JPWO2011145411A1 - 導電膜、およびそれを用いたトランスデューサ、フレキシブル配線板 - Google Patents

Abstract

軟らかく伸縮可能であって、伸長時にも電気抵抗が増加しにくい導電膜を提供する。導電膜は、エラストマーと金属フィラーとを含み、導電性の指標となる条件（Ａ）［基準個数の平均値が０．８（個／μｍ）以上、または、金属フィラーは厚さが１μｍ以下でアスペクト比が２６以上のフレーク状フィラーを含み、基準個数の平均値が０．４（個／μｍ）以上］、および柔軟性の指標となる条件（Ｂ）［エラストマーの面積割合が６０％以上である単位領域の個数が２０個以上］を満たす。

Description

本発明は、伸縮可能な電極、配線等に好適な導電膜、およびそれを用いたトランスデューサ、フレキシブル配線板に関する。

例えば、変形や荷重分布を検出する手段として、エラストマーを利用した柔軟なセンサの開発が進められている。また、エラストマーを利用したアクチュエータは、柔軟性が高く、軽量で小型化し易いため、人工筋肉、医療用器具、流体制御等の様々な分野での利用が検討されている。例えば、エラストマー製の誘電膜の厚さ方向両面に、電極を配置して、アクチュエータを構成することができる。この種のアクチュエータでは、印加電圧の大小により誘電膜が伸縮する。したがって、電極には、誘電膜の伸長、収縮を妨げないように、誘電膜の変形に応じて伸縮可能であることが要求される。加えて、伸長された際に、電気抵抗の変化が小さいことも必要になる。

このような観点から、例えば、特許文献１によると、カーボンブラック等の導電剤に、オイルやエラストマーを混合したペーストから電極を形成している。また、薄膜状に成形可能な導電性材料として、特許文献２には、合成樹脂および有機溶剤に、フレーク状の銀粒子と球状の銀粒子とを分散させたペーストが開示されている。特許文献３には、銅粒子、熱可塑性アクリル樹脂、チタネート系カップリング剤、および有機溶剤を混合したペーストが開示されている。特許文献４には、合成ゴム、シリコーン樹脂および熱可塑性ポリエステル樹脂から選ばれる一種以上のバインダーと、平均粒子径の異なる二種類の鱗片状銀粉と、を混合したペーストが開示されている。

特開２００９−１２４８３９号公報 特開平１１−６６９５６号公報 特開２００６−３３５９７６号公報 特開２００５−１６６３２２号公報

例えば、エラストマーにカーボンブラックを充填した場合、カーボンブラックを高充填したとしても、当該エラストマーの比抵抗は、０．１〜１Ωｃｍ程度と比較的大きい。このため、カーボンブラックに、エラストマー等のバインダーを混合したペーストから電極や配線を形成すると、電気抵抗が大きくなってしまうという問題がある。電極や配線の電気抵抗が高いと、内部抵抗による発熱で、素子が劣化しやすくなる。また、電極や配線の電気抵抗が高いと、高周波領域におけるリアクタンス成分の発生により、アクチュエータの応答性が低下するおそれがある。また、検出信号に対して内部抵抗が高すぎると、センサの分解能が低下するおそれがある。

一方、市販の銀ペーストから形成された電極は、柔軟性に乏しい。銀ペーストは、バインダー樹脂に銀粉末が充填されてなる。バインダー自体の弾性率が高いことに加えて、銀粉末が高充填されているため、形成された電極の弾性率は高くなる。このため、大きく伸長されると、クラックが発生し、著しく電気抵抗が増加してしまう。また、銀ペーストからアクチュエータの電極を形成した場合には、電極が誘電膜の伸縮に追従できず、誘電膜の動きを阻害するおそれがある。

また、特許文献２、３に記載されたペーストにおいても、バインダー樹脂の弾性率が高い。このため、当該ペーストも、上記アクチュエータ等の柔軟な電極、配線の形成材料には適さない。また、特許文献４に記載されたペーストによると、所望の導電性を実現するには、銀粉を比較的多量に充填する必要がある。このため、形成された電極の弾性率が高くなり、電極が誘電膜の伸縮に追従しにくい。加えて、伸長時にクラックが生じやすく、電気抵抗の増加を招く。

本発明は、このような実情に鑑みてなされたものであり、軟らかく伸縮可能であって、伸長時にも電気抵抗が増加しにくい導電膜を提供することを課題とする。また、そのような導電膜を用いることにより、柔軟なトランスデューサおよびフレキシブル配線板を提供することを課題とする。

（１）上記課題を解決するため、本発明の導電膜は、エラストマーと、該エラストマー中に充填されている金属フィラーと、を含み、次の（Ａ）および（Ｂ）の条件を満たすことを特徴とする。
（Ａ）走査型電子顕微鏡により撮影された膜厚方向の断面写真に、膜厚方向に延びる三本の直線を膜展開方向に３μｍずつ離間して描き、各々の該直線ごとに、該直線と交わる該断面写真における最長部の長さが２μｍ以上の該金属フィラーの個数を数えて、該個数を該直線の長さで除することにより該直線１μｍ当たりの基準個数を算出した場合に、三本の該直線における該基準個数の平均値が、０．８（個／μｍ）以上である、または、該金属フィラーは厚さが１μｍ以下でアスペクト比が２６以上のフレーク状フィラーを含み、該基準個数の平均値が０．４（個／μｍ）以上である。
（Ｂ）走査型電子顕微鏡により撮影された膜厚方向の断面写真に、２μｍ四方の単位領域が１００個連なって形成される測定領域を設け、該単位領域ごとに、該エラストマーが占める面積を測定した場合に、該エラストマーの面積割合が６０％以上である該単位領域の個数が、２０個以上である。

まず、条件（Ａ）について説明する。図１に、本発明における条件（Ａ）を説明するための導電膜の断面写真の模式図を示す。図１は、条件（Ａ）の基準個数の算出手順を説明するための模式図である。図１は、金属フィラーの大きさ、形状、数、配置、および導電膜の厚さ等を含めて、本発明の導電膜を何ら限定するものではない。

断面写真１００は、導電膜の膜厚方向断面を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）により撮影したものである。多数の金属フィラー１０２は、エラストマー１０１中に分散している。金属フィラー１０２は、左右方向（導電膜の膜展開方向）に配向している。隣接する金属フィラー１０２同士は、互いに接触している。複数の金属フィラー１０２が連なることにより、エラストマー１０１中に、導電経路が形成されている。

条件（Ａ）の充足性を判断する場合は、まず、断面写真１００の中央部分に、上下方向（導電膜の膜厚方向）に延びる三本の直線α、β、γを描く。三本の直線α、β、γの左右方向の間隔は、各々３μｍである。また、三本の直線α、β、γの長さは、Ｌμｍである。次に、三本の直線α、β、γの各々について、直線α、β、γと交わり、かつ断面写真１００における最長部の長さが２μｍ以上の金属フィラー１０２の個数を数える。ここでは、当該金属フィラー１０２の個数を、直線αについてはｘ個、直線βについてはｙ個、直線γについてはｚ個とする。続いて、各個数を、直線の長さＬμｍで除することにより、各直線１μｍ当たりの基準個数を算出する。ここでは、各直線における基準個数は、ｘ／Ｌ（個／μｍ）、ｙ／Ｌ（個／μｍ）、ｚ／Ｌ（個／μｍ）となる。最後に、三つの基準個数の平均値［（ｘ＋ｙ＋ｚ）／（３Ｌ）］を、算出する。そして、得られた平均値が０．８（個／μｍ）以上であるか、または０．４（個／μｍ）以上０．８（個／μｍ）未満であるか否かを、判断する。基準個数の平均値が０．４（個／μｍ）以上０．８（個／μｍ）未満の場合には、さらに、厚さが１μｍ以下でアスペクト比が２６以上のフレーク状（薄片状）フィラーが含まれているか否かを判断する。このようにして、条件（Ａ）の充足性を判断する。フレーク状フィラーの厚さとしては、平均厚さを採用する。アスペクト比としては、フィラーの最大長さを平均厚さで除した値を採用する（アスペクト比＝最大長さ／平均厚さ）。平均厚さの測定方法については、後述する。

本発明の（Ａ）の条件において、基準個数の平均値が０．８（個／μｍ）以上である、または、金属フィラーは厚さが１μｍ以下でアスペクト比が２６以上のフレーク状フィラーを含み、基準個数の平均値が０．４（個／μｍ）以上であるということは、導電経路の数が多いことを示す。つまり、導電膜は導電性に優れるといえる。また、基準個数の平均値が大きくなる程、伸長されても導電経路が切断されにくい、つまり伸長されても電気抵抗の変化が小さい、と考えられる。このように、（Ａ）の条件は、導電性の指標となる。

次に、条件（Ｂ）について説明する。図２に、本発明における（Ｂ）の条件を説明するための導電膜の断面写真の模式図を示す。図３に、単位領域の一つを拡大した模式図を示す。なお、説明の便宜上、図２においては、エラストマーおよび金属フィラーを省略して示す。また、図２、図３は、条件（Ｂ）の単位領域および測定領域を説明するための模式図である。図２、図３は、金属フィラーの大きさ、形状、数、配置、おより導電膜の膜厚等を含めて、本発明の導電膜を何ら限定するものではない。

条件（Ｂ）の充足性を判断する場合は、まず、図２に示すように、導電膜の膜厚方向断面を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）により撮影した断面写真１００において、２０μｍ四方の正方形の測定領域Ｍを設ける。測定領域Ｍは、１０個×１０個（＝１００個）の単位領域Ｅにより、区画されている。単位領域Ｅは２μｍ四方の正方形である。図３に示すように、単位領域Ｅにおいては、エラストマー１０１と金属フィラー１０２とが観察される。次に、単位領域Ｅごとに、エラストマー１０１が占める面積を測定する。それから、図２にハッチングで示すように、エラストマー１０１の面積割合が６０％以上である単位領域Ｅの個数を数える。そして、当該個数が、２０個以上であるか否かを判断する。このようにして、条件（Ｂ）の充足性を判断する。

ここで、単位領域の配置の仕方は、特に限定されない。しかし、金属フィラーの充填状態を、膜厚方向および膜展開方向について均等に検出するという観点から、単位領域を、膜厚方向および膜展開方向に同数（１０個×１０個）配置して、測定領域を２０μｍ四方の正方形とすることが望ましい（図２参照）。しかし、導電膜の厚さが２０μｍ未満の場合等、１０個の単位領域を膜厚方向に揃えて配置できない場合も考えられる。この場合には、膜厚方向に配置できない残りの単位領域を、膜展開方向に加えて配置すればよい。

本発明の（Ｂ）の条件において、エラストマーの面積割合が６０％以上の単位領域の個数が２０個以上あるということは、エラストマー成分が多い、あるいはエラストマー成分が連続して存在する領域が多いことを示す。つまり、導電膜は柔軟であるといえる。このように、（Ｂ）の条件は、柔軟性の指標となる。

以上まとめると、上記条件（Ａ）、（Ｂ）を充足する導電膜には、所望の導電性を得るための導電経路が、効率的に形成されているといえる。すなわち、より少量の金属フィラーで、高い導電性が確保されている。このように、上記条件（Ａ）、（Ｂ）を充足する金属フィラーの充填状態を実現することにより、導電経路を制御し、金属フィラーを偏在させることができる。その結果、柔軟で、導電性が高く、伸長時の電気抵抗の変化が小さい導電膜を得ることができる。

（２）また、本発明のトランスデューサは、エラストマー製の誘電膜と、該誘電膜を介して配置されている複数の電極と、複数の該電極と各々接続されている配線と、を備え、該電極および該配線の少なくとも一方は、上記本発明の導電膜からなることを特徴とする。

トランスデューサは、ある種類のエネルギーを他の種類のエネルギーに変換する装置である。トランスデューサには、例えば、電気エネルギーと機械エネルギーとの変換を行うアクチュエータ、センサ、発電素子等が含まれる。本発明のトランスデューサによると、電極および配線の少なくとも一方が、上記本発明の導電膜からなる。よって、電極や配線が形成されている部材が変形した場合には、電極や配線が当該変形に追従して伸縮する。このため、トランスデューサの動きが、電極や配線により妨げられにくい。また、本発明の導電膜から形成された電極、配線においては、伸長時の導電性の低下は少なく、繰り返し変形した場合でも、内部抵抗による発熱が少ない。よって、本発明のトランスデューサは耐久性に優れる。

（３）また、本発明のフレキシブル配線板は、配線の少なくとも一部は、上記本発明の導電膜からなることを特徴とする。

本発明のフレキシブル配線板によると、基材の変形に追従して配線が伸縮する。配線が伸長しても、導電性の低下は少なく、伸縮を繰り返した場合でも、内部抵抗による発熱が少ない。よって、本発明のフレキシブル配線板は耐久性に優れる。

本発明における条件（Ａ）を説明するための導電膜の断面写真の模式図である。 本発明における（Ｂ）の条件を説明するための導電膜の断面写真の模式図である。 単位領域の一つを拡大した模式図である。 本発明のトランスデューサの一実施形態である静電容量型センサの上面図である。 図４のＶ−Ｖ断面図である。 本発明のトランスデューサの一実施形態であるアクチュエータの断面模式図であって、（ａ）はオフ状態、（ｂ）はオン状態を各々示す。 本発明のトランスデューサの一実施形態である発電素子の断面模式図であって、（ａ）は伸長時、（ｂ）は収縮時を示す。 本発明の一実施形態であるフレキシブル配線板の上面透過図である。 実施例１の導電膜の膜厚方向断面のＳＥＭ写真である。 比較例１の導電膜の膜厚方向断面のＳＥＭ写真である。 評価実験に使用したアクチュエータの上面図である。 図１１のＸＩＩ−ＸＩＩ方向断面図である。 実施例８の導電膜の膜厚方向断面のＳＥＭ写真である。

１：静電容量型センサ（トランスデューサ） １０：誘電膜 １１ａ、１１ｂ：電極 １２ａ、１２ｂ：配線 １３ａ、１３ｂ：カバーフィルム １４：コネクタ
２：アクチュエータ（トランスデューサ） ２０：誘電膜 ２１ａ、２１ｂ：電極 ２２ａ、２２ｂ：配線 ２３：電源
３：発電素子（トランスデューサ） ３０：誘電膜 ３１ａ、３１ｂ：電極 ３２ａ〜３２ｃ：配線
４：フレキシブル配線板 ４０：基材 ４１：表側配線用コネクタ ４２：裏側配線用コネクタ
５：アクチュエータ ５０：誘電膜 ５１ａ、５１ｂ：電極 ５２：電源 ５３：変位計 ５１０ａ、５１０ｂ：端子部 ５３０：マーカー
１００：導電膜 １０１：エラストマー １０２：金属フィラー
０１Ｘ〜１６Ｘ：表側電極 ０１Ｘ１〜１６Ｘ１：表側接続部
０１Ｙ〜１６Ｙ：裏側電極 ０１Ｙ１〜１６Ｙ１：裏側接続部
０１ｘ〜１６ｘ：表側配線 ０１ｙ〜１６ｙ：裏側配線
Ｅ：単位領域 Ｍ：測定領域

以下、本発明の導電膜、およびそれを用いたトランスデューサ、フレキシブル配線板の実施形態について順に説明する。

＜導電膜＞
本発明の導電膜を構成するエラストマーは、室温でゴム状弾性を有するものであればよい。例えば、ガラス転移温度（Ｔｇ）が−１０℃以下のエラストマーは、柔軟なため好適である。また、Ｔｇが低くなると、結晶性が低下するため、エラストマーの破断伸びが大きくなる。つまり、より伸長しやすくなる。したがって、エラストマーのＴｇは、−２０℃以下、さらには−３５℃以下であることが望ましい。本明細書では、ガラス転移温度として、ＪＩＳ Ｋ７１２１（１９８７）に準じて測定した中間点ガラス転移温度を採用する。

また、エラストマーは、水素結合可能な官能基を有することが望ましい。水素結合可能な官能基は、金属フィラーに対する親和性が高い。このため、エラストマーと金属フィラーとの界面剥離が起こりにくい。したがって、伸長された場合でも、導電膜にクラックが発生しにくく、電気抵抗も増加しにくい。水素結合可能な官能基としては、例えば、エステル基、ウレタン結合、ウレア結合、ハロゲン基、水酸基、カルボキシル基、アミノ基、スルホン酸基、エーテル結合等が挙げられる。なかでも、エステル基を有するものが望ましい。

エラストマーは、導電膜に加わる力学的負荷、導電膜を使用する温度や湿度、基材との接着性等を考慮して選択すればよい。エラストマーとしては、一種を単独で用いてもよく、二種以上を混合して用いてもよい。例えば、アクリルゴム、ウレタンゴム、ヒドリンゴム、シリコーンゴム等が好適である。アクリルゴムは、結晶性が低く分子間力が弱いため、他のゴムと比較してＴｇが低い。よって、柔軟で伸びがよく、アクチュエータの電極等に好適である。アクリルゴムとしては、炭素数４以上のアルキル基を有するアクリル酸エステルモノマー単位を５０ｍｏｌ％以上含むものが望ましい。アルキル基が大きい（炭素数が多い）と、結晶性が低下するため、アクリルゴムの弾性率がより低くなる。また、ウレタンゴムは、力学的強度に優れる。このため、力学的な負荷が加わる用途に好適である。また、ヒドリンゴムおよびシリコーンゴムは、環境安定性に優れる。このため、温度や湿度等の環境変化が大きい用途に好適である。

エラストマーは、可塑剤、加工助剤、架橋剤、架橋促進剤、架橋助剤、老化防止剤、軟化剤、着色剤等の添加剤を含んでいてもよい。例えば、可塑剤を添加すると、エラストマーの加工性が向上すると共に、柔軟性をより向上させることができる。可塑剤としては、公知のフタル酸ジエステル等の有機酸誘導体、リン酸トリクレジル等のリン酸誘導体、アジピン酸ジエステル、塩素化パラフィン、ポリエーテルエステル等を使用すればよい。

また、架橋反応に寄与する架橋剤、架橋促進剤、架橋助剤等については、エラストマーの種類等に応じて、適宜決定すればよい。例えば、架橋剤に硫黄が含まれていると、金属フィラーが硫化されるおそれがある。これにより、金属フィラーの表面の電気抵抗が増加して、導電性が低下するおそれがある。したがって、架橋剤等としては、硫黄を含まない化合物を用いることが望ましい。

エラストマーに充填されている金属フィラーの材質は、特に限定されるものではない。導電性がカーボンブラックより高く、腐食しにくいという観点から、例えば、銀、金、銅、ニッケル、ロジウム、パラジウム、クロム、チタン、白金、鉄、およびこれらの合金等から適宜選択すればよい。なかでも銀は、電気抵抗が小さいため好適である。

また、金属以外の粒子の表面を金属で被覆したものを使用してもよい。この場合、金属だけで構成する場合と比較して、フィラーの比重を小さくすることができる。よって、塗料化した場合に、金属フィラーの沈降が抑制されて、分散性が向上する。また、粒子を加工することにより、様々な形状の金属フィラーを容易に製造することができる。また、金属フィラーのコストを低減することができる。被覆する金属としては、先に列挙した金属フィラーとして好適な金属を、用いることができる。また、金属以外の粒子としては、グラファイトやカーボンブラック等の炭素材料、炭酸カルシウム、二酸化チタン、酸化アルミニウム、チタン酸バリウム等の金属酸化物、シリカ等の無機物、アクリルやウレタン等の樹脂等を用いればよい。

金属フィラーは、フィラー同士の接触面積を大きくして導電性を向上させるという観点から、厚さが１μｍ以下のフレーク状（薄片状）または針状であって、膜展開方向に配向する異方性フィラーを含むことが望ましい。異方性フィラーは、その長手方向が膜展開方向と略平行になるように、エラストマー中に配置されていればよい。

異方性フィラーの平均粒子径は、特に限定されるものではないが、例えば２．５μｍ以上２０μｍ以下であることが望ましい。平均粒子径が２．５μｍ未満の場合には、フィラー同士の重なり面積が小さくなるため、伸長時に電気抵抗が増加しやすい。反対に１５μｍより大きくなると、導電膜の柔軟性が低下する。本明細書では、金属フィラーの平均粒子径として、日機装（株）製「マイクロトラック粒度分布測定装置ＵＰＡ−ＥＸ１５０型」により測定された値を採用する。

フレーク状の異方性フィラー（以下適宜、「フレーク状フィラー」と称す）の厚さを１μｍ以下としたのは、以下の理由による。すなわち、フレーク状フィラーを用いて、エラストマー中に導電経路を形成するためには、エラストマーに所定の数以上のフレーク状フィラーを充填することが必要である。ここで、フレーク状フィラーの厚さを薄くすると、同じ数だけフレーク状フィラーを使用しても、充填されるフレーク状フィラーの総質量は減少する。また、エラストマー中に占めるフレーク状フィラーの体積割合も低下する。したがって、その分、エラストマーの体積割合が増加して、導電膜の柔軟性を向上させることができる。このような理由から、フレーク状フィラーの厚さを、１μｍ以下とした。より好適には、０．５μｍ以下である。なお、フレーク状フィラーの「厚さ」は、一つのフィラーの平均厚さである。

フレーク状フィラーとしては、アスペクト比が２６以上のフィラーを含むことが望ましい。アスペクト比が大きい程、フィラー同士が重なりやすく、導電経路が形成されやすい。アスペクト比は、フレーク状フィラーの最大長さを平均厚さで除して算出される（アスペクト比＝最大長さ／平均厚さ）。ここで、導電膜中のフレーク状フィラーの最大長さは、次のようにして測定することができる。まず、導電膜からポリマー分を除去し、金属フィラー（フレーク状フィラーを含む）を取り出す。そして、取り出した金属フィラーのＳＥＭ写真を撮影し、当該ＳＥＭ写真からフレーク状フィラーの最大長さを測定する。また、導電膜中のフレーク状フィラーの平均厚さは、次のようにして測定することができる。まず、導電膜から取り出した金属フィラーを、エポキシ樹脂で包埋する。次に、包埋した試料を、金属フィラーの厚さ方向に切断し、試料断面のＳＥＭ写真を撮影する。そして、当該ＳＥＭ写真におけるフレーク状フィラーの断面像を画像解析することにより、平均厚さを算出する。

金属フィラーとしては、上記異方性フィラーに加えて、形状や大きさの異なる種々のフィラーを用いることができる。なかでも、平均粒子径が０．１μｍ以上１．５μｍ以下の塊状フィラーを併用することが望ましい。ここで、「塊状」には、球状、略球状（楕円球状、長円球状（一対の対向する半球を円柱で連結した形状）等）の他、表面に凹凸のある不定形状が含まれる。

例えば、異方性フィラーのみを使用した場合には、接触している異方性フィラー同士が、伸長時に接触面で剪断される。このため、導電膜の柔軟性が低下するおそれがある。この点、異方性フィラーと塊状フィラーとを併用した場合には、塊状フィラーが異方性フィラー間に入り込む。そして、異方性フィラーを偏在させる。これにより、異方性フィラー同士の剪断が少なくなり、柔軟性の低下が抑制される。

塊状フィラーの平均粒子径は、０．１μｍ以上１．５μｍ以下であることが望ましい。平均粒子径が０．１μｍ未満の場合には、比表面積が大きくなるため補強性が大きくなり、導電膜の柔軟性が低下する。０．３μｍ以上がより好適である。反対に１．５μｍより大きくなると、異方性フィラーの隙間に入り込みにくくなる。

また、塊状フィラーによる柔軟性の向上効果を発揮させるには、異方性フィラーと、塊状フィラーと、の含有割合を、質量比で２：１〜５０：１とすることが望ましい。

上述したように、本発明の導電膜は、次の（Ａ）および（Ｂ）の条件を満たす。
（Ａ）走査型電子顕微鏡により撮影された膜厚方向の断面写真に、膜厚方向に延びる三本の直線を膜展開方向に３μｍずつ離間して描き、各々の直線ごとに、該直線と交わる断面写真における最長部の長さが２μｍ以上の金属フィラーの個数を数えて、該個数を該直線の長さで除することにより該直線１μｍ当たりの基準個数を算出した場合に、三本の直線における基準個数の平均値が、０．８（個／μｍ）以上である、または、該金属フィラーは厚さが１μｍ以下でアスペクト比が２６以上のフレーク状フィラーを含み、該基準個数の平均値が０．４（個／μｍ）以上である。
（Ｂ）走査型電子顕微鏡により撮影された膜厚方向の断面写真に、２μｍ四方の単位領域が１００個連なって形成される測定領域を設け、単位領域ごとに、エラストマーが占める面積を測定した場合に、エラストマーの面積割合が６０％以上である単位領域の個数が、２０個以上である。

上記条件（Ａ）および（Ｂ）を満たすように、金属フィラーが充填されている本発明の導電膜は、金属フィラーの充填量が比較的少なくても、高い導電性を有する。例えば、金属フィラーの充填量は、導電膜の体積を１００ｖｏｌ％とした場合の４５ｖｏｌ％未満であることが望ましい。より好適には４２ｖｏｌ％未満、さらには３８ｖｏｌ％未満であることが望ましい。

本発明の導電膜は、例えば、エラストマー分のポリマー（適宜添加剤を含む）と金属フィラーとを、ニーダー、バンバリーミキサー等の加圧式混練機、二本ロール、三本ロール等により混練してなる導電材料を、金型成形や押出成形することにより製造することができる。あるいは、まずエラストマー分のポリマーを、所定の添加剤と共に溶剤に溶解した溶液に、金属フィラーを添加して、攪拌、混合して導電塗料を調製する。次に、調製した導電塗料を基材等に塗布し、加熱により乾燥させて製造することができる。この場合、加熱時に、エラストマー分の架橋反応を進行させてもよい。また、導電膜中の金属フィラーの配向性を向上させるため、導電塗料の塗布時に、配向方向に流動させたり、成膜された導電膜に対して、ホットプレス、延伸等の加工を施してもよい。

導電塗料の塗布方法は、既に公知の種々の方法を採用することができる。例えば、インクジェット印刷、フレキソ印刷、グラビア印刷、スクリーン印刷、パッド印刷、リソグラフィー等の印刷法の他、ディップ法、スプレー法、バーコート法等が挙げられる。例えば、印刷法を採用すると、塗布する部分と塗布しない部分との塗り分けを、容易に行うことができる。また、大きな面積、細線、複雑な形状の印刷も容易である。印刷法の中でも、高粘度の導電塗料が使用でき、塗膜厚さの調整が容易であることや、金属フィラーが配向しやすいという理由から、スクリーン印刷法が好適である。

本発明の導電膜の厚さは、用途に応じて適宜決定すればよい。例えば、本発明の導電膜を、エラストマーセンサやアクチュエータの電極や配線として用いた場合、エラストマーセンサやアクチュエータの小型化、および誘電膜の変形に対する影響をできるだけ小さくするという観点から、導電膜の厚さは薄い方が望ましい。例えば、導電膜の厚さを、４μｍ以上１０００μｍ以下とすることが望ましい。１０μｍ以上５０μｍ以下とするとより好適である。

また、本発明の導電膜は、用途に応じて、基材や誘電膜等の表面に形成すればよい。基材としては、例えばポリイミド、ポリエチレン、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）等からなる屈曲性を有する樹脂フィルム等が挙げられる。なお、本発明の導電膜を、エラストマー製の弾性部材の表面に形成した場合には、柔軟性が高く、伸長時にも電気抵抗が増加しにくいという効果を、より発揮させることができる。ここで、弾性部材には、アクチュエータ等における誘電膜が含まれる。薄膜状の弾性部材は、例えば、弾性部材を形成するための塗料を、離型性を有する基材上に塗工した後、所望の形状に切り取って剥離することにより、製造することができる。

本発明の導電膜は、トランスデューサの電極や配線、フレキシブル配線板の配線等に好適である。以下、まず、本発明の導電膜を用いたトランスデューサの例として、エラストマーセンサ、アクチュエータ、および発電素子の実施形態を説明し、次に、フレキシブル配線板の実施形態を説明する。なお、本発明のトランスデューサおよびフレキシブル配線板においても、上述した本発明の導電膜の好適な態様を採用することが望ましい。

＜エラストマーセンサ＞
本発明の導電膜を電極および配線に使用したエラストマーセンサの一例として、静電容量型センサの実施形態を説明する。まず、本実施形態の静電容量型センサの構成について説明する。図４に、静電容量型センサの上面図を示す。図５に、図４のＶ−Ｖ断面図を示す。図４、図５に示すように、静電容量型センサ１は、誘電膜１０と、一対の電極１１ａ、１１ｂと、配線１２ａ、１２ｂと、カバーフィルム１３ａ、１３ｂと、を備えている。

誘電膜１０は、ウレタンゴム製であって、左右方向に延びる帯状を呈している。誘電膜１０の厚さは、約３００μｍである。

電極１１ａは、長方形状を呈している。電極１１ａは、誘電膜１０の上面に、スクリーン印刷により三つ形成されている。同様に、電極１１ｂは、長方形状を呈している。電極１１ｂは、誘電膜１０を挟んで電極１１ａと対向するように、誘電膜１０の下面に三つ形成されている。電極１１ｂは、誘電膜１０の下面に、スクリーン印刷されている。このように、誘電膜１０を挟んで、電極１１ａ、１１ｂが三対配置されている。電極１１ａ、１１ｂは、本発明の導電膜からなる。

配線１２ａは、誘電膜１０の上面に形成された電極１１ａの一つ一つに、それぞれ接続されている。配線１２ａにより、電極１１ａとコネクタ１４とが結線されている。配線１２ａは、誘電膜１０の上面に、スクリーン印刷により形成されている。同様に、配線１２ｂは、誘電膜１０の下面に形成された電極１１ｂの一つ一つに、それぞれ接続されている（図４中、点線で示す）。配線１２ｂにより、電極１１ｂとコネクタ（図略）とが結線されている。配線１２ｂは、誘電膜１０の下面に、スクリーン印刷により形成されている。配線１２ａ、１２ｂは、本発明の導電膜からなる。

カバーフィルム１３ａは、アクリルゴム製であって、左右方向に延びる帯状を呈している。カバーフィルム１３ａは、誘電膜１０、電極１１ａ、配線１２ａの上面を覆っている。同様に、カバーフィルム１３ｂは、アクリルゴム製であって、左右方向に延びる帯状を呈している。カバーフィルム１３ｂは、誘電膜１０、電極１１ｂ、配線１２ｂの下面を覆っている。

次に、静電容量型センサ１の動きについて説明する。例えば、静電容量型センサ１が上方から押圧されると、誘電膜１０、電極１１ａ、カバーフィルム１３ａは一体となって、下方に湾曲する。圧縮により、誘電膜１０の厚さは薄くなる。その結果、電極１１ａ、１１ｂ間のキャパシタンスは大きくなる。このキャパシタンス変化により、圧縮による変形が検出される。

次に、本実施形態の静電容量型センサ１の作用効果について説明する。本実施形態の静電容量型センサ１によると、誘電膜１０、電極１１ａ、１１ｂ、配線１２ａ、１２ｂ、カバーフィルム１３ａ、１３ｂは、いずれもエラストマー材料からなる。このため、静電容量型センサ１の全体が柔軟であり、伸縮可能である。また、電極１１ａ、１１ｂおよび配線１２ａ、１２ｂは、誘電膜１０の変形に追従して変形することができる。さらに、電極１１ａ、１１ｂおよび配線１２ａ、１２ｂについては、導電性が高く、伸長されても電気抵抗の増加が小さい。このため、静電容量型センサ１の応答性は良好である。なお、本実施形態の静電容量型センサ１には、誘電膜１０を狭んで対向する電極１１ａ、１１ｂが、三対形成されている。しかし、電極の数、大きさ、配置等は、用途に応じて、適宜決定すればよい。

＜アクチュエータ＞
本発明の導電膜を電極に使用したアクチュエータの実施形態を説明する。図６に、本実施形態のアクチュエータの断面模式図を示す。（ａ）はオフ状態、（ｂ）はオン状態を各々示す。図６に示すように、アクチュエータ２は、誘電膜２０と、電極２１ａ、２１ｂと、配線２２ａ、２２ｂと、を備えている。誘電膜２０は、ウレタンゴム製である。電極２１ａは、誘電膜２０の上面の略全体を覆うように、配置されている。同様に、電極２１ｂは、誘電膜２０の下面の略全体を覆うように、配置されている。電極２１ａ、２１ｂは、各々、配線２２ａ、２２ｂを介して電源２３に接続されている。電極２１ａ、２１ｂは、いずれも本発明の導電膜からなる。

オフ状態からオン状態に切り替える際は、一対の電極２１ａ、２１ｂ間に電圧を印加する。電圧の印加により、誘電膜２０の膜厚は薄くなる。その分だけ、誘電膜２０は、図６（ｂ）中白抜き矢印で示すように、電極２１ａ、２１ｂ面に対して平行方向に伸長する。これにより、アクチュエータ２は、図６中横および上下方向の駆動力を出力する。

本実施形態によると、電極２１ａ、２１ｂは、柔軟で伸縮可能である。このため、誘電膜２０の変形に追従して変形することができる。すなわち、誘電膜２０の動きが、電極２１ａ、２１ｂにより妨げられにくい。したがって、アクチュエータ２によると、より大きな力および変位量を得ることができる。さらに、電極２１ａ、２１ｂについては、伸長されても電気抵抗の増加が小さい。よって、内部抵抗による発熱が少なく、電極２１ａ、２１ｂは、劣化しにくい。すなわち、アクチュエータ２は耐久性に優れる。なお、複数の誘電膜と電極とを交互に積層させた積層構造とすると、より大きな力を発生させることができる。これにより、アクチュエータの出力が大きくなり、駆動対象部材をより大きな力で駆動させることができる。

＜発電素子＞
本発明の導電膜を電極に使用した発電素子の実施形態を説明する。図７に、本実施形態の発電素子の断面模式図を示す。（ａ）は伸長時、（ｂ）は収縮時を各々示す。図７に示すように、発電素子３は、誘電膜３０と、電極３１ａ、３１ｂと、配線３２ａ〜３２ｃと、を備えている。誘電膜３０は、ウレタンゴム製である。電極３１ａは、誘電膜３０の上面の略全体を覆うように、配置されている。同様に、電極３１ｂは、誘電膜３０の下面の略全体を覆うように、配置されている。電極３１ａには、配線３２ａ、３２ｂが接続されている。すなわち、電極３１ａは、配線３２ａを介して、外部負荷（図略）に接続されている。また、電極３１ａは、配線３２ｂを介して、電源（図略）に接続されている。電極３１ｂは、配線３２ｃにより接地されている。電極３１ａ、３１ｂは、いずれも本発明の導電膜からなる。

図７（ａ）に示すように、発電素子３を圧縮し、誘電膜３０を電極３１ａ、３１ｂ面に対して平行方向に伸長すると、誘電膜３０の膜厚は薄くなり、電極３１ａ、３１ｂ間に電荷が蓄えられる。その後、圧縮力を除去すると、図７（ｂ）に示すように、誘電膜３０の弾性復元力により誘電膜３０は収縮し、膜厚が厚くなる。その際、蓄えられた電荷が配線３２ａを通して放出される。

本実施形態によると、電極３１ａ、３１ｂは、柔軟で伸縮可能である。このため、誘電膜３０の動きが、電極３１ａ、３１ｂにより妨げられにくい。また、電極３１ａ、３１ｂについては、伸長されても電気抵抗の増加が小さい。このため、繰り返し変形した場合でも、内部抵抗による発熱が少ない。したがって、発電素子３は耐久性に優れる。

＜フレキシブル配線板＞
本発明の導電膜を配線に使用したフレキシブル配線板の実施形態を説明する。図８に、本実施形態のフレキシブル配線板の上面透過図を示す。なお、図８中、裏側の配線については細線で示す。図８に示すように、フレキシブル配線板４は、基材４０と、表側電極０１Ｘ〜１６Ｘと、表側電極０１Ｘ〜１６Ｘと、表側配線０１ｘ〜１６ｘと、裏側配線０１ｙ〜１６ｙと、表側配線用コネクタ４１と、裏側配線用コネクタ４２と、を備えている。

基材４０は、ウレタンゴム製であって、シート状を呈している。表側電極０１Ｘ〜１６Ｘは、基材４０の上面に、合計１６本配置されている。表側電極０１Ｘ〜１６Ｘは、各々、帯状を呈している。表側電極０１Ｘ〜１６Ｘは、各々、Ｘ方向（左右方向）に延在している。表側電極０１Ｘ〜１６Ｘは、Ｙ方向（前後方向）に、所定間隔ごとに離間して、互いに略平行になるように、配置されている。表側電極０１Ｘ〜１６Ｘの左端には、各々、表側接続部０１Ｘ１〜１６Ｘ１が配置されている。同様に、裏側電極０１Ｙ〜１６Ｙは、基材４０の下面に、合計１６本配置されている。裏側電極０１Ｙ〜１６Ｙは、各々、帯状を呈している。裏側電極０１Ｙ〜１６Ｙは、各々、Ｙ方向に延在している。裏側電極０１Ｙ〜１６Ｙは、Ｘ方向に、所定間隔ごとに離間して、互いに略平行になるように、配置されている。裏側電極０１Ｙ〜１６Ｙの前端には、各々、裏側接続部０１Ｙ１〜１６Ｙ１が配置されている。図８にハッチングで示すように、基材４０を挟んで、表側電極０１Ｘ〜１６Ｘと裏側接続部０１Ｙ１〜１６Ｙ１とが交差する部分（重複する部分）により、荷重等を検出する検出部が形成されている。

表側配線０１ｘ〜１６ｘは、基材４０の上面に、合計１６本配置されている。表側配線０１ｘ〜１６ｘは、各々、線状を呈している。表側配線用コネクタ４１は、基材４０の左後隅に配置されている。表側配線０１ｘ〜１６ｘは、各々、表側接続部０１Ｘ１〜１６Ｘ１と、表側配線用コネクタ４１と、を接続している。また、基材４０の上面、表側電極０１Ｘ〜１６Ｘ、表側配線０１ｘ〜１６ｘは、上方から、表側カバーフィルム（図略）により覆われている。表側配線０１ｘ〜１６ｘは、本発明の導電膜からなる。

裏側配線０１ｙ〜１６ｙは、基材４０の下面に、合計１６本配置されている。裏側配線０１ｙ〜１６ｙは、各々、線状を呈している。裏側配線用コネクタ４２は、基材４０の左前隅に配置されている。裏側配線０１ｙ〜１６ｙは、各々、裏側接続部０１Ｙ１〜１６Ｙ１と、裏側配線用コネクタ４２と、を接続している。また、基材４０の下面、裏側電極０１Ｙ〜１６Ｙ、裏側配線０１ｙ〜１６ｙは、下方から、裏側カバーフィルム（図略）により覆われている。裏側配線０１ｙ〜１６ｙは、本発明の導電膜からなる。

表側配線用コネクタ４１、裏側配線用コネクタ４２には、各々、演算部（図略）が電気的に接続されている。演算部には、表側配線０１ｘ〜１６ｘおよび裏側配線０１ｙ〜１６ｙから、検出部におけるインピーダンスが入力される。これに基づいて、面圧分布が測定される。

本実施形態によると、表側配線０１ｘ〜１６ｘおよび裏側配線０１ｙ〜１６ｙは、各々、柔軟で伸縮可能である。このため、基材４０の変形に追従して変形することができる。また、表側配線０１ｘ〜１６ｘおよび裏側配線０１ｙ〜１６ｙについては、伸長されても電気抵抗の増加が小さい。このため、繰り返し変形した場合でも、内部抵抗による発熱が少ない。したがって、フレキシブル配線板４は耐久性に優れる。

次に、実施例を挙げて本発明をより具体的に説明する。

＜導電膜の製造＞
［実施例１〜４］
まず、二種類のモノマーを懸濁重合して、アクリルゴムポリマーを製造した。モノマーとしては、ｎ−ブチルアクリレート（ＢＡ）と、アリルグリシジルエーテル（ＡＧＥ）と、を用いた。モノマーの配合割合は、ＢＡを９８質量％、ＡＧＥを２質量％とした。得られたアクリルゴムポリマーの重量平均分子量を、ゲル浸透クロマトグラフィー（ＧＰＣ）により測定したところ、約９０万であった。また、アクリルゴムポリマーのＴｇは、−４６℃であった。

次に、製造したアクリルゴムポリマー１００質量部と、加工助剤のステアリン酸（花王（株）製「ルナック（登録商標）Ｓ３０」）１質量部と、架橋剤の安息香酸ナトリウム（大内新興化学工業（株）製「バルノック（登録商標）ＡＢ−Ｓ」）１質量部と、をロール練り機にて混合し、エラストマー組成物を調製した。

続いて、調製したエラストマー組成物を、溶剤のエチレングリコールモノブチルエーテルアセテートに溶解させ、エラストマー溶液を調製した。このエラストマー溶液に、金属フィラーとして、所定の銀粉末を添加し、三本ロールにて混練りして導電塗料とした。銀粉末については、以下の三種類を適宜使用した。
銀粉末Ａ：福田金属箔粉工業（株）製「ナノメルト（登録商標）Ａｇ−ＸＦ」（フレーク状、平均粒子径約５μｍ、厚さ約０．２μｍ、アスペクト比２５）
銀粉末Ｂ：ＤＯＷＡエレクトロニクス（株）製「ＦＡ−Ｄ−４」（フレーク状、平均粒子径約１５μｍ、厚さ約０．９μｍ、アスペクト比１６．７）。
銀粉末Ｃ：ＤＯＷＡエレクトロニクス（株）製「ＡＧ２−１Ｃ」（球状、平均粒子径約０．５μｍ、アスペクト比１）。

製造した導電塗料を、アクリル樹脂製の基材表面にバーコート法により塗布した。その後、塗膜が形成された基材を、約１５０℃の乾燥炉内に約３０分間静置して、塗膜を乾燥させると共に、架橋反応を進行させて、導電膜を得た。得られた導電膜の厚さは、約２０μｍであった。

［実施例５］
アクリルゴムに替えてウレタンゴムを用いた以外は、実施例１と同様にして、導電膜を製造した。ウレタンゴムとしては、日本ポリウレタン工業（株）製「ニッポラン（登録商標）５２３０」を用いた。また、架橋剤および加工助剤を配合せずに、ウレタンゴムポリマーを溶剤に溶解させて、エラストマー溶液を調製した。

［実施例６］
アクリルゴムに替えてヒドリンゴムを用いた以外は、実施例１と同様にして、導電膜を製造した。ヒドリンゴムとしては、ダイソー（株）製「エピクロマー（登録商標）ＣＧ１０２」を用いた。また、架橋剤としては、トリアジンチオール（和光純薬工業（株）製）０．５質量部を用い、加工助剤を配合せずに、エラストマー組成物を調製した。

［実施例７］
アクリルゴムに替えてシリコーンゴムを用いた以外は、実施例１と同様にして、導電膜を製造した。シリコーンゴムとしては、モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ・ジャパン合同会社製「ＴＳＥ−３３５１」を用いた。また、架橋剤および加工助剤を配合せずに、シリコーンゴムポリマーを溶剤に溶解させて、エラストマー溶液を調製した。

［実施例８］
銀粉末の種類および配合量を変更した以外は、実施例１〜４と同様にして、導電膜を製造した。銀粉末としては、上記銀粉末Ｃと、化学還元法により作製された平均粒子径２μｍの球状銀粒子を、ボールミルを用いて扁平化して作製された銀粉末Ｄと、の二種類を使用した。銀粉末Ｄの粒子形状はフレーク状、平均粒子径は約１３μｍ、厚さは約０．２μｍ、アスペクト比は６５である。

［実施例９］
実施例８と同じ二種類の銀粉末を使用した以外は、実施例５と同様にして、導電膜を製造した。

［実施例１０］
実施例８と同じ二種類の銀粉末を使用した以外は、実施例６と同様にして、導電膜を製造した。

［実施例１１］
実施例８と同じ二種類の銀粉末を使用した以外は、実施例７と同様にして、導電膜を製造した。

［比較例１］
市販の銀ペースト（藤倉化成（株）製「ドータイト（登録商標）ＦＡ−３５３Ｎ」）から、厚さ約２０μｍの導電膜を形成した。

［比較例２〜４］
銀粉末の種類および配合量を変更した以外は、上記実施例１〜４と同様にして、導電膜を製造した。

表１、表２に、実施例および比較例について、使用したエラストマー、金属フィラーの種類および配合量等を示す。

＜条件（Ａ）、（Ｂ）の充足性＞
実施例および比較例の導電膜について、膜厚方向断面のＳＥＭ写真を撮影し、（Ａ）および（Ｂ）の条件を満たすか否かを調べた。まず、各導電膜をエポキシ樹脂で包埋し、ミクロトームにより膜厚方向の断面を切り出した。次に、当該断面のＳＥＭ写真を撮影した（倍率１０００〜５０００倍）。ＳＥＭ写真の例として、図９に、実施例１の導電膜の膜厚方向断面のＳＥＭ写真を示す。図１０に、比較例１の導電膜の膜厚方向断面のＳＥＭ写真を示す。図１３に、実施例８の導電膜の膜厚方向断面のＳＥＭ写真を示す。図９に示すように、実施例１の導電膜については、エラストマー中のフレーク状フィラー（銀粉末Ａ、Ｂ）が、膜展開方向（左右方向）に配向していることが確認された。また、図１３に示すように、実施例８の導電膜においては、実施例１の導電膜（図９）と比較して、膜展開方向の長さが大きくアスペクト比が大きいフレーク状フィラー（銀粉末Ｄ）が確認できる。

［条件（Ａ）］
まず、ＳＥＭ写真の略中央部分に、膜厚方向に延びる長さ１０μｍの三本の直線を、３μｍ間隔で描いた。次に、各々の直線ごとに、直線と交わり、かつ最長部の長さが２μｍ以上の金属フィラーの個数を数えた。続いて、得られた個数を直線の長さで除して、各々の直線ごとに、基準個数を算出した。そして、三つの基準個数の平均値を算出した。実施例および比較例の導電膜における、基準個数の平均値を、上記表１、表２にまとめて示す。

［条件（Ｂ）］
まず、ＳＥＭ写真に、２０μｍ四方の正方形の測定領域を設けた。次に、測定領域を、２μｍ四方の正方形の単位領域１００個（１０個×１０個）に分割した。続いて、バイナリ画像解析ソフトを用いて、各単位領域を白黒のビットマップに変換した。そして、単位領域ごとに、エラストマーおよび金属フィラーの画素数から、エラストマーの占める面積割合を算出した。実施例および比較例の導電膜における、エラストマーの面積割合が６０％以上の単位領域の個数を、上記表１、表２にまとめて示す。

＜評価方法＞
実施例および比較例の導電膜について、柔軟性および導電性を評価した。以下、各々の評価方法について説明する。

［柔軟性］
導電膜について、ＪＩＳ Ｋ７１２７（１９９９）に準じた引張試験を行った。試験片の形状は、試験片タイプ２とした。得られた応力−伸び曲線から、導電膜の弾性率を算出した。

［導電性］
導電膜の体積抵抗率を、ＪＩＳ Ｋ６２７１（２００８）の平行端子電極法に準じて測定した。この際、導電膜（試験片）を支持する絶縁樹脂製支持具として、市販のブチルゴムシート（タイガースポリマー（株）製）を用いた。体積抵抗率の測定は、伸長の有無により二種類行った。すなわち、一つは、自然状態（伸長なし）で測定し、もう一つは、伸長率１００％で伸長した状態で測定した。ここで、伸長率は、次式（Ｉ）により算出した値である。
伸長率（％）＝（ΔＬ_０／Ｌ_０）×１００・・・（Ｉ）
［Ｌ_０：試験片の標線間距離、ΔＬ_０：試験片の標線間距離の伸長による増加分］

＜評価結果＞
実施例および比較例の導電膜の評価結果を、上記表１、表２にまとめて示す。表１、表２に示すように、実施例１〜７の導電膜は、いずれも、条件（Ａ）［基準個数の平均値が０．８（個／μｍ）以上］、および（Ｂ）［エラストマーの面積割合が６０％以上である単位領域の個数が２０個以上］の両方を満たしていた。また、実施例８〜１１の導電膜は、厚さ０．２μｍ、アスペクト比６５のフレーク状フィラー（銀粉末Ｄ）を含む。このため、実施例８〜１１の導電膜は、条件（Ａ）［金属フィラーは厚さが１μｍ以下でアスペクト比が２６以上のフレーク状フィラーを含み、基準個数の平均値が０．４（個／μｍ）以上］、および（Ｂ）［エラストマーの面積割合が６０％以上である単位領域の個数が２０個以上］の両方を満たしていた。したがって、実施例１〜１１の導電膜は、いずれも柔軟で、高い導電性を有する。また、伸長しても電気抵抗の増加は小さい。

例えば、実施例１、２、４の導電膜については、自然状態における導電性が高くなった。また、実施例１、２、４を比較すると、この順に、条件（Ｂ）の個数が小さくなっている。これに伴い、実施例１、２、４の順に、弾性率が高くなった。言い換えると、柔軟性が低下した。このため、実施例２、４については、実施例１と比較して、自然状態の体積抵抗率は小さいが、伸長後の体積抵抗率は大きくなった。

また、実施例３の導電膜は、厚さが非常に薄いフレーク状フィラー（銀粉末Ａ：約０．２μｍ）のみを含む。実施例３の導電膜については、金属フィラーの充填量（体積割合）が少ないにも関わらず、導電性は確保されている。このように、厚さの薄い異方性フィラーを用いると、充填量が少なくても、エラストマー中に効率良く導電経路を形成することができる。

また、アクリルゴムを使用した実施例１の導電膜の弾性率は、ウレタンゴム等を使用した実施例５〜７の導電膜の弾性率と比較して、低くなった。弾性率の違いは、実施例８と実施例９〜１１とを比較した場合にも明らかである。また、実施例８〜１１の導電膜は、アスペクト比が大きなフレーク状フィラー（銀粉末Ｄ）を含む。アスペクト比が大きいため、フィラー同士が接触しやすい。これにより、エラストマー中に効率良く導電経路を形成することができる。したがって、実施例８〜１１の導電膜については、金属フィラーの充填量が少なくても、導電性は高くなった。

一方、比較例の導電膜のなかには、条件（Ａ）および（Ｂ）の両方を満たすものはなかった。例えば、比較例１は、条件（Ａ）、（Ｂ）のいずれも満たしていない。比較例１の弾性率は非常に高い。このため、自然状態の体積抵抗率は小さいものの、伸長時にクラックが生じて、体積抵抗率が著しく増加した。また、比較例２は、二つの条件のうち、（Ｂ）を満たしているが（Ａ）を満たしていない。すなわち、比較例２については、柔軟性は高いが、導電性が充分ではない。この点は、体積抵抗率の値からも明らかである。比較例２は、実施例３と比較して、厚さが厚いフレーク状フィラー（銀粉末Ｂ：約０．９μｍ）を使用した。このため、金属フィラーの充填量が３１ｖｏｌ％では、充分な導電経路を形成することができず、体積抵抗率が大きくなったと考えられる。また、比較例３は、二つの条件のうち、（Ａ）を満たしているが（Ｂ）を満たしていない。すなわち、比較例３については、導電性は高いが、柔軟性に乏しい。よって、自然状態の体積抵抗率は小さいものの、伸長時にクラックが生じて、体積抵抗率が著しく増加した。また、比較例４は、条件（Ａ）、（Ｂ）のいずれも満たしていない。比較例４については、自然状態の体積抵抗率は小さいものの、伸長時に体積抵抗率が増加した。

また、実施例および比較例の導電膜について、フレキシブル配線板への適用性を評価した。すなわち、伸長率１００％で伸長した状態の導電膜の体積抵抗率が、１×１０^−２Ωｃｍ以下の場合には、適用可能（表１、表２中、○印で示す）、１×１０^−２Ωｃｍを超えた場合には、適用不可（同、×印で示す）、と評価した。その結果、表１、表２に示すように、実施例の導電膜は、いずれもフレキシブル配線板に好適であることが確認された。

＜アクチュエータへの適用＞
実施例および比較例の導電膜を電極に用いたアクチュエータを作製し、アクチュエータの応答性を評価した。

まず、実験装置について説明する。アクリルゴム製の誘電膜の厚さ方向両面に、実施例および比較例の導電膜を貼り付けて、アクチュエータを作製した。図１１に、作製したアクチュエータの上面図を示す。図１２に、図１１のＸＩＩ−ＸＩＩ方向断面図を示す。

図１１、図１２に示すように、アクチュエータ５は、誘電膜５０と一対の電極５１ａ、５１ｂとを備えている。誘電膜５０は、直径７０ｍｍ、厚さ５０μｍの円形薄膜状を呈している。誘電膜５０は、延伸率５０％で二軸方向に延伸された状態で配置されている。ここで、延伸率は、次式（ＩＩ）により算出した値である。
延伸率（％）＝｛√（Ｓ_２／Ｓ_１）−１｝×１００・・・（ＩＩ）
［Ｓ_１：延伸前（自然状態）の誘電膜面積、Ｓ_２：二軸方向延伸後の誘電膜面積］
一対の電極５１ａ、５１ｂは、誘電膜５０を挟んで上下方向に対向するよう配置されている。電極５１ａ、５１ｂは、直径約２７ｍｍ、厚さ２０μｍの円形薄膜状を呈しており、各々、誘電膜５０と略同心円状に配置されている。電極５１ａ、５１ｂは、実施例または比較例の導電膜からなる。電極５１ａの外周縁には、拡径方向に突出する端子部５１０ａが形成されている。端子部５１０ａは矩形板状を呈している。同様に、電極５１ｂの外周縁には、拡径方向に突出する端子部５１０ｂが形成されている。端子部５１０ｂは矩形板状を呈している。端子部５１０ｂは、端子部５１０ａに対して、１８０°対向する位置に配置されている。端子部５１０ａ、５１０ｂは、各々、導線を介して電源５２に接続されている。

電極５１ａ、５１ｂ間に電圧を印加すると、電極５１ａ、５１ｂ間に静電引力が生じて、誘電膜５０を圧縮する。これにより、誘電膜５０の厚さは薄くなり、拡径方向に伸長する。この時、電極５１ａ、５１ｂも、誘電膜５０と一体となって拡径方向に伸長する。電極５１ａには、予め、マーカー５３０が取り付けられている。マーカー５３０の変位を、変位計５３により測定し、アクチュエータ５の変位量とした。

次に、アクチュエータの応答性の評価方法について説明する。まず、電界強度４０Ｖ／μｍの電圧を印加して、変位量を測定した。電界強度は、印加電圧を誘電膜の厚さで除した値である。次に、測定された変位量から、次式（ＩＩＩ）により変位率を算出した。
変位率（％）＝（変位量／電極の半径）×１００・・・（ＩＩＩ）
そして、変位率が４％以上の場合には、応答性は良好（表１、表２中、○印で示す）、４％未満の場合には、応答性は不良（同、×印で示す）、と評価した。

評価結果を、上記表１、表２にまとめて示す。表１、表２に示すように、実施例の導電膜を用いたアクチュエータについては、いずれも応答性は良好であることが確認された。

柔軟なアクチュエータは、例えば、産業、医療、福祉ロボット用の人工筋肉、電子部品冷却用や医療用等の小型ポンプ、医療用器具等に用いられる。本発明の導電膜は、このような柔軟なアクチュエータの電極、配線等に好適である。また、静電容量型センサ等のエラストマーセンサの電極、配線等にも好適である。また、発電素子の他、発光、発熱、発色等を行う柔軟なトランスデューサの電極、配線等にも好適である。また、本発明の導電膜は、ウェアラブルデバイス等に使用されるフレキシブル配線板等にも有用である。

本発明の導電膜は、柔軟性および導電性に優れる。このため、電気的な制御と柔軟な接触とが必要な部材に用いることができる。例えば、レーザービームプリンター等のＯＡ（Ｏｆｉｃｅ Ａｕｔｏｍａｔｉｏｎ）機器に用いられる現像ロール、帯電ロール、転写ロール、給紙ロール、トナー層形成部材、クリーニングブレード、帯電ブレード等における電極層、表層に好適である。

Claims (12)

1. エラストマーと、該エラストマー中に充填されている金属フィラーと、を含み、次の（Ａ）および（Ｂ）の条件を満たすことを特徴とする導電膜。
   （Ａ）走査型電子顕微鏡により撮影された膜厚方向の断面写真に、膜厚方向に延びる三本の直線を膜展開方向に３μｍずつ離間して描き、各々の該直線ごとに、該直線と交わる該断面写真における最長部の長さが２μｍ以上の該金属フィラーの個数を数えて、該個数を該直線の長さで除することにより該直線１μｍ当たりの基準個数を算出した場合に、三本の該直線における該基準個数の平均値が０．８（個／μｍ）以上である、または、該金属フィラーは厚さが１μｍ以下でアスペクト比が２６以上のフレーク状フィラーを含み、該基準個数の平均値が０．４（個／μｍ）以上である。
   （Ｂ）走査型電子顕微鏡により撮影された膜厚方向の断面写真に、２μｍ四方の単位領域が１００個連なって形成される測定領域を設け、該単位領域ごとに、該エラストマーが占める面積を測定した場合に、該エラストマーの面積割合が６０％以上である該単位領域の個数が、２０個以上である。
2. 前記金属フィラーの充填量は、導電膜の体積を１００ｖｏｌ％とした場合の４５ｖｏｌ％未満である請求項１に記載の導電膜。
3. 前記金属フィラーは、厚さが１μｍ以下のフレーク状または針状であって、膜展開方向に配向する異方性フィラーを含む請求項１または請求項２に記載の導電膜。
4. 前記金属フィラーは、さらに、平均粒子径が０．１μｍ以上１．５μｍ以下の塊状フィラーを含む請求項３に記載の導電膜。
5. 前記異方性フィラーと前記塊状フィラーとの含有割合は、質量比で２：１〜５０：１である請求項４に記載の導電膜。
6. 前記エラストマーは、水素結合可能な官能基を有し、ガラス転移温度（Ｔｇ）が−１０℃以下である請求項１ないし請求項５のいずれかに記載の導電膜。
7. 前記エラストマーは、アクリルゴム、ウレタンゴム、ヒドリンゴム、シリコーンゴムから選ばれる一種以上である請求項６に記載の導電膜。
8. 前記アクリルゴムは、炭素数４以上のアルキル基を有するアクリル酸エステルモノマー単位を５０ｍｏｌ％以上含む請求項７に記載の導電膜。
9. 前記エラストマーの架橋には、硫黄を含む化合物が使用されていない請求項１ないし請求項８のいずれかに記載の導電膜。
10. エラストマー製の弾性部材の表面に形成されている請求項１ないし請求項９のいずれかに記載の導電膜。
11. エラストマー製の誘電膜と、該誘電膜を介して配置されている複数の電極と、複数の該電極と各々接続されている配線と、を備え、
    該電極および該配線の少なくとも一方は、請求項１ないし請求項１０のいずれかに記載の導電膜からなることを特徴とするトランスデューサ。
12. 配線の少なくとも一部は、請求項１ないし請求項１０のいずれかに記載の導電膜からなることを特徴とするフレキシブル配線板。

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