JP2013505145A5 -

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第１及び第２の対向する主表面を有する支持体と、
前記第１の主表面に配置され、固定される構造化研磨層であって、成形研磨複合体を含み、前記成形研磨複合体が、架橋高分子粘結剤中に分散している研磨粒子及び非イオン性ポリエーテル界面活性剤を含み、前記研磨粒子の平均粒径が１０マイクロメートル未満であり、前記非イオン性ポリエーテル界面活性剤が前記架橋高分子粘結剤に共有結合せず、前記非イオン性ポリエーテル界面活性剤が前記成形研磨複合体の総重量に基づいて２．５〜３．５重量パーセントの量で存在する構造化研磨層と、を含む。構造化研磨物品。
水性流体の存在下にありながら、工作物の表面と請求項１に記載の構造化研磨物品の構造化研磨層の少なくとも一部とを摩擦接触させる工程と、
前記工作物の表面の少なくとも一部を研磨するために、前記工作物又は前記構造化研磨層のうちの少なくとも一方を他方に対して移動させる工程と、を含む、工作物を研磨する方法。