JPWO2017170249A1 - 感光性樹脂成物 - Google Patents
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Abstract
から選択される1種類以上を含むアルカリ可溶性樹脂(A)、ならびに
(メタ)アクリル基含有化合物(B)を含有し、
前記(メタ)アクリル基含有化合物(B)が、
一般式(1)で表される構造と、一般式(2−1)、一般式(2−2)、および一般式(2−3)から選択される1種類以上の構造とを有する化合物の縮合物であって、
一般式(1)の構造を複数有する多官能(メタ)アクリル基含有シラン縮合物(B1)を含み、
前記化合物(B1)の重量平均分子量が1,000〜20,000である、
感光性樹脂組成物。
【化1】
(一般式(1)中、R1は水素原子またはメチル基を示す。mは1≦m≦4の範囲内の整数を表す。*印は結合部を示す。一般式(2−1)(2−2)および(2−3)においてR2はメチル基またはエチル基を示す。nは1≦n≦4の範囲内の整数を表す。*印は結合部を示す。)
Description
[1]ポリイミドおよびその前駆体、ならびにポリベンゾオキサゾールおよびその前駆体から選択される1種類以上を含むアルカリ可溶性樹脂(A)、ならびに
(メタ)アクリル基含有化合物(B)を含有し、
前記(メタ)アクリル基含有化合物(B)が、
一般式(1)で表される構造と、一般式(2−1)、一般式(2−2)、および一般式(2−3)から選択される1種類以上の構造とを有する化合物の縮合物であって、
一般式(1)の構造を複数有する多官能(メタ)アクリル基含有シラン縮合物(B1)を含み、
前記化合物(B1)の重量平均分子量が1,000〜20,000である、
感光性樹脂組成物。
上記感光性樹脂組成物の好ましい態様として以下のものがある。
[2]前記(メタ)アクリル基含有化合物(B)が、さらに多官能(メタ)アクリル基含有化合物(B2)を含む、上記感光性樹脂組成物。
[3]前記多官能(メタ)アクリル基含有化合物(B2)が、一般式(3)で表される化合物および(4)で表される化合物から選択される1種類以上を含む、上記感光性樹脂組成物。
[4]前記多官能(メタ)アクリル基含有化合物(B2)が、前記多官能(メタ)アクリル基含有シラン縮合物(B1)の総量100質量部に対して、50〜300質量部である、前記いずれかに記載の感光性樹脂組成物。
[5]前記アクリル基含有化合物(B)が、前記(A)アルカリ可溶性樹脂(A)100質量部に対して、20〜70質量部である、前記いずれかの感光性樹脂組成物。
[6]前記いずれかの感光性樹脂組成物から形成された樹脂シート。
[7]前記いずれかの感光性樹脂組成物、または前記樹脂シートを硬化したレリーフパターンであって、前記レリーフパターンの断面形状が、45°以上90°未満のテーパー形状である硬化レリーフパターン。
[8]前記のレリーフパターンの層を有する、層間絶縁膜または表面保護膜。
[9]前記の感光性樹脂組成物を基材上に塗布する工程、または樹脂シートを基材上にラミネートする工程、基材上に感光性樹脂組成物または樹脂層を設ける工程、
紫外線を照射し、現像してパターンを形成する工程、
さらに、加熱して硬化レリーフパターンの層を形成する工程を含む、層間絶縁膜または表面保護膜の製造方法。
[10]前記、層間絶縁膜および表面保護膜から選ばれる膜の上に、シード層とメッキ層を有する、電子部品または半導体部品。
[11]前記層間絶縁膜が2〜10層繰り返し配置された、電子部品または半導体部品。
トリカルボン酸の例としてトリメリット酸、トリメシン酸、ジフェニルエーテルトリカルボン酸、ビフェニルトリカルボン酸など。
カルボキシル基含有ジアミンとして3,5−ジアミノ安息香酸、3−カルボキシ−4,4’−ジアミノジフェニルエーテルなど。
5−アミノ−8−ヒドロキシキノリン、1−ヒドロキシ−7−アミノナフタレン、1−ヒドロキシ−6−アミノナフタレン、1−ヒドロキシ−5−アミノナフタレン、1−ヒドロキシ−4−アミノナフタレン、2−ヒドロキシ−7−アミノナフタレン、2−ヒドロキシ−6−アミノナフタレン、2−ヒドロキシ−5−アミノナフタレン、2−ヒドロキシ−3−アミノナフタレン、1−カルボキシ−7−アミノナフタレン、1−カルボキシ−6−アミノナフタレン、1−カルボキシ−5−アミノナフタレン、2−カルボキシ−7−アミノナフタレン、2−カルボキシ−6−アミノナフタレン、2−カルボキシ−5−アミノナフタレン、2−アミノ安息香酸、3−アミノ安息香酸、4−アミノ安息香酸、4−アミノサリチル酸、5−アミノサリチル酸、6−アミノサリチル酸、2−アミノベンゼンスルホン酸、3−アミノベンゼンスルホン酸、4−アミノベンゼンスルホン酸、3−アミノ−4,6−ジヒドロキシピリミジン、2−アミノフェノール、3−アミノフェノール、4−アミノフェノール、2−アミノ−4−tert−ブチルフェノール、2−アミノチオフェノール、3−アミノチオフェノール、4−アミノチオフェノールなど。
一般式(5)で表される化合物としては、2−イソシアナトエチルアクリレート、2−イソシアナトエチルメタクリレート、3−イソシアナトプロピルアクリレート、3−イソシアナトプロピルメタクリレート、4−イソシアナトブチルアクリレート、4−イソシアナトブチルメタクリレートなどが挙げられ、特に2−イソシアナトエチルアクリレート、2−イソシアナトエチルメタクリレートが好ましい。
分子内にアミノ基およびアルコキシシリル基を有する化合物としては、2−アミノエチルトリメトキシシラン、2−アミノエチルトリエトキシシラン、3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリエトキシシラン、4−アミノブチルトリメトキシシラン、4−アミノブチルトリエトキシシランなどが挙げられる。特に3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリエトキシシランが好ましい。
ブチルアルコール、イソブチルアルコール、ペンタノール、4−メチル−2−ペンタノール、3−メチル−2−ブタノール、3−メチル−3−メトキシブタノール、ジアセトンアルコールなどのアルコール類。
8インチシリコンウエハー上に、感光性樹脂組成物の溶液(以下「ワニス」と呼ぶ)をプリベーク後の膜厚が12μmとなるように塗布する。ついでホットプレート(東京エレクトロン(株)製ACT−8)の上にウエハーを載置して、120℃で3分プリベークすることにより、感光性樹脂組成物の膜を得た。
大日本スクリーン製造(株)製ラムダエースSTM−602Jを使用し、ポリイミドの屈折率1.63の値を用いて測定を行った。
露光機(ニコン(株)社製i線ステッパーNSR−2005i9C)に、パターンを有するレチクルをセットし、プリベーク後の感光性樹脂の膜に対して、露光量500mJ/cm2のパターン露光を行った。
露光した感光性樹脂の膜に対して、ホットプレート(東京エレクトロン(株)製ACT−8)を用いて、120℃で1分熱処理を行った。
露光後ベークした感光性樹脂の膜に対して、東京エレクトロン(株)製ACT−8の現像装置を用い、膜がのった基板を50rpmで回転させながら、水酸化テトラメチルアンモニウムの2.38%水溶液を10秒間吐出した。この後、0rpmで30秒間静置した。その後500rpmで純水にてリンスし、3000rpmで10秒振り切り乾燥し、現像後の塗布膜を得た。
現像の膜を、イナートオーブンINH−21CD(光洋サーモシステム(株)社製)を用いて、窒素気流下(酸素濃度20ppm以下)、50℃から280℃の硬化温度まで60分間かけて上昇させ、280℃で60分間加熱処理を行った。その後、オーブン内が50℃以下になるまで徐冷し、硬化レリーフパターンを有するキュア膜を得た。
前記の方法で得られたシリコンウェハを、キュア膜と共にウエハー面に垂直に破断した。電界放出形走査電子顕微鏡(株式会社日立ハイテクノロジーズ製S−4800)を用いて、硬化レリーフパターンの10μm以上20μm以下の開口部の断面形状を観察して、テーパー角度を測定した。測定したテーパー角度は、図2におけるテーパー角度24に記載された部分である。ここで、パターン断面のテーパー角は45°以上90°未満が好ましく、75°以上90°未満がさらに好ましい。パターン断面形状評価は、75°以上90°未満の場合を4、60°以上75°未満の場合を3、45°以上〜60°未満の場合を2、45°未満あるいは90°より大きい場合を1として評価とした。
各実施例および比較例に記載のワニスについて、前記の方法でシリコンウェハ上に作製した硬化レリーフパターンを、東京応化工業(株)製、“剥離液106”」を用いて40℃で30分間浸漬処理を行った。処理前後の膜厚を測定し、膜厚変動率を求めた。さらに、クラックや剥離の有無を光学顕微鏡で確認した。ここで、膜厚変動率は3%未満が好ましく、1%未満がより好ましい。耐薬品性評価は、膜厚変動率が0〜1%未満の場合を3、1〜3%未満の場合を2、3%以上の場合を1として評価とした。クラックおよび剥離の評価は、クラックや剥離が認められない場合を良、クラックや剥離が認められる場合を不良とした。
各実施例および比較例に記載のワニスについて、前記の方法でシリコンウェハ上に作製した感光性樹脂の膜に対して、レチクルを使用せずに全面を露光した後、現像せずに熱硬化して硬化膜を得た。これを、47%フッ化水素酸に室温で3分間浸した後、水道水で洗浄し、硬化膜をシリコンウェハから剥離した。このようにして剥離した硬化膜を、菊水電子工業(株)製耐電圧/絶縁抵抗試験器TOS9201を使用して、DCWで昇圧速度0.1kV/1秒で昇圧し、絶縁破壊が起こったときの電圧を測定した。得られた電圧を膜厚で割ることにより、単位膜厚あたりの絶縁破壊電圧を求めた。計算によって得られた、膜厚1mmあたりの絶縁破壊電圧が、400kV以上の場合を3、300kV以上400kV未満を2、300kV未満を1として評価した。
(メタ)アクリル基含有シラン縮合物(B1)の重量平均分子量は、GPC装置HLC−8220(東ソー(株)製)を用い、カラムは、それぞれ東ソー(株)製のTSK−gel SuperHM−H 2本とTSK−gel SuperH2000 1本を直列に接続して使用し、展開溶媒をテトラヒドロフラン、流速0.4mL/min、測定温度40℃として測定し、ポリスチレン換算で重量平均分子量を計算した。
以下の例において、原料を略称しているところがある。略称は以下のとおりである。
PBO前駆体:合成例4のポリベンゾオキサザール前駆体
PET4A:ペンタエリスリトールテトラアクリレート
PET3A:ペンタエリスリトールトリアクリレート
DPHA:ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート
NCI−831:“アデカアークルズ”(登録商標)NCI−831(ADEKA社製)
MX‐270:“ニカラック”(登録商標)MX‐270、
KBM−403:3-グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、KBM−403、
PF77:ポリフローNo.77、
GBL:γ−ブチロラクトン
EL:乳酸エチル 。
合成例5〜8の化合物の名称を以下のとおりと略称している。
P−AK:合成例5の多官能(メタ)アクリル基含有シラン縮合物の前駆体
AK:合成例6の多官能(メタ)アクリル基含有シラン縮合物
MK:合成例7の多官能(メタ)アクリル基含有シラン縮合物
NOV:合成例8のノボラック樹脂。
乾燥窒素気流下、2,2−ビス(3−アミノ−4−ヒドロキシフェニル)ヘキサフルオロプロパン(セントラル硝子(株)製、BAHF)32.9g(0.09モル)をN−メチルピロリドン(以下、NMP)500gに溶解した。ここに3,3’,4,4’−ジフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物(以下、ODPA)31.0g(0.1モル)をNMP50gとともに加えて、30℃で2時間撹拌した。その後、3−アミノフェノール(東京化成(株)製)2.18g(0.02モル)を加え、40℃で2時間撹拌した。さらにピリジン(東京化成(株)製)5gをトルエン(東京化成(株)製30g)で希釈して、溶液に加え、冷却管を付け系外に水をトルエンとともに共沸で除去しながら溶液の温度を120℃にして2時間、さらに180℃で2時間反応させた。この溶液の温度を室温まで低下させ、水3Lに溶液を投入し、白色の粉体を得た。この粉体を濾過で集め、さらに水で3回洗浄を行った。洗浄後、白色粉体を50℃の真空乾燥機で72時間乾燥させ、ポリイミドを得た。
2,2−ビス(3−アミノ−4−ヒドロキシフェニル)ヘキサフルオロプロパン(セントラル硝子(株)製、BAHF)18.3g(0.05モル)をアセトン100mL、プロピレンオキシド(東京化成(株)製)17.4g(0.3モル)に溶解させ、−15℃に冷却した。ここに3−ニトロベンゾイルクロリド(東京化成(株)製)20.4g(0.11モル)をアセトン100mLに溶解させた溶液を滴下した。滴下終了後、−15℃で4時間撹拌し、その後室温に戻した。析出した白色固体を濾別し、50℃で真空乾燥した。
乾燥窒素気流下、合成例1で得られたHFHA51.3g(0.085モル)、1,3−ビス(3−アミノプロピル)テトラメチルジシロキサン(SiDA、信越化学(株)製)1.24g(0.005モル)、3−アミノフェノール(東京化成(株)製)2.18g(0.02モル)をN−メチル−2−ピロリドン(NMP)200gに溶解した。ここに3,3’,4,4’−ジフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物(ODPA、マナック(株)製)31.0g(0.1モル)を加え、40℃で2時間撹拌した。その後、ジメチルホルムアミドジメチルアセタール(三菱レーヨン(株)製、DFA)7.14g(0.06モル)をNMP5gで希釈した溶液を10分間かけて滴下した。滴下後、40℃で2時間撹拌を続けた。撹拌終了後、溶液を水2Lに投入して、ポリマー固体の沈殿を濾過で集めた。さらに水2Lで3回洗浄を行い、集めたポリマー固体を50℃の真空乾燥機で72時間乾燥し、ポリイミド前駆体を得た。
乾燥窒素気流下、BAHF18.3g(0.05モル)をNMP50g、グリシジルメチルエーテル26.4g(0.3モル)に溶解させ、溶液の温度を−15℃まで冷却した。ここにジフェニルエーテルジカルボン酸ジクロリド(日本農薬(株)製)7.4g(0.025モル)とイソフタル酸クロリド(東京化成(株)製)5.1g(0.025モル)をγ−ブチロラクトン25gに溶解させた溶液を内部の温度が0℃を越えないように滴下した。滴下終了後、−15℃で6時間撹拌を続けた。反応終了後、メタノールを10質量%含んだ水3Lに溶液を投入して白色の沈殿を集めた。この沈殿を濾過で集めて、水で3回洗浄した後、50℃の真空乾燥機で72時間乾燥し、ポリベンゾオキサゾール前駆体を得た。
攪拌機、温度計、滴下ロート、還流冷却管を備えた1L四つ口フラスコに、3−アミノプロピルトリメトキシシラン(信越化学工業社製KBM−903)89.65g(0.50mol)を加え、氷浴にて2−イソシアナトエチルアクリラート(昭和電工社製“カレンズ”(登録商標)AOI)70.60g(0.50mol)を、滴下ロートを用いてゆっくり滴下し、その後40℃で8時間反応させた。赤外吸収スペクトルでイソシアネート基の吸収が消失したことを確認して反応を終了した。室温まで冷却し、下記式で表される化合物を得た。分子量は320.41であった。
前記合成例5にて、さらに多官能(メタ)アクリル基含有シラン縮合物の前駆体P−AKに対して、イソプロピルアルコールを641g加えて室温で30分攪拌した後に2.38%テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液80gを加え、室温で24時間攪拌し、加水分解縮合反応させた。その後、メチルイソブチルケトン500gを加えて水洗し、エバポレーターを用いて溶媒を除去した。得られた反応物の重量平均分子量は4,100であった。
攪拌機、温度計、滴下ロート、還流冷却管を備えた1L四つ口フラスコに、3−アミノプロピルトリメトキシシラン(信越化学工業社製KBM−903)89.65g(0.50mol)を加え、氷浴にて2−イソシアナトエチルメタクリレート(昭和電工社製“カレンズ”MOI)77.58g(0.50mol)を、滴下ロートを用いてゆっくり滴下し、その後40℃で8時間反応させた。赤外吸収スペクトルでイソシアネート基の吸収が消失したことを確認して反応を終了した。室温まで冷却し、下記式で表される化合物を得た。分子量は334.44であった。
乾燥窒素気流下、m−クレゾール70.2g(0.65モル)、p−クレゾール37.8g(0.35モル)、37重量%ホルムアルデヒド水溶液75.5g(ホルムアルデヒド0.93モル)、シュウ酸二水和物0.63g(0.005モル)、メチルイソブチルケトン264gを仕込んだ後、油浴中に浸し、反応液を還流させながら、4時間重縮合反応を行った。その後、油浴の温度を3時間かけて昇温し、その後に、フラスコ内の圧力を40〜67hPaまで減圧して揮発分を除去し、室温まで冷却してノボラック樹脂のポリマー固体を得た。GPCから重量平均分子量は3500であった。
下記の物質をγ−ブチロラクトン10.50gと乳酸エチル7.00gとの混合液に加えて攪拌し、感光性樹脂組成物のワニスを得た。
アルカリ可溶性樹脂(A)として、合成例1のポリイミド10.0g、
アクリル基含有化合物(B)として、多官能(メタ)アクリル基含有シラン縮合物(B1)でもある合成例6の多官能(メタ)アクリル基含有シラン縮合物AK1.20g、
ペンタエリスリトールテトラアクリレート(PET4A)1.80g、
光重合開始剤(C)としてNCI−831、0.70g、
熱架橋剤(D)としてニカラックMX‐270、0.50g、
接着改良剤としてKBM−403、0.15g、
界面活性剤としてポリフローNo.77、0.01g。
得られたワニスを用いて、上記方法で、断面形状、耐薬品性、電気絶縁性の評価を実施した。
下記の物質をγ−ブチロラクトン11.60gと乳酸エチル7.80gとの混合液に加えて攪拌し、感光性樹脂組成物のワニスを得た。
アルカリ可溶性樹脂(A)として、合成例1のポリイミド10.0g、
アクリル基含有化合物(B)として、多官能(メタ)アクリル基含有シラン縮合物(B1)でもある合成例6の多官能(メタ)アクリル基含有シラン縮合物AK1.80g、およびペンタエリスリトールテトラアクリレート(PET4A)2.70g、
光重合開始剤(C)としてNCI−831、0.70g、
熱架橋剤(D)としてニカラックMX‐270、0.50g、
接着改良剤としてKBM−403、0.15g、
界面活性剤としてポリフローNo.77、0.01g。
得られたワニスを用いて、上記方法で、断面形状、耐薬品性、電気絶縁性の評価を実施した。
下記の物質を、γ−ブチロラクトン12.70gと乳酸エチル8.50gとの混合液に加えて攪拌し、感光性樹脂組成物のワニスを得た。
アルカリ可溶性樹脂(A)として、合成例1のポリイミド10.0g、
アクリル基含有化合物(B)として、多官能(メタ)アクリル基含有シラン縮合物(B1)でもある合成例6の多官能(メタ)アクリル基含有シラン縮合物AK2.40gおよびペンタエリスリトールテトラアクリレート(PET4A)3.60g、
光重合開始剤(C)としてNCI−831、0.70g、
熱架橋剤(D)としてニカラックMX‐270、0.50g、
接着改良剤としてKBM−403、0.15g、
界面活性剤としてポリフローNo.77、0.01g。
得られたワニスを用いて、上記方法で、断面形状、耐薬品性、電気絶縁性の評価を実施した。
下記の物質をγ−ブチロラクトン11.60gと乳酸エチル7.80gとの混合液に加えて攪拌し、感光性樹脂組成物のワニスを得た。
アルカリ可溶性樹脂(A)として、合成例1のポリイミド10.0g、
(メタ)アクリル基含有化合物(B)として、多官能(メタ)アクリル基含有シラン縮合物(B1)でもある合成例7の多官能(メタ)アクリル基含有シラン縮合物MK1.80gと、ペンタエリスリトールテトラアクリレート(PET4A)2.70g、
光重合開始剤(C)としてNCI−831、0.70g、
熱架橋剤(D)としてニカラックMX‐270、0.50g、
接着改良剤としてKBM−403、0.15g、
界面活性剤としてポリフローNo.77、0.01g。
得られたワニスを用いて、上記方法で、断面形状、耐薬品性、電気絶縁性の評価を実施した。
下記の物質をγ−ブチロラクトン11.60gと乳酸エチル7.80gとの混合液に加えて攪拌し、感光性樹脂組成物のワニスを得た。
アルカリ可溶性樹脂(A)として、合成例1のポリイミド10.0g、
アクリル基含有化合物(B)として、多官能(メタ)アクリル基含有シラン縮合物(B1)でもある合成例6の多官能(メタ)アクリル基含有シラン縮合物AK1.80g、ペンタエリスリトールトリアクリレート(PET3A)2.70g、
光重合開始剤(C)としてNCI−831、0.70g、
熱架橋剤(D)としてニカラックMX‐270、0.50g、
接着改良剤としてKBM−403、0.15g、
界面活性剤としてポリフローNo.77、0.01g。
得られたワニスを用いて、上記方法で、断面形状、耐薬品性、電気絶縁性の評価を実施した。
下記の物質をγ−ブチロラクトン11.60gと乳酸エチル7.80gとの混合液に加えて攪拌し、感光性樹脂組成物のワニスを得た。
アルカリ可溶性樹脂(A)として、合成例1のポリイミド10.0g、
(メタ)アクリル基含有化合物(B)として、多官能(メタ)アクリル基含有シラン縮合物(B1)でもある合成例6の多官能(メタ)アクリル基含有シラン縮合物AK1.80g、ペンタエリスリトールテトラアクリレート(PET4A)1.35g、ペンタエリスリトールトリアクリレート(PET3A)1.35g、
光重合開始剤(C)としてNCI−831、0.70g、
熱架橋剤(D)としてニカラックMX‐270、0.50g、
接着改良剤としてKBM−403、0.15g、
界面活性剤としてポリフローNo.77、0.01g。
得られたワニスを用いて、上記方法で、断面形状、耐薬品性、電気絶縁性の評価を実施した。
下記の物質をγ−ブチロラクトン11.60gと乳酸エチル7.80gとの混合液に加えて攪拌し、感光性樹脂組成物のワニスを得た。
アルカリ可溶性樹脂(A)として、合成例1のポリイミド10.0g、
(メタ)アクリル基含有化合物(B)として、多官能(メタ)アクリル基含有シラン縮合物(B1)でもある合成例6の多官能(メタ)アクリル基含有シラン縮合物AK1.80g、ペンタエリスリトールテトラアクリレート(PET4A)0.90g、ペンタエリスリトールトリアクリレート(PET3A)0.90gと、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(DPHA)0.90g、
光重合開始剤(C)としてNCI−8310.70g、
熱架橋剤(D)としてニカラックMX‐270、0.50g、
接着改良剤としてKBM−403、0.15g、
界面活性剤としてポリフローNo.77、0.01g。
得られたワニスを用いて、上記方法で、断面形状、耐薬品性、電気絶縁性の評価を実施した。
下記の物質をγ−ブチロラクトン11.60gと乳酸エチル7.80gとの混合液に加えて攪拌し、感光性樹脂組成物のワニスを得た。
アルカリ可溶性樹脂(A)として、合成例1のポリイミド10.0g、
(メタ)アクリル基含有化合物(B)として、多官能(メタ)アクリル基含有シラン縮合物(B1)でもある合成例6の多官能(メタ)アクリル基含有シラン縮合物AK2.70g、ペンタエリスリトールテトラアクリレート(PET4A)1.80g、
光重合開始剤(C)としてNCI−831、0.70g、
熱架橋剤(D)としてニカラックMX‐270、0.50g、
接着改良剤としてKBM−403、0.15g、
界面活性剤としてポリフローNo.77、0.01g。
得られたワニスを用いて、上記方法で、断面形状、耐薬品性、電気絶縁性の評価を実施した。
下記の物質をγ−ブチロラクトン11.60gと乳酸エチル7.80gとの混合液に加えて攪拌し、感光性樹脂組成物のワニスを得た。
アルカリ可溶性樹脂(A)として、合成例1のポリイミド10.0g、
(メタ)アクリル基含有化合物(B)として、多官能(メタ)アクリル基含有シラン縮合物(B1)でもある合成例6の多官能(メタ)アクリル基含有シラン縮合物AK1.35g、ペンタエリスリトールテトラアクリレート(PET4A)3.15g、
光重合開始剤(C)としてNCI−831、0.70g、
熱架橋剤(D)としてニカラックMX‐270、0.50g、
接着改良剤としてKBM−403、0.15g、
界面活性剤としてポリフローNo.77、0.01g。
得られたワニスを用いて、上記方法で、断面形状、耐薬品性、電気絶縁性の評価を実施した。
下記の物質をγ−ブチロラクトン11.60gと乳酸エチル7.80gとの混合液に加えて攪拌し、感光性樹脂組成物のワニスを得た。
アルカリ可溶性樹脂(A)として、合成例3のポリイミド前駆体10.0g、
アクリル基含有化合物(B)として、多官能(メタ)アクリル基含有シラン縮合物(B1)でもある合成例6の多官能(メタ)アクリル基含有シラン縮合物AK1.80gおよび(B1)でないペンタエリスリトールテトラアクリレート(PET4A)2.70g、
光重合開始剤(C)としてNCI−831、0.70g、
熱架橋剤(D)としてニカラックMX‐270、0.50g、
接着改良剤としてKBM−403、0.15g、
界面活性剤としてポリフローNo.77、0.01g。
得られたワニスを用いて、上記方法で、断面形状、耐薬品性、電気絶縁性の評価を実施した。
下記の物質をγ−ブチロラクトン11.60gと乳酸エチル7.80gとの混合液に加えて攪拌し、感光性樹脂組成物のワニスを得た。
アルカリ可溶性樹脂(A)として、合成例4のポリベンゾオキサゾール前駆体10.0g、
アクリル基含有化合物(B)として、多官能(メタ)アクリル基含有シラン縮合物(B1)でもある合成例6の多官能(メタ)アクリル基含有シラン縮合物AK1.80g、ペンタエリスリトールテトラアクリレート(PET4A)2.70g、
光重合開始剤(C)としてNCI−831、0.70g、
熱架橋剤(D)としてニカラックMX‐270、0.50g、
接着改良剤としてKBM−403、0.15g、
界面活性剤としてポリフローNo.77、0.01g。
得られたワニスを用いて、上記方法で、断面形状、耐薬品性、電気絶縁性の評価を実施した。
下記の物質をγ−ブチロラクトン11.60gと乳酸エチル7.80gとの混合液に加えて攪拌し、感光性樹脂組成物のワニスを得た。
アルカリ可溶性樹脂(A)として、合成例1のポリイミド10.0g、
アクリル基含有化合物(B)として、多官能(メタ)アクリル基含有シラン縮合物(B1)でもある合成例6の多官能(メタ)アクリル基含有シラン縮合物AK4.50g、
光重合開始剤(C)としてNCI−831、0.70g、
熱架橋剤(D)としてニカラックMX‐270、0.50g、
接着改良剤としてKBM−403、0.15g、
界面活性剤としてポリフローNo.77、0.01g。
得られたワニスを用いて、上記方法で、断面形状、耐薬品性、電気絶縁性の評価を実施した。
以下の物質をγ−ブチロラクトン11.60gと乳酸エチル7.80gに加えて攪拌し、感光性樹脂組成物のワニスを得た。
アルカリ可溶性樹脂(A)として、合成例1のポリイミド10.0g、
アクリル基含有化合物(B)として、ペンタエリスリトールテトラアクリレート(PET4A)4.50g、
光重合開始剤(C)としてNCI−831、0.70g、
熱架橋剤(D)としてニカラックMX‐270、0.50g、
接着改良剤としてKBM−403、0.15g、
界面活性剤としてポリフローNo.77、0.01g。
得られたワニスを用いて、上記方法で、断面形状、耐薬品性、電気絶縁性の評価を実施した。
以下の物質をγ−ブチロラクトン11.60gと乳酸エチル7.80gに加えて攪拌し、感光性樹脂組成物のワニスを得た。
アルカリ可溶性樹脂(A)として、合成例1のポリイミド10.0g、
アクリル基含有化合物(B)として、多官能(メタ)アクリル基含有シラン縮合物(B1)ではあるが、分子量の小さい、合成例5の多官能(メタ)アクリル基含有シラン縮合物の前駆体P−AK1.80g、ペンタエリスリトールテトラアクリレート(PET4A)2.70g、
光重合開始剤(C)としてNCI−831、0.70g、
熱架橋剤(D)としてニカラックMX‐270、0.50g、
接着改良剤としてKBM−403、0.15g、
界面活性剤としてポリフローNo.77、0.01g。
得られたワニスを用いて、上記方法で、断面形状、耐薬品性、電気絶縁性の評価を実施した。
(A)アルカリ可溶性樹脂(A)として、合成例8のノボラック樹脂NOV10.0g、アクリル基含有化合物(B)として、多官能(メタ)アクリル基含有シラン縮合物(B1)でもある合成例6の多官能(メタ)アクリル基含有シラン縮合物AK1.80gとペンタエリスリトールテトラアクリレート(PET4A)2.70g、光重合開始剤(C)としてNCI−831、0.70g、(D)熱架橋剤熱架橋剤(D)としてニカラックMX‐270、0.50g、接着改良剤としてKBM−403、0.15g、界面活性剤として共栄化学社製ポリフローNo.77、0.01gを、γ−ブチロラクトン11.60gと乳酸エチル7.80gとの混合液に加えて攪拌し、感光性樹脂組成物のワニスを得た。得られたワニスを用いて、上記方法で、断面形状、耐薬品性、電気絶縁性の評価を実施した。
2a、2b、2c、2d、2e、2f: 絶縁膜
3a、3b、3c、3d: コイル導体層
4a、4b; スルーホール部
21: 基板
22: 硬化レリーフパターン
23: 開口部
24: テーパー角度
Claims (11)
- ポリイミドおよびその前駆体、ならびにポリベンゾオキサゾールおよびその前駆体から選択される1種類以上を含むアルカリ可溶性樹脂(A)、ならびに
(メタ)アクリル基含有化合物(B)を含有し、
前記(メタ)アクリル基含有化合物(B)が、
一般式(1)で表される構造と、一般式(2−1)、一般式(2−2)、および一般式(2−3)から選択される1種類以上の構造とを有する化合物の縮合物であって、
一般式(1)の構造を複数有する多官能(メタ)アクリル基含有シラン縮合物(B1)を含み、
前記化合物(B1)の重量平均分子量が1,000〜20,000である、
感光性樹脂組成物。
- 前記(メタ)アクリル基含有化合物(B)が、さらに多官能(メタ)アクリル基含有化合物(B2)を含む、請求項1に記載の感光性樹脂組成物。
- 前記多官能(メタ)アクリル基含有化合物(B2)が、前記多官能(メタ)アクリル基含有シラン縮合物(B1)の総量100質量部に対して、50〜300質量部である、請求項2または3に記載の感光性樹脂組成物。
- 前記アクリル基含有化合物(B)が、前記(A)アルカリ可溶性樹脂(A)100質量部に対して、20〜70質量部である、請求項1〜4のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
- 請求項1〜5のいずれかに記載の感光性樹脂組成物から形成された樹脂シート。
- 請求項1〜5のいずれかに記載の感光性樹脂組成物、または請求項6に記載の樹脂シートを硬化したレリーフパターンであって、前記レリーフパターンの断面形状が、45°以上90°未満のテーパー形状である硬化レリーフパターン。
- 請求項7に記載のレリーフパターンの層を有する、層間絶縁膜または表面保護膜。
- 請求項1〜5のいずれかに記載の感光性樹脂組成物を基材上に塗布する工程、または請求項6に記載の樹脂シートを基材上にラミネートする工程により、基材上に感光性樹脂組成物または樹脂層を設ける工程、
紫外線を照射し、現像してパターンを形成する工程、
さらに、加熱して硬化レリーフパターンの層を形成する工程を含む、層間絶縁膜または表面保護膜の製造方法。 - 請求項8に記載の層間絶縁膜、および請求項8に記載の表面保護膜から選ばれる膜の上に、シード層とメッキ層を有する、電子部品または半導体部品。
- 請求項8に記載の層間絶縁膜が2〜10層繰り返し配置された、電子部品または半導体部品。
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