JP6412376B2 - チップと基板との接合方法、チップと基板との仮接合装置、チップ実装システム - Google Patents
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Description
また、チップが薄い場合、加熱炉で加圧せずに加熱すると、チップに反りが発生し、チップと基板との接合部が外れるなどの問題もあった。
この方法を用いれば、複数のチップの接合を一括して行うことができるため、製造効率を大幅に高めることが可能となる。
また、ハンダ付けを一括して行うので、基板上のハンダが酸化してしまうのも抑えることが可能となる。
また、図12(b)に示すように、チップCPの厚みのばらつきに応じ、ハンダバンプ200の押し込み量にもばらつきが出てしまう。
したがって、複数のチップを一括して押しつける方法は、生産効率は良いものの、製品品質については向上の余地がある。
そこでなされた本発明の目的は、チップの基板に対する実装位置精度を高めるとともに、高いスループットを得ることのできるチップと基板との接合方法、チップと基板との仮接合装置、チップ実装システムを提供することである。
すなわち、本発明のチップと基板との接合方法は、基板の表面およびチップの少なくとも一方に樹脂層を形成し、前記基板の表面に対して前記チップを対向させる対向配置工程と、前記基板に対して前記チップを接近させ、前記樹脂層を軟化させた状態で、前記チップに設けられたチップ側接合部と前記基板の前記表面に設けられた基板側接合部とを互いに押圧させることによって少なくとも接触させた後、前記樹脂層を仮硬化させて前記チップ側接合部と前記基板側接合部との相対位置を仮決めする仮接合工程と、前記チップ側接合部および前記基板側接合部の少なくとも一方に設けたハンダを加熱して前記チップを前記基板に接合する本接合工程と、を備えることを特徴とする。
樹脂を加熱して樹脂が緩むと、チップ側接合部と基板側接合部との位置がずれる可能性がある。そこで、チップを基板側に押圧することによって、チップ側接合部と基板側接合部との位置ズレを防ぐことができる。
また、複数のチップの厚さにバラつきがある場合、スペーサによってこのバラつきを吸収し、各チップと基板とを均等な圧力で押圧することができる。これにより、複数のチップを確実に基板に接合することができる。
これにより、チップ側接合部と基板側接合部とを押しつけたときに、軟化したハンダが変形し、チップ側接合部と基板側接合部との双方に確実に接触する。
これにより、基板側にハンダを設けた場合に、仮接合時にハンダが酸化してしまうのを防ぐことができる。
ハンダを軟化させた状態で仮接合を行っておくことにより、チップ側接合部と基板側接合部との間に挟み込まれたハンダが、ある程度変形した状態でチップ側接合部と基板側接合部との双方に接触する。したがって、本接合工程においては、バッチ炉等において、加圧することなくハンダを溶融させてハンダ付けを確実に行うことができる。これにより、複数のチップを一括して接合する場合においても、複数のチップを容易かつ確実に基板に実装することができる。
このようにして、樹脂層への接触または押し込み時に生じる基板に対するチップの位置ズレを確実に補正し、チップと基板とを高精度に接合することができる。
ハンダの表面を活性化することによって、ハンダ付けを、例えば150℃といった通常のハンダ付け温度領域よりも低い温度で行うことができる。
これにより、高い圧力を加えることなく、比較的低温で、基板に対しチップを高い導電性及び機械的強度で確実に接合することができる。
このようにして、樹脂層への接触または押し込み時に生じる基板とチップとの相対的な位置ズレを確実に補正し、チップと基板とを高精度に接合することができる。
また、認識部は、基板保持部やチップ保持部に対して、チップまたは基板が保持される側とは反対側に配置されている。つまり、基板保持部とチップ保持部との間に認識部が入り込むことがない。したがって、認識部による認識動作と、基板保持部やチップ保持部による仮接合動作とが干渉することなく、高速での処理が可能となる。
このような構成により、チップ保持部は、基板の表面に沿った方向に進退移動することなく、基板保持部に対して接近離間する方向、つまり基板の表面に直交する方向にのみ進退するので、可動する機構が少なくて済む。これによって、可動する機構のガタや加工精度などによって生じる位置ズレを抑えるとともに、チップ保持部を高剛性とすることができ、基板に対するチップの仮接合動作を、位置ずれなく高圧で加圧して行うことが可能となる。
従来、複数のチップを一括して基板に接合する方法においては、複数のチップの厚さにばらつきがあると、チップの厚さによって基板への押しつけが不十分となったり、過大な押しつけ力によってチップがずれてしまうことがあった。
これに対し、チップ押圧部材を備えることで、複数のチップの厚さにバラつきがある場合、スペーサによってこのバラつきを吸収し、各チップと基板とを均等な圧力で押圧することができる。また、チップを基板側に適切な押圧力で押圧することによって、チップ側接合部と基板側接合部との位置ズレを防ぐことができる。
したがって、スペーサは、弾性変形可能であるのが好ましい。ただし、弾性変形可能な弾性材からなるスペーサによってチップを基板側に押し込む場合、仮接合状態でバンプが接触する位置まで押し込まれていなければ、複数のチップ間で厚みのばらつきもあるため、押し込み時にずれを生じる可能性がある。そこで、弾性材からなるスペーサによってチップを基板側に押し込む場合、仮接合状態で、バンプが接触する位置まで押し込んでおく。
図1は、本実施形態にかかるチップ実装システムの概略構成を示す平面図である。図2は、チップ実装システムを構成するチップ供給装置および仮接合装置の概略構成を示す立断面図である。図3は、仮接合装置において、チップと基板とを対向配置した状態を示す立断面図である。図4は、仮接合装置において、チップを樹脂層に押し込み、基板に仮接合した状態を示す立断面図である。図5は、仮接合装置において、基板上に複数のチップを押し込んで位置合わせした状態を示す立断面図である。図6は、本接合装置において、チップを押圧しながら基板に本接合する状態を示す立断面図である。
なお、図1等においては、便宜上、XYZ直交座標系を用いて方向等を示している。
図1に示すように、チップ実装システム1は、対象の基板WA上に複数のチップCPを接合して実装する。また、チップ実装システム1は、基板WA上に配置された複数のチップCP上に、複数のチップCP等をさらに積層して接合することも可能である。
この実施形態においては、基板WAは半導体ウエハである。ただし、これに限定されず、各基板WAは各種の基板であってもよい。
チップ供給装置10は、ダイシング処理等によってウエハ基板WCから切り出された各チップCPを、仮接合装置30に供給する。なお、ダイシング処理は、複数の電子回路を有する基板WCを縦方向および横方向に切削しチップ化する処理である。
図1、図2に示すように、チップ供給装置10は、ウエハ基板WCから切り出されたチップCPを押し出すダイピッカ11と、押し出されたチップCPを保持し、仮接合装置30側に搬送するチップ移載機構13を備える。
ここで、図3に示すように、ウエハ基板WCは、チップ供給装置10に供給されるに先立ち、リフローハンダ装置等によって、各チップCPの所定位置に設けられた接続電極101の部分に、ハンダバンプ(チップ側接合部)100が形成されている。
仮接合装置30は、チップ供給装置10から供給された複数のチップCPを、基板WA上に形成された樹脂層120によってその位置が仮決めされた状態で、基板WAに仮接合する。
この樹脂層120は、液状、ジェル状で、例えば、熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂(接着剤)、紫外線硬化性樹脂等によって形成されている。樹脂層120は、スピンコーティング手法を用いて形成すれば、非常に容易に樹脂層を形成することができる。なお、これに限定されず、基板WA上に、上記したような樹脂材料からなる樹脂シートを貼付することによって、基板WA上に樹脂層120が形成されるようにしてもよい。これによっても、非常に容易に樹脂層120を形成することができる。
ステージ31は、XY方向駆動機構により、X方向およびY方向に移動可能である。これにより、ボンディング部33とステージ31との相対位置関係を変更することが可能であり、ひいては基板WA上における各チップCPの位置を調整することが可能である。
なお、チップ搬送部39は、チップ供給装置10のチップ移載機構13からチップCPを受け取る位置から、ボンディング部33のヘッド部33Hの直下位置までチップCPを搬送するのであれば、羽根部分391の回転動作によるものに限らず、直線動作等、他の動作による機構によって実現してもよい。
ボンディング部33のヘッド部33Hは、羽根部分391上のチップCPを吸着保持する。チップCPがヘッド部33Hに保持された状態で、チップ搬送部39は、複数枚の羽根部分391は一斉に回転し、チップCPを保持していた羽根部分391がヘッド部33Hの直下位置から退避する。
この後、図4に示すように、ヘッド部33Hを下降させ、保持したチップCPを、ステージ31上の基板WA上に置く。このとき、ステージ31を、ヘッド部33Hに対してXY方向に移動させることにより、チップCPを、基板WA上にセットすることができる。そして、ヘッド部33Hによる吸着を解除することで、チップCPは、基板WA上に載置される。
ここで、図3、図4に示すように、基板WA上には、チップCPを仮止めする樹脂層120が未硬化状態のまま形成されており、ヘッド部33Hで吸着保持されていたチップCPは、この樹脂層120に押し込むことによって基板WA上に保持される。
そして、樹脂層120を形成する樹脂を仮硬化させることによって、チップCPと基板WAをとの相対位置を仮決めすることができる。
この仮決め装置30におけるチップCPと基板WAとの仮接合工程については後に詳述する。
認識部34Bは、ヘッド部33Hに対し、チップCPが保持される側とは反対側、つまり上側に配置されている。これにより、認識部34Bは、チップCPにおいて基板WAと接合される接合面とは反対側である上面側に配置されている。また、認識部34Bは、ヘッド部33Hの外周側に配置されている。認識部34Bは、ハンダバンプ100に対応して複数設けられている。
認識部34A,34Bは、いわゆる赤外線カメラであり、赤外光からなる測定光を照射し、ハンダバンプ100、接続電極部110の位置を撮像して認識する。
ここで、ステージ31、基板WA、各チップCPは、少なくとも赤外光が照射される部位が、赤外光を透過する材料、例えばシリコン(Si)等で形成されている。
制御部は、検出した位置ズレ量に応じて、ステージ51を、XYθ方向駆動機構(図示無し)によって、X方向、Y方向およびθ方向に移動させることで、基板WAの基板WAに対する位置を補正することができる。
図6に示すように、本接合装置50は、基板WAと複数のチップCPとを本接合する装置である。本接合装置50は、ステージ51、チップ押圧部材53等を備える。
また、ステージ51およびチップ押圧部材53は、図示しないヒータを内蔵している。これらのヒータにより、基板WAおよび複数のチップCPを加熱することによって、チップCPと基板WAとをハンダ付けして本接合する。
上記したようなチップ実装システム1においては、以下のようにして複数のチップCPを基板WAに実装する。
図7は、チップ実装システムにおける基板に対するチップの実装工程の流れを示す図である。
まず、図3に示すように、チップ供給装置10から供給されるチップCPを、ボンディング部33のヘッド部33Hが吸着保持する。
これにより、図3に示すように、仮接合装置30において、基板WAの表面に対してチップCPが対向配置される。
チップCPを基板WAに対向配置したら、基板WAに対するチップCPの位置決めを行う。これには、認識部34A,34Bで基板WAとチップCPとの相対位置関係を認識し、その位置ズレ量を検出する。
位置ズレ量があらかじめ設定した上限値を超えた場合には、制御部は、検出した位置ズレ量に応じて、ステージ31を、XY方向駆動機構(図示無し)によって、X方向、Y方向に移動させる。このようにして、ヘッド部33Hに保持されたチップCPに対する基板WAの位置を補正する。
この、測定光の照射による基板WAとチップCPとの位置ズレ量の検出、およびそれに基づく基板WAの位置補正は、位置ズレ量が予め定めた上限値内に収まるまで、必要に応じて繰り返すようにしても良い。
このようにして、基板WAとチップCPとのアライメント動作が実行される。
この後、ヘッド部33Hを下降させ、保持したチップCPを、ステージ31上の基板WAに接近させる。この接近動作に応じて、チップCPのハンダバンプ100が、まず、基板WAに設けられた樹脂層120に接触する。
そして、図4に示すように、ハンダバンプ100が、基板WAに設けられた接続電極部110に接触するまで、ヘッド部33Hを下降させていく。
樹脂層120を加熱する温度が、ハンダバンプ100を形成するハンダ材料の融点近傍である場合には、ハンダ材料の共晶温度以下であっても、ハンダバンプ100が軟化する。これによって、基板WAとチップCPとが加圧されるに応じて、ハンダバンプ100が変形し、ハンダバンプ100は基板WAに確実に密着する。
さらに、樹脂層120を加熱する温度が、ハンダバンプ100を形成するハンダ材料が溶融する温度としてもよい。
チップCPは、上記のようにして樹脂層120に押し込んでいく間に、樹脂層120への接触時、または樹脂層120への押し込み動作中に、その位置がずれることがある。そこで、チップCPのハンダバンプ100を基板WAに突き当てたら、基板WAに対するチップCPの位置確認を行う。
これには、認識部34A,34Bで基板WAとチップCPとの相対位置関係を認識し、その位置ズレ量を検出する。そして、位置ズレ量があらかじめ設定した上限値を超えた場合には、ヘッド部33Hを上昇させ、チップCPを基板WAから離間させる。そして、制御部は、検出した位置ズレ量に応じて、ステージ31を、XY方向駆動機構(図示無し)によって、X方向、Y方向に移動させる。このようにして、ヘッド部33Hに保持されたチップCPに対する基板WAの位置を再補正した後、上記のようにしてチップCPを再び樹脂層120に押し込み、ハンダバンプ100を基板WAに押し込む。また、樹脂層120を形成する樹脂が軟化した状態では、ヘッド部33Hを上昇させてチップCPの押圧力を解放することなく、チップCPを樹脂層120に接触または押し込んだままの状態で、チップCPと基板WAとの相対的な位置補正を行うこともできる。このようにすれば、位置補正を、より短時間で行うことができ、効果的である。
この、測定光の照射による基板WAとチップCPとの位置ズレ量の検出、およびそれに基づく基板WAの位置補正は、位置ズレ量が予め定めた上限値内に収まるまで、必要に応じて繰り返すようにしても良い。
図5に示すように、基板WA上に所定数のチップCPを押し込んで位置合わせした後、樹脂層120を仮硬化させる。これには、樹脂層120を形成する樹脂が熱硬化性樹脂である場合には、例えばヘッド部33Hに内蔵したヒータ(図示無し)によって樹脂層120を熱硬化温度近くまで加熱する。これにより樹脂層120が仮硬化する。また、樹脂層120を形成する樹脂が熱可塑性樹脂である場合には、ヘッド部33Hに内蔵したヒータを切り、温度を低下させることによって、樹脂層120を仮硬化させる。また、樹脂層120を形成する樹脂が光硬化性樹脂の場合、所定波長域の光を照射することで、樹脂層120を仮硬化させる。
樹脂層120が仮硬化すると、樹脂層120中で、基板WAの接続電極部110とチップCPのハンダバンプ100との相対位置が仮決め(拘束)される。このとき、チップ押し込み工程S13〜仮接合工程S15において樹脂層120を加熱する温度が、ハンダバンプ100を形成するハンダ材料が溶融する温度であれば、仮接合を終えた状態でチップCPと基板WAとがハンダバンプ100によっても仮固定されている。これにより、後述する本接合工程S16で本接合を行う際に、チップCPと基板WAとがずれるのを抑えたまま、ハンダバンプ100を溶融および共晶させて接合することができる。
上記のように樹脂層120を仮硬化させる際には、ステージ31側にもヒータを設け、樹脂層120をステージ31側からある程度加熱するようにしてもよい。また、樹脂層120に熱可塑性樹脂を用いる場合、ステージ31側を、より低温または冷却しておけば、チップCPの接触後に、樹脂層120の温度を低下させて仮硬化させることもできる。
次に、複数のチップCPが仮接合された基板WAを、搬送部70の搬送ロボット71によって、本接合装置50に搬送する。
図6に示すように、本接合装置50では、複数のチップCPが仮接合された基板WAがステージ51上にセットされる。そして、ステージ51は、その上面で、仮接合装置30において複数のチップCPが仮接合された基板WAを、真空吸着や静電チャック等によって保持する。
そして、ステージ51およびチップ押圧部材53に内蔵されたヒータ(図示無し)によって、基板WAおよび複数のチップCPを加熱することによってハンダバンプ100を溶融および共晶させ、チップCPと基板WAとをハンダ付けして本接合する。
なお、ハンダバンプ100だけでなく、接合界面となる接続電極部110の表面も同様に表面を活性化する処理を施してもよい。
表面活性化処理には、表面層を除去して接合すべき物質の新生表面を露出させるのみならず、所定の運動エネルギーを有する粒子を衝突させることで、露出された新生表面近傍の結晶構造を乱し、アモルファス化する作用もあると考えられている。アモルファス化した新生表面どうしは、結晶構造が異なる他方との接合に好ましい界面となる。さらに、新生表面に水分を供給すると、OH基により終端された親水化接合界面となる。
親水化処理は、表面活性化処理された接合面を大気に曝すことなく、当該接合面に水を供給することで行うことが好ましい。
また、プラズマに代わり、イオン照射装置(FAB(原子ビーム)やIG(イオンガン))を用いてもよい。表面が複数材料からなる場合、Ar以外の他イオンは接合界面に戻らないため好ましい。
そして、チップCP側、基板WA側の双方から複数のチップCPを一括してハンダ溶融温度以上に加熱してハンダを共晶させて基板WAに接合することにより、ハンダバンプ100と接続電極部110とを、位置ズレを抑えたままハンダ付けして接合することができる。これにより、複数のチップCPを基板WAに、例えば1チップあたり1〜2秒といった、高いスループットで実装するとともに、例えば±2〜3μmといった、高い位置精度で実装することが可能となる。
また、樹脂層120を加熱して樹脂が緩むと、ハンダバンプ100と接続電極部110との位置がずれる可能性があるが、ハンダバンプ100と接続電極部110とを互いに押圧して押しつけることによって、位置ズレを防ぐことができる。
この場合、本接合工程では、チップCPと基板WAとを互いに接近する方向に加圧せずに行うことができる。ハンダバンプ100を軟化させた状態で仮接合を行っておくことにより、ハンダバンプ100が、ある程度変形した状態で接続電極部110に接触する。したがって、本接合工程においては、バッチ炉等において、加圧することなくハンダを溶融させてハンダ付けを確実に行うことができる。これにより、複数のチップCPを効率よく、かつ確実に基板WAに実装することができる。
このようにして、樹脂層120への押し込み時に生じる基板WAに対するチップCPの位置ズレを確実に補正し、チップCPと基板WAとを高精度に接合することができる。
このとき、認識部34A,34Bは、ステージ31およびヘッド部33Hの上下に配置され、ステージ31とヘッド部33Hとの間に入り込むことがない。したがって、認識部34A,34Bによる認識動作と、ステージ31やヘッド部33Hによる仮接合動作とが干渉することなく、高速での処理が可能となる。
また、基板WAを保持するヘッド部33Hは、その直線移動方向が、ステージ31に対して接近離間する方向、つまり基板WAの表面に直交する方向にのみとされている。これにより、ヘッド部33Hは可動する機構が少なくて済む。これによって、可動する機構のガタや加工精度などによって生じる位置ズレを抑えるとともに、ヘッド部33Hを高剛性とすることができ、基板WAに対するチップCPの仮接合動作を、位置ずれなく高圧で加圧して行うことが可能となる。
なお、本発明は、図面を参照して説明した上述の各実施形態に限定されるものではなく、その技術的範囲において様々な変形例が考えられる。
例えば、ハンダバンプ100は、基板WA側の接続電極部110側に設けてもよいし、チップCP側の接続電極部101と基板WA側の接続電極部110の双方に設けてもよい。
ハンダバンプ100を、チップCP側の接続電極部101と基板WA側の接続電極部110の双方に設ける場合、ハンダを共晶させるには、上下で温度差が生じないように、チップCP側と基板WA側の両側から十分に加熱するのが好ましい。
ただし、ハンダバンプ100を基板WA側に設けた場合、仮接合工程S15で樹脂層120を加熱する際に、基板WA側のハンダバンプ100が加熱されて酸化してしまうことがある。そこで、基板WA側を加熱する場合には、ハンダバンプ100の酸化を防ぐために、基板WA側の温度が、150℃以下となるようにするのが好ましく、100℃以下とするのがより好ましい。さらには、基板WA側を加熱しないのが、より好ましい。
また、基板WAを支持するステージ31側において、基板WAを保持する部分を、熱伝導率が小さいガラス製とするのが好ましい。これにより、仮接合工程S15における加熱時に、チップCP側からの熱がステージ31を通して逃げるのを抑えることができ、150℃以下、100℃以下といった低温条件下であっても、樹脂層120を確実に仮硬化させてチップCPを仮接合させることができる。さらには、ステージ31側をガラス製として熱伝導を抑えることによって、基板WA側から加熱しなくとも、接合部の温度を保持することが可能となる。
また、樹脂層120を基板WA側に設けるようにしたが、チップCP側に設けるようにしてもよい。ただし、チップCP側に樹脂層120を設けると、ダイシング時に樹脂層120にパーティクルが入りやすい。
また、チップCPの位置認識を行う場合に、基板WA側に設けた認識部34Aから透過光を当ててチップCPの位置認識を行ってもよい。
そして、図10(b)に示すように、本接合工程S16では、加熱によりハンダバンプ100,111を形成するハンダが溶融および共晶して一体化し、チップCPと基板WAとが本接合される。
これ以外にも、本発明の主旨を逸脱しない限り、上記実施の形態で挙げた構成を取捨選択したり、他の構成に適宜変更したりすることが可能である。
30 仮接合装置
31 ステージ(基板保持部)
33 ボンディング部
33H ヘッド部(チップ保持部)
34A,34B 認識部
35 撮像部(位置ズレ測定部)
50 本接合装置
51 ステージ
53 チップ押圧部材
54 スペーサ
100 ハンダバンプ(チップ側接合部)
110 接続電極部(基板側接合部)
120 樹脂層
CP チップ
WA 基板
Claims (18)
- 基板の表面およびチップの少なくとも一方に樹脂層を形成し、前記基板の表面に対して前記チップを対向させる対向配置工程と、
前記基板に対して前記チップを接近させ、前記樹脂層を軟化させた状態で、前記チップに設けられたチップ側接合部と前記基板の前記表面に設けられた基板側接合部とを互いに押圧させることによって少なくとも接触させた後、前記樹脂層を仮硬化させて前記チップ側接合部と前記基板側接合部との相対位置を仮決めする仮接合工程と、
前記チップ側接合部および前記基板側接合部の少なくとも一方に設けたハンダを加熱して前記チップを前記基板に接合する本接合工程と、
を備え、
前記仮接合工程は、前記ハンダが溶融しない温度で行われることを特徴とするチップと基板との接合方法。 - 前記仮接合工程における仮接合の時間は、2秒以内に行われることを特徴とする請求項1に記載のチップと基板との接合方法。
- 前記本接合工程後の前記チップと前記基板の位置精度が±3μm以内であることを特徴とする請求項1または2に記載のチップと基板との接合方法。
- 前記本接合工程において、複数の前記チップを一つのチップ押圧部材によって一括して前記基板側に押圧し、
前記チップ押圧部材と複数の前記チップとの間には、前記チップを前記基板側に向けて押圧するスペーサが設けられていることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載のチップと基板との接合方法。 - 前記仮接合工程は、前記ハンダが軟化する温度で行われることを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載のチップと基板との接合方法。
- 前記仮接合工程は、前記基板側の温度を150℃以下として行うことを特徴とする請求項5に記載のチップと基板との接合方法。
- 前記本接合工程は、前記チップと前記基板とを互いに接近する方向に加圧せずに行うことを特徴とする請求項1から6のいずれか一項に記載のチップと基板との接合方法。
- 前記仮接合工程で、前記チップが前記樹脂層に接触または押し込まれることによって生じる前記チップの位置ズレ量を認識し、前記位置ズレ量に応じて前記チップの位置を補正することを特徴とする請求項1から7のいずれか一項に記載のチップと基板との接合方法。
- 前記チップ側接合部と前記基板側接合部とを接合するに先立ち、前記チップ側接合部および前記基板側接合部の少なくとも一方の表面を活性化する処理を実行する工程をさらに備える請求項1から8のいずれか一項に記載のチップと基板との接合方法。
- 接合界面を活性化する処理は、運動エネルギーを有した粒子を衝突させることにより表面活性化処理を行うとともに、水またはOH含有物質を付着させることにより親水化処理を行うことを特徴とする請求項9に記載のチップと基板との接合方法。
- チップが接合される接合面に樹脂層が形成された基板を保持する基板保持部と、
前記基板保持部に保持された前記基板に対向し、チップを保持するチップ保持部と、
前記基板保持部と前記チップ保持部とを互いに接近・離間させる駆動部と、
前記基板保持部で保持した前記基板と、前記チップ保持部に保持された前記チップとを前記駆動部により互いに接近させて、前記基板に設けられた基板側接合部と前記チップ側に設けられたチップ側接合部とを、前記チップ側接合部および前記基板側接合部の少なくとも一方に設けたハンダが溶融しない温度で少なくとも接触させることにより前記樹脂層を軟化させ、その後、前記樹脂層を仮硬化させて、前記チップ側接合部と前記基板側接合部との相対位置を仮決めすることを特徴とするチップと基板との仮接合装置。 - 前記チップ側接合部と前記基板側接合部との相対位置を仮決めする時間は、2秒以内に行われることを特徴とする請求項11に記載のチップと基板との仮接合装置。
- 前記基板に設けられた基板側接合部と前記チップ側に設けられたチップ側接合部とを、前記チップ側接合部および前記基板側接合部の少なくとも一方に設けたハンダが軟化する温度で少なくとも接触させることにより前記樹脂層を軟化させることを特徴とする請求項11または12に記載のチップと基板との仮接合装置。
- 前記基板保持部および前記チップ保持部の少なくとも一方に対して、前記チップまたは前記基板が保持される側とは反対側に配置され、前記基板と前記チップとの相対的な位置ズレ量を認識する認識部と、
前記位置ズレ量から前記基板と前記チップとの相対的な補正移動量を計算する制御部と、を備え、
前記補正移動量に応じて、前記基板保持部と前記チップ保持部との相対位置を補正することを特徴とする請求項11から13のいずれか一項に記載のチップと基板との仮接合装置。 - 前記基板保持部は、位置ズレ測定部で測定された前記位置ズレ量に応じ、前記基板の表面に沿った方向に前記基板の位置を調整し、
前記チップ保持部は、直線移動方向が、前記基板保持部に対して接近離間する方向のみとされていることを特徴とする請求項14に記載のチップと基板との仮接合装置。 - 請求項11から15のいずれか一項に記載のチップと基板との仮接合装置と、
前記仮接合装置で相対位置が仮決めされた前記チップ側接合部と前記基板側接合部とを接合することによって前記チップを前記基板に実装する本接合装置と、
を備えるチップ実装システム。 - 前記本接合装置による前記チップと前記基板の位置精度が±3μm以内であることを特徴とする請求項16に記載のチップ実装システム。
- 前記本接合装置は、
複数の前記チップを前記基板側に押圧するチップ押圧部材と、
前記チップ押圧部材と前記チップとの間に、前記チップを前記基板側に押圧する方向の押圧力を発揮するスペーサと、を備え、
前記チップ押圧部材と前記基板保持部とを互いに接近する方向に加圧した状態で、前記チップ側接合部と前記基板側接合部とを接合することを特徴とする請求項16または17に記載のチップ実装システム。
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