JP2014179160A5 - - Google Patents
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Description
すなわち、本発明の第１の観点は、一対の主表面と、外周側の側壁面と、主表面と側壁面との間の面取面とを有する磁気ディスク用ガラス基板であって、前記外周側の側壁面は、算術平均粗さ(Ra)が０．０１５μｍ以下であって、かつ粗さ断面積の負荷率曲線において、粗さ断面積の負荷率が２０〜８０％の範囲における粗さ百分率の変化量は２５％以下であり、前記主表面の算術平均粗さ(Ra)は０．２ｎｍ以下であることを特徴とする。
上記磁気ディスク用ガラス基板において、前記外周側の側壁面は、１００μｍ四方の領域において付着する異物の数が５個以下であってもよい。
本発明の第２の観点は、一対の主表面と、外周側の側壁面と、主表面と側壁面との間の面取面とを有する磁気ディスク用ガラス基板の元となる円環状のガラス基板であって、前記外周側の側壁面は、算術平均粗さ(Ra)が０．０１５μｍ以下であって、かつ粗さ断面積の負荷率曲線において、粗さ断面積の負荷率が２０〜８０％の範囲における粗さ百分率の変化量は２５％以下であることを特徴とする。
上記円環状のガラス基板において、前記外周側の側壁面は、１００μｍ四方の領域において付着する異物の数が５個以下であってもよい。
本発明の第３の観点は、上記円環状のガラス基板を元とする磁気ディスク用ガラス基板の表面に少なくとも磁気記録層が成膜されたことを特徴とする磁気ディスクである。
本発明の第４の観点は、外周側の一対の主表面と、側壁面と、主表面と側壁面との間の面取面とを有する円環状のガラス基板に対して、研磨砥粒を含む研磨液を用いて主表面の研磨を行う研磨処理を有する磁気ディスク用ガラス基板の製造方法であって、当該主表面の研磨処理が行われる前記円環状のガラス基板の外周側の側壁面は、算術平均粗さ(Ra)が０．０１５μｍ以下であって、かつ粗さ断面積の負荷率曲線において、粗さ断面積の負荷率が２０〜８０％の範囲における粗さ百分率の変化量は２５％以下であることを特徴とする。
Claims (6)
- 一対の主表面と、外周側の側壁面と、主表面と側壁面との間の面取面とを有する磁気ディスク用ガラス基板であって、
前記外周側の側壁面は、算術平均粗さ(Ra)が０．０１５μｍ以下であって、かつ粗さ断面積の負荷率曲線において、粗さ断面積の負荷率が２０〜８０％の範囲における粗さ百分率の変化量は２５％以下であり、
前記主表面の算術平均粗さ(Ra)は０．２ｎｍ以下であることを特徴とする、磁気ディスク用ガラス基板。 - 前記外周側の側壁面は、１００μｍ四方の領域において付着する異物の数が５個以下であることを特徴とする、請求項１に記載された磁気ディスク用ガラス基板。
- 一対の主表面と、外周側の側壁面と、主表面と側壁面との間の面取面とを有する磁気ディスク用ガラス基板の元となる円環状のガラス基板であって、
前記外周側の側壁面は、算術平均粗さ(Ra)が０．０１５μｍ以下であって、かつ粗さ断面積の負荷率曲線において、粗さ断面積の負荷率が２０〜８０％の範囲における粗さ百分率の変化量は２５％以下であることを特徴とする、円環状のガラス基板。 - 前記外周側の側壁面は、１００μｍ四方の領域において付着する異物の数が５個以下であることを特徴とする、請求項３に記載された円環状のガラス基板。
- 請求項３又は４に記載された円環状のガラス基板を元とする磁気ディスク用ガラス基板の表面に少なくとも磁気記録層が成膜されたことを特徴とする、磁気ディスク。
- 一対の主表面と、外周側の側壁面と、主表面と側壁面との間の面取面とを有する円環状のガラス基板に対して、研磨砥粒を含む研磨液を用いて主表面の研磨を行う研磨処理を有する磁気ディスク用ガラス基板の製造方法であって、
当該主表面の研磨処理が行われる前記円環状のガラス基板の外周側の側壁面は、算術平均粗さ(Ra)が０．０１５μｍ以下であって、かつ粗さ断面積の負荷率曲線において、粗さ断面積の負荷率が２０〜８０％の範囲における粗さ百分率の変化量は２５％以下であることを特徴とする、磁気ディスク用ガラス基板の製造方法。
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|---|---|---|---|---|
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| US6383404B1 (en) | 1998-08-19 | 2002-05-07 | Hoya Corporation | Glass substrate for magnetic recording medium, magnetic recording medium, and method of manufacturing the same |
| US6509111B1 (en) * | 1999-09-24 | 2003-01-21 | Hitachi, Ltd. | Magnetic recording media and magnetic disk apparatus |
| US6706427B2 (en) * | 1999-12-21 | 2004-03-16 | Hoya Corporation | Management technique of friction coefficient based on surface roughness, substrate for information recording medium, information recording medium and manufacture method thereof |
| JP3912575B2 (ja) * | 1999-12-21 | 2007-05-09 | Ｈｏｙａ株式会社 | 磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法、及び磁気記録媒体の製造方法 |
| US6852432B2 (en) * | 2000-06-30 | 2005-02-08 | Hitachi, Ltd. | Magnetic recording media and magnetic disk apparatus |
| US6790509B2 (en) * | 2000-10-19 | 2004-09-14 | Hoya Corporation | Substrate for information recording medium, information recording medium, and method for controlling surface of substrate for information recording medium |
| JP4274708B2 (ja) * | 2001-05-14 | 2009-06-10 | Ｈｏｙａ株式会社 | 磁気記録媒体用ガラス基板及びその製造方法 |
| US20060000809A1 (en) * | 2002-12-26 | 2006-01-05 | Hoya Coroporation | Glass substrate for information recording media and its fabricating method |
| IL157787A (en) * | 2003-09-07 | 2010-12-30 | Mosaid Technologies Inc | Modular outlet for data communications network |
| JP2005078708A (ja) * | 2003-08-29 | 2005-03-24 | Toshiba Corp | 磁気ディスクおよびこれを備えた磁気ディスク装置 |
| WO2005093720A1 (ja) * | 2004-03-25 | 2005-10-06 | Hoya Corporation | 磁気ディスク用ガラス基板 |
| JP2006079800A (ja) * | 2004-08-11 | 2006-03-23 | Showa Denko Kk | 磁気記録媒体用シリコン基板及びその製造方法並びに磁気記録媒体 |
| CN1993736A (zh) * | 2004-08-11 | 2007-07-04 | 昭和电工株式会社 | 磁记录介质的硅基底及其制造方法以及磁记录介质 |
| JP2006089363A (ja) * | 2004-08-27 | 2006-04-06 | Showa Denko Kk | 磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法、それにより得られる磁気記録媒体用ガラス基板およびこの基板を用いて得られる磁気記録媒体 |
| JP4808985B2 (ja) * | 2005-03-31 | 2011-11-02 | Ｈｏｙａ株式会社 | 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法及び磁気ディスクの製造方法 |
| JP4545714B2 (ja) * | 2005-07-08 | 2010-09-15 | 昭和電工株式会社 | 磁気記録媒体並びに磁気記録再生装置 |
| WO2007007650A1 (en) * | 2005-07-08 | 2007-01-18 | Showa Denko K.K. | Substrate for magnetic recording medium, magnetic recording medium, and magnetic recording and reproducing apparatus |
| JP4184384B2 (ja) | 2006-03-16 | 2008-11-19 | Ｈｏｙａ株式会社 | 磁気記録媒体用ガラス基板、及び磁気記録媒体 |
| JP2007272995A (ja) * | 2006-03-31 | 2007-10-18 | Hoya Corp | 磁気ディスク装置および非磁性基板の良否判定方法、磁気ディスク、並びに磁気ディスク装置 |
| EP2052073A2 (en) * | 2006-08-17 | 2009-04-29 | Algepower, LLC | Hydroponic growing enclosure and method for growing, harvesting, processing and distributing algae, related microorganisms and their by products |
| JP2008109125A (ja) * | 2006-09-29 | 2008-05-08 | Ｓｕｍｃｏ Ｔｅｃｈｘｉｖ株式会社 | シリコン単結晶基板及びその製造方法 |
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