JPH0548300A - 基板搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 基板の厚みに関係なく、該基板の厚みの中心
部を処理装置間の中心部に自動的に位置合せを行うこと
ができる基板搬送装置を提供する。 【構成】 基板の一面を基準として基板を搬送する入口
部搬送装置により搬送されてきた基板を、基板厚みの中
心部を基準として処理する処理装置に導入するための基
板搬送装置において、前記入口部搬送装置上で、搬送中
の基板を押えるための基板押え手段と、基板を両面側か
らクランプして、基板厚みの中心部を前記処理装置の中
心部に合せるための基板位置合せ手段とを備えている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、基板搬送装置及びラミ
ネ−タ、フィルム剥離装置に関し、特に、自動的に基板
の厚みの中心部を所定の位置に合せる基板搬送装置とこ
れをラミネ−タ、フィルム剥離装置に適用して有効な技
術に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来からラミネ−タ、フィルム剥離装置
等に使用する基板搬送装置として、基板幅寄せ機構を備
えた基板搬送装置が用いられている。

【０００３】近年、基板の多層技術が進み多層基板の厚
みは、厚くなり、かつ、配線パタ−ンは細密化の傾向に
あり、特に、配線パタ−ン形成工程の一工程であるレジ
ストフィルムを搬送されてきた多層基板の両面（又は、
片面）に圧着ラミネ−トする基板搬送装置付自動フィル
ム張付装置（ラミネ−タ）が提案されている。また、基
板両面（又は、片面）に張付られたフィルムのカバ−フ
ィルムを剥す装置として自動フィルム剥離装置も提案さ
れている。

【０００４】前記自動フィルム張付装置（以下、ラミネ
−タという）や自動フィルム剥離装置は、通常、基板の
両面にレジストフィルムをラミネ−トしたり、両面のカ
バ−フィルムを剥すように構成されていて、基板が搬送
されてきた所定の位置で上下よりフィルム処理部材が同
調した動きで基板へ近づき、例えば、ラミネ−タの場合
には、フィルム張付部材（仮付部材、ラミネ−トロ−ラ
等）が、また、自動フィルム剥離装置の場合には、フィ
ルム緩め部材が上下同一動作で処理を行う。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記ラ
ミネ−タや自動フィルム剥離装置において、例えば、厚
みが１mmの基板が処理できるように、ラミネ−タや自動
フィルム剥離装置の上下フィルム処理部材の中心部に基
板の厚みの中心部が位置するように設定（基板搬送装置
の基板搬送面をラミネ−タや自動フィルム剥離装置の上
下フィルム処理部材の中心部より０.５mmだけ下の位置
に設定）した基板搬送装置で基板の厚みが１１mmの基板
を処理しようとすると、基板搬送装置で搬送されてくる
基板厚みの中心部とラミネ−タや自動フィルム剥離装置
の上下フィルム処理部材の中心部とは、５mmずれること
になり、ラミネータの圧着ロールや自動フィルム剥離装
置（ピーラーと称する）のフィルム剥離用爪（ＵＳＰ４
８６７８３６参照）や振動ペン（特開昭６３−３７３５
２（対応ＵＳＰ４７７０７３７）参照）と基板表面との
間隔に、基板の上面と下面で差が生じるため、基板の両
面への処理（フィルムのラミネ−ト又はカバ−フィルム
の剥離）動作が同じ条件で正確に行われないという問題
が生ずる。

【０００６】そこで、ラミネ−タや自動フィルム剥離装
置の上下フィルム処理部材の中心部と搬送されてくる基
板厚みの中心部を一致させるために、基板搬送装置全体
の位置（基板搬送面高さ）を変更しなければならないと
いう問題があった。

【０００７】本発明は、前記問題点を解決するためにな
されたものである。本発明の目的は、基板の厚みに関係
なく、該基板の厚みの中心部を処理装置間の中心部に自
動的に位置合せを行うことができる技術を提供すること
にある。

【０００８】本発明の他の目的は、基板搬送装置から次
工程（ラミネ−タや自動フィルム剥離装置）へ基板を搬
送する際に、基板厚さの中心部を自動的にラミネ−タや
自動フィルム剥離装置の上下フィルム処理部材の中心部
に合わせることが可能な技術を提供することにある。

【０００９】本発明の他の目的は、ラミネ−タが基板の
両面に同じ条件で正確にレジストフィルムを張付けるこ
とができる技術を提供することにある。

【００１０】本発明の他の目的は、ラミネ−タにおい
て、基板両面からフィルム張付を行う際に、フィルムの
密着を良くする空泡防止剤を基板両面に付着させること
が可能な技術を提供することにある。

【００１１】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述及び添付図面によって明らか
になるであろう。

【００１２】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明は、基板の一面を基準として基板を搬送する
入口部搬送装置により搬送されてきた基板を、基板厚み
の中心部を基準として処理する処理装置に導入するため
の基板搬送装置において、前記入口部搬送装置上で、搬
送中の基板を押えるための基板押え手段と、基板を両面
側からクランプして、基板厚みの中心部を前記処理装置
の中心部に合せるための基板位置合せ手段とを備えたこ
とを最も主要な特徴とする。

【００１３】更に、前記基板押え手段が、基板を一面側
から押えるための押えローラと、該押えローラを基板方
向に押し付けるためのシリンダを含むことを特徴とす
る。

【００１４】更に、前記押えローラが、トラッキング機
能を有するゴムローラとされていることを特徴とする。

【００１５】又、前記基板位置合せ手段が、基板を両面
側からクランプするための、少くとも一対のニップロー
ラと、該ニップローラを基板両面側から同調して基板方
向に押し付けるための同調駆動手段を含むことを特徴と
する。

【００１６】更に、前記ニップローラの少くとも一つ
が、前記基板押え手段の押えローラを兼ねていることを
特徴とする。

【００１７】更に、前記押えローラを兼ねたニップロー
ラが、前記処理装置側に配設されていることを特徴とす
る。

【００１８】又、前記押えローラを兼ねたニップローラ
が、搬送中の基板を押えるために、まず基板方向に押し
付けられ、次いで、該ニップローラの押し付け力をゆる
めつつ、該ニップローラを含む全てのニップローラが、
基板厚みの中心部を前記処理装置の中心部に合せるため
に、基板両面側から同調して基板方向に押し付けられる
ことを特徴とする。

【００１９】又、前記押えローラを兼ねたニップローラ
を、位置合せ時に基板両面で同調して基板方向に押し付
けるためローラ支持部材が、押えローラとマて作用する
時に該ニップローラの基板方向への移動を許容するよう
にされていることを特徴とする。

【００２０】又、前記同調駆動手段が、ラック式パラレ
ルタイプのエアハンドであることを特徴とする。

【００２１】又、前記ローラが、歯付ベルトにより回転
駆動されていることを特徴とする。

【００２２】又、前記処理装置の中心位置が、前記入口
側搬送装置上の最も厚い基板の中心位置よりも、該入口
側搬送装置から離れる方向にあることを特徴とする。

【００２３】更に、前記基板押え手段の上流側に、基板
を幅寄せして、基板の幅方向位置を、基板押えに適した
所定位置とするための基板幅寄せ手段を備えたことを特
徴とする。

【００２４】又、前記処理装置が、基板の両面を同時に
処理するものであることを特徴とする。

【００２５】又、前記処理装置が、基板の表面上にフィ
ルムを圧着する圧着ローラを含むラミネータであること
を特徴とする。

【００２６】更に、前記フィルムを圧着する前に、基板
の表面に空泡防止剤を塗布する空泡防止剤付着手段が設
けられていることを特徴とする。

【００２７】又、前記処理装置が、フィルムが圧着され
た基板からフィルムを剥離するためのフィルム剥離機構
を含むピーラーであることを特徴とする。

【００２８】

【作用】本発明によれば、基板の一面を基準として基板
を搬送する入口部搬送装置により搬送されてきた基板
を、基板厚みの中心部を基準として処理する処理装置に
導入するための基板搬送装置において、前記入口部搬送
装置上で、搬送中の基板を押えるための基板押え手段
と、基板を両面側からクランプして、基板厚みの中心部
を前記処理装置の中心部に合せるための基板位置合せ手
段とを備えたので、基板の厚みに関係なく、該基板の厚
みの中心部を処理装置の中心部に自動的に位置合せする
ことができる。

【００２９】特に、前記基板押え手段が、基板を一面側
から押えるための押えローラと、該押えローラを基板方
向に押し付けるためのシリンダを含むようにした場合に
は、基板押え手段の構成が簡略である。

【００３０】更に、前記押えローラが、トラッキング機
能を有するゴムローラとされている場合には、別体のト
ラッキング用ゴムローラが不要である。

【００３１】又、前記基板位置合せ手段が、基板を両面
側からクランプするための、少くとも一対のニップロー
ラと、該ニップローラを基板両面側から同調して基板方
向に押し付けるための同調駆動手段を含むようにした場
合には、基板位置合せ手段の構成が簡略である。

【００３２】更に、前記ニップローラの少くとも一つ
が、前記基板押え手段の押えローラを兼ねるようにした
場合には、別体の押えローラが不要である。

【００３３】更に、前記押えローラを兼ねたニップロー
ラが、前記処理装置側に配設されている場合には、小さ
い基板であっても、最後迄基板を押えて、（必要なら
ば）トラッキングすることができる。

【００３４】又、前記押えローラを兼ねたニップローラ
が、搬送中の基板を押えるために、まず基板方向に押し
付けられ、次いで、該ニップローラの押し付け力をゆる
めつつ、該ニップローラを含む全てのニップローラが、
基板厚みの中心部を前記処理装置の中心部に合せるため
に、基板両面側から同調して基板方向に押し付けられる
ようにした場合には、簡単な動作で確実に基板押えと位
置合せを行うことができる。

【００３５】又、前記押えローラを兼ねたニップローラ
を、位置合せ時に基板両面で同調して基板方向に押し付
けるためローラ支持部材が、押えローラとして作用する
時に該ニップローラの基板方向への移動を許容するよう
にされている場合には、簡単な構成で基板押えと位置合
せの干渉を防ぐことができる。

【００３６】又、前記同調駆動手段が、ラック式パラレ
ルタイプのエアハンドである場合には、同調駆動を許容
に行うことができる。

【００３７】又、前記ローラが、歯付ベルトにより回転
駆動されている場合には、基板押えや位置合せの際にロ
ーラ位置が変化しても、確実にローラを回転駆動するこ
とができる。

【００３８】又、前記処理装置の中心位置が、前記入口
側搬送装置上の最も厚い基板の中心位置よりも、該入口
側搬送装置から離れる方向にある場合には、基板を入口
側搬送装置の搬送ラインに喰い込ませる必要がなく、制
御が簡単である。

【００３９】又、前記基板押え手段の上流側に、基板を
幅寄せして、基板の幅方向位置を、基板押えに適した所
定位置とするための基板幅寄せ手段を備えた場合には、
基板の幅寄せを容易に行うことができる。これに対して
基板を押えた後では、幅寄せ作業が複雑となる。

【００４０】又、前記処理装置が、基板の両面を同時に
処理するものである場合には、基板の両面に対する作業
が同時に行われ、作業能率が向上する。

【００４１】又、前記処理装置が、基板の表面上にフィ
ルムを圧着する圧着ローラを含むラミネータである場合
には、基板厚みの中心部を、ラミネータの上下圧着ロー
ラ間の中心部と一致させて、ラミネータにより、基板の
両面に同じ条件で正確にフィルムを張付けることができ
る。

【００４２】更に、前記フィルムを圧着する前に、基板
の表面に空泡防止剤を塗布する空泡防止剤付着手段が設
けられている場合には、フィルムのしわや空泡を生じる
ことなく、基板にフィルムを張付けることができる。な
お、前記空泡防止剤付着手段の動作をオンオフできるよ
うにして、該空泡防止剤付着手段の消耗を防ぐこともで
きる。

【００４３】又、前記処理装置が、フィルムが圧着され
た基板からフィルムを剥離するためのフィルム剥離機構
を含むピーラーである場合には、フィルムが圧着された
基板の厚み中心部を、ピーラーの上下フィルム剥離用爪
や上下振動ペン間の中心部と一致させて、ピーラーによ
り、基板の両面から同じ条件で確実にフィルムを剥離す
ることができる。

【００４４】

【実施例】以下、本発明をラミネ−タに適用した一実施
例について、図面を用いて具体的に説明する。図１は、
本発明をラミネ−タに適用した一実施例の幅寄せ機構を
有する入口部搬送装置の構成を示す斜視図、図２は、本
発明の一実施例のラミネ−タの側面から見た装置全体の
概略構成を説明するための説明図、図３は、図１の平面
図、図４は、図３の矢印Ｒ方向から見た側面図、図５
は、図３の矢印Ｆ方向から見た図、図６は、図４のＸ−
Ｘ線の矢印方向へ見た図、図７は、図５のＹ−Ｙ線の矢
印方向へ見た図、図８は、本実施例の基板搬送装置の動
力伝達を説明する概略図、図９は、同じく分解斜視図、
図１０は、本実施例のエアハンドの詳細構成を示す断面
図である。

【００４５】図２に示すように、透光性樹脂層及び透光
性樹脂フィルムの３層構造からなる積層体フィルム１を
供給ロ−ラ２に連続的に巻回している。供給ロ−ラ２の
積層体フィルム１はフィルム分離部材３で透光性樹脂フ
ィルム（保護膜）１Ａ、一面（接着面）が露出した感光
性樹脂層及び透光性樹脂フィルムからなる積層体フィル
ム（以下、単に、フィルムという）１Ｂの夫々に分離さ
れる。

【００４６】前記分離されたうちの一方の透光性樹脂フ
ィルム１Ａは巻取ロ−ラ４により巻取られるように構成
されている。前記供給ロ−ラ２、巻取ロ−ラ４のそれぞ
れは基板搬送径路Ｉ−Ｉを中心に上下に設けられてい
る。

【００４７】前記分離されたうちの他方のフィルム１Ｂ
の供給方向の先端側は、前記図２に示すように、テンシ
ョンロ−ラ５を経てメインバキュ−ムプレ−ト（フィル
ム供給部材）６に供給される。

【００４８】６Ｄはメインバキュ−ムプレ−ト６の先端
部材である。メインバキュ−ムプレ−ト６の近傍にはフ
ィルム１Ｂの静電除去装置１８が設けられている。メイ
ンバキュ−ムプレ−ト６は、フィルム張付け位置に近接
しかつ離反する（上下方向に移動する）ように構成され
ている。つまり、メインバキュ−ムプレ−ト６は、その
メインバキュ−ムプレ−ト用支持板（フィルム供給部材
用支持板）８に取付けられたガイドレ−ル７に摺動自在
に取付けられている。メインバキュ−ムプレ−ト用支持
板８は、装置本体（フィルム張付け装置の筐体）に取付
けられている取付枠にラックギヤ（図示していない）と
ピニオンギヤ１０を介して上下移動可能に設けられてい
る。

【００４９】前記ピニオンギヤ１０は、駆動モ−タ１１
に連結される上下メインバキュ−ムプレ−ト用支持板連
結棒３２に設けられたラックギヤ９と噛合されている。

【００５０】また、前記メインバキュ−ムプレ−ト用支
持板８には、先端巻付用フィルム保持部材１２が前後ガ
イドレ−ル（図示していない）に摺動自在に設けられて
いる。前記先端巻付用フィルム保持部材１２には、連結
切込み部材が設けられ、この連結切込み部材に連結棒が
嵌め込められている。この連結棒１３は固定刃支持部材
１４に設けられている。この固定刃支持部材１４には固
定刃１５が支持されている。

【００５１】また、回転刃支持部材１６には回転刃１７
が回転自在に設けられている。回転刃１７には刃先が所
定の傾斜角度で斜めに設けられている。また、回転刃支
持部材１６の上下にはそれぞれフィルム１Ｂへ向けてエ
ア−を吹き付けるための空気吹付管１９，２０が設けら
れている。

【００５２】前記図２において、圧着ロ−ラ支持部材４
０の中央部は、装置本体（フィルム張付け装置の筐体）
左右両端の基板搬送路Ｉ−Ｉを中心に上下に取付けられ
ている。その圧着ロ−ラ支持部材４０の一端には圧着ロ
−ラ２１の軸が取付けられている。他端には、圧着ロ−
ラ上下移動用エア−シリンダ−４１が上下の圧着ロ−ラ
支持部材４０を連結するよう取付けられている。上下の
圧着ロ−ラ２１の近傍には、それぞれ圧着ロ−ラ拭取ロ
−ラ２７が圧着ロ−ラ拭取ロ−ラ用エア−シリンダ−２
８に支持されている。

【００５３】また、基板搬送路Ｉ−Ｉの近傍には、基板
拭取ロ−ラ３０が基板拭取ロ−ラ連結保持部材２９に上
下が連動するように支持され、下の基板拭取ロ−ラ３０
には、基板拭取ロ−ラ用エア−シリンダ−３１が取付け
られている。さらに、進行方向の後方には、基板押え部
材（エア−シリンダ−）２４Ｃが設けられている。

【００５４】装置本体（フィルム張付け装置の筐体）の
前方部には、入口部搬送装置があり、該入口部搬送装置
には、複数の駆動ロ−ラ（搬送ロ−ラ）２３Ａが設けら
れ、入口部搬送装置の基板進行方向の先端部には、基板
押え部材（エア−シリンダ−）２４Ａが、さらに先端に
はウェットロ−ラ用押え部材（エア−シリンダ−）２４
Ｂが設けられている。２２はプリント配線板用の基板、
２３Ｂは縦動ロ−ラである。

【００５５】図１及び図３から図７に示すように、搬送
装置本体フレ−ム５０は、搬送装置脚部５１に支持され
ていて、搬送装置脚部５１にはキャスタ−５２が取付ら
れ、進行方向に対し左右両側にそれぞれ補助キャスタ−
保持部材１１９Ｒ，１１９Ｌが固定されている。補助キ
ャスタ−保持部材１１９Ｒ，１１９Ｌには、前後方向に
移動可能に補助キャスタ−取付部材１２１Ｒ，１２１Ｌ
が設けられ、クランクレバ−１２０により任意の位置で
固定されるように設定されている。さらに、補助キャス
タ−取付部材１２１Ｒ，１２１Ｌには、キャスタ−５２
が取付けられている。

【００５６】左右の搬送装置本体フレ−ム５０には、相
対する位置に貫通孔があり、その貫通孔にはベアリング
を介して駆動ロ−ラ（搬送ロ−ラ）２３Ａの軸が回転自
在に取付けられていて、駆動ロ−ラ（搬送ロ−ラ）２３
Ａの軸の両端には、歯付プ−リ１１３が取付けられてい
る。

【００５７】図３に示すように、歯付ベルト１１４によ
り駆動ロ−ラ（搬送ロ−ラ）２３Ａの軸が左右交互に連
結されている。また、図７に示すように、駆動ロ−ラ
（搬送ロ−ラ）２３Ａの進行方向左端の軸に固定された
歯付プ−リ８２（図８の８２Ａ）は、駆動モ−タ７８の
軸に固定されて歯付プ−リ８０及びロータリーエンコー
ダ７９の軸に固定された歯付プーリ８１と歯付ベルト８
３によってつながれている。駆動モ−タ７８とロ−タリ
−エンコ−ダ７９は、駆動モ−タ取付部材７７に取付ら
れ、駆動モ−タ取付部材７７は搬送装置本体フレ−ム５
０に固定されている。

【００５８】図６に示すように、前記駆動ロ−ラ（搬送
ロ−ラ）２３Ａの軸の進行方向最左端には、歯付プ−リ
８２（図８の８２Ｂ）が固定されていて、その歯付プ−
リ８２（図８の８２Ｂ）とゴムロ−ラ１１８ＵＮの軸の
進行方向左端に固定されている歯付プ−リ１２３Ｌは、
歯付ベルト８５でつなげられている。

【００５９】図３及び図７に示すように、前記歯付プ−
リ８２（図８の８２Ａ，８２Ｂ）の取付られた駆動ロ−
ラ（搬送ロ−ラ）２３Ａの他端（進行方向右端）の軸に
は、ギヤ７５が取付けられている。ギヤ７５の上部に
は、ギヤ７５に噛合うようにギヤ７６が設けられ、ギヤ
７６はシャフトに取付けられ、そのシャフトには歯付プ
−リ１２２が取付けられている。前記シャフトは、ギヤ
保持部材７４にベアリングを介して回転自在に取付けら
れている。

【００６０】図１、図３、図５、図６、図７及び図９に
示すように、左右の搬送装置本体フレ−ム５０にはそれ
ぞれクランプ部保持部材５７（５７Ｒ，５７Ｌ）の一端
が取付けられている。クランプ部保持部材５７Ｒ，５７
Ｌの他端には、それぞれエア−ハンド５８Ｒ，５８Ｌが
固定されている。エア−ハンド５８Ｒ，５８Ｌには、そ
れぞれクランプ保持部材５９Ｒ，５９Ｌが取付けられて
いて、そのクランプ保持部材５９Ｒ，５９Ｌの一端に
は、エア−ハンド６０Ｒ，６０Ｌが固定されている。

【００６１】前記エアーハンド５８Ｒ，５８Ｌ，６０
Ｒ，６０Ｌは、いずれもラック式パラレルタイプとさ
れ、図１０に詳細に示す如く、本体２０１と、該本体２
０１内を上下動可能な一対のピストンロッド２０２，２
０３と、前記本体２０１内の中央部に収容され、該ピス
トンロッド２０２，２０３の内側側面に形成されたラッ
ク２０２Ａ，２０３Ａと同時に噛合するピニオン２０４
と、一方（図では右側）のピストンロッド２０２の下端
にボルト２０５で固定された下部ハンド２０６と、他方
（図では右側）のピストンロッド２０３の上端にボルト
２０７で固定された上部ハンド２０８と、ロッドカバー
２０９，２１０によって主に構成されている。図におい
て、２１９は軸受、２２０はパッキン、２２１はＯ−リ
ングである。

【００６２】このエアーハンドは、左側のシリンダ２３
０にエアーを送入した場合には、ピニオン２０４の作用
でピストンロッド２０２の上部とピストンロッド２０３
の下部が同調して本体２０１内に引込まれ、これに伴っ
て、下部ハンド２０６と上部ハンド２０８が互いに離れ
る方向に駆動される。一方、右側のシリンダ２３１にエ
アを送入した場合には、逆にピストンロッド２０２の上
部とピストンロッド２０６と上部ハンド２０８が互いに
接近する方向に駆動される。

【００６３】前記エア−ハンド５８Ｒ，５８Ｌの上部ハ
ンド部分には、エア−シリンダ−保持部材６１の両端が
それぞれ固定されていて、前記エア−ハンド５８Ｒ，５
８Ｌの下部ハンド部分には、ロ−ラ保持部材６２の両端
が固定されている。エア−シリンダ−保持部材６１の上
面部の左右には、基板押え部材（エア−シリンダ−）２
４Ａが取付けられていて、基板押え部材（エア−シリン
ダ−）２４Ａのロッドにはロ−ラ支持部材７０が取付け
られている。また、中央部近傍には、センサ−取付板７
１が固定され、さらにセンサ−取付板７１には基板先端
検知センサ−７２が取付けられている。左右のロ−ラ支
持部材７０にはベアリングを介して、ゴムロ−ラ１１８
ＵＰの軸が回転自在に取付けられている。エア−シリン
ダ−保持部材６１の下面両端部は、ロ−ラ支持部材６３
ＵＰが固定されていて、そのロ−ラ支持部材６３ＵＰの
側面には、貫通孔が設けられている。その貫通孔には、
ベアリングを介し縦動ロ−ラ２３Ｂの軸が回転自在に取
付けられている。

【００６４】また、押えローラを兼ねたゴムローラ１１
８ＵＰを、位置合せ時に基板両面で同調して基板方向に
押し付けるための前記ローラ支持部材６３ＵＰの側面に
は、押えローラとして作用する時にはゴムローラ１１８
ＵＰの基板方向への移動を許容するためのＵ字形溝が設
けられ、そのＵ字形溝に案内されるようにゴムロ−ラ１
１８ＵＰの軸が設けられている。前記ロ−ラ保持部材６
２の上面両端部には、ロ−ラ支持部材６３ＵＮが固定さ
れていて、このロ−ラ支持部材６３ＵＮの側面には、２
個の貫通孔が設けられている。その貫通孔には、それぞ
れベアリングを介し駆動ロ−ラ２３Ａ及びゴムロ−ラ１
１８ＵＮの軸が回転自在に取付けられている。

【００６５】前記エア−ハンド６０（６０Ｒ，６０Ｌ）
の上部ハンド部にはそれぞれエア−シリンダ−取付部材
６４Ｒ，６４Ｌが取付けられ、エア−シリンダ−取付部
材６４Ｒ，６４Ｌの上面には、ウェット用押え部材（エ
ア−シリンダ−）２４Ｂが固定されていて、下面には、
それぞれＵ字形溝が設けられたウェットロ−ラ軸案内部
材６９Ｒ，６９Ｌが取付けられている。ウェット用押え
部材（エア−シリンダ−）２４Ｂのロッドには、それぞ
れウェットロ−ラ支持部材６６ＵＰが固定されていて、
そのウェットロ−ラ支持部材６６ＵＰには、ウェットロ
−ラ２６ＵＰの軸が回転自在に設けられている。ウェッ
トロ−ラ２６ＵＰの進行方向右の軸には、歯付プ−リ１
２３Ｒが取付けられていて、図３に示すように、縦動ロ
−ラ２３Ｂの軸に取付けられた歯付プ−リ１１３と歯付
ベルト８５Ｒでつながれている。

【００６６】エア−ハンド６０（６０Ｒ，６０Ｌ）の下
部ハンド部にはそれぞれウェットロ−ラ保持部材６５
Ｒ，６５Ｌが取付けられていて、そのウェットロ−ラ保
持部材６５Ｒ，６５Ｌの上面には、ウェットロ−ラ２６
ＵＮの軸が回転自在に設けられたウェットローラ支持部
材６６ＵＮが固定されている。前記ウェットロ−ラ保持
部材６５Ｒ，６５Ｌには、ウェット用受皿６７の両端が
固定されたウェット用受皿取付板６８が取付けられてい
る。ウェット用受皿６７の中央部近傍には基板先端検知
センサ−反射部材７３が取付けられている。ウェットロ
−ラ２６ＵＮの進行方向左の軸には、歯付プ−リ１２３
Ｌが取付けられていて、駆動ロ−ラ２３Ａの軸に取付け
られた歯付プ−リ１１３と歯付ベルト８５Ｌでつながれ
ている。

【００６７】左右の搬送装置本体フレ−ム５０のクラン
プ部保持部材５７Ｒ，５７Ｌの近傍の上面には、反射部
材取付板９０の両端が固定されている。その反射部材取
付板９０の上面中央には、基板進行方向右側から基板幅
寄せ開始センサー反射部材９１Ｒ，基板後端検知センサ
−反射部材９２，基板幅寄せ開始センサ−反射部材９１
Ｌが取付けられている。また、反射部材取付板９０の右
端には、幅寄せポ−ルに取付けられた幅寄せセンタ−表
示板９３の移動を表示するための目盛９３Ａが設けられ
ている。

【００６８】図５に示すように、搬送装置本体フレ−ム
５０の駆動モ−タ７８（図１）の近傍には、保持部材取
付板９８の両端が固定されていて、その保持部材取付板
９８の中央には、センサ−保持部材８８及び８９が取付
けられ、それぞれには、幅寄せ開始センサ−８６（８６
Ｒ，８６Ｌ）及び基板後端検知センサ−８７が設けられ
ている。

【００６９】図１，図３，図４及び図５に示すように、
左右のラミネ−タ本体フレ−ム５６（図３）には、それ
ぞれスライドベ−ス５４Ｒ，５４Ｌが固定されている。
そのスライドベ−ス５４Ｒ，５４Ｌには、複数のカムフ
ォロア５５が設けられている。また、位置決め部材９７
Ｒ，９７Ｌが固定されている。さらに、スライドベ−ス
５４Ｒ上面には、搬送装置位置決めセンサ−９４が取付
けられている。

【００７０】基板進行方向の右前方の搬送装置本体フレ
−ム５０下部には、搬送装置位置決めセンサ−９４用の
検出板９５が設けられている。搬送装置脚部５１には、
ガイド板５３が取付けられていて、そのガイド板５３の
下面両端には、フック９６Ｒ，９６Ｌが設けられてい
る。

【００７１】図１に示すように、搬送装置本体フレ−ム
５０の中央の駆動ロ−ラ２３Ａの下部には、２つの貫通
孔があり、その貫通孔にはシャフト１０１が摺動可能に
設けられている。そのシャフト１０１の両端にはシャフ
ト保持部材１００Ｒ（右側）、（左側の１００Ｌは図示
していない）が固定されている。シャフト保持部材１０
０Ｒには、幅寄せ駆動部保持部材１０９が固定されてい
て、その幅寄せ駆動部保持部材１０９の基板進行方向左
側には、歯付プ−リ１０７Ｌが取付けられた幅寄せ駆動
モ−タ１０８が設けられている。前記幅寄せ駆動部保持
部材１０９の基板進行方向右側には、歯付プ−リ（図８
では１０７Ｒ）が回転自在に取付けられていて、前記歯
付プ−リ１０７Ｌと歯付ベルト１０６が掛けられてい
る。

【００７２】また、前記シャフト１０１には、リニアブ
ッシュ１０２Ｌ（左側），（右側は図示していない）が
摺動自在に取付けられ、それぞれには、固定部材１０５
（左側），（右側は図示していない）の一端が設けられ
ている。固定部材１０５の他端は、前記歯付ベルト１０
６の上側に取付けられている。また、右側の図示してい
ない固定部材の他端は、前記歯付ベルト１０６の下側に
取付けられている。

【００７３】前記幅寄せ駆動部保持部材１０９の中央に
は、センタリングブロック１２４が固定され、そのセン
タリングブロック１２４には、貫通ねじ孔があり貫通ね
じ孔には、センタリングスクリュ−１１２がねじ込まれ
ている。センタリングスクリュ−１１２の両端には、そ
れぞれカップリング１１１Ｒ，１１１Ｌを介して、連結
シャフト１１０Ｒ，１１０Ｌの一端が取付けられてい
る。連結シャフト１１０Ｒ，１１０Ｌの他端には、幅寄
せセンタ−位置あわせハンドル９９Ｒ，（左側は図示し
ていない）が取付けられている。また、連結シャフト１
１０Ｒ，１１０Ｌの幅寄せセンタ−位置あわせハンドル
９９Ｒ，（左側は図示していない）の近傍が保持部材
（図示していない）で搬送装置本体フレ−ム５０に固定
されている。

【００７４】前記リニアブッシュ１０２Ｌ（左側）の上
面には、幅寄せポ−ル１０４Ｌ（左側）(右側の１０４
Ｒは図示していない）が取付けられている幅寄せポ−ル
保持部材１０３Ｌが固定されている。右側も同様な構造
になっている。

【００７５】次に、本実施例の基板搬送装置の動作を図
８を用いて説明する。ラミネ−タを自動運転させると、
駆動モ−タ７８が左側から見て反時計回りに回転し、歯
付ベルト８３を介してロ−タリ−エンコ−ダ−７９の軸
の歯付プ−リ８１に動力を伝え、さらに、駆動ロ−ラ２
３Ａ軸の歯付プ−リ８２Ａにも動力を伝える。しかも、
該駆動ロ−ラ２３Ａが回転することで歯付プ−リ、歯付
ベルトと順次動力が伝えられ全ての駆動ロ−ラ２３Ａが
回転する。また、同様にゴムロ−ラ１１８ＵＮ，ウェッ
トロ−ラ２６ＵＮに動力が伝わる。

【００７６】前記歯付プ−リ８２Ａの固定された駆動ロ
−ラ２３Ａの右端のギヤ７５がギヤ７６に噛み合ってい
るので、ギヤ７６と同軸上に固定された歯付プ−リ１２
２に動力が伝わり、歯付プ−リと歯付ベルトでつながれ
た縦動ロ−ラ２３Ｂ，ゴムロ−ラ１１８ＵＰ，ウェット
ロ−ラ２６ＵＰが回転することになる。

【００７７】基板搬送装置に前工程から基板２２が投入
され、この基板２２は駆動ロ−ラ２３Ａ上を搬送され、
幅寄せ開始センサ−８６Ｒ，８６Ｌのどちらかの幅寄せ
開始センサ−が基板を検知すると、その検知信号により
幅寄せ駆動モ−タ１０８が基板進行方向から見て時計回
りに回転し、動力は歯付プ−リ１０７，歯付ベルト１０
６に伝わり幅寄せポ−ル保持部材１０３に固定された幅
寄せポ−ル１０４が左右から搬送されている基板２２を
幅寄せし、センタリングを行なう。

【００７８】前記幅寄せ開始センサ−８６の基板２２を
検知した信号で第１のカウンタ−（図示していない）が
ロ−タリ−エンコ−ダ−７９からのパルス信号をカウン
トし始める。該第１のカウンタ−が設定値になった時、
基板押え部材（エア−シリンダ−）２４Ａ，ウェットロ
−ラ用押え部材（エア−シリンダ−）２４Ｂに圧縮空気
が送られて作動しゴムロ−ラ１１８ＵＰ，ウェットロ−
ラ２６ＵＰが幅寄せされた状態で搬送されている基板２
２を押える。

【００７９】この時、下側のゴムローラ１１８ＵＮ及び
ウェットローラ２６ＵＮの上下方向位置は、入口側搬送
装置の駆動ローラ２３Ａと同じレベルに固定されてい
る。これは、圧着前の仮付け時の基板位置決めを容易と
するためである。

【００８０】基板２２の先端が基板先端検知センサ−７
２に検知されると、その検知した信号で第２のカウンタ
−（図示していない）がロ−タリ−エンコ−ダ−７９か
らのパルス信号をカウントし始める。該第２のカウンタ
−が設定値に達した時、駆動モ−タ７８が停止し、基板
２２の搬送も停止する。さらに、前記第２のカウンタ−
が設定値に達した時、図２に示すラミネ−タ本体の上下
のメインバキュ−ムプレ−ト６が基板２２に接近し始め
フィルムを基板２２に圧着仮付けを行う。そのフィルム
仮付動作が始まると第１のタイマ（図示していない）が
働き、この第１のタイマの設定値に達した時、前記上下
のメインバキュ−ムプレ−ト６が基板２２から離反す
る。その離反信号により、エア−ハンド５８，６０が作
動し、同時に基板押え部材（エア−シリンダ−）２４Ａ
及びウェットロ−ラ押え部材（エア−シリンダ−）２４
Ｂの圧縮空気が解放される（基板を押える動作をやめ
る）。これは、次の工程におけるエアーハンドによる位
置合せ（クランプ）を容易とするためである。

【００８１】図８に示すように、エア−ハンド５８，６
０が作動することにより、上下それぞれのゴムロ−ラ１
１８ＵＰ，縦動ロ−ラ２３Ｂとゴムロ−ラ１１８ＵＮ，
駆動ロ−ラ２３Ａ及びウェットロ−ラ２６ＵＰとウェッ
トロ−ラ２６ＵＮが基板２２をクランプする。クランプ
動作により搬送面の基板２２の中心は、クランプ中心に
移動し、しかもクランプ中心は、基板の厚みに関係なく
一定位置に位置することになる。前記クランプ中心と上
下圧着ロ−ラ２１のクランプ中心を一致するように入口
部基板搬送装置とラミネ−タを設置することで基板の厚
みに関係なく基板の厚みの中心は、自動的に所定の位置
（高さ）に位置合わせが行なわれる。また、上下のウェ
ットロ−ラ２６ＵＰ，２６ＵＮのクランプ動作は空泡防
止剤を使用しない時、動作しないように制御されウェッ
トロ−ラが基板による摩耗が低減される。

【００８２】前述の入口部搬送装置のクランプ動作は、
上下のメインバキュ−ムプレ−ト６がフィルムの仮付け
動作を行なう前に行なうように制御してもよい。

【００８３】エア−ハンド５８Ｒ，５８Ｌのクランプ動
作は、基板後端検知センサ−８７が基板２２の後端を検
知した信号により第２のタイマ（図示していない）が働
き、その第２のタイマが設定値に達したとき、解除され
クランプ前の原点位置に戻る。

【００８４】また、エア−ハンド６０Ｒ，６０Ｌのクラ
ンプ動作は、前記基板先端検知センサ−７２が基板２２
の通過（基板後端）を検知した信号により解除されクラ
ンプ前の原点位置に戻る。

【００８５】次に、本願発明を特開昭６３−３７３５２
（対応ＵＳＰ４７７０７３７）で提案したピーラーに適
用した実施例について、図面を用いて簡単に説明する。

【００８６】図１１は、本発明をピーラーに適用した実
施例の概略構成を説明するための説明図、図１２は、前
記ピーラーによってフィルムがはがされる前のプリント
配線用基板を示す断面図である。

【００８７】本実施例のピーラーにおけるプリント配線
用基板の搬送機構は、図１１に示すように、主として、
プリント配線用基板３０１を搬送する搬送用駆動ローラ
３０２で構成されている。

【００８８】この搬送機構における搬送経路Ａ−Ａに
は、振動ペン型のフィルム浮上装置３０３、流体吹付装
置３０４、フィルムの剥離を補助するための剥離角度設
定板３０５及びフィルム搬出装置３０６が設けられてい
る。

【００８９】前記プリント配線用基板３０１は、図１２
で示すように、絶縁性基板３０１Ａの両面（又は片面）
に銅等の導電層３０１Ｂが形成されたものである。この
プリント配線用基板３０１の導電層３０１Ｂ上には、感
光性樹脂層３０１Ｃと透光性樹脂フィルム（保護膜）３
０１Ｄとからなる積層体が熱圧着ラミネートされてい
る。感光性樹脂層３０１Ｃは、所定の配線パターンフィ
ルムが重ねられ、露光された後の状態にある。プリント
配線用基板３０１は、図１１に示すように、搬送経路Ａ
−Ａを矢印Ａ方向（基板搬送方向）に搬送用駆動ローラ
３０２で搬送されるように構成されている。

【００９０】本発明に係る基板押え・位置合わせ装置３
１０は、入口側の搬送用駆動ローラ３０２と、処理装置
の一部である剥離角度設定板３０５及びフィルム搬出装
置３０６の間に設けられている。

【００９１】図１１において、３０２Ａは、ピンチロー
ラ、３０７Ａ、３０７Ｂは、それぞれ矢印Ｍ方向、Ｏ方
向に排出されるフィルムを収容するための剥離フィルム
収納容器である。

【００９２】ピーラーの他の構成及び作用は、前記特開
昭６３−３７３５２（対応ＵＳＰ４７７０７３７）に詳
細に開示されているので、説明は省略する。

【００９３】以上の説明からわかるように、前記実施例
によれば、（１）基板の搬送方向の先端を検知し、この
基板先端検知信号に基づいて基板の巾寄せを行い、該基
板の巾寄せが終了した後、基板を押えて搬送方向に一定
距離だけ移動させ、基板の厚みの中心部を処理装置間の
中心部に自動的に上下に移動させることにより、基板の
厚みに関係なく、該基板の厚みの中心部を処理装置間の
中心部に自動的に位置合せを行うことができる。

【００９４】（２）ラミネータにおいては、前記基板を
押えて搬送方向に一定距離だけ移動させる過程におい
て、フィルムを仮付けし、基板の厚みの中心部を処理装
置間の中心部に自動的に上下に移動させ、基板を搬送方
向に移動させながらフィルムを基板に順次張付けるの
で、フィルムのしわや空泡を生じることなく基板にフィ
ルムを張付けることができる。

【００９５】（３）ピーラーにおいては、前記基板を押
えて搬送方向に一定距離だけ移動させて、基板の厚みの
中心部を処理装置間の中心部に自動的に上下に移動させ
たのち、基板を搬送方向に移動させながらフィルムを基
板から順次剥離するので、確実にフィルムを剥離するこ
とができる。

【００９６】（４）前記基板の表裏両面にフィルムを張
付け又は基板の表裏両面からフィルムを剥離するので、
作業効率を向上することができる。

【００９７】（５）基板を巾寄せしながら所定位置まで
ロ−ラ−で搬送する基板搬送装置において、前記基板の
巾寄せが終了した後、基板を押える回転可能な基板押え
手段と、該基板押え手段により基板を押えた状態で基板
の厚みの中心部を処理装置間の中心部に自動的に位置を
合せる基板位置合せ手段を備えたので、基板の厚みに関
係なく、該基板の厚みの中心部を処理装置間の中心部に
自動的に位置合せを行うことができる。

【００９８】（６）前記基板位置合せ手段は、基板の厚
みの中心部を処理装置間の中心部に上下に移動させると
共に基板を表裏両面からそれぞれ挟持する基板挟持手段
を備えたので、基板厚の中心をラミネ−タの上下フィル
ム処理機構の中心と一致させ、ラミネ−タが基板の両面
に同じ条件で正確にレジストフィルムを張付けることが
できる。

【００９９】（７）空泡防止剤を基板の両面に付着させ
るウェットロ−ラ部の機構も自動基板厚中心位置合わせ
機構と同様のクランプ動作を行うが、空泡防止剤を付着
させない工程が選択された時は、ウェットロ−ラ部のク
ランプ動作は行わず、ウェットロ−ラ（スポンジ状のロ
−ラ）自体が消耗することを防ぐことができる。

【０１００】以上、本発明を実施例にもとづき具体的に
説明したが、本発明は、前記実施例に限定されるもので
はなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々変更可
能であることは言うまでもない。

【０１０１】

【発明の効果】以上、説明したように、本発明によれ
ば、（１）基板の厚みに関係なく、該基板の厚みの中心
部を処理装置間の中心部に自動的に位置合せを行うこと
ができる。（２）ラミネータにおいては、フィルムのし
わや空泡を生じることなく基板にフィルムを張付けるこ
とができる。（３）ピーラーにおいては、確実にフィル
ムを剥離することができる。（４）作業効率を向上する
ことができる。（５）基板厚の中心をラミネ−タの上下
フィルム処理機構の中心と一致させ、ラミネ−タが基板
の両面に同じ条件で正確にレジストフィルムを張付ける
ことができる。（６）空泡防止剤を付着させない工程が
選択された時は、ウェットロ−ラ部のクランプ動作は行
わず、ウェットロ−ラ（スポンジ状のロ−ラ）自体が消
耗することを防ぐことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明をラミネ−タに適用した一実施例の巾
寄せ機構を有する入口部搬送装置の構成を示す斜視図、

【図２】 本発明の一実施例のラミネ−タの側面から見
た装置全体の概略構成を説明するための説明図、

【図３】 第１図の平面図、

【図４】 第３図の矢印Ｒ方向から見た側面図、

【図５】 第３図の矢印Ｆ方向から見た図、

【図６】 第４図のＸ−Ｘ線の矢印方向へ見た図、

【図７】 第５図のＹ−Ｙ線の矢印方向へ見た図、

【図８】 本実施例の基板搬送装置の動力伝達を説明す
る概略図、

【図９】 同じく分解斜視図、

【図１０】 本実施例のエアハンドの詳細構成を示す断
面図、

【図１１】 本発明をピーラーに適用した実施例の概略
構成を説明するための説明図、

【図１２】 前記ピーラーによってフィルムがはがされ
る前のプリント配線用基板を示す断面図である。

【符号の説明】

１…積層体フィルム、２…供給ロ−ラ、３…フィルム分
離部材、４…巻取ロ−ラ、５…テンションロ−ラ、６…
メインバキュ−ムプレ−ト（フィルム供給部材）、７…
ガイドレ−ル、８…メインバキュ−ムプレ−ト用支持
板、９…ラックギヤ、１０…ピニオンギヤ、１１…駆動
モ−タ、１２…先端巻付フィルム保持部材、１３…連結
棒、１４…固定刃支持部材、１５…固定刃、１６…回転
刃支持部材、１７…回転刃、１８…静電気除去装置、１
９…空気吹付管、２０…空気吹付管、２１…圧着ロ−ラ
（ラミネ−ションロ−ラ）、２２…プリント配線板用の
基板、２３Ａ…駆動ロ−ラ（搬送ロ−ラ）、２３Ｂ…縦
動ロ−ラ、２４Ａ…基板押え部材（エア−シリンダ
−）、２４Ｂ…ウェットロ−ラ用押え部材（エア−シリ
ンダ−）、２４Ｃ…基板押え部材（エア−シリンダ
−）、２５…バキュ−ムバ−、２６…ウェットロ−ラ、
２７…圧着ロ−ラ拭取ロ−ラ、２８…圧着ロ−ラ拭取ロ
−ラ用エア−シリンダ−、２９…基板拭取ロ−ラ連結保
持部材、３０…基板拭取ロ−ラ、３１…基板拭取ロ−ラ
用エア−シリンダ−、３２…上下メインバキュ−ムプレ
−ト用支持板連結棒、３３…連結棒取付部材、４０…圧
着ロ−ラ支持部材、４１…圧着ロ−ラ上下移動用エア−
シリンダ−、５０…搬送装置本体フレ−ム、５１…搬送
装置脚部、５２…キャスタ−、５３…ガイド板、５４…
スライドベ−ス、５５…カムフォロア、５６…ラミネ−
タ本体フレ−ム、５７…クランプ部保持部材、５８…エ
ア−ハンド、５９…クランプ部保持部材、６０…エア−
ハンド、６１…エア−シリンダ−保持部材、６２…ロ−
ラ保持部材、６３…ロ−ラ支持部材、６４…エア−シリ
ンダ−取付部材、６５…ウェットロ−ラ保持部材、６６
…ウェットロ−ラ支持部材、６７…ウェット用受皿、６
８…ウェット用受皿取付板、６９…ウェットロ−ラ軸案
内部材、７０…ロ−ラ支持部材、７１…センサ−取付
板、７２…基板先端検知センサ−、７３…基板先端検知
センサ−反射部材、７４…ギヤ保持部材、７５…ギヤ、
７６…ギヤ、７７…駆動モ−タ取付部材、７８…駆動モ
−タ、７９…ロ−タリ−エンコ−ダ−、８０…歯付プ−
リ、８１…歯付プ−リ、８２…歯付プ−リ、８３…歯付
ベルト、８４…歯付ベルト、８５…歯付ベルト、８６…
幅寄せ開始センサ−、８７…基板後端検知センサ−、８
８…センサ−保持部材、８９…センサ−保持部材、９０
…反射部材取付板、９１…基板幅寄せ開始センサ−反射
部材、９２…基板後端検知センサ−反射部材、９３…幅
寄せセンタ−表示板、９４…搬送装置位置決めセンサ
−、９５…検出板、９６…フック、９７…位置決め部
材、９８…保持部材取付板、９９…幅寄せセンタ−位置
合わせハンドル、１００…シャフト保持部材、１０１…
シャフト、１０２…リニアブッシュ、１０３…幅寄せポ
−ル保持部材、１０４…幅寄せポ−ル、１０５…固定部
材、１０６…歯付ベルト、１０７…歯付プ−リ、１０８
…幅寄せ駆動モ−タ、１０９…幅寄せ駆動部保持部材、
１１０…連結シャフト、１１１…カップリング、１１２
…センタリングスクリュ−、１１３…歯付プ−リ、１１
４…歯付ベルト、１１５…縦動ロ−ラ受け部材、１１６
…軸受け、１１７…ゴムリング、１１８…ゴムロ−ラ、
１１９…補助キャスタ−保持部材、１２０…クランクレ
バ−、１２１…補助キャスタ−取付部材、１２２…歯付
プ−リ、１２３…歯付プ−リ、１２４…センタリングブ
ロック。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁵ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｂ６５Ｈ 5/06 Ｆ 7111−3Ｆ Ｈ０１Ｌ 21/68 Ａ 8418−4Ｍ Ｈ０５Ｋ 3/06 Ｊ 6921−4Ｅ // Ｂ２９Ｌ 31:34 4Ｆ

Claims (16)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板の一面を基準として基板を搬送する
   入口部搬送装置により搬送されてきた基板を、基板厚み
   の中心部を基準として処理する処理装置に導入するため
   の基板搬送装置において、前記入口部搬送装置上で、搬
   送中の基板を押えるための基板押え手段と、基板を両面
   側からクランプして、基板厚みの中心部を前記処理装置
   の中心部に合せるための基板位置合せ手段とを備えたこ
   とを特徴とする基板搬送装置。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の基板搬送装置におい
   て、前記基板押え手段が、基板を一面側から押えるため
   の押えローラと、該押えローラを基板方向に押し付ける
   ためのシリンダを含むことを特徴とする基板搬送装置。
3. 【請求項３】 請求項２に記載の基板搬送装置におい
   て、前記押えローラが、トラッキング機能を有するゴム
   ローラとされていることを特徴とする基板搬送装置。
4. 【請求項４】 請求項１に記載の基板搬送装置におい
   て、前記基板位置合せ手段が、基板を両面側からクラン
   プするための、少くとも一対のニップローラと、該ニッ
   プローラを基板両面側から同調して基板方向に押し付け
   るための同調駆動手段を含むことを特徴とする基板搬送
   装置。
5. 【請求項５】 請求項４に記載の基板搬送装置におい
   て、前記ニップローラの少くとも一つが、前記基板押え
   手段の押えローラを兼ねていることを特徴とする基板搬
   送装置。
6. 【請求項６】 請求項５に記載の基板搬送装置におい
   て、前記押えローラを兼ねたニップローラが、前記処理
   装置側に配設されていることを特徴とする基板搬送装
   置。
7. 【請求項７】 請求項５に記載の基板搬送装置におい
   て、前記押えローラを兼ねたニップローラが、搬送中の
   基板を押えるために、まず基板方向に押し付けられ、次
   いで、該ニップローラの押し付け力をゆるめつつ、該ニ
   ップローラを含む全てのニップローラが、基板厚みの中
   心部を前記処理装置の中心部に合せるために、基板両面
   側から同調して基板方向に押し付けられることを特徴と
   する基板搬送装置。
8. 【請求項８】 請求項５乃至７のいずれか一項に記載の
   基板搬送装置において、前記押えローラを兼ねたニップ
   ローラを、位置合せ時に基板両面で同調して基板方向に
   押し付けるためローラ支持部材が、押えローラとして作
   用する時に該ニップローラの基板方向への移動を許容す
   るようにされていることを特徴とする基板搬送装置。
9. 【請求項９】 請求項４に記載の基板搬送装置におい
   て、前記同調駆動手段が、ラック式パラレルタイプのエ
   アハンドであることを特徴とする基板搬送装置。
10. 【請求項１０】 請求項２乃至９のいずれか一項に記載
    の基板搬送装置において、前記ローラが、歯付ベルトに
    より回転駆動されていることを特徴とする基板搬送装
    置。
11. 【請求項１１】 請求項１に記載の基板搬送装置におい
    て、前記処理装置の中心位置が、前記入口側搬送装置上
    の最も厚い基板の中心位置よりも、該入口側搬送装置か
    ら離れる方向にあることを特徴とする基板搬送装置。
12. 【請求項１２】 請求項１に記載の基板搬送装置におい
    て、更に、前記基板押え手段の上流側に、基板を幅寄せ
    して、基板の幅方向位置を、基板押えに適した所定位置
    とするための基板幅寄せ手段を備えたことを特徴とする
    基板搬送装置。
13. 【請求項１３】 請求項１に記載の基板搬送装置におい
    て、前記処理装置が、基板の両面を同時に処理するもの
    であることを特徴とする基板搬送装置。
14. 【請求項１４】 請求項１又は１３に記載の基板搬送装
    置において、前記処理装置が、基板の表面上にフィルム
    を圧着する圧着ローラを含むラミネータであることを特
    徴とする基板搬送装置。
15. 【請求項１５】 請求項１４に記載の基板搬送装置にお
    いて、更に、前記フィルムを圧着する前に、基板の表面
    に空泡防止剤を塗布する空泡防止剤付着手段が設けられ
    ていることを特徴とする基板搬送装置。
16. 【請求項１６】 請求項１又は１３に記載の基板搬送装
    置において、前記処理装置が、フィルムが圧着された基
    板からフィルムを剥離するためのフィルム剥離機構を含
    むピーラーであることを特徴とする基板搬送装置。