JPH037343A

JPH037343A - 薄膜張付用薄膜ガイド装置

Info

Publication number: JPH037343A
Application number: JP1141967A
Authority: JP
Inventors: Mitsuhiro Seki; 光博関; Shigeo Sumi; 住　成男; Fumio Hamamura; 濱村　文雄
Original assignee: Somar Corp
Current assignee: Somar Corp
Priority date: 1989-06-04
Filing date: 1989-06-04
Publication date: 1991-01-14
Also published as: US5131972A; CA2018221A1; EP0401703A1

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、薄膜張付用薄膜ガイド装置に関し、特に、プ
リント配線用基板に感光性樹脂層と透光性樹脂フィルム
とからなる積層体フィルム（薄膜）を熱圧着ラミネート
する薄膜張付装置に関するものである。

〔従来技術〕

ローラコンベヤ等に載架され搬送されてくる個々のプリ
ント配線用基板に対して、連続して積層体フィルムを前
記基板の長さに対応して切断しながら張り付けて行く薄
膜張付装置は、例えば、特開昭６０−２６５５５号公報
に記載されるように、従来から知られている。

また、前記特開昭６０−２６５５５号公報には、第１１
図（引用公報の第３図と同じである）に示すように、フ
ィルムを支持案内し且つ水平軸まわりを回転可能なロー
ラ２１４を一端に設けた第１のアーム２１２と、一端が
第１の水平軸部材２１５によって前記第１のアーム２１
２の中間部に枢着され、他端が第２の水平軸部材２１６
によって固定部材に枢着されている第２のアーム２１３
とを含み、前記第１のアーム２１２は、前記第１の水平
軸部材２１５の軸線に関し、前記ローラ２１４が支持す
るフィルム重量による力とローラ２１４側の重量による
力との合力により生ずるモーメントを若干上まわる逆方
向のモーメントが与えられることを特徴とするフィルム
張引緩和装置が提案されている。

また１例えば、特開昭６３−２００９９１号公報に記載
されるように、ローラコンベヤ等に載架され搬送されて
くる個々のプリント配線用基板に対して、連続してフィ
ルムを前記基板の長さに対応して切断する際、その切断
に必要なたるみを生じさせるために、フィルムの先端を
基板に仮付した後、仮付部材からフィルムの吸着を解除
した状態で仮付部材を基板から離隔して、再度仮付部材
にフィルムを吸着させ、その状態で仮付部材を急速に基
板に近づけて急速にフィルム供給ローラからフィルムを
引き出した場合に、フィルム供給ローラが慣性によって
回転してフィルムが必要以上にくり出される。それを防
止するために、強いブレーキをかけている。このように
してフィルムを切断する薄膜張付方法が提案されている
。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかしながら、前記従来のフィルム張引緩和装置では、
フィルムを支持案内する回転可能なローラの位置が、フ
ィルム１の先端を吸着する仮付部材の吸着面よりも後に
来るために、基板にフィルム１の先端の仮付けが終り、
フィルム１の吸着を解除して仮付部材を上に移動させて
いる際に、仮付部材の吸着面でフィルム１を傷付ける場
合があるという問題があった。

また、基板にフィルム１の先端の仮り付けが終り、フィ
ルム１の吸着を解除して仮付部材を上に移動させている
際及びその後も、前記フィルム１を支持案内する回転可
能なローラの位置が不安定のため、仮付部材で再度吸着
させる際に、フィルム１にしわ等を生じる場合があると
いう問題があった。

また、後者の薄膜張付方法では、前述のように、フィル
ムの切断に必要なたるみを生じさせるために、仮付部材
を急速に基板に近づけて急速に積層体フィルムローラか
らフィルムを引き出した場合に、フィルムローラが慣性
によって回転してフィルムが必要以上にくり出されるの
を防止するために、強いブレーキをかけている。このた
めに、フィルムを基板に張り付ける時、供給される連続
したフィルムに張力（テンション）がかかりすぎるので
、例えば、フィルムの先端を仮り付けする位置がずれる
場合があるという問題があった。

また、フィルムに縦しわが生じる場合があるという問題
があった。

本発明は、前記問題点を解決するためになされたもので
ある。

本発明の目的は、フィルム（薄膜）の先端を仮り付けす
る位置のずれを防止することができる技術を提供するこ
とにある。

本発明の他の目的は、フィルム（薄膜）に縦し力を生じ
るのを防止することができ技術を提供することにある。

本発明の他の目的は、フィルム（薄膜）の切断に必Ｓ要
なたるみを生じさせるために、仮付部材を急速に基板に
近づけて急速にフィルム供給ローラからフィルムを引き
出した場合に、フィルムローラが慣性によって回転して
フィルムが必要以上にくり出されるのを防止するために
、強いブレーキをかけても、供給される連続したフィル
ムに張力（テンション）がかかりすぎないようにする技
術を提供することにある。

本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本
明細書の記述及び添付図面によって明らかになるであろ
う。

〔課題を解決するための手段〕

前記目的を達成するために、本発明は、フィルム（薄膜
）を支持案内する移動ガイドローラの両端が移動ガイド
ローラ支持アームの一端に支持され、移動ガイドローラ
支持アームの他端は、その両端が支持部材に回転可能に
枢着された回転伝達バーに固定され、該回転伝達バーに
は回転駆動源が接続されている（例えば、シリンダの可
動部材が回転可能に枢着されている）ことを最も主要な
特徴とする。

また、前記支持部材に、セパレートローラの両端が軸受
支持され、該セパレートローラの両端部にそれぞれスイ
ングローラ支持アームがその中間位置で取り付けられ、
スイングローラ支持アームの一端が前記移動ガイドロー
ラ支持アームの回転伝達バー近傍部分に回転可能に枢着
され、該移動ガイドローラ支持アームの回転伝達バー近
傍部分がスプリングで牽引され、前記スイングローラ支
持アームの他端には、スイングローラの両端部が支持さ
れていることを特徴とする。

また、前記スイングローラ支持アームのスイングローラ
が支持されている部分の近傍にスイングローラストッパ
ーを設けたことを特徴とする。

また、前記移動ガイドローラに供給される薄膜の幅方向
に張力を与える手段を設けたことを特徴とする。

〔作用〕

前述の手段によれば、ローラコンベヤ等に載架され搬送
されてくる個々の基板に対して、フィルムの先端を基板
に仮付けした状態で、シリンダの可動部材を引き込み、
移動ガイドローラ支持アームを水平状態にして、フィル
ムにテンションがかかるようにする。その後、フィルム
の吸着を解除した状態で仮付部材を基板から隔離させ、
まだフィルムの張付けが開始されていない状態では、供
給される積層体フィルムにたるみが生じないように、ス
イングローラにより、フィルムにテンションをかける。

そして、フィルムの張付けが開始されると、フィルムに
テンションがかかりスイングローラは押し下げられ、移
動ガイドローラにテンションがかかる。この状態で、前
記シリンダの可動部材を押し出すのと同期して仮付部材
にフィルムを吸着させ、その状態で仮付部材を急速に基
板に近づけ、フィルムをたるませる。この状態で所定の
長さに切断する。この時、前記シリンダの可動部材が押
し出されて移動ガイドローラの位置が、仮付部材が急速
に基板に近づくのと同期して移動するので、仮付部材を
急速に基板に近づけて急速にフィルム供給ローラからフ
ィルムを引き出した場合に、フィルム供給ローラが慣性
によって回転してフィルムが必要以上にくり出されるの
を防止するために、強いブレーキをかけても、供給され
る連続したフィルムに張力（テンション）がかかりすぎ
ない。

〔発明の実施例〕

以下、本発明の一実施例を図面を用いて具体的に説明す
る。

なお、実施例を説明するための全図において、同一機能
を有するものは同一符号を付け、その繰り返しの説明は
省略する。

本発明にかかるプリント配線用基板の表裏面に感光性樹
脂層と透光性樹脂フィルムとからなる積層体フィルムを
熱圧着ラミネートするフィルム張付装置の概略構成を第
４図に示す。

本実施例のフィルム張付装置は、第４図に示すように、
透光性樹脂フィルム、感光性樹脂層及び透光性樹脂フィ
ルムの３層構造からなる積層体フィルム１を供給ローラ
２に連続的に巻回している。

供給ローラ２の積層体フィルム１はフィルム分離ローラ
３で透光性樹脂フィルム（保護膜）ＬＡ、−面（接着面
）が露出された感光性樹脂層及び透光性樹脂フィルムか
らなる積層体フィルムＩＢの夫々に分離される。

前記分離されたうちの一方の透光性樹脂フィルムＩＡは
巻取ローラ４により巻き取られるように構成されている
。前記供給ローラ２、巻取ローラ４の夫々は基板搬送経
路１−Ｉを中心に上下に設けられている。

前記分離されたうちの他方の積層体フィルムＩＢの供給
方向の先端側は、テンションローラ５を通してメインバ
キュームプレート（フィルム供給部材）６に供給される
。

メインバキュームプレート６は、フィルム張付位置に近
接しかつ離反する（矢印六方向に移動する）ように構成
されている。つまり、メインバキュームプレート６は、
装置本体（フィルム張付装置の枠体）９に設けられてい
るガイドレール８に摺動自在に取り付けられた支持部材
７に設けられている。該メインバキュームプレート６は
基板搬送経路Ｉ−Ｉを中心に上下に夫々設けられ、ラッ
クアンドピニオン機構、つまり、メインバキュームプレ
ート６はラック７Ａ及びこのラック７Ａと嵌合するピニ
オン７Ｂで両者が互いに近接又は離反するように構成さ
れている。駆動源は、例えばエアーシリンダで構成され
ている。前記メインバキュームプレート６の移動は、支
持部材７に設けられた駆動源７Ｃ及びそれに連結された
ラックアンドピニオン機構、つまり駆動源７Ｃのシャフ
トに連結されたピニオン７Ｄ、支持部材７に設けられた
ラック７Ｅ、メインバキュームプレート６の裏面（積層
体フィルムＩＢと接する面とは反対側の面）に設けられ
たラック７Ｅの夫々で構成されている。このように、メ
インバキュームプレート６は、独立に矢印Ａ方向に移動
できるように構成されている。

メインバキュームプレート６のフィルム張付位置側の先
端部６Ｄは、フィルム吸着面を円弧形状に構成し、複数
個のフィルム吸着用孔が配置され、積層体フィルムＩＢ
の弾力性に抗して積層体フィルムＩＢの供給方向の先端
側を円弧形状面に吸着保゛持できるように構成されてい
る。先端部６Ｄに吸着保持された積層体フィルムＩＢの
供給方向の先端側はメインバキュームプレート６の矢印
六方向の移動によりフィルム張付は位置に供給されるよ
うになっている。

積層体フィルムＩＢの供給経路の近傍においてメインバ
キュームプレート６とフィルム張付位置との間にはフィ
ルム先端部保持部材１０が設けられている。このフィル
ム先端部保持部材１０は前述と同様に基板搬送経路Ｉ−
Ｉを中心に上下に夫々設けられている。

このフィルム先端部保持部材１０は、積層体フィルムＩ
Ｂの切断位置を保持し、かつ切断後に新たに形成された
次段のｆＭ体フィルムＩＢの供給方向の先端側をメイン
バキュームプレート６の先端部６Ｄに吸着保持できるよ
うに構成されている。

つまり、フィルム先端部保持部材１０は、積層体フィル
ムＩＢの供給経路に近接及び離反できる（矢印Ｃ方向に
移動する）ように構成されている。

また、フィルム先端部保持部材１０は、積層体フィルム
ＩＢの切断位置の切断に際して積層体フィルムＩＢの供
給方向の後端側を保持するように構成され、このフィル
ム先端部保持部材１０には、ロータリーカッター１３の
固定刃が設けられている。すなわち、このロータリーカ
ッター１３は、フィルム先端部保持部材１ｏと共に積層
体フィルムＩＢの後方から積層体フィルムＩＢに向って
前後動させることになる。

また、前記ロータリーカッター１３の回転刃は、支持部
材７に積層体フィルムＩＢの前方から積層体フィルムＩ
Ｂに向って前後動可能に設けられている。

前記熱圧着ローラ１１は、その表面の温度斑を抑制でき
るように常時回転させており、第４図に実線で示す退避
位置と点線で示すフィルム張付位置との間を移動できる
ように構成されている。

また、前記熱圧着ローラ１１は、前記薄膜張付位置に保
持された状態の積層体フィルムＩＢの供給方向の先端側
に近接させ、この熱圧着ローラ１１の回転により自動的
に前記積層体フィルムＩＢを供給しながらプリント配線
用基板１４の搬送方向の先端部から後端部に向って基板
１４の薄膜張付面に所定距離だけ積層体フィルムＩＢを
張り付け、その時点で、前記熱圧着ローラ１１と基板１
４とを、基板１４に積層体フィルムＩＢを熱圧着して張
付けながら一定距離だけ基板搬送方向に移動させ、その
後基板搬送方向と反対の方向に一定距離だけ移動させて
供給される積層体フィルムＩＢをたるませることができ
るように設けられているバキュームパー１２は、熱圧着ローラ１１で熱圧着ラミ
ネートされる積層体フィルムＩＢの供給方向の後端側を
吸着保持し、積層体フィルムＩＢにしわ等が発生しない
ように適度なテンションを与えるように構成されている
。このバキュームパー１２は、熱圧着ローラ１１の周囲
を回転動作するように構成されている。熱圧着ローラ１
１、バキュームパー１２の夫々は基板搬送経路Ｉ−Ｉを
中心に上下に夫々設けられている。

前記基板搬送経路１−Ｉには、フィルム張付装置に内蔵
又は取り付けられた基板搬送機構によってプリント配線
用基板１４が搬送される。つまり、基板搬送機構は、プ
リント配線用基板１４をフィルム張付は位置まで搬送し
、プリント配線用基板１４に積層体フィルム１Ｂを熱圧
着ラミネート後にフィルム張付位置から次段の露光装置
に搬送する（退避する）ように構成されている。基板搬
送機構は主に駆動用ローラ１５Ａ及び従動用ローラ１５
Ｂで構成されている。

第１図は、本発明の一実施例の薄膜張付用薄膜ガイド装
置の概略構成を示す斜視図、第２図は、第１図に示すＡ、　−Ａ線で切った断面図、第３図は、第１図のＰ方向から見た正面図である。

本実施例の薄膜張付用薄膜ガイド装置は、前記第１図に
示す点線で囲んだフィルム供給機構ＦＤに適用されるも
のであり、第４図に示すように、積層体フィルムＩＢを
支持案内する移動ガイドローラ（第４図のテンションロ
ーラ５に相当する）１０１の両端が移動ガイドローラ支
持アーム１０２の一端に支持されている。この移動ガイ
ドローラ支持アーム１０２の他端は、支持部材（装置本
体への取付金具）１０３に回転可能に枢着された回転伝
達バー１０４に固定されている。この回転伝達バー１０
４にはクランク１０５の一端が取り付けられ、そのクラ
ンク１０５の他端にはシリンダ（例えば、エアーシリン
ダを用いる）１０６の可動部材１０６Ａが回転可能に枢
着されている。

シリンダ１０６はシリンダブラケット１０７を介して装
置本体、に取り付けられている。

前記移動ガイドローラ１０１の表面には、第１図に示す
ように、移動ガイドローラ１０１の回転により積層体フ
ィルムＩＢをその幅方向に左右に引張ることができ、縦
しわが生じないようにするため、適度の摩擦抵抗を有す
るテープｌ０ＩＡが巻かれている。また、テープ１０１
Ａは、積層体フィルム１の両端の供給速度を常に等しく
なるように調整する機能も有している。つまり、積層体
フィルム１の両端の供給速度は、供給ローラ２巻回され
ている積層体フィルムの巻回状態によっては互いに若干
具なることがあるので、それを補償するものである。し
たがって、テープ１０１Ａは移動ガイドローラ１０１の
表面の全体又は一部分に必要に応じて巻かれる。

前記支持部材１０３には、セパレートローラ（フィルム
分離ローラ３に相当する）１０８の両端が軸受１０９を
介して回転自在に取り付けられている。

このセパレートローラ１０８は、前記積層体フィルム１
を透光性樹脂フィルム（保護膜）ＩＡと一面（接着面）
が露出された感光性樹脂層及び透光性樹脂フィルムから
なる積層体フィルムＩＢの夫々に分離するためのもので
ある。

このセパレートローラ１０８の両端部はそれぞれスイン
グローラ支持アーム１１０の中間位置に取り付けられて
いる。このスイングローラ支持アーム１１０の一端は、
前記移動ガイドローラ支持アーム１０１の回転伝達バー
１０４の近傍部分でスプリング１１１で牽引され、前記
軸受１０９を支点にしてセパレートローラ１０８と共に
回転するようになっている。前記スイングローラ支持ア
ーム１１０の他端には、スイングローラ１１２の両端部
が支持されている。前記スイングローラ支持アーム１１
０のスイングローラ１　］、　２が支持されている部分
の近傍に、スイングローラストッパー１１３が設けられ
ている。

次に、本実施例の薄膜張付用薄膜ガイド装置を使用した
張付プロセス（熱圧着ラミネート）について、第５図乃
至第８図（各張付動作工程毎に示す要部概略構成図）を
用いて簡単に説明する。

まず最初に、第５図に示すように、手作業により、セパ
レートローラ］−０８で分離された積層体フィルムＩＢ
の供給方向の先端側を薄膜先端保持部材１０に配置する
。

次に、フィルム先端部保持部材１０のフィルム吸着面１
０Ｄで積層体フィルムＩＢの供給方向の先端側を吸着保
持する。

この時、移動ガイドローラ支持アーム１０２は、シリン
ダ１０６の可動部材１０６Ａを押し出して左下りに傾斜
され、移動ガイドローラ１０１は水平の位置から下側に
移動される。また、スイングローラアーム１１０も積層
体フィルムＩＢの張力により左下りに傾斜され、スイン
グローラ１１２は水平の位置から下側に移動される。

その後、前記第４図に示す駆動源でフィルム先端部保持
部材１０を矢印Ｃ方向に移動させ、積層体フィルムＩＢ
の供給経路から離反する位置に積層体フィルムＩＢの供
給方向の先端側を移動させてメインバキュームプレート
６の先端部６Ｄに吸着保持させる。

なお、連続動作が行われている時は、ロータリーカッタ
ー１３で切断された積層体ＩＢの供給方向の先端側がメ
インバキュームプレート６の先端部６Ｄに吸着保持され
る。

次に、基板搬送機構により、駆動用ローラ１５Ａ及び従
動用ローラ１５Ｂで基板搬送経路１−Ｉを搬送されてき
たプリント配線用基板１４の搬送方向の先端部を薄膜張
付位置に停止させる。この停止は、センサでプリント配
線用基板１４の搬送方向の先端部を検出し、この検出信
号に基づいて基板搬送機構の駆動用ローラ１５Ａを停止
することにより行う。基板搬送機構で搬送されるプリン
ト配線用基板１４は基板搬送経路Ｉ−１を中心に上下に
配置されたフィルム先端部保持部材１ｏの間を通過する
。

次に、第６図に示すように、薄膜張付位置に停止したプ
リント配線用基板１４の搬送方向の先端部の表面（薄膜
張付面）に向って（矢印六方向に）メインバキュームプ
レート６及びその先端部６Ｄを近接させ、積層体フィル
ムＩＢの供給方向の先端側を薄膜張付位置に供給する。

そして、先端部６Ｄをプリント配線用基板１４の搬送方
向の先端部のフィルム張付面に当接させる。

この時、移動ガイドローラ支持アーム１０２は、シリン
ダ１０６の可動部材１０６Ａを引き込んで水平にされ、
移動ガイドローラ１０１は水平で、かつ積層体フィルム
ＩＢがメインバキュームプレート６の吸着面と同一面上
にくる位置に移動される。また、スイングローラアーム
１１０も移動ガイドローラ１０１と積層体フィルムＩＢ
の張力により水平にされ、スイングローラ１１２は、前
記移動ガイドローラ１０１とほぼ同一面上にすなわちほ
ぼ水平の位置に移動される。

このように、積層体フィルムＩＢの仮付は時に、積層体
フィルムＩＢがメインバキュームプレート６の吸着面と
同一面上に常に配置されるように、移動ガイドローラ１
０１を設けたことにより、供給される積層体フィルム１
Ｂの垂直方向のみに張力がかかるので、積層体フィルム
ＩＢの先端を仮り付けする際に、積層体フィルムＩＢの
位置ずれを防止することができ、かつ積層体フィルムＩ
Ｂに縦じわを生じるのを防止することができる。

次に、第７図に示すように、メインバキュームプレート
６及びその先端部６Ｄの積層体フィルムＩＢの吸着保持
を解除してメインバキュームプレート６及びその先端部
６Ｄをフィルム張付位置から離反させる。

この時、移動ガイドローラ支持アーム１０２は、シリン
ダ１０６の可動部材１０６Ａを引き込んで水平にされ、
移動ガイドローラ１０１は水平の位置に移動される。ま
た、スイングローラアーム１１０は、移動ガイドローラ
支持アーム１０２が水平であっても、積層体フィルムＩ
Ｂの張力が弱くなるため水平位置から左上りの傾斜とな
り、スイングローラ１１２は、移動ガイドローラ１０１
の位置よりも上の位置に移動される。

このように、スイングローラアーム１１０を設けたこと
により、メインバキュームプレート６及びその先端部６
Ｄの積層体フィルムＩＢの吸着保持を解除しても供給さ
れる積層体フィルムＩＢのたるみを防止することができ
るので、基板１４に積層体フィルムＩＢを張付ける時に
おいて、積層体フィルムＩＢに縦じわを生じるのを防止
することができる。

次に、第８図に示すように、メインバキュームプレート
６及びその先端部６Ｄをフィルム張付位置から離反させ
た後、熱圧着ローラ１１がフィルム張付位置に移動する
と、積層体フィルムＩＢの供給方向の最先端側に適度な
押圧力で当接され、熱圧着ローラ１１の回転により基板
搬送機構でプリント配線用基板１４を矢印Ｅ方向に搬送
し、熱圧着ラミネートを開始する。

この時、第６図と同様に、積層体フィルムＩＢの張力に
より、スイングローラ１１２は、前記移動ガイドローラ
１０１とほぼ同一面上にすなわちほぼ水平の位置に移動
される。

次に、第９図に示すように、前記熱圧着ローラ１１の回
転により自動的に前記積層体フィルムＩＢを供給しなが
らプリント配線用基板１４の搬送方向の先端部から後端
部に向ってプリント配線用基板１４のフィルム張付面に
所定の距離だけ積層体フィルムＩＢを張り付ける。

熱圧着ローラ１１とプリント配線用基板１４とを、プリ
ント配線用基板１４に積層体フィルム１Ｂを張付けなが
ら基板搬送方向に移動させている間は、その移動動作に
より供給ローラ２から積層体フィルムＩＢは引き出され
る。

積層体フィルムＩＢの後端部が基板搬送装置の所定位置
に来たことを搬送路に設けられているセンサで検出する
と、その検出信号に基づいて、（ａ）フィルム先端部保
持部材１ｏは、積層体フィルムＩＢに接近し、メインバ
キュームプレート６及びフィルム先端部保持部材１０は
積層体フィルムＩＢを吸着保持する。この場合、フィル
ム先端部保持部材１０の近隣位置に配置されている固定
刃の先端部と熱圧着ローラ１１のフィルム押圧点との間
の積層体フィルムＩＢの長さは、基板表面におけるフィ
ルム張り残し部分の長さと実質的に等しくなるように設
定されている。

また、（ｂ）熱圧着ローラ１１とプリント配線用基板１
４は、吸着積層体フィルムＩＢの切断用保持部材１０に
よる吸着保持と同期して基板搬送方向とは反対の方向に
一定距離だけ移動する。前記切断用保持部材１０による
吸着保持及び前記熱圧着ローラ１１の移動によって、フ
ィルム先端部保持部材１０と熱圧着ローラ１１との間の
供給積層体フィルムＩＢがたるむ。このたるみ方向を基
板搬送方向側に向けるために、第９図に示す矢印Ｆの方
向に空気噴射を行っている。

次に、第９図に示すように、積層体フィルムＩＢをたる
ませる動作について説明する。

まず、供給ローラ２から積層体フィルムＩＢの供給を止
めるために、供給ローラ２の回転をブレーキをかけて止
め、メインバキュームプレート６に積層体フィルムＩＢ
を吸着させて、その状態でメインバキュームプレート６
を急速にプリント配線用基板１４に近づける駆動と、シ
リンダ１０６の可動部材１０６Ａを押し出して移動ガイ
ドロール支持アーム１０２を左下りに傾斜される駆動と
を同期して行う。この時、移動ガイドローラ１゜１の変
位量と積層体フィルムＩＢのたるみ量（メインバキュー
ムプレート６の移動量）とが等しくなるように設計され
ている。

以上の説明かられかるように、本実施例によれば、積層
体フィルムＩＢの仮付は時に、積層体フィルムＩＢがメ
インバキュームプレート６の吸着面と同一面上に常に配
置されるように、移動ガイドローラ１０１を設けたこと
により、供給される積層体フィルムＩＢの垂直方向のみ
に張力がががるので、積層体フィルムＩＢの先端を仮り
付けする際に、積層体フィルムＩＢの位置ずれを防止す
ることができ、かつ積層体フィルム１Ｂに縦じわを生じ
るのを防止することができる。

また、スイングローラ支持アーム１１０を設けたことに
より、メインバキュームプレート６及びその先端部６Ｄ
の積層体フィルム１Ｂの吸着保持を解除しても供給され
る積層体フィルムＩＢのたるみを防止することができる
ので、プリント配線用基板１４に積層体フィルムＩＢを
張付ける時において、積層体フィルムＩＢに縦じわ等を
生じるのを防止することができる。

また、供給ローラ２の回転を止めるブレーキ駆動と、メ
インバキュームプレート６に積層体フィルムＩＢを吸着
させて、その状態でメインバキュームプレート６を急速
にプリント配線用基板１４に近づける駆動と、シリンダ
１０６の可動部材１０６Ａを押し出して移動ガイドロー
ラ支持アーム１０２を左下りに傾斜される駆動とを同期
させて、積層体フィルムＩＢをたるませることにより、
積層体フィルムＩＢの切断に必要なたるみを生じさせる
ために、メインバキュームプレート６を急速に基板１４
に近づけて急速に供給ローラ２から積層体フィルムＩＢ
を押し出した場合に、積層体フィルムＩＢが巻れた供給
ローラ２が慣性によって回転して積層体フィルムＩＢが
必要以上にくり出されるのを防止するために、強いブレ
ーキをかけても、供給される連続した積層体フィルムに
張力（テンション）がかかりすぎないので、積層体フィ
ルムＩＢが伸びたり、縦じわ等を生じたりするのを防止
することができる。

なお、前記実施例では、フィルム供給機構ＦＤは、上下
とも同じものを用いて説明したが、本発明においては、
下側のフィルム供給機構ＦＤは、スイングローラを用い
ない移動ガイドローラのみを用いた機構にしてもよい。

これは、下側においては積層体フィルムの自重によって
生じるたるみが発生しないからである。

以上、本発明を実施例に基づき具体的に説明したが、本
発明は、前記実施例に限定されることなくその要旨を逸
脱しない範囲において種々変更し得ることは言うまでも
ない。

〔発明の効果〕

以上、説明したように、本発明によれば、移動ガイドロ
ーラを設けたことにより、供給される薄膜の垂直方向の
みに張力がかかるので、薄膜の先端を仮り付けする際に
、薄膜の位置ずれを防止することができ、かつ薄膜に縦
じわを生じるのを防止することができる。

また、スイングローラを設けたことにより、仮付部材の
薄膜の吸着保持を解除しても供給される薄膜のたるみを
防止することができるので、基板に薄膜を張付ける時に
おいて、薄膜に縦じわ等を生じるのを防止することがで
きる。

また、薄膜の切断に必要なたるみを生じさせるために、
仮付部材を急速に基板に近づけて急速に供給ローラから
薄膜を押し出した場合に、薄膜が巻れた供給ローラが慣
性によって回転して薄膜が必要以上にくり出されるのを
防止するために、強いブレーキをかけても、供給される
連続した積層体フィルムに張力（テンション）がかかり
すぎないので、薄膜が伸びたり、縦じわ等を生じたりす
るのを防止することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第３図は、第４図に示すフィルム供給機構部
分の詳細構成を示す図、第４図は１本発明にかかるフィルム膜張付装置の全体の
概略構成図、第５図乃至第９図は、第４図の薄膜張付装置のラミネー
ト動作を説明するための図、第１０図は、従来のフィルム膜張付装置の問題点を説明
するための図である。図中、ＩＢ・・・積層体フィルム、６・・・メインバキ
ュームプレート、１０・・フィルム先端部保持部材、１
１・・・熱圧着ローラ、１３・・・ロータリーカッタ、
１４・・プリント配線用基板、１０１・・・移動ガイド
ローラ、１１２・・・スイングローラ。特許呂願人　ソマール株式会社

Claims

【特許請求の範囲】

（１）　薄膜を支持案内する移動ガイドローラの両端が
移動ガイドローラ支持アームの一端に支持され、移動ガ
イドローラ支持アームの他端は、その両端が支持部材に
回転可能に枢着された回転伝達バーに固定され、該回転
伝達バーには回転駆動源が接続されていることを特徴と
する薄膜張付用薄膜ガイド装置。
（２）　前記請求項の第１項に記載の薄膜張付用薄膜ガ
イド装置において、前記支持部材に、セパレートローラ
の両端が軸受支持され、該セパレートローラの両端部に
それぞれスイングローラ支持アームがその中間位置で取
り付けられ、スイングローラ支持アームの一端が前記移
動ガイドローラ支持アームの回転伝達バー近傍部分に回
転可能に枢着され、該移動ガイドローラ支持アームの回
転伝達バー近傍部分がスプリングで牽引され、前記スイ
ングローラ支持アームの他端には、スイングローラの両
端部が支持されていることを特徴とする薄膜張付用薄膜
ガイド装置。
（３）　前記請求項の第２項に記載の薄膜張付用薄膜ガ
イド装置において、前記スイングローラ支持アームのス
イングローラが支持されている部分の近傍にスイングロ
ーラストッパーを設けたことを特徴とする薄膜張付用薄
膜ガイド装置。
（４）　前記請求項の第１項乃至第３項の各項に記載の
薄膜張付用薄膜ガイド装置において、前記移動ガイドロ
ーラに供給される薄膜の幅方向に張力を与える手段を設
けたことを特徴とする薄膜張付用薄膜ガイド装置。