JP2014181910A5 - - Google Patents
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Description
上記課題を解決するために、本発明のプローブカード用ガイド板は、プローブを案内可能な貫通孔を有するシリコン基板と、前記シリコン基板の表面と前記貫通孔の内壁面とによって構成された前記貫通孔のエッジ部と、前記エッジ部に形成されたシリコン酸化膜からなるＲ状に湾曲した曲面部とを備えている。
Claims (4)
- プローブを案内可能な貫通孔を有するシリコン基板と、
前記シリコン基板の表面と前記貫通孔の内壁面とによって構成された前記貫通孔のエッジ部と、
前記エッジ部に形成されたシリコン酸化膜からなるＲ状に湾曲した曲面部とを備えたプローブカード用ガイド板。 - 請求項１記載のプローブカード用ガイド板において、
前記貫通孔は、略四角形の貫通孔本体と、
前記貫通孔本体の四つの壁面の突き当たり部分に設けられた四つの溝とを有しており、
前記貫通孔本体の前記壁面が断面四角形のプローブを案内可能であるプローブカード用ガイド板。 - 請求項１又は２記載のプローブカード用ガイド板において、
前記エッジ部のシリコン酸化膜の厚さが５μm以上であるプローブカード用ガイド板。 - 請求項１〜３の何れかに記載のプローブカード用ガイド板において、
前記貫通孔の前記内壁面に形成されたシリコン酸化膜からなる内壁部を更に備えたプローブカード用ガイド板。
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