TWI660452B

TWI660452B - 用於乾式蝕刻裝置之基板托盤組

Info

Publication number: TWI660452B
Application number: TW103105124A
Authority: TW
Inventors: 蔣宇寧; 鄭凱文; 張晃崇; 吳東嶸; 蔡有哲
Original assignee: 優貝克科技股份有限公司
Priority date: 2014-02-17
Filing date: 2014-02-17
Publication date: 2019-05-21
Also published as: TW201533835A

Abstract

一種用於乾式蝕刻裝置之基板托盤組，是用以承載多個基板並包含：一托盤本體及多個固定單元。托盤本體具有一包括多個設置區與固定區的設置面。各設置區對應承載各基板且呈正三角形陣列彼此緊鄰地排列於設置面。各設置區由三固定區所圍繞，各設置區所對應圍繞的固定區呈正三角形陣列排列於設置面且每三設置區共用一固定區。各固定單元具墊片及貫穿各墊片的扣件。各墊片對應設在各固定區，各扣件具固定於托盤本體的桿部，及自其桿部且遠離托盤本體的端緣徑向朝外凸伸的頭部。各扣件的頭部分別抵制各墊片並使各墊片抵壓住各基板於各設置區。

Description

用於乾式蝕刻裝置之基板托盤組

本發明是有關於一種基板托盤(tray)，特別是指一種用於乾式蝕刻裝置之基板托盤組。

參圖1、圖2與圖3，顯示有一種乾式蝕刻裝置專用的現有的基板托盤組1，是適用於承載二十一片直徑為2吋的藍寶石(sapphire)基板2。該基板托盤組1包含：一個鋁(A1)製托盤本體11、一個鋁製蓋板12，及多數個固定經對合該鋁製托盤本體11與該鋁製蓋板12後的螺桿(圖未示)。

該鋁製托盤本體11具有一表面111、一個位於該鋁製托盤本體11之一底部的集氣槽112，及多數個貫穿該鋁製托盤本體11並與該集氣槽112連通的冷卻通道113。該鋁製托盤本體11自其表面111朝內凹陷有二十一個供對應承載各藍寶石基板2的圓形凹槽114。該鋁製托盤本體11的該等圓形凹槽114是圍繞該鋁製托盤本體11之表面111的一中心X，呈同心圓且彼此間隔設置。

該鋁製蓋板12具有一個面向該鋁製托盤本體11之表面111的表面121，及多數個貫穿該鋁製蓋板12的圓形貫孔122。該鋁製蓋板12的該等圓形貫孔122的位置是分別對應於該鋁製托盤本體11的各圓形凹槽114，且該鋁製蓋板12的各圓形貫孔122是分別由一內環面123所界定而成。該鋁製蓋板12的各內環面123具有三個擋緣124，各內環面123的該等擋緣124是分別自其內環面123且鄰近其鋁製蓋板12之表面121處，彼此間隔地朝其圓形貫孔122的一中心Y凸伸而出。

該基板托盤組1於實際承載該等藍寶石基板2時，是先將該等藍寶石基板2分別對應設置於該鋁製托盤本體11之各圓形凹槽114內，並使該鋁製蓋盤12的表面121面向該鋁製托盤本體11之表面111，且令該鋁製蓋板12的各圓形貫孔122與該鋁製托盤本體11的各圓形凹槽114彼此對準設置，從而對應裸露出各藍寶石基板2；同時，令該鋁製蓋板12的各內環面123的該等擋緣124向下抵制住其所對應的藍寶石基板2；最後，再利用該等螺桿(圖未示)使經對合後的鋁製托盤本體11與鋁製蓋板12相互固定。

一般於實際應用在一乾式蝕刻裝置(圖未示)時，被該基板托盤組1所承載的各藍寶石基板2表面上，是預先塗佈有不耐高溫的圖案化光阻(patterned photoresist)層。當產生自該乾式蝕刻裝置的電漿(plasma)朝向裸露於各圓形貫孔122外的各藍寶石基板2實施乾式蝕刻時，其電漿容易於該等藍寶石基板2的表面累積高熱，此等高熱則是透過該鋁製托盤本體11底部的集氣槽112所引入的氦氣(He)以連通至該等冷卻通道113，並自該等冷卻通道113朝各藍寶石基板2引入氦氣以進行冷卻。有關於該基板托盤組1之相關細部結構的說明，也可參JP2003-197607A專利案所公開的技術內容。

參圖2所顯示的鋁製蓋板12的仰視示意圖可知，此技術領域的相關技術人員為了提升該基板托盤組1所能承載的藍寶石基板2數量達到最大量，只能盡量縮短相鄰圓形貫孔122間的間距。此外，此技術領域的相關技術人員也都知道，各藍寶石基板2是因該鋁製蓋板12的各圓形貫孔122而被裸露於外，以使電漿可自裸露於外的藍寶石基板2表面進行乾式時刻。因此，該鋁製蓋板12的厚度越薄，其反應於乾式蝕刻的效果則越佳。一般慣用於該鋁製蓋板12的厚度約為1mm至3mm間，其遠低於該鋁製托盤本體11的厚度。

然而，此處須補充說明的是，當彼此相鄰的圓形貫孔122間距越短，則該鋁製蓋板12的機械強度也相對下降。特別是該鋁製蓋板12於實際使用時，難免因遭受到電漿的衝擊而產生高熱。由前面的說明可知，該鋁製蓋板12在厚度即薄且相鄰圓形貫孔122間距亦須縮短的前提下，又必須長時間處於高熱環境中，其也更為容易因高熱而產生變形。一旦該基板托盤組1的鋁製蓋板12因長期處於高溫環境中而產生變形時，勢必更換掉該鋁製蓋板12，另以新的鋁製蓋板來取代。因此，無形中也增加了耗材的使用成本。再者，厚度薄的鋁製蓋板12不僅加工形狀複雜；此外，為了得到高平行度的要求，該鋁製蓋板12的加工不易且加工成本高。

經上述說明可知，在提升基板托盤組所能承載的基板數量的前提下，又要避免基板托盤組的鋁製蓋板因承受高溫電漿而產生變形，以解決耗材成本過高的問題，是此技術領域的相關技術人員所待突破的難題。

因此，本發明之目的，即在提供一種用於乾式蝕刻裝置之基板托盤組。

於是，本發明用於乾式蝕刻裝置之基板托盤組，是用以承載並固定多個基板，包含：一個托盤本體，及多個第一固定單元。該托盤本體具有一個設置面。該設置面具有多個設置區與多個第一固定區。該托盤本體的設置面的各設置區是對應承載各基板，且該等設置區是呈一正三角形的陣列彼此緊鄰地排列於該設置面。各設置區是由三個第一固定區所圍繞，各設置區所對應圍繞的該等第一固定區是呈一正三角形的陣列排列於該設置面，且每三個設置區共用一個第一固定區。各第一固定單元具有一個墊片及一個貫穿其所對應之墊片的扣件。該等第一固定單元的墊片是分別設置在該托盤本體的該等第一固定區。各第一固定單元的扣件具有一個固定於該托盤本體的桿部，及一個自其桿部且遠離該托盤本體的一端緣徑向朝外凸伸的頭部。各第一固定單元的扣件的頭部是分別朝其所對應的墊片抵制各墊片，並使其所對應的墊片朝各基板抵壓住各基板於各設置區。

較佳地，該托盤本體還具有一個相反於該設置面的非設置面。該托盤本體自該非設置面朝該設置面的方向更凹陷有一個集氣槽，及多個分別連通該集氣槽與該設置面的各設置區的氣體流道組，且各氣體流道組具有多個流道。

較佳地，在本發明一第一較佳實施例中，該基板托盤組還包含一個蓋板，且該等第一固定單元的各墊片具有受磁吸性。該蓋板具有一個端壁、多個分別貫穿該端壁的第一階級孔，及多個第一磁性元件。該蓋板的各第一階級孔的位置是分別對應於各第一固定單元的墊片，並能供各第一固定單元的扣件縱向貫穿。該等第一磁性元件是對應設置在各第一階級孔內並用以吸附各第一固定單元的墊片。各第一固定單元的墊片、扣件的頭部與各第一磁性元件分別具有一內徑D₁、一外徑D₂與一內徑D₃，D₁<D₂<D₃。

較佳地，本發明該第一較佳實施例的托盤本體還具有一個周緣及一個自該托盤本體的設置面凹陷的定位槽。該蓋板還具有一個圍壁及一個定位塊。該蓋板的圍壁圍繞該蓋板的端壁並套設於該托盤本體的周緣，該定位塊是自該蓋板的端壁朝該托盤本體延伸，並能容置在該托盤本體的定位槽中。

較佳地，本發明該第一較佳實施例的托盤本體的設置面的設置區的數量是二十七個。

較佳地，在本發明一第二較佳實施例中，該基板托盤組還包含多個第二固定單元，且該托盤本體的設置面還具有多個第二固定區。各設置區是由三個第二固定區所圍繞，各設置區所對應圍繞的該等第一固定區與該等第二固定區是呈一正六邊形的陣列彼此交錯地排列於該設置面。各第二固定單元具有一個墊片及一個貫穿其所對應之墊片的扣件。該等第二固定單元的墊片是分別設置在該托盤本體的該等第二固定區。各第二固定單元的扣件具有一個固定於該托盤本體的桿部，及一個自其桿部且遠離該托盤本體的一端緣徑向朝外凸伸的頭部。各第二固定單元的扣件的頭部是分別朝其所對應的墊片抵制各墊片，並使其所對應的墊片朝各基板抵壓住各基板於各設置區。

較佳地，本發明該第二較佳實施例的基板托盤組還包含一個蓋板，且該等第一固定單元與該等第二固定單元的各墊片具有受磁吸性。該蓋板具有一個端壁、多個分別貫穿該端壁的第一階級孔與第二階級孔，及多個第一磁性元件與多個第二磁性元件。該蓋板的各第一階級孔與各第二階級孔的位置，是分別對應於各第一固定單元的墊片與各第二固定單元的墊片，並能供各第一固定單元的扣件與第二固定單元的扣件縱向貫穿。該等第一磁性元件與該等第二磁性元件是對應設置在各第一階級孔與各第二階級孔內，並用以吸附各第一固定單元的墊片與各第二固定單元的墊片。各固定單元的墊片、扣件的頭部與各磁性元件分別具有一內徑D₁、一外徑D₂與一內徑D₃，且D₁<D₂<D₃。

較佳地，本發明該第二較佳實施例的托盤本體還具有一個周緣及一個自該托盤本體的設置面凹陷的定位槽，該蓋板還具有一個圍壁及一個定位塊，該蓋板的圍壁圍繞該蓋板的端壁並套設於該托盤本體的周緣，該定位塊是自該蓋板的端壁朝該托盤本體延伸，並能容置在該托盤本體的定位槽中。

較佳地，本發明該第二較佳實施例的托盤本體的設置面的設置區的數量是二十七個。

本發明之功效在於，透過該托盤本體之設置區於幾何上的排列設計並採用該等固定單元來固定各基板，可提升承載的基板數量並解決耗材成本過高的問題，該蓋板之該等階級孔與該等磁性元件的結構設計，並配合該等固定單元之受磁吸性的墊片與扣件之頭部的結構設計，也能簡化承載固定或拆卸各基板時的程序並節省工時成本。

3‧‧‧托盤本體

31‧‧‧設置面

311‧‧‧設置區

312‧‧‧第一固定區

313‧‧‧第二固定區

32‧‧‧非設置面

33‧‧‧集氣槽

34‧‧‧氣體流道組

341‧‧‧流道

35‧‧‧周緣

36‧‧‧定位槽

4‧‧‧第一固定單元

41‧‧‧墊片

42‧‧‧扣件

421‧‧‧桿部

422‧‧‧頭部

5‧‧‧蓋板

51‧‧‧端壁

52‧‧‧第一階級孔

53‧‧‧第一磁性元件

54‧‧‧圍壁

55‧‧‧定位塊

56‧‧‧第二階級孔

57‧‧‧第二磁性元件

6‧‧‧第二固定單元

61‧‧‧墊片

62‧‧‧扣件

621‧‧‧桿部

622‧‧‧頭部

9‧‧‧圓形藍寶石基板

D₁‧‧‧墊片的內徑

D₂‧‧‧扣件的頭部的外徑

D₃‧‧‧磁性元件的內徑

本發明之其他的特徵及功效，將於參照圖式的實施方式中清楚地呈現，其中：圖1是一俯視示意圖，說明一種乾式蝕刻裝置專用的現有的基板托盤組的一鋁製托盤本體；圖2是一仰視示意圖，說明該現有的基板托盤組的一鋁製蓋板；圖3是一局部組合剖視示意圖，說明該現有的基板托盤組於實際承載藍寶石基板時的使用狀態；圖4是一立體分解圖，說明本發明用於乾式蝕刻裝置之基板托盤組的一第一較佳實施例；圖5是一局部組合剖視示意圖，說明本發明該第一較佳實施例處於藍寶石基板尚未被固定時的使用狀態；圖6是一局部組合剖視示意圖，說明本發明該第一較佳實施例處於藍寶石基板已被固定時的使用狀態；圖7是一俯視示意圖，說明本發明該第一較佳實施例的一托盤本體與多個第一固定單元的排列關係；圖8是一俯視示意圖，說明本發明該第一較佳實施例的一蓋板的多個第一階級孔與多個第一磁性元件的排列關係；圖9是一俯視示意圖，說明本發明用於乾式蝕刻裝置之基板托盤組的一第二較佳實施例的一托盤本體、多個第一固定單元與多個第二固定單元的排列關係；圖10是一俯視示意圖，說明本發明該第二較佳實施例的一蓋板的多個第一、二階級孔與多個第一、二磁性元件的排列關係；圖11是一局部組合剖視示意圖，說明本發明該第二較佳實施例處於藍寶石基板尚未被固定時的使用狀態；及圖12是一局部組合剖視示意圖，說明本發明該第二較佳實施例處於藍寶石基板已被固定時的使用狀態。

在本發明被詳細描述之前，應當注意在以下的說明內容中，類似的元件是以相同的編號來表示。

參閱圖4、圖5與圖6，本發明用於乾式蝕刻裝置之基板托盤組的第一較佳實施例，是用以承載並固定二十七個直徑為2吋的圓形藍寶石基板9。本發明該第一較佳實施例包含：一個托盤本體3、多個第一固定單元4，及一個蓋板5。在本發明該第一較佳實施例中，該等第一固定單元4的數量為三十七個(為簡化圖式，本發明圖4、圖5與圖6僅顯示出兩個第一固定單元4)。

該托盤本體3具有一個設置面31及一個相反於該設置面31的非設置面32。該設置面31具有多個設置區311與多個第一固定區312。該托盤本體3的設置面31的各設置區311是對應承載各圓形藍寶石基板9，且各設置區311的形狀是實質相同於各自所對應的圓形藍寶石基板9。如圖7所示，該等設置區311是呈一正三角形的陣列彼此緊鄰地排列於該設置面31，且各設置區311是由三個第一固定區312所圍繞。各設置區311所對應圍繞的該等第一固定區312是呈一正三角形的陣列排列於該設置面31，且每三個設置區311共用一個第一固定區312。在本發明該第一較佳實施例中，該托盤本體3的設置面31的設置區311的數量是二十七個。再參圖5，該托盤本體3自該非設置面32朝該設置面31的方向更凹陷有一個用來引導並收集冷卻氣體(如，He)的集氣槽33，及多個分別連通該集氣槽33與該設置面31的各設置區311的氣體流道組34，且各氣體流道組34具有多個用來引導冷卻氣體朝各圓形藍寶石基板9進行冷卻的流道341。

再參圖6，各第一固定單元4具有一個墊片41 及一個貫穿其所對應之墊片41的扣件42。該等第一固定單元4的墊片41是分別設置在該托盤本體3的該等第一固定區312，並具有受磁吸性。各第一固定單元4的扣件42具有一個固定於該托盤本體3的桿部421，及一個自其桿部421且遠離該托盤本體3的一端緣徑向朝外凸伸的頭部422。各第一固定單元4的扣件42的頭部422是分別朝其所對應的墊片41抵制各墊片41，並使其所對應的墊片41朝各圓形藍寶石基板9抵壓住各圓形藍寶石基板9於各設置區311。

再參圖5、圖7並配合參圖8，該蓋板5具有一個端壁51、多個分別貫穿該端壁51的第一階級孔52，及多個第一磁性元件53。該蓋板5的各第一階級孔52的位置是分別對應於各第一固定單元4的墊片41，並能供各第一固定單元4的扣件42縱向貫穿。該等第一磁性元件53是對應設置在各第一階級孔52內，並用以吸附具有受磁吸性的各第一固定單元4的墊片41。各第一固定單元4的墊片41、扣件42的頭部422與各第一磁性元件53分別具有一內徑D₁、一外徑D₂與一內徑D₃，D₁<D₂<D₃。該托盤本體3還具有一個周緣35及一個自該托盤本體3的設置面31凹陷的定位槽36；該蓋板5還具有一個圍壁54及一個定位塊55。該蓋板5的圍壁54圍繞該蓋板5的端壁51並套設於該托盤本體3的周緣35。該定位塊55是自該蓋板5的端壁51朝該托盤本體3延伸，並能容置在該托盤本體3的定位槽36中。

再參圖5與圖6，本發明該第一較佳實施例於實際承載並固定該等圓形藍寶石基板9時，是預先將各圓形藍寶石基板9放置於該托盤本體3的各設置區311上，並利用該蓋板5的各第一磁性元件53以分別吸附具有受磁吸性的各第一固定單元4的墊片41。接著，藉由該蓋板5的定位塊55以與該托盤本體3的定位槽36進行對準與定位，以使該托盤本體3的各設置區311、各第一固定區312、該蓋板5的各第一階級孔52、第一磁性元件53與各第一固定單元4的墊片41可縱向對準(如圖5所示)。進一步地，將各第一固定單元4的扣件42分別對應放入該蓋板5的各第一階級孔52內，以使各扣件42的頭部422(具有外徑D₂)，可縱向貫穿各自所對應的第一磁性元件53(具有內徑D₃，D₂<D₃)，並使各第一固定單元4的扣件42的桿部421可縱向固定(螺接)於該托盤本體3，從而迫使各扣件42的頭部422(具有外徑D₂)可向下抵制各墊片41(具有內徑D₁，D₁<D₂)，並使各墊片41抵壓固定住各圓形藍寶石基板9(如圖6所示)。最後，具有受磁吸性的各第一固定單元4的墊片41已分別受各扣件42的頭部422所抵制，因此，直接向上移開該蓋板5便完成各藍寶石基板9的承載與固定程序。

此外，再參圖5與圖6，於實際拆卸各圓形藍寶石基板9時，則是預先利用該蓋板5的定位塊55來與該托盤本體3的定位槽36進行對準與定位，以使該蓋板5的各第一磁性元件53可縱向對準該托盤本體3之各第一固定區 312上所對應設置的各第一固定單元4的墊片41(如圖6所示)。接著，鬆開各第一固定單元4的扣件42以使各墊片41不受各扣件42的頭部422所抵制，並使各具有受磁吸性的墊片41可被各自所對應的第一磁性元件53所吸附(如圖5所示)。最後，自該托盤本體3移除該蓋板5。此處值得一提的是，由於各第一固定元件4的墊片41內徑D₁小於各扣件42的頭部422外徑D₂(D₁<D₂)，且各墊片41也受各第一磁性元件53所吸附，因此，在移除該蓋板5的同時，該蓋板5可一併帶走各第一固定單元4的墊片41與扣件42。

經上述兩段的說明可知，本發明該第一較佳實施例於實際承載固定甚或是拆卸各圓形藍寶石基板9時，可透過該蓋板5來簡化承載固定或拆卸各圓形藍寶石基板9的程序，並節省技術人員的工時成本。此外，該托盤本體3上的該等設置區311是呈正三角形的陣列緊鄰地排列於該設置面31，相較於圖1~2所顯示的基板數量(二十一個直徑為2吋的藍寶石基板2)，本發明該第一較佳實施例之基板托盤組所能承載的圓形藍寶石基板(直徑為2吋)9數量已大幅地提高至二十七個。

再者，本發明該第一較佳實施例採用該等第一固定單元4的墊片41與扣件(螺桿)42來取代圖3所顯示的鋁製蓋板12。就該鋁製蓋板12來說，一旦該鋁製蓋板12因長時間遭受高溫電漿衝擊而產生變形時，該基板托盤組1必須更換掉該製作成本高的鋁製蓋板12，才可繼續應用於乾式蝕刻裝置。反觀本發明，一旦該第一較佳實施例之第一固定單元4因長時間遭受高溫電漿衝擊而產生變形時，其只需更換掉已變形的第一固定單元4，便可使本發明該第一較佳實施例繼續應用於乾式蝕刻裝置。因此，本發明可大幅地節省耗材上的成本。

又，此處值得一提的是，本發明並非僅侷限於供二十七個直徑為2吋的圓形藍寶石基板9承載與固定。簡單地說，本發明可以根據該托盤本體3之該等設置區311、該等第一固定區312與該蓋板5的該等第一階級孔52於結構上的設計概念為基礎，且在相同於該托盤本體3之設置面31的面積的前提下，以相同的正三角形陣列的排列關係，進一步地使托盤本體3的該等設置區311與該等第一固定區312的數量，分別變更為七個與十二個，便可供七個直徑為4吋的藍寶石基板承載與固定；同樣地，進一步地使托盤本體3的該等設置區311與該等第一固定區312的數量，分別變更為三個與七個，便可供三個直徑為6吋的藍寶石基板承載與固定。

參圖9與圖10，本發明用於乾式蝕刻裝置之基板托盤組的第二較佳實施例，大致上是相同於該第一較佳實施例，其不同處是在於，本發明該第二較佳實施例還包含多個第二固定單元6，該托盤本體3的設置面31還具有多個第二固定區313，且該蓋板5還具有多個分別貫穿該端壁51的第二階級孔56，及多個第二磁性元件57。在本發明該第二較佳實施例中，該等第二固定單元6的數量是相同於該第一固定單元4的數量，也為三十七個。

各設置區311是由三個第二固定區313所圍繞，各設置區311所對應圍繞的該等第一固定區312與該等第二固定區313是呈一正六邊形的陣列彼此交錯地排列於該設置面31(如圖9所示)。

參圖11與圖12，各第二固定單元6具有一個墊片61及一個貫穿其所對應之墊片61的扣件62。該等第二固定單元6的墊片61是分別設置在該托盤本體3的該等第二固定區313，並具有受磁吸性。各第二固定單元6的扣件62具有一個固定於該托盤本體3的桿部621，及一個自其桿部621且遠離該托盤本體3的一端緣徑向朝外凸伸的頭部622。各第二固定單元6的扣件62的頭部622是分別朝其所對應的墊片61抵制各墊片61，並使其所對應的墊片61朝各圓形藍寶石基板9抵壓住各圓形藍寶石基板9於各設置區311。

再參圖9、圖10與圖11，該蓋板5的各第一階級孔52與各第二階級孔56的位置，是分別對應於各第一固定單元4的墊片41與各第二固定單元6的墊片61，並能供各第一固定單元4的扣件42與第二固定單元6的扣件62縱向貫穿。該等第一磁性元件53與該等第二磁性元件57是對應設置在各第一階級孔52與各第二階級孔56內，並用以吸附各第一固定單元4的墊片41與各第二固定單元6的墊片61。各固定單元4、6的墊片41、61、扣件42、62的頭部422、622與各磁性元件53、57分別具有該內徑D₁、該外徑D₂與該內徑D₃，且D₁<D₂<D₃。

本發明該第二較佳實施例於實際承載固定或拆卸各圓形藍寶石基板9時的程序，大致上是相同於該第一較佳實施例，其不同處是在於，更須透過各第二固定單元6的扣件62的頭部622來抵制住各墊片61，以迫使各墊片61向下抵壓住各圓形藍寶石基板9。

本發明該等較佳實施例於實際承載固定或拆卸各圓形藍寶石基板9時，可透過該蓋板5來簡化程序以節省技術人員的工時成本。又，呈正三角形的陣列緊鄰地排列於該托盤本體3之設置面31上的該等設置區311，其可供承載的圓形藍寶石基板(直徑為2吋)9數量已大幅地提高至二十七個。特別是本發明該等較佳實施例採用該等固定單元4、6的墊片41、61與扣件(螺桿)42、62來取代圖3所顯示的鋁製蓋板12。一旦該等較佳實施例之固定單元4、6因長時間遭受高溫電漿衝擊而產生變形時，也只需更換掉已變形的固定單元4、6，便可使本發明該等較佳實施例繼續應用於乾式蝕刻裝置。因此，本發明大幅地節省耗材上的成本。

綜上所述，本發明用於乾式蝕刻裝置之基板托盤組，其透過該托盤本體3之設置區311於幾何上的排列設計，並採用該等固定單元4、6來固定各圓形藍寶石基板9，不僅可提升基板托盤組所能承載的基板數量，更可解決耗材成本過高的問題；此外，該蓋板5之該等階級孔52、56與該等磁性元件53、57的結構設計，並配合上該等固定單元4、6之受磁吸性的墊片41、61與扣件42、62之頭部422、622的結構設計，更可簡化工程人員於承載固定或拆卸各圓形藍寶石基板9時的程序並節省工時成本，故確實能達成本發明之目的。

惟以上所述者，僅為本發明之較佳實施例而已，當不能以此限定本發明實施之範圍，即大凡依本發明申請專利範圍及專利說明書內容所作之簡單的等效變化與修飾，皆仍屬本發明專利涵蓋之範圍內。

Claims

一種用於乾式蝕刻裝置之基板托盤組，是用以承載並固定多個基板，其包含：一個托盤本體，具有一個設置面，該設置面具有多個設置區與多個第一固定區，該托盤本體的設置面的各設置區是對應承載各基板，且該等設置區是呈一正三角形的陣列彼此緊鄰地排列於該設置面，各設置區是由三個該第一固定區所圍繞，各設置區所對應圍繞的該等第一固定區是呈一正三角形的陣列排列於該設置面，且毎三個該設置區共用一個該第一固定區；及多個第一固定單元，各第一固定單元具有一個墊片及一個貫穿其所對應之該墊片的扣件，該等第一固定單元的該等墊片是分別設置在該托盤本體的該等第一固定區，各第一固定單元的該扣件具有一個固定於該托盤本體的桿部，及一個自其桿部且遠離該托盤本體的一端緣徑向朝外凸伸的頭部，各第一固定單元的該扣件的該頭部是分別朝其所對應的該墊片抵制各墊片，並使其所對應的該墊片朝各基板抵壓住各基板於各設置區。
如請求項1所述的用於乾式蝕刻裝置之基板托盤組，該托盤本體還具有一個相反於該設置面的非設置面，該托盤本體自該非設置面朝該設置面的方向更凹陷有一個集氣槽，及多個分別連通該集氣槽與該設置面的各設置區的氣體流道組，且各氣體流道組具有多個流道。
如請求項2所述的用於乾式蝕刻裝置之基板托盤組，還包含一個蓋板，且該等第一固定單元的各墊片具有受磁吸性，該蓋板具有一個端壁、多個分別貫穿該端壁的第一階級孔，及多個第一磁性元件，該蓋板的各第一階級孔的位置是分別對應於各第一固定單元的該墊片，並能供各第一固定單元的該扣件縱向貫穿，該等第一磁性元件是對應設置在各第一階級孔內並用以吸附各第一固定單元的該墊片，各第一固定單元的該墊片、該扣件的該頭部與各第一磁性元件分別具有一內徑D₁、一外徑D₂與一內徑D₃，D₁<D₂<D₃。
如請求項3所述的用於乾式蝕刻裝置之基板托盤組，其中，該托盤本體還具有一個周緣及一個自該托盤本體的設置面凹陷的定位槽，該蓋板還具有一個圍壁及一個定位塊，該蓋板的圍壁圍繞該蓋板的端壁並套設於該托盤本體的周緣，該定位塊是自該蓋板的端壁朝該托盤本體延伸，並能容置在該托盤本體的定位槽中。
如請求項4所述的用於乾式蝕刻裝置之基板托盤組，其中，該托盤本體的設置面的設置區的數量是二十七個。
如請求項2所述的用於乾式蝕刻裝置之基板托盤組，還包含多個第二固定單元，且該托盤本體的設置面還具有多個第二固定區，其中：各設置區是由三個該第二固定區所圍繞，各設置區所對應圍繞的該等第一固定區與該等第二固定區是呈一正六邊形的陣列彼此交錯地排列於該設置面；及各第二固定單元具有一個墊片及一個貫穿其所對應之該墊片的扣件，該等第二固定單元的該等墊片是分別設置在該托盤本體的該等第二固定區，各第二固定單元的該扣件具有一個固定於該托盤本體的桿部，及一個自其桿部且遠離該托盤本體的一端緣徑向朝外凸伸的頭部，各第二固定單元的該扣件的該頭部是分別朝其所對應的該墊片抵制各墊片，並使其所對應的該墊片朝各基板抵壓住各基板於各設置區。
如請求項6所述的用於乾式蝕刻裝置之基板托盤組，還包含一個蓋板，且該等第一固定單元與該等第二固定單元的各墊片具有受磁吸性，該蓋板具有一個端壁、多個分別貫穿該端壁的第一階級孔與第二階級孔，及多個第一磁性元件與多個第二磁性元件，該蓋板的各第一階級孔與各第二階級孔的位置，是分別對應於各第一固定單元的該墊片與各第二固定單元的該墊片，並能供各第一固定單元的該扣件與各第二固定單元的該扣件縱向貫穿，該等第一磁性元件與該等第二磁性元件是對應設置在各第一階級孔與各第二階級孔內，並用以吸附各第一固定單元的該墊片與各第二固定單元的該墊片，各固定單元的該墊片、該扣件的該頭部與各磁性元件分別具有一內徑D₁、一外徑D₂與一內徑D₃，且D₁<D₂<D₃。
如請求項7所述的用於乾式蝕刻裝置之基板托盤組，其中，該托盤本體還具有一個周緣及一個自該托盤本體的設置面凹陷的定位槽，該蓋板還具有一個圍壁及一個定位塊，該蓋板的圍壁圍繞該蓋板的端壁並套設於該托盤本體的周緣，該定位塊是自該蓋板的端壁朝該托盤本體延伸，並能容置在該托盤本體的定位槽中。
如請求項8所述的用於乾式蝕刻裝置之基板托盤組，其中，該托盤本體的設置面的設置區的數量是二十七個。