JP2824965B2 - フィルム剥離装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、基板に貼着された
フィルムを剥離するフィルム剥離装置、更に詳しくは、
基板に貼着されたフィルムの前端部（一端部）を基板か
ら部分的に分離せしめ、次いで前端部が部分的に分離さ
れたフィルムを基板から完全に分離するフィルム剥離装
置に関する。

【０００２】

【従来の技術】プリント回路基板の製造においては、当
業者には周知の如く、ガラス繊維強化エポキシ樹脂等か
ら形成されたコア板の両面に銅箔を貼着せしめて銅張積
層板を形成し、かかる銅張積層板の両面にフォトレジス
ト層及び保護フィルムを積層せしめたプリント回路基板
素材を使用している。そして、かかるプリント回路基板
素材の両面に所要回路を照射してフォトレジスト層を露
光し、しかる後に両表面に存在する保護フィルムを剥離
している。

【０００３】特開昭６２−８３９７４号公報（米国特許
第４７２４０３２号明細書及び図面）には、プリント回
路基板素材の如き基板から、その少なくとも片表面、通
常は両表面から保護フィルムの如きフィルム（本明細書
にて使用する語句「フィルム」は比較的薄い帯状部材の
みならず比較的厚い所謂シートと称される帯状部材をも
含む）を剥離するのに好都合に適用することができるフ
ィルム剥離装置が開示されている。

【０００４】このフィルム剥離装置は、基板搬送手段、
端部分離手段及び剥離手段を具備している。基板搬送手
段は、少なくとも片面にフィルムが貼着された基板を実
質上水平な状態で、その前端部が端部分離位置に位置せ
しめられるまで所定方向に搬送せしめて一旦停止せし
め、そして更に上記所定方向に搬送する。かかる基板搬
送手段は、端部分離位置の上流側に配設された回転搬送
部材及び端部分離位置の下流側に配設された回転搬送部
材を含んでいる。端部分離手段は、基板の幅方向に往復
移動することにより、上記端部分離位置に位置せしめら
れている基板の前端部に作用してフィルムの前端部を基
板から部分的に分離せしめる。剥離手段は、前端部が基
板から部分的に分離されたフィルムを基板から完全に分
離せしめる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】而して、上記フィルム
剥離装置は、基板の厚さが特定範囲にある場合には良好
に機能するが、基板の厚さが比較的大幅に変化すると所
要通りに機能し得なくなる傾向がある。更に詳述する
と、端部分離手段が基板の幅方向に往復移動することを
許容するために、端部分離位置の上流側に配設された回
転搬送部材と端部分離位置の下流側に配設された回転搬
送部材との間には、搬送方向に比較的長い間隔が存在せ
しめられている。このことに起因して、基板が比較的薄
くその剛性が比較的小さい場合には、基板が端部分離位
置の上流側の回転搬送部材から下流側の回転搬送部材に
搬送されるに際して、基板の前端部が下流側の回転搬送
部材の上流側で過剰に下方に垂れ下がり、搬送されない
おそれがある。

【０００６】本発明は上記事実に鑑みてなされたもので
あり、その目的は、基板の剛性が比較的小さい場合であ
っても、端部分離位置の上流側の回転搬送部材から下流
側の回転搬送部材に基板が所望のとおり充分円滑且つ確
実に搬送せしめられる、改良されたフィルム剥離装置を
提供することである。

【０００７】

【課題を達成するための手段】本発明によれば、少なく
とも片面にはフィルムが貼着されている基板を実質上水
平な状態で、該基板の前端部が端部分離位置に位置せし
められるまで所定方向に搬送せしめて一旦停止せしめ、
そして更に該基板を該所定方向に搬送するための基板搬
送手段と、該基板の幅方向に移動せしめられて該端部分
離位置に停止せしめられている該基板の該前端部に作用
して該フィルムの前端部を該基板から部分的に分離せし
めるための端部分離手段と、該前端部が該基板から部分
的に分離された該フィルムを該基板から完全に分離せし
める剥離手段とを具備し、該基板搬送手段は該端部分離
位置の上流側に配設された回転搬送部材及び該端部分離
位置の下流側に配設された回転搬送部材を含む、フィル
ム剥離装置において、該基板搬送手段は、更に、該端部
分離手段が該基板の幅方向に移動せしめられるときに
は、該端部分離手段の移動を妨げない後退位置に位置せ
しめられ、該基板が該端部分離位置から該所定方向に搬
送されるときには該基板の下面を案内する案内位置に位
置せしめられる案内手段を含む、ことを特徴とするフィ
ルム剥離装置、が提供される。

【０００８】本発明のフィルム剥離装置においては、基
板が端部分離位置から所定方向に搬送されるときには、
案内手段が基板の下面を案内する案内位置に位置せしめ
られるので、基板の剛性が比較的小さい場合であって
も、基板の前端部が過剰に垂れ下がることなく、端部分
離位置の上流側の回転搬送部材から下流側の回転搬送部
材に所望のとおり充分円滑且つ確実に搬送せしめられ
る。その結果、基板の損失が回避され、稼働効率が向上
せしめられる。

【０００９】該案内手段は回転自在な案内ローラから構
成されていることが好適である。この発明においては、
案内ローラが案内位置に位置付けられると、案内ローラ
は、端部分離位置の上流側の回転搬送部材と下流側の回
転搬送部材との間における回転搬送部材として機能せし
められるので、比較的簡単な構成でしたがって比較的低
コストで上記作用効果を充分確実に達成することができ
る。また該案内ローラは、一端を中心に該後退位置と該
案内位置との間を旋回自在な支持アームの他端に回転自
在に装着されていることが好ましい。この発明において
は、比較的簡単な構成を有ししたがって比較的低コスト
である案内手段が得られ、更には、端部分離手段が基板
の幅方向に往復移動することを許容するための上記間隔
を充分に確保することが可能となる。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、本発明に従って構成された
フィルム剥離装置の実施形態を図示している添付図面を
参照して更に詳細に説明する。

【００１１】図１を参照して説明すると、本発明に従っ
て構成された図示のフィルム剥離装置は、基板搬送手段
２、端部分離手段４及び剥離手段６を具備している。基
板搬送手段２は、図１において左から右に実質上水平に
延在する搬送径路の下側を規定する複数個の搬送ローラ
１０、１２、１４、１６、１８、２０、２２、２４及び
２６を含んでいる。搬送径路の下側には補助ローラ２８
も配設されている（この補助ローラ２８については後に
更に言及する)。

【００１２】基板搬送手段２は、更に、搬送径路の上側
に配設された搬送ローラ３０及び３２、補助ローラ３
４、補助案内ローラ３６及び補助ローラ３８を含んでい
る（補助案内ローラ３６及び補助ローラ３８については
後に更に言及する）。搬送径路の上側に配設されている
ローラ３０、３２、３４、３６及び３８は所定範囲に渡
って上下方向に移動自在に装着されており、それ自体の
自重によって或いは適宜の押圧手段による偏倚作用によ
って夫々の下方に位置する搬送ローラ１６及び１８、後
述するベルト機構、補助ローラ２８並びに搬送ローラ２
０に向けて偏倚せしめられている。従って、搬送すべき
基板４０が存在しない時には、搬送径路の上側に配設さ
れているローラ３０、３２、３４、３６及び３８は、搬
送径路の下側に配設されているローラ乃至ベルト機構に
接触せしめられているが、基板４０に作用してこれを搬
送する際には、基板４０によってその厚さ分だけ上昇せ
しめられて基板４０の上面に押圧せしめられる。基板搬
送手段２を構成する種々のローラは、電動モータでよい
回転駆動源（図示していない）によって矢印４２で示す
方向に回転駆動せしめられる。なお回転駆動されるされ
ないにかかわらず、基板の搬送経路を規定する上記ロー
ラの各々は回転搬送部材を構成する。搬送ローラ対１６
及び３０と搬送ローラ対１８及び３２との間には端部分
離位置が規定されており、かかる端部分離位置に関連せ
しめて停止手段４４が配設されている。

【００１３】この停止手段４４は、実線で示す非作用位
置と２点鎖線で示す作用位置との間を昇降自在に装着さ
れており、空気圧シリンダ機構の如き適宜の手段（図示
していない）によって、上記非作用位置と上記作用位置
とに選択的に位置付けられる。非作用位置に位置付けら
れている時には、停止手段４４は搬送径路から下方に後
退せしめられており、基板４０の搬送に干渉することは
ない。しかしながら、作用位置に位置付けられると、停
止手段４４の先端部は下方から搬送径路を通って上方に
突出し、基板４０の矢印４２で示す方向への前進を阻止
する。

【００１４】図示の実施形態における基板搬送手段２
は、更に、上記端部分離位置に関連して配設された案内
手段４６を含んでいる。この案内手段４６は、実線で示
す後退位置と２点鎖線で示す案内位置との間を支持軸４
８を中心として旋回自在に装着された支持アーム５０を
有する。この支持アーム５０の先端部には実質上水平に
延びる軸５１が装着されており、かかる軸５１には、基
板４０の幅方向に間隔をおいて複数個の案内ローラ５２
が回転自在に装着されている。支持アーム５０は、空気
圧シリンダ機構の如き適宜の手段によって上記後退位置
と案内位置とに選択的に位置せしめられる。後に詳述す
る如く端部分離位置においては、基板４０の幅方向（即
ち図１において紙面に垂直な方向）に端部分離手段４が
移動せしめられるが、支持アーム５０及び案内ローラ５
２が実線で示す後退位置に位置付けられている時には、
端部分離手段４は支持アーム５０及び案内ローラ５２に
阻害されることなく基板４０の幅方向に往復動すること
ができる。一方、支持アーム５０及び案内ローラ５２が
２点鎖線で示す案内位置に位置せしめられると、案内ロ
ーラ５２は基板４０の搬送径路の下側に位置してそこを
通って搬送される基板４０の下面を案内する。

【００１５】端部分離手段４が基板４０の幅方向に往復
動することを許容するために、搬送ローラ対１６及び３
０と搬送ローラ対１８及び３２との間には、搬送方向に
比較的長い間隔が存在せしめられているが、上記案内ロ
ーラ５２が案内位置に位置せしめられることによって、
搬送ローラ対１６及び３０から搬送ローラ対１８及び３
２まで円滑に基板４０が搬送される。案内手段４６が配
設されていない場合には、特に基板４０の剛性が比較的
小さい時に、搬送ローラ対１６及び３０と搬送ローラ対
１８及び３２との間において基板４０の前端部が下方に
過剰に垂れ下がり、搬送ローラ対１８及び３２にニップ
されなくなってしまうおそれが少なくない。

【００１６】図示の実施形態においては、更に、搬送ロ
ーラ対１６及び３０の直ぐ下流側にクランプ手段５４が
配設されている。かかるクランプ手段５４は上側クラン
プ部材５６と下側クランプ部材５８とを含んでいる。上
側クランプ部材５６及び下側クランプ部材５８の各々に
は空気圧シリンダ機構でよい加圧手段（図示していな
い）が付設されており、夫々基板４０から上方及び下方
に離隔する非クランプ位置（２点鎖線で示す位置）と基
板４０の上面及び下面に所定圧力で押圧せしめられるク
ランプ位置（実線で示す位置）とに選択的に位置せしめ
られる。

【００１７】上述した基板搬送手段２を備えた図示のフ
ィルム剥離装置においては、両面に保護フィルム５９が
貼着されたプリント回路基板でよい基板４０が適宜の供
給手段（図示していない）によって基板搬送手段２の上
流部に供給され、搬送ローラ１０、１２及び１４並びに
搬送ローラ対１６及び３０の作用によって矢印４２で示
す方向に搬送される。基板４０の前端が２点鎖線で示す
作用位置にある停止手段４４の先端部に当接せしめられ
ると、基板４０のそれ以上の前進が確実に阻止され、そ
して基板搬送手段２の駆動が停止せしめられる。次い
で、停止手段４４が実線で示す非作用位置に後退せしめ
られと共に、クランプ手段５４の上側クランプ部材５６
及び下側クランプ部材５８がクランプ位置にせしめられ
て、基板４０が停止位置に確実に保持せしめられる。そ
して後述する通りの端部分離手段４の作用によって、基
板４０の両面に貼着されている保護フィルム５９の前端
部が基板４０から部分的に分離される。端部分離手段４
の作用が終了して端部分離手段４が基板４０からその幅
方向外側に離隔せしめられると、クランプ手段５４の上
側クランプ部材５６及び下側クランプ部材５８が非クラ
ンプ位置に戻されて基板４０の保持が解除され、案内手
段４６が実線で示す後退位置から２点鎖線で示す案内位
置に移動せしめられる。そして基板搬送手段２の駆動が
再開されて基板４０は再び矢印４２で示す方向に搬送さ
れ始める。そして、基板４０が矢印４２で示す方向に搬
送されている間に、後述する剥離手段６の作用によって
基板４０の両面から保護フィルム５９が完全に分離され
る。

【００１８】図１と共に図２乃至図４を参照して端部分
離手段４について説明すると、端部分離手段４は主支持
枠体６０を含んでいる。装置全体の静止基枠（図示して
いない）には、端部分離位置の上方を基板４０の幅方向
に実質上水平に延在する２本の支持レール６２及び６４
が固定されている。支持レール６２及び６４の各々は、
断面形状が円形である丸棒から形成されている。他方、
主支持枠体６０の上部には被案内ブロック６５が固定さ
れている。この被案内ブロック６５には水平方向に延在
する２個の貫通孔が形成されており、かかる孔に上記支
持レール６２及び６４を挿通せしめることによって、支
持レール６２及び６４に沿って滑動自在に主支持枠体６
０が装着されている。支持レール６２及び６４に隣接せ
しめて上記静止基枠には、実質上水平に延在する空気圧
シリンダ機構７０が装着されている。このシリンダ機構
７０の出力端は主支持枠体６０の被案内ブロック７２に
連結されている。かくして、シリンダ機構７０の作用に
よって、端部分離手段４の主支持枠体６０は、図２に２
点鎖線６０Ａで示す移動開始位置と、図２に２点鎖線Ｂ
で示す折り返し位置との間を往復動せしめられる。

【００１９】図１乃至図４を参照して説明を続けると、
主支持枠体６０の下方にはローラ支持ブロック７４が固
定されている。更に、主支持枠体６０には基板４０の幅
方向に間隔をおいて実質上鉛直に延びる支持柱７６が固
定されており、この支持柱７６に副支持枠体７８が上下
方向、従って基板４０の厚さ方向に移動自在に装着され
ている。略直方体形状のブロックから構成することがで
きる副支持枠体７８には、幅方向に所定間隔をおいて６
本の短軸８０、８２、８４、８６、８８及び９０が固定
されており、かかる短軸には夫々、片側（上側）圧接ロ
ーラ９２、９４、９６及び９８並びに片側（上側）案内
ローラ１００及び１０２が装着されている。

【００２０】図４を参照することによって明確に理解さ
れる如く、幅方向中央に位置する２本の短軸８０及び８
２並びに幅方向両外側に位置する２本の短軸８８及び９
０は、基板４０の搬送方向（図４において上下方向）に
実質上平行に延びているが、残りの２本の短軸８４及び
８６は、基板４０の搬送方向上流側に向かって幅方向内
側に２乃至１０度程度でよい若干の角度αだけ傾斜せし
められている。従って、２個の圧接ローラ９６及び９８
は基板４０に対して若干の角度αだけ傾斜せしめられて
いる。また、図３を参照することによって明確に理解さ
れる如く、２本の短軸８８及び９０は、他の短軸８０、
８２、８４及び８６に対して幾分上方に変位せしめられ
ており、従って２個の案内ローラ１００及び１０２は、
４個の圧接ローラ９２、９４、９６及び９８に対して幾
分上方に変位せしめられている。

【００２１】主支持枠体６０の下方に固定されたローラ
支持ブロック７４にも、幅方向に所定間隔をおいて６本
の短軸１０４、１０６、１０８、１１０、１１２及び１
１４が固定されており、かかる短軸には夫々、他側（下
側）圧接ローラ１１６、１１８、１２０及び１２２並び
に他側（下側）案内ローラ１２４及び１２６が装着され
ている。

【００２２】図４を参照することによって明確に理解さ
れる如く、幅方向中央に位置する２本の短軸１０４及び
１０６並びに幅方向両外側に位置する２本の短軸１１２
及び１１４は、基板４０の搬送方向（図４において上下
方向）に実質上平行に延びているが、残りの２本の短軸
１０８及び１１０は、基板４０の搬送方向上流側に向か
って幅方向内側に２乃至５度程度でよい若干の角度αだ
け傾斜せしめられている。従って、２個の圧接ローラ１
２０及び１２２も基板４０に対して若干の角度αだけ傾
斜せしめられている。また、図３を参照することによっ
て明確に理解される如く、２本の短軸１１２及び１１４
は、他の短軸１０４、１０６、１０８及び１１０に対し
て幾分下方に変位せしめられており、従って２個の案内
ローラ１２４及び１２６は、４個の圧接ローラ１１６、
１１８、１２０及び１２２に対して幾分下方に変位せし
められている。

【００２３】主支持枠体６０には副支持枠体７８の上方
に位置する支持板１２７も固定されており、この支持板
１２７の下面には空気圧シリンダ機構１２８が装着され
ている。空気圧シリンダ機構１２８の出力ロッド１３０
は下方に突出せしめられていて、副支持枠体７８の上面
に当接せしめられている。副支持枠体７８はそれ自身の
重量と共に空気圧シリンダ機構１２８から加えられる押
圧力によって下方に変位せしめられる。従って、副支持
枠体７８に装着された片側圧接ローラ９２、９４、９６
及び９８並びに片側案内ローラ１００及び１０２と主支
持枠体６０のローラ支持ブロック７４に装着された他側
圧接ローラ１１６、１１８、１２０及び１２２並びに他
側案内ローラ１２４及び１２６との間に基板４０が存在
しない状態においては、片側圧接ローラ９２、９４、９
６及び９８が他側圧接ローラ１１６、１１８、１２０及
び１２２に圧接せしめられる。シリンダ機構１２８から
副支持枠体７８に加えられる押圧力は５乃至１０ｋｇ程
度でよい。

【００２４】片側圧接ローラ９２、９４、９６及び９８
が他側圧接ローラ１１６、１１８、１２０及び１２２に
圧接せしめられている状態において、片側案内ローラ１
００及び１０２と他側案内ローラ１２４及び１２６との
間には若干の間隙ｔが存在する。この間隙ｔは１乃至５
ｍｍ程度でよい。圧接ローラ９２、９４、９６、９８、
１１６、１１８、１２０及び１２２並びに案内ローラ１
００、１０２、１２４及び１２６は、鋼の如き適宜の金
属或いは比較的高硬度で耐摩耗性に優れたナイロンの如
き適宜の合成樹脂又は合成ゴムから形成するこができ
る。圧接ローラ９２、９４、９６、９８、１１６、１１
８、１２０及び１２２の表面は、所謂ナーリング加工
（溝刻設加工）等を施すことによって摩擦係数が増大せ
しめられているのが好都合である。

【００２５】上記端部分離手段４の作用は次の通りであ
る。上述した通りにして基板４０の前端部が端部分離位
置に位置せしめられ、クランプ手段５４が基板４０をか
かる位置に保持した時点においては、端部分離手段４の
主支持枠体６０は、図２に２点鎖線６０Ａで示す移動開
始位置に位置せしめられている。かかる状態においては
主支持枠体６０及びこれに装着された副支持枠体７８
は、基板４０から幅方向片側に離隔せしめられている。
端部分離手段４の作用は、幅方向移動手段を構成するシ
リンダ機構７０の作動によって、主支持枠体６０（及び
これに装着された副支持枠体７８）を上記移動開始位置
６０Ａから図２に２点鎖線６０Ｂで示す折り返し位置ま
で幅方向に往動せしめ、そして更に折り返し位置６０Ｂ
から移動開始位置６０Ａまで復動せしめることによって
遂行される。上記折り返し位置６０Ｂにおいては、主支
持枠体６０及びこれに装着された副支持枠体７８は基板
４０から幅方向他側に離隔して位置する。

【００２６】主支持枠体６０及びこれに装着された副支
持枠体７８が上述した通りに往復動せしめられる間に
は、片側（上側）圧接ローラ９２、９４、９６及び９８
と他側（下側）圧接ローラ１１６、１１８、１２０及び
１２２との間に基板４０が挟み込まれ、基板４０の上面
に貼着されている保護フィルム５９の前端部（一端部）
に片側圧接ローラ９２、９４、９６及び９８が擦り作用
を加えると共に、基板４０の下面に貼着されている保護
フィルム５９の前端部に他側圧接ローラ１１６、１１
８、１２０及び１２２が擦り作用を加え、かくして保護
フィルム５９の前端部が基板４０から分離せしめられ
る。所望ならば、端部分離手段４を幅方向に移動せしめ
ることに代えて、基板４０を幅方向に移動せしてもよ
い。

【００２７】而して、本発明に従って構成されたフィル
ム剥離装置においては、端部分離手段４には片側案内ロ
ーラ１００及び１０２並びに他側案内ローラ１２４及び
１２６も配設されており、片側圧接ローラ９２、９４、
９６及び９８が他側圧接ローラ１１６、１１８、１２０
及び１２２に接触せしめられた状態において、片側案内
ローラ１００及び１０２と他側案内ローラ１２４及び１
２６との間には若干の間隙が存在せしめられている。そ
れ故に、基板４０が比較的薄い場合でも比較的厚い場合
でも、基板４０を損傷せしめることなく充分円滑に基板
４０が片側圧接ローラ９２、９４、９６及び９８と他側
圧接ローラ１１６、１１８、１２０及び１２２との間に
挟み込まれる。

【００２８】更に詳述すると、基板４０が比較的薄くて
その剛性が比較的小さい場合、案内ローラ１００、１０
２、１２４及び１２６が存在しない時には、基板４０が
片側圧接ローラ９２、９４、９６及び９８と他側圧接ロ
ーラ１１６、１１８、１２０及び１２２との間に円滑に
挟み込まれず、基板４０が幅方向に湾曲され或いは基板
４０の側縁部が損傷せしめられるおそれが少なくない。
しかしながら、本発明に従って案内ローラ１００、１０
２、１２４及び１２６が配設されている場合には、基板
４０は、最初に案内ローラ対１００及び１２４或いは１
０２及び１２６間に存在する若干の間隙に進入し、次い
で案内ローラ対１００及び１２４或いは１０２及び１２
６の案内作用によって、圧接ローラ対９６及び１２０或
いは９８及び１２２間に導かれ、そして案内ローラ対１
００及び１２４或いは１０２及び１２６による支持によ
って、その見かけ上の剛性が増大せしめられ、かくして
充分円滑に圧接ローラ対９６及び１２０或いは９８及び
１２２間に導入せしめられる。

【００２９】また、基板４０が比較的厚い場合にも、案
内ローラ１００、１０２、１２４及び１２６が存在しな
い時には、基板４０が片側圧接ローラ９２、９４、９６
及び９８と他側圧接ローラ１１６、１１８、１２０及び
１２２との間に円滑に挟み込まれず、基板４０の側縁部
が損傷せしめられるおそれが少なくない。しかしなが
ら、本発明に従って案内ローラ１００、１０２、１２４
及び１２６が配設されている場合には、基板４０は最初
に案内ローラ対１００及び１２４或いは１０２及び１２
６間に進入し、かくすると基板４０の厚さが案内ローラ
対１００及び１２４或いは１０２及び１２６間の初期間
隙ｔよりも大きい故に、副支持枠体７８が主支持枠体６
０に対して幾分上昇せしめられ、従って圧接ローラ対９
６及び１２０或いは９８及び１２２が相互に若干離隔せ
しめられる。しかる後に、案内ローラ対１００及び１２
４或いは１０２及び１２６の案内作用によって圧接ロー
ラ対９６及び１２０或いは９８及び１２２間に導かれ、
若干離隔せしめられている圧接ローラ対９６及び１２０
或いは９８及び１２２間に充分円滑に進入せしめられ
る。

【００３０】図１を参照して説明を続けると、図示の実
施形態における剥離手段６は、フィルム剥離搬送手段１
３２及び気体噴射手段１３４を具備している。そして、
フィルム剥離搬送手段１３２は、片側（上側）ベルト機
構１３６と他側（下側）ベルト機構１３８を含んでい
る。

【００３１】図１と共に図５を参照して片側ベルト機構
１３６について説明すると、装置全体の静止基枠（図示
していない）には、基板４０の搬送方向及び上下方向に
適宜の間隔をおいて実質上水平に延びる５本の回転軸１
４０、１４２、１４４、１４６及び１４８が回転自在に
装着されている。回転軸１４０には幅方向に適宜の間隔
をおいて複数個の上流下部ベルト車１５０が固定され、
回転軸１４２には幅方向に間隔をおいて複数個の中央下
部ベルト車１５２が固定され、回転軸１４４には幅方向
に間隔をおいて複数個の下流下部ベルト車１５４が固定
され、回転軸１４６には幅方向に間隔をおいて複数個の
中間部ベルト車１５６が固定され、そして回転軸１４８
には幅方向に間隔をおいて複数個の上部ベルト車１５８
が固定されている。

【００３２】中央下部ベルト車１５２の各々と中間部ベ
ルト車１５６の各々とには、無端内側ベルト１６０が巻
き掛けられている。また、上流下部ベルト車１５０の各
々、上部ベルト車１５８の各々、下流下部ベルト車１５
４の各々及び中間部ベルト車１５６の各々には、無端外
側ベルト１６２が巻き掛けられている。図１から明確に
理解される通り、内側ベルト１６０と外側ベルト１６２
は協働して、基板４０の上面の上方を先ず上方に延び、
次いで方向逆転して下方に延びる略Ｕ字形状のフィルム
搬送径路を規定する。かような片側ベルト機構１３６は
電動モータでよい駆動源（図示していない）に駆動連結
されており、矢印１６４で示す方向に回転駆動せしめら
れる。

【００３３】図１及び図５を参照して説明を続けると、
上記回転軸１４２に近接してその幾分下流側には、実質
上水平に延びる支持軸１６６が配設されている。かかる
支持軸１６６は、その両端部を上下方向に延びる細長い
スロット１６８内に挿入せしめることによって、実線で
示す最下降位置と２点鎖線で示す最上昇位置との間を移
動自在に装着されている。そして、この支持軸１６６
に、上記補助案内ローラ３６が幅方向に間隔をおいて複
数個回転自在に装着されている。上記補助ローラ２８と
補助案内ローラ３６との間に基板４０が存在しない時に
は、補助案内ローラ３６は実線で示す最下降位置に位置
し、補助ローラ２８に接触せしめられている。補助ロー
ラ２８と補助案内ローラ３６との間に基板４０が進入せ
しめられると、補助案内ローラ３６（及びその支持軸１
６６）は基板４０の厚さ分だけ上昇せしめられる。

【００３４】図１を参照して他側（下側）ベルト機構１
３８について説明すると、静止基枠（図示していない）
には、基板４０の搬送方向及び上下方向に適宜の間隔を
おいて、実質上水平に延びる４本の回転軸１７０、１７
２、１７４及び１７６が回転自在に装着されている。回
転軸１７０には幅方向に間隔をおいて複数個の上流下部
ベルト車１７８が固定され、回転軸１７２には幅方向に
間隔をおいて複数個の上流上部ベルト車１８０が固定さ
れ、回転軸１７４には幅方向に間隔をおいて複数個の下
流下部ベルト車１８２が固定され、そして回転軸１７６
には幅方向に間隔をおいて複数個の下流上部ベルト車１
８４が固定されている。

【００３５】上流下部ベルト車１７８の各々と上流上部
ベルト車１８０の各々とには、無端上流側ベルト１８６
が巻き掛けられ、下流下部ベルト車１８２の各々と下流
上部ベルト車１８４の各々とには、無端下流側ベルト１
８８が巻き掛けられている。上流側ベルト１８６と下流
側ベルト１８８とは協働して実質上鉛直に下方に延びる
フィルム搬送路を規定する。かような他側ベルト機構１
３８も電動モータでよい駆動源（図示していない）に駆
動連結されており、矢印１６４で示す方向に回転駆動さ
れる。

【００３６】図１を参照して説明を続けると、気体噴射
手段１３４は、片側（上側）気体噴射手段１９０と他側
（下側）気体噴射手段１９２を含んでいる。図１と共に
図６を参照して説明すると、片側気体噴射手段１９０は
幅方向に実質上水平に延在する中空円筒部材１９４を有
する。この円筒部材１９４の両端には閉鎖片１９６が固
定されており、かかる閉鎖片には直方体形状の被支持突
起１９８が形成されている。被支持突起１９８を上下方
向に延びる細長いスロット２００内に挿入することによ
って、円筒部材１９４は実線で示す最下降位置と２点鎖
線で示す最上昇位置との間を上下方向に移動自在に、し
かしながら回転不能に支持されている。円筒部材１９４
の上流側面には、幅方向に間隔をおいて複数個の気体噴
射孔２０２が形成されている。円筒部材１９４は、可撓
性ホースの如き適宜の連通手段（図示していない）によ
って圧縮気体供給源（図示していない）に接続されてお
り、圧縮空気でよい圧縮気体が気体噴射孔２０２から噴
射せしめられる。

【００３７】図示の実施形態においては、更に、上記円
筒部材１９４に、上述した補助ローラ３８が幅方向に間
隔をおいて複数個回転自在に装着されている。かかる補
助ローラ３８と搬送ローラ２０との間に基板４０が存在
しない時には、補助ローラ３８は実線で示す最下降位置
に位置し、搬送ローラ２０に接触せしめられている。補
助ローラ３８と搬送ローラ２０との間に基板４０が進入
せしめられると、補助ローラ３８及び円筒部材１９４
は、基板４０の厚さ分だけ上昇せしめられる。かように
円筒部材１９４はその下側を通して搬送せしめられる基
板４０の厚さに応じて上昇せしめられ、従って基板４０
の厚さが変化しても基板４０の表面に対する円筒部材１
９４、更に詳しくはその気体噴射孔２０２の位置は実質
上変化することがなく、基板４０の表面に対する気体噴
射孔２０２から噴射せしめられる気体の作用は実質上変
化することなく所望関係に維持され続ける。

【００３８】図１と共に図５を参照して説明すると、他
側（下側）気体噴射手段１９２は、実質上水平に延びる
中空円筒部材２０４を有する。かかる円筒部材２０４の
両端は、適宜の閉鎖片によって閉じられていると共に所
要位置に固定されている。円筒部材２０４の上流側面に
は、幅方向に間隔をおいて複数個の気体噴射孔２０６が
形成されている。かかる円筒部材２０４も可撓性ホース
でよい連通手段（図示していない）によって圧縮気体供
給源（図示していない）に接続されており、圧縮空気で
よい圧縮気体が気体噴射孔２０６から噴射せしめられ
る。円筒部材２０４には、上記補助ローラ２８が幅方向
に間隔をおいて複数個回転自在に装着されている。

【００３９】上述した通りの剥離手段６の作用は次の通
りである。主として図１を参照して説明すると、上面及
び下面に貼着されている保護フィルム５９の前端部が端
部分離手段４の作用によって部分的に分離された状態
で、基板４０が搬送されてくると、基板４０の上面側に
おいては、片端（上側）気体噴射手段１９０から、更に
詳しくは円筒部材１９４の気体噴射孔２０２から噴射さ
れた圧縮気体流が、基板４０とそこから部分的に分離さ
れた保護フィルム５９の前端部との間に吹き付けられ、
これによって保護フィルム５９の分離が促進され、そし
てまた分離された保護フィルム５９の前端部が上方に偏
向せしめられる。

【００４０】上方に偏向せしめられた保護フィルム５９
は、矢印４２で示す方向に回転せしめられている補助案
内ローラ３６の周表面に接触せしめられ、かかる補助案
内ローラ３６に案内されて片側（上側）ベルト機構１３
６の内側ベルト１６０と外側ベルト１６２との間に導か
れる。しかる後においては、内側ベルト１６０及び外側
ベルト１６２の協働によって保護フィルム５９が矢印１
６４で示す方向に積極的に搬送され、基板４０の搬送に
応じて保護フィルム５９が基板４０から漸次剥離され
る。内側ベルト１６０と外側ベルト１６２との協働によ
って基板４０から完全に剥離された保護フィルム５９
は、更に矢印１６４で示す方向に搬送され続け、片側ベ
ルト機構１３６の下方を基板４０が通過した後に、図１
に矢印２０８で示す如く、基板４０の搬送径路を通して
下方に搬送されて、他側（下側）ベルト機構１３８に導
かれる。そして更に他側ベルト機構１３８によって下方
に搬送されて、収集箱（図示していない）内に排出され
る。

【００４１】基板４０の上面に貼着されている保護フィ
ルム５９の上述した通りの剥離作用に関しては、補助案
内ローラ３６の存在が着目されるべきである。特に基板
４０が比較的薄い時に、基板４０の表面と片側ベルト機
構１３６における内側ベルト１６０の最下端部との間
に、幾分かの間隙が存在する。それ故に、補助案内ロー
ラ３６が存在しない場合には、基板４０から剥離された
保護フィルム５９の前端部が、内側ベルト１６０と外側
ベルト１６２との間に所要通りに導入されることなく、
基板４０と内側ベルト１６０の最下端部との間に進入し
てしまうおそれが少なくない。然るに、基板４０の厚さ
に応じて昇降され常に基板４０の上面に接触せしめられ
る補助案内ローラ３６は、保護フィルム５９の前端部が
内側ベルト１６０の最下端部の下方に進入するのを防止
し、保護フィルム５９の前端部を内側ベルト１６０と外
側ベルト１６２との間に確実に案内する。

【００４２】基板４０の下面側においては、他側（下
側）気体噴射手段１９２から、更に詳しくは円筒部材２
０４の気体噴射孔２０６から噴射された圧縮気体流が、
基板４０とそこから部分的に分離された保護フィルム５
９の前端部との間に吹き付けられ、これによって保護フ
ィルム５９の分離が促進され、そしてまた分離された保
護フィルム５９の前端部が下方に偏向せしめられる。下
方に偏向せしめられた保護フィルム５９は、他側（下
側）ベルト機構１３８の上流側ベルト１８６と下流側ベ
ルト１８８との間に導かれる。しかる後においては、上
流側ベルト１８６及び下流側ベルト１８８の協働によっ
て保護フィルム５９が矢印１６４で示す方向に積極的に
搬送され、基板４０の搬送に応じて保護フィルム５９が
基板４０から漸次剥離される。上流側ベルト１８６と下
流側ベルト１８８との協働によって基板４０から完全に
剥離された保護フィルム５９は、更に矢印１６４で示す
方向に搬送され続けて、他側ベルト機構１３８の下方に
配設されている収集箱（図示していない）内に排出され
る。

【００４３】以上、本発明に従って構成されたフィルム
剥離装置の実施形態について添付図面を参照して詳細に
説明したが、本発明はかかる実施形態に限定されるもの
ではなく、本発明の範囲を逸脱することなく種々の変形
乃至修正が可能であることは多言を要しない。例えば、
図示の実施形態においては、基板４０を実質上水平な状
態で搬送しているが、所望ならば、基板４０を実質上鉛
直な状態にせしめて搬送し、かかる基板４０の片面又は
両面に対して端部分離手段４及び剥離手段６を作用せし
めることもできる。

【００４４】また、図示の実施形態においては、端部分
離手段４において上下方向に移動自在に装着されている
副支持枠体７８に上側圧接ローラ９２、９４、９６及び
９８並びに上側案内ローラ１００及び１０２を装着して
いるが、所望ならば図示の実施形態の場合とは逆に上下
方向に移動自在に装着されている副支持枠体７８に下側
圧接ローラ１１６、１１８、１２０及び１２２並びに下
側案内ローラ１２４及び１２６を装着することもでき
る。

【００４５】更に、図示の実施形態における端部分離手
段４においては、圧接ローラ９２、９４、９６及び９８
並びに１１６、１１８、１２０及び１２２の両側に夫々
１個の案内ローラ１００及び１０２並びに１２４及び１
２６を配設しているが、所望ならば夫々の両側に複数個
の案内ローラを配設し、そして幅方向外側から内側に向
けて案内ローラ対間の間隙が漸次小さくなるように構成
することもできる。また、片側ベルト機構１３６或いは
他側ベルト機構１３８によって搬送される保護フィルム
５９が帯電されることによってその円滑な搬送が阻害さ
れることを回避するために、所望ならば、例えば片側ベ
ルト機構１３６の保護フィルム搬送径路の出口近傍或い
は他側ベルト機構１３８の保護フィルム搬送径路の出口
近傍等に、接地された除電ブラシの如き除電手段を配設
することもできる。また、片側ベルト機構１３６から他
側ベルト機構１３８に保護フィルム５９が円滑に搬送さ
れるように、両者間に適宜の案内部材を配設することも
できる。

【００４６】

【発明の効果】本発明のフィルム剥離装置によれば、基
板の剛性が比較的小さい場合であっても、端部分離位置
の上流側の回転搬送部材から下流側の回転搬送部材に基
板が所望のとおり充分円滑且つ確実に搬送せしめられ
る。その結果、基板の損失が回避され、稼働効率が向上
せしめられる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に従って構成されたフィルム剥離装置の
実施形態を示す簡略側面図。

【図２】図１のフィルム剥離装置における主として端部
分離手段を示す部分斜面図。

【図３】図１のフィルム剥離装置における端部分離手段
の一部を示す部分正面部。

【図４】図１のフィルム剥離装置における端部分離手段
の一部を示す部分断面図。

【図５】図１のフィルム剥離装置における剥離手段の一
部を示す部分斜面図。

【図６】図１のフィルム剥離装置における剥離手段の片
側気体噴射手段を示す部分斜面図。

【符号の説明】

２ 基板搬送手段 ４ 端部分離手段 ６ 剥離手段 ２８ 補助ローラ ３６ 補助案内ローラ ３８ 補助ローラ ４０ 基板 ４６ 案内手段 ４８ 支持アーム ５０ 案内ローラ ５４ クランプ手段 ５９ 保護フィルム ６０ 主支持枠体 ７０ シリンダ機構（幅方向移動手段） ７８ 副支持枠体 ９２、９４、９６、９８ 圧接ローラ １００、１０２ 案内ローラ １１６、１１８、１２０、１２２ 圧接ローラ １２４、１２６ 案内ローラ １３２ フィルム剥離搬送手段 １３４ 気体噴射手段 １３６ 片側ベルト機構 １３８ 他側ベルト機構 １５０ 上流下部ベルト車 １５２ 中央下部ベルト車 １５４ 下流下部ベルト車 １５６ 中間部ベルト車 １５８ 上部ベルト車 １６０ 内側ベルト １６２ 外側ベルト １９０ 片側気体噴射手段 １９２ 他側気体噴射手段 １９４ 円筒部材 ２０２ 気体噴射孔 ２０４ 円筒部材 ２０６ 気体噴射孔

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 少なくとも片面にはフィルムが貼着され
   ている基板を実質上水平な状態で、該基板の前端部が端
   部分離位置に位置せしめられるまで所定方向に搬送せし
   めて一旦停止せしめ、そして更に該基板を該所定方向に
   搬送するための基板搬送手段と、該基板の幅方向に移動
   せしめられて該端部分離位置に停止せしめられている該
   基板の該前端部に作用して該フィルムの前端部を該基板
   から部分的に分離せしめるための端部分離手段と、該前
   端部が該基板から部分的に分離された該フィルムを該基
   板から完全に分離せしめる剥離手段とを具備し、該基板
   搬送手段は該端部分離位置の上流側に配設された回転搬
   送部材及び該端部分離位置の下流側に配設された回転搬
   送部材を含む、フィルム剥離装置において、 該基板搬送手段は、更に、該端部分離手段が該基板の幅
   方向に移動せしめられるときには、該端部分離手段の移
   動を妨げない後退位置に位置せしめられ、該基板が該端
   部分離位置から該所定方向に搬送されるときには該基板
   の下面を案内する案内位置に位置せしめられる案内手段
   を含む、ことを特徴とするフィルム剥離装置。
2. 【請求項２】 該案内手段は回転自在な案内ローラから
   構成されている、請求項１記載のフィルム剥離装置。
3. 【請求項３】 該案内ローラは、一端を中心に該後退位
   置と該案内位置との間を旋回自在な支持アームの他端に
   回転自在に装着されている、請求項２記載のフィルム剥
   離装置。