JPWO2018147147A1 - 部品実装システムおよび部品実装方法 - Google Patents
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Abstract
Description
基板に部品を実装する部品実装システムであって、
前記部品を供給する部品供給部と、
前記基板における前記部品が実装される実装面が鉛直下方を向く姿勢で前記基板を保持する基板保持部と、
鉛直下方から前記部品を保持するヘッドと、
前記部品を保持する前記ヘッドを鉛直上方へ移動させることにより前記ヘッドを前記基板保持部に近づけて前記基板の前記実装面に前記部品を実装するヘッド駆動部と、を備える。
基板に対してモールドを押し付けた状態で前記モールドに載置された樹脂を硬化させる樹脂成形装置であって、
前記基板における樹脂部を形成する形成面が鉛直下方を向く姿勢で前記基板を保持する基板保持部と、
鉛直下方から前記モールドを保持するヘッドと、
前記ヘッドを前記基板における前記樹脂部が形成される位置に対向させてから前記ヘッドを鉛直上方へ移動させることにより前記ヘッドを前記基板保持部に近づけて前記基板の鉛直下方から前記モールドを押し付けるヘッド駆動部と、
前記モールドを前記基板に押し付けた状態で前記モールドに載置された樹脂を硬化させる樹脂硬化部と、を備える。
モールドに樹脂を載置する樹脂載置装置であって、
前記モールドが内側に配置されるチャンバと、
前記チャンバ内に存在する気体を排気することにより前記チャンバ内の真空度を高める真空源と、
前記モールドに樹脂を吐出する樹脂吐出部と、
前記真空源により前記チャンバ内の真空度が高められた状態で、前記樹脂吐出部により前記モールドに樹脂を吐出させた後、前記モールドの周囲を大気圧環境下にする際、前記モールドを加熱することにより前記モールドに載置された前記樹脂の温度を上昇させるモールド加熱部と、を備える。
基板に部品を実装する部品実装方法であって、
部品供給部が、前記部品を供給する部品供給ステップと、
基板保持部が、前記基板における前記部品が実装される実装面が鉛直下方を向く姿勢で前記基板を保持する基板保持ステップと、
ヘッドが、鉛直下方から前記部品を保持する部品保持ステップと、
前記ヘッドと前記基板保持部とを近づけることにより前記基板の前記実装面に前記部品を実装する部品実装ステップと、を含む。
基板に対してモールドを押し付けた状態で前記モールドに載置された樹脂を硬化させる樹脂成形方法であって、
基板保持部が、基板における樹脂部を形成する形成面が鉛直下方を向く姿勢で前記基板を保持する基板保持ステップと、
ヘッドが、鉛直下方から前記モールドを保持するモールド保持ステップと、
ヘッド駆動部が、前記ヘッドを前記基板における前記樹脂部が形成される位置に対向させてから前記ヘッドと前記基板保持部とを近づけて前記基板の鉛直下方から前記モールドを押し付けるモールド押し付けステップと、
樹脂硬化部が、前記モールドを前記基板に押し付けた状態で前記モールドに載置された樹脂を硬化させる樹脂硬化ステップと、を含む。
以下、本発明の実施の形態に係る部品実装システムであるチップ実装システムについて、図面を参照しながら説明する。
本実施の形態に係る樹脂成形装置は、紫外線硬化樹脂からなる樹脂が載置された型部材(以下、「モールド」と称する。)を基板に押し付けた状態で紫外線を照射して樹脂部を硬化させるシステムである。この樹脂成形装置を使用することにより、基板上に樹脂から形成された微細な構造を作製することができる。
以上、本発明の各実施の形態について説明したが、本発明は前述の実施の形態の構成に限定されるものではない。例えば、実施の形態1に係るチップ実装システム1について、ステージ31の上方に基板WTおよびチップCPを透過する光を放射する光源が配置された構成であってもよい。この場合、第1撮像部35a、35bは、ステージ31上方に配置された光源から放射され基板WT、チップCPを透過した透過光を用いてアライメントマークMC1a、MC1b、MC2a、MC2bを含む画像を取得するようにすればよい。また、実施の形態2に係る樹脂成形装置2についても、ステージ2031の下方に基板WTおよびモールドMを透過する光を放射する光源が配置された構成であってもよい。この場合、第1撮像部35a、35bは、ステージ31下方に配置された光源から放射され基板WT、モールドMを透過した透過光を用いてアライメントマークMM1a、MM1b、MM2a、MM2bを含む画像を取得するようにすればよい。
Claims (59)
- 基板に部品を実装する部品実装システムであって、
前記部品を供給する部品供給部と、
前記基板における前記部品が実装される実装面が鉛直下方を向く姿勢で前記基板を保持する基板保持部と、
鉛直下方から前記部品を保持するヘッドと、
前記部品を保持する前記ヘッドを鉛直上方へ移動させることにより前記ヘッドを前記基板保持部に近づけて前記基板の前記実装面に前記部品を実装するヘッド駆動部と、を備える、
部品実装システム。 - 前記部品供給部は、
シートに貼着されたダイシングされた基板であるダイシング基板を、前記シートが前記ダイシング基板の鉛直上方に位置する姿勢で保持するシート保持部と、
前記ダイシング基板を構成する部品を、前記シートにおける鉛直上方側から鉛直下方へ切出すことにより供給する切出機構と、を有する、
請求項1に記載の部品実装システム。 - 前記部品供給部から供給される前記部品を前記ヘッドに前記部品を受け渡す受け渡し位置まで搬送する部品搬送部を更に備える、
請求項1または2に記載の部品実装システム。 - 前記部品搬送部は、前記部品の周部を、前記部品における前記基板に実装される側を鉛直上方に向けた状態で上面側を保持して前記部品を搬送する、
請求項3に記載の部品実装システム。 - 前記部品供給部から供給される部品の上下を反転させる部品反転部と、
前記部品反転部から上下反転した前記部品を受け取り前記部品搬送部へ渡す部品受け渡し部と、を更に備え、
前記部品搬送部は、
一端部に前記部品を保持する部品保持部が設けられ、前記部品供給部と前記ヘッドとの間に位置する他端部を基点として一端部が旋回する偶数個のプレートを有し、
前記偶数個のプレートのうちのいずれか1つの一端部が鉛直方向において前記ヘッドと重複する第1状態において、前記ヘッド駆動部による前記ヘッドに保持された部品の前記基板への実装と、前記部品供給部から前記部品反転部への部品の供給と、前記部品受け渡し部から前記部品搬送部への部品の受け渡しと、が実行され、
前記偶数個のプレートの一端部が鉛直方向において前記ヘッドと重複しない第2状態において、前記ヘッド駆動部による前記基板への前記部品の実装と、前記部品反転部による前記部品の反転と、前記部品受け渡し部による前記部品反転部からの前記部品の受け取りと、が実行される、
請求項4に記載の部品実装システム。 - 前記プレートは、
前記部品における前記基板に実装される側に水を供給することにより前記部品における前記基板に実装される側に水を付着させる水供給部と、前記部品における前記基板に実装される側を洗浄するクリーニング部と、の少なくとも一方 を有する、
請求項5に記載の部品実装システム。 - 前記部品が前記基板における前記部品が実装される位置に配置された状態で、前記部品の鉛直下側から、前記部品の第1アライメントマークを撮像する第1撮像部を更に備える、
請求項1乃至6のいずれか1項に記載の部品実装システム。 - 前記部品が前記基板における前記部品が実装される位置に配置された状態で、前記基板の鉛直上方から、前記基板の第2アライメントマークを撮像する第2撮像部を更に備える、
請求項1乃至7のいずれか1項に記載の部品実装システム。 - 前記基板と前記部品とが接触した状態で、前記部品の第1アライメントマークと前記基板の第2アライメントマークとを撮像して得られる画像から、前記基板と前記部品との相対位置誤差を算出し、前記相対位置誤差に応じて、前記ヘッド駆動部および前記基板保持部に、前記基板に対する前記部品の位置および姿勢を補正させる制御部を更に備える、
請求項7または8に記載の部品実装システム。 - 前記ヘッド駆動部は、前記部品を保持する前記ヘッドを鉛直上方へ移動させることにより前記ヘッドを前記基板保持部に近づけて前記基板の前記実装面に前記部品を接触させることにより前記部品を前記基板に面接合させる、
請求項1乃至9のいずれか1項に記載の部品実装システム。 - 前記基板の前記実装面および前記部品における前記基板に実装される側を親水化処理する親水化処理装置を更に備え、
前記ヘッド駆動部は、前記親水化処理装置により親水化処理された前記基板の前記実装面に前記部品を接触させることにより前記部品を前記基板に接合させる、
請求項10に記載の部品実装システム。 - 前記部品における前記基板に実装される側に少なくとも水を供給することにより前記部品における前記基板に実装される側に少なくとも水を付着させる水供給部を更に備え、
前記水供給部は、前記部品が前記部品供給部から供給された後、前記部品が前記ヘッドに保持されて前記基板の前記実装面に接触するまでの間に、前記部品における前記基板に実装される側に水を供給する、
請求項10または11に記載の部品実装システム。 - 前記部品における前記基板に実装される側を洗浄するクリーニング部を更に備え、
前記クリーニング部は、前記部品が前記部品供給部から供給された後、前記部品が前記ヘッドに保持されて前記基板の前記実装面に接触するまでの間に、前記部品における前記基板に実装される側を洗浄する、
請求項12に記載の部品実装システム。 - 一端部に前記水供給部と前記クリーニング部との少なくとも一方が設けられ、他端部を基点として一端部が旋回する複数のプレートを有する供給部を更に備える、
請求項13に記載の部品実装システム。 - 前記部品は、直方体状であり、前記基板に接合される接合面の外周部に形成された切欠部を有し、
前記部品搬送部は、吸着部と、前記吸着部の周囲に突設され突出量が前記切欠部の前記接合面に直交する方向における高さよりも大きい突出部と、を有する部品保持部を有し、
前記部品保持部は、前記突出部の先端部を前記切欠部に当接させた状態で、前記吸着部により前記部品を吸着することにより、前記部品を保持する、
請求項3乃至6のいずれか1項に記載の部品実装システム。 - 前記実装面と前記部品との間の距離と前記部品の前記実装面に対する傾きとの少なくとも一方を調整する部品姿勢調整部を更に備える、
請求項1乃至15のいずれか1項に記載の部品実装システム。 - 前記基板の前記実装面と、平坦面を有する前記部品の前記平坦面と、の間の距離を測定する距離測定部を更に備え、
前記ヘッド駆動部は、前記距離測定部により測定された距離に基づいて、前記部品を保持する前記ヘッドを、前記基板を保持する前記基板保持部に近づける、
請求項16に記載の部品実装システム。 - 前記距離測定部は、前記平坦面における3つ以上の箇所において、前記実装面と前記平坦面との間の距離を測定し、
前記部品姿勢調整部は、前記距離測定部により測定された前記実装面と前記平坦面との間の距離に基づいて、前記実装面と前記部品との間の距離と前記部品の前記実装面に対する傾きとの少なくとも一方を調整する、
請求項17に記載の部品実装システム。 - 前記部品姿勢調整部は、前記ヘッドを支持する複数のピエゾアクチュエータを有し、前記複数のピエゾアクチュエータを個別に伸縮させることにより、前記実装面と前記部品との間の距離と前記部品の前記実装面に対する傾きとの少なくとも一方を調整する、
請求項16乃至18のいずれか1項に記載の部品実装システム。 - 前記ヘッドは、
前記部品の周部を保持する周部保持部と、
前記部品の中央部を鉛直上方へ向かって押圧する押圧部と、を有し、
前記ヘッド駆動部は、前記周部保持部が前記部品の周部を保持し且つ前記押圧部が前記部品の中央部を押圧することにより前記部品の中央部が前記部品の周部に比べて前記基板側へ突出するように撓んだ状態で、前記基板の前記実装面に前記部品の中央部から接触させる、
請求項1乃至19のいずれか1項に記載の部品実装システム。 - 前記部品は、前記基板に接合される接合面を有し、
前記ヘッドは、前記部品を保持し前記基板の前記実装面に対する前記部品の前記接合面の傾きが可変である傾き可変保持部を有し、
前記ヘッド駆動部は、前記傾き可変保持部が前記実装面に対して前記接合面を傾けて前記部品を保持した状態で、前記基板の前記実装面に前記部品の前記接合面の端縁から接触させる、
請求項1乃至19のいずれか1項に記載の部品実装システム。 - 前記ヘッドに設けられ、前記ヘッドが前記基板に予め設定された距離まで近づいた状態で、前記基板に当接して前記基板との間に気密な空間を形成するキャップと、
前記空間に存在する気体を排気することにより前記空間の真空度を高める真空源と、を更に備え、
前記ヘッド駆動部は、前記キャップを前記基板に当接させた状態で、前記キャップ内の真空度を高めた後、前記ヘッドを前記基板保持部に近づけて前記基板の前記実装面に前記部品を実装する、
請求項1乃至21のいずれか1項に記載の部品実装システム。 - 基板に対してモールドを押し付けた状態で前記モールドに載置された樹脂を硬化させる樹脂成形装置であって、
前記基板における樹脂部を形成する形成面が鉛直下方を向く姿勢で前記基板を保持する基板保持部と、
鉛直下方から前記モールドを保持するヘッドと、
前記ヘッドを前記基板における前記樹脂部が形成される位置に対向させてから前記ヘッドを鉛直上方へ移動させることにより前記ヘッドを前記基板保持部に近づけて前記基板の鉛直下方から前記モールドを押し付けるヘッド駆動部と、
前記モールドを前記基板に押し付けた状態で前記モールドに載置された樹脂を硬化させる樹脂硬化部と、を備える、
樹脂成形装置。 - 前記ヘッド駆動部を制御して、前記ヘッドを前記基板における前記樹脂部が形成される位置に対向させてから前記ヘッドを鉛直上方へ移動させることにより前記ヘッドを前記基板保持部に近づけて前記基板の鉛直下方から前記モールドを押し付けた後、前記樹脂硬化部を制御して、前記モールドを前記基板に押し付けた状態で前記モールドに載置された樹脂を硬化させることを繰り返すことにより、前記基板に複数の硬化した樹脂部を形成する制御部を更に備える、
請求項23に記載の樹脂成形装置。 - 前記ヘッドを前記基板における前記樹脂部が形成される位置に対向させた状態で、前記モールドの鉛直下方または前記基板の鉛直上方から、前記モールドの第3アライメントマークおよび前記基板の第4アライメントマークを撮像する撮像部と、
前記モールドを前記基板に押し付けた状態で、前記第3アライメントマークと前記第4アライメントマークとを撮像することにより、前記基板と前記モールドとの相対位置誤差を算出し、前記相対位置誤差に応じて、前記ヘッド駆動部および/または前記基板保持部に、前記基板に対する前記モールドの位置および姿勢を補正させる制御部と、を更に備え、
前記制御部は、前記モールドを、前記モールドに載置された樹脂を介して前記基板に接触させた状態で、前記基板に対する前記モールドの位置および姿勢を補正させる、
請求項23または24に記載の樹脂成形装置。 - 前記樹脂部は、紫外線硬化樹脂からなり、
前記樹脂硬化部は、前記モールドに載置された樹脂に紫外線を照射することにより前記モールドに載置された樹脂を硬化させる紫外線照射部から構成され、
前記基板または前記モールドは、紫外線に対して透明であり、
前記樹脂硬化部は、前記基板の鉛直上方または前記モールドの鉛直下方から前記モールドに載置された樹脂に紫外線を照射する、
請求項23乃至25のいずれか1項に記載の樹脂成形装置。 - 前記形成面と前記モールドとの間の距離と前記モールドの前記形成面に対する傾きとの少なくとも一方を調整するモールド姿勢調整部を更に備える、
請求項23乃至26のいずれか1項に記載の樹脂成形装置。 - 前記基板の前記形成面と、平坦面を有する前記モールドの前記平坦面と、の間の距離を測定する距離測定部を更に備え、
前記ヘッド駆動部は、前記距離測定部により測定された距離に基づいて、前記モールドを保持する前記ヘッドを、前記基板を保持する前記基板保持部に近づける、
請求項27に記載の樹脂成形装置。 - 前記距離測定部は、前記平坦面における3つ以上の箇所において、前記形成面と前記平坦面との間の距離を測定し、
前記モールド姿勢調整部は、前記距離測定部により測定された前記形成面と前記平坦面との間の距離に基づいて、前記形成面と前記モールドとの間の距離と前記モールドの前記形成面に対する傾きとの少なくとも一方を調整する、
請求項28に記載の樹脂成形装置。 - 前記モールド姿勢調整部は、前記ヘッドを支持する複数のピエゾアクチュエータを有し、前記複数のピエゾアクチュエータを個別に伸縮させることにより、前記形成面と前記モールドとの間の距離と前記モールドの前記形成面に対する傾きとの少なくとも一方を調整する、
請求項27乃至29のいずれか1項に記載の樹脂成形装置。 - 前記モールド姿勢調整部は、前記基板の中央部に前記モールドを押し付ける場合と前記基板の周部に前記モールドを押し付ける場合とで、前記モールドの姿勢を異ならせる、
請求項27乃至30のいずれか1項に記載の樹脂成形装置。 - 前記ヘッドに保持された前記モールドに樹脂を吐出する樹脂吐出部を更に備え、
前記ヘッド駆動部は、前記樹脂吐出部により前記モールドに樹脂が載置された状態で、前記ヘッドを前記基板における前記樹脂部が形成される位置に対向させてから前記ヘッドを鉛直上方へ移動させることにより前記ヘッドを前記基板保持部に近づけて前記樹脂部の鉛直下方から前記モールドを押し付ける、
請求項23乃至31のいずれか1項に記載の樹脂成形装置。 - 前記樹脂は、紫外線硬化樹脂であり、
前記モールドを加熱するモールド加熱部を更に備える、
請求項23に記載の樹脂成形装置。 - 前記モールドを振動させる加振部を更に備える、
請求項32または33に記載の樹脂成形装置。 - 前記樹脂吐出部に設けられ、前記樹脂吐出部が前記モールドに予め設定された距離まで近づいた状態で、前記モールドの外周部に当接して前記モールドとの間に気密な空間を形成するキャップと、
前記樹脂吐出部から前記ヘッドに保持された前記モールドに樹脂を吐出させる際、前記空間に存在する気体を排気することにより前記空間の真空度を高める真空源と、を備える、
請求項32に記載の樹脂成形装置。 - 前記モールドに設けられ、前記モールドが前記基板に予め設定された距離まで近づいた状態で、前記基板に当接して前記基板との間に気密な空間を形成するキャップと、
前記空間に存在する気体を排気することにより前記空間の真空度を高める真空源と、を更に備え、
前記ヘッド駆動部は、前記キャップを前記基板に当接させた状態で、前記キャップ内の真空度を高めた後、前記モールドを前記基板に押し当てる、
請求項32に記載の樹脂成形装置。 - 前記真空源により前記空間の真空度が高められた状態で、前記モールドに樹脂を吐出させた後、前記モールドの周囲を大気圧環境下にする際、前記モールドを加熱することにより前記モールドに載置された前記樹脂の温度を上昇させるモールド加熱部を更に備える、
請求項35または36に記載の樹脂成形装置。 - 前記真空源により前記空間の真空度が高められた状態で、前記モールドに樹脂を吐出させる際、前記モールドを冷却するモールド冷却部を更に備える、
請求項37に記載の樹脂成形装置。 - 前記モールド加熱部は、ヒータを有し、
前記モールド冷却部は、ペルチェ素子を有する、
請求項38に記載の樹脂成形装置。 - 基板に対してモールドを押し付けた状態で前記モールドに載置された樹脂を硬化させる樹脂成形装置であって、
前記基板における樹脂部を形成する形成面が鉛直下方を向く姿勢で前記基板を保持する基板保持部と、
鉛直下方から前記モールドを保持するヘッドと、
前記ヘッドを前記基板における前記樹脂部が形成される位置に対向させてから前記基板保持部を鉛直下方へ移動させることにより前記基板保持部を前記ヘッドに近づけて前記基板の鉛直下方から前記モールドを押し付ける基板保持部駆動部と、
前記モールドを前記基板に押し付けた状態で前記モールドに載置された樹脂を硬化させる樹脂硬化部と、を備える、
樹脂成形装置。 - モールドに樹脂を載置する樹脂載置装置であって、
前記モールドが内側に配置されるチャンバと、
前記チャンバ内に存在する気体を排気することにより前記チャンバ内の真空度を高める真空源と、
前記モールドに樹脂を吐出する樹脂吐出部と、
前記真空源により前記チャンバ内の真空度が高められた状態で、前記樹脂吐出部により前記モールドに樹脂を吐出させた後、前記モールドの周囲を大気圧環境下にする際、前記モールドを加熱することにより前記モールドに載置された前記樹脂の温度を上昇させるモールド加熱部と、を備える、
樹脂載置装置。 - 前記真空源により前記チャンバ内の真空度が高められた状態で、前記樹脂吐出部により前記モールドに樹脂を吐出させる際、前記モールドを冷却するモールド冷却部を更に備える、
請求項41に記載の樹脂載置装置。 - 基板に部品を実装する部品実装方法であって、
部品供給部が、前記部品を供給する部品供給ステップと、
基板保持部が、前記基板における前記部品が実装される実装面が鉛直下方を向く姿勢で前記基板を保持する基板保持ステップと、
ヘッドが、鉛直下方から前記部品を保持する部品保持ステップと、
前記ヘッドと前記基板保持部とを近づけることにより前記基板の前記実装面に前記部品を実装する部品実装ステップと、を含む、
部品実装方法。 - 前記部品供給ステップにおいて、前記部品が前記部品供給部から供給された後、前記部品実装ステップにおいて、前記ヘッドに保持された前記部品が前記基板の前記実装面に接触するまでの間に、水供給部が、前記部品における前記基板に実装される側に水を供給する水供給ステップを更に含む、
請求項43に記載の部品実装方法。 - 前記部品供給ステップにおいて、前記部品が前記部品供給部から供給された後、前記部品実装ステップにおいて、前記ヘッドに保持された前記部品が前記基板の前記実装面に接触するまでの間に、クリーニング部が、前記部品における前記基板に実装される側を洗浄する部品洗浄ステップを更に含む、
請求項43または44に記載の部品実装方法。 - 基板に対してモールドを押し付けた状態で前記モールドに載置された樹脂を硬化させる樹脂成形方法であって、
基板保持部が、基板における樹脂部を形成する形成面が鉛直下方を向く姿勢で前記基板を保持する基板保持ステップと、
ヘッドが、鉛直下方から前記モールドを保持するモールド保持ステップと、
ヘッド駆動部が、前記ヘッドを前記基板における前記樹脂部が形成される位置に対向させてから前記ヘッドと前記基板保持部とを近づけて前記基板の鉛直下方から前記モールドを押し付けるモールド押し付けステップと、
樹脂硬化部が、前記モールドを前記基板に押し付けた状態で前記モールドに載置された樹脂を硬化させる樹脂硬化ステップと、を含む、
樹脂成形方法。 - 前記ヘッド駆動部が、前記ヘッドを前記基板における前記樹脂部が形成される位置に対向させてから前記ヘッドを鉛直上方へ移動させることにより前記ヘッドを前記基板保持部に近づけて前記基板の鉛直下方から前記モールドを押し付けるモールド押し付けステップと、
前記樹脂硬化部が、前記モールドを前記基板に押し付けた状態で前記モールドに載置された樹脂を硬化させる樹脂硬化ステップと、を繰り返すことにより、前記基板に複数の硬化した樹脂部を形成する、
請求項46に記載の樹脂成形方法。 - 撮像部が、前記モールドを前記基板に押し付けて、前記ヘッドを前記基板における前記樹脂部が形成される位置に対向させた状態で、前記モールドの鉛直下方または前記基板の鉛直上方から、前記モールドの第3アライメントマークおよび前記基板の第4アライメントマークを撮像する撮像ステップと、
制御部が、前記第3アライメントマークと前記第4アライメントマークとに基づいて、前記基板と前記モールドとの相対位置誤差を算出し、前記相対位置誤差に応じて、前記ヘッド駆動部および/または基板保持部により、前記基板に対する前記モールドの位置および姿勢を補正する補正ステップと、を更に含み、
前記補正ステップにおいて、前記モールドを、前記樹脂を介して前記基板に押し付けた状態で、前記基板に対する前記モールドの位置および姿勢を補正する、
請求項46または47に記載の樹脂成形方法。 - 前記モールド押し付けステップにおいて、距離測定部が、前記基板の前記形成面と、外周部に平坦面を有する前記モールドの前記平坦面と、の間の距離を測定し、前記ヘッド駆動部が、前記距離測定部により測定された距離に基づいて、前記モールドを保持する前記ヘッドを、前記基板を保持する前記基板保持部に近づける、
請求項46乃至48のいずれか1項に記載の樹脂成形方法。 - 前記モールド押し付けステップにおいて、前記距離測定部が、前記平坦面における3つ以上の箇所において、前記形成面と前記平坦面との間の距離を測定し、モールド姿勢調整部が、前記形成面と前記平坦面との間の距離に基づいて、前記形成面と前記平坦面との間の距離と前記平坦面の前記形成面に対する傾きとの少なくとも一方を調整する、
請求項49に記載の樹脂成形方法。 - 樹脂吐出部が、前記ヘッドに保持された前記モールドに樹脂を吐出することにより前記モールドに前記樹脂を載置する樹脂載置ステップを更に含み、
前記モールド押し付けステップにおいて、前記樹脂吐出部により前記モールドに樹脂が注入された状態で、前記ヘッドを前記基板における前記樹脂部が形成される位置に対向させてから前記ヘッドと前記基板保持部とを近づけて前記樹脂部の鉛直下方から前記モールドを押し付ける、
請求項46乃至50のいずれか1項に記載の樹脂成形方法。 - 前記樹脂載置ステップにおいて、紫外線硬化樹脂を前記モールドに載置しているとき、または、紫外線硬化樹脂を前記モールドに載置した後において、前記モールドを加熱して昇温させ、および/または、
前記モールド押し付けステップにおいて、前記モールドの温度を下降させる、
請求項51に記載の樹脂成形方法。 - 前記樹脂載置ステップにおいて、樹脂を前記モールドに載置しているとき、または、樹脂を前記モールドに載置した後において、および/または樹脂を前記基板へ押し当てる際に、前記モールドを振動させる、
請求項51または52に記載の樹脂成形方法。 - 前記樹脂載置ステップにおいて、キャップを前記モールドの外周部または前記樹脂吐出部に当接させて前記モールドとの間に気密な空間を形成し、前記空間に存在する気体を排気することにより前記空間の真空度を高めた状態で、前記ヘッドに保持された前記モールドに樹脂を載置し、その後、前記キャップ内を大気圧に戻す、
請求項51乃至53のいずれか1項に記載の樹脂成形方法。 - 前記樹脂載置ステップにおいて、前記モールドを樹脂載置装置のチャンバの内側に配置し、前記チャンバに存在する気体を排気することにより前記チャンバ内の真空度を予め設定された真空度以上にした状態で、前記モールドに樹脂を載置し、その後、前記チャンバの内側を大気圧に戻し、
前記モールド保持ステップにおいて、樹脂成形装置のヘッドが、前記樹脂載置装置において樹脂が載置された前記モールドを鉛直下方から保持する、
請求項51乃至53のいずれか1項に記載の樹脂成形方法。 - 前記樹脂載置ステップにおいて、前記モールドを真空度の高い環境下に配置してから、前記モールドに前記樹脂を載置し、その後、前記樹脂が載置された前記モールドを大気圧環境下に配置するとともに、前記モールドに載置された前記樹脂の温度を上昇させる、
請求項51乃至55のいずれか1項に記載の樹脂成形方法。 - 前記樹脂載置ステップにおいて、真空度の高い環境下に配置された前記モールドに載置された前記樹脂を冷却する、
請求項56に記載の樹脂成形方法。 - 前記モールドに設けられ、前記モールドが前記基板に予め設定された距離まで近づいた状態で、前記基板に当接して前記基板との間に気密な空間を形成するキャップを、前記基板に当接させた状態で、前記空間に存在する気体を排気することにより前記空間の真空度を高めた後、前記モールドを前記基板に押し当てる、
請求項46乃至57のいずれか1項に記載の樹脂成形方法。 - 前記モールドに載置された樹脂は、熱硬化性樹脂または熱可塑性樹脂であり、
前記モールド押し付けステップにおいて、前記樹脂を加熱し軟化させた状態で、前記基板の鉛直下方から前記モールドを押し付ける、
請求項46乃至58のいずれか1項に記載の樹脂成形方法。
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