JPWO2010095540A1 - ウェハ搬送用トレイ及びこのトレイ上にウェハを固定する方法 - Google Patents
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Abstract
Description
102 トレイ 102a 温度交換媒体の流路
103 押さえ治具 104 メカクランプ部材
201 トレイ支持ステージ 201a 温度交換媒体の流路
202 トレイ 203 メカクランプ部材
204 熱伝導粘着シート
301、401、501、601 トレイ支持ステージ
301a、401a、501a、601a 温度交換媒体の流路
301b、401b、501b、601b シール部材
302、402、502、602 ウェハ搬送用トレイ
302a、402a、502a、602b 温度交換媒体の流路
303、403、503、603 カバー部材
304、404、504、604 メカクランプ部材
305、405、505、605 静電チャック用給電電源
305a、405a、505a、605a バネ式端子
305b、405b、505b、605b シール部材
306、406、506 静電チャック電極
602a 絶縁膜 701 トレイ基体
701a ウェハ載置領域 702 トレイカバー(カバー部材)
702a 空間領域 702b 領域
S ウェハ A〜D 空間
Claims (10)
- 絶縁体からなる基体と、該基体の中に埋設された静電チャック電極とからなるウェハ搬送用トレイであって、該静電チャック電極に対する給電部分の端子がバネ式端子であり、該バネ式端子の先端部分が該静電チャック電極に接触され得るようになっており、通電時にウェハを該トレイに静電チャックにより固定できるように構成され、そして該給電部分の周辺にシール部材が設けられて、該バネ式端子の先端部分と該静電チャック電極との接触部に温度交換媒体が回り込まないように構成されており、さらに、その裏面側から表面側へ連通する温度交換媒体の複数の流路であって、該トレイをウェハ支持ステージ上に載置したときに、該トレイ裏面と該ステージ表面との間に形成される空間に供給された温度交換媒体をウェハ裏面へと供給する流路が開設されていることを特徴とするウェハ搬送用トレイ。
- 導電性材料とその表面を覆う絶縁体とからなるウェハ搬送用トレイであって、静電チャック電極として機能する導電性材料に対する給電部分の端子がバネ式端子であり、該バネ式端子の先端部分が該導電性材料に接触され得るようになっており、通電時にウェハを該トレイに静電チャックにより固定できるように構成され、そして該給電部分の周辺にシール部材が設けられて、該バネ式端子の先端部分と該静電チャック電極との接触部に温度交換媒体が回り込まないように構成されており、さらに、その裏面側から表面側へ連通する温度交換媒体の複数の流路であって、該トレイをウェハ支持ステージ上に載置したときに、該トレイ裏面と該ステージ表面との間に形成される空間に供給された温度交換媒体をウェハ裏面へと供給する流路が開設されていることを特徴とするウェハ搬送用トレイ。
- 前記静電チャックが、単極静電チャック又は双極静電チャックであることを特徴とする請求項1又は2記載のウェハ搬送用トレイ。
- 前記ウェハが絶縁性基板であり、静電チャックが単極静電チャックであることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のウェハ搬送用トレイ。
- 絶縁体からなる基体と、該基体の中に埋設された静電チャック電極とからなるウェハ搬送用トレイであって、該静電チャック電極に対する給電部分の端子がバネ式端子であり、該バネ式端子の先端部分が該静電チャック電極に接触され得るようになっており、通電時にウェハを該トレイに静電チャックにより固定できるように構成され、そして該給電部分の周辺にシール部材が設けられて、該バネ式端子の先端部分と該静電チャック電極との接触部に温度交換媒体が回り込まないように構成されているウェハ搬送用トレイ上にウェハを載置し、このウェハの載置されたトレイをプラズマ処理室内に搬送してトレイ支持ステージ上に載置し、該トレイをメカチャック又は静電チャックにてトレイ支持ステージ上に固定し、そして該バネ式端子に給電することにより、該ウェハを該トレイ上に静電チャックにより固定することを特徴とするウェハの固定方法。
- 導電性材料からなり、表面が絶縁体で覆われている基体と、該基体の中に埋設された静電チャック電極とからなるウェハ搬送用トレイであって、該静電チャック電極に対する給電部分の端子がバネ式端子であり、該バネ式端子の先端部分が該静電チャック電極に接触され得るようになっており、通電時にウェハを該トレイに静電チャックにより固定できるように構成され、そして該給電部分の周辺にシール部材が設けられて、該バネ式端子の先端部分と該静電チャック電極との接触部に温度交換媒体が回り込まないように構成されているウェハ搬送用トレイ上にウェハを載置し、このウェハの載置されたトレイをプラズマ処理室内に搬送してトレイ支持ステージ上に載置し、該トレイをメカチャック又は静電チャックにてトレイ支持ステージ上に固定し、そして該バネ式端子に給電することにより、該ウェハを該トレイ上に静電チャックにより固定することを特徴とするウェハの固定方法。
- 前記静電チャックとして、単極静電チャック又は双極静電チャックを用いることを特徴とする請求項5又は6記載のウェハの固定方法。
- 前記ウェハとして絶縁性基板を用い、静電チャックとして単極静電チャックを用い、該バネ式端子に給電する際に、プラズマ処理室内にプラズマ着火することにより該ウェハを静電チャックにより固定することを特徴とする請求項5又は6記載のウェハの固定方法。
- 絶縁体からなる基体と、該基体の中に埋設された静電チャック電極とからなるウェハ搬送用トレイであって、該静電チャック電極に対する給電部分の端子がバネ式端子であり、該バネ式端子の先端部分が該静電チャック電極に接触され得るようになっており、通電時にウェハを該トレイに静電チャックにより固定できるように構成され、そして該給電部分の周辺にシール部材が設けられて、該バネ式端子の先端部分と該静電チャック電極との接触部に温度交換媒体が回り込まないように構成されていることを特徴とするウェハ搬送用トレイ。
- 導電性材料とその表面を覆う絶縁体とからなるウェハ搬送用トレイであって、静電チャック電極として機能する導電性材料に対する給電部分の端子がバネ式端子であり、該バネ式端子の先端部分が該導電性材料に接触され得るようになっており、通電時にウェハを該トレイに静電チャックにより固定できるように構成され、そして該給電部分の周辺にシール部材が設けられて、該バネ式端子の先端部分と該静電チャック電極との接触部に温度交換媒体が回り込まないように構成されていることを特徴とするウェハ搬送用トレイ。
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