JP2015135720A5 - 円環状基板、磁気ディスク用基板、磁気ディスク用基板の製造方法、磁気ディスク、磁気ディスクの製造方法、ハードディスク装置 - Google Patents
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Claims (18)
- 中心に円孔を有し、一対の主表面と、前記主表面に対して直交している側壁面とを備える磁気ディスク用基板の元となる円環状基板であって、
前記円孔の真円度が１．５μｍ以下であり、
前記円孔の側壁面において、前記基板の厚みの中心位置における円周方向の輪郭線と、前記中心位置から板厚方向の反対方向にそれぞれ所定の距離ずつ離れた２つの位置における前記側壁面の円周方向の各輪郭線と、からなる３つの輪郭線を求め、
当該３つの輪郭線からそれぞれ求められる３つの内接円の半径の最大値と最小値との差が３．５μｍ以下であり、
前記中心位置から板厚方向の反対方向にそれぞれ２００μｍずつ離れた位置が前記側壁面上にある場合には前記所定の距離を２００μｍとし、前記中心位置から板厚方向の反対方向にそれぞれ２００μｍずつ離れた位置が前記側壁面上にない場合には前記所定の距離を１００μｍとすることを特徴とする、
円環状基板。 - 前記主表面において、円孔の直径の１２８％の直径を有し、円孔と同心の円の周上より中央部側の円環の領域の平坦度が１μｍ以下であることを特徴とする、請求項１に記載された円環状基板。
- 板厚が０．６３５ｍｍ以下であることを特徴とする、請求項１又は２に記載された円環状基板。
- 前記円孔の側壁面の表面粗さＲｚは０．２μｍ以下であることを特徴とする、
請求項１〜３のいずれかに記載された円環状基板。 - 前記円孔の側壁面の表面粗さに関し、板厚方向における最大高さをＲｚ（ｔ）とし、円周方向における最大高さをＲｚ（ｃ）とした場合に、Ｒｚ（ｔ）／Ｒｚ（ｃ）が１．２以下であることを特徴とする、
請求項１〜４のいずれかに記載された円環状基板。 - 前記円環状基板の中心を基準として周方向に３０度ごとに測定点を設け、前記円孔の側壁面と面取面との間の部分の形状の前記測定点における曲率半径をもとめたときに、隣接する測定点間の前記曲率半径の差が０．０１ｍｍ以下であることを特徴とする、
請求項１〜５のいずれかに記載された円環状基板。 - 前記３つの内接円の半径の最大値と最小値との差が２．５μｍ以下であることを特徴とする、請求項１〜６のいずれかに記載された円環状基板。
- 請求項１〜７のいずれかに記載された円環状基板の主表面に少なくとも研磨処理を行うことを特徴とする、磁気ディスク用基板の製造方法。
- 請求項８に記載された方法によって得られた磁気ディスク用基板の主表面に少なくとも磁性層を形成したことを特徴とする、磁気ディスクの製造方法。
- 中心に円孔を有し、一対の主表面と、前記主表面に対して直交している側壁面とを備える磁気ディスク用基板であって、
前記主表面において、円孔の直径の１２８％の直径を有し、円孔と同心の円の周上より中央部側の円環の領域の平坦度が１μｍ以下であり、
前記円孔の真円度が１．５μｍ以下であり、
前記円孔の側壁面において、前記基板の厚みの中心位置における円周方向の輪郭線と、前記中心位置から板厚方向の反対方向にそれぞれ所定の距離ずつ離れた２つの位置における前記側壁面の円周方向の各輪郭線と、からなる３つの輪郭線を求め、
当該３つの輪郭線からそれぞれ求められる３つの内接円の半径の最大値と最小値との差が３．５μｍ以下であり、
前記中心位置から板厚方向の反対方向にそれぞれ２００μｍずつ離れた位置が前記側壁面上にある場合には前記所定の距離を２００μｍとし、前記中心位置から板厚方向の反対方向にそれぞれ２００μｍずつ離れた位置が前記側壁面上にない場合には前記所定の距離を１００μｍとすることを特徴とする、
磁気ディスク用基板。 - 板厚が０．６３５ｍｍ以下であることを特徴とする、請求項１０に記載された磁気ディスク用基板。
- 前記円孔の側壁面の表面粗さＲｚは０．２μｍ以下であることを特徴とする、
請求項１０又は１１に記載された磁気ディスク用基板。 - 前記円孔の側壁面の表面粗さに関し、板厚方向における最大高さをＲｚ（ｔ）とし、円周方向における最大高さをＲｚ（ｃ）とした場合に、Ｒｚ（ｔ）／Ｒｚ（ｃ）が１．２以下であることを特徴とする、
請求項１０〜１２のいずれかに記載された磁気ディスク用基板。 - 前記磁気ディスク用基板の中心を基準として周方向に３０度ごとに測定点を設け、前記円孔の側壁面と面取面との間の部分の形状の前記測定点における曲率半径をもとめたときに、隣接する測定点間の前記曲率半径の差が０．０１ｍｍ以下であることを特徴とする、
請求項１０〜１３のいずれかに記載された磁気ディスク用基板。 - 前記３つの内接円の半径の最大値と最小値との差が２．５μｍ以下であることを特徴とする、請求項１０〜１４のいずれかに記載された磁気ディスク用基板。
- エネルギーアシスト磁気記録用又はシングル・ライト磁気記録用の磁気ディスクに用いられることを特徴とする、請求項１５に記載された磁気ディスク用基板。
- 請求項１０〜１６のいずれかに記載された磁気ディスク用基板と、当該基板の主表面上に形成された磁性層とを有する、
磁気ディスク。 - 請求項１７に記載された磁気ディスクが用いられている、ハードディスク装置。
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