JPWO2019031125A1 - 蛍光x線分析の測定方法及び蛍光x線分析の測定装置 - Google Patents
蛍光x線分析の測定方法及び蛍光x線分析の測定装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2019031125A1 JPWO2019031125A1 JP2019535033A JP2019535033A JPWO2019031125A1 JP WO2019031125 A1 JPWO2019031125 A1 JP WO2019031125A1 JP 2019535033 A JP2019535033 A JP 2019535033A JP 2019535033 A JP2019535033 A JP 2019535033A JP WO2019031125 A1 JPWO2019031125 A1 JP WO2019031125A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- measured
- polynomial
- fluorescent
- liquid
- metal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/22—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material
- G01N23/223—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material by irradiating the sample with X-rays or gamma-rays and by measuring X-ray fluorescence
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
- G01N1/28—Preparing specimens for investigation including physical details of (bio-)chemical methods covered elsewhere, e.g. G01N33/50, C12Q
- G01N1/38—Diluting, dispersing or mixing samples
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
- G01N2223/07—Investigating materials by wave or particle radiation secondary emission
- G01N2223/076—X-ray fluorescence
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
Description
1.各種金属濃度の測定方法
1−1.検量線多項式決定工程
1−2.液種補正多項式決定工程
1−3.比重補正多項式決定工程
1−4.金属濃度測定工程
1−5.希釈工程
2.他の実施形態に係る各種金属濃度の測定方法
3.各種金属濃度の測定装置
3−1.サンプリング手段
3−2.蛍光X線強度測定手段
3−3.比重測定手段
3−4.記憶手段
3−5.算出手段
3−6.希釈手段
4.他の実施形態に係る各種金属濃度の測定装置
図1は、本発明の一実施形態に係る各種金属濃度の測定方法の概略を示す工程図である。本発明の一実施形態に係る各種金属濃度の測定方法は、1種類以上の添加剤と金属を含有する被測定液に含まれる測定対象金属の各種金属濃度を蛍光X線強度測定値に基づいて測定する蛍光X線分析の測定方法である。そして、本発明の一実施形態に係る各種金属濃度の測定方法は、図1に示すように、検量線多項式決定工程S11、液種補正多項式決定工程S12、比重補正多項式決定工程S13及び金属濃度測定工程S14を有することを特徴とする。
検量線多項式決定工程S11から説明する。まず、蛍光X線強度を用いて定量を行うためには、X線強度と測定対象金属の各種金属濃度で検量線を作成し、多項式の近似曲線を算出する必要がある。具体的には、上記検量線多項式決定工程S11は、測定対象金属のみが含まれ添加剤は含まれない溶液の測定対象金属の濃度を変化させた検量線基準溶液を3種類以上作成し、それぞれ蛍光X線強度を測定し検量線強度A1,A2...,Anとし、(但しnは3以上の整数とする)、上記検量線基準溶液の測定対象金属の濃度を縦軸の値、上記検量線強度A1,A2...,Anを横軸の値としてグラフ上に3点以上の点をプロットし、上記グラフから多項式近似式を算出し、上記多項式近似式を検量線多項式と決定する。
(検量線多項式)
Au濃度(g/L)=1.07781277×10−10×(X線強度)2+4.89087647×10−5×(X線強度)−3.31795782×10−2・・・(1)
そこで、液種補正多項式決定工程S12にて、上記基準液及び上記液種補正用溶液の上記金属濃度を変化させて、X線強度に対して上記液種補正係数をプロットしたものを多項式で近似した近似曲線を用いて補正を行う。具体的には、上記検量線基準溶液各々に、上記被測定液を使用する際に含有させる上記添加剤の濃度と同じ濃度の上記添加剤を加えた液種補正基準溶液を3種類以上作成し、それぞれ蛍光X線強度を測定し液種補正強度B1,B2...,Bnとし、上記検量線強度A1,A2...,Anを用いて、式A1/B1,A2/B2...,An/Bnで表される値を液種補正係数C1,C2...,Cnとし、上記液種補正係数C1,C2...,Cnを縦軸の値、上記液種補正強度B1,B2...,Bnを横軸の値としてグラフ上に3点以上の点をプロットし、上記グラフから多項式近似式を算出し、上記多項式近似式を液種補正多項式と決定する。(但しnは3以上の整数とする)。
(めっき用処理液(I)液種補正多項式)
めっき用処理液(I)補正多項式=−1.176304401×10−20×(X線強度)4+3.734773138×10−15×(X線強度)3−3.918288266×10−10×(X線強度)2+ 1.269494772×10−5×(X線強度)+1.220713864・・・(2)
(めっき用処理液(II)液種補正多項式)
めっき用処理液(II)液種補正多項式=−1.15601383×10−20×(X線強度)4+2.833635253×10−15×(X線強度)3−2.370999176×10−10×(X線強度)2+4.169263348×10−6×(X線強度)+1.560132796・・・(3)
本発明の一実施形態に係る各種金属濃度の測定方法は、図1に示すように、比重補正多項式決定工程S13を有する。当該比重補正多項式決定工程S13は、上記被測定液の比重の違いによる測定値の誤差を補正するための多項式近似式を決定する。
(比重補正多項式)
比重補正多項式=−4.13956122×103×(比重)3+1.32499699×104×(比重)2−1.41314434×104×(比重)+5022.89613・・・(4)
金属濃度測定工程S14は、上記検量線多項式決定工程S11、上記液種補正多項式決定工程S12及び上記比重補正多項式決定工程S13により決定した多項式近似式を用いて上記測定対象金属の各種金属濃度を測定する工程である。以下、図10を用いながら金属濃度測定工程S14について、詳細に説明する。
また、上記検量線多項式決定工程S11の前に、さらに上記被測定液を希釈して希釈被測定液を得る希釈工程S10を有しても良い。希釈工程S10を有する場合は、検量線多項式決定工程S11及び液種補正多項式決定工程S12で用いる各種の基準溶液と、サンプリング工程S21でサンプリングする被測定液を希釈する。なお、比重補正多項式決定工程S13では希釈液ではなく原液を使用する。
式=−2.23810709×10−9×(X線強度)2+1.03856703×10−5×(X線強度)+ 0.96462610
次に他の実施形態に係る各種金属濃度の測定方法について説明する。他の実施形態に係る各種金属濃度の測定方法は、1種類以上の添加剤と金属を含有する被測定液に含まれる測定対象金属の各種金属濃度を蛍光X線強度測定値に基づいて測定する。そして、図11に示すように、上記測定方法は、希釈工程S31と、検量線多項式決定工程S32と、液種補正係数決定工程S33と、金属濃度測定工程S34を有する。
I=I0e−μx
(I0:照射された光子数,I:物質通過後の光子数,μ:物質毎の係数,x:距離)
で表される。μは測定対象外成分毎の係数、xは測定対象外成分の濃度もしくは測定対象金属の濃度となる。
次に、本発明の一実施形態に係る蛍光X線分析の測定装置について説明する。図13は、本発明の一実施形態に係る蛍光X線分析の測定装置100の概略を示すブロック図である。以下で説明するように、本発明の一実施形態に係る蛍光X線分析の測定方法を装置に組み込み、本発明の一実施形態に係る蛍光X線分析の測定装置100とすることが可能である。
サンプリング手段101は、めっき用処理液などの被測定液107をサンプリングし、蛍光X線強度測定手段102及び比重測定手段103に被測定液107を送る。
蛍光X線強度測定手段102では、サンプリング手段101から受け取った被測定液107の上記蛍光X線強度測定値を測定する。測定手段としては、溶液中の元素にX線を当て、各元素に固有の蛍光X線を発生させ、上記発生させたX線を検出器でとらえ、X線強度を測定する。一般的な蛍光X線装置を用い、一般的な条件により測定すればよい。
比重測定手段103では、サンプリング手段101から受け取った被測定液107の比重測定値を測定する。測定手段としては、一般的な比重測定装置を用い、一般的な条件により測定すればよい。
記憶手段104には、上記測定対象金属の検量線の多項式近似式である検量線多項式と、上記測定対象金属の上記蛍光X線強度測定値に対して、上記添加剤を含有することによる測定値の誤差を補正するための多項式近似式である液種補正多項式と、上記測定対象金属の蛍光X線強度測定値に対して、上記被測定液の比重の違いによる測定値の誤差を補正するための多項式近似式である比重補正多項式からなる多項式群が記憶されている。
算出手段105は、上記蛍光X線強度測定値、上記比重測定値及び上記多項式群を用いて上記各種金属濃度を算出する。具体的な算出方法としては、上記金属濃度測定工程S14に示す方法を用いることができる。算出手段105としては、演算装置などの算出器により算出して補正を行う。上記を算出するには、ソフトウェア化(プログラム化)することが好ましい。
さらに、図13に示すように、サンプリング手段101の後に被測定液を希釈する希釈手段108を用いても良い。希釈手段108は、サンプリング手段101によりサンプリングされた被測定液を希釈する。希釈方法は、「1−5.希釈工程」で説明した通りである。
他の実施形態に係る各種金属濃度の測定装置は、1種類以上の複数の添加剤と金属を含有する被測定液に含まれる測定対象金属の各種金属濃度を蛍光X線強度測定値に基づいて測定する。他の実施形態に係る各種金属濃度の測定装置は、図13に示すように、上記被測定液を希釈する希釈手段108と、上記蛍光X線強度測定値を測定する蛍光X線強度測定手段102と、記憶手段104と、算出手段105とを備える。なお、「3.各種金属濃度の測定装置」と重複する記載は割愛する。
実施例1では、被測定液に複数の添加剤と測定対象金属としてAu及びCoを含有しためっき液を用いた。また、上記めっき液の金属濃度は、ICP(高周波誘導結合プラズマ)発光分析により測定を行い、その濃度はそれぞれAu:3.21g/L、Co:174mg/Lであった。蛍光X線分析は、上記の金属濃度が既知の被測定液を用い、上記検量線多項式決定工程S11により上記めっき液の検量線多項式を決定し、上記液種補正多項式決定工程S12により上記めっき液の液種補正多項式を決定し、上記比重補正多項式決定工程S13により上記めっき液の比重補正多項式を決定し、上記金属濃度測定工程S14により上記めっき液の金属濃度を測定した。
実施例2では、上記めっき液の金属濃度を変え、Au:4.16g/L、Co:157mg/Lとした。その他の測定方法は実施例1と同様とした。以上の結果を表2に示す。
実施例3では、被測定液に複数の添加剤と測定対象金属としてAuを含有しためっき液を用いた。また、上記めっき液の金属濃度は、ICP(高周波誘導結合プラズマ)発光分析により測定を行い、その濃度はAu:3.13g/Lであった。上記の金属濃度が既知の被測定液を用い、希釈工程S31にて、その被測定液の濃度が60ppmになるように希釈した。そして、上記検量線多項式決定工程S31により上記めっき液の検量線多項式を決定し、液種補正係数決定工程S33により測定値の誤差を補正するための補正係数を決定し、比重補正多項式決定工程は行わず、金属濃度測定工程S34により上記めっき液の金属濃度を10回測定した。以上の結果を表3に示す。
比較例1では、実施例1のめっき液について、本発明の蛍光X線分析の測定方法を用いず、サンプリングした上記めっき液の蛍光X線強度を上記検量線多項式Xに代入して算出した金属濃度を分析結果とした。以上の結果を表4に示す。
比較例2では、実施例2のめっき液について、本発明の蛍光X線分析の測定方法を用いず、サンプリングした上記めっき液の蛍光X線強度を上記めっき液の検量線多項式に代入して算出した金属濃度を分析結果とした。以上の結果を表5に示す。
比較例3では、実施例3のめっき液について、本発明の一実施形態に係る蛍光X線分析の測定方法を用いず、サンプリングした希釈無の上記めっき液の蛍光X線強度を実施例3の検量線多項式Xに代入して算出した金属濃度を分析結果とした。以上の結果を表6に示す。
S31 希釈工程、S32 検量線多項式決定工程、S33 液種補正係数決定工程、S34 金属濃度測定工程
100 蛍光X線分析の測定装置、101 サンプリング手段、102 蛍光X線強度測定手段、103 比重測定手段、104 記憶手段、105 算出手段、106 制御部、107 被測定液、108 希釈手段
Claims (9)
- 1種類以上の添加剤と金属を含有する被測定液に含まれる測定対象金属の各種金属濃度を蛍光X線強度測定値に基づいて測定する蛍光X線分析の測定方法であって、
前記測定対象金属の検量線の多項式近似式を決定する検量線多項式決定工程と、
前記測定対象金属の前記蛍光X線強度測定値に対して、前記添加剤を含有することによる測定値の誤差を補正するための多項式近似式を決定する液種補正多項式決定工程と、
前記測定対象金属の前記蛍光X線強度測定値に対して、前記被測定液の比重の違いによる測定値の誤差を補正するための多項式近似式を決定する比重補正多項式決定工程と、
前記検量線多項式決定工程、前記液種補正多項式決定工程及び前記比重補正多項式決定工程により決定した多項式近似式を用いて前記測定対象金属の各種金属濃度を測定する金属濃度測定工程を有することを特徴とする蛍光X線分析の測定方法。 - 前記検量線多項式決定工程は、
前記測定対象金属のみが含まれ前記添加剤は含まれない溶液の前記測定対象金属の濃度を変化させた検量線基準溶液を3種類以上作成し、それぞれの蛍光X線強度を測定し検量線強度A1,A2...,Anとし、
前記検量線基準溶液の前記測定対象金属の濃度を縦軸の値、前記検量線強度A1,A2...,Anを横軸の値としてグラフ上に3点以上の点をプロットし、
前記グラフから多項式近似式を算出し、前記多項式近似式を検量線多項式とすることを特徴とする請求項1に記載の蛍光X線分析の測定方法。
(但しnは3以上の整数とする) - 前記液種補正多項式決定工程は、
前記検量線基準溶液各々に、前記被測定液を使用する際に含有させる前記添加剤の濃度と同じ濃度の前記添加剤を加えた液種補正基準溶液を3種類以上作成し、それぞれ蛍光X線強度を測定し液種補正強度B1,B2...,Bnとし、
式A1/B1,A2/B2...,An/Bnで表される値を液種補正係数C1,C2...,Cnとし、前記液種補正係数C1,C2...,Cnを縦軸の値、前記液種補正強度B1,B2...,Bnを横軸の値としてグラフ上に3点以上の点をプロットし、
前記グラフから多項式近似式を算出し、前記多項式近似式を液種補正多項式とすることを特徴とする請求項2に記載の蛍光X線分析の測定方法。
(但しnは3以上の整数とする) - 前記比重補正多項式決定工程は、
前記測定対象金属の濃度を、前記被測定液を使用する際の濃度とし、前記添加剤の濃度を変化させた比重補正基準溶液を3種類以上作成し、それぞれ蛍光X線強度を測定し第1比重補正強度D1,D2...,Dmとし、それぞれ比重を測定し基準比重E1,E2...,Emとし、
前記第1比重補正強度D1,D2...,Dmを前記液種補正多項式に代入し得られた前記液種補正係数をそれぞれの前記第1比重補正強度D1,D2...,Dmに乗じた値を第2比重補正強度F1,F2...,Fmとし、
前記比重補正基準溶液のうち、前記添加剤の濃度が前記被測定液を使用する際に含有させる濃度と同じである前記比重補正基準溶液の蛍光X線強度を測定し第3比重補正強度Dpとし、
前記第3比重補正強度Dpを前記液種補正多項式に代入し得られた前記液種補正係数を前記第3比重補正強度Dpに乗じた値を第4比重補正強度Gpとし、
式Gp/F1,Gp/F2...,Gp/Fmで表される値を比重補正係数H1,H2...,Hmとし、
前記比重補正係数H1,H2...,Hmを縦軸の値、前記基準比重E1,E2...,Emを横軸の値としてグラフ上に3点以上の点をプロットし、前記グラフから多項式近似式を算出し、前記多項式近似式を比重補正多項式とすることを特徴とする請求項3に記載の蛍光X線分析の測定方法。
(但しmは3以上の整数とする) - 前記金属濃度測定工程は、
前記被測定液の蛍光X線強度を測定し第1測定強度とする蛍光X線強度測定工程と、
前記被測定液の比重を測定し測定比重とする比重測定工程と、
前記蛍光X線強度、前記比重、前記検量線多項式、前記液種補正多項式及び前記比重補正多項式を用いて前記測定対象金属の濃度を算出する金属濃度算出工程とを有し、
前記金属濃度算出工程は、前記第1測定強度を前記液種補正多項式に代入し得られた前記液種補正係数に前記第1測定強度を乗じた値を第2測定強度とし、前記測定比重を前記比重補正多項式に代入し得られた前記比重補正係数を前記第2測定強度に乗じた値を第3測定強度とし、前記第3測定強度を前記検量線多項式に代入し算出した前記測定対象金属の濃度を前記被測定液の前記測定対象金属の濃度の測定結果とすることを特徴とする請求項4に記載の蛍光X線分析の測定方法。 - 前記検量線多項式決定工程の前に、さらに前記被測定液を希釈して希釈被測定液を得る希釈工程を有し、
前記希釈被測定液を用いて、少なくとも前記液種補正多項式決定工程を行うことを特徴とする請求項1に記載の蛍光X線分析の測定方法。 - 1種類以上の添加剤と金属を含有する被測定液に含まれる測定対象金属の各種金属濃度を蛍光X線強度測定値に基づいて測定する蛍光X線分析の測定方法であって、
前記被測定液を希釈して希釈被測定液を得る希釈工程と、
前記測定対象金属の検量線の多項式近似式を決定する検量線多項式決定工程と、
前記測定対象金属の前記蛍光X線強度測定値に対して、前記添加剤を含有することによる測定値の誤差を補正するための補正係数を決定する液種補正係数決定工程と、
前記検量線多項式決定工程により決定した多項式近似式と、前記液種補正係数決定工程により決定した補正係数を用いて前記測定対象金属の各種金属濃度を測定する金属濃度測定工程を有し、
前記希釈工程では、前記測定対象金属の濃度が10〜200ppmになるように希釈することを特徴とする蛍光X線分析の測定方法。 - 1種類以上の複数の添加剤と金属を含有する被測定液に含まれる測定対象金属の各種金属濃度を蛍光X線強度測定値に基づいて測定する蛍光X線分析の測定装置であって、
前記蛍光X線強度測定値を測定する蛍光X線強度測定手段と、
前記被測定液の比重測定値を測定する比重測定手段と、
記憶手段と、
算出手段とを備え、
前記記憶手段は、前記測定対象金属の検量線の多項式近似式である検量線多項式と、
前記測定対象金属の前記蛍光X線強度測定値に対して、前記添加剤を含有することによる測定値の誤差を補正するための多項式近似式である液種補正多項式と、
前記測定対象金属の蛍光X線強度測定値に対して、前記被測定液の比重の違いによる測定値の誤差を補正するための多項式近似式である比重補正多項式からなる多項式群が記憶されており、
前記算出手段は、前記蛍光X線強度測定値、前記比重測定値及び前記多項式群を用いて前記各種金属濃度を算出することを特徴とする蛍光X線分析の測定装置。 - 1種類以上の複数の添加剤と金属を含有する被測定液に含まれる測定対象金属の各種金属濃度を蛍光X線強度測定値に基づいて測定する蛍光X線分析の測定装置であって、
前記被測定液を希釈する希釈手段と、
前記蛍光X線強度測定値を測定する蛍光X線強度測定手段と、
記憶手段と、
算出手段とを備え、
前記記憶手段は、前記被測定液に含まれる金属の濃度が10〜200ppmに希釈される希釈式と、
前記測定対象金属の検量線の多項式近似式である検量線多項式と、
前記測定対象金属の前記蛍光X線強度測定値に対して、前記添加剤を含有することによる測定値の誤差を補正するための補正係数が記憶されており、
前記算出手段は、前記蛍光X線強度測定値、前記補正係数を用いて前記各種金属濃度を算出することを特徴とする蛍光X線分析の測定装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017152517 | 2017-08-07 | ||
JP2017152517 | 2017-08-07 | ||
PCT/JP2018/025552 WO2019031125A1 (ja) | 2017-08-07 | 2018-07-05 | 蛍光x線分析の測定方法及び蛍光x線分析の測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2019031125A1 true JPWO2019031125A1 (ja) | 2020-07-02 |
JP7111719B2 JP7111719B2 (ja) | 2022-08-02 |
Family
ID=65272204
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019535033A Active JP7111719B2 (ja) | 2017-08-07 | 2018-07-05 | 蛍光x線分析の測定方法及び蛍光x線分析の測定装置 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11047814B2 (ja) |
JP (1) | JP7111719B2 (ja) |
KR (1) | KR102457523B1 (ja) |
CN (1) | CN110998300B (ja) |
TW (1) | TWI776923B (ja) |
WO (1) | WO2019031125A1 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102019120494A1 (de) * | 2019-07-30 | 2021-02-04 | Endress+Hauser Conducta Gmbh+Co. Kg | Verfahren zur Überprüfung, Verifizierung, Kalibrierung oder Justierung eines automatischen Analysegeräts |
KR20230149943A (ko) | 2022-04-21 | 2023-10-30 | 사단법인 패션산업시험연구원 | 금 합금의 비파괴 함량 분석방법 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57179732A (en) * | 1981-04-30 | 1982-11-05 | Sumitomo Metal Ind Ltd | Apparatus for analysis of plating liquid |
JPS585639A (ja) * | 1981-06-30 | 1983-01-13 | Sumitomo Metal Ind Ltd | メッキ液成分濃度測定方法 |
JPS60164239A (ja) * | 1984-02-06 | 1985-08-27 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 螢光x線メツキ液分析装置 |
US4577338A (en) * | 1982-11-01 | 1986-03-18 | Xertex Corporation | X-Ray fluorescence spectrometer and method of calibrating the same |
JPH08178875A (ja) * | 1994-12-20 | 1996-07-12 | Sumitomo Rubber Ind Ltd | ゴム防着剤の濃度測定方法 |
JP2011075542A (ja) * | 2009-09-07 | 2011-04-14 | Rigaku Corp | 蛍光x線分析方法 |
JP2013137273A (ja) * | 2011-12-28 | 2013-07-11 | Techno X Co Ltd | 蛍光x線分光装置及び蛍光x線分析装置 |
JP2015001482A (ja) * | 2013-06-17 | 2015-01-05 | 住友金属鉱山株式会社 | 蛍光x線分析装置を用いた定量分析方法 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4988464A (en) | 1989-06-01 | 1991-01-29 | Union Carbide Corporation | Method for producing powder by gas atomization |
JPH03221852A (ja) | 1990-01-26 | 1991-09-30 | Central Glass Co Ltd | TiB↓2中の酸素の簡易分析方法 |
US5272745A (en) * | 1992-05-14 | 1993-12-21 | A.H.S. Consultants & Engineers, Inc. | Apparatus for analyzing, continuously flowing dry powder samples, by means of X-ray spectroscopy |
KR100939196B1 (ko) * | 2001-08-30 | 2010-01-28 | 이노스펙 리미티드 | 조성물 |
CN1947003B (zh) * | 2004-04-28 | 2010-12-29 | 松下电器产业株式会社 | 荧光x射线分析方法及荧光x射线分析装置 |
IL180482A0 (en) * | 2007-01-01 | 2007-06-03 | Jordan Valley Semiconductors | Inspection of small features using x - ray fluorescence |
CN101059456A (zh) * | 2007-05-31 | 2007-10-24 | 中国铝业股份有限公司 | 一种x射线荧光光谱法测定氟化铝中元素的方法 |
WO2009134924A1 (en) * | 2008-04-30 | 2009-11-05 | Thermo Niton Analyzers Llc | In vivo measurement of trace elements in bone by x-ray fluorescence |
JP2011099749A (ja) * | 2009-11-05 | 2011-05-19 | Horiba Ltd | 濃度計測方法及び蛍光x線分析装置 |
EP3018471B1 (en) * | 2014-11-04 | 2017-06-21 | Amorepacific Corporation | Method for quantitative analysis of heavy metals |
WO2017073124A1 (ja) * | 2015-10-29 | 2017-05-04 | 株式会社堀場製作所 | 液体試料分析装置、液体試料分析方法、記録媒体、検量装置および検量方法 |
-
2018
- 2018-07-05 KR KR1020207003550A patent/KR102457523B1/ko active IP Right Grant
- 2018-07-05 WO PCT/JP2018/025552 patent/WO2019031125A1/ja active Application Filing
- 2018-07-05 US US16/636,314 patent/US11047814B2/en active Active
- 2018-07-05 JP JP2019535033A patent/JP7111719B2/ja active Active
- 2018-07-05 CN CN201880050982.1A patent/CN110998300B/zh active Active
- 2018-07-17 TW TW107124617A patent/TWI776923B/zh active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57179732A (en) * | 1981-04-30 | 1982-11-05 | Sumitomo Metal Ind Ltd | Apparatus for analysis of plating liquid |
JPS585639A (ja) * | 1981-06-30 | 1983-01-13 | Sumitomo Metal Ind Ltd | メッキ液成分濃度測定方法 |
US4577338A (en) * | 1982-11-01 | 1986-03-18 | Xertex Corporation | X-Ray fluorescence spectrometer and method of calibrating the same |
JPS60164239A (ja) * | 1984-02-06 | 1985-08-27 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 螢光x線メツキ液分析装置 |
JPH08178875A (ja) * | 1994-12-20 | 1996-07-12 | Sumitomo Rubber Ind Ltd | ゴム防着剤の濃度測定方法 |
JP2011075542A (ja) * | 2009-09-07 | 2011-04-14 | Rigaku Corp | 蛍光x線分析方法 |
JP2013137273A (ja) * | 2011-12-28 | 2013-07-11 | Techno X Co Ltd | 蛍光x線分光装置及び蛍光x線分析装置 |
JP2015001482A (ja) * | 2013-06-17 | 2015-01-05 | 住友金属鉱山株式会社 | 蛍光x線分析装置を用いた定量分析方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR102457523B1 (ko) | 2022-10-20 |
JP7111719B2 (ja) | 2022-08-02 |
KR20200035403A (ko) | 2020-04-03 |
CN110998300A (zh) | 2020-04-10 |
US20210164925A1 (en) | 2021-06-03 |
WO2019031125A1 (ja) | 2019-02-14 |
TW201910758A (zh) | 2019-03-16 |
US11047814B2 (en) | 2021-06-29 |
TWI776923B (zh) | 2022-09-11 |
CN110998300B (zh) | 2022-12-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPWO2019031125A1 (ja) | 蛍光x線分析の測定方法及び蛍光x線分析の測定装置 | |
van Rossum et al. | A method for optimization and validation of moving average as continuous analytical quality control instrument demonstrated for creatinine | |
JP5522584B2 (ja) | Icp発光分光分析方法 | |
JP2010223908A (ja) | 蛍光x線分析方法 | |
JP6754326B2 (ja) | プラズマ分光分析方法 | |
JP2015001482A (ja) | 蛍光x線分析装置を用いた定量分析方法 | |
RU2584064C1 (ru) | Способ рентгенофлуоресцентного определения содержания примесей конструкционных материалов | |
Bocca et al. | Uncertainty evaluation in the analysis of biological samples by sector field inductively coupled plasma mass spectrometry. Part A: measurements of Be, Cd, Hg, Ir, Pb, Pd, Pt, Rh, Sb, U, Tl and W in human serum | |
KR101908807B1 (ko) | 금속 시료의 성분 측정 장치 및 방법 | |
CN104316511A (zh) | 火花源原子发射光谱分析中谱线干扰的校正方法 | |
JP4434026B2 (ja) | プラズマイオン源質量分析装置を用いた同位体比分析方法 | |
CN110132188B (zh) | 一种基于多元素x射线特征光谱综合分析的涂渗层厚度计算方法 | |
CN112378895A (zh) | 一种原油含水率测量方法及系统、存储介质、设备 | |
JP5874108B2 (ja) | 蛍光x線分析装置 | |
JP2012068145A (ja) | 検量線作成方法 | |
JP4523958B2 (ja) | 蛍光x線分析装置およびそれに用いるプログラム | |
CN111551579B (zh) | 一种利用空白校正确定x射线背景强度的方法 | |
Machado et al. | Alternative Approaches Applied to Inductively Coupled Plasma Techniques: Multi-Flow and Two-Flow Calibration | |
JP2001324476A (ja) | 誘導結合プラズマ質量分析方法 | |
JP4111805B2 (ja) | X線分析装置 | |
Dronov et al. | Concentration‐Gradient‐Method for sulphur and strontium isotope ratio determination by quadrupole‐based inductively coupled plasma mass spectrometry in gypsum | |
JP2007240196A (ja) | 標準メッキ膜試料およびメッキ膜検査方法 | |
JP7233756B2 (ja) | 蛍光x線分析装置 | |
Balasubramanian et al. | Element analysis with fundamental parameters using an XRF spectrum analysis matlab algorithm | |
JP2009222427A (ja) | 合金の組成分析方法及び組成分析装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20190912 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210609 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220705 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220721 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7111719 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |