム供給
   部材を、基板から所定距離となる位置まで、基板方向に
   近接させ、 その後、前記シリンダの駆動により、第１及び第２の供
   給部材を前記所定距離から更に基板方向に近接させて基
   板にフィルムを仮付けし、 次いで、前記シリンダの駆動により、第１及び第２の供
   給部材を、前記仮付けした位置から離隔させることを特
   徴とするフィルム張付方法。
2. 【請求項２】基板を搬送させるための手段と、フィルム
   先端側を吸着し、且つ、フィルム張付位置に搬送された
   基板の表面及び裏面の搬送方向先端部に近接して、当該
   表面及び裏面にそれぞれフィルムの先端側を仮付けする
   ための第１及び第２のフィルム供給部材と、仮付けされ
   たフィルムを基板の表面及び裏面に圧着させるための圧
   着ローラとを有して、基板の表面及び裏面のフィルム張
   付面に基板の長さに応じたフィルムを張付けるためのフ
   ィルム張付装置において、 フィルム張付装置の本体フレームに摺動自在に支持さ
   れ、第１及び第２のフィルム供給部材をそれぞれ固着し
   て、各供給部材を基板方向に前後移動させるための第１
   及び第２取付部材と、 前記第１及び第２の取付部材に同時に駆動力を加えて、
   前記各供給部材を同時に移動させるためのシリンダ部材
   と、 第１及び第２の取付部材に取付けられた第１及び第２の
   ラックギヤ、並びに、各ラックギヤに噛み合うピニオン
   ギヤを有して前記第１及び第２の取付部材の移動を同調
   して行わせるための手段と、 前記ピニオンギヤを駆動させて前記各供給部材を移動さ
   せるためのモータと、 を備えたことを特徴とするフィルム張付装置。
3. 【請求項３】請求項２において、 前記シリンダ部材が、第１及び第２のフィルム供給部材
   の、フィルムの幅方向に沿う両側に一対設けられている
   ことを特徴とするフィルム張付装置。
4. 【請求項４】請求項２又は３のいずれかにおいて、 前記フィルム供給部材の吸着する面側にフィルムの幅方
   向に沿ってゴム部材が設けられたことを特徴とするフィ
   ルム張付装置。
5. 【請求項５】請求項２乃至４のいずれかにおいて、更
   に、 カッタ及び圧着ローラ間のフィルム供給経路上に、前記
   フィルム供給部材の吸着面上のフィルム供給経路と同一
   平面に接するように構成されたローラからなるサポート
   ローラを備えたことを特徴とするフィルム張付装置。