JPWO2013047646A1 - 積層セラミックコンデンサ、および積層セラミックコンデンサの製造方法 - Google Patents
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Abstract
誘電体セラミック層が薄層化されながら、高い耐湿性を有する、積層セラミックコンデンサを提供する。結晶粒子および結晶粒界を含む誘電体セラミック層と、内部電極層と、を有する積層体と、前記積層体の表面に形成され、前記積層体の表面に露出した内部電極層を電気的に接続する外部電極と、を備えた、積層セラミックコンデンサにおいて、前記積層体の組成が、主成分としてジルコン酸カルシウム系ぺロブスカイト型化合物を含み、さらに、Mn、Sr、およびSiを含み、前記積層体を溶解したとき、Zrを100モル部としたときのSiの含有モル部が0.1以上10以下であり、MnのSrに対するモル比が、0.3以上3.2以下である。
Description
この発明は、誘電体セラミックおよび積層セラミックコンデンサに関するもので、特に、電子回路の温度補償用に用いられる積層セラミックコンデンサに関するものである。
電子回路の温度補償に用いられる積層セラミックコンデンサには、静電容量の温度カーブに対し、特定の傾きを有する直線性が求められる。
また、近年のエレクトロニクス技術の進展に伴い、積層セラミックコンデンサには小型化や高信頼性が要求されている。
このような温度補償用の積層セラミックコンデンサにおいては、ジルコン酸カルシウム系を主成分とする誘電体セラミックが用いられることがある。例えば、特許文献1では、(CaO)x (Zr1-y ・Tiy )O2 で表される複合酸化物と該複合酸化物100重量部に対して、Mn化合物をMnCO3 換算で1.0〜3.0重量部と、(aLi2O−bB2O3−cCaO)で表されるガラス成分を0.5〜2.0重量部を含み、xの値が0.95〜1.05、yの値が0.01〜0.10、aの値が25〜45、bの値が45〜65、cの値が5〜20で、a+b+c=100とした誘電体磁器組成物、を用いた積層セラミックコンデンサが開示されている。
しかし、特許文献1に記載の積層セラミックコンデンサにおいては、特に誘電体セラミックを薄層化した場合、耐湿性が悪くなるという問題があった。
そこで、この発明の目的は、上述したような課題を解決することができる誘電体セラミックを用いて構成される積層セラミックコンデンサ、およびその製造方法を提供することである。
すなわち本発明は、結晶粒子および結晶粒界を含む誘電体セラミック層と、内部電極層と、を有する積層体と、前記積層体の表面に形成され、前記積層体の表面に露出した内部電極層を電気的に接続する外部電極と、を備えた、積層セラミックコンデンサにおいて、前記積層体の組成が、主成分としてジルコン酸カルシウム系ぺロブスカイト型化合物を含み、さらに、Mn、Sr、およびSiを含み、前記積層体を溶解したとき、Zrを100モル部としたときのSiの含有モル部が0.1以上10以下であり、MnのSrに対するモル比が、0.3以上3.2以下である、ことを特徴とする。
また、本発明は、結晶粒子および結晶粒界を含む誘電体セラミック層と、内部電極層と、を有する積層体と、前記積層体の表面に形成され、前記積層体の表面に露出した内部電極層を電気的に接続する外部電極と、を備えた、積層セラミックコンデンサにおいて、前記誘電体セラミック層の組成が、主成分としてジルコン酸カルシウム系ぺロブスカイト型化合物を含み、さらに、Mn、Sr、およびSiを含み、前記誘電体セラミック層の組成が、Zrを100モル部としたときのSiの含有モル部が0.1以上10以下であり、MnのSrに対するモル比が、0.3以上3.2以下である、ことを特徴とする。
また、前記内部電極層の主成分が、Cuであることが好ましい。
さらに、本発明は、積層セラミックコンデンサの製造方法にも向けられる。
ジルコン酸カルシウム系ぺロブスカイト型化合物を主成分とする主成分粉末を用意する工程と、
Mn化合物、Sr化合物、およびSi化合物を用意する工程と、前記主成分粉末、前記Mn化合物、前記Sr化合物、前記Si化合物を混合し、その後、セラミックスラリーを得る工程と、前記セラミックスラリーからセラミックグリーンシートを得る工程と、前記セラミックグリーンシートと、内部電極層と、を積み重ねて焼成前の積層体を得る工程と、前記焼成前の積層体を焼成して、積層体を得る工程と、を備える、積層セラミックコンデンサの製造方法であって、Zrを100モル部としたときのSiの含有モル部が0.1以上10以下であり、MnのSrに対するモル比が、0.3以上3.2以下である、ことを特徴とする。
Mn化合物、Sr化合物、およびSi化合物を用意する工程と、前記主成分粉末、前記Mn化合物、前記Sr化合物、前記Si化合物を混合し、その後、セラミックスラリーを得る工程と、前記セラミックスラリーからセラミックグリーンシートを得る工程と、前記セラミックグリーンシートと、内部電極層と、を積み重ねて焼成前の積層体を得る工程と、前記焼成前の積層体を焼成して、積層体を得る工程と、を備える、積層セラミックコンデンサの製造方法であって、Zrを100モル部としたときのSiの含有モル部が0.1以上10以下であり、MnのSrに対するモル比が、0.3以上3.2以下である、ことを特徴とする。
本発明の積層セラミックコンデンサにおいては、耐湿性が向上する。具体的には、高温・高湿下における負荷試験において、良好な寿命特性を示す。
図1を参照して、まず、この発明に係る誘電体セラミックが適用される積層セラミックコンデンサ1の例について説明する。
積層セラミックコンデンサ1は、積層された複数の誘電体セラミック層2と誘電体セラミック層2間の界面に沿って形成される複数の内部電極3および4とをもって構成される、積層体5を備えている。内部電極3および4は、たとえばCuを主成分としている。
積層体5の外表面上の互いに異なる位置には、第1および第2の外部電極6および7が形成される。外部電極6および7は、たとえばAgまたはCuを主成分としている。図示しないが、外部電極6および7上に、必要に応じて、めっき膜が形成される。めっき膜は、たとえば、Niめっき膜およびその上に形成されるSnめっき膜から構成される。
図1に示した積層セラミックコンデンサ1では、第1および第2の外部電極6および7は、コンデンサ本体5の互いに対向する各端面上に形成される。内部電極3および4は、第1の外部電極6に電気的に接続される複数の第1の内部電極3と第2の外部電極7に電気的に接続される複数の第2の内部電極4とがあり、これら第1および第2の内部電極3および4は、積層方向に見て交互に配置されている。
なお、積層セラミックコンデンサ1は、2個の外部電極6および7を備える2端子型のものであっても、多数の外部電極を備える多端子型のものであってもよい。
このような積層セラミックコンデンサ1において、積層体5の大部分を占めるのは、結晶粒子および結晶粒界を含む誘電体セラミック層2であり、基本的に酸化物セラミックである。
積層体5の組成、好ましくは誘電体セラミック層2の組成は、主成分としてジルコン酸カルシウム系ぺロブスカイト型化合物を含み、さらに、Mn、Sr、およびSiを含む。
すなわち、結晶粒子の大部分は、主にジルコン酸カルシウムからなる。必要に応じて、ジルコニウムの一部が、チタンより置換されていても構わない。この場合、望ましくは、Zr/(Ti+Zr)のモル比が0.5より大きいことが好ましい。
積層体5の主成分、または誘電体セラミック層2の主成分がジルコン酸カルシウム系ぺロブスカイト型化合物であることは、例えばXRD等の方法により確認することができる。
また、積層体5の組成、または誘電体セラミック層2の組成は、副成分として、Mn、Sr、およびSiを含む。これらの副成分の存在形態は問われない。たとえば、MnO等の酸化物として結晶粒界や三重点に存在していてもよいし、複数の元素を含む複合酸化物として二次相粒子を形成していてもよい。また、一部が結晶粒子の内部に存在していてもよい。
なお、積層体5の組成における各元素の含有比に関しては、積層体を溶解し、例えばICP(発光分光プラズマ分析法)により、定量分析することができる。本質的には、誘電体セラミック層2のみの組成を規定することが好ましい。しかし前述のように、積層体5の大部分は誘電体セラミック層2の静電容量形成部分に占められているので、積層体5の組成を規定すれば十分である。
すなわち、各元素の含有量に関しては、Zrを100モル部としたとき、Siの含有モル部は0.1以上10以下である。Siの含有量が少なすぎる場合は、焼結が不足気味となり、誘電体セラミック層に気孔が生じやすい。結果として耐湿性が低下しやすい。一方、Siの含有量が多すぎる場合は、粗大な二次相が発生しやすく、これが耐湿性を低下させやすい。
また、Mn/Srモル比は、0.3以上3.2以下である。この比が小さすぎると、焼結が不足気味となり、誘電体セラミック層に気孔が生じやすい。結果として耐湿性が低下しやすい。また、この比が大きすぎると、MnがSiを主とするガラス成分の安定度を低くし、湿気によりガラス成分が溶解し、結果として耐湿性が低下しやすい。すなわち、Mn/Srモル比は、0.3以上3.2以下の範囲にあると、Siを中心とするガラス成分が最も安定に存在するためか、耐湿性が最も向上する。
なお、内部電極層の主成分がCuであるとき、本発明の効果、すなわち耐湿性向上の効果が最も際立つ。それは、CuはNiに比べ誘電体セラミックスやガラス中に拡散しやすく、拡散した銅が触媒的な役割を果たして、ガラスの結晶化が進むためと考えている。次に、積層セラミックコンデンサの製造方法について、下記に記載する。
まず、ジルコン酸カルシウム系ぺロブスカイト型化合物を主成分とする主成分粉末を用意する。
例えば、Ca化合物とZr化合物とを混合し、合成して、ジルコン酸カルシウムを得る方法が考えられる。詳しい例としては、固相合成法、すなわち、CaCO3粉末とZrO2粉末とを混合して熱処理する方法が挙げられる。他には、水熱合成法、加水分解法、シュウ酸法などの湿式合成法も好ましい。
次に、副成分となるMn化合物、Sr化合物、およびSi化合物を用意する。これらの化合物の形態は特に限定されることはなく、酸化物粉末や炭酸化物の粉末でもよいし、ゾルや有機金属でも構わない。
次いで、前記主成分粉末、Mn化合物、Sr化合物、およびSi化合物を混合する。このとき、副成分としてさらに別の元素が入っても構わない。また、副成分の混合形態は特に限定されるものではない。例えば、複数の副成分が予め混合されていてもよいし、さらに熱処理合成されていても構わない。また、特定の副成分を、二段階以上に分けて混合してもよい。
主成分粉末に副成分が混合された際のセラミックスラリーに対し、バインダー等を混合し、シート成形に進んでも構わない。もしくは、主成分粉末に副成分を混合した後、乾燥し、セラミック原料を得て、それから再度溶媒と混合してセラミックスラリーを得ても構わない。必要に応じて、セラミック原料粉末に熱処理を施し、主成分粉末と副成分とを反応させても構わない。
次に、このセラミックスラリーをシート成形することにより、セラミックグリーンシートが得られる。このセラミックグリーンシートと、内部電極層とを積み重ねることにより、焼成前の積層体が得られる。詳しくは、セラミックグリーンシートの表面に、内部電極の成分となる金属粒子と有機ビヒクルとを含む導電性ペーストを塗布形成し、これらを、内部電極の引き出し方向が互い違いになるよう、積み重ねて、圧着する方法が挙げられる。
得られた生の積層体は、バインダーを除去した後、内部電極が酸化されず誘電体が還元されない程度の酸素分圧を示す雰囲気下において、焼成される。この焼成により、結晶粒子と結晶粒界とを備える誘電体セラミック2と内部電極3、4とを含む積層体5が得られる。
この積層体5の、内部電極層が露出している箇所に外部電極を形成することにより、積層セラミックコンデンサ1が得られる。なお、外部電極の形成は、予め焼成前の積層体の表面に導電性ペーストを塗布形成しておき、積層体の焼成時に合わせて導電性ペーストを焼き付ける方法も挙げられる。
以下に、この発明に基づいて実施した実験例について説明する。
(A)セラミック粉末の作製
まず、主成分であるCaZrO3の出発原料として、高純度のCaCO3およびZrO2の各粉末を準備し、調合した。1:1のモル比で秤量した。
まず、主成分であるCaZrO3の出発原料として、高純度のCaCO3およびZrO2の各粉末を準備し、調合した。1:1のモル比で秤量した。
次に、この調合粉末をボールミルで湿式混合し、均一に分散させた後、乾燥処理を施して調整粉末を得た。次いで、得られた調整粉末を1200℃で仮焼し、主成分粉末を得た。
他方、副成分として、MnO、SrO、SiO2、CaO、BaO、Li2O、B2O3、Al2O3、TiO2の各粉末を準備した。
次に、これらの各粉末を、主成分粉末のZrの100モル部に対するMn、Sr、Si、Ca、Ba、Li、B、Al、Tiの含有量が表1のモル部となるように秤量し、かつ前述の主成分粉末に添加することによって、混合粉末を得た。
(B)積層セラミックコンデンサの作製
次に、この混合粉末に対し、有機溶剤および分散剤を加え、ボールミルで湿式混合し、均一に分散させた。さらに、ポリビニルブチラール系バインダー、可塑剤を加えて混合し、セラミックスラリーを得た。
次に、この混合粉末に対し、有機溶剤および分散剤を加え、ボールミルで湿式混合し、均一に分散させた。さらに、ポリビニルブチラール系バインダー、可塑剤を加えて混合し、セラミックスラリーを得た。
次いで、このセラミックスラリーをリップ方式によりシート成形し、矩形のセラミックグリーンシートを得た。
このセラミックグリーンシートをサンプリングし、無機成分の組成分析をICPにて行ったところ、表1に示した調合組成がほぼ保たれていることが確認された。
次に、上記セラミックグリーンシート上に、Cu粉末を含む導電性ペーストをスクリーン印刷し、内部電極となるべき導電性ペースト膜を形成した。
次に、導電性ペースト膜が形成されたセラミックグリーンシートを、導電ペースト膜の引き出されている側が互い違いになるように複数枚積層し、コンデンサ本体となるべき生の積層体を得た。
次に、この積層体を、N2雰囲気中にて、240℃の温度で3時間加熱し、バインダーを燃焼させた後、酸素分圧10-9〜10-12MPaのH2−N2−H2Oガスからなる還元性雰囲気中において、900〜1000℃で2時間焼成し、焼結した積層体を得た。
この積層体を溶解し、ICP分析をしたところ、内部電極成分のCuを除いては、上記のセラミックグリーンシートの組成がほぼ保たれていることが確認された。
次に、この積層体のXRD構造解析を行ったところ、主成分がジルコン酸カルシウム系のぺロブスカイト型構造を有することが明らかとなった。
次に、上記コンデンサ本体の両端面に、ガラスフリットを含有するCuペーストを塗布し、N2雰囲気中において、850℃の温度で焼き付け、内部電極と電気的に接続された外部電極を形成した。さらに、外部電極の表面に、電解バレルめっきにより、Niめっき膜を形成し、さらにSnめっき膜を形成した。こうして、各試料に係る積層セラミックコンデンサを得た。
このようにして得られた積層セラミックコンデンサの外形寸法は長さ0.6mm、幅0.3mm、厚さ0.3mmであり、内部電極間に介在する誘電体セラミック層の厚みは3μmであった。また、有効誘電体セラミック層の数は50層であり、1つの誘電体セラミック層あたりの対向電極面積は0.0718mm2であった。
(C)特性評価
次に、各試料に係る積層セラミックコンデンサについて、以下のような評価を行なった。
(1)Q値
1Vrms、1MHzにて、tanδを測定し、その逆数をQ値とした。
(2)静電容量温度係数
20℃における静電容量C20を基準とし、−55℃と125℃の二温度TTにおける静電容量CTの温度係数Aを、以下の式を用いて求めた。
次に、各試料に係る積層セラミックコンデンサについて、以下のような評価を行なった。
(1)Q値
1Vrms、1MHzにて、tanδを測定し、その逆数をQ値とした。
(2)静電容量温度係数
20℃における静電容量C20を基準とし、−55℃と125℃の二温度TTにおける静電容量CTの温度係数Aを、以下の式を用いて求めた。
A = (CT−C20)/C20(TT−20)×10-6 (ppm./℃)
(3)焼結体における空隙率
研磨面において、イオンミリングによりコンタミネーションを除去したのち、FE−SEMを用いて3500倍の倍率にて観察し、SEM像で明暗の二値化を行い、空隙率を求めた。
(4)酸浸漬後の空隙率
焼結体を研磨した後、温度85℃、湿度85%の環境にて、0.1Nの塩酸に16時間浸漬し、その後、(3)と同様の方法にてSEM観察を行い、空隙率を求めた。
(5)高温負荷試験における不良率
積層セラミックコンデンサ100個に対し、150℃において100Vの直流電圧を1000時間印加し、その後絶縁抵抗を測定した。各積層セラミックコンデンサの絶縁抵抗値が1011Ω以下を不良とし、不良の発生率を求めた。
(6)PCBT試験による耐湿性の評価
積層セラミックコンデンサ72個に対し、温度125℃、圧力1.2気圧、湿度95%において、25Vの直流電圧を500時間印加し、その後絶縁抵抗を測定した。各積層セラミックコンデンサの絶縁抵抗値が1011Ω以下を不良とし、不良の発生率を求めた。
(3)焼結体における空隙率
研磨面において、イオンミリングによりコンタミネーションを除去したのち、FE−SEMを用いて3500倍の倍率にて観察し、SEM像で明暗の二値化を行い、空隙率を求めた。
(4)酸浸漬後の空隙率
焼結体を研磨した後、温度85℃、湿度85%の環境にて、0.1Nの塩酸に16時間浸漬し、その後、(3)と同様の方法にてSEM観察を行い、空隙率を求めた。
(5)高温負荷試験における不良率
積層セラミックコンデンサ100個に対し、150℃において100Vの直流電圧を1000時間印加し、その後絶縁抵抗を測定した。各積層セラミックコンデンサの絶縁抵抗値が1011Ω以下を不良とし、不良の発生率を求めた。
(6)PCBT試験による耐湿性の評価
積層セラミックコンデンサ72個に対し、温度125℃、圧力1.2気圧、湿度95%において、25Vの直流電圧を500時間印加し、その後絶縁抵抗を測定した。各積層セラミックコンデンサの絶縁抵抗値が1011Ω以下を不良とし、不良の発生率を求めた。
以上の(1)〜(6)の評価結果を表2に示す。
Siの含有量が0.1〜10モル部の範囲内にあり、かつ、Mn/Srモル比が0.3〜3.2の範囲内にある試料番号2、3、5、8、10〜21は、PCBT試験における耐湿不良がゼロとなり、良好な耐湿性が得られることがわかった。
1 積層セラミックコンデンサ
2 誘電体セラミック層
3,4 内部電極
5 積層体
6,7 外部電極
2 誘電体セラミック層
3,4 内部電極
5 積層体
6,7 外部電極
Claims (5)
- 結晶粒子および結晶粒界を含む誘電体セラミック層と、内部電極層と、を有する積層体と、
前記積層体の表面に形成され、前記積層体の表面に露出した内部電極層を電気的に接続する外部電極と、
を備えた、積層セラミックコンデンサにおいて、
前記積層体の組成が、主成分としてジルコン酸カルシウム系ぺロブスカイト型化合物を含み、さらに、Mn、Sr、およびSiを含み、
前記積層体を溶解したとき、
Zrを100モル部としたときのSiの含有モル部が0.1以上10以下であり、
MnのSrに対するモル比が、0.3以上3.2以下である、ことを特徴とする、積層セラミックコンデンサ。 - 結晶粒子および結晶粒界を含む誘電体セラミック層と、内部電極層と、を有する積層体と、
前記積層体の表面に形成され、前記積層体の表面に露出した内部電極層を電気的に接続する外部電極と、
を備えた、積層セラミックコンデンサにおいて、
前記誘電体セラミック層の組成が、主成分としてジルコン酸カルシウム系ぺロブスカイト型化合物を含み、さらに、Mn、Sr、およびSiを含み、
前記誘電体セラミック層の組成が、
Zrを100モル部としたときのSiの含有モル部が0.1以上10以下であり、
MnのSrに対するモル比が、0.3以上3.2以下である、ことを特徴とする、積層セラミックコンデンサ。 - 前記内部電極層の主成分が、Cuである、請求項1または2に記載の積層セラミックコンデンサ。
- ジルコン酸カルシウム系ぺロブスカイト型化合物を主成分とする主成分粉末を用意する工程と、
Mn化合物、Sr化合物、およびSi化合物を用意する工程と、
前記主成分粉末、前記Mn化合物、前記Sr化合物、前記Si化合物を混合し、その後、セラミックスラリーを得る工程と、
前記セラミックスラリーからセラミックグリーンシートを得る工程と、
前記セラミックグリーンシートと、内部電極層と、を積み重ねて焼成前の積層体を得る工程と、
前記焼成前の積層体を焼成して、積層体を得る工程と、
を備える、積層セラミックコンデンサの製造方法であって、
Zrを100モル部としたときのSiの含有モル部が0.1以上10以下であり、
MnのSrに対するモル比が、0.3以上3.2以下である、ことを特徴とする、積層セラミックコンデンサの製造方法。 - 前記内部電極層の主成分が、Cuである、請求項5に記載の積層セラミックコンデンサの製造方法。
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